JP5392945B2 - プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、マスクの上方に負圧室を設け、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。

大型の基板を対象としたプロキシミティ露光装置では、基板を水平に置いた状態で露光を行うのが一般的である。その場合、マスクは、マスクホルダにより、基板の上方に基板と向き合わせて保持され、マスクには、重力によってたわみが発生する。マスクにたわみが発生すると、基板へのパターンの焼付けが均一に行われない。そのため、従来、例えば特許文献１に記載の様に、マスクの上方に負圧室を設け、負圧室にマスクの単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスクのたわみを抑制する方法が行われている。負圧室は、マスクと、マスクホルダと、マスクホルダの露光光が通過する開口の上方に設けたガラス板等の透明な天板とで構成されている。

負圧室を構成するマスク及び天板に塵や汚れ等が付着すると、露光むらが発生するため、塵や汚れ等が付着したマスク又は天板は、きれいなマスク又は天板と交換して、洗浄する必要がある。通常、マスクは、マスクホルダの下面に真空吸着されて保持される。基板を搭載するチャックは、ステージにより、マスクホルダの下方の露光位置と基板の受け渡しを行う受け渡し位置とを移動する。チャックをマスクホルダの下方から移動させると、マスクホルダの下方には十分な空間が確保されるため、マスクの交換は、マスク搬送ロボットを用いて、マスクホルダの下方から行うことができる。

しかしながら、負圧室の天板は、マスクホルダの露光光が通過する開口の上方に設けられ、マスクホルダの上方にはさらに照射光学系が配置されている。マスクホルダの上方には十分な空間がないため、従来、天板の交換は、ロボットを用いて行うことができず、４人程の保守者が装置内に入って人手で行っていた。その際、天板を照射光学系等に衝突させて、天板又は照射光学系等の装置を破損する恐れがあった。また人手で行うため、天板の交換に時間と手間が掛かり、その間は生産ラインが停止して生産性が下がるという問題があった。

これに対し特許文献２には、マスクホルダを、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げ、マスク搬送ロボットにより、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入する技術が開示されている。

特開２００３−１３１３８８号公報 特開２００８−１９１３５２号公報

近年の表示用パネルの大画面化に伴い基板が大型化すると、マスクも大型化し、それに合わせて負圧室の天板も大型化する。マスク搬送ロボットのハンドリングアームは片持式であるため、天板が大型になってその重量が増加すると、天板を搬送する際、ハンドリングアームがたわんで、天板を水平に支持することができなくなり、またハンドリングアームの揺れが大きくなって、マスクホルダの下方へ移動するためのストロークを確保することが困難になってきた。

本発明の課題は、負圧室の天板を安全に搬送することである。

本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を搭載するチャックと、露光光が通過する開口を有し、開口の上方に透明な天板を搭載し、開口の下方にマスクを保持して、天板とマスクとの間に負圧室を形成するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、チャックに設けられ、チャックの内部から上昇して、天板の周辺部を支持する複数の突き上げピンと、マスクホルダに設けられ、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部、及び天板をホルダ部から持ち上げるリフト機構とを備え、マスクホルダが、ホルダ部を移動して、開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンが、天板を、ホルダ部の下方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の上方へ搬入し、マスクホルダが、リフト機構により、天板を複数の突き上げピンから受け取り、ホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、リフト機構により、天板をホルダ部に搭載するものである。

また、本発明のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法は、基板を搭載するチャックと、露光光が通過する開口を有し、開口の上方に透明な天板を搭載し、開口の下方にマスクを保持して、天板とマスクとの間に負圧室を形成するマスクホルダと、チャックを移動するステージとを備え、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法であって、チャックに、チャックの内部から上昇して、天板の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設け、マスクホルダに、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部、及び天板をホルダ部から持ち上げるリフト機構を設け、ホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンにより、天板を、ホルダ部の下方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の上方へ搬入し、リフト機構により、天板を複数の突き上げピンから受け取り、ホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、リフト機構により、天板をホルダ部に搭載するものである。

マスクホルダに、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を設け、ホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を天板より大きく広げるので、天板が、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダへ搬入可能となる。そして、チャックに、チャックの内部から上昇して、天板の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設け、複数の突き上げピンにより、天板を、ホルダ部の下方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の上方へ搬入するので、負圧室の天板が、複数の突き上げピンにより、マスクホルダへ安全に搬入される。天板をマスクホルダへ搬入した後、突き上げピンにより天板の周辺部を支持したままホルダ部を元に戻すと、ホルダ部が突き上げピンと干渉する。そこで、マスクホルダに、天板をホルダ部から持ち上げるリフト機構を設け、リフト機構により、天板を複数の突き上げピンから受け取り、ホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、リフト機構により、天板をホルダ部に搭載する。ホルダ部を移動する前に、突き上げピンを下降させて、ホルダ部が突き上げピンと干渉しない様にすることができる。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、マスクホルダが、リフト機構により、天板をホルダ部から持ち上げ、ホルダ部を移動して、開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンが、天板を、リフト機構から受け取り、ホルダ部の上方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の下方へ搬出するものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法は、リフト機構により、天板をホルダ部から持ち上げ、ホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンにより、天板を、リフト機構から受け取り、ホルダ部の上方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の下方へ搬出するものである。複数の突き上げピンにより、天板を、ホルダ部の上方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の下方へ搬出するので、負圧室の天板が、複数の突き上げピンにより、マスクホルダから安全に搬出される。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、複数の突き上げピンが、天板とほぼ同じ大きさのマスクを支持してマスクホルダに装着するものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法は、天板をマスクとほぼ同じ大きさとし、複数の突き上げピンにより、マスクを支持してマスクホルダに装着するものである。突き上げピンがマスクの搬送にも兼用され、マスクが、複数の突き上げピンにより安全に搬送される。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、複数の突き上げピンが、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを含むものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法は、チャックに、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設けるものである。突き上げピンを、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の搬送に共用することができるので、少ない数の突き上げピンで二種類の天板に対応することができる。

本発明によれば、チャックに、チャックの内部から上昇して、天板の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設け、マスクホルダに、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を設け、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンにより、天板を、ホルダ部の下方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の上方へ搬入することにより、負圧室の天板を、マスクホルダへ安全に搬入することができる。そして、マスクホルダに、天板をホルダ部から持ち上げるリフト機構を設け、リフト機構により、天板を複数の突き上げピンから受け取り、ホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、リフト機構により、天板をホルダ部に搭載することにより、ホルダ部を移動する前に、突き上げピンを下降させて、ホルダ部が突き上げピンと干渉しない様にすることができる。

さらに、リフト機構により、天板をホルダ部から持ち上げ、ホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を天板より大きく広げ、複数の突き上げピンにより、天板を、リフト機構から受け取り、ホルダ部の上方から、マスクホルダの広げた開口を通して、ホルダ部の下方へ搬出することにより、負圧室の天板を、マスクホルダから安全に搬出することができる。

さらに、天板をマスクとほぼ同じ大きさとし、複数の突き上げピンにより、マスクを支持してマスクホルダに装着することにより、突き上げピンをマスクの搬送にも兼用することができ、マスクを安全に搬送することができる。

さらに、チャックに、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設けることにより、突き上げピンを、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の搬送に共用することができるので、少ない数の突き上げピンで二種類の天板に対応することができる。

本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。 本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の平面図である。 チャックの上面図である。 図４（ａ）はチャックに設けられた開口の上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。 図５（ａ）はチャックに設けられた開口の上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ部の断面図である。 突き上げピンユニットの制御系を示す図である。 広視野カメラの配置を示す図である。 突き上げピンユニット及びマスク搬送ロボットの動作を説明する図である。 マスク受け取り位置で負圧ガラスがチャックへ搬入された状態を示す図である。 マスクホルダの下面図である。 マスクホルダの下面図である。 マスクホルダの下面図である。 マスクホルダの上面図である。 負圧ガラスをマスクホルダへ搬入する動作を説明する図である。 負圧ガラスをマスクホルダへ搬入する動作を説明する図である。 負圧ガラスをマスクホルダへ搬入する動作を説明する図である。 負圧ガラスをマスクホルダへ搬入する動作を説明する図である。 図１８（ａ）はリフト機構の上面図、図１８（ｂ），（ｃ）はリフト機構の側面図である。 負圧ガラスをマスクホルダから搬出する動作を説明する図である。 マスクをマスクホルダに装着する動作を説明する図である。

図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の平面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、突き上げピンユニット、突き上げピンユニットの制御系、マスクホルダ２０、マスク搬送ロボット４０、マスクストッカー４２、広視野カメラ５１、高分解能可動カメラ５２、カメラ移動機構５３、高分解能固定カメラ５４、画像処理装置５５、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３、及び主制御装置８０を含んで構成されている。

なお、図１では、突き上げピンユニットの制御系、マスク搬送ロボット４０、マスクストッカー４２、及びカメラ移動機構５３が省略されている。また、図２では、突き上げピンユニットの制御系、画像処理装置５５、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３、及び主制御装置８０が省略されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、ギャップセンサー、アライメント用センサー、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。

なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。

図２において、チャック１０は、マスク２の受け取りを行うマスク受け取り位置にある。マスク搬送ロボット４０は、負圧室の天板と成る透明な負圧ガラス２３を、マスクストッカー４２から取り出して、マスク受け取り位置にあるチャック１０へ搬入し、また負圧ガラス２３を、マスク受け取り位置にあるチャック１０から搬出して、マスクストッカー４２に収納する。また、マスク搬送ロボット４０は、マスク２を、マスクストッカー４２から取り出して、マスク受け取り位置にあるチャック１０へ搬入し、またマスク２を、マスク受け取り位置にあるチャック１０から搬出して、マスクストッカー４２に収納する。マスク搬送ロボット４０のハンドリングアーム４１には、マスク２のパターン面（下面）のパターンが形成されていない周辺部に接触するマスク支持部４１ａが設けられており、ハンドリングアーム４１は、マスク支持部４１ａによりマスク２のパターン面（下面）の周辺部を支持する。

後述する突き上げピンユニットの突き上げピンは、負圧ガラス２３をチャック１０へ搬入する際、マスク搬送ロボット４０のハンドリングアーム４１から負圧ガラス２３を受け取り、負圧ガラス２３をチャック１０から搬出する際、マスク搬送ロボット４０のハンドリングアーム４１へ負圧ガラス２３を受け渡す。チャック１０へ搬入された負圧ガラス２３は、後述する様に、マスクホルダ２０の下のマスク装着位置へ移動され、マスク装着位置においてマスクホルダ２０に搭載される。

同様に、後述する突き上げピンユニットの突き上げピンは、マスク２をチャック１０へ搬入する際、マスク搬送ロボット４０のハンドリングアーム４１からマスク２を受け取り、マスク２をチャック１０から搬出する際、マスク搬送ロボット４０のハンドリングアーム４１へマスク２を受け渡す。チャック１０へ搬入されたマスク２は、後述する様に、マスクホルダ２０の下のマスク装着位置へ移動され、マスク装着位置においてマスクホルダ２０に装着される。

基板の露光を行う際、チャック１０は、まず、基板のロード／アンロードを行うロード／アンロード位置へ移動される。ロード／アンロード位置において、基板がチャック１０にロードされ、また基板がチャック１０からアンロードされる。基板がロードされたチャック１０は、ロード／アンロード位置から基板の露光を行う露光位置へ移動される。

露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０は、露光光が通過する開口を有し、開口の上方に負圧ガラス２３を搭載し、開口の下方にマスク２を保持して、負圧ガラス２３とマスク２との間に負圧室を形成する。マスクホルダ２０は、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。

図１において、チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図１の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図１の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０の裏面を複数個所で支持する。Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、θステージ駆動回路７３は、主制御装置８０の制御により、Ｘステージ５、Ｙステージ７、θステージ８をそれぞれ駆動する。

Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、基板のアライメントが行われる。また、図示しないＺ−チルト機構によりマスクホルダ２０をＺ方向（図１の図面上下方向）へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせが行われる。

なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板とのギャップ合わせを行ってもよい。

図３は、チャックの上面図である。チャック１０の表面には、図示しない凸部と土手と吸着孔とが設けられている。凸部は、直径数ｍｍのピン形状であり、チャック１０の表面に所定の間隔で複数設けられている。チャック１０に基板が搭載されたとき、凸部は、基板を複数の点で支持する。このとき、チャック１０の表面の凸部以外の部分と基板との間には、空間が形成される。土手は、所定の幅の連続した壁であり、チャック１０の表面の凸部以外の部分と基板との間に形成された空間を、複数の真空区画に分ける。土手は、チャック１０の表面形状が基板の表面に焼き付けられる裏面転写が発生したときに人間の目で認識され難い様に、直線ではなく不規則な線で構成されている。吸着孔は、チャック１０の表面の凸部及び土手以外の部分に所定の間隔で複数設けられ、土手により分けられた各真空区画の真空引きを行う。

また、チャック１０には、図示しない複数の基板受け取り／受け渡し用の突き上げピンが設けられている。基板受け取り／受け渡し用の突き上げピンは、チャック１０の表面より上昇して、基板をチャック１０にロードする際、図示しない基板搬送ロボットから基板を受け取り、また基板をチャックからアンロードする際、図示しない基板搬送ロボットへ基板を受け渡す。

図３において、チャック１０の中央部付近には、後述する突き上げピンユニットが挿入される複数の開口が設けられており、開口には蓋１３がはめられている。蓋１３には貫通孔が設けられており、貫通孔には蓋１３の下方から突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃが挿入されている。

本実施の形態は、マスク２ａ及びマスク２ａと縦横いずれかの長さが異なるマスク２ｂの二種類のマスクと、マスク２ａとほぼ同じ大きさの負圧ガラス２３ａ及びマスク２ｂとほぼ同じ大きさの負圧ガラス２３ａの二種類の負圧ガラスとを取り扱う例を示している。図３において、マスク２ａ，２ｂ及び負圧ガラス２３ａ，２３ｂは、破線で示されている。マスク２ａを取り扱うとき、突き上げピン１２ｃは、マスク２ａのマスク２ｂと間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持し、突き上げピン１２ａは、マスク２ａの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する。マスク２ｂを取り扱うとき、突き上げピン１２ｃは、マスク２ｂのマスク２ａと間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持し、突き上げピン１２ｂは、マスク２ｂの残りの向かい合う二辺の周辺部を支持する。また、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを取り扱うとき、突き上げピン１２ｃは、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する。

突き上げピン１２ｃを、マスク２ａ及びマスク２ａと縦横いずれかの長さが異なるマスク２ｂの搬送に共用することができるので、少ない数の突き上げピンで二種類のマスクに対応することができる。また、突き上げピン１２ｃを、負圧ガラス２３ａ及び負圧ガラス２３ａと縦横いずれかの長さが異なる負圧ガラス２３ｂの搬送に共用することができるので、少ない数の突き上げピンで二種類の負圧ガラスに対応することができる。そして、突き上げピン１２ｃを、マスク２ａ，２ｂの搬送及び負圧ガラス２３ａ，２３ｂの搬送に兼用することができる。

なお、本実施の形態では、突き上げピン１２ａが８本、突き上げピン１２ｂが４本、突き上げピン１２ｃが８本設けられているが、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの位置及び数は、マスク２ａ，２ｂの大きさに応じて適宜決定される。

図４（ａ）はチャックに設けられた開口の上面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。また、図５（ａ）はチャックに設けられた開口の上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ部の断面図である。突き上げピンユニットは、モータ１１、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、蓋１３、フランジ１４、ボルト１５，１７、及び止めねじ１６を含んで構成されている。

モータ１１は、パルスモータ又はサーボモータと、パルスモータ又はサーボモータに接続されたボールねじと、ロッドとを含んで構成され、パルスモータ又はサーボモータでボールねじを駆動することにより、ロッド収納部１１ａ内に収納されたロッドが、上昇及び下降する。モータ１１のロッドの先端には、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃが取り付けられている。

図４（ｂ）において、モータ１１のロッド収納部１１ａの上面には、フランジ１４が取り付けられ、フランジ１４は、ボルト１５により蓋１３の裏面に固定されている。一方、チャック１０の裏面の開口周辺には、蓋１３を支持するリング状の支持プレート１８が取り付けられている。支持プレート１８は、ボルト１９によりチャック１０の裏面に固定されている。

図４（ａ）及び図５（ａ）において、蓋１３の周辺部には、止めねじ１６をねじ込むねじ穴と、ボルト１７を通す段差付き穴とが、複数箇所に設けられている。図４（ｂ）において、蓋１３は、蓋１３の周辺部の段差付き穴に通したボルト１７により、支持プレート１８に固定されている。図５（ｂ）において、止めねじ１６は、蓋１３の周辺部のねじ穴にねじ込まれ、蓋１３の底面から突き出て、支持プレート１８の上面に接触している。

本実施の形態では、突き上げピンユニットをチャック１０に取り付ける際、まず、チャック１０の上方から、突き上げピンユニットを開口に挿入し、止めねじ１６のねじ込み量を調整して、突き上げピンユニットの取り付け高さを調整する。そして、ボルト１７により蓋１３を支持プレート１８に固定して、突き上げピンユニットをチャック１０に取り付ける。突き上げピンユニットを、チャック１０の上方から、開口に挿入し、止めねじ１６により取り付け高さを調整して、チャック１０に取り付けるので、チャック１０の外側から手又は治具が届きにくいチャックの中央部付近であっても、突き上げピンユニットの取り付け高さの調整がチャック１０の上方から容易に行われる。従って、基板の大型化に伴いチャック１０が大型化しても、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの高さが容易に調整される。

図６は、突き上げピンユニットの制御系を示す図である。突き上げピン駆動制御回路５０は、主制御装置８０の制御により、各突き上げピンユニットのモータ１１に対して、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの移動先を指定して、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの移動先への移動を指示する。モータ１１は、内部にエンコーダを有し、エンコーダは、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃが指示された移動先から所定の範囲内に達すると、移動が終了した旨の終了信号を、突き上げピン駆動制御回路５０へ出力する。

以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法について説明する。図２において、マスク受け取り位置にあるチャック１０の上空には、広視野カメラ５１が配置されている。図７は、広視野カメラの配置を示す図である。図７において、マスク２ａ，２ｂ及び負圧ガラス２３ａ，２３ｂは、破線で示されている。広視野カメラ５１は、マスク２ａ，２ｂ及び負圧ガラス２３ａ，２３ｂに設けられた位置検出用マークの上方に配置され、マスク２ａ，２ｂ及び負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークの画像を取得する。

図８は、突き上げピンユニット及びマスク搬送ロボットの動作を説明する図である。図８は、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを搬送する場合を示している。負圧ガラス２３ａ，２３ｂをチャック１０へ搬入する際、まず、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２ｃを上昇させる（図８（ａ））。マスク搬送ロボット４０は、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを載せたハンドリングアーム４１を、チャック１０の上空へ移動する（図８（ａ））。次に、マスク搬送ロボット４０は、ハンドリングアーム４１を下降させて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを突き上げピン１２ｃに載せ（図８（ｂ））、ハンドリングアーム４１をさらに下降させて、ハンドリングアーム４１のマスク支持部４１ａを負圧ガラス２３ａ，２３ｂから離す（図８（ｃ））。これにより、各突き上げピン１２ｃは、マスク搬送ロボット４０から負圧ガラス２３ａ，２３ｂを受け取る。次に、マスク搬送ロボット４０は、ハンドリングアーム４１をチャック１０の上空から退避させる（図８（ｄ））。負圧ガラス２３ａ，２３ｂをチャック１０から搬出する際は、上記と逆の動作を行う。マスク２ａを搬送する場合は、突き上げピン１２ｃと共に、突き上げピン１２ａが用いられる。マスク２ｂを搬送する場合は、突き上げピン１２ｃと共に、突き上げピン１２ｂが用いられる。

チャック１０の内部から上昇する突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及び突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを上下に移動するモータ１１を有する複数の突き上げピンユニットをチャック１０に設け、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク搬送ロボット４０から負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ、２ｂを受け取るので、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂがチャック１０に搭載する基板より小さくても、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂをチャック１０へ搬入することができる。

図９は、マスク受け取り位置で負圧ガラスがチャックへ搬入された状態を示す図である。マスク受け取り位置にあるチャック１０の上空に配置された広視野カメラ５１は、後述する高分解能可動カメラ５２及び高分解能固定カメラ５４よりも分解能が低くて広い視野を有し、突き上げピン１２ｃに載せられた負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークの画像を取得して、画像信号を図１の画像処理装置５５へ出力する。画像処理装置５５は、広視野カメラ５１が出力した画像信号を処理して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置を検出する。

マスク２ａを搬送する場合は、突き上げピン１２ｃと共に、突き上げピン１２ａが用いられる。マスク２ｂを搬送する場合は、突き上げピン１２ｃと共に、突き上げピン１２ｂが用いられる。そして、広視野カメラ５１は、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃに載せられたマスク２ａ，２ｂの位置検出用マークの画像を取得して、画像信号を図１の画像処理装置５５へ出力する。画像処理装置５５は、広視野カメラ５１が出力した画像信号を処理して、マスク２ａ，２ｂの位置を検出する。

突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃがマスク搬送ロボット４０から受け取った負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置が大きくずれていても、広視野カメラ５１を用いて負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置検出用マークの画像が短時間に取得され、マスク受け取り位置で負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置が短時間に検出される。

図１において、主制御装置８０は、画像処理装置５５が広視野カメラ５１の画像信号を処理して検出した負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置の検出結果を入力し、予め記憶したマスク受け取り位置での負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの基準位置と比較して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置のずれ量を検出する。続いて、主制御装置８０は、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、及びθステージ駆動回路７３を制御して、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動し、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂをマスク受け取り位置からマスクホルダ２０の下のマスク装着位置へ移動する。その際、主制御装置８０は、予め記憶した負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの基準位置の座標とマスク装着位置の座標とから、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８の移動量を決定し、検出した負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置のずれ量に基づいて、決定した移動量を補正する。

マスク受け取り位置で負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置を検出し、検出した負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置に基づき、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂをマスク受け取り位置からマスク装着位置へ移動するので、マスク受け取り位置で突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク搬送ロボット４０から受け取った負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂの位置がずれていても、負圧ガラス２３ａ，２３ｂ又はマスク２ａ，２ｂがマスク装着位置へ精度良く移動される。

図１０〜図１２は、マスクホルダの下面図である。図１０はマスク２ａを装着する場合、図１１はマスク２ｂを装着する場合を示している。図１０及び図１１において、マスク２ａ，２ｂは、破線で示されている。マスクホルダ２０には、露光光が通る開口２０ａ，２０ｂよりも一回り大きな開口が設けられており、この開口の内側に、ホルダ部２１ａ，２１ｂによって露光光が通る開口２０ａ，２０ｂが形成されている。ホルダ部２１ａ，２１ｂは、ガイド２４を介してマスクホルダ２０の下面に取り付けられており、図示しないボールねじ及びモータ等の移動機構によって、ガイド２４に沿って移動される。ホルダ部２１ｂをガイド２４に沿って移動することにより、露光光が通る開口２０ａ，２０ｂの図面縦方向の長さが、マスク２ａ，２ｂの大きさに合わせて変更される。ホルダ部２１ａ，２１ｂには、図示しない吸着溝が設けられており、ホルダ部２１ａ，２１ｂは、マスク２ａ，２ｂの周辺部を吸着溝により真空吸着して保持する。図１２は、ホルダ部２１ａ，２１ｂを移動して、マスクホルダ２０の開口２０ａ，２０ｂを、マスク２ａ，２ｂより大きく広げた場合を示している。

図１３は、マスクホルダの上面図である。図１３は、マスク２ａを装着する場合を示している。ホルダ部２１ａには、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークの位置に、後述するマスク位置検出窓が設けられており、マスク位置検出窓の上空には、高分解能可動カメラ５２及び高分解能固定カメラ５４が配置されている。高分解能可動カメラ５２は、カメラ移動機構５３に取り付けられており、カメラ移動機構５３により、マスクホルダ２０の上方でＸ方向及びＹ方向へ移動され、θ方向へ回転される。高分解能固定カメラ５４は、マスクホルダ２０の上方に固定されている。

図１４〜図１７は、負圧ガラスをマスクホルダへ搬入する動作を説明する図である。図１４〜図１７は、負圧ガラス２３ａを搬入する場合を示しているが、負圧ガラス２３ｂを搬入する場合も同様である。図１４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、マスクホルダ２０の一部断面側面図を示し、図１５〜図１７は、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上から見た状態を示している。負圧ガラス２３ａ，２３ｂをマスクホルダ２０へ搬入する際、マスクホルダ２０は、図１４（ａ）及び図１５に示す様に、ホルダ部２１ａ，２１ｂを移動して、マスクホルダ２０の開口２０ａ，２０ｂを、負圧ガラス２３ａ，２３ｂより大きく広げる。

マスクホルダ２０に、開口２０ａ，２０ｂを形成する複数の移動可能なホルダ部２１ａ，２１ｂを設け、ホルダ部２１ａ，２１ｂを移動して、マスクホルダの開口２０ａ，２０ｂを負圧ガラス２３ａ，２３ｂより大きく広げるので、負圧ガラス２３ａ，２３ｂが、マスクホルダの広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、マスクホルダ２０へ搬入可能となる。

図１４（ａ）において、各突き上げピンユニットのモータ１１は、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークが高分解能固定カメラ５４の焦点範囲に入る高さまで、突き上げピン１２ｃを上昇させる。高分解能固定カメラ５４は、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークの画像を取得する。このとき、マスク装着位置へ移動した負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置がわずかにずれて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークが高分解能固定カメラ５４の視野から外れている場合、Ｘステージ５及びＹステージ７よりチャック１０を移動して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置検出用マークを高分解能固定カメラ５４の視野に入れる。高分解能固定カメラ５４は、取得した画像の画像信号を、図１の画像処理装置５５へ出力する。画像処理装置５５は、高分解能固定カメラ５４が出力した画像信号を処理して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置を検出する。

図１において、主制御装置８０は、画像処理装置５５が高分解能固定カメラ５４の画像信号を処理して検出した負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置の検出結果を入力し、予め記憶したマスク装着位置での負圧ガラス２３ａ，２３ｂの基準位置と比較して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置のずれ量を検出する。そして、主制御装置８０は、検出した負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置のずれ量に基づいて、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、及びθステージ駆動回路７３を制御して、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動し、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置決めを行う。マスク装着位置において負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置がずれていても、高分解能可動カメラ５２を用いて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置が精度良く検出され、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置決めが精度良く行われる。

負圧ガラス２３ａ，２３ｂの位置決め終了後、各突き上げピンユニットのモータ１１は、図１４（ｂ）に示す様に、突き上げピン１２ｃをさらに上昇させて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方へ搬入する。突き上げピン１２ｃが負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂの上方へ搬入した後、マスクホルダ２０は、図１６に示す様に、ホルダ部２１ｂを元の位置へ戻す。

ホルダ部２１ｂの上面には、リフト機構３０が設けられている。 図１８（ａ）はリフト機構の上面図、図１８（ｂ），（ｃ）はリフト機構の側面図である。リフト機構３０は、リフト爪３１、軸受３２、ローラ３３、スライダ３４、ガイド３５、アーム３６、及びエアシリンダ３７を含んで構成されている。図１８（ａ）に示す様に、ホルダ部２１ｂには、リフト機構３０を設置する溝２５が設けられており、溝２５内には、リフト爪３１が軸受３２により取り付けられている。図１８（ｂ），（ｃ）に示す様に、リフト爪３１は、軸受３２の軸３２ａを中心に回転可能となっている。リフト爪３１の一端には、ローラ３３が取り付けられており、ローラ３３は、スライダ３４のテーパ部３４ａに接触している。スライダ３４は、溝２５内に設けたガイド３５に搭載されており、スライダ３４には、アーム３６を介して、エアシリンダ３７のロッドが接続されている。図１８（ｂ）に示す様に、エアシリンダ３７のロッドが前進すると、スライダ３４がガイド３５に沿って図面左方向へ移動し、ローラ３３がスライダ３４のテーパ部３４ａに押されて下降して、リフト爪３１の他端がホルダ部２１ｂの表面よりも上昇する。図１８（ｃ）に示す様に、エアシリンダ３７のロッドが後退すると、スライダ３４がガイド３５に沿って図面右方向へ移動し、ローラ３３がスライダ３４のテーパ部３４ａに接触しながら上昇して、リフト爪３１の他端がホルダ部２１ｂの表面よりも下降する。

図１６に示す様に、ホルダ部２１ｂを元の位置へ戻した後、マスクホルダ２０は、図１８（ｂ）に示す様に、リフト機構３０のリフト爪３１を上昇させる。各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２ｃを下降させて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをリフト爪３１に載せ、突き上げピン１２ｃをさらに下降させてチャック１０の内部へ収納する。これにより、リフト機構３０のリフト爪３１は、突き上げピン１２ｃから負圧ガラス２３ａ，２３ｂを受け取る。

リフト機構３０により負圧ガラス２３ａ，２３ｂを受け取った後、マスクホルダ２０は、図１７に示す様に、ホルダ部２１ａを元の位置へ戻す。そして、マスクホルダ２０は、図１８（ｃ）に示す様に、リフト機構３０のリフト爪３１を下降させて、図１４（ｃ）及び図１８（ｃ）に示す様に、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂに搭載する。

チャック１０に、チャック１０の内部から上昇して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの周辺部を支持する複数の突き上げピン１２ｃを設け、複数の突き上げピン１２ｃにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方へ搬入するので、負圧ガラス２３ａ，２３ｂが、複数の突き上げピン１２ｃにより、マスクホルダ２０へ安全に搬入される。そして、ホルダ部２１ｂに、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂから持ち上げるリフト機構３０を設け、リフト機構３０により、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを複数の突き上げピン１２ｃから受け取り、ホルダ部２１ａを元に戻した後、リフト機構３０により、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂに搭載するので、ホルダ部２１ａを元に戻す前に、突き上げピン１２ｃを下降させて、ホルダ部２１ａが突き上げピン１２ｃと干渉しない様にすることができる。

図１９は、負圧ガラスをマスクホルダから搬出する動作を説明する図である。負圧ガラス２３ａ，２３ｂをマスクホルダ２０から搬出する際、マスクホルダ２０は、図１８（ｂ）に示す様に、リフト機構３０のリフト爪３１を上昇させて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂから持ち上げる。そして、マスクホルダ２０は、図１６に示す様に、ホルダ部２１ａを開く。各突き上げピンユニットのモータ１１は、図１９（ａ）に示す様に、突き上げピン１２ｃを上昇させて、突き上げピン１２ｃにより、リフト爪３１から負圧ガラス２３ａ，２３ｂを受け取る。突き上げピン１２ｃが負圧ガラス２３ａ，２３ｂを受け取った後、マスクホルダ２０は、図１５に示す様に、ホルダ部２１ｂを開き、マスクホルダ２０の開口２０ａ，２０ｂを、負圧ガラス２３ａ，２３ｂより大きく広げる。

各突き上げピンユニットのモータ１１は、図１９（ｂ）に示す様に、突き上げピン１２ｃを下降させて、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方へ搬入する。突き上げピン１２ｃが負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂの下方へ搬入した後、マスクホルダ２０は、ホルダ部２１ａ，２１ｂを元の位置へ戻す。複数の突き上げピン１２ｃにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方へ搬出するので、負圧ガラス２３ａ，２３ｂが、複数の突き上げピン１２ｃにより、マスクホルダ２０から安全に搬出される。

次に、マスクをマスクホルダに装着する動作について説明する。図２０は、マスクをマスクホルダに装着する動作を説明する図である。図２０は、マスク２ａを装着する場合を示しており、マスク２ｂを装着する場合は、突き上げピン１２ａの代わりに、突き上げピン１２ｂが用いられる。マスク装着位置において、マスクホルダ２０にマスク２ａ，２ｂを装着する際、まず、各突き上げピンユニットのモータ１１は、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークが高分解能可動カメラ５２の焦点範囲に入る高さまで、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを上昇させる（図２０（ａ））。高分解能可動カメラ５２は、ホルダ部２１ａに設けられたマスク位置検出窓２２を通して、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークの画像を取得する。このとき、マスク装着位置へ移動したマスク２ａ，２ｂの位置がわずかにずれて、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークが高分解能可動カメラ５２の視野から外れている場合、カメラ移動機構５３により高分解能可動カメラ５２を移動して、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークを高分解能可動カメラ５２の視野に入れる。高分解能可動カメラ５２は、取得した画像の画像信号を、図１の画像処理装置５５へ出力する。画像処理装置５５は、高分解能可動カメラ５２が出力した画像信号を処理して、マスク２ａ，２ｂの位置を検出する。

図１において、主制御装置８０は、画像処理装置５５が高分解能可動カメラ５２の画像信号を処理して検出したマスク２ａ，２ｂの位置の検出結果を入力し、予め記憶したマスク装着位置でのマスク２ａ，２ｂの基準位置と比較して、マスク２ａ，２ｂの位置のずれ量を検出する。そして、主制御装置８０は、検出したマスク２ａ，２ｂの位置のずれ量に基づいて、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、及びθステージ駆動回路７３を制御して、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動し、マスク２ａ，２ｂの位置決めを行う。マスク装着位置においてマスク２ａ，２ｂの位置がずれていても、高分解能可動カメラ５２を用いて、マスク２ａ，２ｂの位置が精度良く検出され、マスク２ａ，２ｂの位置決めが精度良く行われる。

図２０において、マスク２ａ，２ｂの位置決め終了後、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃをさらに上昇させて、マスク２ａ，２ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂへ押し付ける（図２０（ｂ））。ホルダ部２１ａ，２１ｂへ押し付けられたマスク２ａ，２ｂの上空には、負圧ガラス２３ａが設置されており、負圧ガラス２３ａとマスク２ａ，２ｂとの間に負圧室が形成される。負圧室内の圧力が制御された後、ホルダ部２１ａ，２１ｂは、図示しない吸着溝によりマスク２ａ，２ｂの周辺部を真空吸着する。

Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動してマスク２ａ，２ｂの位置決めを行い、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク２ａ，２ｂをマスクホルダ２０に装着するので、チャック１０へ搬入したマスク２ａ，２ｂが、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８により精度良く位置決めされて、マスクホルダ２０に装着される。

ホルダ部２１ａ，２１ｂがマスク２ａ，２ｂを真空吸着した後、高分解能固定カメラ５４は、ホルダ部２１ａに設けられたマスク位置検出窓２２を通して、マスク２ａ，２ｂの位置検出用マークの画像を取得し、画像信号を図１の画像処理装置５５へ出力する。画像処理装置５５は、高分解能固定カメラ５４が出力した画像信号を処理して、マスク２ａ，２ｂの位置を検出する。

図１において、主制御装置８０は、画像処理装置５５が高分解能固定カメラ５４の画像信号を処理して検出したマスク２ａ，２ｂの位置の検出結果を入力し、予め記憶したマスク装着位置でのマスク２ａ，２ｂの基準位置と比較して、マスク２ａ，２ｂの位置のずれ量を検出し、マスク２ａ，２ｂの位置の補正が必要か否かを判断する。本実施の形態では、高分解能可動カメラ５２を移動してマスク２ａ，２ｂの位置を検出した場合、マスク２ａ，２ｂの位置の検出結果には、高分解能可動カメラ５２の移動誤差が含まれることとなる。そのため、画像処理装置５５が高分解能可動カメラ５２の画像信号を処理して検出したマスク２ａ，２ｂの位置に基づいて位置決めされたマスク２ａ，２ｂの位置が、マスク２ａ，２ｂの基準位置からずれる恐れがある。

マスク２ａ，２ｂの位置の補正が必要な場合、マスク２ａ，２ｂの真空吸着を解除し、負圧室内の圧力を大気圧に戻した後、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを下降させて、マスク２ａ，２ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂから離す。そして、主制御装置８０は、検出したマスク２ａ，２ｂの位置のずれ量に基づいて、Ｘステージ駆動回路７１、Ｙステージ駆動回路７２、及びθステージ駆動回路７３を制御して、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８によりチャック１０を移動し、マスク２ａ，２ｂの位置を補正する。マスクホルダ２０の上方に固定された高分解能固定カメラ５４を用いて、マスク２ａ，２ｂの位置がより精度良く検出され、位置決めしたマスク２ａ，２ｂの位置が精度良く補正される。

マスク２ａ，２ｂの位置の補正を行った後、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを再び上昇させて、マスク２ａ，２ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂへ押し付ける。負圧室内の圧力を制御した後、ホルダ部２１ａ，２１ｂは、図示しない吸着溝によりマスク２ａ，２ｂを真空吸着する。マスク２ａ，２ｂの装着が終了した後、各突き上げピンユニットのモータ１１は、突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを下降させる（図２０（ｃ））。突き上げピン１２ｃがマスク２ａ，２ｂの搬送にも兼用され、マスク２ａ，２ｂが安全に搬送される。

以上説明した実施の形態によれば、チャック１０に、チャック１０の内部から上昇して、負圧ガラス２３ａ，２３ｂの周辺部を支持する複数の突き上げピン１２ｃを設け、マスクホルダ２０に、開口２０ａ，２０ｂを形成する複数の移動可能なホルダ部２１ａ，２１ｂを設け、ホルダ部２１ａ，２１ｂを移動してマスクホルダの開口２０ａ，２０ｂを負圧ガラス２３ａ，２３ｂより大きく広げ、複数の突き上げピン１２ｃにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方へ搬入することにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、マスクホルダ２０へ安全に搬入することができる。そして、マスクホルダ２０に、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂから持ち上げるリフト機構３０を設け、リフト機構３０により、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを複数の突き上げピン１２ｃから受け取り、ホルダ部２１ａを移動して、開口２０ａ，２０ｂを負圧ガラス２３ａ，２３ｂより小さくした後、リフト機構３０により、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂに搭載することにより、ホルダ部２１ａを移動する前に、突き上げピン１２ｃを下降させて、ホルダ部２１ａが突き上げピン１２ｃと干渉しない様にすることができる。

さらに、リフト機構３０により、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをホルダ部２１ａ，２１ｂから持ち上げ、ホルダ部２１ａ，２１ｂを移動して、マスクホルダ２０の開口２０ａ，２０ｂを負圧ガラス２３ａ，２３ｂより大きく広げ、複数の突き上げピン１２ｃにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、リフト機構３０から受け取り、ホルダ部２１ａ，２１ｂの上方から、マスクホルダ２０の広げた開口２０ａ，２０ｂを通して、ホルダ部２１ａ，２１ｂの下方へ搬出することにより、負圧ガラス２３ａ，２３ｂを、マスクホルダ２０から安全に搬出することができる。

さらに、負圧ガラス２３ａ，２３ｂをマスク２ａ，２ｂとほぼ同じ大きさとし、複数の突き上げピン１２ｃにより、マスク２ａ，２ｂを支持してマスクホルダ２０に装着することにより、突き上げピン１２ｃをマスク２ａ，２ｂの搬送にも兼用することができ、マスク２ａ，２ｂを安全に搬送することができる。

さらに、チャック１０に、負圧ガラス２３ａ及び負圧ガラス２３ａと縦横いずれかの長さが異なる負圧ガラス２３ｂの、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピン１２ｃを設けることにより、突き上げピン１２ｃを、負圧ガラス２３ａ及び負圧ガラス２３ａと縦横いずれかの長さが異なる負圧ガラス２３ｂの搬送に共用することができるので、少ない数の突き上げピンで二種類の負圧ガラスに対応することができる。

１ 基板
２，２ａ，２ｂ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
１１ モータ
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 突き上げピン
１３ 蓋
１４ フランジ
１５，１７，１９ ボルト
１６ 止めねじ
１８ 支持プレート
２０ マスクホルダ
２１ａ，２１ｂ ホルダ部
２２ マスク位置検出窓
２３ａ，２３ｂ 負圧ガラス
２４ ガイド
２５ 溝
３０ リフト機構
３１ リフト爪
３２ 軸受
３３ ローラ
３４ スライダ
３５ ガイド
３６ アーム
３７ エアシリンダ
４０ マスク搬送ロボット
４１ ハンドリングアーム
４１ａ マスク支持部
４２ マスクストッカー
５０ 突き上げピン駆動制御回路
５１ 広視野カメラ
５２ 高分解能可動カメラ
５３ カメラ移動機構
５４ 高分解能固定カメラ
５５ 画像処理装置
７１ Ｘステージ駆動回路
７２ Ｙステージ駆動回路
７３ θステージ駆動回路
８０ 主制御装置

Claims (8)

1. 基板を搭載するチャックと、
   露光光が通過する開口を有し、開口の上方に透明な天板を搭載し、開口の下方にマスクを保持して、天板とマスクとの間に負圧室を形成するマスクホルダと、
   前記チャックを移動するステージとを備え、
   負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
   前記チャックに設けられ、前記チャックの内部から上昇して、天板の向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンと、
   天板の前記複数の突き上げピンが支持する二辺側と前記複数の突き上げピンが支持しない二辺側とに分かれて、前記マスクホルダに設けられ、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部と、
   前記複数の突き上げピンが支持しない二辺側の前記ホルダ部に設けられ、天板を両ホルダ部から持ち上げるリフト機構とを備え、
   前記マスクホルダは、前記両ホルダ部を移動して、開口を天板より大きく広げ、
   前記複数の突き上げピンは、天板を、前記両ホルダ部の下方から、前記マスクホルダの広げた開口を通して、前記両ホルダ部の上方へ搬入し、
   前記マスクホルダは、前記複数の突き上げピンが支持しない二辺側の前記ホルダ部を元に戻して、前記リフト機構により、天板を前記複数の突き上げピンから受け取り、前記複数の突き上げピンが支持する二辺側の前記ホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、前記リフト機構により、天板を前記両ホルダ部に搭載することを特徴とするプロキシミティ露光装置。
2. 前記マスクホルダは、前記リフト機構により、天板を前記両ホルダ部から持ち上げ、前記複数の突き上げピンが支持する二辺側の前記ホルダ部を移動して、開口を前記複数の突き上げピンの外側に広げ、
   前記複数の突き上げピンは、天板を、前記リフト機構から受け取り、
   前記マスクホルダは、前記複数の突き上げピンが支持しない二辺側の前記ホルダ部を移動して、開口を天板より大きく広げ、
   前記複数の突き上げピンは、天板を、前記両ホルダ部の上方から、前記マスクホルダの広げた開口を通して、前記両ホルダ部の下方へ搬出することを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
3. 前記複数の突き上げピンは、天板とほぼ同じ大きさのマスクを支持して前記マスクホルダに装着することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
4. 前記複数の突き上げピンは、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置。
5. 基板を搭載するチャックと、
   露光光が通過する開口を有し、開口の上方に透明な天板を搭載し、開口の下方にマスクを保持して、天板とマスクとの間に負圧室を形成するマスクホルダと、
   チャックを移動するステージとを備え、
   負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法であって、
   チャックに、チャックの内部から上昇して、天板の向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設け、
   マスクホルダに、天板の複数の突き上げピンにより支持される二辺側と複数の突き上げピンにより支持されない二辺側とに分けて、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を設け、
   複数の突き上げピンにより支持されない二辺側のホルダ部に、天板を両ホルダ部から持ち上げるリフト機構を設け、
   両ホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を天板より大きく広げ、
   複数の突き上げピンにより、天板を、両ホルダ部の下方から、マスクホルダの広げた開口を通して、両ホルダ部の上方へ搬入し、
   複数の突き上げピンにより支持されない二辺側のホルダ部を元に戻して、リフト機構により、天板を複数の突き上げピンから受け取り、複数の突き上げピンにより支持される二辺側のホルダ部を移動して、開口を天板より小さくした後、リフト機構により、天板を両ホルダ部に搭載することを特徴とするプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法。
6. リフト機構により、天板を両ホルダ部から持ち上げ、
   複数の突き上げピンにより支持される二辺側のホルダ部を移動して、マスクホルダの開口を複数の突き上げピンの外側に広げ、
   複数の突き上げピンにより、天板を、リフト機構から受け取り、
   複数の突き上げピンにより支持されない二辺側のホルダ部を移動して、開口を天板より大きく広げ、
   複数の突き上げピンにより、天板を、両ホルダ部の上方から、マスクホルダの広げた開口を通して、両ホルダ部の下方へ搬出することを特徴とする請求項５に記載のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法。
7. 天板をマスクとほぼ同じ大きさとし、
   複数の突き上げピンにより、マスクを支持してマスクホルダに装着することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法。
8. チャックに、第１の天板及び第１の天板と縦横いずれかの長さが異なる第２の天板の、間隔が同じ向かい合う二辺の周辺部を支持する複数の突き上げピンを設けることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の負圧室の天板搬送方法。

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