JP2020512964A - 垂直搬送装置を備える保管システム - Google Patents
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Abstract
Description
本PCT国際特許出願は、2017年4月6日に出願された「垂直搬送装置」を名称とする米国仮特許出願番号第62/482,395号の利益を主張するものである。当該出願の開示内容全体は、本願の開示内容の一部と見なされ、参照することにより援用される。
〔従来技術〕
図面を参照すると、標準型コンテナを保管するための荷保管システム20、120が提供されている。図面では、幾つかの図にわたって対応する部品には、類似の番号が示されている。図5〜図8Bに最も良好に示されるように、標準型コンテナ22は、通常、半導体製造プラントにおいて、半導体ウエハを保持及び搬送するために使用されるような前面開閉式一体型ポッド(FOUP)であり得る。他のコンテナを用いてもよいことは理解されよう。図示されるように、システム20、120は、互いの上に垂直に積み重ねられた、上方室24、中間室26、及び、下方室28を含み得る。これらの各室24、26、28は、地上面、地上面の上方、又は、地上面の下方といった任意の物理的高さにあってもよく、任意の数の室が設けられ得る。さらに、これらの室を様々な目的に利用してもよく、様々な目的には、半導体組立作業用のサブ製造室、ユーティリティルーム、及び、クリーンルームとしての目的が含まれるが、これらには限定されない。第1の多孔板30又は床が、上方室24と中間室26とを分け、第2の多孔板32又は床が、中間室26と下方室28とを分けている。下方室28には底床34が設けられており、上方室24には天井36が設けられている。多孔板30及び32、底床34、並びに、天井36は、下降流システムによって、室を清浄に保つことを許容し得る。下降流システムでは、清浄な空気が天井36を介して供給され、第1の多孔板30及び第2の多孔板32を通って下方に流れ、最終的に底床34を介して外に流れ出ることによって、管理された雰囲気が提供される。他の種類の床/板を用いてもよいことは理解されよう。
追加的/選択的に、ストッカ38、40、42が位置する室全体が、上述のような管理された雰囲気であってもよい。各ストッカ38、40、42は、複数の荷支持部44、144を含み、各荷支持部は、標準型コンテナ22のうちの少なくとも1つを保持するように構成されている。荷支持部44、144は、例えば、標準型コンテナ22のうちの1つ以上を保持するための棚、コンパートメント、ラック、フック、クランプ、又は、他の構造又は機構を含み得る。例として挙げた実施形態では、荷支持部44、144は、棚である。各ストッカ38、40、42は、コンテナをストッカ38、40、42内部の異なる荷支持部44、144間で移動させるように構成されたクレーン46をさらに含む。各クレーン46は、(概略的に示される)アームアセンブリ48を含み得る。アームアセンブリ48は、コンテナ22をストッカ38、40、42内部で移動させるための、対応する滑車、ケーブル、及び/又は、他の機構を含む。
Claims (15)
- 標準型コンテナを保持する荷保管システムであって、
建物の一階に配置される第1のストッカ、及び、建物の二階に配置される第2のストッカであって、それぞれ、標準型コンテナを支持する少なくとも1つの荷支持部を備える前記第1のストッカ及び前記第2のストッカと、
前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間に配置された床であって、前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間の入口を規定し、前記入口は、前記第1のストッカと前記第2のストッカとを直接接続して、標準型コンテナが前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間を移動することを許容すると共に、前記入口は、前記第1のストッカにおける前記荷支持部のうちの少なくとも1つ、及び、前記第2のストッカにおける前記荷支持部のうちの少なくとも1つに揃った状態で規定される、床と、
前記第1のストッカにおける前記荷支持部のうちの少なくとも1つ、及び、前記第2のストッカにおける前記荷支持部のうちの少なくとも1つに揃った状態で配置される垂直搬送装置であって、標準型コンテナを、前記入口を介して前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間で移動させるように構成された垂直搬送装置と、を備える、荷保管システム。 - 前記垂直搬送装置は、把持機構を備える巻き上げ機を含み、標準型コンテナ上に設けられた対応する取っ手に選択的に係合して、前記標準型コンテナを前記巻き上げ機の垂直方向下方で移動させる、請求項1に記載の荷保管システム。
- 各前記ストッカは、クレーンをさらに備え、前記巻き上げ機は、前記巻き上げ機の運動を提供する前記クレーンに結合されている、請求項2に記載の荷保管システム。
- 前記第1のストッカの少なくとも1つの荷支持部、及び、前記第2のストッカの少なくとも1つの荷支持部は、それぞれ、2つの脚部を備える棚板を含み、前記2つの脚部は、標準型コンテナを保持するように互いに近接し合って配置された第1の構成と、互いに離隔されて前記垂直搬送装置及び標準型コンテナが前記脚部の間を通過することを許容する第2の構成との間を、互いに対して移動可能である、請求項1に記載の荷保管システム。
- 前記垂直搬送装置は、裏壁をさらに備え、前記脚部は、互いに並行の関係で、前記裏壁に直角である前方方向に伸びており、前記脚部は、前記裏壁に滑動可能に結合されて、前記裏壁に沿って前記第1の構成と前記第2の構成との間を移動可能である、請求項4に記載の荷保管システム。
- 前記垂直搬送装置は、前記入口を通って前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間を伸びる少なくとも1つのレールを含み、前記荷支持部のうちの少なくとも1つが、前記レールに結合されていると共に、前記レールに沿って前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間を移動可能である、請求項1に記載の荷保管システム。
- 前記荷支持部は、標準型コンテナを包囲するハウジングを備え、前記ハウジングは、前記少なくとも1つのレールに結合されている、請求項6に記載の荷保管システム。
- 各前記ストッカにおける前記少なくとも1つの荷支持部は、互いに垂直に揃えられて配置された複数の荷支持部を含む、請求項1に記載の荷保管システム。
- 各前記ストッカは、標準型コンテナを前記複数の荷支持部の間で移動させるクレーンをさらに含む、請求項8に記載の荷保管システム。
- 荷保管システム内において標準型コンテナを、建物の一階にある第1の荷支持部を備える第1のストッカと、前記第1のストッカのすぐ上の建物の二階にある、第2の荷支持部を備える第2のストッカとの間で直接移動させる方法であって、前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間に床が配置されており、前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間の床によって、入口が、前記第1のストッカにおける前記第1の荷支持部、及び、前記第2のストッカにおける前記第2の荷支持部に揃った状態で規定されている、方法において、
前記標準型コンテナを前記第1のストッカ内の前記第1の荷支持部の上に設置するステップと、
前記標準型コンテナを垂直搬送装置に係合させるステップと、
前記標準型コンテナを前記垂直搬送装置と共に、前記入口を介して、前記第1のストッカから前記第2のストッカまで移動させて、前記標準型コンテナを前記第2のストッカ内の前記第2の荷支持部の上に設置するステップと、
前記標準型コンテナを前記垂直搬送装置から離すステップと、を含む方法。 - 前記垂直搬送装置は、把持機構を備える巻き上げ機を含み、前記方法は、前記標準型コンテナに設けられた取っ手に係合して、前記標準型コンテナを前記巻き上げ機の垂直方向下方に配置するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記第1の荷支持部及び前記第2の荷支持部のうちの少なくとも1つは、互いに対して移動可能な一対の脚部を備える棚板を含み、前記方法は、前記脚部を、前記標準型コンテナを保持するように互いに近接し合って配置された第1の構成に互いに対して移動させ、前記脚部を、互いに離隔された第2の構成に移動させ、前記垂直搬送装置と前記標準型コンテナのうちの1つとを、前記脚部の間を通過させるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記垂直搬送装置は、前記入口を通って前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間を伸びる少なくとも1つのレールを含み、前記荷支持部のうちの少なくとも1つが、前記レールに沿って、前記入口を介して前記第1のストッカと前記第2のストッカとの間を移動可能であり、前記方法は、前記荷支持部を、前記レールに沿って前記第1のストッカから、前記入口を通って前記第2のストッカまで移動させるステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記荷支持部は、標準型コンテナを包囲するハウジングを備え、前記ハウジングは、前記少なくとも1つのレールに結合されている、請求項13に記載の方法。
- 前記第1のストッカは、互いに垂直に揃えられて配置された複数の第1の荷支持部を含み、前記第2のストッカは、互いに垂直に揃えられて配置された複数の第2の荷支持部を含む、請求項10に記載の方法。
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