CN103183233A

CN103183233A - 基板输送装置

Info

Publication number: CN103183233A
Application number: CN2011104511962A
Authority: CN
Inventors: 黄正栋
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2011-12-29
Filing date: 2011-12-29
Publication date: 2013-07-03

Abstract

一种基板输送装置，其包含有至少一位移组，其具有至少一悬臂与一升降模块与一横移模块，该横移模块设于输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间；如前所述，通过升降模块及横移模块，以达到悬臂升降横移的效果，进而能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。

Description

基板输送装置

技术领域

本发明为一种基板输送装置，尤指一种可改变基板位置，以交换至少一基板的输送装置。

背景技术

现有的基板交换装置，都是在输送带和制程机台中间放置一台双臂的机械手臂(Dual Arm Robot)，通过机械手臂的第一臂伸出将输送带上的基板拿起，缩回手臂并旋转180度，然后用第二臂伸出将制程机台中的基板拿起，缩回手臂的后再伸出将第一臂上的基板放到制程机台中并缩回手臂，最后再旋转180度伸出第二臂将拿回的基板放到输送带上并缩回手臂，以完成基板交换的程序。

如上所述，现有以机械手臂为主的基板交换装置虽可达到传输基板的目的，但是在输送带和制程机台的中间必须有一台双臂的机械手臂，不但浪费空间及增加成本，而且交换基板的程序因机械手臂要做两次旋转180度及多次伸出缩回的动作而浪费许多时间。

发明内容

有鉴于上述的缺点，本发明的目的在于提供一种基板输送装置，其能够不用机械手臂，节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。

为了达到上述的目的，本发明的技术手段在于提供一种基板输送装置，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：

至少一位移组，其设于该机台的一侧，该位移组具有至少一悬臂、一升降模块与一横移模块，该横移模块设于该输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块上，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间。

所述的基板输送装置，其中，进一步具有至少一滑块，该滑块设于该升降模块的底部，该滑块使该横移模块移动。

所述的基板输送装置，其中，进一步具有一升降杆，该升降杆的一端耦接于该升降模块。

所述的基板输送装置，其中，进一步具有一悬臂支撑杆，该悬臂支撑杆耦接该升降杆，该悬臂支撑杆与该悬臂的一端相连接。

所述的基板输送装置，其中，该升降杆为一升降螺杆。

所述的基板输送装置，其中，进一步具有另一位移组，其设于该机台的另一侧。

如上所述，本发明的基板输送装置，其利用一悬臂支撑杆及升降模块及横移模块，以达到多个悬臂上下升降及横移的效果，能够不用旋转，直接将输送轮上的基板放到制程机台或直接从制程机台将基板取回放到输送轮上。

另外，本发明的结构及动作较为简单，所以能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。

附图说明

图1为本发明的基板输送装置的第一实施例的立体示意图；

图2为本发明的基板输送装置的第一实施例的示意图；

图3为本发明的位移组的动作示意图；

图4为本发明的基板输送装置传输基板的动作示意图；

图5为本发明的基板输送装置的第二实施例的立体示意图；

图6为本发明的基板输送装置的第三实施例的立体示意图。

附图标记说明：10-机台；11-第一导孔；12-第二导孔；20-输送轮；30-第一位移组；31-第一横移模块；32-第一升降模块；320-滑块；33-第一升降杆；34-第一悬臂；35-第一悬臂支撑杆；40-第二位移组；41-第二横移模块；42-第二升降模块；420-滑块；43-第二升降杆；44-第二悬臂；45-第二悬臂支撑杆；50-基板。

具体实施方式

以下凭借特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。

请配合参考图1所示，其为本发明的基板输送装置的第一实施例，该基板输送装置应用于一机台10，机台10的两相对侧分别具有一第一导孔11与一第二导孔12，多个输送轮20设于机台10的顶部，并且位于第一导孔11与第二导孔12之间，该基板输送装置具有一第一位移组30与一第二位移组40。

第一位移组30具有一第一横移模块31、一第一升降模块32、一第一升降杆33、多个第一悬臂34与第一悬臂支撑杆35。

第一横移模块31设于机台10的内部并设于输送轮20的下方，并且相对于第一导孔11。

第一升降模块32可移动地设于第一横移模块31上，第一升降模块32的底部具有至少一个滑块320，滑块320使第一升降模块32得以于第一横移模块31处横向移动。

第一升降杆33的一端耦接于第一升降模块32，以使第一升降杆33得以受到第一升降模块32的动力驱动，进而带动第一悬臂支撑杆35相对于第一升降模块32进行上下移动，第一升降杆33的另一端由第一导孔11延伸至机台10上方，举例而言，第一升降杆33可为一升降螺杆，其受到第一升降模块32的动力驱动旋转，进而带动第一悬臂支撑杆35相对于第一升降模块32进行上下移动。

多个第一悬臂34的一端连接于第一悬臂支撑杆35，第一悬臂支撑杆35则以螺杆座和第一升降杆33耦合并随着第一升降杆33的旋转而上下移动，多个第一悬臂34的另一端可选择性延伸至输送轮20之间。

第二位移组40具有一第二横移模块41、一第二升降模块42、一第二升降杆43、多个第二悬臂44与第二悬臂支撑杆45。

第二横移模块41设于机台10的内部，并且相对于第二导孔12。

第二升降模块42可移动地设于第二横移模块41上，第二升降模块42的底部具有至少一个滑块420，滑块420使第二升降模块42得以于第二横移模块41处横向移动。

第二升降杆43的一端耦接于第二升降模块42，以使第二升降杆43得以受到第二升降模块42的动力驱动，进而带动第二悬臂支撑杆45相对于第二升降模块42进行上下移动，第二升降杆43的另一端由第二导孔12延伸至机台10上方，承上所述，第二升降杆43可为一升降螺杆，其受到第二升降模块42的动力驱动旋转，进而带动第二悬臂支撑杆45相对于第二升降模块42进行上下移动。

多个第二悬臂44的一端连接于第二悬臂支撑杆45，第二悬臂支撑杆45则以螺杆座和第二升降杆43耦合并随着第二升降杆43的旋转而上下移动，多个第二悬臂44的另一端可选择性延伸至输送轮20之间。

请配合参考图2、图3所示，因第一升降杆33受到第一升降模块32的驱动，以及第二升降杆43受到第二升降模块42的驱动，而使得第一悬臂支撑杆35与第二悬臂支撑杆45得以上下升降移动，第一升降模块32与第二升降模块42分别受到滑块320、420的带动，第一升降模块32与第二升降模块42得以于横向往复移动，如前所述的上下升降移动与横向往复移动，其会使得多个第一悬臂34与多个第二悬臂44二者呈一交错式往复移动，举例而言，当多个第一悬臂34的延伸端位于输送轮20之间时，多个第二悬臂44则位于多个第一悬臂34的前方，多个第二悬臂44上升至一预设高度，并且多个第二悬臂44的延伸端延伸至机台10的外部，若多个第一悬臂34朝向原多个第二悬臂44的方向移动，多个第一悬臂34会于移动到位后升降至预定高度，多个第二悬臂44会移动至原多个第一悬臂34的位置，并且多个第二悬臂44会升降，以使多个第二悬臂44的延伸端延伸至输送轮20之间，如此多个第一悬臂34与多个第二悬臂44二者的位置彼此轮替，而形成一交错式往复移动。

请配合参考图4所示，如图所示，本发明传输基板50的动作示意图，承上的图2、图3的说明，当一基板50经由输送轮20的滚动传输，而抵达多个第一悬臂34的上方，多个第一悬臂34撑起基板50，以使基板50离开输送轮20，当多个第一悬臂34将基板50横向移动送抵另一位置并放下后，基板50可进行另一制程。

多个第二悬臂44则将另一已经完成制程的基板50传输至原多个第一悬臂34的位置，输送轮20会将位于多个第二悬臂44的基板50传送至另一机台，以使该基板50进行下一制程，而输送轮20会将另一待加工的基板50传输至多个第二悬臂44的上方，以使多个第二悬臂44将此基板50传输至多个第二悬臂44的最初位置，多个第一悬臂34则将再一已完成制程的基板50传输至多个第一悬臂34的最初位置，如此多个第一悬臂34与多个第二悬臂44交错往复移动，以传输多个基板至制程机台。

请配合参考图5所示，其为本发明的第二实施例，其是将第一实施例中的位移组的数量予以减少，然而设置位置与位移组的结构仍延续第一实施例，故于本实施例中，其是将第一实施例的第一位移组称为位移组，并沿用第一实施例的元件符号，特先陈明。

于本实施例中，位移组30设于机台10的一侧(左侧)，位移组30的多个悬臂34的延伸端可选择性延伸至输送轮20之间，并且受到升降模块32所驱动的升降杆33带动，其可使多个悬臂34呈上下升降移动，升降模块32受到滑块320与横移模块31的配合，其可使升降模块32呈横向往复移动，进而使得多个悬臂34呈横向往复移动。

请配合参考图6所示，其为本发明的第三实施例，其亦将第一实施例中的位移组的数量予以减少，然而设置位置与位移组的结构仍延续第一实施例，故于本实施例中，其是将第一实施例的第二位移组称为位移组，并沿用第一实施例的元件符号，特先陈明。

位移组40设于机台10的一侧(右侧)，位移组40的多个悬臂44的延伸端可选择性延伸至输送轮20之间，并且受到升降模块42所驱动的升降杆43带动，其可使多个悬臂44呈上下升降移动，升降模块42受到滑块420与横移模块41的配合，其可使升降模块42呈横向往复移动，进而使得悬臂44呈横向往复移动。

请再配合图5及图6所示，位移组30、40受到升降模块32、42所驱动的升降杆33、43，以及滑块320、420的带动，而使多个悬臂34、44呈上下升降移动与横向往复移动，若多个悬臂34、44的初始位置位于输送轮20之间，一基板(图中未示)经由输送轮20的传输，而抵达多个悬臂34、44的上方，多个悬臂34、44撑起基板，并以上升移动与横向移动的方式，而将该基板送至另一位置，以进行另一制程，而后多个悬臂34、44再将已完成制程的基板带回多个悬臂34、44的初始位置，输送轮20将该基板带离多个悬臂34、44，再将另一基板传输至多个悬臂34、44的上方，以使该基板进行另一制程。

综合上述，本发明的结构及动作流程较为简易，所以能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。

然而以上所述的具体实施例，仅用于例释本发明的特点及功效，而非用于限定本发明的可实施范畴，于未脱离本发明上揭的精神与技术范畴下，任何运用本发明所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为下述的申请专利范围所涵盖。

Claims

1.一种基板输送装置，其特征在于，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：

2.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有至少一滑块，该滑块设于该升降模块的底部，该滑块使该横移模块移动。

3.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有一升降杆，该升降杆的一端耦接于该升降模块。

4.如权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有一悬臂支撑杆，该悬臂支撑杆耦接该升降杆，该悬臂支撑杆与该悬臂的一端相连接。

5.如权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，该升降杆为一升降螺杆。

6.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有另一位移组，其设于该机台的另一侧。