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Description

移載裝置

本發明，是有關於在例如半導體製造裝置等的處理裝置、及沿著軌道行走的車輛等的搬運車之間，移載半導體製造用的各種基板被收容的容器等的被搬運物用的移載裝置的技術領域。

這種的移載裝置，是被固定於處理裝置的外框或是外箱的外部，在與該處理裝置之間、及在搬運車之間分別將被稱為FOUP(前開口式通用容器、Front Opening Unified Pod)的容器等的被搬運物移載者已被製品化。具體而言，此移載裝置，是在最上部，裝備2基在與搬運車之間移載FOUP用的通口等的棚，在比通口更下方裝備6基將FOUP暫時地載置用的作為緩衝儲存器等的棚(例如專利文獻1參照)。

且，上述的移載裝置，已被提案具備：可分別支撐晶圓支撐容器等的被搬運物的複數棚、及可移動至該複數棚所包含的X-Z平面內的任何位置的夾子的系統。具體而言，藉由此系統，將晶圓支撐容器供給至半導體處理工具及測量工具等的處理裝置(例如專利文獻2參照)。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4182521號公報

[專利文獻2]日本特表2001-509465號公報

但是，上述專利文獻1及2的移載裝置，是強力地被固定在處理裝置的外框或是外箱。即，將該移載裝置固定在處理裝置的話，將該固定解除的作業就需要很多的時間。且，移載裝置被固定於處理裝置時，移載裝置是成為塞住處理裝置的前面(特別是，被搬運物出入用的通口存在的壁面部分)的狀態。因此，移載裝置被固定的狀態下欲直接進行處理裝置的改修、故障及維修的作業是非常困難的或是不可能的。即，為了進行改修等的作業，會發生將移載裝置從處理裝置取下的耗費勞力和時間的相關作業。進一步其後，也會發生再度將移載裝置固定在處理裝置時，要求某程度的定位精度的兩者間的固定作業。且，這些的移載裝置，是在謀求工場內的處理裝置周圍的省空間化時，因為會無法忽視程度的外觀形狀變大且固定場所也被限定，所以具有欲達成該省空間化時成為大的障礙的技術上的問題點。

本發明，是鑑於例如上述的問題點，其課題是提供一種移載裝置，可將裝置整體小型地構成，且對於處理裝置可容易地固定。

本發明的移載裝置是為了解決上述課題，是在與沿著軌道行走並且將被搬運物搬運的搬運車之間、及在與對於被收容於前述被搬運物的被處理物進行處理的處理裝置中的讓前述被搬運物或是前述被處理物可出入的通口之間，分別移載前述被搬運物，具備：第1棚，將從前述搬運車移載前述被搬運物的移載位置至前述通口的原移載進路的途中遮住的方式被配置，在與前述搬運車之間可移載前述被搬運物；及第2棚，至少可暫時地載置前述被搬運物；及移動手段，在對於前述處理裝置接近及分離的方向的第1方向，對於前述第1棚及前述通口使前述被搬運物可往復移動，並且在從前述第1棚及前述通口只有朝前述第1方向分離至少前述被搬運物的部分的第1方向位置，使前述被搬運物朝與前述第1方向交叉的第2方向可往復移動。

本發明中的處理裝置，是例如處理裝置、檢查裝置等的半導體製造裝置，對於例如FOUP等的被搬運物，實際上，被收容在被搬運物的內部的晶圓等的被處理物進行預定的處理(例如曝光處理、鍍膜處理、熱處理等)。該處理進行時，典型是將被進行處理的搬運物，藉由沿著例如半導體製造工場等的設施中的頂棚被舖設的軌道行走的例如OHT(懸掛式搬運系統、Over head Hoist Transport)等的搬運車，朝處理裝置被搬運，並且從搬運車或是朝搬運車移載至可移載的通口。此後，例如被收容在通口上的被搬運物的被處理物，是藉由處理裝置中的移動手段，從 被搬運物內部被取出，朝處理裝置內部被出入。且，作為處理對象，在處理裝置內部被出入的被處理物的形態，例如處理裝置是具備暫存器的裝置的話，不是如上述被處理物單體，而是被搬運物本身(即收納有被處理物的被搬運物的狀態)也可以。

在此，在例如半導體製造中，為了使製造設備不會擴大，可確保更多的生產量，提高處理裝置的運轉率是成為課題。例如，因為藉由第一的搬運車，將處理完成的被搬運物從通口被搬走，所以藉由第二的搬運車，使處理從此被進行的被搬運物被搬運至通口為止的被搬運物的等待時間(即處理裝置的非運轉時間)是數分鐘。對於此，在1個被搬運物的處理若同樣需要數分鐘的情況時，處理裝置的運轉率是成為50%。如此，為了提高因等待時間所導致的低下的運轉率，是要求藉由在處理裝置將處理完成的被搬運物從通口迅速地搬走，使接著處理被進行的搬運物迅速地載置至通口(即將通口上的被搬運物迅速地替換)，來短縮處理裝置的非運轉時間。

依據本發明的移載裝置，該移載裝置，是藉由處理裝置將處理進行中或是已被進行的被搬運物，暫時地載置或是保持的例如暫存器環裝置等的暫時保持裝置。依據這種移載裝置，在其動作時要求首先將該移載裝置、搬運車及處理裝置(以下適宜稱為「三要素」)總括地控制，藉由例如製造系統中的控制手段，依據例如半導體製造時程，對於三要素，要求對於第一的被搬運物的搬運及處理。如 此的話，將第一的被搬運物搬運的搬運車被停止在對應第1棚的位置，從搬運車朝第1棚使被搬運物被移載。在此「第1棚」，是例如被稱為「OHT通口」，是指具有可載置從搬運車或是朝搬運車被移載的被搬運物的載置面的棚的意思。被移載至第1棚的第一的被搬運物，是藉由可把持例如FOUP的凸緣的機械手臂、及可將被搬運物從其下方支撐的移載機構等的移動手段，從第1棚被移載至通口。此後，藉由處理裝置中的例如內外移動手段，使被收容在第一的被搬運物內部的被處理物是從通口上的第一的被搬運物內部朝處理裝置內部被移動。如此的話，在處理裝置內部對於被處理物進行處理。接著，對於三要素，要求對於接著應處理的第二的被搬運物的搬運及處理。如此的話，將搬運的第二的被搬運物的搬運車停止在對應第1棚的位置，從搬運車朝第1棚使第二的被搬運物被移載(即搬運)。如此的話，第1棚上的第二的被搬運物，是藉由移動手段，從第1棚被移載至第2棚。在此「第2棚」，是具有為了將例如被稱為「暫存器」或是「暫存棚」的通口上的被搬運物，從處理完成的第一的被搬運物，替換為接著被處理的第1棚上的第二的被搬運物，而將第一或第二的任一的被搬運物可暫時地載置的載置面的棚的意思。接著，第一的被搬運物(實際上，對於第一的被搬運物中的被處理物)的處理完成的話，藉由內外移動手段，使被處理物從處理裝置內部朝通口上的第一的被搬運物內部被移動。如此的話，未搬運被搬運物的空的搬運車之中，對 於最近該移載裝置或是處理裝置的搬運車，要求處理完成的第一的被搬運物的搬運(即搬走)。在此後，藉由移動手段，與通口上的第一的被搬運物從通口被移載至第1棚(即使處理完成的第一的被搬運物遠離通口)，並且對於三要素，要求對於的第二的被搬運物之後應處理的第三的被搬運物的搬運及處理(即叫入)。接著，第2棚上的第二的被搬運物是從第2棚被移載至通口，通口上的被搬運物的切換是迅速地被進行。此後，藉由處理完成的第一的被搬運物的搬運被要求的搬運車，使第1棚上的第一的被搬運物從第1棚被移載至搬運車(即搬走)。另一方面，通口上的第二的被搬運物(實際上，對於的第二的被搬運物中的被處理物)的處理完成的話，對於空的最近的搬運車，要求處理完成的第二的被搬運物的搬運(即搬走)。如此，處理從此被進行的搬運物是依序被移載至第1棚，將該第1棚上的被搬運物、及通口上的處理完成的被搬運物，藉由使用第2棚有效率地替換，就可提高處理裝置的運轉率。

如上述，本發明的移載裝置，是可載置或是移載被搬運物的棚，因為具備：進行1個通口中的被搬運物的切換用的1個第2棚、及在與搬運車之間只有移載被搬運物用的第1棚，所以該移載裝置可小型且輕量地構成。且，移載裝置被小型化的狀況中，因為移載裝置可容易地固定於1個通口(或是處理裝置)且，具備在1個通口、第1棚及第2棚之間可移動的移動裝置，所以其連接也可以不用。

且，依據本發明的移載裝置，對於其內部配置及外部配置，首先，第1棚，是從搬運車移載被搬運物的移載位置，典型是在鉛直方向縱移載的移載位置，將至通口的原移載進路之途中遮住的方式被配置。因此，從搬運車側看的話，對於移載裝置不存在的情況時的通口的移載動作、及對於移載裝置存在的情況時的通口的移載動作，可由幾乎同樣的要領實行。且，移動手段，是對於處理裝置，更具體而言對於處理裝置中設有通口的外框面或是外箱面或是側面或是側壁，在接近及分離的方向的第1方向(例如水平一方向)，使被搬運物對於第1棚及通口可往復移動。進一步，移動手段，是在從第1棚及通口只有朝第1方向分離的至少被搬運物的部分的第1方向位置(例如水平方向位置)，使被搬運物朝第2方向(例如鉛直方向)可往復移動。因此，將移載裝置內的被搬運物移動用的通路或是空間，可以非常省空間。特別是作為暫存器功能的第2棚的存在，是加上在第1棚及通口之間不會直接阻撓被搬運物往復移動時的通路或是空間的方式的條件的話，如此將移載裝置內中的被搬運物移動用的通路或是空間可以接近最小限度。即，在通口的寬度以內，將移載裝置內的被搬運物移動用的通路或是空間的寬度可以減小。因此，對於具備複數通口的1個處理裝置，將通口及同數的移載裝置沿著軌道呈一列地並列的方式配置也可以。即，移載裝置的外框或是外箱等的外形寬度是與通口的間距相同或是以下也可以。由此，對於各通口適宜地選擇是否使用移載裝置也可以。

在本發明的移載裝置的一態樣中，前述第2棚，是被配置於前述第1方向位置之中不會妨害前述移動手段將前述被搬運物在前述第1棚及前述通口之間朝前述第1方向及前述第2方向移動時的位置。

依據此態樣，第2棚，是被配置在第1方向位置(例如從處理裝置中設有通口的外壁的水平方向的距離被固定的位置)之中，不會妨害將被搬運物在第1棚及通口之間朝第1方向(例如水平方向)及第2方向(例如鉛直方向)移動時的位置。具體而言例如，第2棚是被配置在接近被配置於第1棚的下方的通口，且位於通口的若干下方的水平方向位置中的移動手段的鉛直方向的可動範圍的下限附近。或是第2棚是被配置在位於第1棚的若干上方的水平方向位置中的移動手段的鉛直方向的可動範圍的上限附近。因此，特別是作為暫存器功能的第2棚的存在，是在第1棚及通口之間不會阻撓將被搬運物直接移動時的通路或是空間，且將移載裝置內中的被搬運物移動用的通路或是空間可以接近最小限度。因此，移載裝置的外框或是外箱等的外形形狀可以接近最小限度。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，前述第2棚，是被配置於前述原移載進路中的前述第1棚及前述通口之間。

依據此態樣，第2棚，是被配置於原移載進路中的第1棚及通口之間，這些第1棚及第2棚以及通口的三者，皆是在原移載進路彼此之間隔有距離的形式被重疊配置。因此，在第2方向位置，在這三者之間不會阻撓將被搬運物移動時的通路或是空間，且將移載裝置內中的被搬運物移動用的通路或是空間，是可以接近最小限度。因此，移載裝置的外框或是外箱等的外形形狀可以接近最小限度。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，前述處理裝置，是具有複數前述通口，該移載裝置，是在其外形尺寸具有前述通口的配列間距以下的寬度，並且使前述第1方向與對於前述通口被配列的方向垂直交叉的方向一致的方式被配置。

依據此態樣，因為移載裝置，是在其外形尺寸具有通口的配列間距以下的寬度，並且典型是第1方向與對於沿著軌道的方向也就是通口是被配列方向垂直交叉的方向一致，所以將複數移載裝置與通口一對一地對應配備也可以。對於通口的寬度方向因為移載裝置的寬度較狹窄，所以如此將移載裝置配合通口的配列複數配列也可以。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，前述第1棚，是可曲折或收容在該移載裝置的本體側。

依據此態樣，在維修等將移載裝置取下或是安裝的情況等，藉由將第1棚朝該移載裝置的本體側曲折或是收容，因為只要將只有被曲折或是收容的部分的寬度變窄的移載裝置拉出或是移動即可，所以實踐上大有利。

且，對於第2棚被配置於原移載進路中的第1棚及通口之間的情況時，可被曲折或是收容在該移載裝置的本體側的構成也可以。

具體而言，第1棚及/或第2棚，是被固定於例如滑動機構的一部分，在軌道的下方或是其水平一方向位置被滑動。第1棚及/或第2棚，是例如可轉動自如被固定於鉸鏈，可被變位至：在軌道的下方被水平配置的載置位置、或是在收納部被垂直配置的收納位置。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，前述搬運車，是將前述被搬運物朝鉛直方向地縱移載，前述第1方向，是對於前述鉛直方向垂直也就是水平一方向，前述第2方向，是前述鉛直方向。

依據此態樣，搬運車，是在處理裝置未配備移載裝置的情況時，可以沿著朝鉛直方向延伸的原移載進路對於通口縱移載，在處理裝置配備有移載裝置的情況時，也可以由相同要領沿著原移載進路對於第1棚縱移載。且，藉由移動手段，將被載置至第1棚的被搬運物，朝水平一方向及鉛直方向移動，就可以被移動直到第2棚或是通口為止。或是藉由移動手段，將被載置至通口的被搬運物，朝水平一方向及鉛直方向移動，就可以被移動直到第2棚或是第1棚為止。

在此態樣中，搬運車，是具備可將例如被搬運物昇降的吊車機構，在搬運時(即包含搬運中的行走時)，將被搬運物保持在搬運車內，在移載時中，在例如處理裝置等的通口或是貯藏庫等的移載用棚之間，將被搬運物朝鉛直方向降下或是拉起。在此，搬運車中的「縱移載」，是藉由鉛直方向的移動將移載被搬運物的意思。在軌道的鉛直方向中，典型是被設置於處理裝置中的通口。此情況時，依據此態樣，第1棚，是被配置在被停止在移載位置的搬運車及通口之間，第2棚，是被配置於在此第1棚的下方中，具體而言在第1棚及通口之間，或是比通口更下方。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，該移載裝置是進一步具備定位手段，具有可組裝在前述通口的外形，並且可對於前述通口進行定位。

依據此態樣，移載裝置的本體，是例如外框、外箱、框體或是框組。依據此態樣，移載裝置，是在其動作時，使通口存在於移動手段可到達的第1方向(例如水平一方向)及第2方向(例如鉛直方向)的區域使通口存在的方式，對於通口被組裝。為了此組裝，例如移載裝置本體，是具有可回避通口及通口上的被搬運物的外形。且，移動手段是可在與通口之間移載被搬運物的方式，具有移載裝置本體中的鄰接於通口上的被搬運物的部分被開放的外形。

且，依據此實施例，例如將移載裝置的一部分，設置在通口的下方或是移載裝置的下方的底面，藉由例如接觸定位塊體或是銷等的定位手段，就可將移載裝置定位。且，定位手段，是設在底面的其他通口或是處理裝置、軌道、或是半導體製造工場等的設施中的內壁等也可以。

在此態樣中，該移載裝置是進一步具備固定手段，可在藉由前述定位被定位狀態下進行該移載裝置的固定，並且可解除前述固定也可以。

如此構成的話，將例如被定位的移載裝置的一部分，藉由固定於底面、軌道或是頂棚的例如強度較高的材料所構成的固定手段，就可將移載裝置固定。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，該移載裝置，是進一步具備可朝前述第1方向的移動的行走手段。

依據此態樣，移載裝置，是藉由在移載裝置本體的底面，具備複數例如行走滾子、行走履帶等的行走手段，而可移動，特別是朝通口的組裝時，對於通口，朝例如水平一方向的第1方向被移動。即，這種移載裝置，是對於通口可裝卸自如。且，行走手段，是即使在移載裝置本體中未具備，只要可將移載裝置從其下方支撐的搬運台車也可以。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，前述移動手段是具有：將前述被搬運物把持的把持手段、及將前述把持手段朝前述第1方向可往復移動的第1移動部、及將前述把持手段朝前述第2方向可往復移動的第2移動部。

依據此態樣，移動手段，是在其動作時，藉由可將例如被搬運物的上部把持的夾子、將被搬運物從下方可支撐的移載機構等的把持手段，將被搬運物把持。接著，藉由例如致動器、馬達等的動力被驅動，藉由例如水平移動部也就是第1移動部、及例如鉛直移動部也就是第2移動部，在通口、第1棚及第2棚之間(即3要素)的第1方向(例如水平一方向)及第2方向(例如鉛直方向)，使將被搬運物把持的移動手段被移動。如此，藉由由二方向的移動部所產生的簡單的2軸動作，在3要素中的任一的載置面皆可迅速地將被搬運物移動。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，進一步具備控制手段，在將從前述搬運車移載至前述第1棚的第一的被搬運物朝前述通口移動的情況時，首先，將前述第一的被搬運物從前述第1棚朝前述第2棚移動，將前述第一的被搬運物一旦直接載置在前述第2棚，將被載置在前述通口的其他的被搬運物從前述通口朝前述第1棚移動，其後，將前述第一的被搬運物從前述第2棚朝前述通口移動的方式控制前述移動手段。

依據此態樣，第一的被搬運物是從搬運車被移載至第1棚的話，在由包含控制器等的控制手段所產生的控制下，藉由移動手段首先，第一的被搬運物，是朝第2棚被移動。且，此第一的被搬運物是一旦被載置在第2棚的狀態，直接將已經由處理裝置處理完成的被載置於通口的其他的被搬運物，藉由移動手段，朝第1棚被移動。在其後，一旦被載置在第2棚的第一的被搬運物，是藉由移動手段，朝通口被移動，進行由下一處理手段所進行的處理。

如此將已經處理完成的其他的被搬運物的朝第1棚的搬出，可比第一的被搬運物的朝通口的搬入更優先。由此，例如，可以將處理完成的被搬運物迅速地由搬運車搬運的可提高整體的作業效率的狀況時，可以適切地對應。

在本發明的移載裝置的其他的態樣中，進一步具備控 制手段，在將從前述搬運車移載至前述第1棚的第一的被搬運物朝前述通口移動的情況時，被移載至前述第2棚的其他的被搬運物不是一旦載置在已經成為被載置的狀態中的前述第2棚，而是將前述第一的被搬運物朝前述通口移動，其後，將前述其他的被搬運物，從前述第2棚朝前述第1棚移動的方式控制前述移動手段。

依據此態樣，第一的被搬運物是從搬運車被移載至第1棚的話，在由包含控制器等的控制手段所產生的控制下，藉由移動手段，第一的被搬運物不會朝第2棚移動，而直接移動直到通口為止。另一方，此第一的被搬運物從第1棚朝通口移動時，第2棚已經是被載置於其他的被搬運物的狀態。正常的話，在此的其他的被搬運物已經被施加由處理裝置所進行的預定的處理。其後，其他的被搬運物，是從第2棚朝第1棚被移動，藉由在最近空出的搬運車或是接著到來的搬運車，從第1棚被搬運。

如此已經處理完成也就是其他的被搬運物的朝第1棚的搬出，可比第一的被搬運物的朝通口的搬入更後面。由此，例如，將未處理的被搬運物迅速地朝處理裝置移載的提高整體的作業效率的狀況時，可以適切地對應。

且，上述的二個的態樣中的二種類的控制，是臨機應變地選擇性地實行也可以。例如，通口中的被搬運物的處理等待狀況及移載等待狀況、以及第1棚中的移載等待狀況及搬運等待狀況等，依據各種的狀況，在這些二種類的控制之中適宜選擇任一實行的方式構成也可以。

本發明的第2移載裝置是為了解決上述課題，是在與沿著軌道行走並且將被搬運物搬運的搬運車之間、及在與對於被收容在前述被搬運物的被處理物進行處理的處理裝置中的讓前述被搬運物或是前述被處理物可出入的通口之間分別移載前述被搬運物，具備：第1棚，將從前述搬運車移載前述被搬運物的移載位置至前述通口的原移載進路的途中遮住的方式被配置，在與前述搬運車之間可移載前述被搬運物；及第2棚，至少可暫時地載置前述被搬運物；及移動手段，在沿著前述處理裝置的方向且對於前述通口接近及分離的方向也就是第3方向，對於前述第1棚及前述通口使前述被搬運物可往復移動，並且在從前述第1棚及前述通口只有朝前述第3方向分離至少前述被搬運物的部分的第3方向位置，使前述被搬運物朝與前述第3方向交叉的第2方向可往復移動。

依據本發明的第2移載裝置，首先，第1棚，是與上述的本發明的移載裝置(以下適宜稱為「第1移載裝置」)中的第1棚同樣地，在從搬運車移載被搬運物的移載位置(典型是在鉛直方向縱移載的移載位置)至通口的原移載進路的途中遮住的方式被配置或是使被配置的方式構成。另一方面，移動手段，是與第1移載裝置中的移動手段相異，沿著處理裝置的方向，更具體而言沿著設有處理裝置中的通口的外框面或是外箱面或是側面或是側壁的方向，且在對於通口接近及分離的方向也就是第3方向(例如水平一方向)，對於第1棚及通口使被搬運物可往復移動。對應此，移動手段，是從第1棚及通口在朝第3方向分離的第3方向位置(例如水平方向位置)將被搬運物，朝第2方向(例如鉛直方向)可往復移動。因此，對於該移載裝置的內部配置，與第1移載裝置同樣地，將移載裝置內中的被搬運物朝第3方向及第2方向移動用的通路或是空間，可以非常省空間。

因此，依據本發明的第2移載裝置，在搬運車及第1棚之間進行被搬運物的移載時，例如通口中的第1方向(即前方)具有障礙的情況時，藉由對於通口將第1棚從第3方向接近，就可將第1棚配置於原移載進路。即，可將該移載裝置，依據處理裝置中的通口的設置位置，配置於通口的側方或是正旁或是處理裝置的正旁。因此，對於該移載裝置的外部配置，該移載裝置，是在被搬運物的移載時，不會占據處理裝置中的通口的前方的空間，不會阻礙該空間中的作業者及機器等的通行。換言之，依據該移載裝置的配置，也可以將該空間變窄。

另一方面，依據本發明的第2移載裝置，與對於通口將第1棚從第1方向接近的上述第1移載裝置相比較，朝作業者及機器等的通行用的通路(即包含上述空間)的該移載裝置的伸出可確實地縮小。

在本發明的第2移載裝置的一態樣中，該移載裝置，是使前述第3方向與沿著前述軌道的方向一致的方式被配置。

依據此態樣，在搬運車及第1棚之間進行被搬運物的移載時，例如處理裝置中的第1方向(具體而言，處理裝置中的通口的前方)具有障礙的情況時，可將第1棚配置於原移載進路，對於通口，將第1棚作為前方從第3方向接近該移載裝置。即，無關處理裝置中的通口的設置位置，可將該移載裝置確實地配置於通口的正旁。因此，對於該移載裝置的外部配置，該移載裝置，是在被搬運物的移載時，藉由朝與沿著軌道的方向一致的第3方向移動，就完全不會占據處理裝置中的通口的前方的空間，完全不會阻礙該空間中的作業者及機器等的通行。換言之，依據該移載裝置的配置，也可以將該空間變窄。

且，在本發明的第2移載裝置，也可採取與上述的第1移載裝置中的各種態樣同樣的各種態樣。

本發明的作用及其他的增益可從接著說明的發明實施用的最佳形態而明白。

以下，對於本發明的實施例一邊參照圖一邊說明。

[實施例] [製造系統的構成]

首先，對於具備實施例的移載裝置的製造系統的構成參照第1圖至第3圖說明。此第1圖，是意示具備實施例的移載裝置的製造系統的外觀的立體圖，第2圖，是將第1圖的移載裝置由一方向(即第1圖中的前後方向)切斷的情況的剖面概略地顯示的一方向剖面圖，第3圖，是將第1圖的移載裝置由另一方向(即第1圖中的左右方向)切斷的情況的剖面概略地顯示的另一方向剖面圖。

在第1圖中，製造系統100，是具備：軌道1、及車輛10、及製造裝置20、及暫存裝置30。製造系統100，是具有：車輛10沿著軌道1走行並且將可收容複數晶圓(即本發明的「被處理物」的一例)的FOUP(即本發明的「被搬運物」的一例)3朝製造裝置20搬運的搬運功能、及藉由在製造裝置20對於FOUP3內的晶圓施加各種處理將半導體元件製造的製造功能。

軌道1，是本發明的「軌道」的其中一例，可達成讓車輛10行走用的軌道的功能。軌道1，是被舖設於設有製造系統100的設施的頂棚。

車輛10，是本發明的「搬運車」的其中一例，將線性馬達作為動力被驅動的OHT(高架行走車、Over head Hoist Transport)，由軌道1吊下的形式被安裝。車輛10，是沿著軌道1行走，並且製造裝置20以外，在未圖示的貯藏庫、OHT暫存器及大型貯藏庫等將FOUP3搬運。車輛10中的行走及搬運等的動作，是藉由製造系統100中的未圖示的控制器被控制。且，在此為了方便說明，在軌道1上，雖只圖示1台的車輛10，但典型是具備更多(例如數十台或是數百台)的車輛10。

車輛10，是在內部具備：設有未圖示的捲取軸的捲取部12、及捲取皮帶13、及由夾子14所構成的吊車機構11。捲取皮帶13的一端，是被固定於捲取軸，另一端，是被固定於夾子14。捲取部12，是將未圖示的馬達作為動力使捲取軸旋轉，可將捲取皮帶13從一端捲取或是捲出地構成。夾子14可變位至：在朝內側彎曲的兩端部將FOUP3的上部(即凸緣)3a把持的把持狀態，或是將FOUP3的凸緣3a解放的解放狀態。具有這種構成的吊車機構11，是藉由使捲取皮帶13被捲取或是捲出，在軌道1的下方將夾子14在鉛直方向昇降，並且藉由在鉛直位置將夾子14變位，而可將FOUP3從車輛10側朝後述的暫存裝置30側移載，或是從暫存裝置30側朝車輛10側移載。如此在本實施例中，由車輛10所進行的移載進路，是從車輛10的移載位置(即如第1圖所示的停止位置)朝鉛直下方延伸，將FOUP3縱移載的方式構成。

製造裝置20，是本發明的「處理裝置」的其中一例，對於FOUP3，實際上為被收容在FOUP3的晶圓進行預定的處理。製造裝置20，是在內部，具備對於晶圓施加預定的處理的未圖示的處理部，在該處理部設有使應處理的晶圓可出入的2個開口H1、H2。製造裝置20，是在分別相鄰接於2個開口H1、H2的外部且軌道1的下方具備2個裝載埠LP1、LP2，在與暫存裝置30之間作為移載FOUP3用的通口的功能。製造裝置20是具備未圖示的內外移載機構，將分別被移載至2個裝載埠LP1、LP2的FOUP3內部的晶圓，透過開口H1或是H2朝處理部出入。製造裝置20中的預定的處理、晶圓的出入等的動作，是藉由製造系統100的控制器被控制。且，在此為了方便說明，在軌道1的下方中，雖只圖示1機的製造裝置20，但典型是具備可對於FOUP3進行不同的處理的更多(例如數台或是數百台)的製造裝置20。且，對於開口及裝載埠的個數也不限定於2個，3個以上也可以，對於那些的配置也可有各種的態樣。

暫存裝置30，是本發明的「移載裝置」的其中一例，在車輛10及製造裝置20之間使FOUP3有效率地交接的方式，在與車輛10之間及與製造裝置20之間分別移載FOUP3。且，在此為了方便說明，在具備2個裝載埠LP1、LP2的製造裝置20中，雖只圖示對應一方的裝載埠LP1的1機的暫存裝置30，但對於其他的實施例，具備分別對應雙方的裝載埠LP1、LP2的2機的暫存裝置30也可以。

暫存裝置30，是具備：本體部31、及OHT通口P1、及暫存器P2、及移載機構32。在第2圖中，本體部31，是對於裝載埠LP1從其前面側(即第2圖中的左側)可組裝地構成的逆L字形的框體。本體部31，是在其組裝時，使長度方向是沿著與軌道1的方位垂直的方向(即本發明的「水平一方向」的一例，第2圖中的X方向)的方式被配置。本體部31，是具有在X方向可配置至少2個FOUP3的長度(即第2圖中的長度Lx)，在軌道1的方位具有可配置至少1個FOUP3的長度(即第3圖中的長度Lw)。且，在此為了方便說明，只說明本體部31是組裝在裝載埠LP1的狀態的暫存裝置30的構成。

在本體部31內部中，設有OHT通口P1、及暫存器P2、及移載機構32。本體部31，是在對應軌道1的鉛直方向(即第2圖及第3圖中的一點鎖線G1)的上面，設置在OHT通口P1及車輛10之間可交接FOUP3的開口H11。且，在鄰接於被載置在裝載埠LP1上的FOUP3的側面，設置在裝載埠LP1(即在製造裝置20)之間可交接FOUP3的開口H12。

OHT通口P1，是本發明的「第1棚」的其中一例，將在製造裝置20使預定的處理進行或是被進行的FOUP3，透過開口H11在與車輛10之間移載用的作為暫存裝置30中的通口的功能。OHT通口P1，是使車輛10可藉由縱移載(即在移載時使FOUP3只有鉛直方向被移動的移載)短時間移載FOUP3的方式設在比軌道1的鉛直方向中的裝載埠LP1更上方。從第1圖～第3圖明顯可知，OHT通口P1，是假設將暫存裝置30搬走的情況時，車輛10是存在於對於製造裝置20的裝載埠LP1將FOUP3縱移載時遮住移載進路(即將本發明的「原移載進路)的位置。因此，從車輛10看的話，無論暫存裝置30的存否，對於平面視同一位置，即，移載位置的鉛直下方的通口進行移載動作即可。即，只有從車輛10所見通口的高度不同的差異的話，對於使車輛10進行移載動作的控制，是無論暫存裝置30的存否，因為可幾乎相同所以實踐上大有利。

暫存器P2，是本發明的「第2棚」的其中一例，作為在製造裝置20使預定的處理進行或是被進行的FOUP3至少暫時地載置用的一時載置棚的功能。暫存器P2，是不會妨害後述的移載機構32的FOUP3的移載的方式，被設在比軌道1的鉛直方向中的裝載埠LP1更下方且X方向。

移載機構32，是本發明的「移動手段」的其中一例，在裝載埠LP1、及OHT通口P1、及暫存器P2之間移動，並且在那些之間移載FOUP3。移載機構32，是具備：把持部33、及水平移動機構34、及昇降機構35，且被設在本體部31中的最前面側(即在第2圖中的左側)。把持部33，是本發明的「把持部」的一例，具有一對的平板狀的部位，此部位是藉由在凸緣3a的下方從X方向進入並且將凸緣3a的兩端部從下方支撐，將FOUP3把持。如第2圖所示，水平移動機構34，是本發明的「水平移動部」的一例，具備：長度方向是與X方向平行地的方式被設置的軌道部34a、及沿著其軌道部在X方向可上下滑動的滑動部34b。在水平移動機構34的前端部(即滑動部34b中的製造裝置20側的端部)中，固定有把持部33。昇降機構35，是本發明的「鉛直移動部」的一例，具備：將未圖示的馬達作為動力源在鉛直方向可轉動的轉動帶35a、及被固定於其轉動帶且隨著轉動帶的轉動朝鉛直方向移動的昇降部35b。在昇降部35b中，固定有軌道部34a的一端部。

移載機構32，是藉由上述的水平移動機構34及昇降機構35的相互動作，將把持部33，在裝載埠LP1、OHT通口P1及暫存器P2之間朝X方向(即本發明的「第1方向」的一例)及鉛直方向(即本發明的「第2方向」的一例)移動，並且藉由以把持部33將FOUP3把持或是解放，在那些之間移載FOUP3。移載機構32中的移動、FOUP3的移載等的動作，是藉由製造系統100的控制器被控制。

[製造系統中的第1移載動作處理]

接著，對於透過製造系統100中的移載裝置的搬運車及處理裝置之間的移載動作，參照第4圖說明。第4圖，是顯示本實施例的第1移載動作處理的流程圖。

在第4圖中，首先，藉由製造系統100的控制器，對於把持製造裝置20中應施加處理的FOUP3的車輛10，指示朝製造裝置20的FOUP3的搬運。在此，成為最初的搬運的對象的FOUP為「FOUP0」。此後，依據來自控制器的指示，使車輛10(即第4圖中被記載為「OHT」)沿著軌道1行走，並在對應暫存裝置30的預定的移載位置(即第1圖至第3圖所示的停止位置)被停止。如此的話，藉由吊車機構11，將FOUP0把持的夾子14，是從車輛10內部透過暫存裝置30中的開口H11朝鉛直方向下降，以FOUP0與OHT通口P1上面接觸的鉛直位置，從夾子14使FOUP0被解放。即，從車輛10朝OHT通口P1使FOUP0被移載(步驟S51)。

接著，在暫存裝置30，藉由水平移動機構34及昇降機構35，使把持部33朝OHT通口P1上的FOUP0的凸緣3a下方被移動之後，把持部33是上昇直到與凸緣3a下面接觸為止。如此的話，藉由把持部33使FOUP0被把持。如此的話，將FOUP0把持的把持部33，是透過開口H12朝裝載埠LP1(即在第6圖中被記載為「L通口」)上方被移動後，FOUP0是下降直到與裝載埠LP1接觸為止。如此的話，從OHT通口P1朝裝載埠LP1使FOUP0被移載(步驟S52)。在此後，把持部33，是朝裝載埠LP1上的FOUP0的側方水平被移動，從把持部33使FOUP0被解放。被移載至裝載埠LP1的FOUP0內部的晶圓，是在製造裝置20內部一旦被收容，在其內部使預定的處理被施加之後再度被載置在裝載埠LP1上的FOUP0內部。

接著，依據來自控制器的新的指示，從到達與步驟S51的動作同樣但是與前回不同的新的移載位置的車輛10，朝OHT通口P1使成為第2搬運的對象的FOUPn(即「n」是顯示FOUP被搬運的順序的變數)被移載(步驟S53)。如此的話，藉由水平移動機構34及昇降機構35，將OHT通口P1中的FOUPn把持的把持部33，是朝暫存器P2上方被移動之後，FOUPn是下降直到與暫存器P2接觸為止。如此的話，從OHT通口P1朝暫存器P2使FOUPn被移載(步驟S54)。

接著，藉由控制器，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，判別是否製造裝置20中的預定的處理完成(步驟S55)。此判別的結果，被判別為預定的處理是未完成的情況時(步驟S55：NO)，直到預定的處理完成為止是成為待機狀態。

另一方面，步驟S55的判別的結果，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，被判別為預定的處理完成的情況時(步驟S55：YES)，藉由移載機構32，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的FOUP被移載(步驟S56)。此時，處理完成的FOUP，是將被載置在暫存器P2的FOUPn的傾斜上方抽離的方式，直到OHT通口P1為止被移動。接著，藉由空(即未把持FOUP3)的移載機構32，從暫存器P2朝裝載埠LP1使FOUPn被移載(步驟S57)。

在此後，依據來自控制器的指示，將空(即未把持FOUP3)的車輛10在預定的移載位置被停止。如此的話，藉由吊車機構11，使空的夾子14透過開口H11在鉛直方向被下降，藉由夾子14，使處理完成的FOUP被把持。即，從OHT通口P1朝車輛10使處理完成的FOUP被移載(步驟S58)。在此後，藉由吊車機構11，將處理完成的FOUP保持的夾子14被上昇，被保持於車輛10內部。如此的話，車輛10是成為可行走的狀態。

接著，被判別是否有由控制器所產生的應施加處理的FOUP3的搬運的指示(步驟S59)。此判別的結果，被判別為其指示是有的情況時(步驟S59：YES)，成為第3搬運的對象的FOUP為「FOUPn+1」(步驟S60)。如此的話，與步驟S51的動作同樣，再度進行步驟S53的動作，但是成為從到達與前回不同的新的移載位置的車輛10朝OHT通口P1使成為第3搬運的對象的FOUPn+1被移載。在此後，步驟S54至S59的動作，從OHT通口P1朝暫存器P2使OUPn+1被移載。接著，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUPn)，判別預定的處理是否完成，被判別為預定的處理完成的話，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的FOUP被移載。接著，從暫存器P2朝裝載埠LP1使FOUPn+1被移載之後，從OHT通口P1朝車輛10使處理完成的FOUP被移載的話，判別是否進一步有應施加處理的FOUP3的搬運的指示。

另一方面，步驟S59的判別的結果，被判別為無進一步的指示的情況時(步驟S59：NO)，進行步驟S55、S56及S58的動作，裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUPn+x(即「n+x」是表示成為最後的搬運的對象的FOUP3))，判別預定的處理是否完成，若預定的處理完成的話，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的最後的FOUP被移載的話，從OHT通口P1朝車輛10使最後的FOUP被移載。由此，在製造裝置20預定的處理被施加的全部的FOUP3，是透過暫存裝置30被移載至車輛10，終了一連的第1移載動作處理。

如此，依據本實施例的第1移載動作處理，使用進行裝載埠LP1中的FOUP3的切換用的暫存器P2，藉由有效率地替換：處理從此被施加的FOUP3、及處理完成的FOUP3，就可提高製造裝置20的運轉率。

且，步驟S58的動作，是在步驟S56的動作也就是朝OHT通口P1使處理完成的FOUP3被移載之後的話，與步驟S57一起先後進行也可以。

[製造系統中的第2移載動作處理]

接著，對於與第4圖的第1移載動作處理不同的其他的移載動作，參照第5圖說明。第5圖，是顯示本實施例的第2移載動作處理的流程圖。

在第5圖中，首先，與第4圖的情況同樣地，藉由製造系統100的控制器，對於將製造裝置20中應施加處理的FOUP3把持的車輛10，指示朝製造裝置20的FOUP3的搬運。在此，成為最初的搬運的對象的FOUP為「FOUP0」。此後，依據來自控制器的指示，從車輛10(即與第4圖的情況同樣地在第5圖也被記載為「OHT」)朝OHT通口P1使FOUP0被移載(步驟S61)。接著，在暫存裝置30，藉由移載機構32，從OHT通口P1朝裝載埠LP1(即與第4圖同樣地在第5圖也被記載為「L通口」)使FOUP0被移載(步驟S62)。接著，對於裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，被判別製造裝置20中的預定的處理是否完成(步驟S63)。此判別的結果，被判別為預定的處理是未完成的情況時(步驟S63：NO)，直到預定的處理完成為止繼續進行。

另一方面，對於步驟S63的判別的結果，裝載埠LP1上的FOUP(在此為FOUP0)，被判別為預定的處理完成的情況時(步驟S63：YES)，判別是否有由控制器所產生的接著的處理應被施加的FOUP3的搬運的指示(步驟S64)。此判別的結果，被判別為其指示是有的情況時(步驟S64：YES)，藉由移載機構32，從裝載埠LP1朝暫存器P2使處理完成的FOUP被移載(步驟S65)。接著，依據來自控制器的新的指示，從車輛10朝OHT通口P1使成為第2搬運的對象的FOUPn被移載的話(步驟S66)，從OHT通口P1朝裝載埠LP1直接使FOUPn被移載(步驟S67)。即，與前述的第1移載動作處理的情況相異，處理前的FOUPn沒有一旦被載置在暫存器P2。接著，從暫存器P2朝OHT通口P1使處理完成的FOUP(在此為FOUP0)被移載(步驟S68)。在此後，從OHT通口P1朝車輛10使該FOUP被移載(步驟S69)。在此，可成為第3搬運的對象的FOUP為「FOUPn+1」(步驟S70)。

接著，再度進行步驟S63及S64的動作，對於裝載埠LP1上的FOUP，判別製造裝置20中的預定的處理是否完成，被判別為預定的處理完成的話，判別是否有接著處理應被施加的FOUP3的搬運的指示。

另一方面，步驟S64的判別的結果，被判別為無進一步的指示的情況時(步驟S64：NO)，從裝載埠LP1朝OHT通口P1使處理完成的FOUP被移載之後(步驟S71)，從OHT通口P1朝車輛10使該FOUP被移載(步驟S72)。由此，與第4圖的第1移載動作處理同樣地，在製造裝置20預定的處理被施加的全部的FOUP3，是透過暫存裝置30被移載至車輛10，終了一連的第2移載處理。

如此，依據本實施例的第2移載動作處理，在製造裝置20預定的處理完成的話，隨後將裝載埠LP1上的FOUP3搬走，將接著處理應被施加的FOUP3載置在裝載埠LP1(實際上將FOUP3內部的晶圓叫入製造裝置20內部)。因此，製造裝置20的運轉率可更提高。

且，依據本實施例，比軌道1的鉛直方向中的裝載埠LP1更上方OHT通口P1被設置，在比該鉛直方向中的裝載埠LP1更下方且X方向設有暫存器P2，但是暫存器的配置不限定於此。在此，第6圖，是說明與本實施例的第2棚的配置不同的配置的一例用的一方向剖面圖。在第6圖，在暫存裝置130，暫存器P12，是被設在軌道1的鉛直方向G1中的OHT通口P11及裝載埠LP11之間。在這種暫存器P12、OHT通口P11及裝載埠LP11之間，使移載機構132移動，並且在那些之間可移載FOUP3。由此，暫存器P12的配置，也可獲得與上述的實施例的暫存裝置30同樣的作用及效果。

且，依據本實施例，暫存裝置30，是在被組裝於裝載埠LP1的狀態下，在與軌道1的方位垂直的X方向(即本發明的「第1方向」的一例，暫存裝置30的長度方向)具有可配置至少2個FOUP3的長度Lx，但是暫存裝置30的形態不限定於此。在此，第7圖，是意示具備本實施例的移載裝置的搬運系統的全景的俯視圖。在第7圖中，搬運系統300，是具備複數製造裝置20、220。複數製造裝置20、220是設有：在任一的要素的故障或是維修時等，為了讓搬運系統管理的系統管理者等通行，為了將進行故障或是維修的機器搬入搬出，或是為了設置本發明的移載裝置而被使用的通路(即第7圖中的網線部)且，挾住此通路的方式，且將各裝載埠LP1、LP2、LP21～LP23配置於通路側的方式呈2列設置。如第7圖所示，通路的寬度Lth(即隔著通路相面向的一對的製造裝置中，各裝載埠LP之間的最短距離)，是比本實施例的暫存裝置30的X方向的長度La更短。因此，暫存裝置30，是對於任一的裝載埠皆不可組裝。

在此，第8圖，是說明與本實施例的移載裝置的外形不同的其外形的一例用的一方向剖面圖。在第8圖中，在第7圖也被顯示的暫存裝置230，是在被組裝於裝載埠LP1的前後(即除了組裝時)中，在X方向的長度Ly，是合算了：可配置1個FOUP3的長度、及移載機構230為了在鉛直方向移動需要的空間的長度。此長度Ly，是比通路的寬度Lth更短。這是因為具備將OHT通口P21在朝裝載埠LP1的組裝前後可容納在本體部231的容納機構40。容納機構40，是具備容納部41及鉸鏈部42。收容部41，是在本體部231中，藉由移載機構232的移載將FOUP3設在可相通的開口211附近，將OHT通口P21呈垂直方向收容。鉸鏈42，是將OHT通口P21的一端部可轉動自如接合在收容部41，在：將OHT通口P21相面對於軌道1的移載位置、及被收納於收容部41的收納位置之間可變位。

如第8圖所示，將暫存裝置230組裝在裝載埠LP1時，在OHT通口P21被收容於收納位置的狀態(即第8圖中的暫存機構230A的狀態)，使暫存裝置230在第7圖中的通路被移動，並被配置於成為組裝對象的裝載埠LP1的前面側(即第8圖中的左側)。接著，在OHT通口P21朝移載位置被變位的狀態(即第8圖中的暫存機構230B的狀態)，使暫存裝置230被組裝在裝載埠LP1。在此組裝時，OHT通口P21是被配置於軌道1的鉛直方向。如此，藉由設置可收納OHT通口P21的收納機構40，就可將暫存裝置輕小且輕量地構成。因此，暫存裝置的移動當然容易，暫存裝置的組裝的自由度是更提高。

[移載裝置的定位方法]

接著，對於本發明的移載裝置的定位方法參照第9圖至第15圖說明。在此，第9圖至第15圖是分別顯示對於第1圖至第3圖中的製造裝置20將暫存裝置定位用的定位手段的一例的俯視圖或是側面圖。

第9圖(a)，是對於本實施例的製造裝置20被定位(換言之被組裝)的本實施例的暫存裝置30的俯視圖，第9圖(b)，是第9圖(a)所示的暫存裝置30的側面圖。在第9圖(a)中，暫存裝置30，是在裝載埠LP1側的側面，設置圓柱狀的抵接部4。對於此，在暫存裝置30及製造裝置20本體之間(即第1圖至第3圖中的裝載埠LP1的下方)的底面中，設有一面是形成錐面狀的定位塊體5(即本發明的「定位手段」的一例)。暫存裝置30，是朝裝載埠LP1的組裝時，被作成後述的移動狀態，抵接部4是直到與定位塊體5抵接為止朝X方向被移動。由此，對於製造裝置20使暫存裝置30被定位。

在第9圖(b)，暫存裝置30，是在底面，設有：移動用的複數行走滾子38、及在複數行走滾子38的分別成對的複數腳部39。各行走滾子38，是由：小腳輪38a、及將此小腳輪38a在垂直方向可伸縮的千斤頂螺栓(jack bolt)38b所構成。各腳部39，是由：與底面接觸並將暫存裝置30本體支撐的支撐部39a、及不會使此支撐部39a變位地固定於暫存裝置30底面的調節器39b所構成。將暫存裝置30移動時，千斤頂螺栓38b是朝左旋轉被旋緊。如此的話，從暫存裝置30本體延伸的小腳輪38a是與底面與接觸，並且支撐部39a是成為遠離底面的狀態(即暫存裝置的移動狀態)。在此狀態下，將小腳輪38a旋轉就可容易使暫存裝置30移動。且，藉由將抵接部4抵接在定位塊體5，在固定對於製造裝置20被定位的暫存裝置30時，千斤頂螺栓38b是朝右旋轉被旋緊。如此的話，朝向暫存裝置30本體縮短的小腳輪38a是遠離底面，並且支撐部39a是成為與底面接觸的狀態(即暫存裝置的固定狀態)。在此狀態下，暫存裝置30是穩定地被配置。

第10圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置130的俯視圖，第10圖(b)，是第10圖(a)所示的暫存裝置130的側面圖。且，在第10圖中，對於與上述的第9圖的暫存裝置30的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第10圖(a)中，暫存裝置130，是在裝載埠LP1側的側面，設有抵接面形成錐面狀的抵接部104。對於此，在暫存裝置130及製造裝置20之間(即第1圖至第3圖中的裝載埠LP1的下方)的底面中，設有圓柱狀的定位銷105(即本發明的「定位手段」的一例)。暫存裝置130，是朝裝載埠LP1的組裝時，被作成移動狀態，抵接部104直到與定位銷105抵接為止朝X方向被移動。由此，對於製造裝置20使暫存裝置130被定位。

第11圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置230的俯視圖，第11圖(b)，是第11圖(a)所示的暫存裝置230的側面圖。且，在第11圖中，對於與上述的第9圖的暫存裝置30的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第11圖(a)中，暫存裝置230，是在裝載埠LP1側的側面，設置抵接面形成錐面狀的抵接部204。對於此，在暫存裝置230及製造裝置20之間(即第1圖至第3圖中的裝載埠LP1的下方)的底面中，設有圓柱狀的2個定位銷205a、205b(即本發明的「定位手段」的一例)。暫存裝置230，是朝裝載埠LP1的組裝時，被作成移動狀態，2個定位銷205a、205b是直到與抵接部204嵌合為止朝X方向被移動。由此，對於製造裝置20，暫存裝置230可比1個定位銷的情況更正確地被定位。

第12圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位暫存裝置330的俯視圖，第12圖(b)，是第12圖(a)所示的暫存裝置330的側面圖。且，在第12圖中，對於與上述的第10圖的暫存裝置130的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第12圖(a)中，暫存裝置330，是在與定位銷105(即本發明的「定位手段」的一例)抵接的抵接部104以外，設有可將暫存裝置330本體確實地鎖定在定位銷105的鈎掛部36(即本發明的「定位手段」及「固定手段」的一例)。鈎掛部36的一端部，是可轉動自如地被安裝於裝載埠LP1側的側面，另一端部，是在預定的轉動位置鈎掛在定位銷105的方式彎曲。暫存裝置330，是在裝載埠LP1的相反側的側面，設置鎖定操作桿37。鎖定操作桿37，是可由系統管理者操作使鈎掛部36，在上述的預定的轉動位置將暫存裝置330本體對於定位銷105鎖定的鎖定位置(即第12圖中的點線所示的鈎掛部36)、及在初期設定的轉動位置將暫存裝置330本體解放的非鎖定位置(即第12圖中的實線所示的鈎掛部36)之間可變位。朝裝載埠LP1的組裝時，首先，暫存裝置330為移動狀態，且鎖定操作桿37是被變位至非鎖定位置。接著，抵接部104是直到與定位銷105抵接為止，使暫存裝置330朝X方向被移動之後，使鈎掛部36被變位至鎖定位置。此後，暫存裝置330為固定狀態，在被定位的位置被固定。由此，對於製造裝置20，暫存裝置330是比只有藉由抵接部104被定位的情況更正確且確實地被定位。

[移載裝置的固定方法]

第13圖，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置430的側面圖。且，在第13圖中，對於與上述的第12圖的暫存裝置330的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第13圖中，在配置有對於製造裝置20被定位的暫存裝置430的底面中，設有凸狀的錐形物406(即本發明的「固定手段」的一例)。對於此，暫存裝置430中的複數腳部439，是具有使底面的接地面嵌合於該錐形物406的方式形成的凹狀的支撐部439a。將暫存裝置430移動時，千斤頂螺栓38b是朝左旋轉被旋緊，使延伸的小腳輪38a與底面接觸，並且支撐部439a是成為遠離底面(即包含設有錐形物406的部分的底面)的前述的移動狀態。將對於製造裝置20被定位的暫存裝置430固定時，千斤頂螺栓38b是朝右旋轉被旋緊，被收縮的小腳輪38a是遠離底面，並且支撐部439a成為嵌合於錐形物406的前述的固定狀態。由此，暫存裝置430，是比平坦的底面的情況更穩定地被配置。

第14圖，是與第13圖同樣地，顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置430的側面圖。且，在第14圖中，對於與上述的第13圖的暫存裝置430的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第14圖中，在配置有對於製造裝置20被定位的暫存裝置430的底面中，設有與第13圖的錐形物406相同的錐形物407(即本發明的「固定手段」的一例)。但是，該錐形物407被設置的底面的部分6，是成為比製造裝置20及暫存裝置430等被設置的原本的底面更低錐形物407的高度部分。這是為了回避因朝底面突出的錐形物使系統管理者絆倒或是倒下等的人的危險。與第13圖的情況同樣地，將暫存裝置430移動時，千斤頂螺栓38b是朝左旋轉被旋緊，延伸的小腳輪38a是與原本的底面接觸，並且支撐部439a是成為遠離底面(即包含設有錐形物407的部分6的底面)的前述的移動狀態。對於製造裝置20將被定位暫存裝置430固定時，千斤頂螺栓38b是朝右旋轉被旋緊，被收縮的小腳輪38a是遠離原本的底面，並且支撐部439a是成為嵌合在錐形物407的前述的固定狀態。由此，回避由錐形物407的設置所產生的人的危險，且暫存裝置430，是與第13圖的情況同樣地，是比平坦的底面的情況更穩定地被配置。

[移載裝置的行走方法]

第15圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置530的俯視圖，第15圖(b)，是第15圖(a)所示的暫存裝置530的側面圖。且，在第15圖中，對於與上述的第9圖的暫存裝置30的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第15圖中，暫存裝置530，是未具備第9圖的行走滾子38等的行走手段，由暫存裝置530單體移動是不可能的。在此，在暫存裝置530的移動中，使用附有千斤頂的台車50(即本發明的「行走手段」的一例)。附千斤頂的台車50，是具備：油壓式的未圖示的千斤頂部、及將暫存裝置530本體的底面可支撐的支撐台51、及可變位自如被安裝於其支撐台51底面的具有複數車輪的滾子部52、及將附千斤頂的台車50移動時(即包含將暫存裝置530移動時)供系統管理者把持的扶手53。對於製造裝置20被定位以外，將藉由複數腳部39被支撐的暫存裝置530移動時，首先，藉由千斤頂部的動力使滾子部52成為傾斜的狀態(即由第15圖中的點線所示的滾子部)，支撐台51是成為可進入暫存裝置530本體的下方的高度(即進入高度)。接著，藉由扶手53操作使附千斤頂的台車50朝X方向被移動，進入高度的支撐台51是回避複數腳部39地被配置於暫存裝置530本體的中央下方。接著，藉由千斤頂部的動力，使傾斜狀態的滾子部52成為垂直的狀態(即第15圖中的實線所示的滾子部)。如此的話，複數腳部39是遠離底面，並且支撐台51是成為與暫存裝置530本體的底面接觸的高度(即支撐高度)，暫存裝置530是成為移動狀態。在此後，藉由扶手53操作使附千斤頂的台車50從抵接部33與定位塊體5抵接之位置朝X方向被拉出，從對於製造裝置20的定位位置被解放的話，可自由地移動。在此的移動，是藉由人力也可以，使用外附或是內藏的電動馬達等的動力機構也可以。且，將移動中的暫存裝置530對於製造裝置20定位時，將上述的過程由相反的順序進行即可。

[移載裝置中的上部的固定方法]

接著，對於本實施例的移載裝置的固定方法參照第16圖及第17圖說明。在此，第16圖，是說明本實施例的移載裝置的固定手段的一例用的一方向剖面圖，第17圖，是說明與第16圖的固定手段不同的其形態的一例用的一方向剖面圖。且，在第16圖及第17圖，對於與上述的第8圖的暫存裝置230的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第16圖中，暫存裝置330，是在上面，設有將暫存裝置330本體的上部固定用的固定部63。固定部63，是具有與後述的連接螺絲62可相通的開口。對於此，在軌道301中，固定有可與該固定部63連接的托架60(即本發明的「固定手段」的一例)。托架60，是由本體部61及連接螺絲62所構成。本體部61的一端部，是被固定於軌道301的側面，另一端部，是具有可讓連接螺絲62螺入的開口。暫存裝置330是對於製造裝置20被定位情況時，使另一端部、及暫存裝置330側的固定部63相互抵接。在此狀態下，藉由連接螺絲62，對於本體部61使固定部63被旋緊，使暫存裝置330的上部被固定，使暫存裝置330更穩定地被配置。

在第17圖中，對於在第16圖也被顯示的暫存裝置330的固定部63，在頂棚固定有托架70(即本發明的「固定手段」的一例)。托架70，是與第16圖的托架60同樣地，由本體部71及連接螺絲72所構成。暫存裝置330是對於製造裝置20被定位情況時，在本體部71的另一端、及暫存裝置330側的固定部63相互抵接的狀態下，藉由連接螺絲72，對於本體部71使固定部63被旋緊，使暫存裝置330的上部被固定，使暫存裝置330更穩定地被配置。

[移載裝置中的下部的固定方法]

第18圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置630的俯視圖，第18圖(b)，是第18圖(a)的暫存裝置630的側面圖。且，在第18圖中，對於與上述的第9圖的暫存裝置30的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第18圖中，在暫存裝置630的底面中，固定有將暫存裝置630本體的下部固定用的固定銷7(即本發明的「固定手段」的一例)。固定銷7，是由本體部7a及水平定位部7b及固定螺絲7c所構成。本體部7a，是在側面具有凹部，在垂直方向可伸縮。水平定位部7b的一端部，是從水平一方向可嵌合在本體部7a的凹部，另一端部，是具有固定螺絲7c可相通的開口。對於此，在對應對於製造裝置20被定位的暫存裝置630中的上述的固定銷7的底面中，設有固定部8。固定部8，是在上面，具有可與固定銷7嵌合的凹部，並且具有固定螺絲7c可夾入之開口。對於製造裝置20被定位的暫存裝置630固定時，本體部7a及固定部8的凹部相互抵接，並且水平定位部7b的一端部是從水平位置方向嵌合在本體部7a的凹部。在此狀態下，藉由固定螺絲7c，對於固定部8使水平定位部7b被旋緊，使暫存裝置630的下部是在預定的水平面被固定，與腳部39只是與底面接觸的情況相比，暫存裝置630可更穩定地被配置。

第19圖(a)，是顯示對於裝載埠LP1被定位的暫存裝置730的俯視圖，第19圖(b)，是第19圖(a)所示的暫存裝置730的側面圖。且，在第19圖中，對於與上述的第9圖的暫存裝置30的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號。

在第19圖中，在暫存裝置730的底面中，固定有將暫存裝置730本體的下部固定用的固定銷107(即本發明的「固定手段」的一例)。固定銷107本體，是與第18圖的固定銷7一部分同樣地，在垂直方向可伸縮。對應對於製造裝置20被定位的暫存裝置730中的固定銷107的底面的部分108，是可與固定銷107嵌合，成為比製造裝置20及暫存裝置730等被設置的原本的底面更低。將對於製造裝置20被定位的暫存裝置730固定時，固定銷107是被延伸，嵌合在底面的部分108。由此，暫存裝置730的下部是呈水平方向被固定，與腳部39只是與底面接觸的情況相比，暫存裝置730是更穩定地被配置。

且，上述的第9圖至第19圖所示的定位手段、固定手段及行走手段，在本發明的移載裝置中是單體也可以，複數手段是各具備1個或是複數組合也可以。

本發明不限定上述或是下述的實施例，在不違反從申請專利範圍及說明書整體可讀取的發明的實質或是思想的範圍可適宜地變更，如此的變更的移載裝置也被包含於本發明的技術的範圍。例如，對於2個通口具備2個第2棚(即將實施例的移載裝置2體並列配置)的移載裝置，是被包含於本發明的技術的範圍。

[第2實施例]

接著，對於具備第2實施例的移載裝置的製造系統的構成參照第20圖至第22圖說明。在此第20圖，是意示第2實施例的具備第8圖的移載裝置的製造系統的外觀的立體圖，第21圖，是將如第20圖所示的移載裝置由另一方向(即第20圖中的左右方向)切斷的情況的剖面概略地顯示的另一方向剖面圖，第22圖，是對於如第20圖所示的移載裝置顯示對於處理裝置的配置的俯視圖。且，在第20圖及第22圖中，對於與上述的第8圖的製造系統300的情況相同構成的要素，省略其說明，並且附加同一的符號，只對於與第8圖的製造系統300的情況不同的規格進行說明。

在第20圖中，製造系統1100，與第8圖中的製造系統300相比較，是取代暫存裝置230被配置於裝載埠LP1的前面側，而配置於裝載埠LP1的側面側(第20圖中的右側)的點是不同。即，在製造系統300及製造系統1100中，朝暫存裝置230的裝載埠LP1的組裝位置是不同。

在本實施例中特別是在第22圖中，暫存裝置230，是例如裝載埠P21的X方向(即與軌道1的方位垂直的方向)的長度W2是成為裝載埠LP1的X方向的長度W1以下的方式構成。因此，例如裝載埠P21的前面側(即從第21至22圖中的X方向)具有障礙情況時，暫存裝置230，是成為對於製造裝置20，可從軌道1的方位(即第20圖及第21圖中的Z方向右側)接近。進一步，暫存裝置230，是從與裝載埠LP1的Z方向右側分離的位置，可實行FOUP3的移載。且，暫存裝置230，是使裝載埠P21的長度W2成為裝載埠LP1的長度W1以上的方式構成也無妨。此情況，對於暫存裝置230，其側部雖是朝例如第7圖中的通路超出，但與配置於裝載埠LP21的前面側的情況相比較，朝該通路的超出可大大地縮小。

在本實施例中，對於暫存裝置230，使本體部231的寬度長度Lw為裝載埠LP1中的X方向的長度W1以下，不朝例如第7圖中的通路超出，可配置於在製造裝置20本體及該通路之間的在裝載埠LP1的側方空出的空間較佳。在第21圖中，暫存裝置230是組裝在裝載埠LP1時，OHT通口P21是在被收容於收容位置的狀態(即第21圖中的暫存機構230A的狀態)朝Z方向被移動，並被配置於成為組裝對象的裝載埠LP1的側面側(即第21圖中的裝載埠LP1的右側面側)。接著，OHT通口P21是藉由成為被變位至移載位置的狀態(即第21圖中的暫存機構230B的狀態)，使暫存裝置230被組裝在裝載埠LP1。此時，暫存裝置230中的移載機構232，是使可將把持部233上下滑動的滑動部234的長度方向是與Z方向一致的方式被配置。

暫存機構230是在暫存機構230B中的狀態下，例如，藉由水平移動機構234使把持部233朝向裝載埠LP1朝Z方向被移動，把持部233的一對的平板狀的部位，是進入裝載埠LP1上的FOUP3的凸緣3a下方，並且將凸緣3a兩端部從下方支撐(即將FOUP3把持)。即，在本實施例中，移載機構232，是藉著由水平移動機構234及上述的昇降機構235所產生的相互動作，將把持部233，在裝載埠LP1、OHT通口P21及暫存器P22之間可朝Z方向(即本發明的「第3方向」的一例)及鉛直方向(即本發明的「第2方向」的一例)移動。

依據本實施例，暫存裝置230因為是與：軌道1的方位、及水平移動機構234將FOUP3移動的Z方向(即第3方向)一致，所以將暫存裝置230配備於裝載埠LP1的側方(在本實施例中的正旁)也可以。如此將暫存裝置230配置於裝載埠LP1的側方的情況，在裝載埠LP1的側方可有效利用空出的空間。另一方面，暫存裝置230，是完全不會占據製造裝置20中的裝載埠LP1的前面側的通路，完全不會阻礙該通路中的通行。換言之，對應暫存裝置230的配置，通路可以較窄地設置。

另一方面，如上述，本體部231的寬度長度Lw成為裝載埠LP1中的X方向的長度W1以下的話雖便利，但是如第23圖所示，此寬度長度Lw是裝載埠LP1中的X方向的長度W1以上也可以。此情況，在第23圖中，將暫存裝置330從Z方向接近製造裝置20的話，暫存裝置330的本體部會與製造裝置20的外框或是製造裝置20本體的角碰撞。但是，此情況，在角碰撞或是臨近碰撞的位置，使OHT通口P21位於裝載埠LP1的上方的方式，構成這些通口P21及LP1的配置及尺寸的話，就沒有特別的問題。例如，將裝載埠LP1，靠近製造裝置20本體的前面中的儘可能片隅(即在第20圖及第21圖中的製造裝置20的前面右隅)設置的話較有利。或是此情況，OHT通口LP21及移動機構232，是朝水平方向(即朝向第20圖及第21圖中的左側構成)可被拉伸也可以。進一步，藉由使OHT通口LP21及移動機構232可拉伸，暫存裝置330，是對於位於比製造裝置20前面更遠方的裝載埠LP2(即第20圖及第21圖中的左側的裝載埠)，也可實行FOUP3的移載。

具備本實施例的暫存裝置230的製造系統1100，是透過被配置於裝載埠LP1的側方的暫存裝置230，對於車輛10及製造裝置20之間的移載動作，藉由製造系統1100的控制器，可實行與第4圖的第1移載動作處理或是第5圖的第2移載動作處理同樣的處理，可對於裝載埠LP1將FOUP3迅速地移載，提高製造裝置20的運轉率。且，該暫存裝置230，是可適用第9圖至第19圖的定位手段(或是定位方法)、固定手段(固定方法)及行走手段(或是行走方法)，藉由那些的手段穩定地配置也可以。

且，上述的實施例的暫存裝置，是對應大型的製造裝置使其高度與製造裝置的高度同等或是更大的方式構成也可以。此情況，如第24圖所示，暫存裝置430，是在對應第20圖中的OHT通口P21的OHT通口P41的上方，可配置例如第2OHT通口P40。第2OHT通口P40，是在：與OHT通口P41同樣地成為水平狀態在與車輛10之間可移載FOUP3的移載位置、及成為垂直狀態被收納於本體部431的收納位置之間變位。例如暫存裝置430是被配置於裝載埠LP1的側面側(即第24圖中的右側)的情況時，移載機構432，是藉由製造系統1200的控制器被控制，將把持部433，在裝載埠LP1、上述的第2OHT通口P40、OHT通口P41及暫存器P42之間朝Z方向(即本發明的「第3方向」的一例)及鉛直方向(即本發明的「第2方向」的一例)移動，並且藉由把持部433將FOUP3把持或是解放，就可在那些之間移載FOUP3。

且，暫存裝置430，是如第24圖所示，不只裝載埠LP1的側面側，與第2圖的暫存裝置30同樣地，配置於裝載埠LP1的前面側也可以。例如，暫存裝置430的本體部431，是由儘可能將側面除去的框架所構成。此情況，欲將暫存裝置430配置於裝載埠LP1的前面側時，在本體部431內使裝載埠LP1的一部分(即裝載埠LP1的前部)位置的方式，使暫存裝置430可組裝在裝載埠P1。由此，可藉由將暫存裝置430對於製造裝置420本體朝X方向接近配置，朝暫存裝置430的例如第7圖中的通路超出可以減小。

1．．．軌道

2．．．製造裝置

3a．．．凸緣

4．．．抵接部

5．．．定位塊體

6．．．部分

7．．．固定銷

7a．．．本體部

7b．．．水平定位部

7c．．．固定螺絲

8．．．固定部

10．．．車輛

11．．．吊車機構

12．．．捲取部

13．．．捲取皮帶

14．．．夾子

20，220．．．製造裝置

30．．．暫存裝置

31．．．本體部

32．．．移載機構

33．．．把持部

34．．．水平移動機構

34a．．．軌道部

34b．．．滑動部

35．．．昇降機構

35a．．．轉動帶

35b．．．昇降部

36．．．鈎掛部

37．．．鎖定操作桿

38．．．行走滾子

38a．．．小腳輪

38b．．．千斤頂螺栓

39．．．腳部

39a．．．支撐部

39b．．．調節器

40．．．容納機構

41．．．容納部

42．．．鉸鏈部

50．．．附千斤頂的台車

51．．．支撐台

52．．．滾子部

53．．．扶手

60．．．托架

61．．．本體部

62．．．連接螺絲

63．．．固定部

70．．．托架

71．．．本體部

72．．．連接螺絲

100．．．製造系統

104．．．抵接部

105．．．定位銷

107．．．固定銷

108．．．部分

130．．．暫存裝置

132．．．移載機構

204．．．抵接部

205a，205b．．．定位銷

211．．．開口

230．．．暫存裝置

230A．．．暫存機構

230B．．．暫存機構

231．．．本體部

232．．．移載機構

233．．．把持部

234．．．水平移動機構

235．．．昇降機構

300．．．搬運系統

301．．．軌道

330‧‧‧暫存裝置

406‧‧‧錐形物

407‧‧‧錐形物

420‧‧‧製造裝置

430‧‧‧暫存裝置

431‧‧‧本體部

432‧‧‧移載機構

433‧‧‧把持部

439‧‧‧腳部

439a‧‧‧支撐部

530‧‧‧暫存裝置

630‧‧‧暫存裝置

730‧‧‧暫存裝置

1100‧‧‧製造系統

1200‧‧‧製造系統

[第1圖]顯示具備實施例的移載裝置的製造系統的整體構成的立體圖。

[第2圖]第1圖的移載裝置的一方向的剖面圖。

[第3圖]第1圖的移載裝置的另一方向的剖面圖。

[第4圖]顯示實施例的第1移載動作處理的流程圖。

[第5圖]顯示實施例的第2移載動作處理的流程圖。

[第6圖]顯示與第1圖的移載裝置不同的本發明的移載裝置的一方向的剖面圖。

[第7圖]顯示第1圖的搬運系統的全景的俯視圖。

[第8圖]顯示與第1圖及第6圖的移載裝置不同的本發明的移載裝置的一方向的剖面圖。

[第9圖]顯示實施例的定位手段的俯視圖及側面圖。

[第10圖]顯示與第9圖的定位手段不同的本發明的定位手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第11圖]顯示與第9圖及第10圖的定位手段不同的本發明的定位手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第12圖]顯示與第9圖至第11圖的定位手段不同的本發明的定位手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第13圖]顯示本發明的固定手段的一例的側面圖。

[第14圖]顯示本發明的固定手段的一例的側面圖。

[第15圖]顯示本發明的行走手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第16圖]顯示本發明的固定手段的一例的一方向的剖面圖。

[第17圖]顯示本發明的固定手段的一例的一方向的剖面圖。

[第18圖]顯示本發明的固定手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第19圖]顯示本發明的固定手段的一例的俯視圖及側面圖。

[第20圖]顯示具備第2實施例的移載裝置的製造系統的整體構成的立體圖。

[第21圖]第20圖的移載裝置的另一方向的剖面圖。

[第22圖]第20圖的移載裝置的俯視圖。

[第23圖]顯示與第20圖的移載裝置不同的本發明的第2移載裝置的一例的俯視圖。

[第24圖]顯示與第20圖及第23圖的移載裝置不同的本發明的第2移載裝置的一例的另一方向的剖面圖。

1．．．軌道

10．．．車輛

11．．．吊車機構

20．．．製造裝置

30．．．暫存裝置

31．．．本體部

32．．．移載機構

100．．．製造系統

Claims (13)

1. 一種移載裝置，是在與沿著軌道行走並且將被搬運物搬運的搬運車之間、及在與對於被收容於前述被搬運物的被處理物進行處理的處理裝置中的讓前述被搬運物或是前述被處理物可出入的通口之間，分別移載前述被搬運物，其特徵為，具備：第1棚，將從前述搬運車沿著鉛直方向縱移載前述被搬運物的移載位置至前述通口的沿著前述鉛直方向的原移載進路的途中遮住的方式被配置，在與前述搬運車之間可移載前述被搬運物；及第2棚，至少可暫時地載置前述被搬運物；及移動手段，在對於前述處理裝置之設置於前述通口的側面接近及分離的方向且對於前述鉛直方向垂直也就是水平一方向的第1方向，對於前述第1棚及前述通口使前述被搬運物可往復移動，並且在從前述第1棚及前述通口只有朝前述第1方向分離至少前述被搬運物的部分的第1方向位置，使前述被搬運物朝與前述第1方向交叉的前述鉛直方向也就是第2方向可往復移動；前述移動手段被控制成：將前述處理裝置未處理的前述被搬運物，因應於其他前述被搬運物是否在前述通口上，而進行：從前述第1棚移載到前述通口、或從前述第1棚移載到前述第2棚暫時保管之後再移載到前述通口，之其中任一移載動作；前述移動手段被控制成：將前述處理裝置已處理後的 前述被搬運物，因應於是否有接著應實施處理的前述被搬運物的搬運指令，而進行：從前述通口移載到前述第1棚、或從前述通口移載到前述第2棚暫時保管之後再移載到前述第1棚，之其中任一移載動作。
2. 如申請專利範圍第1項的移載裝置，其中，前述第2棚，是被配置於前述第1方向位置之中不會妨害前述移動手段將前述被搬運物在前述第1棚及前述通口之間朝前述第1方向及前述第2方向移動時的位置。
3. 如申請專利範圍第1項的移載裝置，其中，前述第2棚，是被配置於前述原移載進路中的前述第1棚及前述通口之間。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，前述處理裝置，是具有複數前述通口，該移載裝置，是在其外形尺寸具有前述通口的配列間距以下的寬度，並且使前述第1方向與對於前述通口被配列的方向垂直交叉的方向一致的方式被配置。
5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，前述第1棚，是可曲折或收容在該移載裝置的本體側。
6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，該移載裝置是進一步具備定位手段，具有可組裝在前述通口的外形，並且可對於前述通口進行定位。
7. 如申請專利範圍第6項的移載裝置，其中，該移載裝置是進一步具備固定手段，可在藉由前述定位被定位 狀態下進行該移載裝置的固定，並且可解除前述固定。
8. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，該移載裝置，是進一步具備可朝前述第1方向的移動的行走手段。
9. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，前述移動手段是具有：將前述被搬運物把持的把持手段、及將前述把持手段朝前述第1方向可往復移動的第1移動部、及將前述把持手段朝前述第2方向可往復移動的第2移動部。
10. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，進一步具備控制手段，在將從前述搬運車移載至前述第1棚的第一的被搬運物朝前述通口移動的情況時，首先，將前述第一的被搬運物從前述第1棚朝前述第2棚移動，將前述第一的被搬運物一旦載置在前述第2棚的狀態下，將被載置在前述通口的其他的被搬運物從前述通口朝前述第1棚移動，其後，將前述第一的被搬運物從前述第2棚朝前述通口移動的方式控制前述移動手段。
11. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的移載裝置，其中，進一步具備控制手段，在將從前述搬運車移載至前述第1棚的第一的被搬運物朝前述通口移動的情況時，被移載至前述第2棚的其他的被搬運物不是一旦載置在已經成為被載置的狀態中的前述第2棚，而是將前述第 一的被搬運物朝前述通口移動，其後，將前述其他的被搬運物，從前述第2棚朝前述第1棚移動的方式控制前述移動手段。
12. 一種移載裝置，是在與沿著軌道行走並且將被搬運物搬運的搬運車之間、及在與對於被收容在前述被搬運物的被處理物進行處理的處理裝置中的讓前述被搬運物或是前述被處理物可出入的通口之間分別移載前述被搬運物，其特徵為，具備：第1棚，將從前述搬運車沿著鉛直方向縱移載前述被搬運物的移載位置至前述通口的沿著前述鉛直方向的原移載進路的途中遮住的方式被配置，在與前述搬運車之間可移載前述被搬運物；及第2棚，至少可暫時地載置前述被搬運物；及移動手段，在沿著前述處理裝置之設置於前述通口的側面的方向且對於前述通口接近及分離的水平一方向也就是第3方向，對於前述第1棚及前述通口使前述被搬運物可往復移動，並且在從前述第1棚及前述通口只有朝前述第3方向分離至少前述被搬運物的部分的第3方向位置，使前述被搬運物朝與前述第3方向交叉的前述鉛直方向也就是第2方向可往復移動；前述移動手段被控制成：將前述處理裝置未處理的前述被搬運物，因應於其他前述被搬運物是否在前述通口上，而進行：從前述第1棚移載到前述通口、或從前述第1棚移載到前述第2棚暫時保管之後再移載到前述通口， 之其中任一移載動作；前述移動手段被控制成：將前述處理裝置已處理後的前述被搬運物，因應於是否有接著應實施處理的前述被搬運物的搬運指令，而進行：從前述通口移載到前述第1棚、或從前述通口移載到前述第2棚暫時保管之後再移載到前述第1棚，之其中任一移載動作。
13. 如申請專利範圍第12項的移載裝置，其中，該移載裝置，是使前述第3方向與沿著前述軌道的方向一致的方式被配置。