JP2013110192A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロードポート装置において載置台を支持するベース部材を、該ロードポート装置の取付け面側に配置される前方車輪を有する第一の支持ユニット及び該前方車輪より離れて配置される後方車輪を有する第二の支持ユニットにより支持することとし、ベース部材に対する第一の支持ユニットによる前方車輪の昇降の操作と第二の支持ユニットによる後方車輪の昇降の操作とを独立して行うこととする。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であることを特徴とするロードポート装置。 - 前記第一の支持ユニットは、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降させる第一の昇降手段と、前記第一の昇降手段とは独立して前記前方車輪が前記ベース部材を支持しない位置に前記前方車輪を移動させる移動手段と、有することを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記ベース部材は、前記取付け面に固定可能であって前記取付け面に平行に延在する接続プレートと、前記接続プレートに連結されて前記接続プレートの前記取付け面への固定時に前記取付け面より突出するように配置される板状体からなるメインベースと、からなり、
前記第一の支持ユニット及び前記第二の支持ユニットは前記メインベースへ直接取付けられることを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11276599B2 (en) | 2020-06-09 | 2022-03-15 | Tdk Corporation | Load port apparatus, EFEM, and method of installing load port apparatus |
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2011
- 2011-11-18 JP JP2011252442A patent/JP5910019B2/ja active Active
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