JPH06115615A - 収納庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異サイズの各カセットを収納する。 【構成】 収納棚１の載置部１１には８インチカセット
３、６インチカセット４の各脚３１、４１に対応する８
インチ用ガイド１２、６インチ用ガイド１３が備えら
れ、各カセットを位置決めする。クレーン２は、マスト
２１、昇降台２２、ターンテーブル２３、スライダ２４
を有し、チャックアーム２５、２５は相互に接近離反す
る。チャックアーム２５、２５はコの字形をしており、
上面２５１が８インチカセット３のフリンジ３２に、内
面２５２が６インチカセット４のフリンジ４２に係合し
てハンドリングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、サイズの異なるカセッ
ト、特にシリコンウエハ用のカセットを混在して収納す
るための収納庫に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在稼働しているシリコンウエハの製造
ラインでは、市場の要求に応えて６インチウエハ及び８
インチウエハを混流生産しているという現状がある。６
インチウエハと８インチウエハとの市場での比率は変動
しやすく、そのため、ラインをいずれか一方の専用とは
できないので、６インチ／８インチ共用の製造ラインが
組まれている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】シリコンウエハの搬送
システムにおいても６インチ／８インチの共用であるこ
とが要求されていたが、存在しなかった。

【０００４】よって本発明の目的は、搬送システムにお
いてサイズの異なるカセット、特に異なるサイズのシリ
コンウエハ用カセットを収納することができる収納庫を
提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、異サイズのカセットを収納
するために、異サイズの各カセットの底面の形状と一致
して位置決め可能な形状の載置部を有する収納棚と、異
サイズの各カセットの両側の上縁にそれぞれ備えられた
フリンジに対応するように、上下方向にずらされた複数
の係合部を有する一組のチャックアームを備えたクレー
ンとを含んで収納庫を構成した。

【０００６】請求項２に記載の発明は、異サイズのカセ
ットを収納するために、載置した異サイズの各カセット
が棚側に配置されたストッパに当接するまで滑落する傾
斜面を載置部とした収納棚と、ストッパに当接した各カ
セットの両側の上縁にそれぞれ備えられたフリンジの直
下方から上昇することのできる一組のハンドを備えたク
レーンとを含んで収納庫を構成した。

【０００７】請求項３に記載の発明は、異サイズのカセ
ットを収納するために、異サイズの各カセットの底面の
形状と係合して固定可能な形状の載置部を有するパレッ
トを収納できる収納棚と、該パレットを保持するスライ
ドフォークを備えたクレーンとを含んで収納庫を構成し
た。

【０００８】

【作用】本発明は上記の構成としたので、次のような作
用を奏する。

【０００９】請求項１に記載の発明に係る収納庫におい
ては、異サイズの各カセットは、収納棚の載置部に載置
される。載置部は、各カセットの底面の形状と一致する
形状であって、載置された各カセットを位置決めするこ
とができる。クレーンには、上下方向にずらされた複数
の係合部を有する一組のチャックアームが備えられ、複
数の係合部が異サイズの各カセットの両側の上縁にそれ
ぞれ備えられたフリンジに対応するので、チャックアー
ムにより収納棚との間で異サイズの各カセットのハンド
リングを行うことができる。

【００１０】請求項２に記載の発明に係る収納庫におい
ては、異サイズの各カセットは収納棚の載置部に載置さ
れる。載置部は傾斜面であって、棚側にはストッパが配
置されている。傾斜面に載せられたカセットは、ストッ
パに当接するまで滑落するので、サイズに拘わらずカセ
ットはストッパに当接した一定位置に停止する。クレー
ンには一定位置に停止した各カセットの両側の上縁にそ
れぞれ備えられたフリンジの直下方から上昇することが
できる一組のハンドが備えられているので、各カセット
を収納棚との間で移載することが可能である。

【００１１】請求項３に記載の発明に係る収納庫におい
ては、異サイズの各カセットはパレット上に固定され
る。パレットの載置部は、各カセットの底面の形状と係
合し、固定できるような形状であり、各カセットはパレ
ットに載せられて収納棚に収納される。パレットはクレ
ーンに備えられたスライドフォークにより保持可能なの
で、クレーンは収納棚との間でカセットの載せられたパ
レットの受け渡しを行うことができる。

【００１２】

【実施例】以下図示の実施例について説明する。

【００１３】（第１実施例）図１は、本発明に係る収納
庫の一実施例の一部を示す斜視図であり、図２は同じ実
施例の収納庫にカセットが載置された状態を示す平面
図、図３は同じ実施例におけるチャックアームの動作を
説明する図である。

【００１４】各図において、収納庫は収納棚１とクレー
ン２とからなる。収納棚１は、図では１つのみ示されて
いるが、同様の構造の収納棚１が上下左右方向に多数並
置されて棚連を構成している。また、クレーン２を挟ん
だ反対側にも同様の棚連が設けられている。

【００１５】収納棚１の載置部１１には、４つ１組の８
インチカセット用ガイド１２と、同じく４つ１組の６イ
ンチカセット用ガイド１３とがそれぞれ２組づつ設けら
れており、それぞれ８インチカセット３と６インチカセ
ット４の底面の形状と一致して、カセットを載置部１１
上に位置決め固定できるようになっている。

【００１６】８インチカセット用ガイド１２及び６イン
チカセット用ガイド１３は、図２によく示されているよ
うに、いずれも図２視Ｌ字形の突起であって、Ｌ字形の
内側に各カセット３、４の下面にそれぞれ２本備えられ
ている歯状の脚３１、４１が係合するようになってい
る。８インチカセット用ガイド１２は、２つの脚３１の
前後端及び両外側面に係合して８インチカセット３を固
定し、６インチカセット用ガイド１２は、２つの脚４１
の前後端及び両内側面に係合して６インチカセット４を
固定する。

【００１７】クレーン２は、マスト２１と、マスト２１
に沿って昇降する昇降台２２とからなる。マスト２１は
図示していない走行台車に立設されていて、棚連の間を
移動する。昇降台２２にはカセットを移載するための移
載装置が備えられている。

【００１８】昇降台２２にはターンテーブル２３が取り
付けられており、ターンテーブル２３は昇降台２２に対
して旋回して、両側の棚連のいずれにも対応することが
できるようになっている。ターンテーブル２３にはスラ
イダ２４が立設されており、ターンテーブル２３上を往
復動することができる。スライダ２４からは２本のチャ
ックアーム２５、２５が水平方向に突設されており、２
本のチャックアーム２５、２５は相互に接近離反するよ
うに移動することができる。

【００１９】２本のチャックアーム２５、２５は、断面
がそれぞれの対向する側面が開口したコの字形状であ
り、コの字形状の上面２５１が８インチカセット３用の
係合部となり、内面２５２が６インチカセット４用の係
合部となる。

【００２０】次に本実施例の作用について説明する。収
納棚１に収納されているカセットをクレーン２によって
取り出す場合、まずクレーン１を走行させ、昇降台２２
を昇降させて収納棚１の前面にターンテーブル２３を位
置させる。ターンテーブル２３を旋回させて、チャック
アーム２５、２５を収納棚１に向かって延びる方向に向
ける。

【００２１】この時チャックアーム２５、２５は相互に
離反し、開いた状態にある。またチャックアーム２５、
２５は、図３に２５ａで示されているように、載置され
ている８インチカセット３のフリンジ３２がチャックア
ーム２５の上面２５１よりも高く、６インチカセット４
のフリンジ４２がチャックアーム２５の内面２５２より
も高くなるような高さに配置されている。

【００２２】この位置でスライダ２４を前進させ、チャ
ックアーム２５、２５を収納棚１内に差し込む。そして
チャックアーム２５、２５を相互に接近させるように移
動させて閉じる。開閉ストロークは２段になっており、
チャックアーム２５は２５ａの位置から、８インチカセ
ット３もしくは６インチカセット４の側面に当接する各
位置まで閉じた後、昇降台２２を上昇させる。上昇スト
ロークは１段である。

【００２３】２５ｂは、チャックアーム２５の上面２５
１が上昇の途中で８インチカセット３のフリンジ３２に
係合した状態を示し、２５ｃはチャックアーム２５の内
面２５２が６インチカセット４のフリンジ４２に係合し
た状態を示す。さらにチャックアーム２５を上昇させて
いくと、各カセットはチャックアームに保持されて持ち
上げられる。そしてスライダ２４を後退させてターンテ
ーブル２３の上方にカセットを移動させると、クレーン
２により搬送可能な状態となる。

【００２４】クレーン２から収納棚１にカセットを収納
する時には、上述した過程のほぼ逆の過程を経る。

【００２５】（第２実施例）図４は本発明に係る収納庫
の第２実施例を示す正面図である。同図において、収納
庫を構成する収納棚５は、マトリクス状に複数並べられ
て２つの棚連を構成している。２つの棚連の間をクレー
ン６が走行して、収納棚５に収納される８インチカセッ
ト３、６インチカセット４を搬送する。

【００２６】クレーン６は、レール６１、６１に沿って
走行する走行台車６２と、走行台車６２に立設されたマ
スト６３と、マスト６３に沿って昇降する昇降台６４と
からなる。

【００２７】昇降台６４にはカセットの受け渡しのため
に、ダブルリンクアーム６５、６５が備えられており、
ダブルリンクアーム６５、６５の先端には、それぞれハ
ンド６６、６６が取り付けられている。ハンド６６、６
６は、ダブルリンクアーム６５、６５を伸ばすことによ
り、水平な姿勢を保持しつつ収納棚５中に移動すること
ができる。また、ダブルリンクアーム６５、６５は相互
に接近離反するように移動してハンド６６、６６を開閉
させることができる。

【００２８】図５、６は図４の実施例の１つの収納棚５
を示す拡大正面図及び拡大側面図である。

【００２９】１つの収納棚５は、２つの受台５１、５１
を備え、それぞれ１個づつのカセットを載せることがで
きる。受台５１、５１はフレーム５２から水平方向に突
出したチャネル型の角材５３の上面に並置されている。

【００３０】受台５１を図７に示す。受台５１の上面は
傾斜面５１１となっている。傾斜の角度は水平面に対し
て１３度である。傾斜面５１１の上端近くには２本のガ
イドピン５１２、５１２が取り付けられている。傾斜面
５１１の下端からはストッパ５１３が突き出している。

【００３１】受台５１の傾斜面５１１の上には、図８に
示すように、８インチカセット３は２本の脚３１、３１
で２本のガイドピン５１２、５１２を挟み込むように載
せられ、６インチカセット４は２本の脚３４１、４１が
２本のガイドピン５１２、５１２に挟まれるように載せ
られ、図８視左右方向の位置決めがなされる。

【００３２】また、傾斜面５１１上に載せられた８イン
チカセット３及び６インチカセット４は、傾斜面５１１
上を下方に向かって滑り落ち、カセットの一端がストッ
パ５１３に当接して停止する。よって図５視左右方向の
位置決めがなされる。

【００３３】ハンド６６、６６は、並置された２つの受
台５１、５１に載せられたカセットを把持するために、
それぞれ２か所の把持部６６１、６６２を有する。把持
部６６１、６６２の上縁は受台５１の傾斜面５１１の傾
斜角度と同じ角度で傾斜しており、従って傾斜面５１１
上に載せられた各カセットのフリンジ３２、４２の傾斜
角度と一致している。

【００３４】この実施例において、カセットを収納棚５
から受け取る場合には、まずクレーン６の走行台車６２
と昇降台６４を移動させて、ハンド６６、６６が受台５
１、５１の上に載置された８インチカセット３及び６イ
ンチカセット４を挟み、受け取ろうとする各カセットの
各フリンジ３２、４２よりもやや低い位置で停止させ
る。

【００３５】次にダブルリンクアーム６５、６５を伸ば
してハンド６６、６６を各フリンジの下方に差し入れた
後、ダブルリンクアーム６５、６５を相互に接近させる
方向に作動させて、各カセットの側面に当接するまでハ
ンド６６、６６をそれぞれ閉じる。開閉のストロークは
２段であり、図６に示されているように、８インチカセ
ット３に対してはハンド６６、６６は６６ａの位置から
６６ｂの位置に、６インチカセット４については６６ｃ
の位置にまで閉じる。

【００３６】そして昇降台６５を上昇させると、ハンド
６６、６６の各把持部６６１、６６２が各カセットのフ
リンジ３２、４２に係合してハンドリングを行う。上昇
のストロークも２段であり、ハンド６６ｂは６６ｄの位
置に、ハンド６６ｃは６６ｅの位置に上昇する。これ
は、カセットを把持したハンド６６を引っ込める時に、
カセットの底面が受台５１に当たらないように、ストロ
ークを大きく取る必要があるからである。

【００３７】カセットを把持したハンド６６、６６は、
ダブルリンクアーム６５、６５を縮めることにより昇降
台６４の上方へ移動し、昇降台６４を昇降させ、走行台
車６２を走行させて搬送を行う。カセットを収納棚５に
渡す場合には、以上の過程の逆の過程を経る。

【００３８】（第３実施例）図９は本発明に係る収納庫
の第３実施例の一部を示す斜視図である。

【００３９】同図において、収納庫７は、フレーム７１
から水平方向に突設された２本のアングル材７２、７２
を１組とし、その間にパレット７３を掛け渡すことがで
きる。収納庫７は、上下左右方向にマトリクス状に複数
並んで棚連を構成している。同様の棚連は、クレーン８
を挟んだ反対側にも配置されている。

【００４０】クレーン８は、棚連の間に敷設されたレー
ルに沿って走行する走行台車（図示していない）に立設
されたマスト８１と、マスト８１に沿って昇降する昇降
台８２とを有し、昇降台８２には、昇降台８２に対して
旋回可能なターンテーブル８３が備えられている。ター
ンテーブル８３には、前後進可能なスライドフォーク８
４が設けられている。

【００４１】パレット７３の上面には、第１実施例の収
納棚の載置部と同様の４つ１組の８インチカセット用ガ
イド７３１と、同じく４つ１組の６インチカセット用ガ
イド７３２とがそれぞれ２組づつ設けられており、それ
ぞれ８インチカセット３と６インチカセット４の底面の
形状と一致して、カセットをパレット７３上に位置決め
固定できる。

【００４２】本実施例においてカセットを棚から受け取
る時には、クレーン８を作動させてスライドフォーク８
４をパレット７３の正面の、パレット７３よりもやや低
い位置に配置する。そしてターンテーブル８３を旋回さ
せてスライドフォーク８４を収納棚７の方に向ける。そ
してスライドフォーク８４を前進させ、スライドフォー
ク８４をパレット７３の下に差し込む。

【００４３】この状態で昇降台８２を上昇させると、ス
ライドフォーク８４はアングル材７２、７２の間から上
昇してパレット７３をすくい上げる。そしてスライドフ
ォーク８４を後退させ、ターンテーブル８３上にパレッ
ト７３を位置させて、クレーン８を作動させて搬送す
る。

【００４４】カセットを棚に受け渡す時には、パレット
７３を載せたスライドフォーク８４をアングル材７２、
７２よりもやや高い位置に伸ばし、昇降台８２を下降さ
せると、アングル材７２、７２の間にパレット７３を載
置することができる。

【００４５】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能であることは
言うまでもない。

【００４６】

【発明の効果】以上のように、請求項１に記載の発明に
係る収納庫によれば、異サイズの各カセットは、収納棚
の載置部に位置決めして載置され、クレーンのチャック
アームの上下方向にずらされた複数の係合部が異サイズ
の各カセットの両側の上縁にそれぞれ備えられたフリン
ジに対応するので、チャックアームにより収納棚との間
で異サイズの各カセットのハンドリングを行なうことが
できる。よってこの収納庫は異サイズのカセットを取り
扱うことができ、異サイズカセットの混流ラインに適応
することができる。

【００４７】請求項２に記載の発明に係る収納庫によれ
ば、異サイズの各カセットは収納棚の載置部に載置され
る。載置部は傾斜面であって、棚側にはストッパが配置
されている。傾斜面に載せられたカセットは、ストッパ
に当接するまで滑落するので、サイズに拘わらずカセッ
トはストッパに当接した一定位置に停止する。クレーン
には一定位置に停止した各カセットの両側の上縁にそれ
ぞれ備えられたフリンジの直下方から上昇することがで
きる一組のハンドが備えられているので、各カセットを
収納棚との間で移載することができ、よって異サイズの
カセットを収納することが可能である。

【００４８】請求項３に記載の発明に係る収納庫におい
ては、異サイズの各カセットはパレット上に固定され
る。パレットの載置部は、各カセットの底面の形状と係
合し、固定できるような形状であり、各カセットはパレ
ットに載せられて収納棚に収納される。パレットはクレ
ーンに備えられたスライドフォークにより保持可能なの
で、クレーンは収納棚との間でカセットの載せられたパ
レットの受け渡しを行うことができ、よって異サイズの
カセットを収納することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、請求項１に記載の発明に係る収納庫の
一実施例の一部を示す斜視図である。

【図２】図２は、図１に示した実施例の収納棚の一部を
示す平面図である。

【図３】図３は、図１に示した実施例の収納棚の一部を
示す正面図である。

【図４】図４は、請求項２に記載の発明に係る収納庫の
一実施例を示す概略正面図である。

【図５】図５は、図４に示した実施例の収納棚の一部を
示す拡大正面図である。

【図６】図６は、図４に示した実施例の収納棚の一部を
示す拡大側面図である。

【図７】図７は、図４に示した実施例の収納棚の受台の
構成を示す斜視図である。

【図８】図８は、図４に示した実施例の収納棚の受台の
一部を切り欠いて示す側面図である。

【図９】図９は、請求項３に記載の発明に係る収納庫の
一実施例の一部を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 収納棚 １１ 載置部 １２ ８インチ用ガイド １３ ６インチ用ガイド ２ クレーン ２１ マスト ２２ 昇降台 ２３ ターンテーブル ２４ スライダ ２５ チャックアーム ２５１ 上面 ２５２ 内面 ３ ８インチカセット ３１ 脚 ３２ フリンジ ４ ６インチカセット ４１ 脚 ４２ フリンジ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 異サイズのカセットを収納するために、
   異サイズの各カセットの底面の形状に一致して位置決め
   可能な形状の載置部を有する収納棚と、異サイズの各カ
   セットの両側の上縁にそれぞれ備えられたフリンジに対
   応するように、上下方向にずらされた複数の係合部を有
   する一組のチャックアームを備えたクレーンとを含むこ
   とを特徴とする収納庫。
2. 【請求項２】 異サイズのカセットを収納するために、
   載置した異サイズの各カセットが棚側に配置されたスト
   ッパに当接するまで滑落する傾斜面を載置部とした収納
   棚と、ストッパに当接した各カセットの両側の上縁にそ
   れぞれ備えられたフリンジの直下方から上昇することの
   できる一組のハンドを備えたクレーンとを含むことを特
   徴とする収納庫。
3. 【請求項３】 異サイズのカセットを収納するために、
   異サイズの各カセットの底面の形状と係合して固定可能
   な形状の載置部を有するパレットを収納できる収納棚
   と、該パレットを保持するスライドフォークを備えたク
   レーンとを含むことを特徴とする収納庫。