JP2022103996A - テープマウンタ - Google Patents

Abstract

【課題】テープマウンタにおいて、作業者によるストッカへのフレーム補充作業を無くす。【解決手段】フレームとウェーハとにテープを貼着し一体化する機構４７と、フレームを収納する第１ストッカ７１と、第１ストッカ７１からフレームテーブル４７７にフレームを搬送する機構３０と、フレーム搬送機構３０がフレームを搬送している際にフレームの第１ストッカ７１への供給を可能としフレームを収納する第２ストッカ７２と、第２ストッカ７２からフレームを第１ストッカ７１に移設させるフレーム移設機構３８と、を備え、テープマウンタ１が設置されているエリアを移動可能なロボット１００からの指令に基づき第２ストッカ７２にフレームを供給可能にする準備機構８を備え、準備機構８は、ロボット１００が第２ストッカ７２にフレームを供給することを可能にするべく第２ストッカ７２をテープマウンタ１の内から外に移動させるストッカ移動部８０を備えるテープマウンタ１。【選択図】図２

Description

本発明は、リングフレームとウェーハとにテープを貼着するテープマウンタに関する。

下記特許文献１に開示されているようなリングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着するテープマウンタは、リングフレームの上面を吸引保持するフレーム搬送機構を用いて、フレームストッカに複数枚積み重ねられているリングフレームの最も上のリングフレームの上面を吸引保持してフレームテーブルに搬送している。

そして、フレームストッカのリングフレームが無くなると、作業者がフレームストッカにリングフレームを補充している。また、テープマウント実施中にリングフレームをフレームストッカに補充可能にするために、下記特許文献２に開示されているように、補充用のフレームストッカをテープマウンタ内に配設させ、作業者が補充用のフレームストッカにリングフレームを補充している。

特開２０１９－１１０１８９号公報 特開２０１６－００９７８６号公報 特開２０１５－０８２５８８号公報 特開２０１９－１４０２１７号公報

このようなリングフレームの補充作業は、作業者の負担になっている。
したがって、テープマウンタにおいては、作業者による補充用のフレームストッカに対するリングフレームの補充作業を無くすという解決すべき課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、開口を有するリングフレームの下面を保持するフレームテーブルと、該リングフレームの開口内でウェーハの下面を保持するウェーハテーブルと、該リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化させるテープ貼着機構と、該リングフレームを積み重ねて収納する第１フレームストッカと、該第１フレームストッカから該フレームテーブルに該リングフレームを搬送するフレーム搬送機構と、ウェーハテーブルにウェーハを搬送するウェーハ搬送機構と、を備えるテープマウンタであって、該フレーム搬送機構が該リングフレームを搬送している際に該リングフレームの該第１フレームストッカへの供給を可能とし該リングフレームを積み重ねて収納する第２フレームストッカと、該第２フレームストッカに収納されている該リングフレームを該第1フレームストッカに移設させるフレーム移設機構と、を備え、テープマウンタが設置されているエリアを移動可能なロボットからの指令に基づいて該第２フレームストッカに該リングフレームを供給可能にする準備機構を備え、該準備機構は、該ロボットによって該第２フレームストッカに該リングフレームを供給することを可能にするために該第２フレームストッカをテープマウンタの内から外に移動させるストッカ移動部を備えるテープマウンタである。

本発明に係るテープマウンタは、開口を有するリングフレームの下面を保持するフレームテーブルと、リングフレームの開口内でウェーハの下面を保持するウェーハテーブルと、リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化させるテープ貼着機構と、リングフレームを積み重ねて収納する第１フレームストッカと、第１フレームストッカからフレームテーブルにリングフレームを搬送するフレーム搬送機構と、ウェーハテーブルにウェーハを搬送するウェーハ搬送機構と、を備え、さらに、フレーム搬送機構がリングフレームを搬送している際にリングフレームの第１フレームストッカへの供給を可能としリングフレームを積み重ねて収納する第２フレームストッカと、第２フレームストッカに収納されているリングフレームを第1フレームストッカに移設させるフレーム移設機構と、を備え、テープマウンタが設置されているエリアを移動可能なロボットからの指令に基づいて第２フレームストッカにリングフレームを供給可能にする準備機構を備えており、準備機構は、ロボットによって第２フレームストッカにリングフレームを供給することを可能にするために第２フレームストッカをテープマウンタの内から外に移動させるストッカ移動部を備えていることによって、作業者によるリングフレームのテープマウンタ内での補充作業を無くすことが可能となり、また、補充作業のためにテープマウンタにおけるフレームセットの作製動作を停止させる必要が無くなる。

保護テープが貼着されたウェーハ、リングフレーム、及びダイシングテープの一例を示す斜視図である。 テープマウンタの全体の一例を示す平面図である。 搬送ロボットの一例を示す斜視図である。 ウェーハ搬送機構の一例を示す斜視図である。 フレームセット反転部の一例を示す斜視図である。 第１フレームストッカとテープマウンタ内部にある状態の第２フレームストッカとを説明する平面図である。 第１フレームストッカとテープマウンタ内部にある状態の第２フレームストッカとを説明する側面図である。 第１フレームストッカとテープマウンタの外に移動した状態の第２フレームストッカとを説明する平面図である。 第１フレームストッカとテープマウンタの外に移動した状態の第２フレームストッカとを説明する側面図である。

図１に示すウェーハ９０は、例えば、外形が円形状のシリコンを母材とする半導体ウェーハであり、ウェーハ９０の表面９０３上には、分割予定ライン９０１によって区画された格子状の領域に多数のデバイス９００が形成されている。そして、表面９０３には、例えば、研削において表面９０３を保護する保護テープ９５が貼着されている。
なお、ウェーハ９０は、シリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、デバイス９００が消形成されていなくてもよい。

図１に示すダイシングテープ９３は、例えば、ウェーハ９０の外径よりも大きい外径を有する円形のテープであり、例えば、ＰＥＴ樹脂等からなる基材層を備えており、基材層上に粘着層を備えている。

下記に説明していく図２に示すテープマウンタ１を用いて、図１においては、上側を向いた状態のダイシングテープ９３の粘着層の外周部分が、円形の開口を備えたリングフレーム９４の裏面に開口を塞ぐように貼着され、ウェーハ９０の裏面９０４が、リングフレーム９４の開口内において露出しているダイシングテープ９３の粘着層に貼着される。そして、ウェーハ９０の中心とリングフレーム９４の開口の中心とは略合致した状態になり、ウェーハ９０は、リングフレーム９４により支持されリングフレーム９４の把持又は吸引によりハンドリングすることが可能となる。即ち、ウェーハ９０、リングフレーム９４、及びダイシングテープ９３からなるフレームセット９９が形成される。

図２に示すテープマウンタ１は、例えばクリーンルーム内に配設されている。
テープマウンタ１は、開口を有するリングフレーム９４の下面を保持するフレームテーブル４７７と、リングフレーム９４の開口内でウェーハ９０の下面となる表面９０３側を保持するウェーハテーブル４７８と、リングフレーム９４とウェーハ９０とにダイシングテープ９３を貼着して一体化させるテープ貼着機構４７と、リングフレーム９４を積み重ねて収納する第１フレームストッカ７１と、第１フレームストッカ７１からフレームテーブル４７７にリングフレーム９４を搬送するフレーム搬送機構３０と、ウェーハテーブル４７８にウェーハ９０を搬送するウェーハ搬送機構５と、を備える。

例えば、テープマウンタ１の上方の空間には、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ：天井吊下式搬送機構）が配設されており、例えば研削後のウェーハ９０が棚状に複数枚収納されたウェーハカセット６２が、ＯＨＴによって図３に示すテープマウンタ１のウェーハカセットステージ１３３に搬送される。

テープマウンタ１のＹ軸方向を長手方向とする装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、フレームセットカセットステージ１３１、及びウェーハカセットステージ１３３がＸ軸方向に並べて設けられており、フレームセットカセットステージ１３１には、図１に示す保護テープ９５が表面９０３から剥離されたウェーハ９０のフレームセット９９が収納されるフレームセットカセット６１が載置され、ウェーハカセットステージ１３３には裏面９０４が研削され所望の厚さまで薄化されたウェーハ９０を棚状に複数枚収納したウェーハカセット６２が載置される。

ウェーハ９０を収納したウェーハカセット６２、及びフレームセット９９を収納するフレームセットカセット６１は、例えば、密閉型又はオープン型のフープ（Ｆｏｕｐ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）であり、フレームセットカセット６１（ウェーハカセット６２）の内部には、複数の棚が上下方向に所定の間隔を空けて形成されている。フレームセットカセット６１の棚は、リングフレーム９４の外周部分を支持した状態で一枚ずつフレームセット９９を収納することが可能となっている。ウェーハカセット６２の棚は、ウェーハ９０の外周部分を支持した状態で一枚ずつウェーハ９０を収納できる。

テープマウンタ１は、例えば、リングフレーム９４を保持するフレーム保持部２１とウェーハ９０を保持するウェーハ保持部２２を有し、ウェーハカセットステージ１３３に載置したウェーハカセット６２からウェーハ９０を取り出し、かつ、フレームセットカセットステージ１３１に載置したフレームセットカセット６１にフレームセット９９を収納できる搬送ロボット２を備えている。

図２、３に示す搬送ロボット２は、多関節ロボットであり、フレーム保持部２１及びウェーハ保持部２２を水平方向に移動させる保持部水平移動機構２３と、フレーム保持部２１及びウェーハ保持部２２を上下方向に移動させる電動アクチュエータ等の保持部上下移動機構２４と、を備えている。

保持部水平移動機構２３は、例えば、複数の板状アーム部材等で構成され内部にプーリ機構を備える旋回アームを旋回モータによってそれぞれ旋回させる構造となっている。即ち、保持部水平移動機構２３は、旋回モータが生み出す回転力により、複数の板状アーム部材を軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である回転軸を軸にして互いに旋回させることで、例えばウェーハ保持部２２を水平面内（Ｘ軸Ｙ軸平面内）において旋回移動させることができるとともに、複数の板状アーム部材を互いが交差した状態から互いが直線状となる状態等に変形させることができ、ウェーハ保持部２２を水平面内において直動させることができる。

保持部水平移動機構２３の下部側には保持部上下移動機構２４が接続されており、保持部上下移動機構２４は、保持部水平移動機構２３と共にウェーハ保持部２２をＺ軸方向において上下動させ、ウェーハ保持部２２を所定高さに位置づけできる。
保持部上下移動機構２４の下側には、図２に示す電動スライダ２４９が配設されており、搬送ロボット２全体をＸ軸方向に往復移動させることが可能となっている。

図３に示すように、保持部水平移動機構２３の板状アーム部材には、柱状のアーム連結部２５９を介して、ウェーハ保持部２２を支持するハウジング２５が接続されている。
ウェーハ保持部２２は、例えば、略長方形の平板状に形成されており、その内部には、吸引路２２０が長手方向に延びるように形成されている。吸引路２２０の一端は、真空発生装置等からなる図示しない吸引源に連通しており、もう一端は、ウェーハ保持部２２の先端側の吸引面において吸引口２２１として開口している。なお、吸引口２２１には、ゴム樹脂等からなり吸着力を高めるための吸着パッドを配設していてもよい。なお、吸引口２２１は、ウェーハ保持部２２の上面及び下面の両面に開口しており、該両面が吸引面となってもよい。

図３に示すように、ウェーハ保持部２２の後端は、ホルダ２５１を介してハウジング２５によって支持されている。ハウジング２５内には、例えば、スピンドルやモータ等からなるウェーハ保持部反転機構２５２が内蔵されており、ウェーハ保持部反転機構２５２によって、ウェーハ保持部２２の吸引口２２１が形成された吸引面を上下に反転させることができる。

フレーム保持部２１は、支持アーム部２６によって支持されており、そのプレート間にリングフレーム９４を挟み込むための上プレート２１１と、下プレート２１２とを備えている。下プレート２１２は、例えば、平板状の鋼板やカーボネート板の外周の一部を略円弧状に切欠くことで、外周の一部が環状のリングフレーム９４の外周に略沿うような形に形成されている。

図１に示す略環状のリングフレーム９４は、例えばその外周に、外周の一部をフラットに切欠くことで、位置決め用の平坦面９４９が形成されている（図１の例においては、４面形成されている）。
図３に示す下プレート２１２の上面には、リングフレーム９４に突き当てられる突き当てブロック２１３が、下プレート２１２の上面の中心線を基準として対称に１つずつ計２つ配設されている。突き当てブロック２１３は、例えば、その外形が略直方体状に形成されており、リングフレーム９４が突き当てられる前面は平坦に形成されている。フレーム保持部２１においては、リングフレーム９４の位置決め用の平坦面９４９に対して、突き当てブロック２１３の前面を突き当てることで、リングフレーム９４の位置決めを行うことができる。

下プレート２１２の上面には、上プレート２１１をリングフレーム９４に対して近づける方向（図３の例においては、Ｙ軸方向）に送り出すプレート送り出し機構２１５が配設されている。プレート送り出し機構２１５は、例えばエアシリンダであり、内部に図示しないピストンを備える筒状のシリンダチューブ２１５１と、シリンダチューブ２１５１に挿入され一端がピストンに取り付けられたピストンロッド２１５２とを備える。ピストンロッド２１５２のもう一端には、上プレート２１１を支持する支持バー２１５３が接続されている。支持バー２１５３は、下プレート２１２の上面上にピストンロッド２１５２と平行に配設された一対のガイドレール２１５４に対して、その底部が緩嵌合しており、一対のガイドレール２１５４上を摺接することができる。
なお、プレート送り出し機構２１５は、エアシリンダに限定されるものではなく、例えば、電動シリンダ等であってもよい。

支持バー２１５３の長手方向（図３の例においては、Ｘ軸方向）の両端には、挟持シリンダ２１６がそれぞれ配設されている。挟持シリンダ２１６のＺ軸方向に可動な各ピストンロッドの下端には、平板状に形成された各上プレート２１１の上面が接続されている。上プレート２１１は、略長方形の外周の一部を円弧状に切欠くことで、その外周の一部が図１に示すリングフレーム９４の外周に略沿うような形に形成されている。フレーム保持部２１は、上プレート２１１と下プレート２１２との間にリングフレーム９４を位置づけ、挟持シリンダ２１６により上プレート２１１を降下させることで、上プレート２１１と下プレート２１２とにより、リングフレーム９４を上下両側から挟み込み保持できる。
例えば、図３に示すように、下プレート２１２の略円弧状に切欠かれた外周の側面部分に、リングフレーム９４の有無を確認するための感知センサ２１７を配設するものとしてもよい。

図３に示すように、フレーム保持部２１は、ウェーハ保持部２２を支持するハウジング２５上に旋回軸２６６を介して取り付けされた支持アーム部２６の前面に取り付けられている。そして、フレーム保持部２１は、ウェーハ保持部２２に対して相対的に水平面に平行に旋回移動可能となっている。

図３に示すテープマウンタ１の装置ベース１０の後方側（＋Ｙ方向側）に配設されリングフレーム９４とウェーハ９０とにダイシングテープ９３を貼着して一体化させるテープ貼着機構４７は、例えば、ウェーハ９０及びリングフレーム９４を吸引保持可能なテープ貼着テーブル４７０を備えている。テープ貼着テーブル４７０は、ボールネジ機構４７３によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。ガイドレール４７８２に沿ってＹ軸方向に直動するテープ貼着テーブル４７０の移動経路の上方には、予め円形にプリカット等されたダイシングテープ９３が貼着された図示しない帯状シートをテープロール９３５から引き出す引き出しローラ４７２、帯状シートからダイシングテープ９３を剥離するピールプレート４７５、及びＸ軸方向の回転軸回りに回動する貼着ローラ４７４が配設されている。

テープ貼着テーブル４７０は、開口を有するリングフレーム９４の下面を保持するフレームテーブル４７７と、リングフレーム９４の円形の開口内でウェーハ９０の下面を保持するウェーハテーブル４７８とを備えている。
フレームテーブル４７７とウェーハテーブル４７８とは一体となってＹ軸方向に往復移動可能であり、ウェーハテーブル４７８は、ポーラス部材等で構成される平坦な保持面を備えており、保持面に連通する図示しない真空発生装置等の吸引源が生み出す吸引力によってウェーハ９０を吸引保持する。フレームテーブル４７７は、ウェーハテーブル４７８を囲繞しており、リングフレーム９４の下面を支持する支持面を備え、支持面に複数の吸盤を配置して、吸盤に連通する図示しない真空発生装置等の吸引源が生み出す吸引力によってリングフレーム９４の下面を吸引保持するとともに支持面でリングフレーム９４の下面を支持する。

引き出しローラ４７２によってテープロール９３５より引き出された帯状シートからピールプレート４７５がダイシングテープ９３を剥離しつつ、貼着ローラ４７４の下方をＹ軸方向に移動するテープ貼着テーブル４７０上に保持されたウェーハ９０及びリングフレーム９４に対して、貼着ローラ４７４がテープ貼着を実行する。
なお、図２に示す例においては、＋Ｙ方向側から－Ｙ方向側に向かって順に、テープロール９３５、引き出しローラ４７２、ピールプレート４７５、及び貼着ローラ４７４が配設されているが、－Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向かって順に上記各構成が並べて配設されていてもよい。

図３に示すように、テープ貼着テーブル４７０の移動経路の上方には、第１フレームストッカ７１からフレームテーブル４７７にリングフレーム９４を搬送するフレーム搬送機構３０が配設されている。
フレーム搬送機構３０は、例えば搬送パッド３００を備えており、搬送パッド３００は、平面視円形板状の基部３０１と、基部３０１の外周から例えば４本放射状に水平に延在する吸盤支持部３０２と、吸盤支持部３０２の先端下面に配設されリングフレーム９４を吸着する吸盤３０３とを備えている。各吸盤３０３は、吸着力を生み出す図示しない吸引源に連通している。

基部３０１は水平に延在する旋回アーム３０５の先端に取り付けられており、該旋回アーム３０５の後端側にはモータ及び旋回軸等からなる旋回機構３０６が接続されており、旋回アーム３０５は水平面内を３６０度旋回可能となっている。また、旋回アーム３０５はアクチュエータ等によってＺ軸方向に上下動可能となっている。そして、フレーム搬送機構３０は、テープ貼着テーブル４７０から後述する保護テープ剥離機構４３の剥離テーブル４３６にフレームセット９９を搬送することができる。

ウェーハテーブル４７８にウェーハ９０を搬送する図４に示すウェーハ搬送機構５は、例えば、図２に示す搬送ロボット２の近傍に配設されており、フレームテーブル４７７とウェーハテーブル４７８とからなるテープ貼着テーブル４７０の上方を例えばＹ軸方向に移動可能となっている。

図４に具体的な構造を示すウェーハ搬送機構５は、例えば、装置ベース１０上の－Ｘ方向側の領域に立設されたコラム５１に配設された吸引パッド移動機構５２と、吸引パッド移動機構５２と吸引パッド５５とを接続するとともに吸引パッド５５を上下動する吸引パッド上下動機構５３と、搬送ロボット２のウェーハ保持部２２が保持するウェーハ９０を受け取る吸引パッド５５と、を備えている。

吸引パッド移動機構５２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ５２０と、ボールネジ５２０と平行に配設された一対のガイドレール５２１と、ボールネジ５２０の一端に連結しボールネジ５２０を回動させるモータ５２２と、内部のナットがボールネジ５２０に螺合し側部がガイドレール５２１に摺接する可動ブロック５２３とを備えており、モータ５２２がボールネジ５２０を回動させると、これに伴い可動ブロック５２３がガイドレール５２１にガイドされてＹ軸方向に直動し、可動ブロック５２３上に吸引パッド上下動機構５３を介して配設された吸引パッド５５をＹ軸方向に移動させることができる。

吸引パッド上下動機構５３は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ５３０と、ボールネジ５３０と平行に配設されたガイドレール５３１と、ボールネジ５３０の上端に連結しボールネジ５３０を回動させるモータ５３２と、内部のナットがボールネジ５３０に螺合し側部がガイドレール５３１に摺接する昇降アーム５３３と、を備えており、モータ５３２がボールネジ５３０を回動させると、これに伴い＋Ｘ方向に延びる昇降アーム５３３がガイドレール５３１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降アーム５３３の先端に配設された吸引パッド５５がＺ軸方向に上下動する。

例えば昇降アーム５３３の先端側下面に、固定ボルト５４１、スプリング支持部材５４２、及びウェーハ９０に接触時の衝撃を吸収するためのスプリング等を備える支持ピン５４３を介して上面が取り付けされた吸引パッド５５は、その外形が平面視円形板状であり、ポーラス部材等からなりウェーハ９０を吸引保持可能な保持面（下面）５５０を備えている。保持面５５０は吸引パイプ５５３や継手等を介して、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通している。
Ｙ軸方向に直動する吸引パッド５５の移動経路下方に図２に示すウェーハテーブル４７８が位置している。

フレーム搬送機構３０は、テープ貼着テーブル４７０から後述する保護テープ剥離機構４３の剥離テーブル４３６にフレームセット９９を搬送することができる。図２に示す保護テープ剥離機構４３は、例えば、フレームセット９９を吸引保持可能な剥離テーブル４３６を備えており、剥離テーブル４３６の上方には、把持した図示しない剥離テープを保護テープ９５に貼着させた状態で電動スライダ等の剥離部移動機構４３５によってＹ軸方向に移動することでウェーハ９０から保護テープ９５を剥離する剥離部４３１が配設されている。なお、剥離部４３１は、ウェーハ９０の表面９０３に貼着されている保護テープ９５を直に把持した状態で剥がしていく剥離クランプであってもよい。
なお、剥離テープは、例えば、熱を加えることで粘着性を発現するヒートシールであるが、これに限定されるものではない。

例えば、剥離テーブル４３６は、ボールネジ機構４３２が生み出す駆動力によって、ガイドレール４３７に沿ってＹ軸方向に直動可能となっている。
剥離テーブル４３６の移動経路の上方には、フレームセット反転部４６が配設されている。
図２、図５に示すフレームセット反転部４６は、例えば反転パッド４６０を備えており、反転パッド４６０は、矩形板状の基部４６１と、基部４６１の下面の四隅に配設されリングフレーム９４を吸着する吸盤４６３とを備えている。そして、反転パッド４６０の直下に図２に示す剥離テーブル４３６を位置づけ可能となっている。

また、フレームセット反転部４６は、反転パッド４６０をＺ軸方向に上下動させる反転パッド上下動機構４６７と、反転パッド４６０の上面に接続された反転モータ４６５と、反転モータ４６５により回転可能で軸方向がＹ軸方向であり昇降ブロック４６７３に接続された回転軸４６４と、を備えている。各吸盤４６３は、図示しない吸引源に連通している。反転モータ４６５が回転軸４６４を所定角度回転させることに伴って、基部４６１が回転して、吸盤４６３で四点吸引保持されているフレームセット９９を下方に向けた状態と上方に向けた状態とに切り換えることができる。例えば、反転パッド４６０の－Ｙ方向側の背後には、反転パッド用コラム４６９が立設されており、反転パッド用コラム４６９の前面（＋Ｙ方向側面）に反転パッド上下動機構４６７が配設されている。
なお、反転モータ４６５の代わりにロータリシリンダで回転軸４６４を回転させてもよい。また、反転モータ４６５を昇降ブロック４６７３に配設させ反転パッド４６０を回転軸４６４に接続してもよい。

反転パッド上下動機構４６７は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ４６７０と、ボールネジ４６７０と平行に配設された一対のガイドレール４６７１と、ボールネジ４６７０の上端に連結しボールネジ４６７０を回動させるモータ４６７２と、内部のナットがボールネジ４６７０に螺合し側部がガイドレール４６７１に摺接する昇降ブロック４６７３と、を備えており、モータ４６７２がボールネジ４６７０を回動させると、これに伴い回転軸４６４を図示しないベアリング等を介して回転可能に支持している昇降ブロック４６７３がガイドレール４６７１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、回転軸４６４の先端に配設された反転パッド４６０がＺ軸方向に上下動する。

図２に示すフレーム搬送機構３０の搬送パッド３００の移動経路下方には、リングフレーム９４を積み重ねて収納する第１フレームストッカ７１が配設されている。また、第１フレームストッカ７１の上方を先に説明したテープ貼着テーブル４７０がＹ軸方向に移動可能となっている。
図６、図７に示す第１フレームストッカ７１は、リングフレーム９４を重ねて載置する箱状のストッカステージ７１２を備えており、ストッカステージ７１２のリングフレーム９４を載置する載置面には、リングフレーム９４の内側に沿うように等間隔に４本のポール７１３が立設されている。リングフレーム９４の開口内に各ポール７１３が入り込むことで、各ポール７１３の外周面に沿って載置面上にリングフレーム９４が下から順に積み重ねられる。複数のリングフレーム９４は、中心を揃えた状態で第１フレームストッカ７１に収容されており、上下動及び水平面内を旋回移動可能なフレーム搬送機構３０によって一番上に位置するリングフレーム９４から順番に持ち上げられて、図２に示すフレームテーブル４７７に搬送される。

図２、６、７に示すように、テープマウンタ１は、フレーム搬送機構３０が吸引保持したリングフレーム９４を例えばフレームテーブル４７７に搬送している際にリングフレーム９４の第１フレームストッカ７１への供給を可能としリングフレーム９４を積み重ねて収納する第２フレームストッカ７２と、第２フレームストッカ７２に収納されているリングフレーム９４を第１フレームストッカ７１に移設させるフレーム移設機構３８（図７のみ図示）と、を備えている。
なお、フレーム移設機構３８は、ダイシングテープ９３をウェーハ９０及びリングフレーム９４に貼着していないときにのみ、第２フレームストッカ７２に収納されているリングフレーム９４を第１フレームストッカ７１に移設してもよい。

例えば、第２フレームストッカ７２の上方を先に説明したテープ貼着テーブル４７０がＹ軸方向に移動可能となっており、第１フレームストッカ７１に対してリングフレーム９４を供給する第２フレームストッカ７２は、装置ベース１０内部の－Ｘ方向側の領域に位置している。そして、例えば、第１フレームストッカ７１と第２フレームストッカ７２とは略同様の高さ位置に位置している。

図６、７に示す第２フレームストッカ７２は、リングフレーム９４を重ねて載置する箱状のストッカステージ７２２を備えており、ストッカステージ７２２のリングフレーム９４を載置する載置面には、リングフレーム９４の内側に沿うように等間隔に４本のポール７２３が立設されている。リングフレーム９４の開口内に各ポール７２３が入り込むことで、各ポール７２３の外周面に沿って載置面上にリングフレーム９４が下から順に積み重ねられる。複数のリングフレーム９４は中心を揃えた状態で第２フレームストッカ７２に収容されており、フレーム移設機構３８によって一番上に位置するリングフレーム９４から順番に持ち上げられて、第１フレームストッカ７１に搬送される。
例えば、第１フレームストッカ７１、及び第２フレームストッカ７２は、重量センサ、光センサ、感圧センサ等のストッカ内のリングフレーム９４の有無を検知できる図示しないフレーム検知センサを備えていてもよい。

図７に示すフレーム移設機構３８は、フレーム搬送機構３０と略同一の構成を備えており、第２フレームストッカ７２の上方に配設されている。フレーム移設機構３８は、円形板状の基部３８１と、基部３８１の外周から例えば４本放射状に水平に延在する吸盤支持部３８２と、吸盤支持部３８２の先端下面に配設されリングフレーム９４を吸着する吸引力が伝達される吸盤３８３とを備える搬送パッド３８０を有している。
搬送パッド３８０は、水平面内を第２フレームストッカ７２の上方から第１フレームストッカ７１の上方まで旋回移動できるとともに、Ｚ軸方向に上下動可能となっている。

図７に示すように、テープマウンタ１は、テープマウンタ１が設置されているエリア１０２（例えば、クリーンルーム内）を移動可能なテープマウンタ１外のＡＧＶ等のロボット１００（図７のみ図示）からの指令に基づいて第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４を供給可能にする準備機構８を備え、準備機構８は、ロボット１００から第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４を供給することを可能にするために第２フレームストッカ７２をテープマウンタ１の内から外のエリア１０２側に移動させる（飛び出させる）ストッカ移動部８０を備えている。

例えば、装置ベース１０の第２フレームストッカ７２が配設されている－Ｘ方向側の側壁１０９には、準備機構８の一部でありスライド移動（図示の例においては、Ｙ軸方向に移動）可能な開閉扉８８が形成されている。開閉扉８８は、例えば、図示しない開閉ボタンやスイッチをロボット１００が押す、ロボット１００が図示しない開閉センサに信号を送る、又は図示しない取っ手をロボット１００が引くことで開くが、これに限定されるものではなく、開き戸式の開閉扉や、蛇腹が伸縮することで開閉が行われるシャッター式の開閉扉等であってもよい。

図６に示すように、ストッカ移動部８０は、例えば、装置ベース１０内の開閉扉８８の後方側（＋Ｘ方向側）に配設されＸ軸方向に延在する一対のスライドレール８００と、スライドレール８００に緩嵌合し一対のスライドレール８００上を各々摺動するスライダ８０１と、スライダ８０１に接続され図７に示す台車８０９に連結されＸ軸方向に進退する進退バー８０２と、ストッカステージ７２２が載せられた台車８０９とを備える。スライドレール８００とスライダ８０１とによって台車８０９に載せられた第２フレームストッカ７２をＸ軸方向に直動させることができる。

図７に示す台車８０９の下面に取り付けられた後輪キャスター８０５は、後輪キャスター８０５の移動を規制可能で装置ベース１０の底板１０８に配設された位置決め板８０６上を移動する。台車８０９の下面に取り付けられた前輪キャスター８０４は、底板１０８を通り貫けてエリア１０２内の床Ｅ１に接地している。
位置決め板８０６は、後輪キャスター８０５が転がる上面の後方側（＋Ｘ方向側）に後輪キャスター８０５が一時的にはまる位置決め溝８０６６が形成されており、第２フレームストッカ７２がテープマウンタ１内にある場合に位置決め溝８０６６に後輪キャスター８０５がはまることで第２フレームストッカ７２が装置ベース１０内の定位置に収まった状態になる。
また、位置決め板８０６の上面の前方側（－Ｘ方向側）には、ストッパー壁８０６８が立設されており、第２フレームストッカ７２がテープマウンタ１の外に飛び出た際にストッパー壁８０６８によって後輪キャスター８０５が止められることで第２フレームストッカ７２が装置ベース１０外の定位置に収まった状態になる。なお、ストッパー壁８０６８の代わりに、位置決め板８０６の上面の前方側の領域に後輪キャスター８０５がはまる位置決め溝を形成してもよい。

台車８０９の前面には、例えば、エリア１０２内を自走するロボット１００が把持又は連結できる引手８０９９が取り付けされており、開閉扉８８が開かれた後、該引手８０９９をロボット１００が引っ張って、台車８０９と共に台車８０９上の第２フレームストッカ７２をテープマウンタ１の外に飛び出させてもよい。
または、台車８０９の後方にアクチュエータ等の図示しない押し出し機構を配設して、ロボット１００からの指令を受けたテープマウンタ１の図２に示す制御部１７の制御の下、又はロボット１００からの押し出し指令の下で、該押し出し機構が台車８０９を－Ｘ方向に押すことで、台車８０９上の第２フレームストッカ７２をテープマウンタ１の外に飛び出させてもよい。

図２に示すように、テープマウンタ１は、テープマウンタ１の各構成要素を制御する制御部１７を備えている。
制御部１７は、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等から構成されており、図示しない有線又は無線の通信経路を介して、搬送ロボット２をＸ軸方向に移動させる電動スライダ２４９、搬送ロボット２、フレーム搬送機構３０、フレームセット反転部４６等に電気的に接続されており、それぞれのモータ制御やシーケンス制御等を行うことができる。また、例えば、制御部１７には、第１フレームストッカ７１、又は第２フレームストッカ７２のリングフレーム９４が空になったことを検知した図示しないフレーム検知センサからの検知信号が送られてきてもよい。

例えば研削後の図１に示すウェーハ９０が図２に示すテープマウンタ１によってダイシング可能なフレームセット９９とされる場合の一例を、テープマウンタ１の動作とともに以下に説明する。

例えば図示しないＯＨＴが供給源から、保護テープ９５が貼着された研削後の複数枚のウェーハ９０が収納されたウェーハカセット６２を、図２に示すテープマウンタ１のウェーハカセットステージ１３３に載置する。

例えば、ウェーハカセットステージ１３３に研削後のウェーハ９０が収納されたウェーハカセット６２が載置されると、制御部１７による搬送ロボット２の制御が行われる。即ち、図２に示す電動スライダ２４９が、搬送ロボット２をＸ軸方向に移動させて、ウェーハカセットステージ１３３に載置されたウェーハカセット６２の前方に位置付けされる。さらに、保持部水平移動機構２３が、ウェーハ保持部２２を旋回させて、ウェーハ保持部２２をウェーハカセット６２の開口の正面に位置するように位置づけ、ウェーハ保持部２２の長手方向（Ｙ軸方向）とウェーハカセット６２のウェーハ９０の差込方向とを一致させる。また、保持部上下移動機構２４が、ウェーハカセット６２の棚に収納されている狙いのウェーハ９０の高さ位置にウェーハ保持部２２を位置づけする。

例えば、図３に示すウェーハ保持部反転機構２５２がウェーハ保持部２２を上下反転して、ウェーハ保持部２２の吸引口２２１が形成された吸引面が上側を向いた状態にセットされる。
次いで、ウェーハ保持部２２が－Ｙ方向に移動していき、ウェーハ保持部２２が開口からウェーハカセット６２の内部の所定の位置まで進入していく。そして、ウェーハ保持部２２がウェーハ９０の中心を通るように位置づけされる。

さらに、ウェーハ保持部２２が上昇して、ウェーハカセット６２内においてウェーハ９０の下方を向いている表面９０３に貼着されている保護テープ９５に吸引面を接触させる。また、図示しない吸引源が生み出す吸引力が、吸引路２２０を通り吸引口２２１まで伝達されることで、ウェーハ保持部２２によりウェーハ９０が下方から吸引保持される。ウェーハ保持部２２に吸引保持されたウェーハ９０は、裏面９０４が上側を向いた状態になっている。次に、ウェーハ９０を吸引保持したウェーハ保持部２２がウェーハカセット６２の内から外まで移動し、ウェーハ９０が搬送ロボット２によりウェーハカセット６２の内部から搬出される。

搬送ロボット２が、ウェーハカセット６２からウェーハ９０を吸引保持して搬出し、さらに、例えば、制御部１７により、搬送ロボット２のウェーハ保持部２２が保持するウェーハ９０を図４に示すウェーハ搬送機構５が受け取りウェーハテーブル４７８に搬送する制御が実施される。
具体的には、制御部１７による制御の下で、保持部水平移動機構２３によってウェーハ９０を保持するウェーハ保持部２２が水平移動（旋回移動）され、また、ウェーハ搬送機構５の吸引パッド移動機構５２によって吸引パッド５５がＹ軸方向に移動して、ウェーハ保持部２２が吸引保持するウェーハ９０と吸引パッド５５との水平面内における位置合わせが行われる。そして、吸引パッド５５の中心とウェーハ９０の中心とが略合致せしめられ、吸引パッド５５の直下にウェーハ９０が位置した状態になる。

吸引パッド上下動機構５３によって吸引パッド５５の保持面５５０がウェーハ９０の裏面９０４に接触する高さ位置まで吸引パッド５５が降下した後、該高さ位置で降下が停止する。そして、図示しない吸引源から保持面５５０に伝達される吸引力により、吸引パッド５５は保持面５５０でウェーハ９０の裏面９０４を吸着する。吸引パッド５５によるウェーハ９０の吸引保持がなされると、搬送ロボット２によるウェーハ９０の吸引保持を停止させる制御が行われ、その結果、ウェーハ９０のウェーハ搬送機構５への受け渡しが完了する。

制御部１７による吸引パッド移動機構５２及び吸引パッド上下動機構５３の制御の下で、ウェーハ搬送機構５が、吸引パッド５５で吸引保持したウェーハ９０をテープ貼着テーブル４７０のウェーハテーブル４７８上に互いの中心が略合致するように載置し、ウェーハ９０が裏面９０４を上側に露出させた状態でウェーハテーブル４７８によって吸引保持される。

また、制御部１７によるフレーム搬送機構３０の制御の下で、図２に示すようにフレーム搬送機構３０が第１フレームストッカ７１からリングフレーム９４を一枚取り出す。具体的には、第１フレームストッカ７１の上方から図２に示すテープ貼着テーブル４７０がＹ軸方向に退避してリングフレーム９４の第１フレームストッカ７１からの搬出が可能となった状態で、図２、図６に示すフレーム搬送機構３０の旋回機構３０６によって搬送パッド３００が旋回移動して、第１フレームストッカ７１の上方に搬送パッド３００が位置付けされる。そして、搬送パッド３００の中心と第１フレームストッカ７１に収納されたリングフレーム９４の中心とが略合致せしめられ、搬送パッド３００の直下にリングフレーム９４が位置した状態になる。

搬送パッド３００の吸盤３０３が第１フレームストッカ７１に収納された一番上のリングフレーム９４の上面に接触する高さ位置まで搬送パッド３００が降下した後、該高さ位置で降下が停止する。そして、図示しない吸引源から吸盤３０３に伝達されている吸引力により、搬送パッド３００はリングフレーム９４の上面を吸着する。

リングフレーム９４を吸引保持した搬送パッド３００が上昇した後旋回移動して、吸引保持したリングフレーム９４を図２に示すテープ貼着テーブル４７０のフレームテーブル４７７上に互いの中心が略合致するように水平面内において位置合わせする。そして、搬送パッド３００が降下して、リングフレーム９４がフレームテーブル４７７に載置され吸引保持される。リングフレーム９４の開口の中に、ウェーハ９０がその中心を該開口の中心と略合致させて配置された状態になる。ウェーハ９０の保護テープ９５が貼着された表面９０３はウェーハテーブル４７８によって吸引保持されており、ウェーハ９０の既に研削されている裏面９０４が上側を向いており、裏面９０４とリングフレーム９４の上面とは略同一の高さ位置に位置している。

次いで、図２に示す引き出しローラ４７２によって、引き出しローラ４７２の近傍に引き出し可能にセットされたテープロール９３５から帯状シートがピールプレート４７５に向かって引き出され、ピールプレート４７５によって帯状シートから図１に示すダイシングテープ９３が剥離されつつ、貼着ローラ４７４が所定の回転速度で回転する。さらに、ボールネジ機構４７３によってテープ貼着テーブル４７０がＹ軸方向に送り出されていくことで、貼着ローラ４７４によって、フレームテーブル４７７に吸引保持されたリングフレーム９４の上面の外周側、及びウェーハテーブル４７８に吸引保持されたウェーハ９０の裏面９０４の外周側からダイシングテープ９３が両対象に押し付けられる。

そして、貼着ローラ４７４でダイシングテープ９３をリングフレーム９４及びウェーハ９０に押し付けながら、テープ貼着テーブル４７０を貼着ローラ４７４下方を通過し終える所定の位置に至るまでＹ軸方向に移動させると、ウェーハ９０とリングフレーム９４とに一枚のダイシングテープ９３を貼着することができ、ウェーハ９０とリングフレーム９４とをダイシングテープ９３で一体化させたフレームセット９９を作製できる。

次いで、フレーム搬送機構３０が、フレームセット９９となったリングフレーム９４を上面側から吸引保持して上昇してから水平面内を旋回移動して、テープ貼着テーブル４７０から搬出し、さらに、図２に示すフレームセット反転部４６の反転パッド４６０の上方に位置付ける。フレームセット９９のウェーハ９０は、保護テープ９５で保護された表面９０３側が下方を向いた状態になっている。
図２、図５に示す反転パッド４６０は、４つの吸盤４６３が上側を向けられた状態にセットされており、さらに、反転パッド上下動機構４６７によって上昇することで、上方に位置付けされたフレームセット９９のリングフレーム９４の下面に吸盤４６３を接触させる。
図示しない吸引源が生み出す吸引力が、吸盤４６３に伝達され、吸盤４６３がリングフレーム９４の下面を吸着することで、フレームセット反転部４６によりフレームセット９９が吸引保持される。また、フレーム搬送機構３０が、フレームセット９９の吸引保持を解除して、フレームセット９９から離間する。

次いで、反転モータ４６５が回転軸４６４を１８０度回転させることに伴って、基部４６１が回転して、吸盤４６３で四点吸引保持されているフレームセット９９を上下反転させることで、保護テープ９５が貼着されているウェーハ９０の表面９０３が上側を向いた状態になり、フレームセット９９は上側から反転パッド４６０で吸引保持された状態になる。

剥離テーブル４３６がボールネジ機構４３２によって＋Ｙ方向に移動されて、フレームセット９９を吸引保持している反転パッド４６０の下方に位置付けされる。次いで、反転パッド上下動機構４６７が反転パッド４６０を下降させていき、フレームセット９９となったウェーハ９０の中心と剥離テーブル４３６の中心とが略合致した状態で、フレームセット９９が剥離テーブル４３６に載置され吸引保持される。反転パッド４６０が上昇してフレームセット９９から離間して、フレームセット９９となったウェーハ９０は、保護テープ９５で保護されている表面９０３が上側に向けられた状態となる。

図２に示す制御部１７による制御の下で、例えば剥離部４３１が剥離部移動機構４３５によってＹ軸方向に移動して、また、ボールネジ機構４３２によってフレームセット９９を吸引保持した剥離テーブル４３６がＹ軸方向に移動して、剥離部４３１の真下にウェーハ９０のデバイス面である表面９０３に貼着されている保護テープ９５の外周部分が位置付けられる。続いて剥離部４３１が剥離テープを保護テープ９５に貼着させる。この状態で、剥離部４３１と剥離テーブル４３６とを相対的にＹ軸方向において離間するように移動させ、ウェーハ９０の一方の外周縁から中心に、さらに中心から他方の外周縁に向かって表面９０３から保護テープ９５を剥離する。

ウェーハ９０から保護テープ９５が完全に剥離された後、剥離テーブル４３６の上方に、フレーム搬送機構３０の搬送パッド３００がその中心とフレームセット９９の中心とを略合致させるように位置付けされる。次いで、下降するフレーム搬送機構３０の吸盤３０３にリングフレーム９４の上面が接触し、フレームセット９９がフレーム搬送機構３０によって吸引保持される。
なお、フレーム搬送機構３０が、反転パッド４６０に吸引保持され反転されてウェーハ９０の裏面９０４が上側を向いた状態のフレームセット９９を受け取ってもよい。

次に、制御部１７の制御の下で、フレーム搬送機構３０が保持するフレームセット９９を搬送ロボット２のフレーム保持部２１が受け取る。即ち、保持部水平移動機構２３によってフレーム保持部２１が旋回移動され、また、フレーム搬送機構３０の旋回機構３０６によってフレームセット９９を吸引保持する搬送パッド３００が旋回移動して、フレーム搬送機構３０が保持するフレームセット９９とフレーム保持部２１との水平面内における位置合わせが行われる。

図３に示すフレーム保持部２１がフレーム搬送機構３０からフレームセット９９を受け取るのをウェーハ保持部２２が妨げることを防止するために、例えば、フレーム保持部２１の突き出し方向（すなわち、上プレート２１１の進行方向）がウェーハ保持部２２の長手方向に対して直交するように、フレーム保持部２１が旋回軸２６６を軸に旋回してウェーハ保持部２２から離間する。

保持部上下移動機構２４が、吸引保持されているリングフレーム９４の高さ位置にフレーム保持部２１を位置づけする。
例えば、下プレート２１２の上面の中心線とリングフレーム９４の直径とが略合致するように、フレーム保持部２１が位置づけられており、この位置づけにおいては、図１に示すリングフレーム９４の位置決め用の平坦面９４９に対して、図３に示すフレーム保持部２１の突き当てブロック２１３の突き当て面が対面する。

次いで、リングフレーム９４の平坦面９４９に突き当てブロック２１３の突き当て面が接触するまで、フレーム保持部２１をフレーム搬送機構３０が保持するフレームセット９９のリングフレーム９４に接近させていく。リングフレーム９４の平坦面９４９に突き当てブロック２１３の突き当て面が接触することで、フレーム保持部２１のフレームセット９９に対する位置決めが行われ、また、フレーム保持部２１の－Ｙ方向の移動が停止する。

さらに、図３に示すプレート送り出し機構２１５により、例えば、上プレート２１１の先端位置が下プレート２１２の略円弧状に切欠かれた外周の位置に至るまで、上プレート２１１が下プレート２１２上を－Ｙ方向に移動する。その後、リングフレーム９４の下面に下プレート２１２の上面が接触するまで、フレーム保持部２１が上昇する。または、フレーム搬送機構３０が降下する。次いで、挟持シリンダ２１６により上プレート２１１を降下させることで、上プレート２１１と下プレート２１２とにより、リングフレーム９４を挟み込み、フレーム保持部２１によるフレームセット９９の受け取り保持が完了する。
そして、フレーム保持部２１がリングフレーム９４を保持した後、フレーム搬送機構３０によるリングフレーム９４の吸引保持が解除される。

次に、例えば、フレームセットカセットステージ１３１に載置した空のフレームセットカセット６１に搬送ロボット２のフレーム保持部２１が保持するフレームセット９９を収納する制御を制御部１７が行う。
図２に示す電動スライダ２４９が、搬送ロボット２をＸ軸方向に移動させて、フレームセットカセット６１の前方に搬送ロボット２が位置付けされる。さらに、保持部水平移動機構２３が、フレームセット９９を挟持保持したフレーム保持部２１を旋回させて、フレーム保持部２１をフレームセットカセット６１の開口の正面に位置するように位置づける。また、保持部上下移動機構２４が、フレームセットカセット６１の狙いの棚の高さ位置にフレーム保持部２１を位置づけする。そして、フレーム保持部２１がフレームセットカセット６１内に進入していき、狙いの棚にフレームセット９９を載置した後、フレームセットカセット６１内から退出する。

上記のように図２に示すフレームセットカセット６１内の棚にフレームセット９９が一枚ずつ収納されていき、フレームセットカセット６１が例えば満杯になると、図示しないＯＨＴが、フレームセットカセット６１を、フレームセットカセットステージ１３１から図示しない切削装置等に搬送する。そして、図示しない切削装置において、フレームセット９９となったウェーハ９０は、分割予定ライン９０１に沿って個々のデバイスチップに分割される。

上記のように、テープマウンタ１においてウェーハ９０とリングフレーム９４とをフレームセット９９にしていくと、図６、図７に示す第１フレームストッカ７１に収容されているリングフレーム９４の数が減っていき無くなるので、テープ貼着機構４７によってウェーハ９０をフレームセット９９とすることができなくなる。そのため、適切なタイミングで、フレーム搬送機構３０がリングフレーム９１をフレームテーブル４７７に搬送している最中やフレームセット９９をフレームセットカセット６１に搬送している最中において、図７に示すフレーム移設機構３８が、第２フレームストッカ７２から第１フレームストッカ７１内にリングフレーム９４を移設する。

具体的には、図６、図７に示すように、第２フレームストッカ７２は、テープマウンタ１の装置ベース１０内に収納された状態になっている。図７に示すフレーム移設機構３８の搬送パッド３８０が旋回移動して、第２フレームストッカ７２の上方に搬送パッド３８０が位置付けされる。そして、搬送パッド３８０の中心と第２フレームストッカ７２に収納されているリングフレーム９４の中心とが略合致せしめられる。

搬送パッド３８０が下降して第２フレームストッカ７２に収納された一番上のリングフレーム９４の上面に吸盤３８３が接触する。そして、吸盤３８３に伝達されている吸引力により、搬送パッド３８０はリングフレーム９４の上面を吸着する。リングフレーム９４を吸引保持した搬送パッド３８０が上昇後に旋回移動して、第２フレームストッカ７２からリングフレーム９４を搬出する。さらに、搬送パッド３８０によって吸引保持されたリングフレーム９４が、図６に示す第１フレームストッカ７１上で互いの中心が略合致するように水平面内において位置合わせされる。そして、搬送パッド３８０が降下して、リングフレーム９４が４本のポール７１３に沿って下降していき、第１フレームストッカ７１のストッカステージ７１２に載置された後、搬送パッド３８０によるリングフレーム９４の吸引保持が解除される。このようにして、第２フレームストッカ７２から第１フレームストッカ７１にリングフレーム９４が連続して移設されていく。

第２フレームストッカ７２から第１フレームストッカ７１にフレーム移設機構３８によってリングフレーム９４を移設していくと、第２フレームストッカ７２に収容されているリングフレーム９４の数が減っていき無くなるので、例えば、上記移設作業が完了した後に、図８、図９に示すテープマウンタ１が設置されているクリーンルーム内のエリア１０２を移動しているロボット１００からの指令に基づいて第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４が供給される。

具体的には、制御部１７とエリア１０２内を自走するロボット１００とは無線ＬＡＮ等を用いて無線通信可能となっており、制御部１７が第２フレームストッカ７２のリングフレーム９４が空になった事を例えば第２フレームストッカ７２に配設された図示しないフレーム検知センサからの信号によって検知すると、制御部１７から無線通信を介してロボット１００に信号が送られる。そして、図９に示すように、ロボット１００が対象のテープマウンタ１の開閉扉８８の近傍まで移動した後、ロボット１００が図８、及び図９に示すように開閉扉８８を開く。そして、ロボット１００とストッカ移動部８０とによって台車８０９がテープマウンタ１の外に引き出される、又はロボット１００からの信号を受けた図示しない押し出し機構が台車８０９を背後から押してテープマウンタ１の外に飛び出させる。ストッパー壁８０６８に後輪キャスター８０５が止められることで、第２フレームストッカ７２が装置ベース１０外でリングフレーム９４が補充される定位置に収まった状態になる。

例えば、第２フレームストッカ７２は、収容しているリングフレーム９４の品種を記憶するＲＦＩＤタグ７２５などを備えていてもよい。そして、例えば複数種類のリングフレーム９４を有しているロボット１００は、ＲＦＩＤリーダー等を備えており、これから第２フレームストッカ７２に補充するリングフレーム９４の種類がどの種類に当たるかを判別して、適切な種類のリングフレーム９４を第２フレームストッカ７２に補充できるようにしてもよい。

ロボット１００から空の第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４が補充されていく。この補充作業の間においても、準備機構８のストッカ移動部８０によって第２フレームストッカ７２はテープマウンタ１の外に飛び出た状態になっているため、テープマウンタ１内におけるフレームセット９９の形成作業が該補充作業によって妨げられることが無い。
なお、ロボット１００が、空になった第２フレームストッカ７２自体を台車８０９から取り外し、リングフレーム９４が充填されている新たな第２フレームストッカ７２と交換するものとしてもよい。

第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４がロボット１００によって所定量補充された後、例えば、ロボット１００が台車８０９をテープマウンタ１側に向かって＋Ｘ方向に押していき、後輪キャスター８０５がテープマウンタ１内にある位置決め板８０６の位置決め溝８０６６にはまることで第２フレームストッカ７２が装置ベース１０内の第１フレームストッカ７１にリングフレーム９４を供給可能な定位置に収まった状態になる。そして、開閉扉８８が閉じられる。

上記のように、本発明に係るテープマウンタ１は、開口を有するリングフレーム９４の下面を保持するフレームテーブル４７７と、リングフレーム９４の開口内でウェーハ９０の下面を保持するウェーハテーブル４７８と、リングフレーム９４とウェーハ９０とにダイシングテープ９３を貼着して一体化させるテープ貼着機構４７と、リングフレーム９４を積み重ねて収納する第１フレームストッカ７１と、第１フレームストッカ７１からフレームテーブル４７７にリングフレーム９４を搬送するフレーム搬送機構３０と、ウェーハテーブル４７８にウェーハ９０を搬送するウェーハ搬送機構５と、を備え、さらに、フレーム搬送機構３０がリングフレーム９４を搬送している際にリングフレーム９４の第１フレームストッカ７１への供給を可能としリングフレーム９４を積み重ねて収納する第２フレームストッカ７２と、第２フレームストッカ７２に収納されているリングフレーム９４を第１フレームストッカ７１に移設させるフレーム移設機構３８と、を備え、テープマウンタ１が設置されているクリーンルー等のエリア１０２を移動可能なロボット１００からの指令に基づいて第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４を供給可能にする準備機構８を備えており、準備機構８は、ロボット１００によって第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４を供給することを可能にするために第２フレームストッカ７２をテープマウンタ１の内から外に移動させるストッカ移動部８０を備えていることによって、作業者によるリングフレーム９４の第２フレームストッカ７２における補充作業を無くすことが可能となり、また、補充作業のためにテープマウンタ１におけるフレームセット９９の作製動作停止させる必要が無くなる。即ち、従来においては、例えば、特許文献３や特許文献４に開示されているように、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ：自動搬送装置）やＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ：天井吊下式搬送機構）等によって、ウェーハ９０を収納したウェーハカセット６２や、ダイシングテープ９３を介してリングフレーム９４とウェーハ９０とを一体化させたフレームセット９９を収納したカセットを搬送しているが、ＡＧＶ等のロボット１００によってテープマウンタ１の内から外に移動させた第２フレームストッカ７２にリングフレーム９４を供給するので、作業者によるリングフレーム９４の第２フレームストッカ７２に対する補充作業を不要とすることができる。

本発明に係るテープマウンタ１は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されているテープマウンタ１の各構成要素の形状等及び配置箇所についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

９０：ウェーハ ９０３：ウェーハの表面 ９０１：分割予定ライン ９００：デバイス９０４：ウェーハの裏面 ９４：リングフレーム ９３：ダイシングテープ ９３５：テープロール ９９：フレームセット ９５：保護テープ
１：テープマウンタ １０：装置ベース １０９：装置ベースの側壁 １０８：装置ベースの底板
１３１：フレームカセットステージ １３３：ウェーハカセットステージ
４７：テープ貼着機構
４７０：テープ貼着テーブル ４７７：フレームテーブル ４７８：ウェーハテーブル
４７２：引き出しローラ ４７５：ピールプレート ４７４：貼着ローラ
４７３：ボールネジ機構 ４７８２：ガイドレール
４３：保護テープ剥離機構 ４３６：剥離テーブル ４３５：剥離部移動機構 ４３１：剥離部 ４３２：ボールネジ機構
４６：フレームセット反転部
４６０：反転パッド ４６１：基部 ４６２：吸盤支持部 ４６３：吸盤 ４６４：回転軸 ４６５：反転モータ ４６９：反転パッド用コラム ４６７：反転パッド上下動機構
２：ロボット ２１：フレーム保持部 ２１１：上プレート ２１２：下プレート ２１３：突き当てブロック ２１５：プレート送り出し機構 ２１６：挟持シリンダ
２２：ウェーハ保持部 ２２０：吸引路 ２２１：吸引口
２３：保持部水平移動機構 ２４：保持部上下移動機構 ２４９：電動スライダ
２５：ハウジング ２５１：ホルダ ２５２：ウェーハ保持部反転機構
２６：支持アーム部
６１：フレームセットカセット ６２：ウェーハカセット
３０：フレーム搬送機構 ３００：搬送パッド ３０１：基部 ３０２：吸盤支持部
３０３：吸盤 ３０５：旋回アーム ３０６：旋回機構
５：ウェーハ搬送機構 ５１：コラム ５２：吸引パッド移動機構 ５３：吸引パッド上下動機構 ５５：吸引パッド
１７：制御部
３８：フレーム移設機構 ３８０：搬送パッド ３８３：吸盤
７１：第１フレームストッカ ７１２：ストッカステージ ７１３：ポール
７２：第２フレームストッカ ７２２：ストッカステージ ７２３：ポール
１０２：テープマウンタが設置されているエリア エリア１０２１：エリアの床 １００：ロボット
８：準備機構 ８０：ストッカ移動部 ８００：スライドレール ８０１：スライダ
８０２：進退バー ８０９：台車 ８０９９：引手 ８０５：後輪キャスター ８０４：前輪キャスター
８０６：位置決め板 ８０６６：位置決め溝 ８０６８：ストッパー壁
８８：開閉扉

Claims (1)

1. 開口を有するリングフレームの下面を保持するフレームテーブルと、該リングフレームの開口内でウェーハの下面を保持するウェーハテーブルと、該リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化させるテープ貼着機構と、該リングフレームを積み重ねて収納する第１フレームストッカと、該第１フレームストッカから該フレームテーブルに該リングフレームを搬送するフレーム搬送機構と、該ウェーハテーブルにウェーハを搬送するウェーハ搬送機構と、を備えるテープマウンタであって、
   該フレーム搬送機構が該リングフレームを搬送している際に該リングフレームの該第１フレームストッカへの供給を可能とし該リングフレームを積み重ねて収納する第２フレームストッカと、該第２フレームストッカに収納されている該リングフレームを該第１フレームストッカに移設させるフレーム移設機構と、を備え、
   テープマウンタが設置されているエリアを移動可能なロボットからの指令に基づいて該第２フレームストッカに該リングフレームを供給可能にする準備機構を備え、
   該準備機構は、該ロボットによって該第２フレームストッカに該リングフレームを供給することを可能にするために該第２フレームストッカをテープマウンタの内から外に移動させるストッカ移動部を備えるテープマウンタ。

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