KR20100091889A - 이송 장치 - Google Patents

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KR20100091889A
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요시아키 후지와라
마사나오 무라타
타카시 야마지
나오후미 키리하타
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무라텍 오토메이션 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 이송 장치 전체를 소형으로 구성하면서 처리 장치에 대하여 용이하게 고정하는 것을 과제로 한다.
이를 위해, 이송 장치(30)는 피반송물(3)을 반송하는 반송차(10)와의 사이 및 처리 장치(20)에 있어서의 피반송물 또는 피반송물에 수용되어 있는 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 피반송물을 이송한다. 이송 장치는 반송차가 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 반송차와의 사이에서 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반과, 피반송물을 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반과, 처리 장치에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향으로 제 1 선반 및 포트에 대하여 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 제 1 선반 및 포트로부터 적어도 피반송물분만큼 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치에서 피반송물을 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단(32)을 구비한다.

Description

이송 장치{TRANSFER DEVICE}
본 발명은 예를 들면, 반도체 제조 장치 등의 처리 장치와, 궤도를 따라 주행하는 비이클 등의 반송차 사이에서 반도체 제조용의 각종 기판이 수용된 용기 등의 피반송물을 이송하는 이송 장치의 기술 분야에 관한 것이다.
이러한 종류의 이송 장치로서 처리 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스의 외부에 고정되어 상기 처리 장치와의 사이 및 반송차와의 사이에서 각각 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 용기 등의 피반송물을 이송하는 것이 제품화되고 있다. 구체적으로는 이 이송 장치는 최상부에 반송차와의 사이에서 FOUP를 이송하기 위한 포트 등의 선반을 2기 장착하고, 포트보다 하방에 FOUP를 일시적으로 탑재하기 위한 버퍼 스토리지 등의 선반을 6기 장착하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 상술한 이송 장치로서 웨이퍼 지지 포드 등의 피반송물을 각각 지지 할 수 있는 복수의 선반과, 그 복수의 선반을 포함하고 있는 X-Z 평면 내의 모든 위치로 이동할 수 있는 그리퍼를 구비하는 시스템이 제안되어 있다. 구체적으로는 이 시스템에 의해 반도체 프로세스툴 및 계측툴 등의 처리 장치에 웨이퍼 지지 포드가 공급된다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
일본 특허 제 4182521호 공보 일본 특허공표 2001-509465호 공보
그러나, 상기 특허문헌 1 및 2에 기재된 이송 장치는 처리 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스에 강고하게 고정된다. 즉, 상기 이송 장치를 한번 처리 장치에 고정해 버리면 그 고정을 해제하는 작업에 엄청난 시간을 요하게 된다. 또한, 이송 장치가 처리 장치에 고정되어 있을 때에는 이송 장치가 처리 장치의 전방면(특히, 피반송물 출입용 포트가 존재하고 있는 벽면 부분)을 막은 상태가 된다. 이 때문에 이송 장치가 고정된 상태에서 처리 장치의 개수, 고장 및 보수에 따른 작업을 행하는 것은 곤란하거나 또는 매우 불가능했다. 즉, 개수 등에 따른 작업을 행하기 위해서는 이송 장치를 처리 장치로부터 분리한다는 수고가 따르는 작업이 발생되어 버린다. 또한, 그 후 이송 장치를 처리 장치에 재차 고정시킬 때에는 어느 정도의 위치 결정 정밀도가 요구되는 양자 간의 고정 작업도 새롭게 발생되어 버린다. 또한, 이들 이송 장치는 공장 내에 있어서의 처리 장치 주위의 스페이스 절약화를 꾀할 때에 무시할 수 없을 정도로 외관 형상이 부피가 커지며, 또한 고정 장소도 한정되어 있으므로 상기 스페이스 절약화를 꾀할 때의 큰 장해가 된다는 기술적 문제점이 있다.
본 발명은 예를 들면, 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 장치 전체를 소형으로 구성하면서 처리 장치에 대하여 용이하게 고정할 수 있는 이송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 이송 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서 궤도를 따라 주행함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 장치로서, 상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반과, 상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반과, 상기 처리 장치에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 1 방향으로 이간한 제 1 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단을 구비한다.
본 발명에 있어서의 처리 장치는 예를 들면, 프로세스 장치, 검사 장치 등의 반도체 제조 장치로서, 예를 들면, FOUP 등의 피반송물, 실제로는 피반송물의 내부에 수용되어 있는 웨이퍼 등의 피처리물에 대하여 소정 처리(예를 들면, 노광 처리, 성막 처리, 열 처리 등)를 행한다. 상기 처리가 행해질 때에 전형적으로는 처리가 행해지는 피반송물이 예를 들면, 반도체 제조 공장 등의 시설에 있어서의 천정에 부설된 궤도를 따라 주행하는 예를 들면, OHT(Overhead Hoist Transport) 등의 반송차에 의해 처리 장치로 반송됨과 아울러, 반송차로부터 또는 반송차로 이송할 수 있는 포트로 이송된다. 이 후, 예를 들면, 포트 상의 피반송물에 수용되어 있는 피처리물이 처리 장치에 있어서의 이동 수단에 의해 피반송물 내부로부터 인출되어 처리 장치 내부에 출입된다. 또한, 처리 대상으로서 처리 장치 내부에 출입 되는 피처리물의 형태로서 예를 들면, 처리 장치가 버퍼를 구비하는 장치이면 상술한 바와 같이, 피처리물 단체가 아니어도, 피반송물 자체(즉, 피처리물이 수납되어 있는 피반송물인 상태)이어도 좋다.
여기에서, 예를 들면, 반도체 제조에 있어서 제조 설비를 확대시키지 않고, 보다 많은 생산량을 확보하기 위해서 처리 장치의 가동률을 향상시키는 것이 과제로 되고 있다. 예를 들면, 1 반송차에 의해 처리가 완료된 피반송물이 포트로부터 운반되고 나서 2 반송차에 의해 처리가 이제부터 행해지려고 하는 피반송물이 포트로 운반되기까지의 피반송물의 대기 시간(즉, 처리 장치의 비가동 시간)이 수분이라고 한다. 이에 대하여 1개의 피반송물에 있어서의 처리에 동일한 수분을 요하는 경우에 처리 장치의 가동률은 50%가 되어 버린다. 이렇게 대기 시간에 따라 저하되어 버리는 가동률을 향상시키기 위해서는 처리 장치에 의해 처리가 완료된 피반송물을 포트로부터 재빨리 제거하고, 다음에 처리가 행해지는 피반송물을 재빨리 포트에 탑재(즉, 포트 상의 피반송물을 재빨리 교체함)함으로써 처리 장치의 비가동 시간을 단축하는 것이 요구된다.
본 발명의 이송 장치에 의하면 상기 이송 장치는 처리 장치에 의해 처리가 행해지거나 또는 행해진 피반송물을 일시적으로 탑재 또는 유지하는 예를 들면, 버퍼링 장치 등의 일시 유지 장치이다. 이러한 이송 장치에 의하면 그 동작시에는 우선, 상기 이송 장치, 반송차 및 처리 장치(이하, 적당히 「3요소」라고 칭함)를 통괄적으로 제어하는 예를 들면, 제조 시스템에 있어서의 제어 수단에 의해 예를 들면, 반도체 제조 스케줄에 의거하여 3요소에 대하여 1 피반송물에 대한 반송 및 처리가 요구된다. 그러면, 1 피반송물을 반송하는 반송차가 제 1 선반에 대응하는 위치에서 정지되어 반송차로부터 제 1 선반에 1 피반송물이 이송된다. 여기에서 「제 1 선반」이란, 예를 들면, 「OHT 포트」라고 칭해지는 반송차로부터 또는 반송차로 이송되는 피반송물을 탑재할 수 있는 탑재면을 갖는 선반을 의미한다. 제 1 선반에 이송된 1 피반송물은 예를 들면, FOUP의 플랜지를 파지할 수 있는 로봇암 및 피반송물을 그 하방으로부터 지지할 수 있는 이송 기구 등의 이동 수단에 의해 제 1 선반으로부터 포트로 이송된다. 이 후, 처리 장치에 있어서의 예를 들면, 내외 이동 수단에 의해 1 피반송물 내부에 수용되어 있는 피처리물이 포트 상의 1 피반송물 내부로부터 처리 장치 내부로 이동된다. 그러면, 처리 장치 내부에서 피처리물에 대하여 처리가 행해진다. 이어서, 3요소에 대하여 다음에 처리해야 하는 2 피반송물에 대한 반송 및 처리가 요구된다. 그러면, 2 피반송물을 반송하는 반송차가 제 1 선반에 대응하는 위치에서 정지되어 반송차로부터 제 1 선반에 2 피반송물이 이송된다(즉, 운반된다). 그러면, 제 1 선반 상의 2 피반송물이 이동 수단에 의해 제 1 선반으로부터 제 2 선반으로 이송된다. 여기에서, 「제 2 선반」이란, 예를 들면 「버퍼」 또는 「버퍼 선반」이라고 칭해지는 포트 상의 피반송물을 처리가 완료된 1 피반송물로부터 이 다음에 처리되는 제 1 선반 상의 2 피반송물로 교체하기 위해서 1 또는 2 중 어느 하나의 피반송물을 일시적으로 탑재할 수 있는 탑재면을 갖는 선반을 의미한다. 이어서, 1 피처리물(실제로는 1 피반송물에 있어서의 피처리물)에 대한 처리가 완료되면 내외 이동 수단에 의해 피처리물이 처리 장치 내부로부터 포트 상의 1 피반송물 내부로 이동된다. 그러면, 피반송물을 반송하고 있지 않은 물품이 적재되어 있지 않은 반송차 중 상기 이송 장치 또는 처리 장치에 가장 가까운 반송차에 대하여 처리가 완료된 1 피반송물의 반송(즉, 운반)이 요구된다. 이 후에 이동 수단에 의해 포트 상의 1 피반송물이 포트로부터 제 1 선반으로 이송되는(즉, 처리가 완료된 1 피반송물이 포트로부터 멀어짐) 것에 병행해서 3요소에 대하여 2 피반송물 다음에 처리해야 하는 3 피반송물에 대한 반송 및 처리(즉, 호출)가 요구된다. 이어서, 제 2 선반 상의 2 피반송물이 제 2 선반으로부터 포트로 이송되어 포트 상의 피반송물의 교체가 재빨리 행해진다. 이 후, 처리가 완료된 1 피반송물의 반송이 요구된 반송차에 의해 제 1 선반 상의 1 피반송물이 제 1 선반으로부터 반송차로 이송된다 (즉, 운반됨). 한편, 포트 상의 2 피반송물(실제로는 2 피반송물에 있어서의 피처리물)에 대한 처리가 완료되면 물품이 적재되어 있지 않은 가장 가까운 반송차에 대하여 처리가 완료된 2 피반송물의 반송(즉, 운반)이 요구된다. 이렇게, 처리가 이제부터 행해지는 피반송물이 순차적으로 제 1 선반에 이송되어 상기 제 1 선반 상의 피반송물과, 포트 상의 처리가 완료된 피반송물을 제 2 선반을 사용해서 효율적으로 교체함으로써 처리 장치의 가동률을 향상시키는 것이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 이송 장치는 피반송물을 탑재 또는 이송할 수 있는 선반으로서 1개의 포트에 있어서의 피반송물의 교체를 행하기 위한 1개의 제 2 선반과, 반송차와의 사이에서 피반송물을 이송하기 위한 제 1 선반을 구비할 뿐이기 때문에 상기 이송 장치를 소형 또한 경량으로 구성하는 것이 가능하다. 또한, 이송 장치가 소형화된 상황에서는 이송 장치를 1개의 포트(또는 처리 장치)에 대하여 용이하게 고정하는 것이 가능하며, 1개의 포트, 제 1 선반 및 제 2 선반 사이를 이동할 수 있는 이동 장치를 구비한다는 점에서도 그 접속을 애당초 불용으로 해도 좋다.
또한, 본 발명의 이송 장치에 의하면 그 내부 배치 및 외부 배치에 대해서 우선, 제 1 선반은 반송차가 피반송물을 이송하는 이송 위치, 전형적으로는 연직 방향으로 세로 이송하는 이송 위치로부터 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 반송차측에서 보면 이송 장치가 존재하고 있지 않은 경우에 있어서의 포트에 대한 이송 동작과, 이송 장치가 존재하고 있는 경우에 있어서의 포트에 대한 이송 동작이 거의 동일한 요령에 의해 실행 가능하게 된다. 또한, 이동 수단은 처리 장치에 대하여 보다 구체적으로는 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된 외부 프레임면 또는 외부 케이스면 또는 측면 또는 측벽에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향(예를 들면, 수평 일방향)으로 제 1 선반 및 포트에 대하여 피반송물을 왕복 이동할 수 있다. 또한, 이동 수단은 제 1 선반 및 포트로부터 적어도 피반송물분만큼 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치(예를 들면, 수평 방향 위치)에서 피반송물을 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 왕복 이동할 수 있다. 따라서, 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간을 매우 스페이스 절약화한 중에 수용할 수 있다. 특히 버퍼로서 기능하는 제 2 선반의 존재가 제 1 선반 및 포트 사이에서 피반송물을 직접 왕복 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 이라는 조건을 가미하면 이렇게 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한으로 가까운 것으로 할 수 있다. 즉, 포트의 폭 이내에 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간의 폭을 작게 할 수 있다. 이 때문에, 복수의 포트를 구비하는 1개의 처리 장치에 대하여 포트와 동수의 이송 장치를 궤도를 따라 일렬로 배열하도록 배치하는 것도 가능하다. 즉, 이송 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 폭을 포트의 피치와 동일하게 또는 동일 이하로 하는 것도 가능한 것이다. 이것에 의해 각 포트에 대하여 이송 장치를 사용하는지의 여부를 적당히 선택하는 것도 가능하다.
본 발명의 이송 장치의 일형태에서는 상기 제 2 선반은 상기 제 1 방향 위치 중 상기 이동 수단이 상기 피반송물을 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에서 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다.
이 형태에 의하면 제 2 선반은 제 1 방향 위치(예를 들면, 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된 외벽으로부터의 수평 방향의 거리가 고정된 위치) 중 피반송물을 제 1 선반 및 포트 사이에서 제 1 방향(예를 들면, 수평 방향) 및 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는 예를 들면, 제 1 선반의 하방에 배치되는 포트에 가까운 포트의 약간 하방에 위치하는 수평 방향 위치에 있어서의 이동 수단의 연직 방향의 가동 범위의 하한 부근에 제 2 선반은 배치된다. 또는 제 1 선반의 약간 상방에 위치하는 수평 방향 위치에 있어서의 이동 수단의 연직 방향의 가동 범위의 상한 부근에 제 2 선반은 배치된다. 따라서, 특히 버퍼로서 기능하는 제 2 선반의 존재가 제 1 선반 및 포트 사이에서 피반송물을 직접 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 하면서 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다. 따라서, 이송 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 형상을 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다.
또는 본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 제 2 선반은 상기 원래의 이송 진로에 있어서의 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에 배치되어 있다.
이 형태에 의하면 제 2 선반은 원래의 이송 진로에 있어서의 제 1 선반 및 포트 사이에 배치되어 있고, 이들 제 1 선반 및 제 2 선반 및 포트의 3자는 모두 원래의 이송 진로에 상호간에 거리를 둔 형태로 겹쳐서 배치된다. 따라서, 제 2 방향 위치에 있어서 이들 3자 사이에서 피반송물을 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 하면서 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다. 따라서, 이송 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 형상을 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 처리 장치는 상기 포트를 복수개 갖고, 상기 이송 장치는 그 외형 치수에 있어서 상기 포트의 배열 피치 이하의 폭을 가짐과 아울러, 상기 포트가 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 제 1 방향이 일치하도록 배치된다.
이 형태에 의하면 이송 장치는 그 외형 치수에 있어서 포트의 배열 피치 이하의 폭을 가짐과 아울러, 전형적으로는 궤도에 걸친 방향인 포트가 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 제 1 방향이 일치하므로 복수의 이송 장치를 포트에 1대1 대응시켜 배치하는 것도 가능하게 된다. 포트의 폭 방향에 대하여 이송 장치의 폭이 좁으므로 이렇게 이송 장치를 포트의 배열에 맞춰서 복수 배열하는 것도 가능하게 된다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 제 1 선반은 상기 이송 장치의 본체측으로 구부리거나 또는 수용 가능하게 구성되어 있다.
이 형태에 의하면 이송 장치를 보수 등의 용으로 분리하거나 또는 설치하는 경우 등에 제 1 선반을 상기 이송 장치의 본체측으로 구부리거나 또는 수용함으로써 구부려졌거나 또는 수용된 분만큼 폭이 좁아진 이송 장치를 인출하거나 또는 이동만 시켜도 되므로 실천상 매우 유리하다.
또한, 제 2 선반에 대해서도 원래의 이송 진로에 있어서의 제 1 선반 및 포트 사이에 배치되어 있는 경우에는 상기 이송 장치의 본체측으로 구부리거나 또는 수용 가능하게 구성되어도 좋다.
구체적으로는 제 1 선반 및/또는 제 2 선반은 예를 들면, 슬라이드 기구의 일부에 고정되어 있어 궤도의 하방 또는 그 수평 일방향 위치에 슬라이딩된다. 제 1 선반 및/또는 제 2 선반은 예를 들면, 회전 가능하게 힌지에 고정되어 있고, 궤도의 하방에 수평으로 배치되는 탑재 위치 또는 수납부에 수직으로 배치되는 수납 위치로 변위된다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 반송차는 상기 피반송물을 연직 방향으로 세로 이송하고, 상기 제 1 방향은 상기 연직 방향에 대하여 수직인 수평 일방향이며, 상기 제 2 방향은 상기 연직 방향이다.
이 형태에 의하면 반송차는 처리 장치에 이송 장치가 배치되어 있지 않은 경우에는 연직 방향으로 연장되는 원래의 이송 진로를 따라 포트에 대하여 세로 이송할 수 있고, 처리 장치에 이송 장치가 배치되어 있는 경우에도 동일한 요령에 의해 원래의 이송 진로를 따라 제 1 선반에 대하여 세로 이송할 수 있다. 또한, 이동 수단에 의해 제 1 선반에 탑재되어 있는 피반송물을 수평 일방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써 제 2 선반 또는 포트까지 이동시킬 수 있다. 또는 이동 수단에 의해 포트에 탑재되어 있는 피반송물을 수평 일방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써 제 2 선반 또는 제 1 선반까지 이동시킬 수 있다.
이 형태에서는 반송차는 예를 들면, 피반송물을 승강시킬 수 있는 호이스트 기구를 구비하고 있고, 반송시(즉, 반송에 있어서의 주행시를 포함함)에 피반송물을 반송차 내에 유지하고, 이송시에는 예를 들면, 처리 장치 등의 포트 또는 스토커 등의 이동용 선반과의 사이에서 피반송물을 연직 방향으로 내리거나 또는 끌어올린다. 여기에서, 반송차에 있어서의 「세로 이송」이란, 연직 방향의 이동에 의해 피반송물을 이송하는 것을 의미한다. 궤도의 연직 방향에는 전형적으로 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된다. 이 경우에 이 형태에 의하면 제 1 선반은 이송 위치에 정지되어 있는 반송차와 포트 사이에 배치되고, 제 2 선반은 이 제 1 선반의 하방에는 구체적으로 제 1 선반과 포트 사이 또는 포트보다 하방에 배치된다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 이송 장치는 상기 포트에 맞붙일 수 있는 외형을 가짐과 아울러, 상기 포트에 대한 위치 결정을 행하는 위치 결정 수단을 더 구비한다.
이 형태에 의하면 이송 장치의 본체는 예를 들면, 외부 프레임, 외부 케이스, 케이스체 또는 틀이다. 이 형태에 의하면 이송 장치는 그 동작시에 이동 수단이 도달할 수 있는 제 1 방향(예를 들면, 수평 일방향) 및 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)의 영역에 포트가 존재하도록 포트에 대하여 맞붙여진다. 이 맞붙임을 위해서 예를 들면, 이송 장치 본체는 포트 및 포트 상의 피반송물을 피한 외형을 갖게 된다. 또한, 이동 수단이 포트와의 사이에서 피반송물을 이송할 수 있게 이송 장치 본체에 있어서의 포트 상의 피반송물에 인접하는 부분이 개방되어 있는 외형을 갖게 된다.
또한, 이 실시형태에 의하면 예를 들면, 이송 장치의 일부를 포트의 하방 또는 이송 장치의 하방의 바닥면에 설치되어 있는, 예를 들면 위치 결정 블록 또는 핀 등의 위치 결정 수단에 접촉시킴으로써 이송 장치를 위치 결정하는 것이 가능하다. 또한, 위치 결정 수단은 바닥면 외에 포트 또는 처리 장치, 레일 또는 반도체 제조 공장 등의 시설에 있어서의 내벽 등에 설치해도 좋다.
이 형태에서는 상기 이송 장치는 상기 위치 결정에 의해 위치 결정된 상태에서 상기 이송 장치의 고정을 행함과 아울러, 상기 고정을 해제할 수 있는 고정 수단을 더 구비해도 좋다.
이렇게 구성하면 예를 들면, 위치 결정된 이송 장치의 일부를 바닥면, 레일 또는 천정에 고정되어 있는 예를 들면, 강도가 높은 재료로 이루어지는 고정 수단에 고정시킴으로써 이송 장치를 고정하는 것이 가능하다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 이송 장치는 상기 제 1 방향으로의 이동을 가능하게 하는 주행 수단을 더 구비한다.
이 형태에 의하면 이송 장치는 이송 장치 본체의 바닥면에 예를 들면, 주행 롤러, 주행 캐터필러 등의 주행 수단을 복수 구비함으로써 이동하는 것이 가능하며, 특히 포트로의 맞붙임시에는 포트에 대하여 예를 들면, 수평 일방향인 제 1 방향으로 이동된다. 즉, 이러한 이송 장치는 포트에 대하여 착탈 가능하다. 또한, 주행 수단은 이송 장치 본체에 구비되지 않더라도, 이송 장치를 그 하방으로부터 지지할 수 있는 반송 대차이어도 좋다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 이동 수단은 상기 피반송물을 파지하는 파지 수단과, 상기 파지 수단을 상기 제 1 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 1 이동부와, 상기 파지 수단을 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 2 이동부를 갖는다.
이 형태에 의하면 이동 수단은 그 동작시에 예를 들면, 피반송물의 상부를 파지할 수 있는 그리퍼, 피반송물을 하방으로부터 지지할 수 있는 이송 기구 등의 파지 수단에 의해 피반송물을 파지한다. 이어서, 예를 들면 액추에이터, 모터 등의 동력에 의해 구동되는 예를 들면, 수평 이동부인 제 1 이동부와, 예를 들면 연직 이동부인 제 2 이동부에 의해 포트, 제 1 선반 및 제 2 선반 사이(즉, 3요소)에 있어서의 제 1 방향(예를 들면, 수평 일방향) 및 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 피반송물을 파지하는 이동 수단이 이동된다. 이렇게, 두 방향의 이동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해 3요소에 있어서의 어느 탑재면에나 신속하게 피반송물을 이동시키는 것이 가능하다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송된 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 우선, 상기 1 피반송물을 상기 제 1 선반으로부터 상기 제 2 선반으로 이동시키고, 상기 1 피반송물을 상기 제 2 선반에 일단 탑재한 상태에서 상기 포트에 탑재된 다른 피반송물을 상기 포트로부터 상기 제 1 선반으로 이동시키고, 그 후, 상기 1 피반송물을 상기 제 2 선반으로부터 상기 포트로 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 더 구비한다.
이 형태에 의하면 1 피반송물이 반송차로부터 제 1 선반으로 이송되면 컨트롤러 등을 포함하는 제어 수단에 의한 제어하에서 이동 수단에 의해 우선 1 피반송물은 제 2 선반으로 이동된다. 그리고, 이 1 피반송물이 제 2 선반에 일단 탑재된 상태에서 이미 처리 장치에 의해 처리가 완료되어 있는 포트에 탑재된 다른 피반송물은 이동 수단에 의해 제 1 선반으로 이동된다. 그 후, 제 2 선반에 일단 탑재된 1 피반송물은 이동 수단에 의해 포트로 이동되어 다음 처리 수단에 의한 처리에 제공된다.
이렇게 이미 처리가 완료된 다른 피반송물의 제 1 선반으로의 반출을 1 피반송물의 포트로의 반입보다 우선시키는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해 예를 들면, 처리가 완료된 피반송물을 재빨리 반송차에 의해 반송하는 것이 전체 작업 효율을 높일 수 있는 상황에 있어서 적절하게 대응할 수 있다.
본 발명의 이송 장치의 다른 형태에서는 상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송된 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 상기 제 2 선반으로 이송된 다른 피반송물이 이미 탑재되어 있는 상태에 있는 상기 제 2 선반에 일단 탑재하지 않고, 상기 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키고, 그 후, 상기 다른 피반송물을 상기 제 2 선반으로부터 상기 제 1 선반으로 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 더 구비한다.
이 형태에 의하면 1 피반송물이 반송차로부터 제 1 선반으로 이송되면 컨트롤러 등을 포함하는 제어 수단에 의한 제어하에서 이동 수단에 의해 1 피반송물은 제 2 선반으로 이동되지 않고, 직접 포트까지 이동된다. 한편, 이 1 피반송물을 제 1 선반으로부터 포트로 이동시킬 때에는 이미 제 2 선반은 다른 피반송물이 이미 탑재되어 있는 상태에 있다. 여기에서의 다른 피반송물은 정상이면 이미 처리 장치에 의한 소정 처리가 실시되어 있다. 그 후, 다른 피반송물은 제 2 선반으로부터 제 1 선반으로 이동되며, 최근에 빈 반송차 또는 다음에 도래하는 반송차에 의해 제 1 선반으로부터 반송되게 된다.
이렇게 이미 처리가 완료된 다른 피반송물의 제 1 선반으로의 반출을 1 피반송물의 포트로의 반입보다 뒤떨어지게 하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해 예를 들면, 미처리의 피반송물을 재빨리 처리 장치로 이송하는 것이 전체 작업 효율을 높일 수 있는 상황에 있어서 적절하게 대응할 수 있다.
또한, 상술한 2개의 형태에 있어서의 2종류의 제어를 임기응변으로 해서 선택적으로 실행하는 것도 가능하다. 예를 들면, 포트에 있어서의 피반송물의 처리 대기 상황 및 이송 대기 상황 및 제 1 선반에 있어서의 이송 대기 상황 및 반송 대기 상황 등의 각종 상황에 따라 이들에 2종류의 제어 중 어느 하나를 적당히 선택하여 실행하도록 구성해도 좋다.
본 발명의 제 2 이송 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서 궤도를 따라 주행 함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 장치로서, 상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반과, 상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반과, 상기 처리 장치에 걸친 방향이며, 또한 상기 포트에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 3 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 3 방향으로 이간한 제 3 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 3 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단을 구비한다.
본 발명의 제 2 이송 장치에 의하면 우선 제 1 선반은 상술한 본 발명에 따른 이송 장치(이하, 적당히 「제 1 이송 장치」라고 칭함)에 있어서의 제 1 선반과 마찬가지로 해서 반송차가 피반송물을 이송하는 이송 위치(전형적으로는 연직 방향으로 세로 이송하는 이송 위치)로부터 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있거나 또는 배치되도록 구성되어 있다. 한편, 이동 수단은 제 1 이송 장치에 있어서의 이동 수단과 달리, 처리 장치에 따른 방향, 보다 구체적으로는 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된 외부 프레임면 또는 외부 케이스면 또는 측면 또는 측벽에 걸친 방향이며, 또한 포트에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 3 방향(예를 들면, 수평 일방향)으로 제 1 선반 및 포트에 대하여 피반송물을 왕복 이동할 수 있다. 이것에 대응해서 이동 수단은 제 1 선반 및 포트로부터 제 3 방향으로 이간된 제 3 방향 위치(예를 들면, 수평 방향 위치)에서 피반송물을 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 왕복 이동할 수 있다. 따라서, 상기 이송 장치의 내부 배치에 대해서 제 1 이송 장치와 마찬가지로 해서 이송 장치 내에 있어서의 피반송물을 제 3 방향 및 제 2 방향으로 이동시키기 위한 통로 또는 공간을 매우 스페이스 절약화한 중에 수용할 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 2 이송 장치에 의하면 반송차와 제 1 선반 사이에서 피반송물의 이송이 행해질 때에 예를 들면, 포트에 있어서의 제 1 방향(즉, 전방)에 장해가 있는 경우에 포트에 대하여 제 1 선반을 제 3 방향으로부터 접근시킴으로써 제 1 선반을 원래의 이송 진로에 배치할 수 있다. 즉, 상기 이송 장치를 처리 장치에 있어서의 포트의 설치 위치에 따라 포트의 측방 또는 바로 옆 또는 처리 장치의 바로 옆에 배치할 수 있다. 따라서, 상기 이송 장치의 외부 배치에 대해서 상기 이송 장치는 피반송물의 이송에 있어서 처리 장치에 있어서의 포트의 전방의 스페이스를 점거하지 않고, 상기 스페이스에 있어서의 작업자 및 기기 등의 통행을 저해하지 않는다. 바꿔 말하면 상기 이송 장치의 배치에 따라 상기 스페이스를 좁히는 것도 가능하게 된다.
한편, 본 발명의 제 2 이송 장치에 의하면 포트에 대하여 제 1 선반을 제 1 방향으로부터 접근시키는 상기 제 1 이송 장치와 비교해서 작업자 및 기기 등의 통행을 위한 통로(즉, 상기 스페이스를 포함함)로의 상기 이송 장치의 돌출을 확실하게 작게 하는 것이 가능하다.
본 발명의 제 2 이송 장치의 일형태에서는 상기 이송 장치는 상기 궤도에 걸친 방향으로 상기 제 3 방향이 일치하도록 배치된다.
이 형태에 의하면 반송차와 제 1 선반 사이에서 피반송물의 이송이 행해질 때에 예를 들면, 처리 장치에 있어서의 제 1 방향(구체적으로는 처리 장치에 있어서의 포트보다 전방)에 장해가 있는 경우에 제 1 선반을 원래의 이송 진로에 배치하기 위해서 포트에 대하여 제 1 선반을 앞으로 해서 상기 이송 장치를 제 3 방향으로부터 접근시킬 수 있다. 즉, 상기 이송 장치를 처리 장치에 있어서의 포트의 설치 위치에 관계없이 확실하게 포트의 바로 옆에 배치할 수 있다. 따라서, 상기 이송 장치의 외부 배치에 대해서 상기 이송 장치는 피반송물의 이송에 있어서 궤도에 걸친 방향과 일치하는 제 3 방향으로 이동함으로써 처리 장치에 있어서의 포트보다 전방의 스페이스를 조금도 점거하지 않고, 상기 스페이스에 있어서의 작업자 및 기기 등의 통행을 일절 저해하지 않는다. 바꿔 말하면, 상기 이송 장치의 배치에 따라 상기 스페이스를 좁히는 것도 가능하게 된다.
또한, 본 발명의 제 2 이송 장치에 있어서도 상술한 제 1 이송 장치에 있어서의 각종 형태와 동일한 각종 형태를 채용할 수 있다.
본 발명의 작용 및 다른 이득은 이어서 설명하는 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로부터 명백하게 된다.
도 1은 실시형태의 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 이송 장치의 일방향에 있어서의 단면도이다.
도 3은 도 1의 이송 장치의 타방향에 있어서의 단면도이다.
도 4는 실시형태의 제 1 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 5는 실시형태의 제 2 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 6은 도 1의 이송 장치와 다른 본 발명의 이송 장치를 나타내는 일방향에 있어서의 단면도이다.
도 7은 도 1의 반송 시스템의 전경을 나타내는 상면도이다.
도 8은 도 1 및 도 6의 이송 장치와 다른 본 발명의 이송 장치를 나타내는 일방향에 있어서의 단면도이다.
도 9는 실시형태의 위치 결정 수단을 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 10은 도 9의 위치 결정 수단과 다른 본 발명의 위치 결정 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 11은 도 9 및 도 10의 위치 결정 수단과 다른 본 발명의 위치 결정 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 12는 도 9~도 11의 위치 결정 수단과 다른 본 발명의 위치 결정 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 13은 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 14는 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 15는 본 발명의 주행 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 16은 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 일방향 단면도이다.
도 17은 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 일방향 단면도이다.
도 18은 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 19는 본 발명의 고정 수단의 일례를 나타내는 상면도 및 측면도이다.
도 20은 제 2 실시형태의 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 21은 도 20의 이송 장치의 타방향에 있어서의 단면도이다.
도 22는 도 20의 이송 장치의 상면도이다.
도 23은 도 20의 이송 장치와 다른 본 발명의 제 2 이송 장치의 일례를 나타내는 상면도이다.
도 24는 도 20 및 도 23의 이송 장치와 다른 본 발명의 제 2 이송 장치의 일례를 나타내는 타방향에 있어서의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
<실시형태>
<제조 시스템의 구성>
우선, 실시형태에 따른 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 구성에 대해서 도 1~도 3을 참조해서 설명한다. 여기에 도 1은 실시형태에 따른 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 외관을 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1의 이송 장치를 일방향(즉, 도 1에 있어서의 전후 방향)으로 절단한 경우의 단면을 개략적으로 나타내는 일방향 단면도이며, 도 3은 도 1의 이송 장치를 타방향(즉, 도 1에 있어서의 좌우 방향)으로 절단한 경우의 단면을 개략적으로 나타내는 타방향 단면도이다.
도 1에 있어서 제조 시스템(100)은 레일(1)과, 비이클(10)과, 제조 장치(20)와, 버퍼 장치(30)를 구비한다. 제조 시스템(100)은 레일(1)을 따라 비이클(10)을 주행시킴과 아울러, 복수의 웨이퍼(즉, 본 발명에 따른 「피처리물」의 일례)를 수용할 수 있는 FOUP(즉, 본 발명에 따른 「피반송물」의 일례)(3)를 제조 장치(20)로 반송하는 반송 기능과, 제조 장치(20)에 의해 FOUP(3) 내의 웨이퍼에 각종 처리를 실시함으로써 반도체 소자를 제조하는 제조 기능을 갖는다.
레일(1)은 본 발명에 따른 「궤도」의 일례로서 비이클(10)이 주행하기 위한 궤도의 역할을 한다. 레일(1)은 제조 시스템(100)이 설치되는 시설의 천정에 부설되어 있다.
비이클(10)은 본 발명에 따른 「반송차」의 일례로서 리니어 모터를 동력으로 해서 구동되는 OHT(Overhead Hoist Transport)(천정 주행차)이며, 레일(1)에 매 달리는 형태로 부착되어 있다. 비이클(10)은 레일(1)을 따라 주행함과 아울러, 제조 장치(20) 외에 도시하지 않은 스토커, OHT 버퍼 및 대형 스토커 등에 FOUP(3)를 반송한다. 비이클(10)에 있어서의 주행 및 반송 등의 동작은 제조 시스템(100)에 있어서의 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 제어된다. 또한, 여기에서는 설명의 편의 상, 레일(1) 상에는 1대의 비이클(10)밖에 도시하지 않지만 전형적으로 보다 많은 (예를 들면, 수십대 또는 수백대) 비이클(10)이 구비되어 있다.
비이클(10)은 내부에 도시하지 않은 권취축을 갖는 권취부(12)와, 권취 벨트(13)와, 그리퍼(14)로 이루어지는 호이스트 기구(11)를 구비한다. 권취 벨트(13)의 일단은 권취축에 고정되어 있고, 그 타단은 그리퍼(14)에 고정되어 있다. 권취부(12)는 도시하지 않은 모터를 동력으로 해서 권취축을 회전시켜 권취 벨트(13)를 일단으로부터 권취 또는 권출 가능하게 구성되어 있다. 그리퍼(14)는 내측으로 굴곡된 양단부에 의해 FOUP(3)의 상부(즉, 플랜지)(3a)를 파지하는 파지 상태, 또는 FOUP(3)의 플랜지(3a)를 해방하는 해방 상태로 변위 가능하게 구성되어 있다. 이러한 구성을 갖는 호이스트 기구(11)는 권취 벨트(13)가 권취되거나 또는 권출됨으로써 레일(1)의 하방에서 그리퍼(14)를 연직 방향으로 승강시킴과 아울러, 연직 위치에서 그리퍼(14)를 변위시킴으로써 FOUP(3)를 비이클(10)측으로부터 후술하는 버퍼 장치(30)측으로 이송하거나 또는 버퍼 장치(30)측으로부터 비이클(10)측으로 이송할 수 있다. 이렇게 본 실시형태에서는 비이클(10)에 의한 이송 진로가 비이클(10)의 이송 위치(즉, 도 1에 나타내어지는 정지 위치)로부터 연직 하방으로 연장되어 있고, FOUP(3)를 세로 이송하도록 구성되어 있다.
제조 장치(20)는 본 발명에 따른 「처리 장치」의 일례로서 FOUP(3), 실제로는 FOUP(3)에 수용되어 있는 웨이퍼에 대하여 소정 처리를 행한다. 제조 장치(20)는 내부에 웨이퍼에 대하여 소정 처리를 실시하는 도시하지 않은 처리부를 구비하고 있고, 그 처리부에 처리해야 하는 웨이퍼를 출입시킬 수 있는 2개의 개구(H1, H2)가 형성되어 있다. 제조 장치(20)는 2개의 개구(H1, H2)에 각각 인접하는 외부에 또한 레일(1)의 하방에 버퍼 장치(30)와의 사이에서 FOUP(3)를 이송하기 위한 포트로서 기능하는 2개의 로드 포트(LP1, LP2)를 구비한다. 제조 장치(20)는 2개의 로드 포트(LP1, LP2) 각각에 이송된 FOUP(3) 내부의 웨이퍼를 개구(H1 또는 H2)를 통해 처리부에 출입시키는 도시하지 않은 내외 이송 기구를 구비한다. 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리, 웨이퍼의 출입 등의 동작은 제조 시스템(100)의 컨트롤러에 의해 제어된다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 레일(1)의 하방에는 1기의 제조 장치(20)밖에 도시하지 않지만 전형적으로 FOUP(3)에 대하여 상이한 처리를 행하는 보다 많은(예를 들면, 수대 또는 수백대) 제조 장치(20)가 구비된다. 또한, 개구 및 로드 포트의 개수에 대해서도 각각 2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 좋고, 이들의 배치에 대해서도 각종 형태가 있을 수 있다.
버퍼 장치(30)는 본 발명에 따른 「이송 장치」의 일례로서 비이클(10)과 제조 장치(20) 사이에서 FOUP(3)가 효율적으로 주고 받아지도록 비이클(10)과의 사이 및 제조 장치(20)와의 사이에서 각각 FOUP(3)를 이송한다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 2개의 로드 포트(LP1, LP2)를 구비하는 제조 장치(20)에는 한쪽의 로드 포트(LP1)에 대응하는 1기의 버퍼 장치(30)밖에 도시하지 않지만 다른 실시형태로서 양쪽의 로드 포트(LP1, LP2)에 각각 대응하는 2기의 버퍼 장치(30)가 구비되어도 좋다.
버퍼 장치(30)는 본체부(31)와, OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2)와, 이송 기구(32)를 구비한다. 도 2에 있어서 본체부(31)는 로드 포트(LP1)에 그 전방면측(즉, 도 2에 있어서의 좌측)으로부터 맞붙임 가능하게 역 L자형으로 구성되어 있는 케이스체이다. 본체부(31)는 그 맞붙임시에 길이 방향이 레일(1)의 방위에 직교하는 방향(즉, 본 발명에 따른 「수평 일방향」의 일례이며, 도 2에 있어서의 X 방향)에 걸치도록 배치된다. 본체부(31)는 X 방향으로 적어도 2개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이{즉, 도 2에 있어서의 길이(Lx)}를 갖고 있고, 레일(1)의 방위에 적어도 1개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이{즉, 도 3에 있어서의 길이(Lw)}를 갖는다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상 본체부(31)가 로드 포트(LP1)에 맞붙여진 상태에 있는 버퍼 장치(30)의 구성에 대하여 설명한다.
본체부(31) 내부에는 OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2)와, 이송 기구(32)가 설치되어 있다. 본체부(31)는 레일(1)의 연직 방향{즉, 도 2 및 도 3에 있어서의 일점쇄선(G1)으로 나타내어짐}에 대응하는 상면에 OHT 포트(P1)와 비이클(10) 사이에서 FOUP(3)를 주고 받을 수 있는 개구(H11)가 형성되어 있다. 또한, 로드 포트(LP1) 상에 탑재되는 FOUP(3)에 인접하는 측면에 로드 포트(LP1){즉, 제조 장치(20)}와의 사이에서 FOUP(3)를 주고 받을 수 있는 개구(H12)가 형성되어 있다.
OHT 포트(P1)는 본 발명에 따른 「제 1 선반」의 일례로서 제조 장치(20)에 있어서 소정 처리가 행해지거나 또는 행해진 FOUP(3)를 개구(H11)를 통해 비이클(10)과의 사이에서 이송하기 위한 버퍼 장치(30)에 있어서의 포트로서 기능한다. OHT 포트(P1)는 비이클(10)이 세로 이송{즉, 이송시에 FOUP(3)가 연직 방향으로만 이동되는 이송}에 의해 단시간에 FOUP(3)를 이송할 수 있게 레일(1)의 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 상방에 설치되어 있다. 도 1~도 3으로부터 명백한 바와 같이, OHT 포트(P1)는 가령 버퍼 장치(30)룰 제거한 경우에 비이클(10)이 제조 장치(20)의 로드 포트(LP1)에 대하여 FOUP(3)를 세로 이송할 때에 있어서의 이송 진로(즉, 본 발명에 따른 「원래의 이송 진로」)를 차단하는 위치에 존재하고 있다. 따라서, 비이클(10)에서 보면 버퍼 장치(30)의 존부에 관계없이 평면에서 봐서 동일 위치에 있는 즉, 이송 위치의 연직 하방에 있는 포트에 대하여 이송 동작을 행하면 충분하다. 즉, 비이클(10)에서 봐서 포트의 높이만 다른 차이이면 비이클(10)이 이송 동작을 행하는 것에 대한 제어는 버퍼 장치(30)의 존부에 관계없이 거의 동일하게 되므로 실천상 매우 유리하다.
버퍼(P2)는 본 발명에 따른 「제 2 선반」의 일례로서 제조 장치(20)에 있어서 소정 처리가 행해지거나 또는 행해진 FOUP(3)를 적어도 일시적으로 탑재하기 위한 일시 탑재 선반으로서 기능한다. 버퍼(P2)는 후술하는 이송 기구(32)에 의한 FOUP(3)의 이송을 방해하지 않도록 레일(1)의 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 하방에, 또한 그 X 방향에 설치되어 있다.
이송 기구(32)는 본 발명에 따른 「이동 수단」의 일례로서 로드 포트(LP1)와, OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2) 사이를 이동함과 아울러 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송한다. 이송 기구(32)는 파지부(33)와, 수평 이동 기구(34)와, 승강 기구(35)를 구비하고 있고, 본체부(31)에 있어서의 가장 전방면측(즉, 도 2에 있어서의 좌측)에 설치되어 있다. 파지부(33)는 본 발명에 따른 「파지부」의 일례이며, 한쌍의 평판상의 부위를 갖고 있고, 이 부위가 플랜지(3a)의 하방에 X 방향으로부터 들어감과 아울러 플랜지(3a)의 양단부를 하방으로부터 지지함으로써 FOUP(3)를 파지한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 수평 이동 기구(34)는 본 발명에 따른 「수평 이동부」의 일례이며, 길이 방향이 X 방향과 평행하게 되도록 설치되어 있는 레일부(34a)와, 그 레일부를 따라 X 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이드부(34b)를 구비한다. 수평 이동 기구(34)의 선단부{즉, 슬라이드부(34b)에 있어서의 제조 장치(20)측의 단부}에는 파지부(33)가 고정되어 있다. 승강 기구(35)는 본 발명에 따른 「연직 이동부」의 일례이며, 도시하지 않은 모터를 동력원으로 해서 연직 방향으로 회전할 수 있는 회전대(35a)와, 그 회전대에 고정되어 있어 회전대의 회전에 따라 연직 방향으로 이동하는 승강부(35b)를 구비한다. 승강부(35b)에는 레일부(34a)의 일단부가 고정되어 있다.
이송 기구(32)는 상술한 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의한 상호 동작에 의해 파지부(33)를 로드 포트(LP1), OHT 포트(P1) 및 버퍼(P2) 사이에서 X 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 1 방향」의 일례) 및 연직 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 2 방향」의 일례)으로 이동시킴과 아울러, 파지부(33)에 의해 FOUP(3)를 파지 또는 해방함으로써 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송한다. 이송 기구(32)에 있어서의 이동, FOUP(3)의 이송 등의 동작은 제조 시스템(100)의 컨트롤러에 의해 제어된다.
<제조 시스템에 있어서의 제 1 이송 동작 처리>
이어서, 제조 시스템(100)에 있어서의 이송 장치를 통한 반송차 및 처리 장치 간의 이송 동작에 대해서 도 4를 참조해서 설명한다. 도 4는 본 실시형태의 제 1 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 4에 있어서 우선 제조 시스템(100)의 컨트롤러에 의해 제조 장치(20)에 있어서의 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)를 파지하는 비이클(10)에 대하여 제조 장치(20)로의 FOUP(3)의 반송이 지시된다. 여기에서, 최초의 반송의 대상이 되는 FOUP를 「FOUP0」으로 한다. 이 후, 컨트롤러로부터의 지시에 의거하여 비이클(10)(즉, 도 4에 있어서 「OHT」라고 기재함)이 레일(1)을 따라 주행하고, 버퍼 장치(30)에 대응하는 소정 이송 위치(즉, 도 1~도 3에서 나타내어지는 정지 위치)에서 정지된다. 그러면, 호이스트 기구(11)에 의해 FOUP0을 파지하는 그리퍼(14)가 비이클(10) 내부로부터 버퍼 장치(30)에 있어서의 개구(H11)를 통해 연직 방향으로 하강되어 FOUP0이 OHT 포트(P1) 상면에 접촉되는 연직 위치에서 그리퍼(14)로부터 FOUP0이 해방된다. 즉, 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 FOUP0이 이송된다(스텝 S51).
이어서, 버퍼 장치(30)에 있어서 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의해 파지부(33)가 OHT 포트(P1) 상의 FOUP0의 플랜지(3a) 하방으로 이동된 후에 파지부(33)가 플랜지(3a) 하면에 접촉될 때까지 상승된다. 이렇게 해서 파지부(33)에 의해 FOUP0이 파지된다. 그러면, FOUP0을 파지하는 파지부(33)가 개구(H12)를 통해 로드 포트(LP1)(즉, 도 6에 있어서 「L 포트」라고 기재됨) 상방으로 이동된 후에 FOUP0이 로드 포트(LP1)에 접촉될 때까지 하강된다. 이렇게 해서 OHT 포트(P1)로부터 로드 포트(LP1)로 FOUP0이 이송된다(스텝 S52). 이 후에 파지부(33)는 로드 포트(LP1) 상의 FOUP0의 측방으로 수평 이동되어 파지부(33)로부터 FOUP0이 해방된다. 로드 포트(LP1)로 이송된 FOUP0 내부의 웨이퍼는 제조 장치(20) 내부에 일단 수용되고, 그 내부에 있어서 소정 처리가 실시된 후에 재차 로드 포트(LP1) 상의 FOUP0 내부에 탑재된다.
이어서, 컨트롤러로부터의 새로운 지시에 의거하여 스텝 51의 동작과 마찬가지로 해서, 단, 전회와는 다른 새롭게 이송 위치에 도착한 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 제 2 반송의 대상이 되는 FOUPn(즉, 「n」은 FOUP가 반송되는 순서를 나타내는 변수)이 이송된다(스텝 S53). 그러면, 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의해 OHT 포트(P1)에 있어서의 FOUPn을 파지하는 파지부(33)가 버퍼(P2) 상방으로 이동된 후에 FOUPn이 버퍼(P2)에 접촉될 때까지 하강된다. 이렇게 해서 OHT 포트(P1)로부터 버퍼(P2)에 FOUPn이 이송된다(스텝 S54).
이어서, 컨트롤러에 의해 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S55). 이 판정의 결과, 소정 처리가 미완료라고 판정되는 경우에(스텝 S55: NO), 소정 처리가 완료될 때까지 대기 상태가 된다.
한편, 스텝 S55의 판정 결과, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 소정 처리가 완료되어 있다고 판정되는 경우에(스텝 S55: YES), 이송 기구(32)에 의해 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 FOUP가 이송된다(스텝 S56). 이 때, 처리가 완료된 FOUP는 버퍼(P2)에 탑재되어 있는 FOUPn의 경사 상방을 빠져나가도록 해서 OHT 포트(P1)까지 이동된다. 이어서, 물품이 적재되어 있지 않게 된{즉, 이제는 FOUP(3)를 파지하고 있지 않은} 이송 기구(32)에 의해 버퍼(P2)로부터 로드 포트(LP1)에 FOUPn이 이송된다(스텝 S57).
이 후에 컨트롤러로부터의 지시에 의거하여 물품이 적재되어 있지 않은{즉, FOUP(3)를 파지하고 있지 않은} 비이클(10)이 소정 이송 위치에서 정지된다. 그러면, 호이스트 기구(11)에 의해 물품이 적재되어 있지 않은 그리퍼(14)가 개구(H11)를 통해 연직 방향으로 하강되고, 그리퍼(14)에 의해 처리가 완료된 FOUP가 파지된다. 즉, OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 처리가 완료된 FOUP가 이송된다(스텝 S58). 이 후에 호이스트 기구(11)에 의해 처리가 완료된 FOUP를 유지하는 그리퍼(14)가 상승되어 비이클(10) 내부에 유지된다. 이렇게 해서 비이클(10)이 주행 가능한 상태가 된다.
이어서, 컨트롤러에 의한 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S59). 이 판정의 결과, 그 지시가 있다고 판정되는 경우에(스텝 S59: YES), 제 3 반송의 대상이 되는 FOUP를 「FOUPn+1」로 한다(스텝 S60). 그러면, 스텝 S51의 동작과 마찬가지로 해서 재차 스텝 S53의 동작으로서 단, 전회와는 다른 새롭게 이송 위치에 도착한 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 제 3 반송의 대상이 되는 FOUPn+1이 이송된다. 이 후에 스텝 S54~S59의 동작으로서 OHT 포트(P1)로부터 버퍼(P2)에 FOUPn+1이 이송된다. 이어서, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUPn)에 대하여 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정되어 소정 처리가 완료되어 있다고 판정된 경우에 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료되어 있는 FOUP가 이송된다. 이어서, 버퍼(P2)로부터 로드 포트(LP1)에 FOUPn+1이 이송된 후에 OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 처리가 완료되어 있는 FOUP가 이송되면 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 더 있는지의 여부가 판정된다.
한편, 스텝 S59의 판정 결과, 지시가 더 없다고 판정되는 경우에(스텝 S59: NO), 스텝 S55, S56 및 S58의 동작으로서 로드 포트(LP1) 상의 FOUP[여기에서는, FOUPn+x{즉, 「n+x」는 마지막 반송의 대상이 되는 FOUP(3)로 나타내어짐}]에 대하여 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정되어 소정 처리가 완료되어 있으면 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 마지막 FOUP가 이송되면 OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 그 마지막 FOUP가 이송된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 의해 소정 처리가 실시된 모든 FOUP(3)가 버퍼 장치(30)를 통해 비이클(10)에 이송되어 일련의 제 1 이송 동작 처리가 종료된다.
이렇게, 본 실시형태의 제 1 이송 동작 처리에 의하면 로드 포트(LP1)에 있어서의 FOUP(3)의 교체를 행하기 위한 버퍼(P2)를 사용하여 처리가 이제부터 실시되는 FOUP(3)와, 처리가 완료된 FOUP(3)를 효율적으로 교체함으로써 제조 장치(20)의 가동률을 향상시킬 수 있다.
또한, 스텝 S58의 동작은 스텝 S56의 동작으로서 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 FOUP(3)가 이송된 후이면 스텝 S57과 잇따라 행해져도 좋다.
<제조 시스템에 있어서의 제 2 이송 동작 처리>
이어서, 도 4의 제 1 이송 동작 처리와 다른 이송 동작에 대해서 도 5를 참조해서 설명한다. 도 5는 본 실시형태의 제 2 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 5에 있어서 우선 도 4의 경우와 마찬가지로 해서 제조 시스템(100)의 컨트롤러에 의해 제조 장치(20)에 있어서의 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)를 파지하는 비이클(10)에 대하여 제조 장치(20)로의 FOUP(3)의 반송이 지시된다. 여기에서, 최초의 반송의 대상이 되는 FOUP를 「FOUP0」으로 한다. 이 후, 컨트롤러로부터의 지시에 의거하여 비이클(10)(즉, 도 4의 경우와 마찬가지로 해서 도 5에 있어서도 「OHT」라고 기재됨)로부터 OHT 포트(P1)에 FOUP0이 이송된다(스텝 S61). 이어서, 버퍼 장치(30)에 있어서 이송 기구(32)에 의해 OHT 포트(P1)로부터 로드 포트(LP1)(즉, 도 4와 마찬가지로 해서 도 5에 있어서도 「L 포트」라고 기재됨)에 FOUP0이 이송된다(스텝 S62). 이어서, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S63). 이 판정의 결과, 소정 처리가 미완료라고 판정되는 경우에 (스텝 S63: NO), 소정 처리가 완료될 때까지 계속해서 행해진다.
한편, 스텝 S63의 판정의 결과, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 소정 처리가 완료되어 있다고 판정되는 경우에(스텝 S63: YES), 컨트롤러에 의한 다음에 처리가 실시되어야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S64). 이 판정의 결과, 그 지시가 있다고 판정되는 경우에(스텝 S64: YES), 이송 기구(32)에 의해 로드 포트(LP1)로부터 버퍼(P2)에 처리가 완료된 FOUP가 이송된다(스텝 S65). 이어서, 컨트롤러로부터의 새로운 지시에 의거하여 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 제 2 반송의 대상이 되는 FOUPn이 이송되면(스텝 S66), OHT 포트(P1)로부터 로드 포트(LP1)에 직접 FOUPn이 이송된다(스텝 S67). 즉, 상술한 제 1 이송 동작 처리의 경우와 달리 처리 전의 FOUPn이 버퍼(P2)에 일단 탑재되는 경우는 없다. 이어서, 버퍼(P2)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료되어 있는 FOUP(여기에서는, FOUP0)가 이송된다(스텝 S68). 이 후에 OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 그 FOUP가 이송된다(스텝 S69). 여기에서, 제 3 반송의 대상이 될 수 있는 FOUP를 「FOUPn+1」로 해 둔다(스텝 S70).
이어서, 재차 스텝 S63 및 S64의 동작으로서 로드 포트(LP1) 상의 FOUP에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정되어 소정 처리가 완료되었다고 판정된 경우에 다음에 처리가 실시되어야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 있는지의 여부가 판정된다.
한편, 스텝 S64의 판정의 결과, 지시가 더 없다고 판정되는 경우에(스텝 S64: NO), 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료되어 있는 FOUP가 이송된 후에(스텝 S71), OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 그 FOUP가 이송된다(스텝 S72). 이것에 의해 도 4의 제 1 이송 동작 처리와 마찬가지로 해서 제조 장치(20)에 의해 소정 처리가 실시된 모든 FOUP(3)가 버퍼 장치(30)를 통해 비이클(10)에 이송되어 일련의 제 2 이송 처리가 종료된다.
이렇게, 본 실시형태의 제 2 이송 동작 처리에 의하면 제조 장치(20)에 있어서 소정 처리가 완료되면 그 직후에 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(3)를 제거하고, 다음에 처리가 실시되어야 하는 FOUP(3)를 로드 포트(LP1)에 탑재한다{실제로는 FOUP(3) 내부의 웨이퍼를 제조 장치(20) 내부에 호출함}. 따라서, 제조 장치(20)의 가동률을 한층 더 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면 레일(1)의 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 상방에 OHT 포트(P1)가 설치되고, 상기 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 하방에, 또한 그 X 방향에 버퍼(P2)가 설치되지만 버퍼의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 여기에서, 도 6은 본 실시형태의 제 2 선반의 배치와 다른 그 배치의 일례를 설명하기 위한 일방향 단면도이다. 도 6에 있어서 버퍼 장치(130)에 있어서 버퍼(P12)는 레일(1)의 연직 방향(G1)에 있어서의 OHT 포트(P11)와 로드 포트(LP11) 사이에 설치되어 있다. 이러한 버퍼(P12), OHT 포트(P11) 및 로드 포트(LP11) 사이를 이송 기구(132)가 이동함과 아울러 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송할 수 있다. 이것에 의해 버퍼(P12)의 배치에 있어서도 상술한 실시형태의 버퍼 장치(30)와 동일한 작용 및 효과가 얻어진다.
또한, 본 실시형태에 의하면 버퍼 장치(30)는 로드 포트(LP1)에 맞붙여진 상태에서는 레일(1)의 방위에 직교하는 X 방향{즉, 본 발명에 따른 「제 1 방향」의 일례인 버퍼 장치(30)의 길이 방향}에 적어도 2개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이(Lx)를 갖지만 버퍼 장치(30)의 형태는 이것에 한정되지 않는다. 여기에서, 도 7은 본 실시형태의 이송 장치를 구비하는 반송 시스템의 전경을 모식적으로 나타내는 상면도이다. 도 7에 있어서 반송 시스템(300)은 복수의 제조 장치(20, 220)를 구비한다. 복수의 제조 장치(20, 220)는 어느 하나의 요소의 고장 또는 보수시 등에 반송 시스템을 관리하는 시스템 관리자 등이 통행하기 위해서 고장 또는 보수를 행하는 기기를 반입출하기 위해서 또는 본 발명의 이송 장치를 설치하기 위해서 사용되는 통로(즉, 도 7에 있어서의 해칭부)가 설치되어 있고, 이 통로를 사이에 두도록, 또한 각각의 로드 포트(LP1, LP2, LP21~LP23)를 통로측에 배치하도록 2열로 설치되어 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 통로의 폭(Lth){즉, 통로를 사이를 두고 마주 보는 한쌍의 제조 장치에 있어서의 각각의 로드 포트(LP) 간의 최단 거리}은 본 실시형태의 버퍼 장치(30)의 X 방향의 길이(La)보다 짧게 되어 있다. 이 때문에 버퍼 장치(30)는 어느 로드 포트에 대해서나 맞붙일 수 없다.
여기에서, 도 8은 본 실시형태의 이송 장치의 외형과 다른 그 외형의 일례를 설명하기 위한 일방향 단면도이다. 도 8에 있어서 도 7에도 나타내어지는 버퍼 장치(230)는 로드 포트(LP1)에 맞붙여지기 전후(즉, 맞붙임시에는 제거됨)에는 X 방향에 있어서 1개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이와, 이송 기구(230)가 연직 방향으로 이동하기 위해서 요하는 공간의 길이를 합산한 길이(Ly)를 갖게 된다. 이 길이(Ly)는 통로의 폭(Lth)보다 짧게 된다. 이것은 OHT 포트(P21)를 로드 포트(LP1)로의 맞붙임 전후에 본체부(231)에 저장할 수 있는 저장 기구(40)가 구비되어 있기 때문이다. 저장 기구(40)는 수용부(41)와 힌지부(42)를 구비한다. 수용부(41)는 본체부(231)에 있어서 이송 기구(232)의 이송에 의해 FOUP(3)를 상통시킬 수 있는 개구(211) 근방에 설치되어 있고, OHT 포트(P21)를 수직 방향으로 수용한다. 힌지(42)는 OHT 포트(P21)의 일단부를 수용부(41)에 회전 가능하게 접합되어 있고, OHT 포트(P21)를 레일(1)에 대향하는 이송 위치와, 수용부(41)에 수납되는 수납 위치 사이에서 변위할 수 있다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 버퍼 장치(230)를 로드 포트(LP1)에 맞붙일 때에는 OHT 포트(P21)가 수납 위치에 수용된 상태{즉, 도 8에 있어서의 버퍼 기구(230A)의 상태}에서 버퍼 장치(230)가 도 7에 있어서의 통로를 이동하여 맞붙임 대상이 되는 로드 포트(LP1)의 전방면측(즉, 도 8에 있어서의 좌측)에 배치된다. 이어서, OHT 포트(P21)가 이송 위치로 변위된 상태{즉, 도 8에 있어서의 버퍼 기구(230B)의 상태}에서 버퍼 장치(230)가 로드 포트(LP1)에 맞붙여진다. 이 맞붙임시에는 OHT 포트(P21)가 레일(1)의 연직 방향에 배치되어 있다. 이렇게, OHT 포트(P21)를 수납할 수 있는 저장 기구(40)를 설치함으로써 버퍼 장치를 컴팩트하고, 또한 경량으로 구성하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 버퍼 장치의 이동이 용이하게 되는 것은 물론, 버퍼 장치의 맞붙임의 자유도가 보다 높아진다.
<이송 장치의 위치 결정 방법>
이어서, 본 발명의 이송 장치의 위치 결정 방법에 대해서 도 9~도 15를 참조해서 설명한다. 여기에서, 도 9~도 15 각각은 도 1~도 3에 있어서의 제조 장치(20)에 대하여 버퍼 장치를 위치 결정하기 위한 위치 결정 수단의 일례를 나타내는 상면도 또는 측면도이다.
도 9의 (a)는 본 실시형태의 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된(바꿔 말하면, 맞붙여진), 본 실시형태의 버퍼 장치(30)의 상면도를, 도 9의 (b)는 도 9의 (a)의 버퍼 장치(30)의 측면도를 나타낸다. 도 9의 (a)에 있어서 버퍼 장치(30)는 로드 포트(LP1)측의 측면에 원기둥상의 접촉부(4)가 설치되어 있다. 이에 대하여 버퍼 장치(30)와 제조 장치(20) 본체 사이{즉, 도 1~도 3에 있어서의 로드 포트(LP1)의 하방}의 바닥면에는 한 면이 테이퍼상으로 형성되어 있는 위치 결정 블록(5)(즉, 본 발명에 따른 「위치 결정 수단」의 일례)이 설치되어 있다. 버퍼 장치(30)는 로드 포트(LP1)로의 맞붙임시에 후술하는 이동 상태로 되어 접촉부(4)가 위치 결정 블록(5)에 접촉될 때까지 X 방향으로 이동된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 대하여 버퍼 장치(30)가 위치 결정된다.
도 9의 (b)에 있어서 버퍼 장치(30)는 바닥면에 이동용 복수의 주행 롤러(38)와, 복수의 주행 롤러(38) 각각에 쌍으로 되는 복수의 다리부(39)가 설치되어 있다. 각 주행 롤러(38)는 캐스터(38a)와, 이 캐스터(38a)를 수직 방향으로 신축할 수 있는 잭 볼트(38b)로 이루어진다. 각 다리부(39)는 바닥면에 접하고, 버퍼 장치(30) 본체를 지지하는 지지부(39a)와, 이 지지부(39a)를 변위시키지 않고 버퍼 장치(30) 바닥면에 고정하는 어저스터(39b)로 이루어진다. 버퍼 장치(30)를 이동시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 왼쪽으로 조여진다. 그러면, 버퍼 장치(30) 본체로부터 신장된 캐스터(38a)가 바닥면에 접함과 아울러, 지지부(39a)가 바닥면으로부터 떨어진 상태(즉, 버퍼 장치의 이동 상태)가 된다. 이 상태에서는 캐스터(38a)를 회전시켜 용이하게 버퍼 장치(30)를 이동시킬 수 있다. 또한, 접촉부(4)를 위치 결정 블록(5)에 접촉시킴으로써 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(30)를 고정시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 오른쪽으로 조여진다. 그러면, 버퍼 장치(30) 본체를 향해 축소된 캐스터(38a)가 바닥면으로부터 멀어짐과 아울러, 지지부(39a)가 바닥면에 접한 상태(즉, 버퍼 장치의 고정 상태)가 된다. 이 상태에서는 버퍼 장치(30)가 안정적으로 배치된다.
도 10의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(130)의 상면도를, 도 10의 (b)는 도 10의 (a)의 버퍼 장치(130)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 10에 있어서 상술한 도 9의 버퍼 장치(30)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 10의 (a)에 있어서 버퍼 장치(130)는 로드 포트(LP1)측의 측면에 접촉면이 테이퍼상으로 형성되어 있는 접촉부(104)가 설치되어 있다. 이에 대하여 버퍼 장치(130)와 제조 장치(20) 사이{즉, 도 1~도 3에 있어서의 로드 포트(LP1)의 하방}의 바닥면에는 원기둥상의 위치 결정핀(105)(즉, 본 발명에 따른 「위치 결정 수단」의 일례)이 설치되어 있다. 버퍼 장치(130)는 로드 포트(LP1)로의 맞붙임시에 이동 상태로 되어 접촉부(104)가 위치 결정핀(105)에 접촉될 때까지 X 방향으로 이동된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 대하여 버퍼 장치(130)가 위치 결정된다.
도 11의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(230)의 상면도를, 도 11의 (b)는 도 11의 (a)의 버퍼 장치(230)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 11에 있어서 상술한 도 9의 버퍼 장치(30)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 11의 (a)에 있어서 버퍼 장치(230)는 로드 포트(LP1)측의 측면에 접촉면이 테이퍼상으로 형성되어 있는 접촉부(204)가 설치되어 있다. 이에 대하여 버퍼 장치(230)와 제조 장치(20) 사이{즉, 도 1~도 3에 있어서의 로드 포트(LP1)의 하방}의 바닥면에는 원기둥상의 2개의 위치 결정핀(205a, 205b)(즉, 본 발명에 따른 「위치 결정 수단」의 일례)이 설치되어 있다. 버퍼 장치(230)는 로드 포트(LP1)로의 맞붙임시에 이동 상태로 되어 2개의 위치 결정핀(205a, 205b)이 접촉부(204)에 감합될 때까지 X 방향으로 이동된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 대하여 버퍼 장치(230)가 1개의 위치 결정핀의 경우보다 보다 정확하게 위치 결정된다.
도 12의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(330)의 상면도를, 도 12의 (b)는 도 12의 (a)의 버퍼 장치(330)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 12에 있어서 상술한 도 10의 버퍼 장치(130)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 12의 (a)에 있어서 버퍼 장치(330)는 위치 결정핀(105)(즉, 본 발명에 따른 「위치 결정 수단」의 일례)에 접촉시키는 접촉부(104) 외에 버퍼 장치(330) 본체를 위치 결정핀(105)에 확실하게 록킹할 수 있는 걸기부(36)(즉, 본 발명에 따른 「위치 결정 수단」 또한 「고정 수단」의 일례)가 설치되어 있다. 걸기부(36)의 일단부는 로드 포트(LP1)측의 측면에 회전 가능하게 부착되어 있고, 그 타단부는 소정의 회전 위치에서 위치 결정핀(105)에 걸리도록 굴곡되어 있다. 버퍼 장치(330)는 로드 포트(LP1)와 반대측의 측면에 록 레버(37)가 설치되어 있다. 록 레버(37)는 시스템 관리자에 의해 조작할 수 있으며, 상술한 소정의 회전 위치에 있어서 버퍼 장치(330) 본체를 위치 결정핀(105)에 대하여 록킹하는 록킹 위치{즉, 도 12에 있어서의 점선의 걸기부(36)로 나타내어짐}와, 초기 설정의 회전 위치에 있어서 버퍼 장치(330) 본체를 해방하는 비록킹 위치{즉, 도 12에 있어서의 실선의 걸기부(36)로 나타내어짐} 사이에서 걸기부(36)를 변위시킬 수 있다. 로드 포트(LP1)로의 맞붙임시에는 우선, 버퍼 장치(330)가 이동 상태로 되고, 또한 록 레버(37)가 비록킹 위치로 변위된다. 이어서, 접촉부(104)가 위치 결정핀(105)에 접촉될 때까지 버퍼 장치(330)가 X 방향으로 이동된 후에 걸기부(36)가 록킹 위치로 변위된다. 이 후, 버퍼 장치(330)가 고정 상태로 되고, 위치 결정된 위치에서 고정된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 대하여 버퍼 장치(330)가 접촉부(104)만에 의해 위치 결정되는 경우보다 더욱 정확하고 또한 확실하게 위치 결정된다.
<이송 장치의 고정 방법>
도 13은 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 13에 있어서 상술한 도 12의 버퍼 장치(330)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 13에 있어서 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)가 배치되는 바닥면에는 볼록상의 콘(406)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 설치되어 있다. 이에 대하여 버퍼 장치(430)에 있어서의 복수의 다리부(439)는 바닥면과의 접지면이 그 콘(406)에 감합되는 오목상으로 형성되어 있는 지지부(439a)를 갖는다. 버퍼 장치(430)를 이동시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 왼쪽으로 조여지고, 연신된 캐스터(38a)가 바닥면에 접함과 아울러, 지지부(439a)가 바닥면{즉, 콘(406)이 설치된 부분을 포함한 바닥면}으로부터 멀어지는 상술한 이동 상태가 된다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)를 고정시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 오른쪽으로 조여지고, 수축된 캐스터(38a)가 바닥면으로부터 멀어짐과 아울러, 지지부(439a)가 콘(406)에 감합되는 상술한 고정 상태가 된다. 이것에 의해 버퍼 장치(430)는 단순히 평탄한 바닥면의 경우보다 보다 안정적으로 배치된다.
도 14는 도 13과 마찬가지로 해서 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 14에 있어서 상술한 도 13의 버퍼 장치(430)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 14에 있어서 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)가 배치되는 바닥면에는 도 13의 콘(406)과 동일한 콘(407)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 설치되어 있다. 그러나, 그 콘(407)이 설치되는 바닥면의 부분(6)은 제조 장치(20) 및 버퍼 장치(430) 등이 설치되는 본래의 바닥면보다 콘(407)의 높이만큼 낮게 되어 있다. 이것은 바닥면에 돌출되는 콘에 의해 시스템 관리자가 넘어질 뻔하거나 또는 넘어진다는 등의 인적인 위험을 회피하기 위해서이다. 도 13의 경우와 마찬가지로 해서 버퍼 장치(430)를 이동시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 왼쪽으로 조여지고, 연신된 캐스터(38a)가 본래의 바닥면에 접함과 아울러, 지지부(439a)가 바닥면{즉, 콘(407)이 설치된 부분(6)을 포함한 바닥면}으로부터 멀어지는 상술한 이동 상태가 된다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(430)를 고정시킬 때에는 잭 볼트(38b)가 오른쪽으로 조여지고, 수축된 캐스터(38a)가 본래의 바닥면으로부터 멀어짐과 아울러, 지지부(439a)가 콘(407)에 감합되는 상술한 고정 상태가 된다. 이것에 의해 콘(407)의 설치에 의한 인적 위험을 회피하면서 버퍼 장치(430)는 도 13의 경우와 마찬가지로 해서 단순히 평탄한 바닥면의 경우보다 보다 안정적으로 배치된다.
<이송 장치의 주행 방법>
도 15의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(530)의 상면도를, 도 15의 (b)는 도 15의 (a)의 버퍼 장치(530)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 15에 있어서 상술한 도 9의 버퍼 장치(30)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 15에 있어서 버퍼 장치(530)는 도 9의 주행 롤러(38) 등의 주행 수단을 구비하고 있지 않고, 버퍼 장치(530) 단체로 이동하는 것은 불가능하다. 그래서, 버퍼 장치(530)의 이동에는 잭이 부착된 대차(50)(즉, 본 발명에 따른 「주행 수단」의 일례)가 사용된다. 잭이 부착된 대차(50)는 유압식의 도시하지 않은 잭부와, 버퍼 장치(530) 본체의 바닥면을 지지할 수 있는 지지대(51)와, 그 지지대(51) 바닥면에 변위 가능하게 부착되어 있는 복수의 차륜을 갖는 롤러부(52)와, 잭이 부착된 대차(50)를 이동할 때{즉, 버퍼 장치(530)를 이동할 때를 포함함}에 시스템 관리자에게 파지되는 난간(53)을 구비한다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 후에 복수의 다리부(39)에 의해 지지되는 버퍼 장치(530)를 이동시킬 때에는 우선, 잭부의 동력에 의해 롤러부(52)가 경사진 상태(즉, 도 15에 있어서의 점선의 롤러부로 나타내어짐)로 되고, 지지대(51)가 버퍼 장치(530) 본체의 하방으로 진입 가능한 높이(즉, 진입 높이)로 된다. 이어서, 난간(53) 조작에 의해 잭이 부착된 대차(50)가 X 방향으로 이동되고, 진입 높이의 지지대(51)가 복수의 다리부(39)를 피해서 버퍼 장치(530) 본체의 중앙 하방에 배치된다. 이어서, 잭부의 동력에 의해 경사진 상태의 롤러부(52)가 수직인 상태(즉, 도 15에 있어서의 실선의 롤러부로 나타내어짐)로 된다. 그러면, 복수의 다리부(39)가 바닥면으로부터 멀어짐과 아울러, 지지대(51)가 버퍼 장치(530) 본체의 바닥면에 접하는 높이(즉, 지지 높이)가 되어 버퍼 장치(530)가 이동 상태로 된다. 이 후에 난간(53) 조작에 의해 잭이 부착된 대차(50)가 접촉부(33)가 위치 결정 블록(5)에 접촉된 위치로부터 X 방향으로 인출되어 제조 장치(20)에 대한 위치 결정 위치로부터 해방되면 자유롭게 이동시킬 수 있다. 여기에서의 이동은 인력에 의해서라도 좋고, 외측 부착 또는 내장의 전기 모터 등의 동력 기구를 사용해도 좋다. 또한, 이동 중의 버퍼 장치(530)를 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정할 때에는 상술한 공정을 반대 순서로 행하면 좋다.
<이송 장치에 있어서의 상부의 고정 방법>
이어서, 본 실시형태의 이송 장치의 고정 방법에 대해서 도 16 및 도 17을 참조하여 설명한다. 여기에서, 도 16은 본 실시형태의 이송 장치의 고정 수단의 일례를 설명하기 위한 일방향 단면도이며, 도 17은 도 16의 고정 수단과 다른 그 형태의 일례를 설명하기 위한 일방향 단면도이다. 또한, 도 16 및 도 17에 있어서 상술한 도 8의 버퍼 장치(230)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 16에 있어서 버퍼 장치(330)는 상면에 버퍼 장치(330) 본체의 상부를 고정시키기 위한 고정부(63)가 설치되어 있다. 고정부(63)는 후술하는 접속 볼트(62)를 상통시킬 수 있는 개구를 갖는다. 이에 대하여 레일(301)에는 그 고정부(63)에 접속할 수 있는 브래킷(60)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 고정되어 있다. 브래킷(60)은 본체부(61)와 접속 볼트(62)로 이루어진다. 본체부(61)의 일단부는 레일(301)의 측면에 고정되어 있고, 그 타단부는 접속 볼트(62)를 나사 삽입할 수 있는 개구를 갖는다. 버퍼 장치(330)가 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 경우에 이 타단부와, 버퍼 장치(330)측의 고정부(63)가 접촉된다. 이 상태에서 접속 볼트(62)에 의해 본체부(61)에 대하여 고정부(63)가 체결됨으로써 버퍼 장치(330)의 상부가 고정되어 버퍼 장치(330)가 보다 안정적으로 배치된다.
도 17에 있어서, 도 16에도 나타내어지는 버퍼 장치(330)의 고정부(63)에 대하여 천정에 브래킷(70)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 고정되어 있다. 브래킷(70)은 도 16의 브래킷(60)과 마찬가지로 해서 본체부(71)와 접속 볼트(72)로 이루어진다. 버퍼 장치(330)가 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 경우에 본체부(71)의 타단과, 버퍼 장치(330)측의 고정부(63)가 접촉된 상태에서 접속 볼트(72)에 의해 본체부(71)에 대하여 고정부(63)가 체결됨으로써 버퍼 장치(330)의 상부가 고정되어 버퍼 장치(330)가 보다 안정적으로 배치된다.
<이송 장치에 있어서의 하부의 고정 방법>
도 18의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(630)의 상면도를, 도 18의 (b)는 도 18의 (a)의 버퍼 장치(630)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 18에 있어서 상술한 도 9의 버퍼 장치(30)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 18에 있어서 버퍼 장치(630)의 바닥면에는 버퍼 장치(630) 본체의 하부를 고정하기 위한 고정핀(7)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 고정되어 있다. 고정핀(7)은 본체부(7a)와 수평 위치 결정부(7b)와 고정 볼트(7c)로 이루어진다. 본체부(7a)는 측면에 오목부를 갖고 있고, 수직 방향으로 신축 가능하다. 수평 위치 결정부(7b)의 일단부는 수평 일방향으로부터 본체부(7a)의 오목부에 감합할 수 있으며, 그 타단부는 고정 볼트(7c)를 상통시킬 수 있는 개구를 갖는다. 이에 대하여 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(630)에 있어서의 상술한 고정핀(7)에 대응하는 바닥면에는 고정부(8)가 설치되어 있다. 고정부(8)는 상면에 고정핀(7)과 감합할 수 있는 오목부를 가짐과 아울러 고정 볼트(7c)를 나사 삽입할 수 있는 개구를 갖는다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(630)를 고정시킬 때에는 본체부(7a)와 고정부(8)의 오목부가 접촉됨과 아울러, 수평 위치 결정부(7b)의 일단부가 수평 위치 방향으로부터 본체부(7a)의 오목부에 감합된다. 이 상태에서 고정 볼트(7c)에 의해 고정부(8)에 대하여 수평 위치 결정부(7b)가 체결됨으로써 버퍼 장치(630)의 하부가 소정의 수평면에서 고정되어 다리부(39)가 단순히 바닥면에 접하는 경우보다 버퍼 장치(630)가 보다 안정적으로 배치된다.
도 19의 (a)는 로드 포트(LP1)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(730)의 상면도를, 도 19의 (b)는 도 19의 (a)의 버퍼 장치(730)의 측면도를 나타낸다. 또한, 도 19에 있어서 상술한 도 9의 버퍼 장치(30)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 한다.
도 19에 있어서 버퍼 장치(730)의 바닥면에는 버퍼 장치(730) 본체의 하부를 고정시키기 위한 고정핀(107)(즉, 본 발명에 따른 「고정 수단」의 일례)이 고정되어 있다. 고정핀(107) 본체는 도 18의 고정핀(7)과 일부 마찬가지로 해서 수직 방향으로 신축할 수 있다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(730)에 있어서의 고정핀(107)에 대응하는 바닥면의 부분(108)은 고정핀(107)과 감합 가능하게, 제조 장치(20) 및 버퍼 장치(730) 등이 설치되는 본래의 바닥면보다 낮게 되어 있다. 제조 장치(20)에 대하여 위치 결정된 버퍼 장치(730)를 고정시킬 때에는 고정핀(107)이 연신되어 바닥면의 부분(108)에 감합된다. 이것에 의해 버퍼 장치(730)의 하부가 수평 방향에 있어서 고정되어 다리부(39)가 단순히 바닥면에 접하는 경우보다 버퍼 장치(730)가 보다 안정적으로 배치된다.
또한, 상술한 도 9~도 19에 나타내어지는 위치 결정 수단, 고정 수단 및 주행 수단은 본 발명에 따른 이송 장치에 단체로 구비되어도 좋고, 복수의 수단이 1개씩 또는 복수 조합되어 구비되어도 좋다.
본 발명은 상술한 또는 후술하는 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위 및 명세서 전체로부터 판독되는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적당히 변경 가능하며, 그러한 변경을 수반하는 이송 장치도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다. 예를 들면, 2개의 포트에 대하여 2개의 제 2 선반을 구비하는(즉, 실시형태의 이송 장치를 2개 나란히 배치함) 이송 장치는 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
<제 2 실시형태>
이어서, 제 2 실시형태에 따른 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 구성에 대해서 도 20~도 22를 참조해서 설명한다. 여기에 도 20은 제 2 실시형태로서 도 8의 이송 장치를 구비하는 제조 시스템의 외관을 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 21은 도 20에 나타내어지는 이송 장치를 타방향(즉, 도 20에 있어서의 좌우 방향)으로 절단한 경우의 단면을 개략적으로 나타내는 타방향 단면도이며, 도 22는 도 20에 나타내어지는 이송 장치에 대해서 처리 장치에 대한 배치를 나타내는 상면도이다. 또한, 도 20 및 도 22에 있어서 상술한 도 8의 제조 시스템(300)의 경우와 동일하게 구성되는 요소에 대해서 그 설명을 생략함과 아울러, 동일한 번호를 붙이는 것으로 하고, 도 8의 제조 시스템(300)의 경우와 다른 사양에 대해서 그 설명을 특별히 행하는 것으로 한다.
도 20에 있어서 제조 시스템(1100)은 도 8에 있어서의 제조 시스템(300)과 비교해서 버퍼 장치(230)가 로드 포트(LP1)의 전방면측에 배치되는 대신에 로드 포트(LP1)의 측면측(도 20에 있어서의 우측)에 배치되는 점이 다르다. 즉, 제조 시스템(300)과 제조 시스템(1100)에서는 버퍼 장치(230)의 로드 포트(LP1)로의 맞붙임 위치가 다르다.
본 실시형태에서는 특히 도 22에 있어서 버퍼 장치(230)는 예를 들면, 로드 포트(P21)의 X 방향{즉, 레일(1)의 방위에 직교하는 방향}의 길이(W2)가 로드 포트(LP1)의 X 방향의 길이(W1) 이하가 되도록 구성되어 있다. 이 때문에, 예를 들면 로드 포트(P21)의 전방면측(즉, 도 21~22에 있어서의 X 방향)에 장해가 있는 경우에 버퍼 장치(230)는 제조 장치(20)에 대하여 레일(1)의 방위(즉, 도 20 및 도 21에 있어서의 Z 방향 우측)로부터 접근할 수 있게 된다. 또한, 버퍼 장치(230)는 로드 포트(LP1)의 Z 방향 우측으로 이간된 위치로부터 FOUP(3)의 이송을 실행할 수 있게 된다. 또한, 버퍼 장치(230)는 로드 포트(P21)의 길이(W2)가 로드 포트(LP1)의 길이(W1) 이상이 되도록 구성되어도 상관없다. 이 경우, 버퍼 장치(230)에 대해서 그 측부가 예를 들면, 도 7에 있어서의 통로로 밀려나오지만 로드 포트(LP21)의 전방면측에 배치되는 경우와 비교해서 상기 통로로 밀려나오는 것을 매우 작게 할 수 있다.
본 실시형태에서는 바람직하게는 버퍼 장치(230)에 대해서 본체부(231)의 폭 길이(Lw)는 로드 포트(LP1)에 있어서의 X 방향의 길이(W1) 이하이며, 예를 들면, 도 7에 있어서의 통로로 밀려나오지 않고, 제조 장치(20) 본체와 상기 통로 사이의 로드 포트(LP1)의 측방에 빈 스페이스에 배치하는 것이 가능하다. 도 21에 있어서 버퍼 장치(230)가 로드 포트(LP1)에 맞붙여질 때에는 OHT 포트(P21)가 수용 위치에 수용된 상태{즉, 도 21에 있어서의 버퍼 기구(230A)의 상태}에서 Z 방향으로 이동되어 맞붙임 대상이 되는 로드 포트(LP1)의 측면측{즉, 도 21에 있어서의 로드 포트(LP1)의 우측면측}에 배치된다. 이어서, OHT 포트(P21)가 이송 위치로 변위된 상태{즉, 도 21에 있어서의 버퍼 기구(230B)의 상태}가 됨으로써 버퍼 장치(230)가 로드 포트(LP1)에 맞붙여진다. 이 때, 버퍼 장치(230)에 있어서의 이송 기구(232)는 파지부(233)를 슬라이딩할 수 있는 슬라이드부(234)의 길이 방향이 Z 방향과 일치하도록 배치되어 있다.
버퍼 기구(230)가 버퍼 기구(230B)에 있는 상태에서는 예를 들면, 수평 이동 기구(234)에 의해 파지부(233)가 로드 포트(LP1)를 향해 Z 방향으로 이동되어 파지부(233)의 한쌍의 평판상의 부위가 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(3)의 플랜지(3a) 하방으로 들어감과 아울러, 플랜지(3a) 양단부를 하방으로부터 지지한다{즉, FOUP(3)를 파지함}. 즉, 본 실시형태에서는 이송 기구(232)는 수평 이동 기구(234) 및 상술한 승강 기구(235)에 의한 상호 동작에 의해 파지부(233)를 로드 포트(LP1), OHT 포트(P21) 및 버퍼(P22) 사이에서 Z 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 3 방향」의 일례) 및 연직 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 2 방향」의 일례)으로 이동하는 것이 가능하게 된다.
본 실시형태에 의하면 버퍼 장치(230)는 레일(1)의 방위와, 수평 이동 기구( 234)가 FOUP(3)를 이동하는 Z 방향(즉, 제 3 방향)이 일치하므로 버퍼 장치(230)를 로드 포트(LP1)의 측방(본 실시형태에 있어서는 바로 옆)에 배치하는 것도 가능하게 된다. 이렇게 버퍼 장치(230)를 로드 포트(LP1)의 측방에 배치한 경우, 로드 포트(LP1)의 측방에 빈 스페이스를 유효하게 이용하는 것이 가능하다. 한편, 버퍼 장치(230)가 제조 장치(20)에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 전방면측에 설치된 통로를 조금도 점거하지 않고, 그 통로에 있어서의 통행을 일절 저해하지 않는다. 바꿔 말하면, 버퍼 장치(230)의 배치에 따라 통로를 좁게 설치하는 것도 가능하게 된다.
한편, 상술한 바와 같이, 본체부(231)의 폭 길이(Lw)를 로드 포트(LP1)에 있어서의 X 방향의 길이(W1) 이하로 하면 편리하지만 도 23에 나타내는 바와 같이, 이 폭 길이(Lw)를 로드 포트(LP1)에 있어서의 X 방향의 길이(W1) 이상으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 도 23에 있어서 버퍼 장치(330)를 Z 방향으로부터 제조 장치(20)에 접근시키면 버퍼 장치(330)의 본체부가 제조 장치(20)의 외부 프레임 또는 제조 장치(20) 본체의 모서리와 부딪친다. 그러나, 이 경우 모서리가 부딪치거나 또는 부딪치기 직전의 위치에서 OHT 포트(P21)가 로드 포트(LP1)의 상방에 위치하도록 이들 포트(P21 및 LP1)의 배치 및 치수가 구성되어 있으면 특별히 문제는 없다. 예를 들면, 로드 포트(LP1)를 제조 장치(20) 본체의 전방면에 있어서의 최대한 편측 모서리{즉, 도 20 및 도 21에 있어서의 제조 장치(20)의 전방면 우측 모서리}에 맞춰서 설치하면 유리하다. 또는 이 경우, OHT 포트(LP21) 및 이동 기구(232)가 수평 방향으로(즉, 도 20 및 도 21에 있어서의 좌측을 향해) 신장 가능하게 구성되어 있어도 좋다. 또한, OHT 포트(LP21) 및 이동 기구(232)를 신장 가능하게 함으로써 버퍼 장치(330)는 제조 장치(20) 전방면에 있어서의 보다 먼 쪽에 위치하는 로드 포트(LP2)(즉, 도 20 및 도 21에 있어서의 좌측의 로드 포트)에 대해서도 FOUP(3)의 이송이 실행 가능하게 된다.
본 실시형태에 따른 버퍼 장치(230)를 구비하는 제조 시스템(1100)은 로드 포트(LP1)의 측방에 배치된 버퍼 장치(230)를 통한 비이클(10) 및 제조 장치(20) 사이의 이송 동작에 대해서 제조 시스템(1100)의 컨트롤러에 의해 도 4의 제 1 이송 동작 처리 또는 도 5의 제 2 이송 동작 처리와 동일한 처리를 실행할 수 있으며, 로드 포트(LP1)에 대하여 FOUP(3)를 신속하게 이송하여 제조 장치(20)의 가동률을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 상기 버퍼 장치(230)는 도 9~도 19의 위치 결정 수단(또는 위치 결정 방법), 고정 수단(고정 방법) 및 주행 수단(또는 주행 방법)을 적용할 수 있으며, 이들 수단에 의해 안정적으로 배치하는 것도 가능하다.
또한, 상술한 실시형태에 따른 버퍼 장치는 대형의 제조 장치에 대응해서 그 높이가 제조 장치의 높이와 동등하거나 또는 보다 크게 되도록 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 도 24에 나타내는 바와 같이, 버퍼 장치(430)는 도 20에 있어서의 OHT 포트(P21)에 대응하는 OHT 포트(P41)의 상방에 예를 들면, 제 2 OHT 포트(P40)를 배치 가능하게 구성되어 있다. 제 2 OHT 포트(P40)는 OHT 포트(P41)와 마찬가지로 해서 수평 상태가 되어 비이클(10)과의 사이에서 FOUP(3)를 이송할 수 있는 이송 위치와, 수직 상태가 되어 본체부(431)에 수납되는 수납 위치 사이에서 변위된다. 예를 들면, 버퍼 장치(430)가 로드 포트(LP1)의 측면측(즉, 도 24에 있어서의 우측)에 배치된 경우에 이송 기구(432)는 제조 시스템(1200)의 컨트롤러에 의해 제어되어 파지부(433)를 로드 포트(LP1), 상술한 제 2 OHT 포트(P40), OHT 포트(P41) 및 버퍼(P42) 사이에서 Z 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 3 방향」의 일례) 및 연직 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 2 방향」의 일례)으로 이동시킴과 아울러, 파지부(433)에 의해 FOUP(3)를 파지하거나 또는 해방함으로써 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송하는 것이 가능하다.
또한, 버퍼 장치(430)는 도 24에 나타내는 바와 같이, 로드 포트(LP1)의 측면측 뿐만 아니라 도 2의 버퍼 장치(30)와 마찬가지로 해서 로드 포트(LP1)의 전방면측에 배치하는 것도 가능하다. 예를 들면, 버퍼 장치(430)의 본체부(431)는 최대한 측면을 생략한 프레임으로 구성되어 있다. 이 경우, 버퍼 장치(430)를 로드 포트(LP1)의 전방면측에 배치하고자 할 때에 본체부(431) 내에 로드 포트(LP1)의 일부{즉, 로드 포트(LP1)의 전방부}가 위치하도록 버퍼 장치(430)가 로드 포트(P1)에 맞붙임 가능하게 된다. 이것에 의해 버퍼 장치(430)를 제조 장치(420) 본체에 대하여 X 방향에 의해 접근해서 배치하는 것이 가능하게 되고, 버퍼 장치(430)의 예를 들면, 도 7에 있어서의 통로로 밀려나오는 것을 작게 할 수 있다.
1: 궤도 3: FOUP
10: 비이클 20: 제조 장치
30: 버퍼 장치 32: 이송 기구

Claims (14)

  1. 궤도를 따라 주행함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 장치로서:
    상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반;
    상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반; 및
    상기 처리 장치에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 선반은 상기 제 1 방향 위치 중 상기 이동 수단이 상기 피반송물을 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에서 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 선반은 상기 원래의 이송 진로에 있어서의 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리 장치는 상기 포트를 복수개 갖고,
    상기 이송 장치는 그 외형 치수에 있어서 상기 포트의 배열 피치 이하의 폭을 가짐과 아울러, 상기 포트가 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 제 1 방향이 일치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 선반은 상기 이송 장치의 본체측으로 구부리거나 또는 수용 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송차는 상기 피반송물을 연직 방향으로 세로 이송하고,
    상기 제 1 방향은 상기 연직 방향에 대하여 수직인 수평 일방향이며,
    상기 제 2 방향은 상기 연직 방향인 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 포트에 맞붙일 수 있는 외형을 가짐과 아울러,
    상기 포트에 대한 위치 결정을 행하는 위치 결정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 위치 결정에 의해 위치 결정된 상태에서 상기 이송 장치의 고정을 행함과 아울러, 상기 고정을 해제할 수 있는 고정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 제 1 방향으로의 이동을 가능하게 하는 주행 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 수단은 상기 피반송물을 파지하는 파지 수단;
    상기 파지 수단을 상기 제 1 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 1 이동부; 및
    상기 파지 수단을 상기 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 2 이동부를 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송된 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 우선, 상기 1 피반송물을 상기 제 1 선반으로부터 상기 제 2 선반으로 이동시키고, 상기 1 피반송물을 상기 제 2 선반에 일단 탑재한 상태에서 상기 포트에 탑재된 다른 피반송물을 상기 포트로부터 상기 제 1 선반으로 이동시키고, 그 후에 상기 1 피반송물을 상기 제 2 선반으로부터 상기 포트로 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송된 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 상기 제 2 선반으로 이송된 다른 피반송물이 이미 탑재되어 있는 상태에 있는 상기 제 2 선반에 일단 탑재하지 않고, 상기 1 피반송물을 상기 포트로 이동시키고, 그 후에 상기 다른 피반송물을 상기 제 2 선반으로부터 상기 제 1 선반으로 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  13. 궤도를 따라 주행함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 장치로서:
    상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반;
    상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반; 및
    상기 처리 장치에 걸친 방향이며, 또한 상기 포트에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 3 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 3 방향으로 이간된 제 3 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 3 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 이송 장치는 상기 궤도에 걸친 방향으로 상기 제 3방향이 일치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
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