JP4280466B2 - 位置決め機構、並びにこれを具えた装置及び自動化システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、光ディスク、液晶表示装置、プラズマディスプレイ装置、プリント配線基板、その他の電子関連製品、自動車エンジン、その他工業製品の自動組み立てプロセスや自動処理プロセスに関し、さらに詳しくは自動プロセスに設置される各種機能を有する装置を、直線状あるいは星型に配置する際、それらの装置を正確に配置するための位置決め機構を提案する。
【0002】
【従来の技術】
一般の半導体製造システムは、多数のチャンバを有する半導体基板処理装置と、多数の基板を収納している収納カセットとの間を搬送する基板搬送装置が設けられている。これらの基板搬送装置は、たとえばクリーンブースである筐体内にスカラ型搬送用ロボットなどの搬送機を有し、ロボットの搬送アームが水平面内で動作することにより半導体基板を処理チャンバヘ基板等を移載する。半導体工場においては多種多様な機能を有する装置が製造工程に沿って配置されており、半導体ウエハ等を一つの装置から他の装置に正確に搬送するためには、それら各装置の方向や位置、高さは厳密に定められている。このためそれぞれの装置を工場内の他の装置との関連において適正な位置や高さになるように設置し、装置間のカセットや基板を適切な場所に精度良く受け渡す必要がある。
【0003】
このため、従来の製造システムにおいては、例えば図11に示す装置1の据え付け時やメンテナンス後の据え付け時に、移動式ジャッキ24で装置を持ち上げ、又は装置下部に固設されたキャスタ18を用いて搬入し所定位置へ前後左右に微調整した後、装置下部に取り付けられた高さが可変となるネジ状支持部材16をモンキースパナ21等の工具を用いて装置の高さを調整し、設置が行われて来た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体ウエハは清浄度の高い環境下で搬送され、処理されている。そのため基板は収納容器3(例えばFOUP, Front Opening Unified Pod)に収納され、さらにこの容器を収納する大型ストッカや、搬送手段としての天井吊り型輸送機(OHT, Overhead Hoist Transport)などを導入する工場も増えている。その結果、工場は立体化され、搬送及び処理装置の上空領域をも利用することによる省スペース化がはかられている。それにともない、ウエハ等の搬送装置及び処理装置の設置場所での作業スペースは非常に狭くなり、またメンテナンス等においても作業者への危険性が増している。
【0005】
作業者は設置位置まで装置を移動させ、高さと前後左右の位置調整等を、精緻さと熟練を要する手動作業を行っている。基板容器と搬送装置との受け渡し時の事故や、メンテナンス時やレイアウトの変更により装置を移動する場合、上述した一連の設置作業と位置調整作業を繰り返し行わなければならなかった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は以上のような問題点に着目し、短時間で正確に装置を設置する機構を提案するものである。即ち、各種機能を持つ複数の装置を連結してなる自動化システムに配置された一つ又は二つ以上の装置に具える位置決め機構において、前記装置下部に複数具備され、同時に動作して前記装置を水平に維持した状態で昇降させ、且つ車輪を備える昇降手段と、前記装置下部の別の位置に垂直に固設された位置決め部材と、前記位置決め部材を基準位置に案内し上下方向に前記部材が嵌合する凹部を有する固定式基準台とを備えたことを特徴とする位置決め機構を提供する。
【0007】
本発明では、例えば半導体ウエハなど薄板状電子部品自動製造システムにおいて、ウエハ搬送装置は、少なくとも一以上の搬送用ロボットと、下部に移動手段である車輪を備える昇降手段と、垂直に固設された位置決めピンなどの位置決め部材と、前記位置決め部材を基準位置に案内し上下方向に嵌合させる凹部を有する固定式基準台とを備えたことを特徴とする位置決め機構を具備する。
【0008】
また、本発明では、持ち込まれた半導体ウエハ等の基板に成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の各種処理をチャンバ内で行う処理装置においてその下部にも、本発明の位置決め機構を具備する事ができる。
【0009】
本発明の昇降手段は、前記各種の装置の下部に設けられた回動可能軸に棒材の一端が支点として支持され、棒材の次の位置に作用点であり移動手段でもあるキャスタあるいは車輪を備え、棒材の他端を力点とし、この力点に装置に対して回動可能に取り付けられたアクチュエータと、から構成される。又、複数の車輪を連結したアクチュエータからなる昇降手段を備える場合もある。
【0010】
本発明では、昇降の動力源であるアクチュエータとして、エアシリンダ、オイルシリンダ、モータなどが使用できるが、エアシリンダ、オイルシリンダなどの流体圧アクチュエータが好ましい。この駆動部用の動力源としては、人力やモータ付きポンプによる油圧か空気圧や、工場に配管してある高圧エアなどがある。
【0011】
エアシリンダ等の制御アクチュエータを備える場合、安全面を考慮し、昇降装置が動作中エアポンプから供給が中断されても気体が逆流しないよう逆止弁が設けられおり、突然装置が降下することを防止している。また、シリンダへの気体を供給するスピードを調整するスピードコントローラ等を利用することにより、降下のスピード等を緩やかにすることができ、動作時の騒音や振動を軽減している。
【0012】
動力を伝達する手段としては、配管、ワイヤ、シャフト、バネなどが使用できる。また、本発明では移動手段として、直線方向にのみ進行できる車輪15を用いることが好ましいが、360度方向回転できるキャスタばかりでなく、レールと車輪なども使用できる。
【0013】
本発明の位置決め方法は、あらかじめ設計図面に指定された位置に複数の固定式基準台を設置する。次に昇降手段を動作させて装置を10mmから100mm程度持ち上げ、人力により装置は固定式基準台の略上方に移動させ、固定式基準台の凹部の中央をめがけて位置決め部材が入る様に昇降手段を動作させる。位置決め部材は固定式基準台の凹部案内形状に沿って装置を最適な設置位置へと導かれ、横壁に挟まれて、線で接触し設置が完了する。装置の高さは位置決め部材の長さで決まる。また、設置位置の調整は固定式基準台の設計図面に従って、あらかじめ行うことができ、自動化システム工場内での据え付け作業が大幅に短縮される。ここで固定式基準台は、床面にネジ止めしても良いし、滑り止め材により自重で動かないように定められた位置に固定する。
【0014】
固定式基準台の形状は中央付近に逆円錐、逆円錐台などの凹部を有し、隣接する他の装置や、工場内の床や壁等と一体化とすることもできる。位置決め部材と固定式基準台が接触する箇所の形状が嵌合するようになっており、一方の接触部に球や円柱形部材等の転がり材、他方に滑り受け部を具えてもよい。また、凸部のある位置決め部材が下部にあって床に固定され、凹部を有する基準台が装置下部に具えられてもよい。
【0015】
本発明に言う固定式基準台とは、製造システム内の隣接する各装置との間の位置を定める台であって、設計図に基づいて床ないし壁面に固定される。即ち、新しい製造システムにおける装置搬入より以前に、装置毎に、複数の固定式基準台を図面に従って正確に配置しておけば、装置搬入時にはその下部に取り付けられた位置決め部材を嵌合させるのみで据付ができる。また、自動化システムのメンテナンスにおいても、昇降手段を上昇させて嵌合を外し、移動手段であるキャスタで作業可能な場所にその装置を引き出して、点検修理した後、もとの位置へ装置を移動し、固定式基準台上に再び設置すれば、簡単に位置決めができる。
【0016】
以上半導体製造システムにおける装置の位置決め機構について説明してきたが、本発明はこれに限らず、液晶表示装置、光ディスク、プラズマディスプレイ装置、プリント配線基板、その他の電子関連製品、自動車エンジン、その他工業製品の自動組み立てプロセスや自動処理プロセスなど、各種機能をもつ装置を組み合わせたあらゆる自動化システムにおける装置の位置決め機構として応用可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1を参照に、半導体ウエハの搬送装置1の位置決め機構について、本発明の実施例を説明する。図1は、搬送装置1を所定の位置に設置する以前の状態を示している。図2は、搬送装置1を所定の位置に設置したときの状態を示している。まず周辺の装置から説明する。図1上方のOHT30は、作業者自身の人手による運搬と同様に、工場内の装置間で清浄容器を運搬し、受け渡すための手段である。このOHT30は、装置同士を結ぶように工場上部に据えられたレール31に沿って移動し、FOUP3をストッカ32の上部に搬送する。ストッカ32のフィンガ33は、搬送されたFOUP3を保持し、X軸駆動手段34とZ軸駆動手段36を動作させ所定の搬送先、例えば図2に示すストッカ32の最上段の棚段35に載置する。このストッカ32はFOUP3を保管、管理し、所望するウエハを保管しているFOUP3を搬送装置1へと供給する。
【0018】
ここで搬送装置1とは、図1に示すように内部に設置された搬送用ロボット6によりウエハをFOUP3から別のFOUP3へ移し替えたり、ウエハを処理装置に搬入、搬出を行ったりするクリーンブース型の装置をいう。図1の搬送装置1はウエハを収納しているFOUP3を載置することができるステージと、FOUP3の蓋を開錠する機構を備えたドアを有する出入り口と、ウエハを搬出入するための屈伸動作、旋回動作することができ搬送アーム7を有する搬送用ロボット6と、から構成される。また必要により、ウエハの搬出・搬入口でもあるFOUPオープナー4が複数ある場合、FOUPオープナーの正面に、搬送用ロボット6をFOUP3が並んでいる方向に沿って移動させる移送軸や、ウエハ周縁の平坦部(オリエンーテーションフラット)や切り欠き部(ノッチ)を、検出するウエハ用位置決め専用装置などが設置される。搬送装置1の構成は用途により異なることがあるが半導体ウエハを搬送するための装置である。
【0019】
図1のストッカ32は、フィンガ33により把持したFOUP3を上下左右の自在な位置へと移送する。また装置内部にはFOUP3を保管するための棚段35が設けられており、ストッカフィンガ33によりFOUP3を把持し、棚段35ないしはOHT30との受け渡し位置、搬送装置1との受け渡し位置へと搬送することができる。
【0020】
また図2に示す処理装置40は、真空状態にすることができる移載室41と、移載室41中央に位置し、真空ロボット42と、搬送装置1と処理装置40間でウエハを受け渡し、真空状態にすることができるロードロック室8と、各種の処理を行うためのチャンバ43が設けられている。
【0021】
図1および図2に示す前述の搬送装置1と図3に示す処理装置40とのそれぞれの装置下部には、本発明の車輪15を備えた昇降手段2及び位置決め部材19が取り付けられる。この位置決め部材19は図2、図3に示すように固定式基準台22の上に乗って嵌合している。
【0022】
図1では搬送装置1と、FOUP3を収納するストッカの連結する前の状態を示している。本発明の昇降装置は降下した状態で、車輪15は床面と接し、搬送装置1を支持している。この搬送装置1を据え付けるにあたって、人手により押して移動し、床面を車輪15によってストッカ32内に誘導し、位置決め部材19と固定式基準台22を嵌合させて図2の位置に決めて設置する。
【0023】
図4は本発明の昇降手段2についての一実施例を示す一部切り欠き側面図である。昇降手段2は、搬送装置1の下部に取り付けられたアクチュエータ17(本実施例ではエアシリンダを用いた)と、棒材13の一端に前記エアシリンダのロッド先端を、その他端を搬送装置1の下部に設けられた軸に回動可能となるように取り付け、その棒材13の中間部に設けた移動手段としての車輪15と、装置下部で別の場所に垂直に固設された高さ調節が可能な位置決め部材19と、を備えている。図4Aではアクチュエータ17(エアシリンダ)のピストンロッドが収縮して車輪15が持ち上がり搬送装置1が降下し、図4Bに示す位置決め部材19が固定式基準台22に嵌合し、本装置は位置決めされる。逆にエアシリンダが伸長することにより棒材13を押し下げて回動させ、図4Cのように車輪15が床を押して装置1は上昇し、図4Dのように位置決め部材19は固定式基準から離脱して移動可能となる。
【0024】
図5で示す位置決め機構には、アクチュエータ17であるシリンダロッドに直接車輪15を取り付けた装置の昇降手段2と、あらかじめ装置下方に配置された固定式基準台22と嵌合する位置決め部材19と、自在に移動可能な車輪15が備えられている。装置を半導体製造工場内に搬入されるときの長い距離にわたっての移動等には、自在な方向に移動可能なキャスタ18が便利である。なお昇降用車輪15として自在に方向を変えることのできるキャスタ18を用いると、重い装置を昇降動作させるには不安定であることを考慮し、図5に示す装置では直線方向にのみ移動可能な車輪15を具えているが車輪15の代わりにキャスタ18を用いることもできる。複数のエアシリンダそれぞれが、一つの空気源から同時に作動されることにより、それぞれの昇降手段2は同時に同期して動作し、装置は水平に昇降する。
【0025】
図5Aは、昇降手段2は動作していない状態で、移動用車輪15が床面に接していることを示している。図中のSは昇降手段2のストロークを示している。
図5Bは、昇降手段2を動作させ装置を上昇させた状態を示している。図中Tは床面から車輪15までの距離を、またUは床から位置決め部材19の先端(固定式基準台22と嵌合する面)までの距離を示している。
【0026】
図5Bは、位置決め部材19が床固定基準台22の略上方となる位置に装置を移動させ、図5Cで昇降手段2を収縮させ装置を降下させた状態を示している。このとき位置決め部材19は固定式基準台22と嵌合しており、キャスタ18と車輪15は宙に浮き、移動できない状態となっている。図中Rは、固定式基準台22の床面から位置決め部材19と嵌合する面までの距離を示している。これは、床面から距離、昇降のストローク等の設計において、S>U>T>U−Rとなるよう設計することにより、車輪15を装置内に収納した場合でも移動でき、固定式基準台22に干渉されることなく装置の設置位置へ移動も可能となる。
【0027】
図6は図4、図5と異なる昇降機構を示している。この昇降手段2は、装置フレームに取り付けられたモータと、モータシャフト先端に固設されたワイヤ巻き取り部と、ワイヤ巻き取り部と棒材13の一端を固設されたワイヤ12と、他端に移動手段である車輪15が固設され、中間の支点14で装置が回動可能に連結された棒材13とからなる。この昇降手段2は、モータによりワイヤ12が巻き取られるとともに、車輪15が床面を押し下げ、装置を昇降動作させる。なおブレーキが備えられており、車輪15が押し下げられたままモータの電源を切っても、また非常時に電源がOFFしたときでも現状を維持する。
【0028】
図7はアクチュエータ17を水平方向に配置し、棒材をX字状に組み合わせた場合の例を示している。動力源11として図示しない足踏式油圧装置を用いれば安価な昇降手段2を具えることができる。
【0029】
図8では、固定式基準台22の逆円錐状の凹部に位置決め部材19が挿入されるときの状態を示している。
図8Aでは、支持部材16があらかじめ配置された固定式基準台22の凹部の略上方にあり、図8Bで、装置を降下させ、位置決め部材19の先端が固定式基準台22の凹部の壁面に接触し、図7Cで、装置の自重により支持部材16は位置決め部材19中央部に案内されることを示している。
【0030】
図9に示す固定式基準台22の凹部形状が半円錐形台であって、位置決め部材19の先端が円錐台となっているものである。また、図9に示す固定式基準台22の凹部は、円錐台形を逆にして底面中央部から上面中央部に向かって切った半円錐台の形状を有している。略上方から位置決め部材19を降下させるとこれは、装置の自重により側面に滑り、逆半円錐台の底面へと導かれ、固定式基準台22と、線ないし面で接触する。ここで位置決め部材19の先端に回転自在な球を取り付け円錐形凹部に転がりながら滑らかに降下させるようにしても良い。
【0031】
図10に示す固定式基準台22が、鋭角な棚状となっている例を示している。嵌合する相手の位置決め部材19は装置の側面に固設される。ここでの固定式基準台22は工場内の壁面または垂直な固定部材に設けられ、引っ掛けて固定する構造となっている。
【0032】
【発明の効果】
固定式基準台22を設計位置に設置した後、調整済み装置を搬入する事により、迅速に据付作業が行え、装置の現場調整が不用になった。また、メンテナンス時に装置全体を作業しやすい広い場所に引き出して、高さ調整、水平調整、メンテナンスなどは事前に行ったうえで、再び固定式基準台22に戻すことにより容易に位置決めする事ができる。さらに固定式基準台22の案内形状に沿って降下させるだけで正確な設置位置が得られる。これにより狭い作業スペースでの作業や多大な作業人数、作業時間を大幅に削減することができ、広い場所での事前の調整作業により作業者の危険度も減少する。また、昇降手段2に車輪15が付いているため所定の位置に容易に移動させることができる。
【0033】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の昇降機構を備えた搬送装置1の据え付け前の一実施例を示す一部断面斜視図である。
【図2】図1における実施例の据え付け後を示す一部切り欠き斜視図である。
【図3】本発明の昇降機構の実施例を示す一部切り欠き斜視図である。
【図4】本発明の昇降機構を示す図3とは異なる側面図である。
【図5】本発明の昇降機構の図3、4と異なる一部切り欠き側面図である。
【図6】本発明の昇降機構の一実施例を示し、図3〜5と異なる一部切り欠き側面図である。
【図7】本発明の昇降機構の一実施例を示し、図3〜6と異なる機構を示す一部切り欠き側面図である。
【図8】本発明の固定式基準台22の一実施例を示す断面側面図である。
【図9】本発明の固定式基準台22の一実施例を示す図8と異なる断面側面図である。
【図10】本発明の固定式基準台22と位置決め部材19との組み合わせで図1〜9とは異なった実施例を示す。
【図11】従来の位置決め機構。
【符号の説明】
1 基板等の搬送装置、
2 装置昇降手段、
3 清浄容器(FOUP)、
4 FOUPオープナー(ロードポート)、
5 ポートドア、
6 搬送用ロボット、
7 搬送アーム、
8 ロードロック室、
11 動力源、
12 ワイヤ、
13 棒材、
14 支点、
15 車輪、
16 支持部材、
17 アクチュエータ、
18 キャスタ、
19 位置決め部材、
21 スパナ、
22 固定式基準台、
24 移動式ジャッキ、
30 OHT、
31 レール、
32 ストッカ、
33 ストッカフィンガ、
34 X軸駆動手段、
35 棚段、
36 Z軸駆動手段、
40 ウエハ処理装置、
41 移載室、
42 真空ロボット、
43 チャンバ、
Claims (6)
- 各種機能を有する複数の装置が隣接して配置された自動化システムを構成する1又は2以上の装置に具える位置決め機構において、
前記装置下部に複数具備され、同時に動作して前記装置を水平に維持した状態で昇降させる昇降手段と、
昇降動作するとともに前記装置を水平面内を移動可能とする移動手段と、
前記装置下部に固設され、前記装置を設置する位置を決定する位置決め部材と、
前記位置決め部材を基準位置に案内し上下方向に前記位置決め部材が嵌合する凹部を有し、あらかじめ所定場所に配置される固定式基準台と、
を具えた位置決め機構。 - 前記昇降手段は動力源として流体圧アクチュエータを有することを特徴とする請求項1の位置決め機構。
- 請求項1から請求項2のうちいずれかの位置決め機構を備えた装置。
- 請求項3において、前記装置が薄板状電子部品取扱装置であることを特徴とする装置。
- 前記薄板状電子部品取扱装置が少なくとも1の搬送用ロボットを備えたことを特徴とする、請求項4の装置。
- 請求項3から請求項5のうちいずれかの装置を組み込んだ自動化システム。
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