JP4985171B2

JP4985171B2 - ロードポート装置の取付装置

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Publication number: JP4985171B2
Application number: JP2007187848A
Authority: JP
Inventors: 光夫夏目
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2007-07-19
Filing date: 2007-07-19
Publication date: 2012-07-25
Anticipated expiration: 2027-07-19
Also published as: JP2009026913A; KR20100047224A; TWI438856B; US8444125B2; TW200910508A; KR101474584B1; WO2009011428A1; US20100143027A1

Description

本発明は、半導体製造装置の壁体の取付面に着脱可能に装着されて、製造装置の内外においてウェハの移載を行うためのロードポート装置において、前記壁体への装着の際に、取付けとその位置決めがほぼ同時に行える取付装置を備えたロードポート装置に関するものである。

半導体工場において、製品であるウェハは、複数枚ずつウェハキャリア（以下、単に「キャリア」という。）内に収納された状態で、キャリア搬送システムによりキャリア単位で生産ライン内の各設備に運ばれる。キャリアとして、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）が用いられることが多い。キャリア単位でウェハを受け取ってウェハの処理を施すための半導体製造装置（以下、単に「製造装置」と言うこともある。）における壁体の取付面には、ロードポート装置が装着されている。当該ロードポート装置は、前記キャリア搬送システムから製造装置に搬送されたキャリアを載置して、当該キャリア内に収容されているウェハを製造装置内に移載し、又、製造装置内で処理された後のウェハを移載してキャリア内に再び収容するためのものである。

ロードポート装置は製造装置に対して着脱可能であり、例えば、製造装置内の清掃、前記製造装置内の各種装置の交換や修理のために、しばしばロードポート装置は製造装置に着脱される。又、取り外されたロードポート装置、或いは取付け予定のロードポート装置を移動する際は、例えば、特許文献１のように、ロードポート装置の下部に台車を装着して、所定場所まで移動させている。キャリア搬送システムを停止させることなく、速やかに製造装置内の各種装置の交換や修理を実施するためには、ロードポート装置の着脱が迅速に行われる必要がある。このため、ロードポート装置の着脱時間の短縮、特に装着（取付け）時間の短縮が強く求められている。通常、前記装着には１０ないし２０分間かかるが、最近では２ないし５分の取付け時間が求められており、短い取付け時間は、ロードポート装置における重要な特長の一つとなっている。

取付け時間の短縮を目的とするロードポート装置としては、例えば、特許文献２のような取付装置Ａ’を有するロードポート装置Ｌ’が挙げられる。図１０に示されるように、当該ロードポート装置Ｌ’の下側板部分の取付装置Ａ’は、前記ロードポート装置Ｌ’の装着盤８１の下端部に形成された位置合わせプレート８２と、製造装置Ｅ’の取付面８０の下部に固定された一対の位置決めガイド８３ａ，８３ｂと、当該位置決めガイド８３ａ，８３ｂの間に挟まれて、前記位置合わせプレート８２を受けるためのプレート受け８４とから構成されている。ロードポート装置Ｌ’が取付面８０に装着される際は、前記位置合わせプレート８２が前記各位置決めガイド８３ａ，８３ｂの間に差し込まれて、前記プレート受け８４に支持されることで位置決めされる。又、装着盤８１の下端面が下部ブラケット８５に当接することによって、ロードポート装置Ｌ’全体が支持される。当該取付装置Ａ’の場合、位置合わせプレート８２が薄板状であり、当該位置合わせプレート８２が差し込まれる空間も狭いため、位置決めガイド８３ａ，８３ｂ間に位置合わせプレート８２を合わせて差し込みにくく、手間がかかってしまう。又、位置合わせプレート８２を差し込む構成上、位置決めガイド８３ａ，８３ｂの間の距離よりも、位置合わせプレート８２の幅の方が大きいため、前記位置合わせプレート８２が差し込まれても僅かに隙間が生じるので、完全には位置決めができない。更に、ロードポート装置Ｌ’の位置決めを行うことができても、ロードポート装置Ｌ’全体を支持するのは、薄板状の下部ブラケット８５であるため安定性が悪く、ロードポート装置Ｌ’を前記取付面８０にねじ留めする際にはロードポート装置Ｌ’の装着盤８１の下端面が下部ブラケット８５からずれてしまわないように、慎重に支えながらねじ留めを行わなければならない。なお、図中の符号８６は、ロードポート装置Ｌ’のキャスタである。
特開２０００−３３２０７９号公報特開２００１−３４５３６６号公報

本発明は、ロードポート装置を製造装置の取付面に簡単に、かつ操作手順を減じて取り付けることによって、取付け時間を大幅に短縮することを課題としている。

上記の課題を解決するために請求項１の発明は、半導体製造装置との間でウェハの出し入れを行うために、当該ウェハを収容したウェハキャリアを載置するロードポート装置を、前記半導体製造装置の壁体の外側の取付面に位置決めして取り付けるための取付装置であって、前記ロードポート装置の下端部に取付けられた台車体の奥側に左右一対の位置決め凸部が下方に向けて突設され、前記位置決め凸部は、支持球体で構成されて、当該支持球体は、当該支持球体を支持する支持体の下面から半球よりも小さな一部のみが突出した状態で、当該支持体に全方向に対して回転可能に支持され、前記壁体の取付面の下端部には、支持板が手前側に突出して固定され、当該支持板の上面には、前記一対の位置決め凸部を嵌合させるための一対の位置決め凹部が形成され、前記位置決め凹部は、前記支持球体が転動可能な中空逆円錐台状の支持球体転動案内面と、当該支持球体転動案内面の中心部に形成された位置決め孔部とから成り、ロードポート装置の取付け時において、前記一対の支持球体は、前記一対の支持球体転動案内面を転動して、一対の位置決め孔部に落し込まれることにより、当該ロードポート装置は、半導体製造装置の壁体に対して位置決めされる構成であることを特徴としている。

請求項１の発明によれば、台車体の奥側の位置決め凸部の部分を持ち上げた状態で、ロードポート装置を製造装置の壁体に近接するように移動させて、ロードポート装置が前記壁体に当接する直前において、持ち上げられた状態の前記台車体の奥側の下端部を下げると、当該台車体の奥側に下方に向けて突設された左右一対の位置決め凸部を構成する各支持球体が、壁体に取り付けられた支持板上面に形成された左右一対の位置決め凹部にそれぞれ嵌合される。更に、具体的には、台車体の奥側の一対の支持球体が、支持板に形成された一対の位置決め凹部を形成する各位置決め孔部に嵌合されて、嵌合部分が水平面内において全方向に対して移動できなくなる。即ち、壁体の取付面に対するロードポート装置は、水平面内の全方向についても位置決めが行われる。当該位置決めによって、嵌合部分が水平面内において全方向に対して移動できなくなる。これによって、台車体が設置面から僅かに浮上して、ロードポート装置の背面、即ち装着盤の背面側が前記壁体に密着した形態で、ロードポート装置全体が支持板に支持される。又、ロードポート装置が支持板に支持されるので、ロードポート装置を壁体にねじ留めする際、ロードポート装置の周縁全体をボルト等で留める必要はなく、上端部のみを留めるのみで足り、ねじ留めにかかる時間が短縮できる。即ち、壁体の取付面に対するロードポート装置は、水平面内の全方向についても位置決めが行われる。この結果、台車体の奥側を持ち上げた状態で、ロードポート装置を壁体に近接移動させて、その移動端で台車体の奥側を下げて、当該台車体の奥側に下方に向けて突設された左右一対の位置決め凸部を、壁体の取付面の下端部に形成された一対の位置決め凹部に嵌合させるという簡単な操作によって、前記取付面に対してロードポート装置は、垂直方向は勿論のこと、奥行方向（取付面に垂直な水平方向）、及び幅方向（取付面に平行な水平方向）の位置決めも同時に行われる。

また、直ちに位置決めされない場合には、製造装置に対してロードポート装置を左右又は前後に動かして、前記一対の支持球体を、一対の位置決め凹部を構成する各支持球体転動案内面上を転動させると、ロードポート装置の自重により、一対の支持球体は、一対の位置決め孔部に自動的に落し込まれて位置決めされる。

請求項２の発明は、請求項１の発明において、上面に一対の位置決め凹部が形成された前記支持板は、前記壁体に標準ピッチで形成されたねじ孔に一対のボルトを介して固定される固定板に対して一体に取り付けられていることを特徴としている。

請求項２の発明によれば、前記支持板を取付面の下端部に固定する際には、当該支持板を取付けるための専用のねじ孔を前記壁体に形成することなく、前記壁体に予め規格化されて形成されている標準ピッチの取付孔を利用する。これによって、製造装置によらずに前記支持板を取付面の下端部に固定することが可能であり、新たな取付孔を穿孔する必要が無いので、取付け時間の短縮につながる。

請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記台車体の手前側及び奥側には、それぞれ左右一対のキャスタ、及び高さ調整可能な左右一対の支持ボルトが取り付けられた構成であることを特徴としている。

請求項３の発明によれば、前記台車体の奥側に高さ調整可能な支持ボルトが左右一対に取り付けられているため、台車体が取り付けられたロードポート装置は安定的に自立できる。又、前記支持ボルトの高さを調整することによって、前記ロードポート装置を手前側に僅かに前傾した姿勢にできるので、ロードポート装置の奥側を持ち上げることがより容易に行える。

本発明によれば、ロードポート装置を製造装置の取付面に取り付ける際に、ロードポート装置の下端部に固定された位置決め凸部を構成する一対の支持球体を、製造装置の取付面下端部の支持板に形成された位置決め凹部の支持球体転動案内面を転動させて、その最も低い部分に形成された位置決め孔部に落し込んで嵌合させることによって、前記ロードポート装置は、垂直方向及び幅方向の全方向に対して位置決めされると同時に、全体が前記支持板に支持されるので、ロードポート装置の取付面へのねじ留めは上端部のみで足りる。従って、位置決めやねじ留めの操作が簡略化され、操作に要する時間が減るので、ロードポート装置の取付けに要する時間が大幅に短縮される。

以下、最良の実施形態を挙げて本発明について更に詳細に説明する。図１は、本発明に係るロードポート装置Ｌの全体斜視図である。図２は、取付装置Ａ₁における位置決め凸部１０、及び台車体Ｂが取り付けられたロードポート装置Ｌの下側板部分を下方向から見た拡大斜視図である。図３は、ロードポート装置Ｌの取付装置Ａ₁における位置決め凸部１０と位置決め支持体２０を示した図である。図４は、取付面５１に取り付けられた状態にあるロードポート装置Ｌの下側部分の縦断面図である。図５は、取付装置Ａ₁の縦断面図において、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合される前後を示す図である。図６は、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合される前後を示すロードポート装置Ｌの下側部分の正面図である。図７は、取付面５１にロードポート装置Ｌを取り付ける手順を示す図である。

最初に、図１を用いてロードポート装置Ｌについて説明する。ロードポート装置Ｌは、製造装置Ｅの壁体５０の取付面５１に装着される長方形板状の装着盤３１、該装着盤３１に形成されたウェハ移載窓３２、当該ウェハ移載窓３２の略下端部に手前側に向けて水平に突設されたキャリアテーブル３４と、キャリアＫ（図示せず）を載置するために、前記キャリアテーブル３４上にウェハの搬出入方向に沿って進退可能に配設されたキャリアベース３５から構成される。キャリア移載窓３２は、キャリアＫの蓋体に吸着して当該蓋体を開閉するための吸着機構３３ａ，３３ｂを備えている。又、キャリアベース３５上には、キャリアＫを位置決めした状態で載置するための位置決め支持ピン３５ａ、及び載置されたキャリアＫを係止するためのクランプ具３５ｂ、キャリアＫが載置されたことを検出するための着座センサ３５ｃが設けられている。ここで、前記キャリアテーブル３４が配設されている側をロードポート装置Ｌの正面側とする。当該正面側には、キャリアＫの蓋体を脱着して開閉させるための蓋体開閉装置の昇降装置３６がキャリアテーブル３４の下側に配設されていて、通常カバー体３９で覆われている。装着盤３１の左右両側端部には、側板部３７が縦方向に沿って取り付けられている。当該側板部３７の下端部付近には、後述の台車体Ｂが装着されている。又、前記装着盤３１の下端部において、前記左右各側板部３７の内側に一対の取付具３８が装着されていて、当該各取付具３８を介して、ロードポート装置Ｌの取付装置Ａ₁を構成する位置決め凸部１０が下方に向けて突設されている。なお、キャリアＫ内各段のウェハの存否を検出するマッピング装置の昇降装置は、キャリアテーブル３４の側方下部に配設されているが、図示していない。一方、製造装置Ｅの壁体５０には、ロードポート装置Ｌを取付けるために、ロードポート装置Ｌの縦（垂直）方向と幅方向の大きさに対応した長方形状の開口が形成されていて、当該開口における前記装着盤３１の背面と接する（対向する）側の面を取付面５１とする。当該取付面５１の周縁付近には、ロードポート装置Ｌをボルト等で固定して取り付けるための取付孔５２が規格化された所定箇所に標準ピッチで形成されていて、一般的には、前記取付孔５２は、取付面５１の四隅付近と、垂直方向における中央部分の左右２箇所の計６箇所に形成されている。前記取付面５１の下端部には、前記取付装置Ａ₁を構成する位置決め支持体２０がねじ留めされて取り付けられている。

次に、図１ないし図３を用いて、ロードポート装置Ｌの取付装置Ａ₁について説明する。取付装置Ａ₁は、一対の位置決め凸部１０と前記位置決め支持体２０から構成される。まず、位置決め凸部１０の構成について説明する。図２に示されるように、位置決め凸部１０は、支持球体１１と当該支持球体１１を支持する支持体１２から構成されている。前記支持球体１１は、その一部分が前記支持体１２の底面から突出するように支持体１２内に収容された状態で支持体１２に支持されていて、支持球体１１の突出部分の先端が位置決め凹部２３に当接する。本実施例では、位置決め凸部１０の一例として公知のボールベアを採用している。当該ボールベアは、搬送物の荷重を受ける支持球体１１が設置面Ｇ上、又は搬送物下面を滑らかに転がることによって、搬送を容易にするためのものである。なお、位置決め凸部１０の形状は位置決め凹部２３に嵌合可能な突条体であればよく、横断面が円形以外の形状でも構わない。位置決め凸部１０をロードポート装置Ｌの下端部に取り付ける方法は問わないが、本実施例では取付具３８を介して取り付けている。即ち、図２に示されるように、位置決め凸部１０の上端には、ねじ部１３が起立して固定されていて、前記取付具３８の左右中央部を垂直方向に貫通したねじ孔３８ａに、前記ねじ部１３を下から螺入することにより、位置決め凸部１０が取付具３８に取り付けられている。なお、取付具３８がロードポート装置Ｌの装着盤３１の下端部に装着される方法として、本実施例では、取付具３８に前記ねじ孔３８ａと干渉しないように、前記ねじ孔３８ａを両側から挟むように前後方向（水平面内の幅方向と直交する方向）に貫通された一対のねじ孔３８ｂ、及び装着盤３１に形成されたねじ孔（図示せず）に、ねじ６１が螺合されることによって取付具３８が着脱可能に装着されている。

次に、図１、図３、及び図４を用いて、取付装置Ａ₁の位置決め支持体２０について説明する。位置決め支持体２０は、前記取付面５１の下端部に固定される長尺板状の固定板２１と、当該固定板２１の下端部付近に取り付けられ、取付面５１に対して垂直に突出した支持板２２から構成される。固定板２１には、長尺方向（幅方向）の両端部にねじ孔２４が形成されている。取付面５１の周縁には取付孔５２が規格化された標準ピッチで形成されていて、左右二つのねじ孔２４のなす幅は、取付面５１を挟んだ左右両側の取付孔５２の幅と対応しているため、位置決め支持体２０は、固定板２１のねじ孔２４及び前記取付孔５２にボルト等のねじ６４が螺合されることによって、取付面５１の下端部に取り付けられている。位置決め支持体２０が上記の構成であるため、当該位置決め支持体２０を取付面５１に取り付ける際は、前記取付孔５２を利用すればよく、新たに壁体５０に穿孔する必要はない。又、前記取付孔５２を利用できるので、当該位置決め支持体２０は、別の製造装置Ｅにも使用可能となって汎用性がある。次に、支持板２２について説明する。支持板２２は、固定板２１と同様に１枚の長尺板状でもよいが、本実施例では、短片状の支持板２２が左右一対として固定板２１に取り付けられている。前記支持板２２には、前記一対の位置決め凸部１０をそれぞれ嵌合するための一対の位置決め凹部２３が形成されていて、本実施例では、左右各支持板２２に位置決め凹部２３が一箇所ずつ形成されている構成である。従って、前記各位置決め凹部２３がなす幅と、一対の位置決め凸部１０がなす幅の大きさは対応している。

次に、図４を用いて取付装置Ａ₁の位置決め凹部２３について説明する。位置決め凹部２３は、平面視で円形の中空形状となっている。本実施例では、位置決め凹部２３は、支持板２２の上面から深さ方向に沿って径が小さくなったすり鉢状に形成された中空円錐台形状の支持球体転動案内面２３ａと、当該支持球体転動案内面２３ａの底部から前記支持板２２の裏面にかけて前記底部と同一径で円筒状に開口された位置決め孔部２３ｂとからなる。支持球体転動案内面２３ａの底部の径の大きさは、位置決め凸部１０の支持球体１１の突出部分における最大径よりも小さくなっている。図４に示されるように、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合されている状態では、前記支持球体１１は、突出部分の先端を前記位置決め孔部２３ｂに僅かに進入させた状態で、前記底部の周縁部（突条係止部２３ｃ）に係止されて、ロードポート装置Ｌの全荷重を受けている。なお、位置決め凹部２３の平面視の形状は円形に限られず、位置決め凸部１０の形状に対応して嵌合可能であればよい。

次に、図１ないし図４を用いて台車体Ｂについて説明する。台車体Ｂは、ロードポート装置Ｌを自由に移動させるためのものであって、左右各側板部３７の下端部それぞれにボルト等のねじ６２で取り付けられていて、前記側板部３７の長尺方向（垂直方向）に対して手前側に配設された左右一対のフレーム４１、当該各フレーム４１の手前側の端部の下方に装着された一対のキャスタ４２、ロードポート装置Ｌを自立可能にするために前記各フレーム４１の奥側の端部に取り付けられた高さ調整可能な左右一対の支持ボルト４３、及び一対のフレーム４１が平行して対向するように各フレーム４１を手前側の端部付近で連結するための連結フレーム４５から構成される。前記左右一対のフレーム４１について、本実施例では、図２に示されるように、各フレーム４１は、略直角三角形状の板状部材からなり、当該直角三角形の直角をなす２辺からそれぞれ直立したフランジ部には、側板部３７にフレーム４１を固定するためのねじ孔４１ａと、支持ボルト４３を挿通するためのねじ孔及びキャスタ４２を装着するためのねじ孔（共に図示せず）が、各々穿孔されている。各フレーム４１は、側板部３７の下端部付近に形成されたねじ孔３７ｂと前記ねじ孔４１ａにボルト等のねじ６２がワッシャー６３を介して螺合されることによって、各側板部３７に固定される。このため、台車体Ｂはロードポート装置Ｌに着脱可能である。キャスタ４２は、一般的に使用されるものでよく、フレーム４１に対してボルト等のねじ６７でねじ留めされて装着されている。支持ボルト４３は、フレーム４１に形成されたねじ孔に垂直方向に挿通されて、ストッパーとしてのナット４４に螺合されることで、高さを調整可能となっている。支持ボルト４３は、高さ調整可能であればボルト以外であってもよく、その構成は問わない。支持ボルト４３の下端部は皿状の当接部４３ａを介して設置面Ｇと接している。図４に示されるように、支持ボルト４３の高さＨ₁（フレーム４１の下面から当接部４３ａ下端部までの垂直距離）が、キャスタ４２の高さＨ₂（フレーム４１の下面からキャスタ４２下端部までの垂直距離）よりも大きく設定されることによって、台車体Ｂが取り付けられたロードポート装置Ｌは、手前側に僅かに前傾した姿勢で自立できる。前記位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合されている状態において、前記キャスタ４２及び支持ボルト４３は設置面Ｇから浮上した状態にある。更に、連結フレーム４５は、例えば、断面Ｌ字状の長尺部材からなり、当該連結フレーム４５の長手方向が各フレーム４１の長手方向に直交するように、即ち、ロードポート装置Ｌの幅方向と平行になるように配置されて、その各端部がそれぞれ各フレーム４１のキャスタ４２の後方（奥側）にボルト等のねじ６８でねじ留めされて固定される。このため、各側板部３７に固定されたフレーム４１同士は常に平行に対向している。なお、台車体Ｂを構成する各部材は、それぞれねじ留めにより固定されているので、台車体Ｂの解体、組立てが可能である。

取付面５１に取り付けられた状態におけるロードポート装置Ｌは、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合されていることにより、全体として支持板２２に支持されていて、前記ロードポート装置Ｌの左右の側板部３７の上端部に形成されているねじ孔３７ａと、それに対応する取付面５１の周縁の取付孔５２に、ワッシャー６６等を介してボルト等のねじ６５が螺合されていることによって、安定的に取付面５１に配設されている。

次に、図４ないし図６を用いて、ロードポート装置Ｌの取付装置Ａ₁における作用について説明する。製造装置Ｅの壁体５０における取付面５１に前記ロードポート装置Ｌを取り付ける際には、ロードポート装置Ｌの装着盤３１側（台車体Ｂの奥側）の位置決め凸部１０の部分を持ち上げた状態で、ロードポート装置Ｌを製造装置Ｅの壁体５０に近接するように移動させ、ロードポート装置Ｌが前記壁体５０の取付面５１に当接する直前で、持ち上げられた状態の前記位置決め凸部１０を下ろすと、下方に向けて突設された左右一対の位置決め凸部１０が、前記取付面５１の下端部に固定された位置決め支持体２０の支持板２２上に載置される。このとき、一度で前記位置決め凸部１０が支持板２２上の位置決め凹部２３に至った場合、位置決め凸部１０の支持球体１１の位置が突条係止部２３ｃの位置と完全に一致することによって、或いは、前記支持球体１１が位置決め凹部２３の支持球体転動案内面２３ａに当接後、当該支持球体１１が転動して支持球体転動案内面２３ａの傾斜面を滑り落ちることによって、前記支持球体１１は前記突条係止部２３ｃに到達して係止され、その結果、位置決め凸部１０は位置決め凹部２３に嵌合する。突条係止部２３ｃの位置は垂直方向及び水平方向のいずれも固定されているので、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合することによって、当該位置決め凸部１０は、垂直方向、及び水平方向の全ての方向について正規な位置に位置決めされたこととなる。一方、図６に示されるように、台車体Ｂの奥側を持ち上げた状態にあるロードポート装置Ｌを前記支持板２２上に下ろした際に、前記位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に対して多少ずれて配置された場合には、前記ロードポート装置Ｌを僅かに動かすことで前記支持球体１１が転動し、前記位置決め凸部１０は前記位置決め凹部２３に至る。前記位置決め凸部１０が前記位置決め凹部２３に至れば、上記したように、直ちに前記支持球体１１は支持球体転動案内面２３ａの傾斜面を滑り落ちて突条係止部２３ｃで係止され、位置決め凸部１０は位置決め凹部２３に嵌合される。従って、ロードポート装置Ｌの台車体Ｂの奥側を持ち上げて支持板２２に載置する時点で、厳密に位置決め凹部２３に位置決め凸部１０を合わせようとして、時間を掛けて慎重を期す必要はなく、万一、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３から多少ずれても、ロードポート装置Ｌを微動させることで支持球体１１が転動し、前記位置決め凸部１０は正規の位置に誘導されて位置決めされる。又、一対の位置決め凸部１０がそれぞれ位置決め凹部２３に嵌合することによって、当該位置決め凸部１０の支持球体１１は、突条係止部２３ｃに係止されていて、当該係止部分においてロードポート装置Ｌの全荷重を支えており、この結果、ロードポート装置Ｌは全体として前記支持板２２に支持される。支持板２２に支持されたロードポート装置Ｌを取付面５１にボルト等のねじ６５で固定して取り付ける際、ねじ留め箇所は最小限で済む。本実施例では、前記ロードポート装置Ｌの左右の各側板部３７の上端部に形成されているねじ孔３７ａを利用して、前記ロードポート装置Ｌの上端部分の左右２箇所をねじ留めするのみで、確実にかつ安定的に取付面５１に取り付けられている。通常、ロードポート装置Ｌには、左右各側板部３７の垂直方向の中央部分にもねじ孔が形成されていることが多いが、本実施例では、当該ねじ孔を用いる必要は無い。更に、取付面５１からロードポート装置Ｌを取り外すことも容易に行える。即ち、ねじ６５を取外し後、位置決め凸部１０と位置決め凹部２３との嵌合部分を支点として前記ロードポート装置Ｌを回動させるように前傾させて、キャスタ４２を設置面Ｇに当接させることによって、或いは、キャスタ４２が設置面Ｇと当接後、今度はキャスタ４２を支点として前記ロードポート位置Ｌの台車体Ｂの奥側を持ち上げることによって、支持球体１１の突出部分の先端が進入していた位置決め孔部２３ｂから後退し、簡単に突条係止部２３ｃから外れて係止状態が解かれるので、位置決め凸部１０は干渉を受けることなく位置決め凹部２３から脱離する。

次に、図７を用いて、ロードポート装置Ｌの取付面５１への取付方法について説明する。まず、ロードポート装置Ｌは手前側に前傾姿勢で安定的に自立している〔図７（イ）〕。次に、製造装置Ｅの壁体５０における取付面５１付近にロードポート装置Ｌを作業員（図示せず）が搬送する。このとき、作業員は１人で足り、当該作業員は、前記ロードポート装置Ｌの台車体Ｂの手前側（図面右手側）に立ち、支持ボルト４３が設置面Ｇから離れる程度に、キャスタ４２と設置面Ｇとの接点Ｇ₁を支点にしてロードポート装置Ｌにおける台車体Ｂの奥側（図面左手側）を持ち上げた状態で搬送すればよい。前記作業員がロードポート装置Ｌを持ち上げる場合、ロードポート装置Ｌが前傾姿勢であるため、前記接点Ｇ₁を支点にして台車体Ｂの奥側を持ち上げ易く、搬送し易い。上記のように前記作業員は、前記接点Ｇ₁を支点にしてロードポート装置Ｌの前記装着盤３１側の位置決め凸部１０の部分を持ち上げ、持ち上げられた状態のロードポート装置Ｌを、キャスタ４２を利用して前記取付面５１に近接するように移動させる。〔図７（ロ）〕。一対の位置決め凸部１０が各位置決め凹部２３にそれぞれ嵌合するように、持ち上げられた状態のロードポート装置Ｌにおける台車体Ｂの奥側を前記接点Ｇ₁を支点として支持板２２上に下ろす〔図７（ハ）〕。このとき、前記位置決め凸部１０の支持球体１１が位置決め凹部２３に至らなければ、左右又は前後に僅かに前記台車体Ｂの奥側を動かして、位置決め凸部１０を位置決め凹部２３に嵌合させる。前記支持球体１１は突条係止部２３ｃで係止されて位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合すると、自動的にロードポート装置Ｌの位置決めが完了し、前記ロードポート装置Ｌは支持板２２に支持される〔図７（ニ）〕。最後に、前記作業員は、ロードポート装置Ｌの上端部における左右２箇所を、ボルト等のねじ６５でワッシャー６６を介してねじ留めして、ロードポート装置Ｌを前記取付面５１に取り付ける。取付装置Ａ₁が位置決め凸部１０と位置決め支持体２０から構成されているので、位置決め凸部１０を位置決め凹部２３に嵌合する際に、ロードポート装置Ｌのカバー体３９で位置決め凸部１０が見えづらい場合でも、支持板２２上面に位置決め凸部１０が載りさえすれば、ロードポート装置Ｌを微動させるのみで、簡単に位置決めが誘導されて自動的に完了する。又、ロードポート装置Ｌの取付面へのねじ留め箇所が必要最小限で済む。従って、作業員一人で十分にロードポート装置Ｌの搬送、位置決め、及び取付けを短時間で実施可能である。なお、位置決め支持体２０を取付面５１の下端部に取り付けるタイミングは、ロードポート装置Ｌを取付面５１まで搬送する前に予め取り付けておいてもよいし、ロードポート装置Ｌの搬送の後、当該ロードポート装置Ｌの取付けの直前でもよく、随時都合のよいときを選択すればよい。又、台車体Ｂの着脱については、台車体Ｂはロードポート装置Ｌに対して、側板部３７を介してねじ留めされているので、必要に応じて適宜着脱可能である。一方、取付面５１に取り付けられたロードポート装置Ｌを取り外す場合には、以下の手順で容易に実施できる。まず、ねじ留めされた前記２箇所のねじ６５を取り外す。次に、位置決め凸部１０と位置決め凹部２３との嵌合部分を支点として前記ロードポート装置Ｌを回動させるように前傾させて、キャスタ４２を設置面Ｇに当接させる。キャスタ４２が設置面Ｇと当接後、今度はキャスタ４２を支点として前記ロードポート装置Ｌの台車体Ｂの奥側を僅かに持ち上げることによって、支持球体１１は簡単に突条係止部２３ｃから外れるので、位置決め凸部１０は干渉を受けることなく位置決め凹部２３から脱離する。最後に、台車体Ｂの奥側を持ち上げた状態のまま、ロードポート装置Ｌをキャスタ４２を利用して前記取付面５１及び製造装置Ｅから移動する。

次に、図８を用いて他の実施例（第２実施例）の取付装置Ａ₂について説明する。図８（イ）は、取付装置Ａ₂において、装着盤３１下端部に取付けられた状態における位置決め凸部１０’の斜視図である。同（ロ）は、前記位置決め凸部１０’が位置決め支持体２０の支持板２２に形成された位置決め凹部２３に嵌合された状態を示した縦断面図である。なお、同（ロ）において、取付け用のねじ類は省略してある。第２実施例として、以下のような構成の取付装置Ａ₂も可能である。当該取付装置Ａ₂の構成は、位置決め凸部１０’の形状の点において取付装置Ａ₁と相違している。即ち、取付装置Ａ₁の位置決め凸部１０は、荷重を受けてかつ転動する支持球体１１を備えた荷重支持ユニット構造となっている一方、取付装置Ａ₂の位置決め凸部１０’は、横断面形状は円形であるが先端部が円錐状の突条体であり、位置決め凹部２３の支持球体転動案内面２３ａにおける中空円錐台形状に対応している。前記位置決め凸部１０’は位置決め凸部１０と同様に、装着盤３１の下端部の左右に取り付けられている。取付装置Ａ₂を用いた場合のロードポート装置Ｌの取付方法において、ロードポート装置Ｌの台車体Ｂの奥側の下端部を持ち上げて、位置決め凸部１０’を支持板２２上に下ろすと、位置決め凸部１０’と位置決め凹部２３の位置が一致していれば、そのまま両者は嵌合される。又、多少ずれた場合でも、ロードポート装置Ｌを微動させることによって、位置決め凸部１０’が位置決め凹部２３内に落ちて、両者は嵌合される。このとき、円錐形状の位置決め凸部１０’はその先端を僅かに位置決め孔部２３ｂ内に進入させた状態で突条係止部２３ｃに係止されて、ロードポート装置Ｌ全体の荷重が位置決め凸部１０’を介して位置決め凹部２３に支持される。前記位置決め凸部１０の側面全体が前記支持球体転動案内面２３ａの表面全体に当接しているので、位置決め凸部１０の支持球体１１の場合と比較して、ロードポート装置Ｌ全体の荷重を支持する総面積が大きくなるので、ロードポート装置Ｌはより安定化して支持される。ロードポート装置Ｌの位置決めについては、取付装置Ａ₁と同様であり、位置決め凹部２３の位置が決まっているので、位置決め凸部１０’は、位置決め凹部２３に嵌合することで垂直方向及び水平方向の全方向について位置決めされる。

次に、図９を用いて更に別の実施例（第３実施例）の取付装置Ａ₃について説明する。図９（イ）は、取付装置Ａ₃において、装着盤３１下端部に取付けられた状態における位置決め凸部１０”の斜視図である。同（ロ）は、前記位置決め凸部１０”が位置決め支持体２０の支持板２２に形成された位置決め凹部２３”に嵌合された状態を示した縦断面図である。なお、同（ロ）においても、取付け用のねじ類は省略してある。第３実施例として、以下のような構成の取付装置Ａ₃も可能である。当該取付装置Ａ₃の構成は、位置決め凸部１０”及び位置決め凹部２３”において取付装置Ａ₁と相違している。即ち、取付装置Ａ₃の位置決め凸部１０”は、横断面形状は円形であるが、円柱体の一端に半球を合わせた形状の突条体である。又、位置決め支持体２０における支持板２２の構成は、取付装置Ａ₁と同一であるが、支持板２２に形成された位置決め凹部２３”の形状は、前記位置決め凸部１０”の径に対応した中空円筒状となっている。前記位置決め凸部１０”は板状の荷重受け部７１を介して装着盤３１の下端部の左右に取り付けられている。取付装置Ａ₃を用いた場合のロードポート装置Ｌの取付方法は、取付装置Ａ₁又はＡ₂と同様である。また、ロードポート装置Ｌの位置決めについても同様に、位置決め凸部１０”が位置決め凹部２３”に嵌合することで垂直方向及び水平方向の全方向について位置決めされる。取付装置Ａ₃の場合、ロードポート装置Ｌの荷重は荷重受け部７１が受けているので、位置決め凸部１０”は専ら位置決めのための突条体となっている。荷重受け部７１を介してロードポート装置Ｌは支持板２２に支持されているので、ロードポート装置Ｌの取付面５１の取付けは、最小限のねじ留めで足り、ねじ６５でロードポート装置Ｌの側板部３７の上端部のみを固定すればよい。なお、上記各実施例では、位置決め凸部１０，１０’，１０”及び位置決め凹部２３，２３”の横断面（平面視）形状は円形としたが、本願発明において当該形状は円形に限られず、両者が対応して嵌合可能であれば形状は問わない。

本発明に係るロードポート装置Ｌの全体斜視図である。取付装置Ａ₁における位置決め凸部１０、及び台車体Ｂが取り付けられたロードポート装置Ｌの下側部分を下方向から見た拡大斜視図である。取付装置Ａ₁における位置決め凸部１０と位置決め支持体２０を示した図である。取付面５１に取り付けられた状態にあるロードポート装置Ｌの下側部分の縦断面図である。取付装置Ａ₁の縦断面図において、位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合される前後を示す図である。位置決め凸部１０が位置決め凹部２３に嵌合される前後を示すロードポート装置Ｌの下側部分の正面図である。取付面５１にロードポート装置Ｌを取り付ける手順を示す図である。（イ）は、取付装置Ａ₂において、装着盤３１下端部に取付けられた状態における位置決め凸部１０’の斜視図である。（ロ）は、前記位置決め凸部１０’が位置決め支持体２０の支持板２２に形成された位置決め凹部２３に嵌合された状態を示した縦断面図である。（イ）は、取付装置Ａ₃において、装着盤３１下端部に取付けられた状態における位置決め凸部１０”の斜視図である。（ロ）は、前記位置決め凸部１０”が位置決め支持体２０の支持板２２に形成された位置決め凹部２３”に嵌合された状態を示した縦断面図である。（イ），（ロ）はそれぞれ従来の取付装置Ａ’の斜視図、及び（イ）のＸ−Ｘ線断面図である。

Ａ₁，Ａ₂，Ａ₃：取付装置
Ｂ：台車体
Ｅ：半導体製造装置（製造装置）
Ｌ：ロードポート装置
１０，１０’，１０”：位置決め凸部
１１：支持球体
２０：位置決め支持体
２１：固定板
２２：支持板
２３，２３”：位置決め凹部
２３ａ：支持球体転動案内面
２３ｂ：位置決め孔部
２３ｃ：突条係止部
３１：装着盤
４１：フレーム
４２：キャスタ
４３：支持ボルト
５０：壁体
５１：取付面

Claims

半導体製造装置との間でウェハの出し入れを行うために、当該ウェハを収容したウェハキャリアを載置するロードポート装置を、前記半導体製造装置の壁体の外側の取付面に位置決めして取り付けるための取付装置であって、
前記ロードポート装置の下端部に取付けられた台車体の奥側に左右一対の位置決め凸部が下方に向けて突設され、
前記位置決め凸部は、支持球体で構成されて、当該支持球体は、当該支持球体を支持する支持体の下面から半球よりも小さな一部のみが突出した状態で、当該支持体に全方向に対して回転可能に支持され、
前記壁体の取付面の下端部には、支持板が手前側に突出して固定され、当該支持板の上面には、前記一対の位置決め凸部を嵌合させるための一対の位置決め凹部が形成され、
前記位置決め凹部は、前記支持球体が転動可能な中空逆円錐台状の支持球体転動案内面と、当該支持球体転動案内面の中心部に形成された位置決め孔部とから成り、
ロードポート装置の取付け時において、前記一対の支持球体は、前記一対の支持球体転動案内面を転動して、一対の位置決め孔部に落し込まれることにより、当該ロードポート装置は、半導体製造装置の壁体に対して位置決めされる構成であることを特徴とするロードポート装置の取付装置。
上面に一対の位置決め凹部が形成された前記支持板は、前記壁体に標準ピッチで形成されたねじ孔に一対のボルトを介して固定される固定板に対して一体に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置の取付装置。
前記台車体の手前側及び奥側には、それぞれ左右一対のキャスタ、及び高さ調整可能な左右一対の支持ボルトが取り付けられた構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート装置の取付装置。