JP3483685B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】各基板受渡し部の間において
液晶用ガラス角型基板、半導体ウエハなどの基板（以下
「基板」という）を搬送すると共に、基板の受渡しを行
う基板搬送装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４は従来の基板搬送装置の斜視図であ
り、図５は図４の透視図である。この基板搬送装置は基
板処理装置において搬送アーム１０１が基板１１０を保
持した状態で、各種基板処理部に搬送する装置である。
搬送アーム１０１は水平駆動部１０２によって回転およ
び所定の基板受け渡し位置への進退駆動されるととも
に、搬送アーム１０１は鉛直駆動部１０３によって水平
駆動部１０２に伴って水平面内で回転駆動および鉛直方
向に駆動される。 【０００３】鉛直駆動部１０３はボールネジ１０５を介
して収納部１０６に支持され、さらに収納部１０６は水
平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周囲の下面に
垂下するように固着されており、鉛直駆動部１０３は貫
通孔１０４ｈによって水平移動テーブル１０４を貫通し
ている。 【０００４】そして、この装置は搬送アーム１０１が基
板１１０を保持した状態で水平移動テーブル１０４が図
示しない駆動機構によって各種基板処理部に水平移動す
ることにより基板１１０を搬送し、その基板処理部では
水平駆動部１０２および鉛直駆動部１０３の駆動により
搬送アーム１０１を所定の基板受け渡し位置に移動さ
せ、基板１１０の受け渡しを行う。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の基板搬送装置では図４および図５に示すよう
に、収納部１０６の幅ＷＢは水平移動テーブル１０４の
貫通孔１０４ｈの幅ＷＡより大きくなっており、収納部
１０６は水平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周
囲の下面に取り付けられている。 【０００６】このように通常の基板搬送装置では、搬送
アーム、水平駆動部および収納部は水平移動テーブルの
貫通孔より大きいため、水平移動テーブルの貫通孔を通
過することができない。したがって、収納部、ボールネ
ジ、鉛直駆動部、水平駆動部および搬送アーム（以下
「搬送機構部」という）を一体として組立てた後にこれ
らを水平移動テーブルに組み付けることは不可能である
ため、搬送機構部と水平移動テーブルのそれぞれは別々
に組立てることができず、装置の組立てに多大な労力を
必要とした。 【０００７】逆に、同様の理由からひとたび製品として
出荷された装置では水平移動テーブルと収納部を分離す
るためには、搬送アームおよび水平駆動部を上方に取り
外した後に、収納部、ボールネジおよび鉛直駆動部を下
方に取り外さなければならず、それらをふたたび元の位
置に正確に取り付けることは大変困難で、実質上、搬送
機構部を水平移動テーブルから取り外すことができなか
った。そこで、装置の調整、修理等を行うメンテナンス
時などにおいては、水平移動テーブルから搬送機構部を
分離することは行わないで、両者が一体化したまま調整
や修理などの作業を行っていたため、メンテナンスに多
大な労力と時間を要した。 【０００８】また、上記のようなメンテナンス時には、
基板搬送装置を停止しなければならず、それにより基板
処理装置全体を停止する必要がある。ところが、上記の
ようにメンテナンスに時間がかかると、基板処理装置全
体を停止している時間（ダウンタイム）が長くなるとい
う問題もあった。 【０００９】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、装置の組立てやメンテナンスが
容易で、ダウンタイムが短い基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項１の装置は各基板受渡し部の間に
おいて基板を搬送するとともに、前記基板の受渡しを行
う基板搬送装置において、前記基板の搬送アームと、前
記搬送アームを水平および鉛直に駆動する駆動部と、前
記駆動部を支持して昇降させるボールネジとを有する搬
送部と；前記駆動部が貫通する開口部が上面に形成さ
れ、前記ボールネジの下端が底面内部に固設された筺体
と；を有する搬送機構本体と、前記搬送機構本体を着脱
自在に支持する水平移動テーブルと、を備え、前記筐体
を嵌入可能な貫通孔が前記水平移動テーブルに形成され
ているとともに、前記貫通孔に前記筐体が嵌入されたと
きに、前記筺体の上端に取り付けられた張り出し片が前
記貫通孔の縁に係合することにより、前記搬送機構本体
が前記水平移動テーブルに支持されることを特徴とす
る。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】 【００１３】 【１．実施の形態の構成と特徴】図１はこの発明にかか
る実施の形態の基板搬送装置の斜視図であり、図２は図
１の透視図である。両図および以下の各図においては、
床面に平行な水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向をＺ方向
とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義されており、さら
に、Ｚ軸を中心としてＸ−Ｙ面内の回転θも定義されて
いる。 【００１４】この基板搬送装置は基板処理装置等におい
て搬送アームが基板を保持した状態で各種基板処理部間
を移動することにより基板を搬送し、所定の基板処理部
において基板の受渡しを行う装置である。以下、この基
板搬送装置の構成を説明していく。 【００１５】この実施の形態の基板搬送装置は搬送アー
ム１の駆動機構として水平駆動部２および鉛直駆動部３
を備えており、搬送アーム１は水平駆動部２上に支持さ
れている。そして、図示しない制御部の制御に従って水
平駆動部２内部の図示しない駆動機構が水平駆動部２を
Ｘ軸の正負方向に進退駆動する。 【００１６】さらに、水平駆動部２は鉛直駆動部３によ
って支持されており、また、鉛直駆動部３はボールネジ
５に支持されている。そして、図示しない制御部の制御
に従い鉛直駆動部３内部の図示しない駆動機構がボール
ネジ５の雄ねじに対して螺合する図示しない雌ねじを回
転させることによってＺ方向に昇降する。そして、鉛直
駆動部３が昇降することによって鉛直駆動部３が昇降
し、それに伴って水平駆動部２および搬送アーム１も昇
降する。 【００１７】また、鉛直駆動部３は内部の図示しない駆
動機構により水平駆動部２および搬送アーム１をＸ−Ｙ
面内においてθ方向に回転駆動する。 【００１８】ボールネジ５の下端は収納部６の底面内部
に固設されており、さらに収納部６はその上面およびＹ
軸の負方向の側面が解放された直方体状の筐体６ａとそ
の上端に取り付けられたコ字型のプレート６ｂからなっ
ており、上面の開口部６ｈを貫通するようにボールネジ
５に支持された鉛直駆動部３が位置している。なお、搬
送アーム１、水平駆動部２、鉛直駆動部３およびボール
ネジ５全体が搬送部に相当している。 【００１９】水平移動テーブル４は水平面内に設けられ
た平板であり、その中央に貫通孔４ｈを備えている。こ
の貫通孔４ｈに筐体６ａが嵌入し、さらにプレート６ｂ
が水平移動テーブル４に支持されることによって収納部
６全体が支持されている。 【００２０】また、上記の搬送アーム１、水平駆動部
２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納部６が一体
となって図１に示したように搬送機構部２０（図２では
図示省略）を形成しており、収納部６が水平移動テーブ
ル４に支持されることによって搬送機構部２０全体が支
持されている。 【００２１】さらに水平移動テーブル４は図示しない駆
動機構によりＹ軸の正負方向に並進的に移動可能に構成
されており、図示しない制御部の制御によって各基板処
理部間を移動する。そして、この水平移動テーブル４の
移動によってこの基板搬送装置全体が各基板処理部間を
移動することによって、搬送アーム１が保持した基板１
０を搬送したり、各基板処理部においては搬送アーム１
がθ方向の回転とＸ軸方向およびＺ軸方向の移動により
基板処理部内の基板受渡し位置に進入し基板１０の受渡
しを行ったりする。 【００２２】さらに、要部についてより詳細に説明して
いく。 【００２３】水平移動テーブル４の中央には貫通孔４ｈ
が設けられており、収納部６は筐体６ａの幅ＷＤが水平
移動テーブル４の貫通孔４ｈの幅ＷＣより小さく、さら
にプレート６ｂの幅ＷＥは貫通孔４ｈの幅ＷＣより大き
く構成されている。そして、筐体６ａが水平移動テーブ
ル４の貫通孔４ｈを貫通し、プレート６ｂが水平移動テ
ーブル４の上面に支持されることにより、収納部６は水
平移動テーブル４の下方に垂下した状態で支持されてい
る。 【００２４】プレート６ｂは基板搬送動作時にはビスで
水平移動テーブル４に固定されているが、メンテナンス
時等にはそのビスを取り外し、収納部６を水平移動テー
ブル４から上方に抜き取ることによって搬送アーム１、
水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納
部６を一体化した搬送機構部２０を取り外すことができ
る。その搬送機構部２０を水平移動テーブル４から取り
外した状況を示したのが図３である。 【００２５】このように、この基板搬送装置により基板
搬送を行う基板処理装置等を停止して、さらに基板搬送
装置も停止した後に水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行う。そし
て、メンテナンスが終わると逆の手順で搬送機構部２０
を水平移動テーブル４に組付け、ビスで固定した後に基
板搬送装置および基板処理装置を稼働させてこの基板搬
送装置によって基板搬送を行う。 【００２６】逆に、この基板搬送装置を製品として組立
てる場合には、水平移動テーブル４を組み立て、図示し
ない駆動機構に組み付ける作業と並行して、搬送アーム
１、水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および
収納部６のそれぞれの組立てと、その後に搬送機構部２
０の組立て作業も行われる。そして最終的に水平移動テ
ーブル４に搬送機構部２０を組付ける。 【００２７】このように、この実施の形態の基板搬送装
置では、組立てる際には水平移動テーブル４と搬送機構
部２０とを別々に組立てた後に、収納部６の筐体６ａを
水平移動テーブル４の貫通孔４ｈに上方から嵌入させる
ことにより搬送機構部２０を水平移動テーブル４に組付
けることができるので組立てが容易である。 【００２８】また、水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行うことが
できるので、メンテナンスが容易であるとともに、それ
により、メンテナンスに要する時間を短縮することがで
きるため、ダウンタイムを短くすることができる。 【００２９】 【２．変形例】上記の実施の形態では収納部の筐体が直
方体の形状をしているために水平移動テーブルの貫通孔
を矩形のものとしたが、この発明はこれらを上記の形状
に限定するものではなく、収納部を六角柱状のものとし
て、水平移動テーブルの貫通孔を六角形状のものとする
などとしてもよく、さらに、水平移動テーブルの貫通孔
を水平移動テーブルの中央でなく、一辺側に切欠きを設
けたコ字型等としてもよい。 【００３０】また、上記の実施の形態では収納部６はＹ
の負方向の側面が解放された直方体状の筐体としたが４
方の側面ともに閉鎖された筐体としてもよく、それに伴
い、その上端に取り付けられたコ字型のプレートもロ字
型としてもよい。 【００３１】また、上記の実施の形態では水平駆動部が
搬送アームをＸ軸の正負方向に進退駆動し、鉛直駆動部
がＺ軸方向に昇降することにより搬送アームをＺ軸方向
に昇降し、鉛直駆動部が搬送アームをＸ−Ｙ面内におい
てθ方向に回転駆動する構成としたが、搬送アームの駆
動機構の構成はこれに限定されるものではなく水平駆動
部と鉛直駆動部を１つの駆動部とする構成等としてもよ
い。 【００３２】また、上記の実施の形態では水平移動テー
ブル４が水平方向に移動する構成としたが、収納部を支
持する支持台は固定されていてもよい。 【００３３】また、搬送アーム１および水平駆動部２は
収納部６の上方に常に突出している構成としたが、各基
板処理部内の基板受渡し位置との基板の受渡し時以外は
収納部６の内部にその全体が収納される構成とすること
も可能である。 【００３４】さらに、上記の実施の形態では対象とする
基板として半導体ウエハのような円形のものを対象とし
たため搬送アーム１もそれに対応した形状のものとした
が、搬送アームの形状はこれに限定されるものでなく、
液晶ガラス基板のようなの矩形の基板を対象とする場合
は搬送アームもそれに対応した形状のものにするなど他
の形状にしてもよい。 【００３５】 【発明の効果】以上説明したように、請求項１の基板搬
送装置では、収納部が支持台に係合することによって搬
送機構本体が支持台に対して着脱自在であるため、装置
を組立てる際には支持台、搬送部、および収納部を別々
に組立てた後に、搬送部および収納部を一体化させて搬
送機構本体として支持台に組付けることができるので組
立てが容易である。 【００３６】また、製品として出荷した後のメンテナン
スを行う際には、搬送機構本体を支持台から容易に取外
すことができるので、搬送機構本体を支持台から取外し
た状態でメンテナンスを行うことができるため、メンテ
ナンスが容易であるとともに、それにより、メンテナン
スに要する時間を短縮することができるため、ダウンタ
イムを短くすることができる。 【００３７】また、収納部が支持台の開口に挿通される
とともに収納部の張出し片が支持台の開口の縁に係合す
ることによって収納部が支持され、それによって搬送機
構本体が支持される構成であるので、搬送機構本体は支
持台に上方から組付けたり、支持台から上方に取外した
りすることができるため、支持台に対して一層容易に着
脱することができる。そのため、請求項１と同様に組立
ておよびメンテナンスが容易であるとともに、メンテナ
ンスに要する時間を短縮することができるため、ダウン
タイムを短くすることができる。
液晶用ガラス角型基板、半導体ウエハなどの基板（以下
「基板」という）を搬送すると共に、基板の受渡しを行
う基板搬送装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４は従来の基板搬送装置の斜視図であ
り、図５は図４の透視図である。この基板搬送装置は基
板処理装置において搬送アーム１０１が基板１１０を保
持した状態で、各種基板処理部に搬送する装置である。
搬送アーム１０１は水平駆動部１０２によって回転およ
び所定の基板受け渡し位置への進退駆動されるととも
に、搬送アーム１０１は鉛直駆動部１０３によって水平
駆動部１０２に伴って水平面内で回転駆動および鉛直方
向に駆動される。 【０００３】鉛直駆動部１０３はボールネジ１０５を介
して収納部１０６に支持され、さらに収納部１０６は水
平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周囲の下面に
垂下するように固着されており、鉛直駆動部１０３は貫
通孔１０４ｈによって水平移動テーブル１０４を貫通し
ている。 【０００４】そして、この装置は搬送アーム１０１が基
板１１０を保持した状態で水平移動テーブル１０４が図
示しない駆動機構によって各種基板処理部に水平移動す
ることにより基板１１０を搬送し、その基板処理部では
水平駆動部１０２および鉛直駆動部１０３の駆動により
搬送アーム１０１を所定の基板受け渡し位置に移動さ
せ、基板１１０の受け渡しを行う。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の基板搬送装置では図４および図５に示すよう
に、収納部１０６の幅ＷＢは水平移動テーブル１０４の
貫通孔１０４ｈの幅ＷＡより大きくなっており、収納部
１０６は水平移動テーブル１０４の貫通孔１０４ｈの周
囲の下面に取り付けられている。 【０００６】このように通常の基板搬送装置では、搬送
アーム、水平駆動部および収納部は水平移動テーブルの
貫通孔より大きいため、水平移動テーブルの貫通孔を通
過することができない。したがって、収納部、ボールネ
ジ、鉛直駆動部、水平駆動部および搬送アーム（以下
「搬送機構部」という）を一体として組立てた後にこれ
らを水平移動テーブルに組み付けることは不可能である
ため、搬送機構部と水平移動テーブルのそれぞれは別々
に組立てることができず、装置の組立てに多大な労力を
必要とした。 【０００７】逆に、同様の理由からひとたび製品として
出荷された装置では水平移動テーブルと収納部を分離す
るためには、搬送アームおよび水平駆動部を上方に取り
外した後に、収納部、ボールネジおよび鉛直駆動部を下
方に取り外さなければならず、それらをふたたび元の位
置に正確に取り付けることは大変困難で、実質上、搬送
機構部を水平移動テーブルから取り外すことができなか
った。そこで、装置の調整、修理等を行うメンテナンス
時などにおいては、水平移動テーブルから搬送機構部を
分離することは行わないで、両者が一体化したまま調整
や修理などの作業を行っていたため、メンテナンスに多
大な労力と時間を要した。 【０００８】また、上記のようなメンテナンス時には、
基板搬送装置を停止しなければならず、それにより基板
処理装置全体を停止する必要がある。ところが、上記の
ようにメンテナンスに時間がかかると、基板処理装置全
体を停止している時間（ダウンタイム）が長くなるとい
う問題もあった。 【０００９】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、装置の組立てやメンテナンスが
容易で、ダウンタイムが短い基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項１の装置は各基板受渡し部の間に
おいて基板を搬送するとともに、前記基板の受渡しを行
う基板搬送装置において、前記基板の搬送アームと、前
記搬送アームを水平および鉛直に駆動する駆動部と、前
記駆動部を支持して昇降させるボールネジとを有する搬
送部と；前記駆動部が貫通する開口部が上面に形成さ
れ、前記ボールネジの下端が底面内部に固設された筺体
と；を有する搬送機構本体と、前記搬送機構本体を着脱
自在に支持する水平移動テーブルと、を備え、前記筐体
を嵌入可能な貫通孔が前記水平移動テーブルに形成され
ているとともに、前記貫通孔に前記筐体が嵌入されたと
きに、前記筺体の上端に取り付けられた張り出し片が前
記貫通孔の縁に係合することにより、前記搬送機構本体
が前記水平移動テーブルに支持されることを特徴とす
る。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】 【００１３】 【１．実施の形態の構成と特徴】図１はこの発明にかか
る実施の形態の基板搬送装置の斜視図であり、図２は図
１の透視図である。両図および以下の各図においては、
床面に平行な水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向をＺ方向
とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義されており、さら
に、Ｚ軸を中心としてＸ−Ｙ面内の回転θも定義されて
いる。 【００１４】この基板搬送装置は基板処理装置等におい
て搬送アームが基板を保持した状態で各種基板処理部間
を移動することにより基板を搬送し、所定の基板処理部
において基板の受渡しを行う装置である。以下、この基
板搬送装置の構成を説明していく。 【００１５】この実施の形態の基板搬送装置は搬送アー
ム１の駆動機構として水平駆動部２および鉛直駆動部３
を備えており、搬送アーム１は水平駆動部２上に支持さ
れている。そして、図示しない制御部の制御に従って水
平駆動部２内部の図示しない駆動機構が水平駆動部２を
Ｘ軸の正負方向に進退駆動する。 【００１６】さらに、水平駆動部２は鉛直駆動部３によ
って支持されており、また、鉛直駆動部３はボールネジ
５に支持されている。そして、図示しない制御部の制御
に従い鉛直駆動部３内部の図示しない駆動機構がボール
ネジ５の雄ねじに対して螺合する図示しない雌ねじを回
転させることによってＺ方向に昇降する。そして、鉛直
駆動部３が昇降することによって鉛直駆動部３が昇降
し、それに伴って水平駆動部２および搬送アーム１も昇
降する。 【００１７】また、鉛直駆動部３は内部の図示しない駆
動機構により水平駆動部２および搬送アーム１をＸ−Ｙ
面内においてθ方向に回転駆動する。 【００１８】ボールネジ５の下端は収納部６の底面内部
に固設されており、さらに収納部６はその上面およびＹ
軸の負方向の側面が解放された直方体状の筐体６ａとそ
の上端に取り付けられたコ字型のプレート６ｂからなっ
ており、上面の開口部６ｈを貫通するようにボールネジ
５に支持された鉛直駆動部３が位置している。なお、搬
送アーム１、水平駆動部２、鉛直駆動部３およびボール
ネジ５全体が搬送部に相当している。 【００１９】水平移動テーブル４は水平面内に設けられ
た平板であり、その中央に貫通孔４ｈを備えている。こ
の貫通孔４ｈに筐体６ａが嵌入し、さらにプレート６ｂ
が水平移動テーブル４に支持されることによって収納部
６全体が支持されている。 【００２０】また、上記の搬送アーム１、水平駆動部
２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納部６が一体
となって図１に示したように搬送機構部２０（図２では
図示省略）を形成しており、収納部６が水平移動テーブ
ル４に支持されることによって搬送機構部２０全体が支
持されている。 【００２１】さらに水平移動テーブル４は図示しない駆
動機構によりＹ軸の正負方向に並進的に移動可能に構成
されており、図示しない制御部の制御によって各基板処
理部間を移動する。そして、この水平移動テーブル４の
移動によってこの基板搬送装置全体が各基板処理部間を
移動することによって、搬送アーム１が保持した基板１
０を搬送したり、各基板処理部においては搬送アーム１
がθ方向の回転とＸ軸方向およびＺ軸方向の移動により
基板処理部内の基板受渡し位置に進入し基板１０の受渡
しを行ったりする。 【００２２】さらに、要部についてより詳細に説明して
いく。 【００２３】水平移動テーブル４の中央には貫通孔４ｈ
が設けられており、収納部６は筐体６ａの幅ＷＤが水平
移動テーブル４の貫通孔４ｈの幅ＷＣより小さく、さら
にプレート６ｂの幅ＷＥは貫通孔４ｈの幅ＷＣより大き
く構成されている。そして、筐体６ａが水平移動テーブ
ル４の貫通孔４ｈを貫通し、プレート６ｂが水平移動テ
ーブル４の上面に支持されることにより、収納部６は水
平移動テーブル４の下方に垂下した状態で支持されてい
る。 【００２４】プレート６ｂは基板搬送動作時にはビスで
水平移動テーブル４に固定されているが、メンテナンス
時等にはそのビスを取り外し、収納部６を水平移動テー
ブル４から上方に抜き取ることによって搬送アーム１、
水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および収納
部６を一体化した搬送機構部２０を取り外すことができ
る。その搬送機構部２０を水平移動テーブル４から取り
外した状況を示したのが図３である。 【００２５】このように、この基板搬送装置により基板
搬送を行う基板処理装置等を停止して、さらに基板搬送
装置も停止した後に水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行う。そし
て、メンテナンスが終わると逆の手順で搬送機構部２０
を水平移動テーブル４に組付け、ビスで固定した後に基
板搬送装置および基板処理装置を稼働させてこの基板搬
送装置によって基板搬送を行う。 【００２６】逆に、この基板搬送装置を製品として組立
てる場合には、水平移動テーブル４を組み立て、図示し
ない駆動機構に組み付ける作業と並行して、搬送アーム
１、水平駆動部２、鉛直駆動部３、ボールネジ５および
収納部６のそれぞれの組立てと、その後に搬送機構部２
０の組立て作業も行われる。そして最終的に水平移動テ
ーブル４に搬送機構部２０を組付ける。 【００２７】このように、この実施の形態の基板搬送装
置では、組立てる際には水平移動テーブル４と搬送機構
部２０とを別々に組立てた後に、収納部６の筐体６ａを
水平移動テーブル４の貫通孔４ｈに上方から嵌入させる
ことにより搬送機構部２０を水平移動テーブル４に組付
けることができるので組立てが容易である。 【００２８】また、水平移動テーブル４から搬送機構部
２０を取り外した状態でメンテナンス作業を行うことが
できるので、メンテナンスが容易であるとともに、それ
により、メンテナンスに要する時間を短縮することがで
きるため、ダウンタイムを短くすることができる。 【００２９】 【２．変形例】上記の実施の形態では収納部の筐体が直
方体の形状をしているために水平移動テーブルの貫通孔
を矩形のものとしたが、この発明はこれらを上記の形状
に限定するものではなく、収納部を六角柱状のものとし
て、水平移動テーブルの貫通孔を六角形状のものとする
などとしてもよく、さらに、水平移動テーブルの貫通孔
を水平移動テーブルの中央でなく、一辺側に切欠きを設
けたコ字型等としてもよい。 【００３０】また、上記の実施の形態では収納部６はＹ
の負方向の側面が解放された直方体状の筐体としたが４
方の側面ともに閉鎖された筐体としてもよく、それに伴
い、その上端に取り付けられたコ字型のプレートもロ字
型としてもよい。 【００３１】また、上記の実施の形態では水平駆動部が
搬送アームをＸ軸の正負方向に進退駆動し、鉛直駆動部
がＺ軸方向に昇降することにより搬送アームをＺ軸方向
に昇降し、鉛直駆動部が搬送アームをＸ−Ｙ面内におい
てθ方向に回転駆動する構成としたが、搬送アームの駆
動機構の構成はこれに限定されるものではなく水平駆動
部と鉛直駆動部を１つの駆動部とする構成等としてもよ
い。 【００３２】また、上記の実施の形態では水平移動テー
ブル４が水平方向に移動する構成としたが、収納部を支
持する支持台は固定されていてもよい。 【００３３】また、搬送アーム１および水平駆動部２は
収納部６の上方に常に突出している構成としたが、各基
板処理部内の基板受渡し位置との基板の受渡し時以外は
収納部６の内部にその全体が収納される構成とすること
も可能である。 【００３４】さらに、上記の実施の形態では対象とする
基板として半導体ウエハのような円形のものを対象とし
たため搬送アーム１もそれに対応した形状のものとした
が、搬送アームの形状はこれに限定されるものでなく、
液晶ガラス基板のようなの矩形の基板を対象とする場合
は搬送アームもそれに対応した形状のものにするなど他
の形状にしてもよい。 【００３５】 【発明の効果】以上説明したように、請求項１の基板搬
送装置では、収納部が支持台に係合することによって搬
送機構本体が支持台に対して着脱自在であるため、装置
を組立てる際には支持台、搬送部、および収納部を別々
に組立てた後に、搬送部および収納部を一体化させて搬
送機構本体として支持台に組付けることができるので組
立てが容易である。 【００３６】また、製品として出荷した後のメンテナン
スを行う際には、搬送機構本体を支持台から容易に取外
すことができるので、搬送機構本体を支持台から取外し
た状態でメンテナンスを行うことができるため、メンテ
ナンスが容易であるとともに、それにより、メンテナン
スに要する時間を短縮することができるため、ダウンタ
イムを短くすることができる。 【００３７】また、収納部が支持台の開口に挿通される
とともに収納部の張出し片が支持台の開口の縁に係合す
ることによって収納部が支持され、それによって搬送機
構本体が支持される構成であるので、搬送機構本体は支
持台に上方から組付けたり、支持台から上方に取外した
りすることができるため、支持台に対して一層容易に着
脱することができる。そのため、請求項１と同様に組立
ておよびメンテナンスが容易であるとともに、メンテナ
ンスに要する時間を短縮することができるため、ダウン
タイムを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明にかかる実施の形態の基板搬送装置の
斜視図である。 【図２】図１の透視図である。 【図３】実施の形態の水平移動テーブルから収納部を取
り外した状況を示す図である。 【図４】従来装置の斜視図である。 【図５】図４の透視図である。 【符号の説明】 １ 搬送アーム ２ 水平駆動部 ３ 鉛直駆動部 ４ 水平移動テーブル ４ｈ 貫通孔 ５ ボールネジ ６ 収納部 ６ａ 筐体 ６ｂ プレート １０ 基板
斜視図である。 【図２】図１の透視図である。 【図３】実施の形態の水平移動テーブルから収納部を取
り外した状況を示す図である。 【図４】従来装置の斜視図である。 【図５】図４の透視図である。 【符号の説明】 １ 搬送アーム ２ 水平駆動部 ３ 鉛直駆動部 ４ 水平移動テーブル ４ｈ 貫通孔 ５ ボールネジ ６ 収納部 ６ａ 筐体 ６ｂ プレート １０ 基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/07
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 各基板受渡し部の間において基板を搬
送するとともに、前記基板の受渡しを行う基板搬送装置
において、 (a) 前記基板の搬送アームと、前記搬送アームを水平
および鉛直に駆動する駆動部と、前記駆動部を支持して
昇降させるボールネジとを有する搬送部と； 前記駆動部
が貫通する開口部が上面に形成され、前記ボールネジの
下端が底面内部に固設された筺体と； を有する 搬送機構本体と、 (b) 前記搬送機構本体を着脱自在に支持する水平移動
テーブルと、を備え、 前記筐体を嵌入可能な貫通孔が前記水平移動テーブルに
形成されているとともに、 前記貫通孔に前記筐体が嵌入されたときに、前記筺体の
上端に取り付けられた張り出し片が前記貫通孔の縁に係
合することにより、前記搬送機構本体が前記水平移動テ
ーブルに支持される ことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30914095A JP3483685B2 (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30914095A JP3483685B2 (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148397A JPH09148397A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3483685B2 true JP3483685B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=17989393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30914095A Expired - Fee Related JP3483685B2 (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3483685B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109693941B (zh) * | 2019-01-31 | 2020-04-10 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 液晶面板的传输设备 |
-
1995
- 1995-11-28 JP JP30914095A patent/JP3483685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09148397A (ja) | 1997-06-06 |
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