JP2001138703A

JP2001138703A - 可搬式装置搬送用のキャスタ装置

Info

Publication number: JP2001138703A
Application number: JP32807699A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Sasaki; 義明佐々木; Masayuki Yamada; 雅幸山田; Yasushi Taniyama; 育志谷山; Shuji Hagiwara; 修士萩原
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1999-11-18
Filing date: 1999-11-18
Publication date: 2001-05-22
Anticipated expiration: 2019-11-18
Also published as: JP4094193B2

Abstract

(57)【要約】【課題】床面と可搬式装置の底面部との間隔を調整し
て、該可搬式装置を、床面に設けられた突出物と当接す
ることなく搬送できるようにすることである。【解決手段】支持台６の下面にキャスタ７を取付けると
共に、前記支持台６の上面に立設された台形ねじ棒９
に、台形ねじナット１５を介して取付台１１を装着し、
該取付台１１をローダモジュールＭの側面下端部に取付
け、前記取付台１１に対してキャスタ７を相対的に昇降
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可搬式装置の側面
下端部の複数箇所に取付けられて、該装置を搬送するた
めのキャスタ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】可搬式装置は、搬送用のキャスタと、該
装置を定置させるための複数本の据付ボルトとを備えて
いる。この可搬式装置を据え付ける場合、前記キャスタ
を利用して据付位置まで装置を搬送して、位置決めを行
った後に、前記据付ボルトを回転させて、床面に対して
装置を上昇させることにより、キャスタを床面から僅か
に離した状態で据え付けられる。このとき、可搬式装置
全体は、複数本の据付ボルトにより支持されている。

【０００３】本明細書では、可搬式装置の一例として、
半導体製造装置におけるウェハ移載装置のローダモジュ
ールを搬送する場合について説明する。ここで、ウェハ
移載装置とは、ロードポート装置に設置されたウェハキ
ャリアからウェハを取り出し、ウェハ処理装置の側に移
載するための装置である。そして、ウェハ移載装置に、
別のウェハ移載装置を増設して使用する場合がある。こ
のような場合、それぞれの単体のユニットを「ローダモ
ジュール」と称している。ここでは、標準ユニットのロ
ーダモジュールＭについて説明する。図６に示されるよ
うに、ローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａに
は、該ローダモジュールＭを搬送させるためのキャスタ
２と、ローダモジュールＭが据付位置に据え付けられた
後、前記キャスタ２を床面Ｆから僅かに離して、該ロー
ダモジュールＭを定置させるための据付ボルト（アジャ
スターフット）３が取付けられている。このローダモジ
ュールＭの正面側には、３基のロードポート装置Ｌが装
着されている。

【０００４】このローダモジュールＭが据え付けられる
床面Ｆには、予め、「テンプレート４」と称される位置
決め用部材が設けられていて、該ローダモジュールＭは
テンプレート４によっておよその据付位置が定められ
る。前記テンプレート４にエア、ガス、水等を供給する
ための供給口（図示せず）が設けられている場合、該テ
ンプレート４を介してローダモジュールＭに、エア、ガ
ス、水等が供給される。ところが、このテンプレート４
が床面Ｆから突出して設けられていて、しかも、その高
さが床面ＦからローダモジュールＭのフレーム１の底面
部１ａまでの高さよりも高い場合がある。このような場
合、ローダモジュールＭを搬送する際に、そのフレーム
１がテンプレート４に当接して、所定の据付位置まで搬
送することができないという不具合がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、可搬式装置にキャスタ装置を取付けて、床
面と可搬式装置のフレームの底面部との間隔を自在に調
整して、床面に設けられた突出物と当接せずに装置を搬
送できるようにすることを課題としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、可搬式装置の側面下端部の複数箇所に取付
けられて、該装置を搬送させるためのキャスタ装置であ
って、前記可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付
台と、前記取付台の下方に配置されて、該取付台に対し
て相対的に昇降可能に支持されるキャスタとから成るこ
とを特徴としている。

【０００７】本発明に係るキャスタ装置は、可搬式装置
の側面下端部に取付けられる取付台に対して、キャスタ
が昇降可能に支持されているので、床面と可搬式装置の
底面部との間隔を自在に調整することができる。このた
め、可搬式装置の搬送途中に突出物があっても、床面と
可搬式装置のフレームの底面部との間隔を、前記突出物
よりも高くさせることにより、突出物に当接することな
く、装置の据付位置まで搬送させることができる。

【０００８】請求項２の発明では、可搬式装置の側面下
端部に、キャスタ装置が着脱可能に取付けられる。この
場合、複数本の据付ボルトによって可搬式装置が据え付
けられて、キャスタが床面から離れた状態において、キ
ャスタ装置そのものを可搬式装置から取り外して、別の
装置に取付けて、該装置を搬送する。このように、多数
の可搬式装置に対してキャスタ装置を共用することがで
きる。

【０００９】請求項３又は４の発明では、キャスタが、
台形ねじ棒とガイドロッドとの２本のロッドによって、
直上の支持台に昇降可能に支持されているため、台形ね
じ棒の部分に偏荷重が作用しなくなる。この結果、キャ
スタを昇降させるための操作、即ち、台形ねじ棒を回転
させる操作をスムーズに行うことができると共に、取付
台に対するキャスタの支持状態が安定する。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を更
に詳細に説明する。図１は本発明に係るキャスタ装置Ａ
の斜視図、図２は同じく正面図、図３は同じく側面断面
図である。本発明に係るキャスタ装置Ａは、ローダモジ
ュールＭの側面下端部に取付けられる取付台１１と、前
記取付台１１の下方に配置されて、該取付台１１に対し
て昇降可能に支持されるキャスタ７とから成る。図１な
いし図３に示されるように、本発明に係るキャスタ装置
Ａを構成する支持台６の底面部には、キャスタ７が取付
けられていて、同じく上面部のほぼ中央部には、ガイド
ロッド８が立設されていると共に、一端部には、台形ね
じ棒９が立設されている。そして、支持台６の上方に
は、取付台１１が配置されていて、該取付台１１は前記
ガイドロッド８と前記台形ねじ棒９に装着されている。
キャスタ７について説明する。このキャスタ７は、支持
台６の底面部に取付けられたキャスタブラケット７ａ
に、キャスタ輪７ｂが回転可能にして支承された構成で
ある。そして、前記キャスタブラケット７ａは、床面Ｆ
に垂直な直線（回転中心線ＣＬ）に対し、その周方向に
回転可能である。

【００１１】図３に示されるように、前記支持台６の上
面部で、前記キャスタ７のほぼ直上にはガイドロッド８
が立設されている。また、前記支持台６の上面部の一端
部には、スラスト軸受１２が埋設されていて、該スラス
ト軸受１２に台形ねじ棒９が装着されている。この台形
ねじ棒９のほぼ全長に亘る部分には、台形ねじ部９ａが
形成されていると共に、台形ねじ棒９の下端部が段付き
形状を呈していて、この段付軸部９ｂが支持台６の底面
部から突出されている。そして、該段付軸部９ｂの下端
部に設けられた雄ねじ部９ｃに、座金１３を介して六角
ナット１４が螺合されている。支持台６の底面部と座金
１３との間には、僅かな隙間が設けられているため、前
記台形ねじ棒９は、その軸心を中心にして回転可能であ
る。

【００１２】上記したガイドロッド８と台形ねじ棒９に
は、昇降可能にして取付台１１が装着されている。この
取付台１１において、ローダモジュールＭに取付けられ
る側の端部は下方に延設されていて、図３に示されるよ
うに、側面視において略Ｌ字状を成している。そして、
このＬ字状の部分の先端部が、ローダモジュールＭのフ
レーム１の底面部１ａに引っ掛けて支持するための爪部
１１ａとなっている。また、該支持台６において台形ね
じ棒９が装着される部分には、その台形ねじ部９ａに対
応する台形ねじナット１５が取付けられている。この台
形ねじナット１５は、支持台６の底面部から上方に向か
って嵌着されている。また、支持台６においてガイドロ
ッド８が装着される部分には、該ガイドロッド８に対し
て取付台１１をスムーズに相対昇降させるためのすべり
軸受１６が取付けられている。

【００１３】前記台形ねじ棒９の上端部には、ソケット
レンチ１７のソケット１７ａを嵌め込むための六角ナッ
ト状のソケット嵌着部材１８が固着されている。作業者
は、前記ソケット嵌着部材１８にソケットレンチ１７の
ソケット１７ａを嵌め込み、該ソケットレンチ１７を所
定方向に回転させることによって、台形ねじ棒９を回転
させることができる。台形ねじ棒９が所定方向に回転さ
れると、ガイドロッド８と台形ねじ棒９との２本のロッ
ドにガイドされてキャスタ７が昇降する。その結果、相
対的に取付台１１が昇降する。このため、取付台１１の
爪部１１ａに荷重（ローダモジュールＭの重量）が作用
していても、台形ねじ棒９に偏荷重が作用しなくなり、
キャスタ７を昇降させる操作をスムーズに行うことがで
きると共に、取付台１１に対するキャスタ７の支持状態
が安定する。

【００１４】次に、図４ないし図１０を参照しながら、
本発明に係るキャスタ装置Ａの作用について説明する。
図４に示されるように、床面Ｆに仮設されたローダモジ
ュールＭにおけるフレーム１の側面下端部の複数箇所
に、本発明に係るキャスタ装置Ａが取付けられる。本実
施例の場合、キャスタ装置Ａが取付けられるのは、図７
に示されるように、ローダモジュールＭのフレーム１の
四隅の４箇所である。図４に示されるように、取付台１
１の爪部１１ａが、ローダモジュールＭのフレーム１の
下端縁に引っ掛けられて取付けられる。このとき、各キ
ャスタ装置Ａのキャスタ７は、予め取付台１１の底面部
に接する程度まで上昇されており、しかも、ローダモジ
ュールＭのフレーム１の底面部１ａと床面Ｆとの間隔
が、各据付ボルト３によって調整されているため、前記
取付台１１は、キャスタ輪７ｂが床面Ｆから離れた状態
で取付けられる。取付台１１の爪部１１ａが、ローダモ
ジュールＭのフレーム１の下端縁に引っ掛けられると、
該取付台１１が取付ボルト１９によってフレーム１に固
定される。前記取付ボルト１９が１本のみであっても、
取付台１１の爪部１１ａが、ローダモジュールＭのフレ
ーム１の下端縁に引っ掛けられているため、該取付台１
１が回動することはない。こうすることによって、ロー
ダモジュールＭの搬送中に、各キャスタ装置Ａが外れた
り、ローダモジュールＭに対して回動したりすることが
防止される。

【００１５】次に、図４及び図５に示されるように、台
形ねじ棒９の上端に固着されたソケット嵌着部材１８
に、ソケットレンチ１７のソケット１７ａを嵌着させ
て、該ソケットレンチ１７を所定方向に回転させる。台
形ねじ棒９が取付台１１に装着された台形ねじナット１
５と螺合されていて、しかも、該取付台１１はローダモ
ジュールＭのフレーム１に固定されているため、キャス
タ７が下降する。キャスタ７のキャスタ輪７ｂを床面Ｆ
に設置させた後、更に台形ねじ棒９を回転させると、相
対的に取付台１１が上昇する。この結果、ローダモジュ
ールＭが上昇される。

【００１６】図５ないし図７に示されるように、床面Ｆ
とローダモジュールＭのフレーム１の底面部１ａとの間
隔を、テンプレート４の高さよりも高くして、該ローダ
モジュールＭを据付位置まで搬送させる。ローダモジュ
ールＭにおけるキャスタ２と据付ボルト３は、フレーム
１の四隅に設けられているため、テンプレート４と当接
することはない。続いて、図８に示されるように、テン
プレート４とローダモジュールＭとを対応させて配置
し、図９に示されるように、各キャスタ装置Ａの台形ね
じ棒９を逆回転させてローダモジュールＭを降下させ
る。このようにして、ローダモジュールＭは、およその
位置決めがされた状態で所定の据付位置に据え付けられ
る。

【００１７】そして、およその位置決めがされた状態で
据え付けられたローダモジュールＭは、自身の据付ボル
ト３によって定置される。この後、図１０に示されるよ
うに、各取付ボルト１９が取り外されて、各キャスタ装
置Ａが取り外される。取り外された各キャスタ装置Ａ
は、別の装置を搬送する際に使用することも可能であ
る。

【００１８】上記したように、本発明に係るキャスタ装
置Ａによって搬送されたローダモジュールＭは、所定の
据付位置に据え付けられる際に、テンプレート４によっ
ておよその位置決めが成される。このとき、該ローダモ
ジュールＭはキャスタ７によって支持されているため、
テンプレート４の上端部のみがフレーム１に入り込んだ
状態（仮据付状態）で、該ローダモジュールＭを僅かに
前後左右に移動させたり、傾けたりすることが容易にで
きる。即ち、ローダモジュールＭの据付位置を微調整し
ながら据え付けることができるという利点がある。例え
ば、図１１に示されるように、ローダモジュールＭ（標
準ユニット）に別のローダモジュールＭ’（増設ユニッ
ト）を増設させる場合、それぞれのガイドレール（図示
せず）を接続させるための作業が必要である。このと
き、増設側のローダモジュールＭ’をキャスタ装置Ａに
支持させておき、その状態で増設側のローダモジュール
Ｍ’の据付位置、傾き等を微調整することができる。こ
の結果、標準側のローダモジュールＭと増設側のローダ
モジュールＭ’とのガイドレール（図示せず）を接続さ
せるための作業が容易である。

【００１９】本発明に係るキャスタ装置Ａは、可搬式装
置だけでなく、各種の装置、重量物等を床面から上方に
配置させた状態で搬送させる場合においても使用可能で
ある。

【００２０】

【発明の効果】本発明に係る可搬式装置搬送用のキャス
タ装置は、装置の側面下端部に取付けられる取付台と、
該取付台に対して昇降可能なキャスタとから成ってい
て、床面と可搬式装置の底面部との間隔を自在に調整す
ることができる。このため、搬送途中に突出物があって
も、床面と可搬式装置のフレームの底面部との間隔を、
前記突出物よりも高くさせることにより、突出物に当接
することなく、装置の据付位置まで搬送させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るキャスタ装置Ａの斜視図である。

【図２】同じく正面図である。

【図３】同じく側面断面図である。

【図４】ローダモジュールＭのフレーム１の側面下端部
に、キャスタ装置Ａを取付ける状態の作用説明図であ
る。

【図５】各キャスタ装置Ａの台形ねじ棒９を回転させる
ことによって、ローダモジュールＭが所定の高さに上昇
された状態の正面図である。

【図６】各キャスタ装置ＡによってローダモジュールＭ
が搬送される状態の正面図である。

【図７】同様な状態の平面図である。

【図８】テンプレート４の直上に配置されたローダモジ
ュールＭが、降下される状態の正面図である。

【図９】ローダモジュールＭが据え付けられた状態の正
面図である。

【図１０】各据付ボルト３によって定置されたローダモ
ジュールＭから、各キャスタ装置Ａが取り外される状態
の作用説明図である。

【図１１】ローダモジュールＭ（標準ユニット）に別の
ローダモジュールＭ’（増設ユニット）を増設させる状
態の作用説明図である。

【符号の説明】

Ａ：キャスタ装置Ｆ：床面Ｍ，Ｍ’：ローダモジュール（可搬式装置）１：フレーム（側面下端部）６：支持台７：キャスタ８：ガイドロッド９：台形ねじ棒９ｂ：段付軸部（台形ねじ棒の下端部）１１：取付台１５：台形ねじナット１６：すべり軸受（ガイド孔）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山田雅幸山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者谷山育志愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地神鋼電機株式会社豊橋事業所内 (72)発明者萩原修士愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地神鋼電機株式会社豊橋事業所内Ｆターム(参考） 3D050 AA01 BB01 BB22 DD03 EE03 EE04 EE11 EE12 FF03 GG01 HH02 5F031 GA57

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可搬式装置の側面下端部の複数箇所に取
付けられて、該装置を搬送させるためのキャスタ装置で
あって、前記可搬式装置の側面下端部に取付けられる取付台と、前記取付台の下方に配置されて、該取付台に対して相対
的に昇降可能に支持されるキャスタと、から成ることを特徴とする可搬式装置搬送用のキャスタ
装置。
【請求項２】前記取付台は、装置の側面下端部に対し
て着脱可能に取付けられることを特徴とする請求項１に
記載の可搬式装置搬送用のキャスタ装置。
【請求項３】前記キャスタは、取付台の下方に配置さ
れる支持台の下面に装着されて、前記取付台に対してキャスタを昇降可能に支持する昇降
支持手段は、該取付台に装着された台形ねじナットと、
前記支持台に下端部が回動可能にして連結されて、前記
台形ねじナットに螺合される台形ねじ棒とから成ること
を特徴とする請求項１又は２に記載の可搬式装置搬送用
のキャスタ装置。
【請求項４】前記支持台には、取付台に貫設されたガ
イド孔に挿通されるガイドロッドが設けられていること
を特徴とする請求項３に記載の可搬式装置搬送用のキャ
スタ装置。