KR100700292B1 - 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 공정챔버에서 분리된 상부 커버를 지지하고 회전시키는 커버 탑재부; 상기 공정챔버에 인접한 장소로 상기 커버 탑재부를 이동시키는 경로를 제공하는 경로 제공부;를 포함하며, 상기 커버 탑재부중 상기 경로 제공부와 결합되는 부분에는 상기 커버 탑재부가 상기 경로 제공부에 안착되어 이동하도록 하는 이동블럭이 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치를 제공한다.
평판표시소자 제조장치, 커버 탑재부, 상부커버, 경로 제공부

Description

평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치{maintenance apparatus for FPD manufacturer}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치의 커버 탑재부를 도시한 사시도이다.
도 2 및 도 3은 상기 커버 탑재부에 의해 상부커버를 공정챔버에 결합한 상태를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치의 커버 탑재부에 의해 상부커버를 공정공정챔버에 결합하는 상태를 도시한 개략도이다.
도 5는 도 4의 측면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치의 커버 탑재부들과 경로 제공부들을 도시한 분리사시도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 공정챔버 112 : 상부 커버
120 : 커버 탑재부 130, 130' : 지지대
132, 132' : 이동블럭 150, 150' : 경로 제공부
152, 152' : 주 경로 제공부 154, 154' : 보조 경로 제공부
156, 156': 유동홈 158, 158' : 스토퍼(Stopper)
본 발명은, 평판표시소자 제조장치의 유지 또는 보수 작업을 위해 평판표시소자 제조장치 또는 그 일부를 임시로 탑재할 수 있는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치에 관한 것이다.
통상적인 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 공정챔버, 반송 공정챔버 및 공정공정챔버의 3개의 진공 공정챔버로 구성된다. 이때, 로드락 공정챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 공정챔버는 기판을 각 공정챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 공정챔버에서 공정공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정공정챔버에서 로드락 공정챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 공정챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이때, 공정 공정챔버 내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 공정챔버내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정 공정챔버는 공정 공정챔버의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정공정챔버의 상부 커버를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 이렇게 상부 커버를 개폐하는 작업은 로드락 공 정챔버나 반송 공정챔버의 유지 및 보수 작업에도 필수적으로 요구된다.
한편, 평판표시소자 제조장치의 유지 보수 작업에는 평판표시소자 제조장치로 부터 분리된 상부 커버를 유지 보수 작업이 진행되는 동안 임시로 탑재시킬 수 있는 장치가 필요하다. 이렇게 상부 커버를 임시로 탑재시킬 수 있는 장치가 도 1에 도시된 바와 같은 커버 탑재부(20)이다.
이하에서는, 종래의 평판표시소자 제조장치의 커버 탑재부(20)의 구조 및 기능을 자세하게 설명한다.
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 커버 탑재부(20)의 구조를 나타내는 사시도이다.
먼저, 커버 탑재부(20)에는 분리된 상부 커버의 소정 부분과 결합하여 상부 커버를 위치시키는 장치 위치부(22)가 마련된다. 이러한 장치 위치부(22)에는 평판표시소자 제조장치 상부 커버 소정 부분에 형성되는 체결구(도면에 미도시)가 안정적으로 걸쳐질 수 있도록 그 체결구와 호응되는 형상의 홈을 가진 체결구 받침대(24)가 마련된다. 이때 체결구 받침대(24)의 하부는 구동장치(26)에 연결되고, 그 구동장치(26)에 의하여 체결구 받침대(24)가 상하로 운동할 수 있다. 이렇게 구동장치(26)가 연결되어 마련되는 이유는 체결구 받침대(24)의 높이를 상부 커버의 개폐과정에서 적합하게 조정하기 위함이다.
그리고 장치 위치부(22)의 상부에는 장치 위치부(22)에 위치된 상부 커버를 회전시키기 위한 회전 구동부(28)가 더 마련된다. 이 회전 구동부(28)는 전후로 이동할 수 있도록 마련된다. 따라서 상부 커버를 체결구 받침대(24)에 처음으로 위치 시킬 때는 뒤로 물러나 있다가 상부 커버가 체결구 받침대(24)에 완전히 위치된 후에는 다시 앞으로 전진하여 체결구와 맞물린다. 그리고 동력을 인가하여 체결구와 맞물린 상태에서 상부 커버를 180°회전시켜서 뒤집는다. 이는 상부 커버의 내부에 대한 유지 보수 작업이 용이하게 하기 위함이다.
그리고 평판표시소자 제조장치의 커버 탑재부(20)에는 장치 위치부(22)의 하부에 연결되는 지지대(30)가 마련된다. 지지대(30)는 장치 위치부(22)와 상부 커버를 지지하는 역할을 한다. 이러한 지지대(30)는 다수 지점에서 바닥면과 접촉하며, 지지대(30) 상면에는 다수개의 지지구(32)가 마련되어, 상부 커버와 접촉되고 상부 커버를 지지한다.
또한 지지대(30)의 하면에는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치(20)를 자유롭게 이동시킬 수 있도록 이동부(34)가 마련되는데, 도 1에서는 이러한 이동부(34)를 바퀴 구조로 도시하고 있다. 또한 평판표시소자 제조장치의 커버 탑재부(20)가 원하는 위치로 이동된 후에는 움직이지 않도록 그 위치에 고정되어야 하므로, 지지대(30)의 하면에는 지지대(30)를 바닥면에 견고하게 고정시키는 고정부(36)가 더 마련된다. 이러한 고정부(36)는 지지대(30)를 이동시키는 동안에는 지지대(30) 하면으로 상승하여 위치되다가 지지대(30)를 원하는 위치에 이동시킨 후에는 하강하여 바닥면과 견고하게 밀착될 수 있는 구조로 마련된다.
이러한 평판표시소자 제조장치의 커버 탑재부(20)를 사용하여 상부 커버를 여는 과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 커버 탑재부(20)를 원하는 위치에 이동시킨다. 그후, 상술한 커버 탑재부(20)가 원하는 위치에 이동되면 전술한 고정부(36)를 하강시켜 바닥과 밀착되도록 한다. 그러면 커버 탑재부(20)가 바닥면과 밀착되어 움직이지 않게 된다.
이렇게, 커버 탑재부(20)를 원하는 위치로 이동시키고 고정시키는 동안 크레인 등을 이용하여 상부 커버를 평판표시소자 제조장치로부터 분리하여 커버 탑재부(20)의 상측으로 이동시킨다.
그리고, 바닥면에 견고하게 고정된 커버 탑재부로 상부 커버를 서서히 하강시킨다. 이때 상부 커버에 마련된 체결구와 장치 위치부(22)에 마련된 체결구 받침대(24)가 정확하게 맞물리도록 한다. 상부 커버가 체결구 받침대(24)에 위치되면, 회전 구동부(28)를 전진시켜서 체결구와 맞물리도록 한다. 회전 구동부(28)가 체결구와 결합되면 회전 구동부(28)를 구동시켜서 상부 커버를 180°회전 시킨다. 이렇게 하여 상부 커버의 내부가 상측을 바라보게 되면 회전 구동부(28)를 체결부로부터 분리한 후 후진시킨다.
그리고 보다 낮은 위치에서 작업자가 안전하게 작업할 수 있도록 체결구 받침대(24)를 하강시켜서 상부 커버와 지지구(32)가 접촉되도록 한다. 이때 지지구(32)는 약간의 신축성을 가지는 소재로 마련되어 상부 커버의 중량에 의하여 약간 수축할 수 있어서, 상부 커버에 손상을 주지 않는다.
종래의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 공정챔버(10)의 상부에 전극 등의 내부 구성물을 외부로 이동시킬 때 개폐문이 되는 상부커버(12)가 마련된다. 여기서, 상술한 공정챔버(10)에서 분리된 상부 커버(12)를 결합하고자 할 경우에 상술한 상부커버(12)의 위치를 공정챔버(10)에 맞추어 결합이 용이할 수 있도록 지지대(30)의 바닥면에 이동식 바퀴가 부착된 커버 탑재부(20)가 마련되고, 그 커버 탑재부(20)의 양측에서 상방으로 연장된 장치위치부의 상단 중앙부에 마련된 회전 구동부에 크레인(도면에 미도시)을 이용하여 상부 커버(12)의 양측면에서 외측으로 돌출되는 체결구를 결합시켜 그 회전 구동부에 의해 상부 커버(12)를 회전시켜 그 내부를 확인하거나 결합이 용이한 위치까지 위치시키는 기능을 한다.
상술한 커버 탑재부(20)는 각각의 공정챔버(10)의 상부 커버(12)를 분리 또는 결합할 수 있도록 힘을 가하는 방향으로 이동하게 된다.
여기서, 설명하지 않은 부호 (30)는 거치대로 높이가 낮은 공정챔버(10)를 적정 높이만큼 위치시키는 기능을 한다.
그러나, 바퀴로 이동하는 커버 탑재부(20)는 그 이동 방향이 직진성을 갖지 않고 변경되어 분리된 상부 커버(12)를 공정챔버(10)에 결합시킬 때 상호 폭 중심이 동일선상에 위치되지 않아 결합이 용이하지 못하고, 수동에 의해서 공정이 수행되어 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 공정챔버에서 분리된 상부 커버의 결합이 정해진 이동 경로를 따라 정확한 위치에서 실시될 수 있게 한 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 공정챔버에서 분리된 상부 커버를 지지하고 회전시키는 커버 탑재부; 상기 공정챔버에 인접한 장소로 상기 커버 탑재부를 이동시키는 경로를 제공하는 경로 제공부;를 포함하며, 상기 커버 탑재부중 상기 경로 제공부와 결합되는 부분에는 상기 커버 탑재부가 상기 경로 제공부에 안착되어 이동하도록 하는 이동블럭이 마련됨으로써, 상술한 공정챔버에서 분리된 상부커버의 결합시 각각의 공정챔버와 근접한 위치로 상부커버를 이동하는 커버 탑재부를 경로 제공부의 경로를 따라 슬라이딩시켜 이동하므로 공정챔버와 동일 선상에 위치된 상태에서 상부 커버를 이동하여 용이하게 결합하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 경로 제공부는, 상기 공정챔버의 배치 방향과 평행하게 마련되는 주 경로 제공부; 상기 주 경로 제공부에 직교되도록 마련되며, 각각의 공정챔버 방향으로 향하는 경로를 제공하는 보조 경로 제공부;를 포함함으로써, 주 경로 제공부를 따라 공정챔버로 원근 방향인 종방향으로 전진 이동하여 접근하거나, 타 공정챔버에 상부 커버를 결합하기 위하여 상부커버를 결합할 공정챔버의 위치인 횡방향으로 좌우 이동하므로 정확한 공정챔버 방향으로 이동하여 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 경로 제공부는 그 단면이 凸 형상이고, 그에 안착하는 이동블럭의 단면은 凹 형상으로 구름 접촉에 따른 이탈 없이 이동이 가능하므로 바 람직하다.
또한, 본 발명에서의 경로 제공부는 그 단면이 凹 형상이고, 그에 안착하는 이동블럭의 단면은 凸 형상으로 구름 접촉에 따른 이탈 없이 이동이 가능하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 경로 제공부상에서 이동하는 커버 탑재부의 이동 위치를 제한할 수 있도록 경로 제공부의 교차부중 주 경로 제공부의 양측단과 보조 경로 제공부의 후단에 각각 스토퍼(Stopper)가 더 마련됨으로써, 상술한 스토퍼에 의해 커버 탑재부가 각각의 공정챔버의 폭중심과 동일선상에 위치되는 종방향과, 다른 공정챔버로 이동하는 횡방향의 이동이 제한되어 정확한 위치로 이동하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 경로 제공부와 이 경로 제공부와 접하는 커버 탑재부의 이동블럭의 접촉면에 상기 커버 탑재부의 이동시 발생되는 마찰력을 감소시키는 마찰감소수단이 더 마련됨으로써, 상술한 경로 제공부에 커버 탑재부가 접한 상태로 이동하는 과정에서 접촉면에 마찰력을 감소시키므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 커버 탑재부를 경로 제공부상에서 횡방향 또는 종방향으로 이동할 수 있게 구동력을 제공하는 구동수단이 더 마련됨으로써, 구동수단에 의한 구동력에 의해 커버 탑재부를 경로 제공부의 횡방향 또는 종방향으로 이동시키므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일실시예의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 내부에 공정 처리가 실시되는 다수개의 공정챔버(110)와, 상술한 공정챔버(110)의 상부에 각각 전극 등을 외부로 이동시킬 때 개폐문이 되는 상부 커버(112)가 마련된다.
그리고, 상술한 공정챔버(110)에서 분리된 상부 커버(112)를 공정챔버(110)에 결합하고자 할 때, 그 공정챔버(110)에 근접한 위치까지 근접하게 이동하며, 다른 공정챔버(110)의 상부 커버(112)의 분리 및 결합시 그 공정챔버(110)쪽으로 이동하여 근접한 위치에서 상부 커버(112)를 이동하는 커버 탑재부(120)가 마련된다.
한편, 상술한 상부 커버(112)는 공정챔버(110)와 근접하게 위치된 커버 탑재부(120)상에 위치되어 크레인으로 공정챔버(110) 상측에 상부 커버(112)를 위치시키거나 별도의 이송 수단에 의해 그 상부 커버(112)를 공정챔버(110)에 위치시켜 결합할 수 있도록 상면에 다수개의 연결고리(도면에 미도시)가 구비된다.
상술한 커버 탑재부(120)는 그 커버 탑재부(120)에 위치된 상부 커버(112)를 공정챔버(110)와 근접한 위치로 이동시킨 후 그 양측에서 상방으로 연장된 연장부 상단 중앙부에 홈이 형성되어 그 홈에 크린룸 상측에 마련된 크레인을 이용하여 공정챔버(110)의 상부에 결합시키며, 상술한 상부 커버(112)의 양측면에서 외측으로 돌출되는 돌출핀을 커버 탑재부(120) 상단에 안착시켜 회전 중심 일측에 마련된 회동부(도면에 미도시)에 의해 상부 커버(112)를 회전하여 그 내부를 확인하거나 결합이 용이한 위치까지 이동시키는 기능을 한다.
여기서, 상술한 커버 탑재부(120)는 그 세부 구성요소의 구조 및 기능, 작용은 전술한 종래의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치(20)에서의 그것과 동일한다. 따라서 여기에서 반복하지 않는다.
여기서, 다수의 공정챔버(110)에 각각 수직 방향으로 연결되며, 그 수직 방향을 수평 방향으로 연결시켜 각각의 공정챔버(110)로 이동할 수 있도록 레일(rail)인 경로 제공부(150)가 각각 마련된다.
그리고, 상술한 공정챔버(110)의 저면에 적정 높이로 공정챔버(110)를 위치시키고 외부로부터 보호하는 거치대(140)가 마련된다.
본 발명에 따른 일 실시예의 경로 제공부(150)는 도 6a에 도시된 바와 같이 공정챔버(110)의 배치 방향과 평행되게 마련하는 주 경로 제공부(152)와, 상술한 주 경로 제공부(152)에 직교되도록 마련되되 각각의 공정챔버(110) 방향으로 경로를 제공하는 보조 경로 제공부(154)로 이루어지며, 상술한 주 경로 제공부(152)는 길이 방향으로 연장되는 한 쌍의 막대 형상이고 단면 형상이 凸 로 공정챔버(110)에 각각 전후방향으로 커버 탑재부(120)의 지지대(130)가 이동할 수 있게 종방향으로 구비되며, 상술한 보조 경로 제공부(154)는 상술한 주 경로 제공부(152)의 후단을 각각 연결하는 한 쌍으로 이루어지며 상술한 커버 탑재부(120)의 지지대(130)가 좌우의 횡방향으로 이동한다.
상술한 커버 탑재부(120)의 최하부인 지지대(130) 바닥면에 형성되되 경로 제공부(150)의 상면과 접한 상태로 전후 방향 또는 좌우 방향으로 이동시 凹 형상의 이동블럭(132)이 마련되어 그 경로 제공부(150)상에 지지대(130)의 이동블럭(132)이 안착되어 서로 접한 상태로 지지재(122)가 이동하게 된다.
또한, 상술한 경로 제공부(150)의 상부에서 지지대(130)가 상하좌우로 슬라이딩하여 이동할 때, 상술한 지지대(130)의 이동시 이동블럭(132) 양측에 돌출된 돌기가 걸리지 않도록 그 경로 제공부(150)에 유동홈(156)이 형성되되 상하 방향과 좌우 방향중 교차되는 부분에 각각 형성되며, 상술한 지지대(130)의 위치를 제한하여 정확한 위치 즉, 공정챔버(110)의 폭 중심과 커버 탑재부(120)의 폭 중심이 동일선상에 위치될 수 있도록 위치를 제한하는 스토퍼(158)가 경로 제공부(150)의 교차되는 부분중 선단을 제외한 나머지 양단과 후단에 각각 마련된다.
그리고, 상술한 지지대(130)와 경로 제공부(150)가 접하는 접촉면에 마련하되 그 지지대(130)의 저면 또는 경로 제공부(150)의 상면중 어느 한 곳에 구름 접촉하되 강성을 갖는 구 형상의 마찰감소수단(도면에 미도시)이 구비되어 지지대(130)의 이동시 마찰력을 감소시킬 수 있다.
그리고, 상술한 경로 제공부(150)상에서 커버 탑재부(120)의 지지대(130)를 수직 또는 수평 방향으로의 이동을 인가 전원에 의해 수행할 수 있게 구동력을 제공하는 구동수단(도면에 미도시)이 마련된다.
상술한 구동수단은 상술한 마찰감소수단을 구동하고 제어하며, 이때 상술한 마찰감소수단이 경로 제공부(150)의 횡방향과 종방향으로 구동할 수 있게 Y축방향과 X축 방향에 각각 마련할 수 있다.
본 발명에 따른 다른 실시예의 경로 제공부(150')는 도 6b에 도시된 바와 같이 공정챔버(110)의 배치 방향과 평행되게 마련하는 주 경로 제공부(152')와, 상술한 주 경로 제공부(152')에 직교되도록 마련되되 각각의 공정챔버(110) 방향으로 경로를 제공하는 보조 경로 제공부(154')로 이루어지며, 상술한 주 경로 제공부(152')는 길이 방향으로 연장되는 한 쌍의 막대 형상이고 단면 형상이 凹 로 공정챔버(110)에 각각 전후방향으로 커버 탑재부(120')의 지지대(130')가 이동할 수 있게 종방향으로 구비되며, 상술한 보조 경로 제공부(154')는 상술한 주 경로 제공부(152')의 후단을 각각 연결하는 한 쌍으로 이루어지며 상술한 커버 탑재부(120')의 지지대(130')가 좌우의 횡방향으로 이동한다.
상술한 커버 탑재부(120')의 최하부인 지지대(130')의 바닥면에 형성되되 경로 제공부(150')의 상면과 접한 상태로 전후 방향 또는 좌우 방향으로 이동시 凸 형상의 이동블럭(132')이 마련되어 그 경로 제공부(150')상에 지지대(130')의 이동블럭(132')이 안착되어 서로 접한 상태로 지지재(130')가 이동하게 된다.
상술한 지지대(130')의 바닥면에 형성되되 경로 제공부(150')의 유동홈(156')에 삽입되어 접한 상태로 수직 방향 또는 수평 방향으로 이동할 때 이탈 없이 이동을 원활케 하는 이동블럭(132')이 각각의 모서리부 근처에 형성되어 그 경 로 제공부(150')의 유동홈(156')에 지지대(130')의 이동블럭(132')이 결합하여 접한 상태로 이동하게 된다.
또한, 상술한 지지대(130')의 위치를 제한하여 정확한 위치 즉, 공정챔버(110)의 폭 중심과 커버 탑재부(120')의 폭 중심이 동일선상에 위치될 수 있도록 위치를 제한하는 스토퍼(158')가 경로 제공부(150')의 교차되는 부분중 선단을 제외한 나머지 양단과 후단에 각각 마련된다.
그리고, 상술한 지지대(130')와 경로 제공부(150')가 접하는 접촉면에 마련하되 그 지지대(130')의 저면 또는 경로 제공부(150')의 상면중 어느 한 곳에 구름 접촉하며 강성을 갖는 구 형상의 마찰감소수단(도면에 미도시)이 구비되어 지지대(130')의 이동시 마찰력을 감소시킬 수 있다.
여기서, 상술한 마찰감소수단은 횡방향과 종방향으로 이동할 수 있도록 구 형상이 바람직하다.
그리고, 상술한 경로 제공부(150')상에서 커버 탑재부(120')의 지지대(130')를 수직 또는 수평 방향으로의 이동을 인가 전원에 의해 수행할 수 있게 구동력을 제공하는 구동수단(도면에 미도시)이 마련된다.
여기서, 상술한 공정챔버(110)는 공정에 따라 증가 또는 감소될 수 있으며, 그에 따라 경로 제공부(150, 150')의 개수와 길이가 증가되거나 연장될 수 있다.
그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치의 공정챔버에서 분리된 상부 커버를 결합시키는 과정은 도 4와 도 5와 도 6a 및 6b에 도시된 바와 같이 공정챔버(110) 내부에 구비된 전극 등의 각종 구성물에 대한 유지 보수를 하거나, 상술한 상부 커버(112)의 저면을 검사하기 위해 그 상부 커버(112)의 분리가 필요할 경우, 상부에 결합된 상부 커버(112)를 분리시킨 다음, 구성물의 유지 보수 및 검사가 완료되면 상술한 상부 커버(112)를 공정챔버(110)의 상면에 결합시켜야 하며, 이때, 장치 위치부의 회전 구동부에 의해 상부 커버(112)가 안착되는 커버 탑재부(120, 120')는 지면에 교차되게 마련된 경로 제공부(150, 150')를 따라 전방에 마련된 공정챔버(110)로 전진 또는 후진할 수 있도록 Y 축방향으로 형성되거나, 타 공정챔버(110)로 좌우 이동하여 그 공정챔버(110)의 상부 커버(112)를 결합, 분리할 수 있도록 수평 방향으로 형성되어 Y 축방향과 X 축방향으로 교차되는 형상이다.
그러므로, 상술한 공정챔버(110)의 폭 중심과 커버 탑재부(120, 120')의 폭 중심이 동일선상에서 이동할 수 있게 이동 경로가 되는 경로 제공부(150, 150')에 의해 공정챔버(110)와 근접한 위치로 커버 탑재부(120, 120')가 전진하면, 크린룸 상측에 마련된 크레인의 후크가 이 커버 탑재부(120, 120')의 상측에 위치된 상부 커버(112)의 연결 고리에 걸린 상태로 공정챔버(110)의 상측으로 이동하여 정확한 위치에서 하강하므로 용이하게 상부 커버(112)를 이 공정챔버(110)에 결합시킨다.
여기서, 상술한 공정챔버(110)에 결합된 상부 커버(112)의 분리시 상술한 공정의 역순으로 분리 작업을 실시하면 된다.
그후, 타 공정챔버(110)의 상부 커버(112) 결합시킬 때에도 커버 탑재부(120, 120')를 좌우 방향으로 이동하여 실시되며, 이때 대향된 위치에 마련된 스토 퍼(158, 158')에 의해 위치를 제한함에 따라 이동 경로에서 이탈하지 않고 타 공정챔버(110)의 폭 중심과 동일한 위치로 커버 탑재부(120, 120')가 이동한 상태에서 실시된다.
그러므로, 상술한 공정챔버(110)에서 분리된 상부 커버(112)의 결합시 이 공정챔버(110)의 폭 중심과 동일선상에서 이동할 수 있게 상부 커버(112)가 안착된 커버 탑재부(120, 120')를 교차되게 형성된 경로 제공부(150, 150')가 슬라이딩하여 이동하므로 상술한 상부 커버(112)의 결합이 편리한 이점이 있다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치는 공정챔버의 상부에 마련되어 내부 구성물을 외부로 이동할 때 개방하는 상부커버의 결합시 그 상부커버를 공정챔버에 근접한 상태로 위치시키고 상부커버를 회전시켜 그 내부를 확인하는 커버 탑재부를 각각의 공정챔버에 연결된 경로 제공부에 의해 정해진 이동 경로를 따라 이동하여 공정챔버의 폭과 상부 커버의 폭을 맞춘 상태에서 결합을 실시하므로 상부커버의 결합이 용이한 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 공정챔버에서 분리된 상부 커버를 지지하고 회전시키는 커버 탑재부;
    상기 공정챔버에 인접한 장소로 상기 커버 탑재부를 이동시키는 경로를 제공하는 경로 제공부;를 포함하며,
    상기 커버 탑재부중 상기 경로 제공부와 결합되는 부분에는 상기 커버 탑재부가 상기 경로 제공부에 안착되어 이동하도록 하는 이동블럭이 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 경로 제공부는,
    상기 공정챔버의 배치 방향과 평행하게 마련되는 주 경로 제공부;
    상기 주 경로 제공부에 직교되도록 마련되며, 각각의 공정챔버 방향으로 향하는 경로를 제공하는 보조 경로 제공부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 경로 제공부는 그 단면이 凸 형상이고, 그에 안착하는 이동블럭의 단면은 凹 형상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 경로 제공부는 그 단면이 凹 형상이고, 그에 안착하는 이동블럭의 단면은 凸 형상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 경로 제공부상에서 이동하는 커버 탑재부의 이동 위치를 제한할 수 있도록 경로 제공부의 교차부중 주 경로 제공부의 양측단과, 상기 주 경로 제공부와 보조 경로 제공부와의 교차되는 보조 경로 제공부의 후단에 각각 스토퍼(Stopper)가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 경로 제공부와 이 경로 제공부와 접하는 커버 탑재부의 이동블럭의 접촉면에 상기 커버 탑재부의 이동시 발생되는 마찰력을 감소시키는 마찰감소수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 마찰감소수단은 강성을 갖는 볼인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 커버 탑재부를 경로 제공부상에서 횡방향 또는 종방향으로 이동할 수 있게 구동력을 제공하는 구동수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 탑재장치.
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