JPH10163290A - 搬送容器および自動昇降機構ならびにそれを用いた立体保管庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 立体保管庫などに用いる搬送容器の自己調芯
を可能にする。 【解決手段】 ワーク３５を支持する支持台である第１
入れ子２ａと、第１入れ子２ａを支持する第２入れ子２
ｂと、第１入れ子２ａの外周部２ｃに所定量の隙間を介
して係合しかつ可動自在に設けられた搬送容器本体２ｄ
とからなり、搬送容器２が自己調芯機能を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物を搭載し
た搬送容器の保管および搬送技術に関し、特に、上下方
向に複数個積むことができ、かつ自己調芯を可能にする
搬送容器およびこれを収容する立体保管庫の技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】半導体ウェハや半導体集積回路装置を始め
種々のワーク（被搬送物）を加工（処理）する製造ライ
ンにあっては、多数の処理工程を有しているため、それ
ぞれの処理工程では処理時間が相違することが多い。

【０００４】そのため、１つの処理工程での処理が完了
したワークをある程度貯留しておき、次の処理工程の進
行に伴って所定のタイミングでワークを供給することが
必要となる。

【０００５】そこで、工場の生産ラインの近傍に立体保
管庫を設置して、所定の処理が終了した後のワークを貯
留しておき、工場の建屋の天井などに走行自在に設けら
れた搬送台車によりワークを立体保管庫に対して搬入出
するようにしている。

【０００６】なお、ワークや部品などを一時的に保管し
ておき、必要に応じてそれを取り出すようにした立体保
管庫としては、上下方向および横方向に多数の収容部を
区画形成した棚を配置し、この棚の前面に沿って出し入
れ装置を走行させるようにしたものがある（例えば、特
開平6-1404号公報）。

【０００７】このタイプの立体保管庫は、比較的長期間
に渡ってワークなどを保管しておくことが必要となる場
合に適用される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術において、半導体集積回路装置の製造ラインのよう
に、所定の処理や加工が終了した後のワークもしくは製
品を保管しておくとともに、後の工程での処理などが終
了した順に、次の処理や加工工程にワークなどを搬送す
る場合、つまり先入れ先出し搬送が必要となる場合に
は、ワークを保管ないし収容しておくための棚の部分自
体にワークを搬送する機能を持たせることが好ましい。

【０００９】そこで、それぞれワークを収容する棚を上
下方向に移動させるようにし、しかもそれぞれの棚をル
ープ状に連結することにより、棚自体を上下動させるよ
うにしたタイプの保管庫が開発されているが、このタイ
プの保管庫では、被搬送物の流量の変動に対応させてワ
ークを保管したり、外部の自動搬送装置とのインターフ
ェースができないという問題点がある。

【００１０】さらに、保管庫にワークを搬入出する際の
ワークの位置決めが困難であり、その際のワークのハン
ドリング（受け渡し）をスムーズに行えないことが問題
とされている。

【００１１】本発明の目的は、自己調芯を行うことが可
能な搬送容器および自動昇降機構ならびにそれを用いた
立体保管庫を提供することにある。

【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１４】すなわち、本発明による搬送容器は、被搬
送物を支持する支持台と、前記支持台の外周部に所定量
の隙間を介して係合し、かつ可動自在に設けられた搬送
容器本体とを有するものである。

【００１５】これにより、搬送容器を積載もしくは受け
渡しする際に、搬送容器本体が所定の範囲で自在に可動
することができる。

【００１６】その結果、支持台に対して搬送容器本体が
動くことができるため、搬送容器が自己調芯を行うこと
が可能になる。

【００１７】また、本発明による自動昇降機構は、被搬
送物を支持する支持台とこれの外周部に所定量の隙間を
介して係合しかつ可動自在に設けられた搬送容器本体と
を備えた搬送容器を収容する保管庫の外枠部材に回転可
能に取り付けられ、前記保管庫の垂直方向を回転軸とす
る第１ねじと、前記第１ねじを回転させる第１駆動手段
と、前記第１ねじに結合する第１ナットに取り付けら
れ、前記第１ねじの回転により前記第１ねじと平行に設
置された垂直ガイドレールに案内されながら前記保管庫
の垂直方向に上下動する昇降ユニットと、前記保管庫の
垂直搬入出面に平行でかつ前記垂直方向と直角を成す方
向を回転軸とし、前記昇降ユニットに回転可能に取り付
けられた第２ねじと、前記第２ねじを回転させる第２駆
動手段と、前記第２ねじに結合する第２ナットに取り付
けられ、前記第２ねじの回転により前記第２ねじと平行
に設置された水平ガイドレールに案内されながら相互に
接近離反移動し、前記搬送容器を搭載する一対の支持ア
ームとを有し、前記昇降ユニットの上下動により１個も
しくは複数個の搬送容器を前記支持アームに搭載して昇
降搬送するものである。

【００１８】さらに、本発明による立体保管庫は、前記
自動昇降機構を用いたものであり、基盤の上方に敷設さ
れかつ前記搬送容器を搬送する第１搬送台車を移動自在
に保持する搬送レールと、１個もしくは複数個の前記搬
送容器を一対の支持アームに搭載して保管または昇降搬
送する保管庫と、前記搬送容器の搬出時には前記保管庫
まで搬送した搬送容器を前記支持アームに受け渡しかつ
前記搬送容器の搬入時には前記支持アームから前記搬送
容器を受け取って外部の所定位置まで搬送する第２搬送
台車とを有し、前記搬送容器を昇降搬送する際には一対
の支持アームが相互に接近状態となって前記搬送容器を
搭載し、前記第２搬送台車から前記搬送容器を受け取る
際の下降時または前記第２搬送台車に前記搬送容器を受
け渡した後の上昇時には、一対の支持アームが相互に離
反状態となって前記第２搬送台車上の搬送容器との干渉
を避けて昇降するものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２０】図１は本発明による搬送容器の構造の実施
の形態の一例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は断面図、図２は本発明の立体保管庫における保管庫の
構造の実施の形態の一例を一部破断して示す斜視図、図
３は本発明の搬送容器を積み重ねて立体保管庫の支持ア
ームに搭載した状態の構造の実施の形態の一例を示す断
面図、図４は本発明による立体保管庫の構造および搬送
容器の昇降動作の実施の形態の一例を示す部分斜視図、
図５は図２に示す保管庫の構造の実施の形態の一例を示
す正面図、図６は図２に示す保管庫の構造の実施の形態
の一例を示す側面図、図７は本発明による自動昇降機構
の概略構造の実施の形態の一例を示す平面図、図８は図
７に示す自動昇降機構の詳細構造の実施の形態の一例を
示す図であり、（ａ）はその部分正面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ方向から眺めた部分Ａ矢視図、図９は本発明
による自動昇降機構の支持アームの開閉機構の構造の実
施の形態の一例を示す部分正面図、図１０は本発明の立
体保管庫に用いられる台車位置決め手段の構造の実施の
形態の一例を示す図であり、（ａ）はその部分断面図で
あり、（ｂ）は（ａ）のＢ方向から眺めた部分Ｂ矢視図
である。

【００２１】本実施の形態による搬送容器２は、半導体
ウェハ（図示せず）もしくは半導体集積回路を備えた半
導体集積回路装置３６などのワーク３５（被搬送物）を
収容（搭載）し、このワーク３５を搬送する際に用いら
れるものである。

【００２２】図１〜図４を用いて、図１に示す本実施の
形態による搬送容器２の構成について説明すると、ワー
ク３５を支持する支持台である第１入れ子２ａと、第１
入れ子２ａを支持する第２入れ子２ｂと、第１入れ子２
ａの外周部２ｃに所定量の隙間を介して係合しかつ可動
自在に設けられた搬送容器本体２ｄとからなる。

【００２３】なお、第１入れ子２ａと第２入れ子２ｂと
は、締結部品２ｅによって結合されている。

【００２４】すなわち、第１入れ子２ａと第２入れ子２
ｂとが締結部品２ｅによって締結され、これにより、一
体構造の入れ子２ｆを形成している。

【００２５】ただし、入れ子２ｆは、予め一体構造で一
つの部材として形成されていてもよい。この場合は、搬
送容器本体２ｄが縦方向に分割された２つの部材によっ
て構成されることになる。

【００２６】また、入れ子２ｆと搬送容器本体２ｄと
は、所定量の隙間を介して係合しているため、入れ子２
ｆに対して搬送容器本体２ｄは、所定範囲で可動自在と
なっている。

【００２７】ここで、前記所定量の隙間は、図１（ｂ）
に示すように、第１入れ子２ａの外周部２ｃと搬送容器
本体２ｄの内壁２ｈとの間で形成される水平方向の隙間
である調芯代２ｉ、第２入れ子２ｂと搬送容器本体２ｄ
の係合開口部２ｇとの間で形成される水平方向の隙間で
ある調芯代２ｊ、および、搬送容器本体２ｄの係合部２
ｌと第１入れ子２ａとの間で形成される垂直方向の隙間
である浮揚量２ｋとして表されるものである。

【００２８】なお、入れ子２ｆと搬送容器本体２ｄとの
形状により、調芯代２ｉは調芯代２ｊより多少大きく形
成されることが好ましいが、調芯代２ｉが調芯代２ｊよ
り小さく形成されていてもよく、また、両者がほぼ同じ
大きさに形成されていてもよい。何れの場合であって
も、調芯代２ｉと調芯代２ｉとにおいては、その値の小
さい方が搬送容器２の調芯に対しての機能を果たすこと
は言うまでもない。

【００２９】さらに、調芯代２ｉと調芯代２ｊは、図１
（ａ）に示すように、搬送容器２のＸ方向２ｍとＹ方向
２ｎとの両方向にそれぞれ形成されている。

【００３０】ここで、調芯代２ｉ、調芯代２ｊおよび浮
揚量２ｋは、例えば、１ｍｍ〜数ｍｍ程度のものであ
る。

【００３１】また、第２入れ子２ｂの底部２ｐの厚みで
ある積み重ね代２ｑは、図３に示すように、搬送容器２
を複数段に積み重ねる場合に、搬送容器本体２ｄとの間
で重複する箇所であり、その大きさは、例えば、数ｍｍ
〜数十ｍｍ程度のものである。

【００３２】すなわち、搬送容器２を複数段に積み重ね
る場合、１段目の搬送容器本体２ｄの上方開口部２ｒに
２段目の第２入れ子２ｂの底部２ｐを嵌め込む。さら
に、３段以上に積み上げる場合は、これを繰り返してい
く。

【００３３】この際、１段目の搬送容器本体２ｄの上方
開口部２ｒに２段目の第２入れ子２ｂの底部２ｐを嵌め
込むことにより、１段目の搬送容器２と２段目の搬送容
器２との間においても位置決めが行われる。

【００３４】これにより、搬送容器２同士、つまり、搬
送容器２を複数段積み上げても、それぞれの搬送容器２
間における中心のズレは、最大で調芯代２ｉまたは調芯
代２ｊの累積加算による範囲であり、前記ズレが大幅に
生じることはない。

【００３５】すなわち、本実施の形態の搬送容器２は、
搬送容器２自体が各々に調芯機能を有するものである。

【００３６】なお、搬送容器本体２ｄは、一端がワーク
３５を出し入れする上方開口部２ｒを有し、かつ他端が
入れ子２ｆと隙間を介して係合する係合開口部２ｇを有
した中空の容器であり、搬送容器本体２ｄの係合開口部
２ｇ側の係合部２ｌが、入れ子２ｆにおける第１入れ子
２ａと第２入れ子２ｂの底部２ｐとの間の隙間に配置さ
れている。

【００３７】その際、搬送容器本体２ｄの係合開口部２
ｇの面積は、第１入れ子２ａの面積より小さいため、搬
送容器本体２ｄと入れ子２ｆとが分離することはない。

【００３８】つまり、支持台である第１入れ子２ａは、
常に搬送容器本体２ｄの内部に配置されている。

【００３９】さらに、搬送容器本体２ｄは、入れ子２ｆ
に対して調芯代２ｉ（または調芯代２ｊ）および浮揚量
２ｋの範囲で自在に動くことができる。

【００４０】また、本実施の形態の搬送容器本体２ｄ、
第１入れ子２ａおよび第２入れ子２ｂは、例えば、金属
やプラスチックなどの樹脂によって形成されている。

【００４１】なお、本実施の形態による搬送容器２は、
図２に示す保管庫６などにおいて搬送容器２を搬入出す
る際に、図４に示す第１搬送台車３のチャック爪部３ｂ
によって把持される被把持部である把手部２ｓが搬送容
器本体２ｄの上方外周部２ｔに設けられている。

【００４２】すなわち、搬送容器２の搬送容器本体２ｄ
の４辺の上方外周部２に把手部２ｓが設けられている。

【００４３】次に、図１〜図６を用いて、本実施の形態
による立体保管庫の構成について説明する。

【００４４】ここで、前記立体保管庫は、ワーク３５を
収容した搬送容器２（空の搬送容器２も含む）を保管す
るとともに搬送容器２の先入れ・先出しを可能にするも
のであり、基盤１の上方に敷設されかつワーク３５を収
容（搭載）した搬送容器２を搬送する第１搬送台車３を
移動自在に保持する搬送レール４と、１個もしくは複数
個の搬送容器２を一対の支持アーム５に搭載して一時的
に保管または昇降搬送する保管庫６と、搬送容器２の搬
出時には保管庫６まで搬送した搬送容器２を支持アーム
５に受け渡しかつ搬送容器２の搬入時には支持アーム５
から搬送容器２を受け取って外部の所定位置（例えば、
他の工程の製造現場など）まで搬送する第２搬送台車７
とから構成されている。

【００４５】すなわち、本実施の形態の立体保管庫は、
搬入系ユニット４０と搬出系ユニット４１との２つのユ
ニットから構成されており、保管庫６内において、搬送
容器２を昇降搬送する際には一対の支持アーム５が相互
に接近状態となって搬送容器２を搭載し、第２搬送台車
７から搬送容器２を受け取る際の下降時または第２搬送
台車７に搬送容器２を受け渡した後の上昇時には、一対
の支持アーム５が相互に離反状態となって第２搬送台車
７上の搬送容器２との干渉を避けて昇降するものであ
る。

【００４６】なお、本実施の形態による立体保管庫の説
明は、複数個の搬送容器２、その一例として５個の搬送
容器２毎に搬入出を行う場合であるが、搬送容器２の数
は、１つであっても５個以外の複数個であってもよい。

【００４７】また、第１搬送台車３は、倉庫などの天井
に配置された搬送レール４上において、搬送容器２を保
持して他の工程や製造現場などに搬送する天井搬送車で
ある。

【００４８】さらに、第２搬送台車７は、搬入した搬送
容器２を他の工程や製造現場などに搬送する手押しもし
くは自動の地上搬送台車である。

【００４９】また、本実施の形態の立体保管庫において
は、搬送容器２の搬入出を行う際に、保管庫６の搬出口
６ａおよび搬入口６ｉ付近で、搬送容器２の位置の確認
を行うことができる。

【００５０】つまり、保管庫６の搬出口６ａおよび搬入
口６ｉ付近に複数個のビームセンサなどの非接触式セン
サ１５が設置されていることにより、この非接触式セン
サ１５によって搬送容器２の位置と数量との確認を行う
ものである。

【００５１】なお、保管庫６には、搬送容器２の搬入出
を行う際に、空もしくは搬送容器２を載置した第２搬送
台車７を保管庫６内の所定位置、すなわち、正面扉１０
を閉めた時に正面扉１０が第２搬送台車７に接触しない
位置まで第２搬送台車７を引き込む台車位置決め手段９
（図１０参照）が設置されている。

【００５２】また、保管庫６内に引き込まれた第２搬送
台車７の位置決めの確認に関しては、保管庫６の下部付
近に、前記同様の複数個のビームセンサなどの非接触式
センサ１５が設置され、第２搬送台車７が前記台車位置
決め手段９によって引き込まれて位置決めされた後、非
接触式センサ１５によってその位置の確認が行われ、さ
らに、正面扉１０が閉められる。

【００５３】ここで、図１０（ａ），（ｂ）に示す台車
位置決め手段９は、保管庫６（図２参照）の下方の背面
内壁６ｅに取り付けられたシリンダ３７と、シリンダ３
７によって開閉を行うロックレバー３８と、シリンダ３
７を保持するシリンダガイドプレート３９とからなり、
シリンダ３７の駆動によって、ロックレバー３８を回動
させ、第２搬送台車７の下部に設けられた突起部７ａに
ロックレバー３８を係合させて第２搬送台車７を前記保
管庫６内に引込むものであり、これによって、第２搬送
台車７の前記保管庫６内での位置決めを行うものであ
る。

【００５４】また、図２に示すように、保管庫６の垂直
搬入出面である正面６ｃには、作業開始の指示などを出
すスタートボタンなどが設けられた操作パネル１１が設
置され、また、その側面には、保管庫６の種々の機構部
分を制御する制御部１２と、非常時に前記機構部分の動
作を停止する非常停止スイッチ１３と、作業者に所定動
作の終了などを視覚的に知らせる連絡灯１４とが設置さ
れている。

【００５５】次に、図１および図４〜図９を用いて、本
実施の形態の自動昇降機構の構成について説明すると、
ワーク３５を支持する第１入れ子２ａと第１入れ子２ａ
の外周部２ｃに所定量の隙間を介して係合しかつ可動自
在に設けられた搬送容器本体２ｄとを備えた搬送容器２
を収容する保管庫６のフレーム１６（外枠部材）に回転
可能に取り付けられ、保管庫６の垂直方向６ｂを回転軸
とするボールねじ１７（第１ねじ）と、ボールねじ１７
を回転させる第１駆動手段であるステッピングモータ１
８と、ボールねじ１７に結合する第１ナット１９に取り
付けられかつボールねじ１７の回転によりボールねじ１
７と平行に設置された垂直ガイドレール２０に案内され
ながら保管庫６の垂直方向６ｂに上下動する昇降ユニッ
ト２１と、保管庫６の正面６ｃに平行でかつ垂直方向６
ｂと直角を成す方向（以降、単に横方向という）６ｄを
回転軸としかつ昇降ユニット２１に回転可能に取り付け
られた第２ねじである台形ねじ２２と、台形ねじ２２を
回転させる第２駆動手段であるＡＣモータ２３と、台形
ねじ２２に結合する第２ナット２４に取り付けられかつ
台形ねじ２２の回転により台形ねじ２２と平行に設置さ
れた水平ガイドレール２５に案内されながら相互に接近
離反移動し、搬送容器２を搭載する一対の支持アーム５
とから構成され、さらに昇降ユニット２１の上下動によ
り１個もしくは複数個の搬送容器２を支持アーム５に搭
載して昇降搬送するものである。

【００５６】ここで、昇降ユニット２１は、プレート状
の部材であり、これに、一対の支持アーム５を相互に接
近離反移動、すなわち開閉させる支持アーム開閉手段２
６が取り付けられている。

【００５７】また、図７および図８（ａ）に示すよう
に、ステッピングモータ１８による動力は、複数個のか
さ歯車２７、プーリー２８およびタイミングベルト２９
をそれぞれ介してステッピングモータ１８の左右両側に
設けられた２つのボールねじ１７に伝達される。

【００５８】さらに、図８（ｂ）に示すように、ボール
ねじ１７はボールねじサポートユニット３０によってフ
レーム１６に固定され、プレート状の昇降ユニット２１
はボールねじ１７に結合する第１ナット１９にナット押
さえ３１を介して取り付けられている。

【００５９】なお、昇降ユニット２１は、ボールねじ１
７にそれぞれ平行に設けられた２つの垂直ガイドレール
２０（本実施の形態では前記ステッピングモータ１８の
左右両側で合計４個設けられている）によっても支持さ
れている。

【００６０】また、図９に示すように、ＡＣモータ２３
による動力は、２つの歯車３２を介し、カップリング３
３によって結合された２つの台形ねじ２２に伝達され
る。すなわち、カップリング３３によって２つの台形ね
じ２２が１つの軸とされているため、片方の台形ねじ２
２は右ねじであり、他方の台形ねじ２２は左ねじであ
る。

【００６１】ここで、一対の支持アーム５は、台形ねじ
２２と結合する第２ナット２４に接合したナットホルダ
３４に固定されている。また、ナットホルダ３４は、台
形ねじ２２と平行に昇降ユニット２１に設けられた水平
ガイドレール２５とも接合されている。

【００６２】さらに、昇降ユニット２１には支持アーム
５の開閉動作の切替えもしくは停止を検知するリミッタ
２６ａが水平ガイドレール２５に接合した状態で設けら
れている。

【００６３】なお、ＡＣモータ２３から左右一対の支持
アーム５への動力の伝達経路は、左右両者とも同様であ
る。

【００６４】続いて、図４、図７および図８を用いて、
前記自動昇降機構の昇降動作について説明すると、第１
駆動手段であるステッピングモータ１８の駆動により、
複数個のかさ歯車２７、プーリー２８およびタイミング
ベルト２９をそれぞれ介してステッピングモータ１８の
左右両側に設けられた２つのボールねじ１７が回転す
る。

【００６５】これにより、ボールねじ１７に結合、すな
わち、ねじ結合された第１ナット１９がボールねじ１７
上でその回転の方向によって上もしくは下へ移動する。
その結果、支持アーム開閉手段２６を備えかつナット押
さえ３１を介して第１ナット１９に取り付けられたプレ
ート状の昇降ユニット２１が、ボールねじ１７にそれぞ
れ平行に設けられた２つの垂直ガイドレール２０によっ
て案内されながら上昇もしくは下降する。

【００６６】さらに、図４、図７および図９を用いて、
前記自動昇降機構の支持アーム５の開閉動作について説
明すると、第２駆動手段であるＡＣモータ２３の駆動に
より、２つの歯車３２を介して１つの軸に結合された２
つの台形ねじ２２が同期して回転する。

【００６７】ここで、２つの台形ねじ２２は、片方が右
ねじであり、他方が左ねじであることにより、それぞれ
の台形ねじ２２に結合する２つの第２ナット２４が台形
ねじ２２上を相互に反対方向に移動する。

【００６８】これにより、ナットホルダ３４を介して第
２ナット２４に接合された一対の支持アーム５が、昇降
ユニット２１に設けられた水平ガイドレール２５に案内
されながら、昇降ユニット２１上で、相互に接近離反移
動する。すなわち、一対の支持アーム５が開閉動作を行
う。

【００６９】なお、支持アーム５の開閉の切替えもしく
は動作の停止は、昇降ユニット２１上に設けられたリミ
ッタ２６ａによって検知される。

【００７０】次に、図１〜図１０を用いて、本実施の形
態の自動昇降機構を用いた立体保管庫による搬送容器２
の搬送および保管方法について説明する。

【００７１】なお、本実施の形態の立体保管庫は、搬出
系ユニット４１と搬入系ユニット４０との２つのユニッ
トから構成されているため、搬送容器２の搬送について
は搬出系と搬入系とに分けて説明する。

【００７２】さらに、搬送容器２はそれぞれにワーク３
５を収容している。

【００７３】まず、搬送容器２を搬出する際には、搬出
系ユニット４１において、５個の搬送容器２を搭載した
地上搬送車である第２搬送台車７を、保管庫６の搬出系
ユニット４１における正面６ｃの手前の所定位置に配置
する。

【００７４】ここで、第２搬送台車７上に、搬送容器２
を５段に積み重ねる場合、まず、第２搬送台車７上に１
段目の搬送容器２を搭載する。

【００７５】その後、１段目の搬送容器本体２ｄの上方
開口部２ｒに２段目の第２入れ子２ｂの底部２ｐを嵌め
込む。同様に、これを繰り返し、第２搬送台車７上に搬
送容器２を５段積みする。

【００７６】その際、１段目の搬送容器本体２ｄの上方
開口部２ｒに２段目の第２入れ子２ｂの底部２ｐを嵌め
込むことにより、１段目の搬送容器２と２段目の搬送容
器２との間においても位置決めが行われる。この位置決
めに関しては、２段目以降についても同じである。

【００７７】さらに、保管庫６の搬出系ユニット４１に
おける正面６ｃの手前の所定位置に、搬送容器２を５段
積みした第２搬送台車７を配置した後、台車位置決め手
段９を作動させる。

【００７８】すなわち、保管庫６の下方の背面内壁６ｅ
に取り付けられたシリンダ３７の駆動により、ロックレ
バー３８が回動し、第２搬送台車７の下部に設けられた
突起部７ａをロックレバー３８が係合して第２搬送台車
７を保管庫６内に引き込み、正面扉１０を閉める。その
結果、第２搬送台車７を保管庫６内で位置決めして固定
することができる。

【００７９】この時、保管庫６内の下方に設置された複
数個の非接触式センサ１５により、第２搬送台車７が所
定位置に固定されていることを確認する。これにより、
第２搬送台車７の位置決めを高精度に行うことが出来
る。

【００８０】続いて、作業者が操作パネル１１のスター
トボタンを押し、搬送容器２の行き先を表示（指示）す
る。

【００８１】その後、保管庫６内で搬送容器２の受け入
れ準備状態（開状態）となっていた一対の支持アーム５
が相互に接近移動、すなわち閉動作を行い、５段積みの
搬送容器２を第２搬送台車７から受け取る。

【００８２】この際、支持アーム５に設けられた図示せ
ぬピン部材と最下段の搬送容器２における第２入れ子２
ｂの所定箇所との位置を合わせて支持アーム５に搬送容
器２を載せる。

【００８３】これにより、支持アーム５に設けられた前
記ピン部材によって、支持アーム５に対しての最下段の
搬送容器２の位置決めが行われ、その結果、支持アーム
５と５段積みした搬送容器２との間でも位置決めが行わ
れる。

【００８４】続いて、支持アーム５はボールねじ１７の
回転により、昇降ユニット２１とともに上昇し、最上段
の搬送容器２が空間搬送車である第１搬送台車３にハン
ドリングされる待機箇所である受け渡し待機位置４２ま
で上昇する。

【００８５】ここで、５段積みされた搬送容器２におい
ては、各搬送容器本体２ｄの上方開口部２ｒと、その上
に積まれた各第２入れ子２ｂの底部２ｐとによって位置
決めが行われており、かつそれぞれの搬送容器２自体が
各々に調芯機能を有しているため、保管庫６の搬出口６
ａにおいても搬送容器２の位置決めは、高精度に行われ
ている。

【００８６】続いて、保管庫６の上部ステージ６ｇ、中
間ステージ６ｈもしくは下部ステージ６ｆ付近に設置さ
れた複数個の非接触式センサ１５によって、保管庫６内
の搬出直前の全ての搬送容器２の位置を検知するととも
に、その数量を認識する。

【００８７】その後、第１搬送台車３のハンドリング機
構３ａにおけるチャック爪部３ｂが開いて、受け渡し可
能な状態になると、支持アーム５は、さらに受け渡し位
置４３付近まで上昇し、ハンドリング機構３ａのチャッ
ク爪部３ｂを閉じる。

【００８８】この時、支持アーム５を一度下降させ、次
段の搬送容器２を受け渡し待機位置４２まで下げる。こ
の動作により、最上段の搬送容器２と次段の搬送容器２
とが完全に分離する。

【００８９】この状態で、最上段の搬送容器２をハンド
リングした第１搬送台車３は、搬送レール４上を走行し
て所定の目的地（例えば、他の工程や製造現場など）ま
で搬送容器２を搬送する。

【００９０】なお、５個の搬送容器２を搭載した支持ア
ーム５が保管庫６の下部ステージ６ｆから上部ステージ
６ｇへと上昇移動する際に、支持アーム５が下部ステー
ジ６ｆを完全に通過した時点で、下部ステージ６ｆは空
の状態、すなわち待機ポジションに設定される。

【００９１】これにより、下部ステージ６ｆにおける第
２搬送台車７の入れ換えが可能になり、第２搬送台車７
毎の先入れ先出しを行うことができる。

【００９２】また、保管庫６の上部ステージ６ｇにおい
て、支持アーム５と第１搬送台車３との搬送容器２の受
け渡しについては、搬送容器２を１個ずつ受け渡す。

【００９３】これは、一対の支持アーム５を備えた昇降
ユニット２１の上昇（もしくは下降）をステッピングモ
ータ１８によって駆動し、かつボールねじ１７を用いて
いるため、搬送容器２の１個単位に支持アーム５を受け
渡し位置４３から最終受け渡し位置４３ａまで順送りで
かつ高精度に上昇させるものである。

【００９４】これにより、保管庫６の上部ステージ６ｇ
における搬送容器２の１個ずつの受け渡し動作が全て終
了するまで、前記受け渡し動作を繰り返して行う。

【００９５】なお、支持アーム５の全ての搬送容器２が
第１搬送台車３へ受け渡された後、一対の支持アーム５
は相互に接近状態（閉状態）のまま、上部ステージ６ｇ
から中間ステージ６ｈまで下降し、そこで、支持アーム
５を相互に離反状態（開状態）にし、下部ステージ６ｆ
へ下降する。

【００９６】ただし、支持アーム５上の搬送容器２の搬
出が全て終了したら、その時点（最終受け渡し位置４３
ａ）で一対の支持アーム５を相互に離反状態（閉状態）
にし、下部ステージ６ｆに向けて下降移動を開始しても
よい（図４に示す動作）。

【００９７】ここで、下部ステージ６ｆで既にセット状
態（５個の搬送容器２を載置した状態）の第２搬送台車
上７の搬送容器２との干渉を回避しながら下死点（下部
ステージ６ｆで一対の支持アーム５が５個の搬送容器２
を第２搬送台車７から受け取る位置）まで下降する。

【００９８】その後、搬送要求に従い、次の搬送容器２
を複数個のロット単位で前記と同様に搬出処理する。

【００９９】次に、搬送容器２を搬入する際には、搬入
系ユニット４０において、保管庫６の上部ステージ６ｇ
において、第１搬送台車３からの搬送容器２の受け取り
のため、無負荷状態（空）で搬送容器受入れ準備状態
（閉状態）となって受け取り位置４４に待機している一
対の支持アーム５が、第１搬送台車３から搬入口６ｉを
介して搬送容器２を１個ずつ受け取る。

【０１００】この際、支持アーム５に設けられた図示せ
ぬピン部材と搬送容器２の第２入れ子２ｂの所定箇所と
の位置を合わせて支持アーム５上に搬送容器２を載せ
る。

【０１０１】これにより、支持アーム５と最初に積まれ
た搬送容器２との位置決めが行われる。

【０１０２】さらに、第１搬送台車３から１個めの搬送
容器２を受け取ると、支持アーム５は搬送容器１個分だ
け下降し、第１搬送台車３からの次の搬送容器２の段積
み受取りに備える。

【０１０３】なお、搬送容器２の搬入の際にも、搬出時
と同様に、各搬送容器本体２ｄの上方開口部２ｒに、各
第２入れ子２ｂの底部２ｐを嵌め込んで順次搬送容器２
を積んでいく。

【０１０４】その後、上部ステージ６ｇにおいて、所定
数量（本実施の形態では５個の搬送容器２）の段積み受
け取りが終了するまで前記動作を搬送容器２の１個分ず
つ繰り返して行う。

【０１０５】ここで、搬送容器２の搬入については、そ
の段積み受け取りが所定数量に達しない場合でも、所定
時間（例えば、１０分程度）が経過した場合、支持アー
ム５が下降するように設定することもできる。

【０１０６】続いて、所定数量の搬送容器２の段積み受
け取りの終了後、支持アーム５は下死点（下部ステージ
６ｆにおいて、支持アーム５が第２搬送台車７に搬送容
器２を受け渡す位置）まで下降する。

【０１０７】そこで、支持アーム５上の段積みされた搬
送容器２を第２搬送台車７に受け渡す。

【０１０８】その後、一対の支持アーム５は相互に離反
状態（開状態）になり、第２搬送台車７上に受け渡され
た搬送容器２との干渉を回避しながら中間ステージ６ｈ
付近まで上昇する。さらに、中間ステージ６ｈ付近で一
対の支持アーム５は、搬送容器２の受け取り準備のため
相互に接近（閉状態）になった後、受け取り位置４４と
同じ高さの位置まで上昇する。

【０１０９】なお、一対の支持アーム５が相互に離反状
態（開状態）になって上昇する際に、上部ステージ６ｇ
の受け取り位置４４まで開状態のまま上昇し、受け取り
位置４４で支持アーム５を閉状態としてもよい（図４に
示す動作）。

【０１１０】また、搬送容器２を搭載した支持アーム５
が前記下死点まで下降した際に、搬送容器２の取り出し
を作業者へ要求するアラームが発っせられる機能が保管
庫６に備えられていてもよく、前記アラームの代わりに
連絡灯１４によって作業者に知らせてもよい。

【０１１１】以降、下部ステージ６ｆにおいて５個の搬
送容器２を第２搬送台車７上に収容した状態で、上部ス
テージ６ｇでの搬送容器２の搬入処理を繰り返して行
う。

【０１１２】本実施の形態の搬送容器および自動昇降機
構ならびに立体保管庫によれば、以下のような作用効果
が得られる。

【０１１３】すなわち、搬送容器２が、ワーク３５を支
持する第１入れ子２ａと、第１入れ子２ａの外周部２ｃ
に所定量の隙間（本実施の形態では、調芯代２ｉ、調芯
代２ｊおよび浮揚量２ｋ）を介して係合しかつ可動自在
に設けられた搬送容器本体２ｄとを有することにより、
搬送容器２を積載もしくは受け渡しする際に、搬送容器
本体２ｄが所定の範囲で自在に可動することができる。

【０１１４】これにより、第１入れ子２ａに対して搬送
容器本体２ｄが動くことができるため、搬送容器２が自
己調芯を行うことが可能になる。

【０１１５】さらに、搬送容器２が自己調芯を行うこと
ができるため、搬送容器２を各々に調芯させて複数段に
積み重ねることができる。

【０１１６】また、本実施の形態の自動昇降機構におい
ては、第１駆動手段であるステッピングモータ１８によ
って第１ねじであるボールねじ１７が回転することによ
り、第１ナット１９を介して昇降ユニット２１がボール
ねじ１７上を上下動する。

【０１１７】これによって、昇降ユニット２１上に台形
ねじ２２および第２ナット２４を介して取り付けられた
一対の支持アーム５が上下動（昇降）する。

【０１１８】さらに、第２駆動手段であるＡＣモータ２
３によって第２ねじである台形ねじ２２が回転すること
により、一対の支持アーム５が相互に接近離反移動（開
閉）する。

【０１１９】これらによって、支持アーム５に搬送容器
２を載置して順送りの上昇または下降搬送を行うことが
できる。

【０１２０】なお、ワーク３５を上昇または下降搬送す
る際に、搬送容器２にワーク３５を搭載して行うことに
より、搬送容器２が自己調芯すなわち搬送容器本体２ｄ
が第１入れ子２ａに対して動くことができるため、ワー
ク３５に対しての緩衝機能を有することが可能になる。

【０１２１】その結果、半導体集積回路装置３６などの
ワーク３５に与える衝撃を低減することができる。

【０１２２】また、本実施の形態の立体保管庫にあって
は、搬送容器２にワーク３５を搭載して搬送することに
より、搬送容器２が自己調芯を行えるため、保管庫６の
搬出口６ａおよび搬入口６ｉ付近で搬送容器２を受け渡
しする際に、搬送容器２の位置決めを行わずに容易に搬
送容器２をハンドリングすることができる。

【０１２３】これにより、第１搬送台車３との間で搬送
容器２を容易に受け渡しすることができる。

【０１２４】さらに、前記立体保管庫において、搬送容
器２を上昇または下降搬送、もしくは積載、あるいは受
け渡しする際に、搬送容器本体２ｄが第１入れ子２ａに
対して動くことができるため、ワーク３５に対しての緩
衝機能を有することが可能になる。

【０１２５】その結果、半導体集積回路装置３６などの
ワーク３５に与える衝撃を低減することができる。

【０１２６】また、前記立体保管庫にあっては、搬送容
器２を昇降搬送する際に、一対の支持アーム５が相互に
接近状態となって搬送容器２を搭載することができる。

【０１２７】さらに、第２搬送台車７から搬送容器２を
受け取る際の下降時または第２搬送台車７に搬送容器２
を受け渡した後の上昇時には、一対の支持アーム５が相
互に離反状態となって第２搬送台車７上の搬送容器２と
の干渉を避けて昇降することができる。

【０１２８】これにより、所定量毎の複数個の搬送容器
２を搬送することができる。また、その際に、先入れ先
出しの優先順位を付けた搬送が可能になり、その保管も
可能になる。

【０１２９】そして、搬送容器２の受け渡し位置に高低
差がある場合でも、製造ラインに合わせた所望の高さで
の搬送容器２の搬入と搬出とを行うことができる。

【０１３０】これによって、保管庫６と外部の自動搬送
装置（本実施の形態では第１搬送台車３および第２搬送
台車７）とのインターフェイスを可能にし、かつ空間ス
ペースの有効活用を可能にした立体保管庫を実現でき
る。

【０１３１】その結果、納期が優先される製造ラインの
隔たった工程間、特に、階層間における搬送容器２の搬
送の自動化を容易に実現することができる。

【０１３２】また、一対の支持アーム５が相互に離反状
態となって第２搬送台車７上の搬送容器２との干渉を避
けて昇降することができるため、一度に支持アーム５に
搭載する搬送容器２の数量の２倍の数量の搬送容器２
（本実施の形態の立体保管庫では１０個の搬送容器２）
を保管庫６内に保管することができる。

【０１３３】さらに、空もしくは搬送容器２を載置した
第２搬送台車７を保管庫６内の所定位置に引き込む台車
位置決め手段９が保管庫６に設置されていることによっ
て、搬送容器２の搬入出を行う際に、保管庫６内におけ
る第２搬送台車７の位置決めを自動的に、かつ高精度に
行うことができる。

【０１３４】これにより、支持アーム５と第２搬送台車
７とにおける搬送容器２の受け渡しを確実に行うことが
できる。

【０１３５】また、まとまった所定量（本実施の形態で
は５個）の搬送容器２毎に搬入出が行われることによ
り、保管庫６の中から所定量の数量の搬送容器２が随時
搬出されるため、搬送容器２の搬送流量の変動にも対応
することができる。

【０１３６】なお、本実施の形態の搬送容器２において
は、第１搬送台車３によって把持される把手部２ｓが搬
送容器２に設けられていることにより、搬送容器２の搬
入出の際に、第１搬送台車３が容易に搬送容器２を把持
することができる。

【０１３７】これにより、搬送容器２の搬入出をスムー
ズに行うことができる。

【０１３８】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言う
までもない。

【０１３９】例えば、前記実施の形態の搬送容器におい
ては、被把持部である把手部が搬送容器本体の４辺の上
方外周部に設けられている場合を説明したが、前記把手
部は、必ずしも前記搬送容器本体の４辺に設けられてい
なくてもよく、前記搬送容器本体の対向する２辺だけに
設けられていてもよい。

【０１４０】さらに、前記被把持部の形状は、前記実施
の形態で説明した把手部のように突出していなくてもよ
く、第１搬送台車のチャック爪部が把持可能なように搬
送容器本体の上方外周部の所定箇所に孔や溝が形成され
ていてもよい。

【０１４１】すなわち、前記被把持部は、前記第１搬送
台車のチャック爪部が把持できる形状に形成されていれ
ばよい。

【０１４２】また、前記実施の形態の搬送容器は、先入
れ・先出しが可能な立体保管庫だけでなく、先入れ・先
出しができない保管庫においても、ワーク（被搬送物）
を搬送するためにこれを収容する容器として使用するこ
とができる。

【０１４３】なお、前記実施の形態においては、被搬送
物であるワークが半導体集積回路装置や半導体ウェハの
場合を説明したが、前記被搬送物は、半導体部品以外の
電子部品や機械部品などであってもよい。

【０１４４】つまり、前記実施の形態では、半導体部品
の製造ラインに本発明を適用した場合を説明したが、こ
れに限られず、種々のワークないし製品を保管しつつ搬
送する場合に適用することができる。

【０１４５】また、前記実施の形態で説明した地上搬送
車である第２搬送台車は、手動のものであっても、自動
のものであってもよい。

【０１４６】さらに、保管庫における前記被搬送物の搬
入出は、保管庫の正面からだけではなく、保管庫の側面
から行うようにしてもよい。

【０１４７】なお、前記実施の形態の立体保管庫におけ
る保管庫は、その搬入出口付近に搬送容器の位置決め手
段が設けられていてもよく、搬送容器自体が有する調芯
機能と合わせて前記位置決め手段によって搬送容器の搬
入出時の位置決めを行ってもよい。

【０１４８】これにより、保管庫において、さらに高精
度に搬送容器の位置決めを行うことができる。

【０１４９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０１５０】（１）．搬送容器が被搬送物を支持する支
持台とこれの外周部に所定量の隙間を介して係合しかつ
可動自在に設けられた搬送容器本体とを有することによ
り、搬送容器を積載もしくは受け渡しする際に、搬送容
器本体が所定の範囲で自在に可動することができる。こ
れにより、搬送容器が自己調芯を行うことができる。

【０１５１】（２）．自動昇降機構において、被搬送物
を上昇または下降搬送する際に、搬送容器に被搬送物を
搭載して行うことにより、搬送容器が自己調芯機能を有
しているため、被搬送物に対しての緩衝機能を有するこ
とが可能になる。その結果、被搬送物に与える衝撃を低
減することができる。

【０１５２】（３）．立体保管庫において、搬送容器に
被搬送物を搭載して搬送することにより、搬送容器が自
己調芯を行うことができるため、保管庫の搬入出口で搬
送容器を受け渡しする際に、搬送容器の位置決めを行わ
ずに容易に搬送容器をハンドリングすることができる。
これにより、第１搬送台車との間で搬送容器を容易に受
け渡しすることができる。

【０１５３】（４）．立体保管庫において、搬送容器を
上昇または下降搬送、もしくは積載、あるいは受け渡し
する際に、搬送容器本体が支持台に対して動くことがで
きるため、被搬送物に対しての緩衝機能を有することが
可能になる。その結果、被搬送物に与える衝撃を低減す
ることができる。

【０１５４】（５）．立体保管庫において、所定量毎の
複数個の搬送容器を搬送することができ、その際に、先
入れ先出しの優先順位を付けた搬送が可能になり、その
保管も可能になる。さらに、搬送容器の受け渡し位置に
高低差がある場合でも、製造ラインに合わせた所望の高
さでの搬送容器の搬入と搬出とを行うことができる。

【０１５５】（６）．一対の支持アームが相互に離反状
態となって第２搬送台車上の搬送容器との干渉を避けて
昇降することができるため、一度に支持アームに搭載す
る搬送容器の数量の２倍の数量の搬送容器を保管庫内に
保管することができる。

【０１５６】（７）．空もしくは搬送容器を載置した第
２搬送台車を保管庫内の所定位置に引き込む台車位置決
め手段が保管庫に設置されていることによって、搬送容
器の搬入出を行う際に、保管庫内における第２搬送台車
の位置決めを自動的に、かつ高精度に行うことができ
る。

【０１５７】（８）．第１搬送台車によって把持される
被把持部が搬送容器に設けられていることにより、搬送
容器の搬入出の際に、第１搬送台車が容易に搬送容器を
把持できる。これにより、搬送容器の搬入出をスムーズ
に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ),（ｂ）は本発明による搬送容器の構造の
実施の形態の一例を示す図であり、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は断面図である。

【図２】本発明の立体保管庫における保管庫の構造の実
施の形態の一例を一部破断して示す斜視図である。

【図３】本発明の搬送容器を積み重ねて立体保管庫の支
持アームに搭載した状態の構造の実施の形態の一例を示
す断面図である。

【図４】本発明による立体保管庫の構造および搬送容器
の昇降動作の実施の形態の一例を示す部分斜視図であ
る。

【図５】図２に示す保管庫の構造の実施の形態の一例を
示す正面図である。

【図６】図２に示す保管庫の構造の実施の形態の一例を
示す側面図である。

【図７】本発明による自動昇降機構の概略構造の実施の
形態の一例を示す平面図である。

【図８】（ａ),（ｂ）は図７に示す自動昇降機構の詳細
構造の実施の形態の一例を示す図であり、（ａ）はその
部分正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ方向から眺めた部分Ａ
矢視図である。

【図９】本発明による自動昇降機構の支持アームの開閉
機構の構造の実施の形態の一例を示す部分正面図であ
る。

【図１０】（ａ),（ｂ）は本発明の立体保管庫に用いら
れる台車位置決め手段の構造の実施の形態の一例を示す
図であり、（ａ）はその部分断面図であり、（ｂ）は
（ａ）のＢ方向から眺めた部分Ｂ矢視図である。

【符号の説明】

１ 基盤 ２ 搬送容器 ２ａ 第１入れ子（支持台） ２ｂ 第２入れ子 ２ｃ 外周部 ２ｄ 搬送容器本体 ２ｅ 締結部品 ２ｆ 入れ子 ２ｇ 係合開口部 ２ｈ 内壁 ２ｉ 調芯代 ２ｊ 調芯代 ２ｋ 浮揚量 ２ｌ 係合部 ２ｍ Ｘ方向 ２ｎ Ｙ方向 ２ｐ 底部 ２ｑ 積み重ね代 ２ｒ 上方開口部 ２ｓ 把手部（被把持部） ２ｔ 上方外周部 ３ 第１搬送台車 ３ａ ハンドリング機構 ３ｂ チャック爪部 ４ 搬送レール ５ 支持アーム ６ 保管庫 ６ａ 搬出口 ６ｂ 垂直方向 ６ｃ 正面（垂直搬入出面） ６ｄ 横方向 ６ｅ 背面内壁 ６ｆ 下部ステージ ６ｇ 上部ステージ ６ｈ 中間ステージ ６ｉ 搬入口 ７ 第２搬送台車 ７ａ 突起部 ９ 台車位置決め手段 １０ 正面扉 １１ 操作パネル １２ 制御部 １３ 非常停止スイッチ １４ 連絡灯 １５ 非接触式センサ １６ フレーム（外枠部材） １７ ボールねじ（第１ねじ） １８ ステッピングモータ（第１駆動手段） １９ 第１ナット ２０ 垂直ガイドレール ２１ 昇降ユニット ２２ 台形ねじ（第２ねじ） ２３ ＡＣモータ（第２駆動手段） ２４ 第２ナット ２５ 水平ガイドレール ２６ 支持アーム開閉手段 ２６ａ リミッタ ２７ かさ歯車 ２８ プーリー ２９ タイミングベルト ３０ ボールねじサポートユニット ３１ ナット押さえ ３２ 歯車 ３３ カップリング ３４ ナットホルダ ３５ ワーク（被搬送物） ３６ 半導体集積回路装置 ３７ シリンダ ３８ ロックレバー ３９ シリンダガイドプレート ４０ 搬入系ユニット ４１ 搬出系ユニット ４２ 受け渡し待機位置 ４３ 受け渡し位置 ４３ａ 最終受け渡し位置 ４４ 受け取り位置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送物を支持する支持台と、 前記支持台の外周部に所定量の隙間を介して係合し、か
   つ可動自在に設けられた搬送容器本体とを有することを
   特徴とする搬送容器。
2. 【請求項２】 被搬送物を支持する支持台とこれの外周
   部に所定量の隙間を介して係合しかつ可動自在に設けら
   れた搬送容器本体とを備えた搬送容器を収容する保管庫
   の外枠部材に回転可能に取り付けられ、前記保管庫の垂
   直方向を回転軸とする第１ねじと、 前記第１ねじを回転させる第１駆動手段と、 前記第１ねじに結合する第１ナットに取り付けられ、前
   記第１ねじの回転により前記第１ねじと平行に設置され
   た垂直ガイドレールに案内されながら前記保管庫の垂直
   方向に上下動する昇降ユニットと、 前記保管庫の垂直搬入出面に平行でかつ前記垂直方向と
   直角を成す方向を回転軸とし、前記昇降ユニットに回転
   可能に取り付けられた第２ねじと、 前記第２ねじを回転させる第２駆動手段と、 前記第２ねじに結合する第２ナットに取り付けられ、前
   記第２ねじの回転により前記第２ねじと平行に設置され
   た水平ガイドレールに案内されながら相互に接近離反移
   動し、前記搬送容器を搭載する一対の支持アームとを有
   し、 前記昇降ユニットの上下動により１個もしくは複数個の
   搬送容器を前記支持アームに搭載して昇降搬送すること
   を特徴とする自動昇降機構。
3. 【請求項３】 請求項２記載の自動昇降機構を用いた立
   体保管庫であって、 基盤の上方に敷設され、かつ前記搬送容器を搬送する第
   １搬送台車を移動自在に保持する搬送レールと、 １個もしくは複数個の前記搬送容器を一対の支持アーム
   に搭載して保管または昇降搬送する保管庫と、 前記搬送容器の搬出時には前記保管庫まで搬送した搬送
   容器を前記支持アームに受け渡し、かつ前記搬送容器の
   搬入時には前記支持アームから前記搬送容器を受け取っ
   て外部の所定位置まで搬送する第２搬送台車とを有し、 前記搬送容器を昇降搬送する際には一対の支持アームが
   相互に接近状態となって前記搬送容器を搭載し、前記第
   ２搬送台車から前記搬送容器を受け取る際の下降時また
   は前記第２搬送台車に前記搬送容器を受け渡した後の上
   昇時には、一対の支持アームが相互に離反状態となって
   前記第２搬送台車上の搬送容器との干渉を避けて昇降す
   ることを特徴とする立体保管庫。
4. 【請求項４】 請求項３記載の立体保管庫であって、前
   記搬送容器の搬入出を行う際、前記支持アームおよび前
   記第１搬送台車の両者間において、１個ずつ搬送容器の
   受け渡しが行われることを特徴とする立体保管庫。
5. 【請求項５】 請求項３または４記載の立体保管庫であ
   って、前記搬送容器の搬入出を行う際に、空もしくは前
   記搬送容器を載置した第２搬送台車を前記保管庫内の所
   定位置に引き込む台車位置決め手段が前記保管庫に設置
   されていることを特徴とする立体保管庫。
6. 【請求項６】 請求項３，４または５記載の立体保管庫
   であって、前記搬送容器に、前記搬送容器の搬入出の際
   に前記第１搬送台車によって把持される被把持部が設け
   られていることを特徴とする立体保管庫。