KR20130088731A - 반송 로봇 - Google Patents

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KR20130088731A
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마사토시 후루이치
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

실시예에 따른 반송 로봇은 아암 및 본체를 포함한다. 아암에는 박판형 가공대상물을 반송하는 로봇 핸드가 말단부에 제공되며, 아암은 수평 방향으로 동작한다. 본체는 아암을 승강시키는 승강 기구를 포함한다. 반송 로봇에서, 본체의 적어도 일부는 박판형 가공대상물을 위한 수납 용기를 개폐하는 개폐 장치에 그리고 박판형 가공대상물을 처리하는 처리실에 연결되는 반송실의 측벽의 외부에 배치된다.

Description

반송 로봇{TRANSFER ROBOT}
본 명세서에 논의된 실시예는 반송 로봇에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 또는 액정 패널과 같은 박판형 가공대상물(workpiece)을 반송하는 반송 로봇이 종래에 알려져 있다.
또한, 예를 들어, 복수의 반도체 웨이퍼가 다수의 스테이지로 수납되는 수납 용기와 처리실 사이에 제공된 국소 클린 룸(clean room)(이하, "반송실"로 지칭됨) 내에 그러한 로봇을 설치하는 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 일본 특허 출원 공개 제 2008-28134 호 참조). 반송실은 수납 용기와 처리실 사이에 설치되는 것으로 한정되지 않음에 유의한다.
그러나, 반송 로봇이 반송실 내에 설치된 경우, 이와 같이 설치된 반송 로봇은 반송실 내의 미리결정된 점유 공간을 필요로 한다. 이러한 이유로, 반송실 내의 충분한 공간을 보장하려는 관점에서 반송실 내에 설치된 반송 로봇에는 개선의 여지가 있다.
예를 들어, 반송실 내의 불충분한 공간은 반송 로봇의 정비성에 있어서의 저하를 야기한다. 그러나, 정비성에 있어서의 저하를 방지하려는 시도는 반송실 내의 전체 공간의 증가, 즉 반송실의 크기의 증가를 필요로 한다.
전술된 내용을 고려해, 반송실 내의 공간을 효율적으로 이용할 수 있는 반송 로봇을 제공하는 것이 본 실시예의 일 태양의 목적이다.
실시예에 따른 반송 로봇은 아암 및 본체를 포함한다. 아암에는 박판형 가공대상물을 반송하는 로봇 핸드가 말단부에 제공되며, 아암은 수평 방향으로 동작한다. 본체는 아암을 승강시키는 승강 기구를 포함한다. 반송 로봇에서, 본체의 적어도 일부는 박판형 가공대상물을 위한 수납 용기를 개폐하는 개폐 장치에 그리고 박판형 가공대상물을 처리하는 처리실에 연결되는 반송실의 측벽의 외부에 배치된다.
실시예에 태양에 따르면, 반송실 내의 공간을 효율적으로 이용하는 것이 가능하다.
첨부 도면과 관련하여 고려될 때 하기의 상세한 설명을 참조함으로써 더 잘 이해되기 때문에 본 발명의 보다 완전한 인식 및 본 발명의 부수적인 이점의 대다수가 용이하게 얻어질 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 반송실의 평면도,
도 2는 본 실시예에 따른 반송 로봇의 개략 사시도,
도 3은 본 실시예에 따른 반송 로봇의 평면도,
도 4는 승강 기구의 측면도,
도 5는 승강 기구의 평면도,
도 6은 차폐 부재의 측면도.
본 명세서에 개시된 반송 로봇의 일 실시예가 첨부 도면을 참조해 하기에서 상세하게 설명될 것이다. 본 발명은 하기에 예시된 실시예로 한정되지 않음에 유의한다.
먼저, 본 실시예에 따른 이러한 반송 로봇(10)이 도 1을 사용해 설명될 것이다. 도 1은 본 실시예에 따른 반송실(1)의 평면도이다. 도 1의 형상의 일부는 설명을 용이하게 하기 위해 단순화된 방식으로 예시되어 있음에 유의한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 반송실(1)에는 개폐 장치(5)와 처리실(3)(또는 처리실(3)과 연통하는 부분일 수 있음) 둘 모두가 제공되며, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)이 배열된다. 반송실(1)은 EFEM(equipment front end module)로 일반적으로 불리는 국소 클린 룸을 말한다. 이러한 반송실(1)에는 그것의 상부 부분에 기체를 정화하기 위한 필터(도시되지 않음)가 제공되며, 필터에 의해 정화되고 하방으로 유동하는 기체 유동은 하우징의 내부를 청정화시킨다.
개폐 장치(5)는 수납 용기(2) 상에 제공된 개폐 기구를 개폐하기 위한 장치이며, 반송실(1)의 측벽 상에 형성된 개구에 설치된다. 개폐 장치(5)는, 예를 들어 로드 포트(load port) 또는 FOUP 오프너(opener)로 불리고, 일반적으로 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 준거한 장치이다.
SEMI 규격은 반송실(1)의 측벽 상에 형성된 개구들의 위치 및 이들 사이의 간격을 또한 규정하고 있다. 따라서, 반송실(1)이 또한 SEMI 규격에 준거하고 있다. 예를 들어, 300 mm의 직경을 갖는 반도체 웨이퍼를 처리하는 반송실(1)의 경우에, SEMI 규격은 개폐 장치(5)들 사이의 설치 간격이 505 mm가 되도록 규정하고 있다.
수납 용기(2)는 반도체 웨이퍼 또는 액정 패널과 같은 복수의 박판형 가공대상물(이하, "웨이퍼(4)"로 지칭됨)을 높이 방향으로 다수의 스테이지로 수납할 수 있는 박스형 용기이며, 전면(front face)에 개폐 기구를 갖는다. 수납 용기(2)는 예를 들어 SEMI 규격에 규정된 FOUP(front-opening unified pod)로 불리는 장치이다.
수납 용기(2)는 그것의 개폐 기구측에서 개폐 장치(5)와 접촉하도록 로딩되고, 이에 따라 개폐 장치(5)는 개폐 기구 및 개폐 장치(5) 상에 형성된 도어들 각각을 개폐한다.
처리실(3)은 화학 증착(chemical vapor deposition, CVD), 노광, 에칭, 및 애싱(ashing)과 같은 미리결정된 처리를 웨이퍼(4)에 가하는 장치가 설치되는 룸이다.
반송 로봇(10)은 피반송물로서 역할을 하는 웨이퍼(4)를 유지할 수 있는 로봇이다. 구체적으로, 반송 로봇(10)에는 본체(11), 아암 구동 유닛(12), 지지체(13), 및 아암(20)이 제공된다.
아암(20)은 피반송물로서 역할을 하는 웨이퍼(4)를 유지할 수 있는 로봇 핸드(이하, "핸드(23)"로 지칭됨)를 갖는다. 아암(20)은 승강 기구가 제공된 본체(11)의 지지체(13)에 연결된 아암 구동 유닛(12)의 상부에 수평 방향으로 회전가능하도록 지지된다.
그러한 구성에 의해, 반송 로봇(10)은, 아암(20)을 승강시키고 회전시키면서, 수납 용기(2)로부터 웨이퍼(4)를 취출하여 웨이퍼(4)를 핸드(23) 상에 배치할 수 있고, 웨이퍼(4)를 처리실(3)들 중 미리결정된 하나로 반송할 수 있으며, 웨이퍼(4)를 목표로 하는 위치로 반송할 수 있다. 아암(20)의 상세 사항이 도 2를 사용해 나중에 설명될 것이다.
여기서, 종래 기술에 따르면, 반송 로봇이 반송실(1) 내에 설치되는 경우, 이와 같이 설치된 반송 로봇은 반송실(1) 내의 미리결정된 점유 공간을 필요로 한다. 이러한 이유로, 반송실(1) 내의 충분한 공간을 보장하려는 관점에서 반송실(1) 내에 설치된 반송 로봇에는 개선의 여지가 있다.
예를 들어, 반송실(1) 내의 불충분한 공간은 작업자가 좁은 공간 내에서 반송 로봇에 대한 정비 작업을 수행하도록 강요하고, 이에 따라 반송 로봇의 정비성에 있어서의 저하를 야기한다. 그러나, 정비성에 있어서의 저하를 방지하려는 시도는 반송실(1) 내의 전체 공간의 증가, 즉 반송실(1)의 크기의 증가를 필요로 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 반송 로봇(10)의 본체(11)가 반송실(1) 외측에 설치되는 한편, 아암 구동 유닛(12) 및 아암(20)은 반송실(1)의 내측에 설치된다. 이러한 구성에 의해, 반송실(1) 내의 본체(11)의 점유 공간이 제거될 수 있고, 이에 따라 반송실(1) 내의 공간이 효과적으로 사용될 수 있다.
작업자가 반송 로봇(10)에 대한 정비 작업을 수행하는 경우에, 작업자는 아암 구동 유닛(12) 및 아암(20) 상에서보다 더 자주 본체(11) 상에서 작업을 수행한다. 이는 아암(20)이 그것의 내측에 작업자에 의해 조정되는 부분을 더 적게 갖기 때문이다.
대조적으로, 본체(11)에는 직선 운동 가이드, 볼 스크류 등, 및 또한 웨이퍼(4)의 유지를 제어하는 공기압 장치(도시되지 않음)가 배열된다. 따라서, 직선 운동 가이드, 볼 스크류 등의 그리싱(greasing), 및 공기압 장치의 조정과 같은 다수의 정비 작업 항목이 본체(11) 상에서 수행된다.
이러한 방식으로, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 정비 작업이 종종 수행되는 본체(11)는 반송실(1) 외측에 설치되고, 이에 의해 많은 작업 항목이 반송실(1)의 외측에서 수행될 수 있다.
이러한 이유로, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 작업자는 좁은 공간 내에서 작업을 할 필요가 없고, 이에 따라 부담을 덜 수 있으며, 또한 정비 작업으로 인한 먼지가 반송실(1) 내에서 발생하는 것이 억제될 수 있다.
더욱이, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 아암(20)을 반송실(1) 내에서 상방 또는 하방으로 후퇴시킴으로써, 작업자가 반송실(1) 내에서 반송 로봇(10) 이외의 정비를 수행할 때 작업자에게 넓은 공간은 제공하는 것이 또한 가능하다.
다음에, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 상세 사항이 도 2를 사용해 설명될 것이다. 도 2는 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 개략 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 반송 로봇(10)은 수평 방향으로 연장 및 수축하는 2개의 연장가능한 아암이 제공된 수평 관절형 로봇이다. 구체적으로, 반송 로봇(10)에는 본체(11), 아암 구동 유닛(12), 지지체(13), 슬릿(14), 커버(15), 및 아암(20)이 제공된다.
본체(11)는 지지체(13)를 통해 아암 구동 유닛(12)에 연결된다. 본체(11)에는 지지체(13)에 대향하는 그것의 측면에 개폐가능한 커버(15)가 제공된다. 커버(15)는 본체(11) 내의 정비 작업 동안에 작업자에 의해 개폐된다. 커버(15)는 분리가능한 판형 커버일 수 있거나, 피벗으로서 역할을 하는 힌지결합 부분을 중심으로 호를 그리며 개폐되는 힌지식 도어일 수 있다.
본체(11)에는 승강 기구가 제공되며, 승강 기구를 사용해, 수직 방향으로 개구된 슬릿(14)을 따라 아암 구동 유닛(12) 및 아암(20)을 승강시킨다. 승강 기구의 상세 사항이 도 4 및 도 5를 사용해 나중에 설명될 것이다.
아암(20)은 아암 구동 유닛(12)에 연결되는 유닛이다. 구체적으로, 아암(20)에는 제 1 아암(21), 제 2 아암(22), 및 핸드(23)가 제공된다. 또한, 핸드(23)에는 제 3 아암(23a)이 제공되며, 제 3 아암(23a)에는 이어서 그것의 선단부에 웨이퍼(4)를 유지하는 엔드 이펙터(end effector)(23b)가 제공된다.
본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 제 1 아암(21), 제 2 아암(22), 및 핸드(23)로 구성된 단일 아암(20)을 갖는 단일-아암 로봇이 설명될 것이다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 반송 로봇(10)은 2개의 아암(20)을 갖는 이중-아암 로봇일 수 있거나, 3개 이상의 아암(20)이 제공되도록 구성될 수 있다.
이중-아암 로봇의 경우에, 2개의 동작이 다음과 같이 그러한 방식으로 병행으로 동시에 수행될 수 있다: 아암(20)들 중 하나는 미리결정된 반송 위치로부터 웨이퍼(4)들 중 하나를 취출하는 데 사용되는 한편, 아암(20)들 중 다른 것은 웨이퍼(4)들 중 새로운 하나를 미리결정된 반송 위치로 이송하는 데 사용된다. 더욱이, 반송 로봇(10)은 단일 제 2 아암(22)에 2개 이상의 핸드(23)가 제공되도록 구성될 수 있다.
아암 구동 유닛(12)은 아암(20)의 하부 부분에 제공된 유닛이며, 아암 구동 유닛(12)에는 모터, 감속 기어, 및 다른 부품으로 구성된 선회 기구가 제공된다. 아암(20)은 아암 구동 유닛(12)에 대해 회전가능하도록 지지되며, 선회 기구를 사용함으로써 회전된다.
제 1 아암(21)의 기단부는 아암 구동 유닛(12)의 상부에 지지되고, 제 2 아암(22)의 기단부는 제 1 아암(21)의 선단부의 상부에 지지되며, 이들 기단부 각각은 회전가능한 방식으로 지지되고 모터, 감속 기어, 및 다른 부품으로 구성된 선회 기구를 사용함으로써 회전된다.
또한, 제 3 아암(23a)은 제 2 아암(22)의 선단부에 회전가능하게 연결된다. 제 3 아암(23a)에는 그것의 선단부에 웨이퍼(4)를 유지하기 위한 엔드 이펙터(23b)가 제공되며, 엔드 이펙터(23b)는 제 1 아암(21), 제 2 아암(22), 및 제 3 아암(23a)의 회전 작동과 함께 이동한다. 반송 로봇(10)은 제 1 아암(21) 및 제 2 아암(22)을 동기적으로 작동시킴으로써 제 3 아암(23a) 및 엔드 이펙터(23b)를 직선적으로 이동시킨다.
여기에서 모터, 감속 기어, 및 다른 부품으로 구성된 선회 기구가 아암 구동 유닛(12)의 내측에 제공되지만, 모터와 같은 선회 기구의 일부가 본체(11) 내에 수용될 수 있다.
다음에, 반송 로봇(10)의 설치 위치가 도 3을 사용해 설명될 것이다. 도 3은 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 반송 로봇(10)은 본체(11)가 반송실(1)의 외부(51)에 위치되는 한편 아암 구동 유닛(12) 및 지지체(13)가 반송실(1)의 내부(52)에 위치되도록 반송실(1)의 측벽 상에 형성된 개구(6)에 설치된다.
예를 들어, 본체(11)는 개구(6)의 상부 부분에 제공된 후크형 부재 상에 매달리도록 장착된다. 아암 구동 유닛(12)이 개구(6)의 폭 이하의 폭을 갖도록 구성된 경우, 작업자는 단지 반송실(1)의 외부(51)로부터 개구(6) 내로 반송 로봇(10)을 삽입하는 것이 필요할 뿐이고, 이에 따라 반송 로봇(10)을 용이하게 설치할 수 있다.
개구(6)는 개폐 장치(5)를 설치하기 위해 반송실(1)의 측벽에 미리 제공된 개구이며, SEMI 규격에 준거하고 있다. 반송 로봇(10)은 반송실(1) 상에 형성된 그러한 개구(6)들 중 임의의 것에 설치될 수 있다.
예를 들어, 3개의 개구(6)가 반송실(1)의 종방향 측벽 상에 형성된다면, 반송 로봇(10)은 중심에 있는 개구(6)에 설치된다. 반송 로봇(10)은 다른 개구(6)에 로딩된 수납 용기(2)로 핸드(23)를 이동시키고 수납 용기(2) 내에 수납된 웨이퍼(4)를 취출한다.
반송 로봇(10)은 또한 처리실(3) 측에 있는 개구(6)들 중 하나에 설치될 수 있다. 이러한 방식으로, 반송 로봇(10)은 SEMI 규격에 준거한 개구(6)가 제공된 반송실(1)에 있는 개구(6)들 중 임의의 하나에 용이하게 설치될 수 있다.
따라서, 반송실(1)은 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)을 설치하기 위해 변경될 필요가 없다. 따라서, 반송 로봇(10)은 설치를 위해 필요한 비용을 감소시키고 반송실(1) 내의 공간을 효율적으로 이용하는 것을 가능하게 한다.
여기서, 반송 로봇(10)은 반송실(1)의 외부(51)에 본체(11)를 위치시키도록 설치된다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 반송 로봇(10)은 본체(11)의 일부가 반송실(1)의 내부(52)에 침입하도록 개구(6) 내에 매설될 수 있다.
더욱이, 반송 로봇(10)이 SEMI 규격에 준거한 개구(6)에 설치되지만, 실시예는 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 개구는 단지 반송 로봇(10)의 본체(11)를 반송실(1)의 외부(51)에 위치시키고 반송 로봇(10)의 아암 구동 유닛(12) 및 지지체(13)를 반송실(1)의 내부에 위치시키도록 반송 로봇(10)이 설치될 수 있는 개구일 것이 필요할 뿐이다.
이러한 경우에, 개구가 SEMI 규격에 준거하지 않더라도, 반송 로봇(10)은 개구의 폭 이하의 폭을 갖도록 아암 구동 유닛(12)을 구성함으로써 반송실(1)의 외부(51)로부터 개구에 용이하게 설치될 수 있다.
다음에, 승강 기구의 상세 사항이 도 4 및 도 5를 사용해 설명될 것이다. 도 4는 승강 기구의 측면도이고, 도 5는 승강 기구의 평면도이다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 승강 기구로서, 직선 운동 가이드(30)가 본체(11)의 내부측의 측벽 상에 제공되고, 볼 스크류(31)가 본체(11) 내에 제공되며, 이들 둘 모두는 수직 방향을 따라 제공된다. 지선 운동 가이드(30)는 가이드 레일(30a) 및 슬라이더(30b)로 구성되고, 볼 스크류(31)는 볼 스크류 샤프트(31a) 및 볼 스크류 너트(31b)로 구성된다. 본체(11)에는 내부에 모터(32), 벨트(33), 및 풀리(34)가 제공된다.
벨트(33)는 모터(32)의 출력 샤프트에 고정된 풀리(34), 및 볼 스크류 샤프트(31a)에 고정된 풀리(34) 주위에 권취된다. 이러한 구성에 의해, 벨트(33)는 모터(32)의 구동력을 볼 스크류 샤프트(31a)로 전달한다. 볼 스크류 샤프트(31a)는 모터(32)의 전달된 구동력에 의해 회전된다.
볼 스크류 너트(31b)는 볼 스크류 너트(31b) 내에 삽입된 볼 스크류 샤프트(31a)의 회전의 결과로서 볼 스크류 샤프트(31a)의 회전축을 따라 위아래로 이동한다.
직선 운동 가이드(30)는 슬라이더(30b)를 가이드 레일(30a)의 방향으로(수직 방향으로의) 원활하게 직선 운동시키기 위한 부재이다.
슬라이더(30b)는 볼 스크류 너트(31b)에 연결되고, 이에 따라 볼 스크류 너트(31b)가 위아래로 이동할 때 볼 스크류 샤프트(31a)의 회전축과 평행하게, 즉 수직 방향을 따라 똑바로 직선적으로 이동한다. 슬라이더(30b)는 또한 지지체(13)를 통해 아암 구동 유닛(12)에 연결되고, 이에 따라 아암 구동 유닛(12) 및 아암(20)은 슬라이더(30b)가 직선적으로 이동할 때 수직 방향을 따라(도 4의 화살표) 위아래로 이동한다.
이러한 방식으로, 승강 기구는 직선 운동 가이드(30), 볼 스크류(31), 및 모터(32)를 포함하도록 구성되고, 이에 따라 모터(32)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환시킴으로써 아암 구동 유닛(12)을 수직 방향을 따라 승강시킨다. 그 결과, 아암 구동 유닛(12)의 상부 상에 제공된 아암(20)은 위아래로 이동한다.
전술된 바와 같이 본체(11)의 내부측에 측벽을 따라 제공된 직선 운동 가이드(30)는 가이드 레일(30a)이 본체(11)의 내부측의 측벽 내에 매설되도록 설치될 수 있다.
승강 기구는 전술된 바와 같은 볼 스크류(31)를 사용해 지지체(13), 아암(20), 및 다른 부품을 승강시킨다. 그러나, 승강 기구는 수직 방향을 따라 제공된 벨트를 사용해 지지체(13), 아암(20), 및 다른 부품을 승강시킬 수 있다.
종래 기술에 따르면, 본체는 반송 로봇의 아암의 하부에 제공된다. 이러한 이유로, 아암은 본체 아래로 내려갈 수 없고, 그에 따라 핸드의 가동 범위가 제한된다.
따라서, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)은 승강 기구가 제공된 본체(11)를 반송실(1)의 외부(51)에 위치시키도록 설치된다. 그 결과, 반송 로봇(10)은 수직 방향에 있어서 아암(20)의 보다 넓은 승강 범위를 가질 수 있고, 이에 따라 핸드(23)의 보다 넓은 가동 범위를 가질 수 있다.
아암(20)이 위아래로 이동할 때, 직선 운동 가이드(30)가 사이에 개재된 상태로 서로 대향하는 위치에 제공된 한 쌍의 지지체(13)는 도 5에 도시된 바와 같이 수직 방향으로 개구된 슬릿(14)을 따라 위아래로 이동한다. 지지체(13)가 그때에 원활하게 위아래로 이동하게 하기 위해, 슬릿(14)은 지지체(13)의 폭보다 더 큰 폭을 갖도록 구성된다.
이러한 구성으로 인해, 슬릿(14)과 지지체(13) 사이에 간극이 존재하는 경우, 반송실(1)의 청정한 내부는 직선 운동 가이드(30), 볼 스크류(31), 풀리(34), 및 벨트(33)에 의해 야기되는 먼지 발생에 의해 오염된다. 따라서, 본 실시예에 따른 반송 로봇(10)의 경우에, 슬릿(14)의 개구는 슬릿(14)의 폭보다 큰 폭을 갖는 차폐 부재(35)에 의해 덮인다.
여기서, 반송 로봇(10)에는 직선 운동 가이드(30)가 사이에 개재된 상태로 서로 대향하는 위치에 한 쌍의 지지체(13)가 제공된다. 그러나, 반송 로봇(10) 내에 제공된 지지체(13)들 중 하나만이 전술된 바와 같은 승강 기구에 연결되도록 구성될 수 있다. 이러한 구성에 의해, 반송 로봇(10)의 승강 기구는 중량이 감소될 수 있다.
다음에, 차폐 부재(35)의 상세 사항이 도 6을 사용해 설명될 것이다. 도 6은 차폐 부재(35)들 중 하나의 측면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본체(11)에는 슬릿(14)의 개구를 덮도록 본체(11)의 내부측에 측벽을 따라 차폐 부재(35)가 제공된다. 차폐 부재(35)는 환형이고, 그것의 양단부는 승강 기구에 의해 승강되는 지지체(13)의 상부(13a) 및 하부(13b)에 연결된다.
차폐 부재(35)는 슬릿(14)의 상부 단부측 및 하부 단부측에 각각 제공된 롤러(35a, 35b) 상에 권취된다. 롤러(35a, 35b)는 지지체(13)의 승강에 의해 유발되는 차폐 부재(35)의 이동과 함께 회전한다(도 6의 화살표 참조).
그 결과, 슬릿(14)의 개구는 지지체(13)가 위아래로 이동할 때 차폐 부재(35)에 의해 항상 덮인다.
이러한 방식으로 구성되는 것에 의해, 반송 로봇(10)은 반송실(1)의 내부가 직선 운동 가이드(30), 볼 스크류(31), 풀리(34), 및 벨트(33)에 의해 야기되는 먼지 발생에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
차폐 부재(35)가 지지체(13)의 위 및 아래에 제공된 롤러(35a, 35b) 주위에 권취됨으로써 회전하도록 구성되지만, 실시예는 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 차폐 부재(35)는 예를 들어 벨로즈형 커튼(bellows-like curtain)일 수 있다. 이러한 경우에, 롤러(35a, 35b)가 필요하지 않기 때문에 비용 절감이 가능하다.
전술된 바와 같이, 본 실시예에 따른 반송 로봇의 경우에, 반송 로봇의 본체는 반송실의 외측에 설치되는 한편 아암 구동 유닛 및 아암은 반송실의 내측에 설치된다. 또한, 본 실시예에 따른 반송 로봇의 경우에, 개폐가능한 커버가 지지체에 대향하는 측면 상에 제공되고, 슬릿의 개구는 슬릿의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 차폐 부재에 의해 덮인다.
이러한 방식으로 구성됨으로써, 본 실시예에 따른 반송 로봇은 반송실 내의 공간을 효율적으로 이용할 수 있다. 본 실시예에 따른 반송 로봇은 또한 반송 로봇의 정비성 및 반송실의 내부의 정비성도 개선할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 반송 로봇은 반송실의 청정한 내부가 먼지 발생에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
1 : 반송실 2 : 수납 용기
3 : 처리실 4 : 웨이퍼
5 : 개폐 장치 10 : 반송 로봇
11 : 본체 12 : 아암 구동 유닛
13 : 지지체 15 : 커버
20 : 아암 21 : 제 1 아암
22 : 제 2 아암 23 : 핸드
23a : 제 3 아암 23b : 엔드 이펙터
51 : 외부 52 : 내부

Claims (7)

  1. 반송 로봇에 있어서,
    박판형 가공대상물(workpiece)을 반송하는 로봇 핸드가 말단부에 제공되고, 수평 방향으로 동작하는 아암(arm); 및
    상기 아암을 승강시키는 승강 기구를 구비하는 본체를 포함하며,
    상기 본체의 적어도 일부는 상기 박판형 가공대상물을 위한 수납 용기를 개폐하는 개폐 장치에 그리고 상기 박판형 가공대상물을 처리하는 처리실에 접속된 반송실의 측벽의 외부에 배치되는
    반송 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체는 상기 승강 기구를 상기 반송실의 상기 측벽의 외부에 위치시키도록 상기 반송실에 장착되는
    반송 로봇.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 아암은 상기 본체의 상기 반송실측에 제공된 수직 방향의 슬릿(slit)을 통과하는 지지체를 거쳐서 상기 승강 기구에 연결되는
    반송 로봇.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 슬릿과 상기 승강 기구 사이에 제공되고, 상기 지지체의 양 동작 방향으로 접속되어 상기 슬릿을 덮는 차폐 부재를 더 포함하는
    반송 로봇.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 본체는 상기 반송실을 상부로부터 볼 때 2개의 상기 개폐 장치 사이에 배치되는
    반송 로봇.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 본체는 상기 반송실로부터 돌출하는 부분에 개폐가능한 커버를 포함하는
    반송 로봇.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 본체의 폭은 상기 반송실의 상기 측벽 상에 장착되는 상기 개폐 장치의 폭 이하이고,
    상기 아암을 구성하는 부재의 최대 폭은 상기 개폐 장치가 장착되는 개구의 폭 이하인
    반송 로봇.
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