JP2001345366A - ロードポート装置、及び該装置搬送用の台車 - Google Patents
ロードポート装置、及び該装置搬送用の台車Info
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- JP2001345366A JP2001345366A JP2000165433A JP2000165433A JP2001345366A JP 2001345366 A JP2001345366 A JP 2001345366A JP 2000165433 A JP2000165433 A JP 2000165433A JP 2000165433 A JP2000165433 A JP 2000165433A JP 2001345366 A JP2001345366 A JP 2001345366A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウェハ移載装置から取り外したロードポート装
置の装置本体を、台車によって簡単に搬送できるように
することである。 【解決手段】ロードポート装置Ｌを構成する装着板２の
下端部に、台車Ａを構成する支持部３を手前側から連結
させ、この状態でウェハ移載装置Ｄからロードポート装
置Ｌを取り外し、該ロードポート装置Ｌを起立状態のま
ま搬送させる。
置の装置本体を、台車によって簡単に搬送できるように
することである。 【解決手段】ロードポート装置Ｌを構成する装着板２の
下端部に、台車Ａを構成する支持部３を手前側から連結
させ、この状態でウェハ移載装置Ｄからロードポート装
置Ｌを取り外し、該ロードポート装置Ｌを起立状態のま
ま搬送させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、下端部に搬送のた
めの台車を備えたロードポート装置、及びその台車に関
するものである。
めの台車を備えたロードポート装置、及びその台車に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８に示されるように、ウェハ移載装置
Ｄには、ロードポート装置Ｌが取付けられていて、該ロ
ードポート装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハ（図示
せず）を収容したウェハキャリアＣが設置されている。
前記ウェハキャリアＣに収容されたウェハは、ウェハ移
載装置Ｄを構成するウェハ移載ロボット（図示せず）に
よって取り出され、ウェハ処理装置に移載されて所定の
処理が施される。
Ｄには、ロードポート装置Ｌが取付けられていて、該ロ
ードポート装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハ（図示
せず）を収容したウェハキャリアＣが設置されている。
前記ウェハキャリアＣに収容されたウェハは、ウェハ移
載装置Ｄを構成するウェハ移載ロボット（図示せず）に
よって取り出され、ウェハ処理装置に移載されて所定の
処理が施される。
【０００３】このロードポート装置は、保守・点検の
際、或いは処理されるウェハの大きさが変更された場
合、ウェハ移載装置から取り外す必要がある。従来、こ
の着脱作業及び搬送作業は、人手によって行われてい
る。しかし、ロードポート装置は重量物であり、人手に
よって的確な作業を行うことは困難である。このため、
ロードポート装置を搬送するための台車が公知（例え
ば、特開平11-220001 号公報）である。しかし、この公
報に開示された台車は、専用のレール上のみを移動可能
であるため、ロードポート装置を自在な場所（例えば、
前記レールから離れた場所）に搬送させることは困難で
ある。
際、或いは処理されるウェハの大きさが変更された場
合、ウェハ移載装置から取り外す必要がある。従来、こ
の着脱作業及び搬送作業は、人手によって行われてい
る。しかし、ロードポート装置は重量物であり、人手に
よって的確な作業を行うことは困難である。このため、
ロードポート装置を搬送するための台車が公知（例え
ば、特開平11-220001 号公報）である。しかし、この公
報に開示された台車は、専用のレール上のみを移動可能
であるため、ロードポート装置を自在な場所（例えば、
前記レールから離れた場所）に搬送させることは困難で
ある。
【０００４】上記した不具合を解消するため、すべての
ロードポート装置に、搬送のためのキャスタを取付ける
ことが想定される。しかし、この場合、ロードポート装
置の製作コストが高くなるという問題がある。しかも、
前記ロードポート装置がウェハ移載装置に取付けられる
と、前記キャスタは不要となってしまう。
ロードポート装置に、搬送のためのキャスタを取付ける
ことが想定される。しかし、この場合、ロードポート装
置の製作コストが高くなるという問題がある。しかも、
前記ロードポート装置がウェハ移載装置に取付けられる
と、前記キャスタは不要となってしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、ロードポート装置が台車によって簡単に搬
送できるようにすることを課題としている。
具合に鑑み、ロードポート装置が台車によって簡単に搬
送できるようにすることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第１の発明は、ウェハ移載装置に着脱可能に取付けら
れ、ウェハを収容したウェハキャリアを設置するための
ロードポート装置であって、前記ウェハ移載装置の正面
壁に取付けられるロードポート装置本体と、前記ロード
ポート装置本体の下端部に着脱可能に取付けられる台車
とから成ることを特徴としている。
の第１の発明は、ウェハ移載装置に着脱可能に取付けら
れ、ウェハを収容したウェハキャリアを設置するための
ロードポート装置であって、前記ウェハ移載装置の正面
壁に取付けられるロードポート装置本体と、前記ロード
ポート装置本体の下端部に着脱可能に取付けられる台車
とから成ることを特徴としている。
【０００７】同じく第２の発明は、ウェハ移載装置に着
脱可能に取付けられ、ウェハを収容したウェハキャリア
を設置するロードポート装置の装置本体を搬送するため
の台車であって、前記ロードポート装置本体の下端部に
着脱可能に取付けられ、そのままの状態でウェハ移載装
置の正面壁に取り付けられるように構成されていること
を特徴としている。
脱可能に取付けられ、ウェハを収容したウェハキャリア
を設置するロードポート装置の装置本体を搬送するため
の台車であって、前記ロードポート装置本体の下端部に
着脱可能に取付けられ、そのままの状態でウェハ移載装
置の正面壁に取り付けられるように構成されていること
を特徴としている。
【０００８】第１の発明の場合、ウェハ移載装置の正面
壁に取付けられるロードポート装置本体と、前記ロード
ポート装置本体の下端部に着脱可能に取付けられる台車
とを備えている。作業者は、台車によってロードポート
装置本体を搬送させ、該ロードポート装置本体を、ウェ
ハ移載装置の正面壁に取付ける。ロードポート装置本体
に台車が取付けられているため、作業者は、該装置本体
の搬送が容易である。この台車は、ロードポート装置本
体に対して着脱可能であるため、別のロードポート装置
本体に取付けることもできる。この結果、すべてのロー
ドポート装置本体に台車を装備させなくても済むと共
に、前記ロードポート装置本体をいかなる場所にも搬送
させることができる。
壁に取付けられるロードポート装置本体と、前記ロード
ポート装置本体の下端部に着脱可能に取付けられる台車
とを備えている。作業者は、台車によってロードポート
装置本体を搬送させ、該ロードポート装置本体を、ウェ
ハ移載装置の正面壁に取付ける。ロードポート装置本体
に台車が取付けられているため、作業者は、該装置本体
の搬送が容易である。この台車は、ロードポート装置本
体に対して着脱可能であるため、別のロードポート装置
本体に取付けることもできる。この結果、すべてのロー
ドポート装置本体に台車を装備させなくても済むと共
に、前記ロードポート装置本体をいかなる場所にも搬送
させることができる。
【０００９】ウェハ移載装置から取り外されて、起立状
態で支持されたロードポート装置本体が転倒することを
防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側の
下端部に補助足が取付けられる場合、該補助足によって
ロードポート装置本体が転倒することが防止される。
態で支持されたロードポート装置本体が転倒することを
防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側の
下端部に補助足が取付けられる場合、該補助足によって
ロードポート装置本体が転倒することが防止される。
【００１０】第２の発明の場合、作業者は、台車を、ロ
ードポート装置を構成するロードポート装置本体に取付
け、この状態でロードポート装置本体を搬送させる。そ
して、ロードポート装置本体と台車とを一体にさせたま
まの状態で、前記ロードポート装置本体をウェハ移載装
置の正面壁に取付けるだけで済むため、作業が簡単であ
る。ロードポート装置本体がウェハ移載装置の正面壁に
取付けられた後、台車が、ロードポート装置本体に取付
けられたままであっても構わない。また、該台車をロー
ドポート装置本体から取り外して、別のロードポート装
置の装置本体に取付けることによって、別のロードポー
ト装置本体を搬送することもできる。
ードポート装置を構成するロードポート装置本体に取付
け、この状態でロードポート装置本体を搬送させる。そ
して、ロードポート装置本体と台車とを一体にさせたま
まの状態で、前記ロードポート装置本体をウェハ移載装
置の正面壁に取付けるだけで済むため、作業が簡単であ
る。ロードポート装置本体がウェハ移載装置の正面壁に
取付けられた後、台車が、ロードポート装置本体に取付
けられたままであっても構わない。また、該台車をロー
ドポート装置本体から取り外して、別のロードポート装
置の装置本体に取付けることによって、別のロードポー
ト装置本体を搬送することもできる。
【００１１】台車を構成する支持部に対して、各キャス
タが、それぞれ個別に前記支持部に対して相対的に昇降
するように、或いは複数組のキャスタが各組毎に独立し
て前記支持部に対して相対的に昇降するとともに、昇降
手段を介して前記支持部に取付けられている場合、前記
支持部は各キャスタに対して浮動状態に配置される。こ
のため、台車の支持部が水平面のほぼ全方向、或いは特
定方向に僅かに傾斜可能となり、前記支持部とロードポ
ート装置本体とを連結させる作業が容易である。
タが、それぞれ個別に前記支持部に対して相対的に昇降
するように、或いは複数組のキャスタが各組毎に独立し
て前記支持部に対して相対的に昇降するとともに、昇降
手段を介して前記支持部に取付けられている場合、前記
支持部は各キャスタに対して浮動状態に配置される。こ
のため、台車の支持部が水平面のほぼ全方向、或いは特
定方向に僅かに傾斜可能となり、前記支持部とロードポ
ート装置本体とを連結させる作業が容易である。
【００１２】ウェハ移載装置から取り外されて、起立状
態で支持されたロードポート装置本体が転倒することを
防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側の
下端部に取付けられる補助足を備えている場合、取り外
されたロードポート装置本体を、より安定状態で支持す
ることができる。
態で支持されたロードポート装置本体が転倒することを
防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側の
下端部に取付けられる補助足を備えている場合、取り外
されたロードポート装置本体を、より安定状態で支持す
ることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、実施形態を挙げて本発明を
更に詳細に説明する。図１は本発明に係る台車Ａの斜視
図、図２は同じく平面図、図３は同じく側面断面図、図
４は同じく一部を破断した背面図である。図１ないし図
４に示されるように、本発明に係る台車Ａは、箱状の外
側フレーム１と、該外側フレーム１の上面に取付けら
れ、ロードポート装置Ｌの装着板２（図８参照）と連結
されて該ロードポート装置Ｌを起立状態で支持するため
の支持部３と、前記外側フレーム１の内側に配設され、
複数本の圧縮ばね４を介して、前記外側フレーム１に対
して浮動状態で取付けられると共に、その底面部に複数
個のキャスタ５が取付けられた内側フレーム６とから成
る。
更に詳細に説明する。図１は本発明に係る台車Ａの斜視
図、図２は同じく平面図、図３は同じく側面断面図、図
４は同じく一部を破断した背面図である。図１ないし図
４に示されるように、本発明に係る台車Ａは、箱状の外
側フレーム１と、該外側フレーム１の上面に取付けら
れ、ロードポート装置Ｌの装着板２（図８参照）と連結
されて該ロードポート装置Ｌを起立状態で支持するため
の支持部３と、前記外側フレーム１の内側に配設され、
複数本の圧縮ばね４を介して、前記外側フレーム１に対
して浮動状態で取付けられると共に、その底面部に複数
個のキャスタ５が取付けられた内側フレーム６とから成
る。
【００１４】図３及び図４に示されるように、外側フレ
ーム１の底面は開口されていて、その下端部に、前記外
側フレーム１の強度を補強するための補強板部１ａが、
該外側フレーム１の全周に亘って張り出して設けられて
いる。そして、外側フレーム１における左右方向の両側
で前記補強板部１ａの底面部には各ストッパ板７が固着
されていて、該外側フレーム１の内側に配設された内側
フレーム６が落下することを防止している。また、外側
フレーム１の両側面部には、それぞれ取手８が取付けら
れている。
ーム１の底面は開口されていて、その下端部に、前記外
側フレーム１の強度を補強するための補強板部１ａが、
該外側フレーム１の全周に亘って張り出して設けられて
いる。そして、外側フレーム１における左右方向の両側
で前記補強板部１ａの底面部には各ストッパ板７が固着
されていて、該外側フレーム１の内側に配設された内側
フレーム６が落下することを防止している。また、外側
フレーム１の両側面部には、それぞれ取手８が取付けら
れている。
【００１５】次に、内側フレーム６について説明する。
この内側フレーム６は、図３に示されるように、上面が
開口された箱状を成しており、その外側寸法は、前記外
側フレーム１の内側寸法よりも僅かに小さい。また、内
側フレーム６の高さは、外側フレーム１の内側の高さよ
りも低い。この内側フレーム６は、その開口面を上にし
て外側フレーム１の内側に配設され、上記した各ストッ
パ板７により落下防止状態で取付けられる。この状態
で、外側フレーム１の内周面１ｂと、内側フレーム６の
外周面６ａとの間には、僅かな隙間ｅが設けられてい
る。また、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フレーム
６の上端面６ｂとの間にも、隙間ｈが形成されている。
この内側フレーム６は、図３に示されるように、上面が
開口された箱状を成しており、その外側寸法は、前記外
側フレーム１の内側寸法よりも僅かに小さい。また、内
側フレーム６の高さは、外側フレーム１の内側の高さよ
りも低い。この内側フレーム６は、その開口面を上にし
て外側フレーム１の内側に配設され、上記した各ストッ
パ板７により落下防止状態で取付けられる。この状態
で、外側フレーム１の内周面１ｂと、内側フレーム６の
外周面６ａとの間には、僅かな隙間ｅが設けられてい
る。また、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フレーム
６の上端面６ｂとの間にも、隙間ｈが形成されている。
【００１６】前記内側フレーム６の底面部には、複数個
（本実施例の場合、３個）のキャスタ５が取付けられて
いる。これらのキャスタ５は、図２ないし図４に示され
るように、内側フレーム６における前部の左右方向（幅
方向）の両側に２個、同じく後部のほぼ中央部に１個取
付けられている。そして、該内側フレーム６の内側で、
上記した各キャスタ５のほぼ直上部分には、それぞれ円
筒体９が固着されていて、各円筒体９に圧縮ばね４が弾
装されている。前記外側フレーム１の天井面１ｃにおい
て各円筒体９と相対向する位置には、円板状のばねサポ
ート１１が固着されている。各ばねサポート１１の外径
は、圧縮ばね４の内径よりも少し小さいため、各圧縮ば
ね４の上端部が、対応するばねサポート１１に嵌まり込
む。このため、内外の各フレーム１，６が、前後左右方
向に大きく相対移動することが防止されている。また、
内側フレーム６は、各圧縮ばね４の弾性復元力によって
常に下方に押し付けられている。このようにして内外の
各フレーム１，６は浮動状態で取付けられていて、水平
面のほぼ全方向、或いは特定方向に、隙間ｅ，ｈの分だ
け、相対的に僅かに傾斜可能である。
（本実施例の場合、３個）のキャスタ５が取付けられて
いる。これらのキャスタ５は、図２ないし図４に示され
るように、内側フレーム６における前部の左右方向（幅
方向）の両側に２個、同じく後部のほぼ中央部に１個取
付けられている。そして、該内側フレーム６の内側で、
上記した各キャスタ５のほぼ直上部分には、それぞれ円
筒体９が固着されていて、各円筒体９に圧縮ばね４が弾
装されている。前記外側フレーム１の天井面１ｃにおい
て各円筒体９と相対向する位置には、円板状のばねサポ
ート１１が固着されている。各ばねサポート１１の外径
は、圧縮ばね４の内径よりも少し小さいため、各圧縮ば
ね４の上端部が、対応するばねサポート１１に嵌まり込
む。このため、内外の各フレーム１，６が、前後左右方
向に大きく相対移動することが防止されている。また、
内側フレーム６は、各圧縮ばね４の弾性復元力によって
常に下方に押し付けられている。このようにして内外の
各フレーム１，６は浮動状態で取付けられていて、水平
面のほぼ全方向、或いは特定方向に、隙間ｅ，ｈの分だ
け、相対的に僅かに傾斜可能である。
【００１７】次に、支持部３について説明する。外側フ
レーム１の上面には、ロードポート装置Ｌを起立状態で
支持するための支持部３が設けられている。この支持部
３の前端部には、ロードポート装置Ｌの装着板２に当接
される当接部３ａが形成されている。即ち、ロードポー
ト装置Ｌの装着板２の下端部には、ねじ孔１２が４箇所
に設けられていて、その背面側に六角ナット１２ａが固
着されている（図１１参照）。そして、前記当接部３ａ
において、前記ねじ孔１２と対応する部分には、各ねじ
孔１３が設けられている。図８に示されるように、ロー
ドポート装置Ｌの下方に台車Ａが配置される。ロードポ
ート装置Ｌにおける装着板２の各ねじ孔１２と、台車Ａ
における支持部３の当接部３ａのねじ孔１３とが合致さ
れ、手前側から固定ボルト１４が締め込まれる。このよ
うにして、ロードポート装置Ｌと台車Ａとが連結され
る。
レーム１の上面には、ロードポート装置Ｌを起立状態で
支持するための支持部３が設けられている。この支持部
３の前端部には、ロードポート装置Ｌの装着板２に当接
される当接部３ａが形成されている。即ち、ロードポー
ト装置Ｌの装着板２の下端部には、ねじ孔１２が４箇所
に設けられていて、その背面側に六角ナット１２ａが固
着されている（図１１参照）。そして、前記当接部３ａ
において、前記ねじ孔１２と対応する部分には、各ねじ
孔１３が設けられている。図８に示されるように、ロー
ドポート装置Ｌの下方に台車Ａが配置される。ロードポ
ート装置Ｌにおける装着板２の各ねじ孔１２と、台車Ａ
における支持部３の当接部３ａのねじ孔１３とが合致さ
れ、手前側から固定ボルト１４が締め込まれる。このよ
うにして、ロードポート装置Ｌと台車Ａとが連結され
る。
【００１８】本実施例の台車Ａには、ロック装置Ｂが取
付けられている。このロック装置Ｂは、トグル機構によ
って、上記した外側フレーム１と内側フレーム６とを圧
接させてロックするためのものである。次に、ロック装
置Ｂについて説明する。図３及び図４に示されるよう
に、平面視における支持部３において、そのほぼ中央部
よりも少し前方の部分には、トグルクランプ１５が直立
状態で取付けられている。そして、そのロッド１５ａ
は、外側フレーム１の下方の内側に突出されている。内
側フレーム６において、前記トグルクランプ１５のロッ
ド１５ａと対向する部分には連結ブラケット１６が取付
けられていて、連結ボルト１７により、前記ロッド１５
ａと連結されている。なお、図３において、１８は、前
記連結ボルト１７を締め付けるためのレンチを挿通させ
るための挿通孔である。
付けられている。このロック装置Ｂは、トグル機構によ
って、上記した外側フレーム１と内側フレーム６とを圧
接させてロックするためのものである。次に、ロック装
置Ｂについて説明する。図３及び図４に示されるよう
に、平面視における支持部３において、そのほぼ中央部
よりも少し前方の部分には、トグルクランプ１５が直立
状態で取付けられている。そして、そのロッド１５ａ
は、外側フレーム１の下方の内側に突出されている。内
側フレーム６において、前記トグルクランプ１５のロッ
ド１５ａと対向する部分には連結ブラケット１６が取付
けられていて、連結ボルト１７により、前記ロッド１５
ａと連結されている。なお、図３において、１８は、前
記連結ボルト１７を締め付けるためのレンチを挿通させ
るための挿通孔である。
【００１９】図５に示されるように、直立状態にあるト
グルクランプ１５のレバー１５ｂを回動させ、ほぼ水平
状態にさせると、そのロッド１５ａが引き上げられる。
この引き上げ力は、各圧縮ばね４の弾性復元力よりも大
きい。このため、内外の各フレーム１，６は、各圧縮ば
ね４の弾性復元力に抗して相対的に昇降される。そし
て、外側フレーム１の天井面１ｃと、内側フレーム６の
上端面６ｂとが圧接され、内外の各フレーム１，６は、
あたかも一体化された状態で保持される。ほぼ水平状態
にあるトグルクランプ１５のレバー１５ｂを、逆方向に
回動させると、そのロッド１５ａが押し下げられ、内外
の各フレーム１，６は再び浮動状態となる。このよう
に、内側フレーム６に取付けられた各キャスタ５が、外
側フレーム１に対して、それぞれ個別に相対昇降され
る。
グルクランプ１５のレバー１５ｂを回動させ、ほぼ水平
状態にさせると、そのロッド１５ａが引き上げられる。
この引き上げ力は、各圧縮ばね４の弾性復元力よりも大
きい。このため、内外の各フレーム１，６は、各圧縮ば
ね４の弾性復元力に抗して相対的に昇降される。そし
て、外側フレーム１の天井面１ｃと、内側フレーム６の
上端面６ｂとが圧接され、内外の各フレーム１，６は、
あたかも一体化された状態で保持される。ほぼ水平状態
にあるトグルクランプ１５のレバー１５ｂを、逆方向に
回動させると、そのロッド１５ａが押し下げられ、内外
の各フレーム１，６は再び浮動状態となる。このよう
に、内側フレーム６に取付けられた各キャスタ５が、外
側フレーム１に対して、それぞれ個別に相対昇降され
る。
【００２０】次に、補助足１９について説明する。図６
及び図７に示されるように、本実施例の台車Ａは、別体
の補助足１９を２本備えている。図６に示されるよう
に、この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り外さ
れて、台車Ａの支持部３に起立状態で支持されたロード
ポート装置Ｌの装着板２の背面側（台車Ａが取付けられ
る側の反対側）に取付けられて、該ロードポート装置Ｌ
をより安定状態で保持させるためのものである。補助足
１９について説明する。図６に示されるように、この補
助足１９は、平面視においてコの字状のブラケット２１
の内側に脚部２２が取付けられた構成であり、前記脚部
２２の下端部にキャスタ２３が取付けられている。そし
て、図７に示されるように、脚部２２の上端部は、回動
支点ピン２４により、前記ブラケット２１に対して回動
可能に連結されている。また、ブラケット２１の一方側
の側面部には、インデックスプランジャ２５が取付けら
れている。このインデックスプランジャ２５は、回動さ
せた脚部２２のピン孔２２ａにピン（図示せず）を挿通
させることによって、脚部２２を傾斜させた状態で保持
させるという機能を有している。直立状態の脚部２２を
回動させて、前記ピン孔２２ａをインデックスプランジ
ャ２５のピンと対応する位置に配置させ、該ピンを前記
ピン孔２２ａに挿通させる。この結果、脚部２２は、ブ
ラケット２１に対して一定の角度で傾斜した状態で保持
される。この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り
外されたロードポート装置Ｌにおける装着板２の背面側
の下部で、その幅方向の両側に１個ずつ取付けられる。
そして、補助足１９の脚部２２を回動させたときに、床
面にほぼ接するようにして取付けられる。該台車Ａが使
用されてないときには、図２に二点鎖線で示されるよう
に、２本の補助足１９は台車Ａの支持部３に載置され
る。なお、図２において、２６は、各補助足１９を固定
するためのローラキャッチである。
及び図７に示されるように、本実施例の台車Ａは、別体
の補助足１９を２本備えている。図６に示されるよう
に、この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り外さ
れて、台車Ａの支持部３に起立状態で支持されたロード
ポート装置Ｌの装着板２の背面側（台車Ａが取付けられ
る側の反対側）に取付けられて、該ロードポート装置Ｌ
をより安定状態で保持させるためのものである。補助足
１９について説明する。図６に示されるように、この補
助足１９は、平面視においてコの字状のブラケット２１
の内側に脚部２２が取付けられた構成であり、前記脚部
２２の下端部にキャスタ２３が取付けられている。そし
て、図７に示されるように、脚部２２の上端部は、回動
支点ピン２４により、前記ブラケット２１に対して回動
可能に連結されている。また、ブラケット２１の一方側
の側面部には、インデックスプランジャ２５が取付けら
れている。このインデックスプランジャ２５は、回動さ
せた脚部２２のピン孔２２ａにピン（図示せず）を挿通
させることによって、脚部２２を傾斜させた状態で保持
させるという機能を有している。直立状態の脚部２２を
回動させて、前記ピン孔２２ａをインデックスプランジ
ャ２５のピンと対応する位置に配置させ、該ピンを前記
ピン孔２２ａに挿通させる。この結果、脚部２２は、ブ
ラケット２１に対して一定の角度で傾斜した状態で保持
される。この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り
外されたロードポート装置Ｌにおける装着板２の背面側
の下部で、その幅方向の両側に１個ずつ取付けられる。
そして、補助足１９の脚部２２を回動させたときに、床
面にほぼ接するようにして取付けられる。該台車Ａが使
用されてないときには、図２に二点鎖線で示されるよう
に、２本の補助足１９は台車Ａの支持部３に載置され
る。なお、図２において、２６は、各補助足１９を固定
するためのローラキャッチである。
【００２１】本発明に係る台車Ａの作用について説明す
る。図８及び図９に示されるように、ウェハ移載装置Ｄ
の正面壁に、ロードポート装置Ｌが取付けられている。
ウェハキャリアＣを取り外し、台車Ａを走行させ、ロー
ドポート装置Ｌにおける装着板２の下端部に当接させ
る。図１０に示されるように、台車Ａが配置された床面
Ｆ’が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの幅方向に角度α
だけ傾斜されていて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２
と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが合致していない場
合、作業者は、外側フレーム１の幅方向の一端部に、ほ
ぼ垂直方向の力Ｔを加える。この場合、図１０の図面視
における外側フレーム１の右側に力Ｔを加える。図５に
示されるように、外側フレーム１は内側フレーム６（各
キャスタ５）に対して浮動状態となっているため、前記
外側フレーム１を傾斜させて、ロードポート装置Ｌのね
じ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致させ
ることができる。この状態で、図１２に示されるよう
に、六角ナット１２ａに固定ボルト１４を螺合させて、
ロードポート装置Ｌの装着板２と台車Ａの支持部３とを
連結させる。
る。図８及び図９に示されるように、ウェハ移載装置Ｄ
の正面壁に、ロードポート装置Ｌが取付けられている。
ウェハキャリアＣを取り外し、台車Ａを走行させ、ロー
ドポート装置Ｌにおける装着板２の下端部に当接させ
る。図１０に示されるように、台車Ａが配置された床面
Ｆ’が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの幅方向に角度α
だけ傾斜されていて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２
と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが合致していない場
合、作業者は、外側フレーム１の幅方向の一端部に、ほ
ぼ垂直方向の力Ｔを加える。この場合、図１０の図面視
における外側フレーム１の右側に力Ｔを加える。図５に
示されるように、外側フレーム１は内側フレーム６（各
キャスタ５）に対して浮動状態となっているため、前記
外側フレーム１を傾斜させて、ロードポート装置Ｌのね
じ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致させ
ることができる。この状態で、図１２に示されるよう
に、六角ナット１２ａに固定ボルト１４を螺合させて、
ロードポート装置Ｌの装着板２と台車Ａの支持部３とを
連結させる。
【００２２】また、図１１に示されるように、台車Ａが
配置された床面Ｆ”が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの
前後方向に角度βだけ傾斜されていて、ロードポート装
置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが
合致していない場合、作業者は、外側フレーム１の前端
部に、ほぼ垂直方向の力Ｔを加える。そして、外側フレ
ーム１の前部を下方に傾斜させて、ロードポート装置Ｌ
のねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致
させて、上記と同様に、六角ナット１２ａに固定ボルト
１４を螺合させて、ロードポート装置Ｌの装着板２と台
車Ａの支持部３とを連結させる。
配置された床面Ｆ”が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの
前後方向に角度βだけ傾斜されていて、ロードポート装
置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが
合致していない場合、作業者は、外側フレーム１の前端
部に、ほぼ垂直方向の力Ｔを加える。そして、外側フレ
ーム１の前部を下方に傾斜させて、ロードポート装置Ｌ
のねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致
させて、上記と同様に、六角ナット１２ａに固定ボルト
１４を螺合させて、ロードポート装置Ｌの装着板２と台
車Ａの支持部３とを連結させる。
【００２３】この状態で、図５に示されるように、ロッ
ク装置Ｂを構成するトグルクランプ１５のレバー１５ｂ
を回動させ、そのロッド１５ａを引き上げる。各圧縮ば
ね４の弾性復元力に抗して、内外の各フレーム１，６が
相対的に接近し、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フ
レーム６の上端面６ｂとが圧接状態で密着される。そし
て、トグルクランプ１５のトグル機構により、この状態
がロックされる。
ク装置Ｂを構成するトグルクランプ１５のレバー１５ｂ
を回動させ、そのロッド１５ａを引き上げる。各圧縮ば
ね４の弾性復元力に抗して、内外の各フレーム１，６が
相対的に接近し、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フ
レーム６の上端面６ｂとが圧接状態で密着される。そし
て、トグルクランプ１５のトグル機構により、この状態
がロックされる。
【００２４】続いて、図１３に示されるように、ロード
ポート装置Ｌの装着板２を固定している各固定ボルト２
７を取り外す。ロードポート装置Ｌは、台車Ａの支持部
３に起立状態で支持されているため、該ロードポート装
置Ｌが落下するおそれはない。台車Ａを後退させて、ロ
ードポート装置Ｌを起立状態のまま搬送させる。内外の
各フレーム１，６は、ロック装置Ｂによって、あたかも
一体化された状態でロックされているため、該ロードポ
ート装置Ｌは安定状態で搬送される。
ポート装置Ｌの装着板２を固定している各固定ボルト２
７を取り外す。ロードポート装置Ｌは、台車Ａの支持部
３に起立状態で支持されているため、該ロードポート装
置Ｌが落下するおそれはない。台車Ａを後退させて、ロ
ードポート装置Ｌを起立状態のまま搬送させる。内外の
各フレーム１，６は、ロック装置Ｂによって、あたかも
一体化された状態でロックされているため、該ロードポ
ート装置Ｌは安定状態で搬送される。
【００２５】図１４に示されるように、ロードポート装
置Ｌが所定の位置まで搬送されると、装着板２の背面側
の下端部に、２本の補助足１９が取付けられる。ロード
ポート装置Ｌは、台車Ａの後部のキャスタ５と２本の補
助足１９のキャスタ２３とによって支持される。この結
果、ロードポート装置Ｌが、より安定状態で支持され、
該ロードポート装置Ｌが転倒することが防止される。し
かも、各補助足１９にはキャスタ２３が取付けられてい
るため、この状態でロードポート装置Ｌを搬送させるこ
とも可能である。これらの補助足１９は着脱自在である
ため、必要に応じて取り外し、図２に示されるように、
台車Ａの支持部３の上面に載置させておくこともでき
る。また、図６及び図１４に二点鎖線で示されるよう
に、回動支点ピン２４を中心に上方に回動させた状態で
収納させることも可能である。
置Ｌが所定の位置まで搬送されると、装着板２の背面側
の下端部に、２本の補助足１９が取付けられる。ロード
ポート装置Ｌは、台車Ａの後部のキャスタ５と２本の補
助足１９のキャスタ２３とによって支持される。この結
果、ロードポート装置Ｌが、より安定状態で支持され、
該ロードポート装置Ｌが転倒することが防止される。し
かも、各補助足１９にはキャスタ２３が取付けられてい
るため、この状態でロードポート装置Ｌを搬送させるこ
とも可能である。これらの補助足１９は着脱自在である
ため、必要に応じて取り外し、図２に示されるように、
台車Ａの支持部３の上面に載置させておくこともでき
る。また、図６及び図１４に二点鎖線で示されるよう
に、回動支点ピン２４を中心に上方に回動させた状態で
収納させることも可能である。
【００２６】本発明に係る台車Ａを構成する各キャスタ
５は、外側フレーム１に対して個別に、しかも相対的に
昇降する構成である。しかし、例えば、左右２個ずつ配
設された２組のキャスタが、各組毎に独立して相対的に
昇降する構成であっても構わない。
５は、外側フレーム１に対して個別に、しかも相対的に
昇降する構成である。しかし、例えば、左右２個ずつ配
設された２組のキャスタが、各組毎に独立して相対的に
昇降する構成であっても構わない。
【００２７】
【発明の効果】第１の発明の場合、ロードポート装置本
体を台車によって搬送させることができる。この台車
は、前記ロードポート装置本体と分離可能であるため、
該ロードポート装置本体をウェハ移載装置に取付けた
後、取り外すことができる。そして、別のロードポート
装置本体に取付けることができるため、すべてのロード
ポート装置本体に台車を装備させなくても済むと共に、
ロードポート装置本体をいかなる場所にも搬送させるこ
とができる。
体を台車によって搬送させることができる。この台車
は、前記ロードポート装置本体と分離可能であるため、
該ロードポート装置本体をウェハ移載装置に取付けた
後、取り外すことができる。そして、別のロードポート
装置本体に取付けることができるため、すべてのロード
ポート装置本体に台車を装備させなくても済むと共に、
ロードポート装置本体をいかなる場所にも搬送させるこ
とができる。
【００２８】第２の発明の場合、作業者は、台車を、ロ
ードポート装置を構成するロードポート装置本体に取付
け、この状態でロードポート装置本体を搬送させ、その
ままの状態で、ロードポート装置本体をウェハ移載装置
の正面壁に取付けることができ、作業が簡単である。こ
のため、ロードポート装置本体を簡単に着脱することが
できる。また、該台車をロードポート装置本体から取り
外して、別のロードポート装置本体を搬送することもで
きる。更に、補助足を備えている場合、より安定状態で
ロードポート装置本体を支持したり、搬送したりするこ
とができる。
ードポート装置を構成するロードポート装置本体に取付
け、この状態でロードポート装置本体を搬送させ、その
ままの状態で、ロードポート装置本体をウェハ移載装置
の正面壁に取付けることができ、作業が簡単である。こ
のため、ロードポート装置本体を簡単に着脱することが
できる。また、該台車をロードポート装置本体から取り
外して、別のロードポート装置本体を搬送することもで
きる。更に、補助足を備えている場合、より安定状態で
ロードポート装置本体を支持したり、搬送したりするこ
とができる。
【図１】本発明に係る台車Ａの斜視図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】同じく側面断面図である。
【図４】同じく一部を破断した背面図である。
【図５】ロック装置Ｂの作用を示す断面図である。
【図６】ロードポート装置Ｌの背面図である。
【図７】一部を破断した補助足１９の側面図である。
【図８】台車Ａを走行させて、ロードポート装置Ｌの装
着板２の下端部に取付ける状態の作用説明図である。
着板２の下端部に取付ける状態の作用説明図である。
【図９】図８のＸ矢視図である。
【図１０】外側フレーム１の幅方向に力Ｔを加えて、ロ
ードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３と
を合致させる状態の作用説明図である。
ードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３と
を合致させる状態の作用説明図である。
【図１１】外側フレーム１の前後方向に力Ｔを加えて、
ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３
とを合致させる状態の作用説明図である。
ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３
とを合致させる状態の作用説明図である。
【図１２】ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部に、
台車Ａを連結させる状態の作用説明図である。
台車Ａを連結させる状態の作用説明図である。
【図１３】ロードポート装置Ｌを台車Ａに支持させて、
ウェハ移載装置Ｄから取り外す状態の作用説明図であ
る。
ウェハ移載装置Ｄから取り外す状態の作用説明図であ
る。
【図１４】ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部に、
補助足１９を取付けた状態の側面図である。
補助足１９を取付けた状態の側面図である。
Ａ：台車 Ｂ：ロック装置 Ｄ：ウェハ移載装置 Ｌ：ロードポート装置 １：外側フレーム（ロードポート装置本体） ２：装着板（ロードポート装置本体） ３：支持部（ロードポート装置本体） ５：キャスタ ６：内側フレーム（ロードポート装置本体） １５：トグルクランプ（昇降手段） １９：補助足
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６２Ｂ 5/00 Ｂ６２Ｂ 5/00 Ｋ Ｃ Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ (72)発明者 廣岡 隆明 東京都府中市住吉町２丁目30番７号 東京 エレクトロン エフイ−株式会社内 (72)発明者 萩原 修士 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 谷山 育志 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 Ｆターム(参考） 3D050 AA13 BB01 DD01 DD03 EE08 EE14 EE15 EE18 FF03 FF06 GG00 KK02 5F031 CA02 DA01 FA15
Claims (5)
- 【請求項１】 ウェハ移載装置に着脱可能に取付けら
れ、ウェハを収容したウェハキャリアを設置するための
ロードポート装置であって、 前記ウェハ移載装置の正面壁に取付けられるロードポー
ト装置本体と、 前記ロードポート装置本体の下端部に着脱可能に取付け
られる台車と、 から成ることを特徴とするロードポート装置。 - 【請求項２】 ウェハ移載装置から取り外されて、起立
状態で支持されたロードポート装置本体が転倒すること
を防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側
の下端部に補助足が取付けられることを特徴とする請求
項１に記載のロードポート装置。 - 【請求項３】 ウェハ移載装置に着脱可能に取付けら
れ、ウェハを収容したウェハキャリアを設置するロード
ポート装置の装置本体を搬送するための台車であって、 前記ロードポート装置本体の下端部に着脱可能に取付け
られ、そのままの状態でウェハ移載装置の正面壁に取り
付けられるように構成されていることを特徴とするロー
ドポート装置搬送用の台車。 - 【請求項４】 前記ロードポート装置本体を支持するた
めの支持部と、該支持部の下方に取付けられた複数個の
キャスタとから成り、 前記複数個のキャスタが、それぞれ個別に前記支持部に
対して相対的に昇降するように、或いは複数組のキャス
タが各組毎に独立して前記支持部に対して相対的に昇降
するとともに、昇降手段を介して前記支持部に取付けら
れていることを特徴とする請求項３に記載のロードポー
ト装置搬送用の台車。 - 【請求項５】 ウェハ移載装置から取り外されて、起立
状態で支持されたロードポート装置本体が転倒すること
を防止するために、前記ロードポート装置本体の背面側
の下端部に取付けられる補助足を備えていることを特徴
とする請求項３又は４に記載のロードポート装置搬送用
の台車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165433A JP4021126B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 台車を備えたロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165433A JP4021126B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 台車を備えたロードポート装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001345366A true JP2001345366A (ja) | 2001-12-14 |
| JP4021126B2 JP4021126B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=18668902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000165433A Expired - Fee Related JP4021126B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | 台車を備えたロードポート装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4021126B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012080056A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Hydis Technologies Co Ltd | 基板搭載用カセット |
| US8444125B2 (en) | 2007-07-19 | 2013-05-21 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Attaching apparatus for load port apparatus |
| JP2013110192A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Tdk Corp | ロードポート装置 |
| JP2013128091A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-27 | Tdk Corp | ロードポート装置の取付け方法及び当該方法に用いられる運搬架台 |
| JP2020102549A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | Tdk株式会社 | ロードポート装置、ｅｆｅｍ及びロードポート装置の取り付け方法 |
| KR102489511B1 (ko) * | 2022-02-18 | 2023-01-17 | 주식회사 아이앤티산업 | 식품 포장필름 제조용 멀티 합지장치 |
| WO2023228892A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | メンテナンス装置 |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000165433A patent/JP4021126B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8444125B2 (en) | 2007-07-19 | 2013-05-21 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Attaching apparatus for load port apparatus |
| JP2012080056A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Hydis Technologies Co Ltd | 基板搭載用カセット |
| JP2013110192A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-06 | Tdk Corp | ロードポート装置 |
| JP2013128091A (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-27 | Tdk Corp | ロードポート装置の取付け方法及び当該方法に用いられる運搬架台 |
| JP2020102549A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | Tdk株式会社 | ロードポート装置、ｅｆｅｍ及びロードポート装置の取り付け方法 |
| JP7271940B2 (ja) | 2018-12-21 | 2023-05-12 | Tdk株式会社 | ロードポート装置、ｅｆｅｍ及びロードポート装置の取り付け方法 |
| KR102489511B1 (ko) * | 2022-02-18 | 2023-01-17 | 주식회사 아이앤티산업 | 식품 포장필름 제조용 멀티 합지장치 |
| WO2023228892A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | メンテナンス装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP4021126B2 (ja) | 2007-12-12 |
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