JP5910019B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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- 被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記前方車輪及び前記後方車輪は上下の一軸方向に沿って移動されることを特徴とするロードポート装置。
- 被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記前方車輪及び前記後方車輪は上下の一軸方向において位置調整可能であって、前記前方車輪の位置調整範囲は前記後方車輪の位置調整範囲よりも大きいことを特徴とするロードポート装置。
- 被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記後方車輪は、前記後方車輪を支持する方向に延在する部分と前記取付け面から離れる方向に延在する部分とからなるL字型構造の後方車輪支持部の前記取付け面から離れた位置を介して前記ベース部材を支持することを特徴とするロードポート装置。
- 前記第一の支持ユニットは、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降させる第一の昇降手段と、前記第一の昇降手段とは独立して前記前方車輪が前記ベース部材を支持しない位置に前記前方車輪を移動させる移動手段と、有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のロードポート装置。
- 前記ベース部材は、前記取付け面に固定可能であって前記取付け面に平行に延在する接続プレートと、前記接続プレートに連結されて前記接続プレートの前記取付け面への固定時に前記取付け面より突出するように配置される板状体からなるメインベースと、からなり、
前記第一の支持ユニット及び前記第二の支持ユニットは前記メインベースへ直接取付けられることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のロードポート装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011252442A JP5910019B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | ロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011252442A JP5910019B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | ロードポート装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013110192A JP2013110192A (ja) | 2013-06-06 |
JP5910019B2 true JP5910019B2 (ja) | 2016-04-27 |
Family
ID=48706686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011252442A Active JP5910019B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | ロードポート装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5910019B2 (ja) |
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- 2011-11-18 JP JP2011252442A patent/JP5910019B2/ja active Active
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