JP6608297B2 - 搬送調節ジグ - Google Patents
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Description
図1に示す加工装置10は、中央に開口部を有するリング状のリングフレーム1を吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置の第1例である。加工装置10は、基台11を有している。基台11の上面には、リングフレーム1及び円形板状のウエーハを吸引保持する保持テーブルとして機能する貼着テーブル14と、リングフレーム1及びウエーハを吸引保持する保持テーブルとして機能する剥離テーブル15とを備える。
第1の搬送機構20の第1吸引保持部21がリングフレーム1を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク5が形成され、第2の搬送機構30の第2吸引保持部31がリングフレーム1を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク6が形成され、第3の搬送機構40の第3吸引保持部41がリングフレーム1を吸引保持すべき吸引位置に吸引マーク7が形成されているため、位置を調節したい各搬送機構の吸引保持部に対応した吸引マーク5,6及び7に合わせるだけで、各搬送機構の位置調節を容易に行うことができる。そしてその後、実際にフレームストッカー2から搬出されダイシングテープが貼着されるリングフレーム1を吸引保持するときには、制御部50が記億した位置に第1吸引保持部21、第2吸引保持部31及び第3吸引保持部41をそれぞれ移動させ、その位置においてリングフレーム1を吸引保持することにより、リングフレーム1の適切な位置を確実に吸引保持することができる。
図7に示す加工装置10Aは、リングフレーム1を吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置の第2例である。加工装置10Aは、貼着テーブル14にリングフレーム1を搬入する第1の搬送機構20aと、貼着テーブル14からリングフレーム1を搬出する第2の搬送機構30と、剥離テーブル15からリングフレーム1を搬出する第3の搬送機構40との3つを備えており、第1の搬送機構20aに備える第1ベース22aの長手方向の向きがY軸方向に向いている点以外は、上記の加工装置10と同様の構成となっている。
3:円柱部材 4,4A:搬送調節ジグ 4a:上面 4b:下面
5,6,6a,7,7a,8:吸引マーク
10,10A:加工装置 11:基台 12:第1のコラム 13:第2のコラム
14:貼着テーブル 140:ウエーハ保持部 141:フレーム保持部
15:剥離テーブル 150:ウエーハ保持部 151:フレーム保持部
152:切り欠き部 16:カセット収納レール 17:カセット
20,20a:第1の搬送機構 21:第1吸引保持部 22,22a:第1ベース
23:第1移動手段 231:連結部 232:アーム部 233:旋回軸
234:モータ 235::ボールネジ 236:モータ
237:ガイドレール 238:昇降部
24:固定板
30:第2の搬送機構 31:第2吸引保持部 32:第2ベース
320:連結部 321:プレート 322:回転軸
33:第2移動手段 330:ボールネジ 331:モータ 332:ガイドレール
333:移動部 334:昇降部
40:第3の搬送機構 41:第3吸引保持部 42:第3ベース
43:第3移動手段 430:ボールネジ 431:モータ 432:ガイドレール
433:移動部 434:昇降部
50:制御部
Claims (1)
- リングフレームを吸引保持して搬送する搬送機構を複数備えた加工装置において該搬送機構が該リングフレームを吸引保持する吸引位置を調節するための搬送調節ジグであって、
該加工装置は、該リングフレームを吸引保持する保持テーブルを備え、
該複数の搬送機構は、該保持テーブルに該リングフレームを搬入する第1の搬送機構と、
該保持テーブルから該リングフレームを搬出する第2の搬送機構との少なくとも2つ備え、
該第1の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第1吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第1吸引保持部の重心として配設される第1ベースと、該複数の第1吸引保持部で吸引保持した該リングフレームを該保持テーブルに搬入する第1移動手段と、を備え、
該第2の搬送機構は、該リングフレームを吸引保持する複数の第2吸引保持部と、該リングフレームの中心が該複数の第2吸引保持部の重心として配設される第2ベースと、該保持テーブルに吸引保持された該リングフレームを搬出する第2移動手段と、を備え、
該搬送調節ジグは、該リングフレームと同型に形成され、
該第1の搬送機構の該第1吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置と、該第2の搬送機構の該第2吸引保持部が吸引保持すべき該リングフレームの吸引位置とに印が形成された搬送調節ジグ。
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JP2016019790A JP6608297B2 (ja) | 2016-02-04 | 2016-02-04 | 搬送調節ジグ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2016019790A JP6608297B2 (ja) | 2016-02-04 | 2016-02-04 | 搬送調節ジグ |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016019790A Active JP6608297B2 (ja) | 2016-02-04 | 2016-02-04 | 搬送調節ジグ |
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Country | Link |
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