KR101209654B1 - 트레이 틸트 장치 - Google Patents

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Abstract

트레이 틸트 장치가 개시된다. 본 발명의 트레이 틸트 장치는 장치 본체; 장치본체의 내부에 마련되며 기판 트레이를 파지하는 트레이 홀더 유닛; 트레이 홀더 유닛와 인접하여 마련되어 트레이 홀더 유닛을 지지하며 트레이 홀더 유닛의 기울임 각도를 조절하는 틸트 유닛; 및 트레이 홀더 유닛의 하부에 마련되어 기판 트레이 상에서 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있는 클램핑/언클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 수직형 물류 기판 제조 공정에서 트레이 상의 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있고 기판 트레이를 틸트하여 기판을 공급함으로써, 기판의 파손을 방지하고 안정적으로 기판을 공급할 수 있으며 풋 프린트(foot print)를 최소화하고 택트 타임(tact time)을 향상시킬 수 있다.

Description

트레이 틸트 장치{TILT APPARATUS FOR A TRAY}
본 발명은, 트레이 틸트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 트레이를 이용한 기판 제조 공정에서 수직 이송된 기판 트레이를 수평으로 틸트할 수 있고,트레이에 클램핑된 기판을 언클램핑하여 기판을 수평 취출시킬 수 있는 트레이 틸트 장치에 관한 것이다.
일반적으로 기판이라 함은, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 및 유기전계발광소자(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)와 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킨다.
평판표시소자(FPD)로서의 기판과, 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나, 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다.
평판표시소자(FPD) 중에서 요즘에 각광받고 있는 OLED는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
이러한 OLED의 제조 공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.
대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식이 주로 사용되는데, 마스크 방식을 적용한 대형 OLED를 제작에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용되고 있다.
그런데, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어렵고, 시스템의 대형화에 따른 풋 프린트(foot print)를 감소시키기 어려운 문제점이 있다.
따라서 기판을 세워서 공정을 진행시키는 수직형 물류 시스템의 개발이 필요하다. 나아가 이러한 수직형 물류 시스템을 개발함에 있어 증착 공정 후 수직 이송된 기판 트레이를 수평으로 전환하고, 트레이 상의 기판을 언클램핑하여 합착 공정으로 이송함으로써 기판의 파손을 방지하고 안정적으로 기판을 공급할 수 있는 장치의 개발이 필요하다.
본 발명의 목적은, 수직형 물류 기판 제조 공정에서 트레이 상의 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있고 기판 트레이를 틸트하여 기판을 공급함으로써, 기판의 파손을 방지하고 안정적으로 기판을 공급할 수 있으며 풋 프린트(foot print)를 최소화하고 택트 타임(tact time)을 향상시킬 수 있는 트레이 틸트 장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적은, 본 발명에 따라, 장치 본체; 상기 장치본체의 내부에 마련되며 기판 트레이를 파지하는 트레이 홀더 유닛; 상기 트레이 홀더 유닛와 인접하여 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 지지하며 상기 트레이 홀더 유닛의 기울임 각도를 조절하는 틸트 유닛; 및 상기 트레이 홀더 유닛의 하부에 마련되어 상기 기판 트레이 상에서 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있는 클램핑/언클램핑 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 회전가능하게 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판의 방향을 전환시키는 턴 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 기판 이송 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 장치 본체 내부에 마련되어 상기 장치 본체 내부에서 상기 틸트 유닛을 이동시키는 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 홀더 유닛은, 상기 기판 트레이를 지지하는 홀더유닛본체; 상기 홀더유닛본체에 마련되어 상기 기판 트레이를 파지하는 다수의 트레이홀더; 및 상기 트레이홀더와 인접하여 마련되며 상기 트레이홀더를 업/다운시킬 수 있는 홀더승강부를 포함할 수 있다.
상기 트레이 홀더 유닛은, 상기 기판 트레이를 상기 홀더유닛본체의 장착 위치로 이동시킬 수 있도록 상기 홀더유닛본체의 양측면에 마련되는 트레이 롤러컨베이어부를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이 홀더 유닛은, 상기 기판 트레이가 장착되는 상기 홀더유닛본체의 단부에 마련되어 상기 기판 트레이가 상기 트레이 롤러컨베이어부를 따라 이동할 때 상기 홀더유닛본체의 외측으로 이탈되지 않도록 막아주는 트레이엔드스토퍼; 및 상기 트레이엔드스토퍼를 업/다운시켜주는 스토퍼승강부를 더 포함할 수 있다.
상기 틸트 유닛은, 상기 트레이 홀더 유닛의 양 측면에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 지지하며 상기 트레이 홀더 유닛이 회전가능하게 결합되는 한 쌍의 틸트지지부; 및 상기 틸트지지부의 회전축 측면에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 회전시키는 동력을 제공하는 틸트동력부를 포함할 수 있다.
상기 틸트동력부는 서보 모터(Servo motor)로 마련될 수 있다.
상기 클램핑/언클램핑 유닛은, 상기 기판 트레이의 하부에서 상기 기판 트레이의 클램프유닛을 가압하는 클램프유닛푸셔; 및 상기 클램프유닛푸셔에 동력을 제공하는 푸셔동력부를 포함할 수 있다.
상기 푸셔동력부는 공압 실린더(Air cylinder)로 마련될 수 있다.
상기 턴 유닛은, 상기 기판 트레이 장착 위치의 하부에 마련되어 상기 기판의 하부에서 상기 기판을 지지하는 기판지지부; 상기 기판지지부와 연결되어 상기 기판지지부를 회전시키는 턴부; 및 상기 턴부의 하부에 마련되어 상기 기판지지부 및 상기 턴부를 업/다운시키는 턴유닛승강부를 포함할 수 있다.
상기 턴부는 하모닉 드라이버(Harmonic driver)로 마련될 수 있다.
상기 턴유닛승강부는 공압 실린더로 마련될 수 있다.
상기 기판 이송 유닛은, 상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 다수개의 기판이송 롤러컨베이어; 및 상기 기판이송 롤러컨베이어의 하부에 마련되어 상기 기판이송 롤러컨베이어를 업/다운시키는 롤러컨베이어승강부를 포함할 수 있다.
상기 이동 유닛은, 상기 틸트 유닛의 하부에 결합되며 상기 틸트 유닛과 일체로 움직이는 이동판넬부; 및 상기 이동판넬부의 하부에 마련되어 상기 이동판넬부를 일정한 위치로 이동시키는 LM가이드부를 포함할 수 있다.
상기 이동 유닛은, 상기 이동판넬부 상에 상기 기판 트레이가 장착되는 방향의 진입부에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛이 지평면과 교차하는 방향으로 틸트되어 있을 때 상기 트레이 홀더 유닛으로 상기 기판 트레이를 이송시켜주는 트레이가이드 롤러컨베이어부를 더 포함할 수 있다.
상기 트레이가이드 롤러컨베이어부는, 상기 틸트 유닛의 양 측면에 한쌍으로 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛이 지평면과 교차하는 임의의 방향으로 틸트되어 있을 때와 180도 회전하여 반대 방향으로 틸트되어 있을 때의 양방향 모두에서 상기 기판 트레이를 상기 트레이 홀더 유닛으로 이송시켜줄 수 있다.
상기 이동 유닛은, 상기 이동판넬부 상에 상기 기판 트레이가 장착되는 방향의 단부에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 상기 장치 본체 외부로 이송하는 기판취출 롤러컨베이어부를 더 포함할 수 있다.
상기 장치 본체는, 외측벽에 상기 기판 트레이가 출입하는 적어도 하나의 트레이 출입구와 언클램핑된 기판이 출입하는 기판 출입구가 마련되는 챔버하우징; 및 상기 챔버하우징을 지지하는 하부프레임을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 수직형 물류 기판 제조 공정에서 트레이 상의 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있고 기판 트레이를 틸트하여 기판을 공급함으로써, 기판의 파손을 방지하고 안정적으로 기판을 공급할 수 있으며 풋 프린트(foot print)를 최소화하고 택트 타임(tact time)을 향상시킬 수 있다.
도 1은 수직형 물류 기판 제조 시스템의 전체 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치의 사시도이다.
도 3은 도 2의 챔버하우징을 제거한 내부의 사시도이다.
도 4는 트레이 홀더 유닛의 사시도이다.
도 5는 도4의 확대 평면도이다.
도 6은 틸트 유닛의 사시도이다.
도 7은 도 6의 틸트 유닛이 기판 트레이를 지면과 나란하게 틸트시킨 경우의 사시도이다.
도 8은 클램핑/언클램핑 유닛의 평면도이다.
도 9a는 클램핑/언클램핑 유닛의 확대 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 클램프유닛의 확대 단면도이다.
도 10은 도 9a의 클램핑/언클램핑 유닛의 작동을 설명하는 사시도이다.
도 11은 턴 유닛의 사시도이다.
도 12는 도 11의 턴 유닛을 확대한 사시도이다.
도 13은 턴 유닛의 평면도이다.
도 14는 도 13의 턴 유닛의 작용을 설명하는 평면도이다.
도 15는 기판 이송 유닛의 정면도이다.
도 16은 도 15의 기판 이송 유닛의 작용을 설명하는 정면도이다.
도 17a 내지 도 17d는 이동 유닛의 작용을 설명하는 사시도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 기판은 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)이나 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없다.
도 1은 수직형 물류 기판 제조 시스템의 전체 구조도이다.
먼저 전체적인 수직형 물류 기판 제조 시스템은 대략 도 1과 같은 형태로 제작될 수 있다. 도 1을 참조하여 살펴보면, 전체적인 수직형 물류 기판 제조 시스템은 크게 수직형 증착 시스템과 합착 시스템으로 나눌 수 있다.
먼저, 수직형 증착 시스템은 기판을 세워서 공급하는 듀얼 로더(2, dual roader)와, 듀얼 로더(2)로부터 공급받은 수직형 기판의 방향을 전환시켜 프로세스 챔버(4, process chamber)로 공급하는 턴 챔버(3, turn chamber)와, 턴 챔버(3)와 연결되어 증착 공정을 진행하는 프로세스 챔버(4)를 포함한다.
듀얼 로더(2)는 지면에 대해 교차되는 방향으로 세워진 기판을 공정이 수행되는 장소로 공급하는 부분이다. 듀얼 로더(2) 대신에 하나의 로더가 마련되어 한 장의 기판을 공정이 수행되는 장소로 공급해도 무방하지만 본 실시예처럼 듀얼 로더(2)를 사용하게 되면 택트 타임(tact time)을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
턴 챔버(3)는 듀얼 로더(2)로부터 제공된 기판의 방향을 전환시키는 장소이고, 프로세스 챔버(4)는 기판에 대한 실질적인 증착 공정이 진행되는 장소이다. 턴 챔버(3)의 양쪽에 한 쌍의 프로세스 챔버(4)가 상호 대칭되게 도킹되는 구조로써 듀얼 로더(2)의 적용과 더불어 택트 타임을 더욱 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
상기와 같은 증착 공정을 마친 기판은 공정 라인을 따라 턴 챔버(3)에서 기판 이송 챔버(5)로 이동하고, 기판 이송 챔버(5)는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치(1)로 기판 트레이(10)를 이송한다. 이송된 기판 트레이(10)는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치(1)에 의하여 증착 공정이 완료된 세워진 기판을 지면에 나란하게 눕혀 수평 방향의 기판으로 전환시킨 후 기판을 합착 시스템으로 공급한다.
합착 시스템은 트랜스퍼 챔버(6)와, 로드락/언로드락 챔버(7)와, 합착기(8)를 포함한다. 트랜스퍼 챔버(6)는 그 내부의 로봇(6a) 동작에 의해 수평 상태의 기판을 합착기(8)로 보내어 증착 기판과 로드락/언로드락 챔버(7)에서 제공되는 별도의 봉지 기판이 상호 합착되도록 핸들링하고, 작업이 완료된 최종 기판을 로드락/언로드락 챔버(7)로 보내는 역할을 한다.
이와 같이 수직형 증착 시스템에서 증착 공정이 완료된 수직형 기판을 합착 시스템으로 공급할 때 기판을 틸트하여 방향을 전환하고 안정적으로 공급해주는 장치가 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치(1)이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치(1)에 대해서 자세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 챔버하우징을 제거한 내부의 사시도이며, 도 4는 트레이 홀더 유닛의 사시도이고, 도 5는 도4의 확대 평면도이며, 도 6은 틸트 유닛의 사시도이고, 도 7은 도 6의 틸트 유닛이 기판 트레이를 지면과 나란하게 틸트시킨 경우의 사시도이며, 도 8은 클램핑/언클램핑 유닛의 평면도이고, 도 9a는 클램핑/언클램핑 유닛의 확대 사시도이며, 도 9b는 도 9a의 클램프유닛의 확대 단면도이고, 도 10은 도 9a의 클램핑/언클램핑 유닛의 작동을 설명하는 사시도이며, 도 11은 턴 유닛의 사시도이고, 도 12는 도 11의 턴 유닛을 확대한 사시도이며, 도 13은 턴 유닛의 평면도이고, 도 14는 도 13의 턴 유닛의 작용을 설명하는 평면도이며, 도 15는 기판 이송 유닛의 정면도이고, 도 16은 도 15의 기판 이송 유닛의 작용을 설명하는 정면도이며, 도 17a 내지 도 17d는 이동 유닛의 작용을 설명하는 사시도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 틸트 장치(1)는 장치 본체(100)와, 장치본체의 내부에 마련되며 기판 트레이(10)를 파지하는 트레이 홀더 유닛(200)과, 트레이 홀더 유닛(200)와 인접하여 마련되어 트레이 홀더 유닛(200)을 지지하며 트레이 홀더 유닛(200)의 기울임 각도를 조절하는 틸트 유닛(300)과, 트레이 홀더 유닛(200)의 하부에 마련되어 기판 트레이(10) 상에서 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있는 클램핑/언클램핑 유닛(400)과, 트레이 홀더 유닛(200)의 기판 트레이(10) 장착 위치의 하방에 회전가능하게 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판의 방향을 전환시키는 턴 유닛(500)과, 트레이 홀더 유닛(200)의 기판 트레이(10) 장착 위치의 하방에 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 기판 이송 유닛(600)과, 장치 본체(100) 내부에 마련되어 상기 장치 본체(100) 내부에서 상기 틸트 유닛(300)을 이동시키는 이동 유닛(700)을 포함한다.
먼저, 장치 본체(100)는 외측벽에 기판 트레이(10)가 출입하는 적어도 하나의 트레이 출입구(111)와 언클램핑된 기판이 출입하는 기판 출입구(112)가 마련되는 챔버하우징(110)과, 챔버하우징(110)을 지지하는 하부프레임(120)을 포함한다.
챔버하우징(110)의 전면부에는 기판 이송 챔버(5)로부터 이송된 기판 트레이(10)가 트레이 틸트 장치(1)의 내부로 출입할 수 있도록 트레이 출입구(111)가 마련되고, 후면부에는 트레이 틸트 장치(1) 내에서 기판 트레이(10)가 지면과 나란한 방향으로 틸트되고 기판이 언클램핑 된 후 기판이 다음 공정으로 공급되기 위한 기판 출입구(112)가 마련된다.
본 실시예에서는 기판 출입구(112)는 기판 이송 챔버(5)의 2개의 기판 출입구(112)로부터 모두 공급받을 수 있도록 2개의 트레이 출입구(111)가 마련되고, 후면부에는 1개의 기판 출입구(112)가 마련된다.
챔버하우징(110)의 하부에는 하부프레임(120)이 마련되어 챔버하우징(110)을 지지하고 또한 후술하는 이동 유닛(700)을 지지하여 이동 유닛(700)이 챔버하우징(110) 내부에서 이동을 할 수 있도록 하부프레임(120)의 상면에 LM레일(121)이 마련된다.
트레이 홀더 유닛(200)은, 도 4 및 도 5를 참조하여 살펴보면, 기판 트레이(10)를 지지하는 홀더유닛본체(210)와, 홀더유닛본체(210)에 마련되어 기판 트레이(10)를 파지하는 다수의 트레이홀더(220)와, 트레이홀더(220)와 인접하여 마련되며 트레이홀더(220)를 업/다운시킬 수 있는 홀더승강부(230)와, 기판 트레이(10)를 홀더유닛본체(210)의 장착 위치로 이동시킬 수 있도록 홀더유닛본체(210)의 양측면에 마련되는 트레이 롤러컨베이어부(240)와, 기판 트레이(10)가 장착되는 홀더유닛본체(210)의 단부에 마련되어 기판 트레이(10)가 트레이 롤러컨베이어부(240)를 따라 이동할 때 홀더유닛본체(210)의 외측으로 이탈되지 않도록 막아주는 트레이엔드스토퍼(250)와, 트레이엔드스토퍼(250)를 업/다운시켜주는 스토퍼승강부(260)를 포함한다.
홀더유닛본체(210)는 기판 트레이(10)가 트레이 홀더 유닛(200)에 장착될 수 잇도록 기본적으로 기판 트레이(10)를 지지하는 트레이 형상의 사각프레임을 말한다. 홀더유닛본체(210)의 4개의 모서리 부분에는 기판 트레이(10)를 파지할 수 있도록 기판 트레이(10)의 각 모서리에 맞추어 각진 형상의 트레이홀더(220)가 각각 마련된다.
트레이홀더(220)는 기판 트레이(10)가 홀더유닛본체(210) 상으로 진입할 때에는 기판 트레이(10)의 이동을 간섭하지 않도록 홀더유닛본체(210)의 내부로 하강된 상태로 대기하며, 기판 트레이(10)가 트레이 홀더 유닛(200)의 장착 위치로 이동이 완료되면 홀더승강부(230)에 의하여 기판 트레이(10)를 향하여 상승하여 기판 트레이(10)를 안정적으로 파지하게 된다.
홀더승강부(230)는 트레이홀더(220)를 상승 또는 하강시킬 수 있는 동력부로서 트레이홀더(220)와 인접하여 마련되며 본 실시예에서는 공압실린더에 의하여 마련되었다.
트레이 롤러컨베이어부(240)는 홀더유닛본체(210)의 양 측면에 마련되며 기판 트레이(10)가 수직으로 이송되는 경우 기판 트레이(10)를 홀더유닛본체(210)의 장착 위치로 이동시킨다. 즉, 기판 트레이(10)가 수직으로 이송되는 경우 기판 트레이(10)의 양 측면을 롤러 컨베이어(Roller conveyor)에 의하여 기판 트레이(10)를 이송시켜준다. 트레이 롤러컨베이어부(240)는 기판 트레이(10)가 안정적으로 이동할 수 있도록 기판 트레이(10)가 이동하는 트레이 롤러컨베이어부(240)의 측면에 트레이이탈방지 가이드(241)가 마련되어 기판 트레이(10)가 트레이 롤러컨베이어부(240)를 따라 수직으로 이동할 때 기판 트레이(10)가 홀더유닛본체(210)의 외부로 이탈하지 않도록 막아준다.
트레이엔드스토퍼(250)는 홀더유닛본체(210)에 기판 트레이(10)가 이송되는 방향의 단부에 마련되어 기판 트레이(10)가 홀더유닛본체(210) 상으로 트레이 롤러컨베이어부(240)를 따라 이송될 때 기판 트레이(10)가 홀더유닛본체(210)의 장착 위치를 지나치지 않도록 막아준다. 즉, 트레이엔드스토퍼(250)는 기판 트레이(10)가 홀더유닛본체(210)의 장착 위치에 정확하게 멈출 수 있도록 막아주는 구성요소이다. 도 4를 참조하여 살펴보면, 트레이엔드스토퍼(250)는 홀더유닛의 단부에 설치되며 기판 트레이(10)에 가해지는 충격을 최소화하기 위하여 롤러 형식으로 마련되며 안정적으로 기판 트레이(10)를 멈출 수 있도록 상하 2개가 마련된다.
스토퍼승강부(260)는 트레이엔드스토퍼(250)의 하부에 마련되어 트레이엔드스토퍼(250)를 업/다운하는 동력부다. 도 5를 참조하여 살펴보면, 트레이엔드스토퍼(250)는 기판 트레이(10)가 진입할 때 기판 트레이(10)의 장착 위치에 기판 트레이(10)가 멈출 수 있도록 기판 트레이(10)가 수직으로 진입할 때에는 스토퍼승강부(260)에 의하여 상승한다. 이후 기판 트레이(10)가 틸트 유닛(300)에 의하여 틸트되고 기판이 언클램핑 되어 이송되는 때에는 스토퍼승강부(260)에 의하여 트레이엔드스토퍼(250)는 하강하여 기판이 이송되는 데 간섭되지 않도록 한다.
본 실시예에서 스토퍼승강부(260)는 홀더승강부(230)와 마찬가지로 공압실린더에 의하여 마련되었으나 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으며 다른 동력수단에 의하여 마련될 수도 있다.
한편, 틸트 유닛(300)은, 도 6 및 도 7을 참조하여 살펴보면, 트레이 홀더 유닛(200)의 양 측면에 마련되어 트레이 홀더 유닛(200)을 지지하며 트레이 홀더 유닛(200)이 회전가능하게 결합되는 한 쌍의 틸트지지부(310)와, 틸트지지부(310)의 회전축 측면에 마련되어 트레이 홀더 유닛(200)을 회전시키는 동력을 제공하는 틸트동력부(320)를 포함한다.
한 쌍의 틸트지지부(310)는 하부가 넓고 상부는 긴 사각기둥 형상으로 제작되어 트레이 홀더 유닛(200)이 회전가능하도록 홀더유닛본체(210)의 양 측면에 각각 결합되며, 따라서 트레이 홀더 유닛(200)을 회전가능하도록 지지한다.
틸트동력부(320)는 틸트지지부(310)의 한쪽 회전축 측면에 마련되며 트레이 홀더 유닛(200)을 연결하는 회전축과 연결되어 트레이 홀더 유닛(200)을 회전시킨다. 틸트동력부(320)는 도 7과 같이 트레이 홀더 유닛(200)을 지면과 나란하게 혹은 도 6과 같이 지면과 교차하는 방향으로 틸트시킬 수 있으며, 정밀한 틸트 제어를 위하여 서보 모터(servo motor)가 사용되나 다른 정밀 제어 가능한 동력수단이 사용될 수도 있다.
다음으로, 클램핑/언클램핑 유닛(400)은 기판 트레이(10)의 하부에서 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)을 가압하는 클램프유닛푸셔(410)와, 클램프유닛푸셔(410)에 동력을 제공하는 푸셔동력부(420)를 포함한다.
클램핑/언클램핑 유닛(400)의 설명에 앞서, 본 발명의 일 실시예에 사용되는 기판 트레이(10)에 대해서 먼저 설명한다. 기판 트레이(10)는 기판을 안정적으로 파지할 수 있도록 기판을 클램핑하는 클램프유닛(20)을 포함한다. 도 8을 참조하여 살펴보면, 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)은 총 8개가 기판 트레이(10)의 외주면을 따라서 골고루 분포한다. 도 9a 내지 도 10을 참조하여 살펴보면, 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)은 'ㄱ'자 형상으로 마련되어 그 중심부(21c)가 기판 트레이(10)의 내측에 회전 가능하게 결합되는 클램프회전부(21)와, 클램프회전부(21)의 제1 단부(21a)와 나란하게 결합되어 기판을 기판 트레이(10)에 클램핑하는 클램프부(22)와, 클램프회전부(21)의 제2 단부(21b)와 교차되는 방향으로 결합되어 가압시 클램프회전부(21)를 회전하게 하여 클램프부(22)가 열린상태가 되도록하는 가압부(23)와, 클램프회전부(21)의 중심부(21c) 회전축에 연결되어 탄성복원력을 제공하는 탄성부재(24)를 포함한다.
클램프회전부(21)는 도 8에서와 같이 기판 트레이(10) 각 면에 2개씩 총 8개가 마련되며 각각의 클램프회전부(21)에는 탄성부재(24)가 연결되어 기판 트레이(10) 내측에 회전가능하게 결합된다. 클램프회전부(21)의 제1 단부(21a)에는 사각형 형상의 클램프부(22)가 제1 단부(21a)와 나란하게 결합되고 클램프회전부(21)의 회전축에 연결된 탄성부재(24)는 클램프부(22)가 기판을 클램핑하도록 탄성력을 제공하여 기판이 기판 트레이(10)에 장착된 후 이탈되지 않도록 클램핑한다. 가압부(23)는 클램프회전부(21)의 제2 단부(21b)에 제2 단부(21b)와 교차되는 방향으로 결합되어, 가압부(23)를 가압하는 경우에는 클램프회전부(21)에 회전축을 중심으로 토크가 발생하여 클램프회전부(21)가 회전운동하게 되고 따라서 기판이 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된다. 가압부(23)에 가압력이 제거되면 다시 탄성부재(24)의 탄성복원력에 의하여 클램프회전부(21)가 원위치되며 기판이 기판 트레이(10)에 다시 클램핑될 수 있다.
탄성복원력을 제공하는 탄성부재(24)는 본 실시예에서는 토션 스프링이 사용되었으나 텐션 스프링 등의 탄성부재(24)에 의해서도 탄성복원력을 제공할 수 있다.
클램핑/언클램핑 유닛(400)은 이와 같은 기판 트레이(10)에 기판을 클램핑 또는 언클램핑할 수 있도록, 기판 트레이(10)의 하부에서 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)을 가압하는 클램프유닛푸셔(410)와, 클램프유닛푸셔(410)에 동력을 제공하는 푸셔동력부(420)를 포함한다.
클램프유닛푸셔(410)는 기판 트레이(10)의 하부에 마련되며 클램프유닛푸셔(410)의 단부는 클램프유닛(20)을 가압할 때 기판 트레이(10)에 손상이 가지 않도록 고무 등의 탄성재질로 마련된다. 푸셔동력부(420)는 클램프유닛푸셔(410)의 하부에 마련되어 클램프유닛푸셔(410)를 업/다운 시켜주는 동력을 제공하며 본 실시예에서는 공압실린더가 사용되었으나 기타 다른 동력제공수단이 사용될 수도 있다.
도 9a 및 도 10은 클램프유닛푸셔(410)가 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)을 가압할 때의 작용을 설명한다. 상기 설명한 바와 같이 푸셔동력부(420)가 클램프유닛푸셔(410)를 상승시키면 클램프유닛푸셔(410)가 클램프유닛(20)을 가압하여 이 때 발생하는 회전력에 의하여 클램프유닛(20)이 열린 상태가 된다. 모든 클램프유닛(20)이 열린상태가 되면 기판이 기판 트레이(10)로부터 언클램핑될 수 있다. 반대로 기판이 기판 트레이(10)의 장착위치에 놓은 상태에서 기판 트레이(10)의 클램프유닛(20)에서의 가압력을 제거하면 클램프유닛(20)이 닫힌 상태가 되어 기판이 기판 트레이(10)에 클램핑되게 된다.
한편, 턴 유닛(500)은, 도 11 및 도 12를 참조하여 살펴보면, 기판 트레이(10) 장착 위치의 하부에 마련되어 기판의 하부에서 기판을 지지하는 기판지지부(510)와, 기판지지부(510)와 연결되어 기판지지부(510)를 회전시키는 턴부(520)와, 턴부(520)의 하부에 마련되어 기판지지부(510) 및 턴부(520)를 업/다운시키는 턴유닛승강부(530)를 포함한다.
기판지지부(510)는 도 11 및 도 12에서와 같이 중앙의 넓은 판재를 포함하여 격자 형상으로 결합된 긴 막대 형상의 부재들이 연결되어 기판을 지지한다. 긴 막대 형상의 부재들을 사용하여 기판을 지지하는 것은 기판에 부재가 닿는 면적을 최소화하여 기판을 보호하고 파티클 등의 발생을 방지하기 위함이다.
턴부(520)는 기판지지부(510)의 중앙 하부에 마련되며 기판지지부(510)를 회전시킬 수 있는 동력을 제공한다. 턴부(520)는 기판지지부(510)를 정밀하게 제어할 수 있고 높은 감속비를 구현할 수 있는 하모닉 드라이버(harmonic driver)가 사용된다. 본 실시예에서는 턴부(520)에 하모닉 드라이버가 사용되었으나 본 발명의 권리범위는 이에 제한될 필요가 없으며 기타 정밀 기어 등의 회전 장치가 사용될 수도 있다.
턴유닛승강부(530)는 턴부(520)의 하부에 마련되며 기판 지지부 및 턴부(520)를 업/다운시킨다. 본 실시예에서 턴유닛승강부(530)는 공압실러더가 사용되었으나 이와 유사한 다른 동력 제공수단이 사용될 수도 있다.
도 13 및 도 14를 참조하여 턴 유닛(500)의 작용을 간단히 설명하면, 기판이 기판 트레이(10)로부터 언클램핑되면 턴 유닛(500)이 턴유닛승강부(530)에 의하여 상승하여 지판지지부가 기판을 지지하고, 턴부(520)는 기판지지부(510)를 천천히 회전시켜 기판의 방향을 원하는 방향으로 회전시키며, 턴유닛승강부(530)에 의하여 턴 유닛(500)이 하강하고 회전된 기판은 후술하는 기판 이송 유닛(600)에 의하여 다음 공정으로 취출된다.
다음으로, 기판 이송 유닛(600)은, 도 4, 도 15 및 도 16을 참조하여 살펴보면, 트레이 홀더 유닛(200)의 기판 트레이(10) 장착 위치의 하방에 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 다수개의 기판이송 롤러컨베이어(610)와, 기판이송 롤러컨베이어(610)의 하부에 마련되어 기판이송 롤러컨베이어(610)를 업/다운시키는 롤러컨베이어승강부(620)를 포함한다.
기판이송 롤러컨베이어(610)는 트레이 홀더 유닛(200)의 기판 트레이(10) 장착 위치 하방에 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판을 기판 출입구(112)로 이송하여 다음 공정으로 취출시킨다. 기판이송 롤러컨베이어(610)는 기판이 안정적으로 이송될 수 있도록 다수개가 대칭적으로 마련되며 롤러 컨베이어로 구성되어 기판을 이송시킨다.
롤러컨베이어승강부(620)는 기판이송 롤러컨베이어(610)의 양 측면에 마련되어 기판이송 롤러컨베이어(610)를 지지하며 기판이 언클램핑될 때에 기판이송 롤러컨베이어(610)를 상승시켜 기판이송 롤러컨베이어(610)가 기판을 안정적으로 지지할 수 있도록 한다. 기판이 턴 유닛(500)에 의하여 턴 될 때에 롤러컨베이어승강부(620)에 의하여 기판이송 롤러컨베이어(610)는 하강되며 기판이 턴 된 후 후술하는 기판취출 롤러컨베이어부(740)와 함께 기판을 다음 공정으로 이송시킨다.
한편, 이동 유닛(700)은, 도 6 내지 도 7, 도 17a 내지 도 17d를 참조하여 살펴보면, 틸트 유닛(300)의 하부에 결합되며 틸트 유닛(300)과 일체로 움직이는 이동판넬부(710)와, 이동판넬부(710)의 하부에 마련되어 이동판넬부(710)를 일정한 위치로 이동시키는 LM가이드부(720)와, 이동판넬부(710) 상에 기판 트레이(10)가 장착되는 방향의 진입부에 마련되어 트레이 홀더 유닛(200)이 지평면과 교차하는 방향으로 틸트되어 있을 때 트레이 홀더 유닛(200)으로 기판 트레이(10)를 이송시켜주는 트레이가이드 롤러컨베이어부(730)와, 이동판넬부(710) 상의 기판 트레이(10)가 장착되는 방향의 단부에 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판을 장치 본체(100) 외부로 이송하는 기판취출 롤러컨베이어부(740)를 포함한다.
이동판넬부(710)는 사각형상의 판넬로 마련되며 틸트 유닛(300)의 틸트지지부(310)가 이동판넬부(710)에 지지되어 이동판넬부(710)와 일체로 움직인다. 이동판넬부(710)가 이동함에 따라 틸트 유닛(300)과 틸트 유닛(300)에 회전 가능하게 지지되어 있는 트레이 홀더 유닛(200)도 함께 이동하게 된다.
LM가이드부(720)는 이동판넬부(710)의 하부에 마련되어 이동판넬부(710)를 일정한 위치로 이동시키는 동력을 제공한다. LM가이드부(720)는 LM블록(721)과 LM레일(121)로 구성되는데, LM블록(721)은 이동판넬의 하면에 마련되어 이동판넬이 이동할 수 있도록 동력을 제공하고 위치 제어를 한다. LM레일(121)은 장치 본체(100)의 하부프레임(120)상에 마련되며 하부프레임(120)상에서 이동판넬이 직선운동을 할 수 있도록 가이드 역할을 한다.
트레이가이드 롤러컨베이어부(730)는 이동판넬부(710) 상에 기판 트레이(10)가 수직으로 장착되는 방향에 마련되며 기판 트레이(10)를 기판 이송 챔버(5)로부터 트레이 홀더 유닛(200)의 장착위치로 이송될 수 있도록 기판 이송 챔버(5)와 트레이 홀더 유닛(200) 사이의 가이드 역할을 한다.
트레이가이드 롤러컨베이어부(730)는 트레이 홀더 유닛(200)이 지면과 교차되는 방향으로 틸트되어 있을 때 트레이 홀더 유닛(200)에 기판 트레이(10)가 장착되는 양쪽 방향 모두를 가이드해줄 수 있도록 트레이 홀더 유닛(200)의 회전축을 중심으로 좌우 양측에 한쌍으로 마련된다. 따라서 챔버하우징(110)에 마련된 2개의 트레이 출입구(111) 모두에서 트레이를 이송받아 트레이 홀더 유닛(200)으로 안내해줄 수 있게 함으로써 풋 프린트(foot print)를 최소화하고, 택트 타임(tact time)을 향상시킬 수 있다.
기판취출 롤러컨베이어부(740)는 이동판넬부(710) 상에 기판 트레이(10)가 장착되는 방향의 단부에 마련되어 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된 기판을 장치 본체(100) 외부로 이송한다. 기판취출 롤러컨베이어부(740)의 롤러는 기판 트레이(10)가 틸트 유닛(300)에 의하여 지면과 나란하게 틸트된 상태에 있을 때 기판이송 롤러컨베이어(610)와 높이가 같도록 마련된다.
이와 같은 기판취출 롤러컨베이어부(740)는, 기판 트레이(10)가 하부프레임(120) 상의 중앙부로 이동하여 지면과 나란하게 틸트되고 기판이 기판 트레이(10)로부터 언클램핑되어 기판을 다음 공정으로 이송할 때, 기판이송 롤러컨베이어(610)의 연장선 상에서 기판을 이송시키는 작용을 하며 기판을 챔버하우징(110)의 기판 출입구(112)를 통하여 다음 공정 챔버로 안정적으로 이송시킨다.
이러한 구성을 갖는 트레이 틸트 장치(1)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 증착공정을 마친 기판을 장착한 기판 트레이(10)가 기판 이송 챔버(5)로부터 챔버하우징(110)의 트레이 출입구(111)를 통하여 수직형으로 투입된다. 이 때 트레이 홀더 유닛(200)은 틸트 유닛(300)에 의하여 지면과 교차되는 방향으로 틸트되어 있고, 이동 유닛(700)은 트레이 홀더 유닛(200)을 기판 트레이(10)가 투입되는 위치에 맞추어 이동시킨다.
수직형으로 투입된 기판 트레이(10)는 이동판넬부(710) 상의 트레이가이드 롤러컨베이어부(730)를 따라 트레이 홀더 유닛(200)의 장착 위치로 안내된다. 기판 트레이(10)가 트레이가이드 롤러컨베이어부(730)를 지나 트레이 홀더 유닛(200)의 트레이 롤러컨베이어부(240)로 진입하고 트레이 롤러컨베이어부(240)에 의하여 트레이 홀더 유닛(200) 상의 기판 트레이(10) 장착 위치로 이동하게 된다. 일단 기판 트레이(10)가 트레이 홀더 유닛(200) 상으로 진입하면 트레이엔드스토퍼(250)가 스토퍼승강부(260)에 의하여 상승하게 되고 기판 트레이(10)가 트레이엔드스토퍼(250)에 의하여 트레이 홀더 유닛(200) 상의 기판 트레이(10) 장착 위치에 멈추게 된다. 기판 트레이(10)가 트레이 홀더 유닛(200) 상의 기판 트레이(10) 장착 위치에 멈추면 트레이홀더(220)가 홀더승강부(230)에 의하여 상승하여 기판 트레이(10)를 트레이 홀더 유닛(200) 상의 장착 위치에 파지하게 된다.
기판 트레이(10)가 트레이 홀더 유닛(200)에 파지된 후 틸트 유닛(300)과 트레이 홀더 유닛(200)은 이동 유닛(700)의 LM가이드부(720)에 의하여 하부프레임(120) 상의 중앙 위치로 이동하게 되고, 기판 트레이(10)는 틸트 유닛(300)에 의하여 지면과 나란하게 틸트된다.
이 상태에서 기판 이송 유닛(600)의 기판이송 롤러컨베이어(610)가 롤러컨베이어승강부(620)에 의하여 상승하며 기판은 클램핑/언클램핑 유닛(400)에 의하여 기판 트레이(10)로부터 언클램핑된다. 언클램핑된 기판은 상승된 기판이송 롤러컨베이어(610) 상에 안전하게 지지되며 기판이송 롤러컨베이어(610)는 다시 롤러컨베이어승강부(620)에 의하여 하강하며, 기판이송 롤러컨베이어(610) 하강 후 턴 유닛(500)이 턴유닛승강부(530)에 의하여 상승한다.
상승된 턴 유닛(500)은 기판지지부(510)에 의하여 기판을 안정적으로 지지하며 턴부(520)에 의하여 기판을 약 90도 회전시킨다. 기판 회전 후 턴 유닛(500)은 턴유닛승강부(530)에 의하여 다시 하강하며 하강된 기판은 기판이송 롤러컨베이어(610)에 의하여 지면과 나란하게 챔버하우징(110)의 기판 출입구(112)를 향하여 이송된다.
기판이 지면과 나란하게 이송될 때 이동판넬부(710) 상의 기판취출 롤러컨베이어부(740)는 기판이송 롤러컨베이어(610)와 연장선 상에서 기판을 챔버하우징(110)의 기판 출입구(112)로 취출시키고, 이 후 기판은 다음 공정의 챔버로 완전히 이송된다.
기판을 취출한 뒤 기판 트레이(10)는 다시 틸트 유닛(300)에 의하여 지면과 교차되는 방향으로 틸트되며, 기판 트레이(10)가 파지된 트레이 홀더 유닛(200)은 이동 유닛(700)에 의하여 챔버하우징(110)의 트레이 출입구(111)로 기판 트레이(10)를 취출할 수 있는 위치로 이동된다.
트레이 출입구(111)에 맞추어 이동된 트레이 홀더 유닛(200)은 홀더승강부(230)에 의하여 트레이홀더(220)가 하강하고, 기판 트레이(10)는 트레이 롤러컨베이어부(240)와 트레이가이드 롤러컨베이어부(730)에 의하여 챔버하우징(110)의 트레이 출입구(111) 밖으로 취출된다.
이와 같이, 본 발명의 트레이 틸트 장치(1)에 의하면, 수직형 물류 기판 제조 공정에서 트레이 상의 기판을 클램핑/언클램핑할 수 있고 기판 트레이(10)를 틸트하여 기판을 공급할 수 있는 복합장치를 제공함으로써, 기판의 파손을 방지하고 안정적으로 기판을 공급할 수 있으며 풋 프린트(foot print)를 최소화하고 택트 타임(tact time)을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1 : 트레이 틸트 장치
10 : 기판 트레이 20 : 클램프유닛
100 : 장치 본체 110 : 챔버하우징
111 : 트레이 출입구 112 : 기판 출입구
120 : 하부프레임 121 : LM레일
200 : 트레이 홀더 유닛 210 : 홀더유닛본체
220 : 트레이홀더 230 : 홀더승강부
240 : 트레이 롤러컨베이어부 250 : 트레이엔드스토퍼
260 : 스토퍼승강부 300 : 틸트 유닛
310 : 틸트지지부 320 : 틸트동력부
400 : 클램핑/언클램핑 유닛 410 : 클램프유닛푸셔
420 : 푸셔동력부 500 : 턴 유닛
510 : 기판지지부 520 : 턴부
530 : 턴유닛승강부 600 : 기판 이송 유닛
610 : 기판이송 롤러컨베이어 620 : 롤러컨베이어승강부
700 : 이동 유닛 710 : 이동판넬부
720 : LM가이드부 730 : 트레이가이드 롤러컨베이어부
740 : 기판취출 롤러컨베이어부

Claims (20)

  1. 장치 본체;
    상기 장치본체의 내부에 마련되며 지평면과 수직되게 상기 장치 본체에 투입되는 기판 트레이를 파지하는 트레이 홀더 유닛;
    상기 트레이 홀더 유닛에 인접하게 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 지지하며 상기 트레이 홀더 유닛의 기울임 각도를 조절하는 틸트 유닛; 및
    상기 트레이 홀더 유닛의 하부에 마련되어 상기 기판 트레이의 클램프유닛을 가압 및 가압 해제하여 상기 기판 트레이 상에서 기판을 클램핑 및 언클램핑할 수 있는 클램핑/언클램핑 유닛을 포함하며,
    상기 트레이 홀더 유닛은,
    상기 기판 트레이를 지지하는 홀더유닛본체;
    상기 홀더유닛본체에 마련되어 상기 기판 트레이를 파지하는 다수의 트레이홀더; 및
    상기 트레이홀더에 인접하게 마련되며 상기 트레이홀더를 업/다운시키는 홀더승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 회전가능하게 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판의 방향을 전환시키는 턴 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 기판 이송 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 장치 본체 내부에 마련되어 상기 장치 본체 내부에서 상기 틸트 유닛을 이동시키는 이동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 홀더 유닛은,
    상기 기판 트레이를 상기 홀더유닛본체의 장착 위치로 이동시킬 수 있도록 상기 홀더유닛본체의 양측면에 마련되되, 측면에 상기 기판 트레이가 상기 홀더유닛본체의 외부로 이탈되는 것을 방지하는 트레이이탈방지 가이드를 구비한 트레이 롤러컨베어어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 트레이 홀더 유닛은,
    상기 기판 트레이가 장착되는 상기 홀더유닛본체의 단부에 마련되어 상기 기판 트레이가 상기 트레이 롤러컨베이어부를 따라 이동할 때 상기 홀더유닛본체의 외측으로 이탈을 방지하는 트레이엔드스토퍼; 및
    상기 트레이엔드스토퍼를 업/다운시키는 스토퍼승강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 틸트 유닛은,
    상기 트레이 홀더 유닛의 양 측면에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 지지하며 상기 트레이 홀더 유닛이 회전가능하게 결합되는 한 쌍의 틸트지지부; 및
    상기 틸트지지부의 회전축 측면에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 틸트동력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 틸트동력부는 서보 모터(Servo motor)인 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑유닛은,
    중심부가 상기 기판 트레이의 내측에 회전 가능하게 결합되는 클램프회전부;
    상기 클램프회전부의 제1 단부와 나란하게 결합되어 상기 기판을 상기 기판 트레이에 클램핑하는 클램프부;
    상기 클램프회전부의 제2 단부와 교차되는 방향으로 결합되어 가압시 상기 클램프회전부를 회전하게 하여 상기 클램프부가 열린상태가 되도록하는 가압부; 및
    상기 클램프회전부의 중심부 회전축에 연결되어 탄성복원력을 제공하는 탄성부재를 포함하며,
    상기 클램핑/언클램핑 유닛은,
    상기 기판 트레이의 하부에서 상기 클램프유닛의 상기 가압부를 가압하는 클램프유닛푸셔; 및
    상기 클램프유닛푸셔에 동력을 제공하는 푸셔동력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 푸셔동력부는 공압 실린더(Air cylinder)인 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 턴 유닛은,
    상기 기판 트레이 장착 위치의 하부에 마련되어 상기 기판의 하부에서 상기 기판을 지지하는 기판지지부;
    상기 기판지지부와 연결되어 상기 기판지지부를 회전시키는 턴부; 및
    상기 턴부의 하부에 마련되어 상기 기판지지부 및 상기 턴부를 업/다운시키는 턴유닛승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 턴부는 하모닉 드라이버(Harmonic driver)인 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 턴유닛승강부는 공압 실린더인 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  15. 제3항에 있어서,
    상기 기판 이송 유닛은,
    상기 트레이 홀더 유닛의 상기 기판 트레이 장착 위치의 하방에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 이송시키는 다수개의 기판이송 롤러컨베이어; 및
    상기 기판이송 롤러컨베이어의 하부에 마련되어 상기 기판이송 롤러컨베이어를 업/다운시키는 롤러컨베이어승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  16. 제4항에 있어서,
    상기 이동 유닛은,
    상기 틸트 유닛의 하부에 결합되며 상기 틸트 유닛과 일체로 움직이는 이동판넬부; 및
    상기 이동판넬부의 하부에 마련되어 상기 이동판넬부를 일정한 위치로 이동시키는 LM가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 이동 유닛은,
    상기 이동판넬부 상에 상기 기판 트레이가 장착되는 방향의 진입부에 마련되어 상기 트레이 홀더 유닛이 지평면과 교차하는 수직방향으로 틸트되어 있을 때 상기 트레이 홀더 유닛으로 상기 기판 트레이를 이송시키는 트레이가이드 롤러컨베이어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 트레이가이드 롤러컨베이어부는,
    상기 틸트 유닛의 양 측면에 한쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 이동 유닛은,
    상기 이동판넬부 상에 상기 기판 트레이가 장착되는 방향의 단부에 마련되어 상기 기판 트레이로부터 언클램핑된 기판을 상기 장치 본체 외부로 이송하는 기판취출 롤러컨베이어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 장치 본체는,
    외측벽에 상기 기판 트레이가 출입하는 적어도 하나의 트레이 출입구와 언클램핑된 기판이 출입하는 기판 출입구가 마련되는 챔버하우징; 및
    상기 챔버하우징을 지지하는 하부프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 틸트 장치.
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