JP2010235212A - 走行車システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走行車システムAは、基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、基板を基板カセット1に収容した状態で上下方向に昇降させる昇降部10及び基板カセット1を基板処理装置に向けて水平移動する水平移動部8a,8bを有し、基板カセット1を基板処理装置に向けて設けた軌道Lに沿って搬送する無人走行台車AGと、軌道Lの上方において基板カセット1を保持して保管する基板カセット保管部BF1と、を備える。
【選択図】図4
Description
本発明に係る走行車システムは、基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、前記基板を基板カセットに収容した状態で上下方向に昇降させる昇降部及び前記基板カセットを前記基板処理装置に向けて水平移動する水平移動部を有し、前記基板カセットを前記基板処理装置に向けて設けた軌道に沿って搬送する無人走行台車と、前記軌道の上方において基板カセットを保持して保管する基板カセット保管部と、を備えることを特徴とする。
これにより、容易かつ確実に基板カセット保管部上に基板カセットを載置することができる。
これにより、容易あるいは効率的に基板カセット保管部に基板カセットを保持することができる。
これにより、更に走行車システム全体の省スペース化を図ることができる。
無人走行台車が走行する軌道上方に、基板カセット保管部を備えているので、走行車システム全体の省スペース化を図ることができる。これにより、無人走行台車に対する基板カセットの移載時間を短縮し無人走行台車の稼働効率並びにリードタイムを向上することができる。
図1に示すように、有軌道無人走行台車(以下台車AGと称する)を案内走行するためのループ状の軌道Lが敷設されている。この軌道Lは、バッファ側軌道LAと、処理側軌道LBと、両軌道LA,LBの両末端間を連絡する一対の連絡軌道SLとからループ状に構成されている。したがって、台車AGは前記のように構成されたループ状の軌道Lを循環走行するようになっている。
ループ状の軌道Lには、複数台(図1の例では5台)の台車AGが配置される。これら台車AGは、全て同一の構造となっている。
基板カセット1は、例えばガラス基板などの基板Gを複数枚(5〜6枚)保管できるように構成されている。
なお、爪片Nは、幅広の爪片Nとして形成することもでき、この場合は、基板カセット1の両側板SPの中央上端からそれぞれ水平に突設されている。
台車AGが循環走行する軌道LA(LB)の上方には、複数の基板カセット保管部(以下バッファBF1と称する)が連設している。
バッファBF1は、支柱5と支持アーム6により逆L字型に形成されており、支持アーム6は台車AG上に載置される基板カセット1と干渉しない高さに設定されている。
先ず、図6(a)に示すように、基板カセット1を載置した台車AGが軌道LAを走行して、バッファBF1の下方において停止する。より正確には、台車AGの走行方向において、台車AGに載置した基板カセット1の爪片NとバッファBF1の保持片K1が一致する位置で台車AGを停止する。
この状態では、支持アーム6の保持片K1がバッファ側軌道LAの片側(図6(b)では右側)に位置しているため、基板カセット1を垂直上方に上昇させても基板カセット1の爪片Nとの干渉を回避されている。
そして、リフト10並びにフォーク8a,8bを初期位置に復帰させる。
図7〜図9に示すように、バッファBF2は、バッファBF1に対し、基板カセット1との係止位置を90度回転させたものである。
すなわち、バッファBF2は、バッファ側軌道LAの両外側に沿って前後の床面F上に不図示の支柱が立設しており、この支柱の所定高さ位置となる上部にはバッファ側軌道LAと平行な横枠12a,12bがそれぞれ設けられる。これら両横枠12a,12bの内側には、バッファ側軌道LAを向いて水平に突設する保持片K2が前後に離間して対向配置されている。
まず、台車AGがバッファBF2の直下まで走行した停止する。より正確には、台車AGの走行方向において、基板カセット1の爪片MとバッファBF2の保持片K1が一致しない場所で台車AGを停止する(図8,図9参照)。
そして、爪片Nが保持片K1より高い位置まで上昇させた後に、台車AGを爪片Mと保持片K1が上下方向において重なる位置までバッファ側軌道LA上を移動させる。つまり、台車AGを僅かに走行方向に移動させて停止する。
また、台車AGは、床面上を走行する構成で説明したが、天井側を走行するものでも良い。
Claims (6)
- 基板の保管又は所定の処理を施す基板処理装置と、
前記基板を基板カセットに収容した状態で上下方向に昇降させる昇降部及び前記基板カセットを前記基板処理装置に向けて水平移動する水平移動部を有し、前記基板カセットを前記基板処理装置に向けて設けた軌道に沿って搬送する無人走行台車と、
前記軌道の上方において基板カセットを保持して保管する基板カセット保管部と、
を備えることを特徴とする走行車システム。 - 前記基板カセットに被保持部材を設け、
前記基板カセット保管部に前記被保持部材に係合する保持部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載の走行車システム。 - 前記保持部材は、上下方向又は水平方向に可動に構成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の走行車システム。
- 前記無人走行台車を前記基板カセット保管部の下方で停止させ、
前記昇降部と前記水平移動部を協動させて前記基板カセット保管部に前記基板カセットを保持させることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の走行車システム。 - 前記無人走行台車の走行部と前記昇降部を協動させて前記基板カセット保管部に基板カセットを保持させることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
- 前記基板カセットは、多段に積み重ね可能に構成されていることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の走行車システム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103183233A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 黄正栋 | 基板输送装置 |
US9150388B2 (en) | 2012-04-17 | 2015-10-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Hoist apparatus |
JP2021529137A (ja) * | 2018-06-08 | 2021-10-28 | アタボティックス インコーポレイテッドAttabotics Inc. | 保管格子と外部作業ステーションとの間で共通ロボット車両隊を共有する保管及び回収システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338712A (ja) * | 1992-06-12 | 1993-12-21 | Metsukusu:Kk | ストック装置 |
JPH10163290A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Hitachi Ltd | 搬送容器および自動昇降機構ならびにそれを用いた立体保管庫 |
JP2000042951A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-15 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
JP2009062155A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
-
2009
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05338712A (ja) * | 1992-06-12 | 1993-12-21 | Metsukusu:Kk | ストック装置 |
JPH10163290A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Hitachi Ltd | 搬送容器および自動昇降機構ならびにそれを用いた立体保管庫 |
JP2000042951A (ja) * | 1998-07-30 | 2000-02-15 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
JP2009062155A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103183233A (zh) * | 2011-12-29 | 2013-07-03 | 黄正栋 | 基板输送装置 |
US9150388B2 (en) | 2012-04-17 | 2015-10-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Hoist apparatus |
JP2021529137A (ja) * | 2018-06-08 | 2021-10-28 | アタボティックス インコーポレイテッドAttabotics Inc. | 保管格子と外部作業ステーションとの間で共通ロボット車両隊を共有する保管及び回収システム |
JP7300468B2 (ja) | 2018-06-08 | 2023-06-29 | アタボティックス インコーポレイテッド | 保管格子と外部作業ステーションとの間で共通ロボット車両隊を共有する保管及び回収システム |
TWI833758B (zh) * | 2018-06-08 | 2024-03-01 | 加拿大商亞特波堤克斯公司 | 改良式儲存和取回系統 |
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