KR101474584B1 - 로드 포트 장치의 설치 장치 - Google Patents

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Abstract

본원은 반도체 제조 장치와의 사이에서 웨이퍼의 출입을 행하기 위해, 당해 웨이퍼를 수용한 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 구성되는 로드 포트 장치를, 상기 반도체 제조 장치의 설치면에 설치하기 위한 설치 장치에 관한 것이다. 대차체는 상기 로드 포트 장치의 하단부에 설치된다. 한 쌍의 위치 결정 볼록부는 상기 로드 포트 장치의 상기 하단부에, 하방을 향해 돌출되도록 설치된다. 지지판은 상기 벽체의 상기 설치면의 하단부에 전방측으로 돌출되도록 고정된다. 한 쌍의 위치 결정 오목부는 상기 위치 결정 볼록부가 끼워 맞추어지도록 상기 지지판의 상면에 형성된다.

Description

로드 포트 장치의 설치 장치 {APPARATUS FOR ATTACHING LOAD PORT APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치의 벽체의 설치면에 착탈 가능하게 장착되어, 제조 장치의 내외에 있어서 웨이퍼의 이동 탑재를 행하기 위한 로드 포트 장치에 있어서, 상기 설치면으로의 장착 시에, 설치와 그 위치 결정을 거의 동시에 행할 수 있는 설치 장치를 구비한 로드 포트 장치에 관한 것이다.
반도체 공장에 있어서, 제품인 웨이퍼는 복수매씩 웨이퍼 캐리어(이하, 단순히 「캐리어」라고 함) 내에 수납된 상태로, 캐리어 반송 시스템에 의해 캐리어 단위로 생산 라인 내의 각 설비로 운반된다. 캐리어로서, FOUP(Front Opening Unified Pod)가 사용되는 경우가 많다. 캐리어 단위로 웨이퍼를 수취하여 웨이퍼의 처리를 실시하기 위한 반도체 제조 장치(이하, 단순히 「제조 장치」라고 하는 경우도 있음)에 있어서의 벽체의 설치면에는 로드 포트 장치가 장착되어 있다. 당해 로드 포트 장치는 상기 캐리어 반송 시스템으로부터 제조 장치로 반송된 캐리어를 적재하여, 당해 캐리어 내에 수용되어 있는 웨이퍼를 제조 장치 내에 이동 탑재하고, 또한 제조 장치 내에서 처리된 후의 웨이퍼를 이동 탑재하여 캐리어 내에 다시 수용하기 위한 것이다.
로드 포트 장치는 제조 장치에 대해 착탈 가능하고, 예를 들어 제조 장치 내의 청소, 상기 제조 장치 내의 각종 장치의 교환이나 수리를 위해, 종종 로드 포트 장치는 제조 장치에 착탈된다. 또한, 제거된 로드 포트 장치, 혹은 설치 예정의 로드 포트 장치를 이동할 때에는, 예를 들어 특허 문헌 1과 같이 로드 포트 장치의 하부에 대차를 장착하여 소정 장소까지 이동시키고 있다. 캐리어 반송 시스템을 정지시키지 않고, 빠르게 제조 장치 내의 각종 장치의 교환이나 수리를 실시하기 위해서는, 로드 포트 장치의 착탈이 신속하게 행해질 필요가 있다. 이로 인해, 로드 포트 장치의 착탈 시간의 단축, 특히 장착(설치) 시간의 단축이 강하게 요구되고 있다. 통상, 상기 장착에는 10 내지 20분 걸리지만, 최근에는 2 내지 5분의 설치 시간이 요구되고 있어, 짧은 설치 시간은 로드 포트 장치에 있어서의 중요한 특징의 하나로 되어 있다.
설치 시간의 단축을 목적으로 하는 로드 포트 장치로서는, 예를 들어 특허 문헌 2와 같은 설치 장치(A')를 갖는 로드 포트 장치(L')를 들 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 당해 로드 포트 장치(L')의 하측판 부분의 설치 장치(A')는 상기 로드 포트 장치(L')의 장착반(裝着盤)(81)의 하단부에 형성된 위치 정렬 플레이트(82)와, 제조 장치(E')의 설치면(80)의 하부에 고정된 한 쌍의 위치 결정 가이드(83a, 83b)와, 당해 위치 결정 가이드(83a, 83b) 사이에 끼워져, 상기 위치 정렬 플레이트(82)를 수용하기 위한 플레이트 수용부(84)로 구성되어 있다. 로드 포트 장치(L')가 설치면(80)에 장착될 때에는 상기 위치 정렬 플레이트(82)가 상기 각 위치 결정 가이드(83a, 83b) 사이에 삽입되어, 상기 플레이트 수용부(84)에 지지됨으로써 위치 결정된다. 또한, 장착반(81)의 하단부면이 하부 브래킷(85)에 접촉함으로써, 로드 포트 장치(L') 전체가 지지된다. 당해 설치 장치(A')의 경우, 위치 정렬 플레이트(82)가 박판 형상이고, 당해 위치 정렬 플레이트(82)가 삽입되는 공간도 좁기 때문에, 위치 결정 가이드(83a, 83b) 사이에 위치 정렬 플레이트(82)를 맞추어 삽입하기 어려워, 수고가 많이 든다. 또한, 위치 정렬 플레이트(82)를 삽입하는 구성상, 위치 결정 가이드(83a, 83b) 사이의 거리보다도, 위치 정렬 플레이트(82)의 폭이 작으므로, 상기 위치 정렬 플레이트(82)가 삽입되어도 약간 간극이 발생하므로, 완전하게는 위치 결정을 할 수 없다. 또한, 로드 포트 장치(L')의 위치 결정을 행할 수 있어도, 로드 포트 장치(L') 전체를 지지하는 것은 박판 형상의 하부 브래킷(85)이므로 안정성이 나쁘고, 로드 포트 장치(L')를 상기 설치면(80)에 나사 고정할 때에는 로드 포트 장치(L')의 장착반(81)의 하단부면이 하부 브래킷(85)으로부터 어긋나 버리지 않도록 신중하게 지지하면서 나사 고정을 행해야만 한다. 또한, 도면 중 부호 86은 로드 포트 장치(L')의 캐스터이다.
특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2000-332079호 공보
특허 문헌 2 : 일본 특허 출원 공개 제2001-345366호 공보
본 발명은 로드 포트 장치를 제조 장치의 설치면에 간단하고, 또한 조작 수순을 줄여서 설치함으로써, 설치 시간을 대폭으로 단축하는 것을 과제로 하고 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해, 본원 발명의 실시예 중 하나의 형태에 따르면, 반도체 제조 장치와의 사이에서 웨이퍼의 출입을 행하기 위해, 당해 웨이퍼를 수용한 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 구성되는 로드 포트 장치를, 상기 반도체 제조 장치의 설치면에 설치하기 위한 설치 장치이며, 상기 로드 포트 장치의 하단부에 설치된 대차체(carrier body)와, 상기 로드 포트 장치의 상기 하단부에, 하방을 향해 돌출되도록 설치된 한 쌍의 위치 결정 볼록부와, 상기 설치면의 하단부에 전방측으로 돌출되도록 고정된 지지판과, 상기 위치 결정 볼록부가 끼워 맞추어지도록, 상기 지지판의 상면에 형성된 한 쌍의 위치 결정 오목부를 구비하여 이루어지는 설치 장치가 제공된다.
상기한 구성에 따르면, 대차체의 안측의 위치 결정 볼록부의 부분을 들어올린 상태로, 로드 포트 장치를 제조 장치의 설치면에 근접하도록 이동시키고, 로드 포트 장치가 상기 설치면에 접촉하기 직전에 있어서, 들어올려진 상태의 상기 대차체의 안측의 하단부를 내리면, 당해 대차체의 안측에 하방을 향해 돌출 설치된 좌우 한 쌍의 위치 결정 볼록부가, 상기 설치면에 설치된 지지판 상면에 형성된 좌우 한 쌍의 위치 결정 오목부에 각각 끼워 맞추어진다. 이에 의해, 대차체가 설치면으로부터 약간 부상되어, 로드 포트 장치의 배면, 즉 장착반의 배면측이 상기 설치면에 밀착한 형태로, 로드 포트 장치 전체가 지지판에 지지된다. 또한, 로드 포트 장치가 지지판에 지지되므로, 로드 포트 장치를 설치면에 나사 고정할 때, 로드 포트 장치의 주연 전체를 볼트 등으로 고정할 필요는 없고, 상단부만을 고정하는 것만으로 충분해, 나사 고정에 걸리는 시간을 단축할 수 있다.
상기 위치 결정 볼록부의 각각의 횡단면 형상은 원형이라도 좋고, 상기 위치 결정 오목부의 각각은 상기 위치 결정 볼록부의 각각이 끼워 맞추어지도록 평면에서 볼 때 원형의 중공 형상이라도 좋다.
상기한 구성에 따르면, 서로 끼워 맞추어진 한 쌍의 위치 결정 볼록부와 위치 결정 오목부는 위치 결정 볼록부의 횡단면이 원형인 동시에, 위치 결정 오목부는 평면에서 볼 때 원형이므로, 상기 볼록부와 상기 오목부가 끼워 맞추어짐으로써, 끼워 맞춤 부분이 수평면 내에 있어서 전체 방향에 대해 이동할 수 없게 된다. 즉, 로드 포트 장치는 설치면에 대해 수평면 내의 전체 방향에 대해서도 위치 결정이 행해진다. 이 결과, 대차체의 안측을 들어올린 상태로, 로드 포트 장치를 설치면에 근접 이동시키고, 그 이동단부에서 대차체의 안측을 내리고, 당해 대차체의 안측에 하방을 향해 돌출 설치된 좌우 한 쌍의 위치 결정 볼록부를, 설치면의 하단부에 고정된 지지판에 형성된 한 쌍의 위치 결정 오목부에 끼워 맞춘다고 하는 간단한 조작에 의해, 상기 설치면에 대해 로드 포트 장치는 수직 방향은 물론, 안길이 방향(설치면에 수직한 수평 방향) 및 폭 방향(설치면에 평행한 수평 방향)의 위치 결정도 동시에 행해진다.
상기 위치 결정 볼록부의 각각은 지지체와 지지 구체를 포함하여 이루어져도 좋고, 상기 지지 구체의 일부가 상기 지지체의 저면으로부터 돌출된 상태로, 상기 지지체에 상기 지지 구체가 수평면 내의 전체 방향으로 회전 가능하게 지지되어도 좋다.
상기한 구성에 따르면, 한 쌍의 위치 결정 오목부에 대해, 한 쌍의 위치 결정 볼록부를 끼워 맞출 때에, 상기 위치 결정 오목부에 대해 다소 어긋난 위치에 로드 포트 장치가 배치된 경우라도, 상기 지지 구체가 구름 이동하여 위치 결정 오목부에 끼워 맞추어져, 로드 포트 장치는 정규의 위치로 약간 이동하여 위치 결정되므로, 위치 결정 조작이 용이해진다.
상기 지지판은 상기 설치면에 표준 피치로 형성된 나사 구멍에 볼트를 통해 고정되는 고정판에 대해 일체로 형성되어도 좋다.
상기한 구성에 따르면, 상기 지지판을 설치면의 하단부에 고정할 때에는 당해 지지판을 설치하기 위한 전용의 나사 구멍을 상기 설치면에 형성하는 일 없이, 상기 설치면에 미리 규격화되어 형성되어 있는 표준 피치의 설치 구멍을 이용한다. 이에 의해, 제조 장치에 의하지 않고 상기 지지판을 설치면의 하단부에 고정하는 것이 가능해, 새로운 설치 구멍을 천공할 필요가 없으므로, 설치 시간의 단축으로 연결된다.
상기 대차체의 전방측에는 좌우 한 쌍의 캐스터가 설치되어도 좋고, 상기 대차체의 안측에는 높이 조정 가능한 좌우 한 쌍의 지지 볼트가 설치되어도 좋다.
상기한 구성에 따르면, 상기 대차체의 안측에 높이 조정 가능한 지지 볼트가 좌우 한 쌍으로 설치되어 있으므로, 대차체가 설치된 로드 포트 장치는 안정적으로 자립할 수 있다. 또한, 상기 지지 볼트의 높이를 조정함으로써, 상기 로드 포트 장치를 전방측으로 약간 기울어진 자세로 할 수 있으므로, 로드 포트 장치의 안측을 들어올리는 것이 보다 용이하게 행해진다.
상기 대차체가 설치된 상기 로드 포트 장치는 자립 가능해도 좋다. 상기 대차체 및 상기 위치 결정 볼록부는 상기 로드 포트 장치에 대해 착탈 가능해도 좋고, 상기 지지판은 상기 설치면에 대해 착탈 가능해도 좋다.
본원 발명의 실시예의 다른 하나의 형태에 따르면, 반도체 제조 장치와의 사이에서 웨이퍼의 출입을 행하기 위해, 당해 웨이퍼를 수용한 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 구성되는 로드 포트 장치를, 상기 반도체 제조 장치의 설치면에 설치하는 설치 방법이며, 상기 로드 포트 장치를 상기 설치면의 앞에 배치하는 공정과, 상기 로드 포트 장치를 상기 설치면에 대해 기울이는 공정과, 상기 로드 포트 장치를 기울인 상태로 상기 반도체 장치의 상기 설치면에 근접시키는 공정과, 상기 로드 포트 장치의 하단부에, 하방을 향해 돌출되도록 설치된 한 쌍의 위치 결정 볼록부를, 상기 설치면의 하단부에 전방측으로 돌출되도록 고정된 지지판의 상면에 형성된 한 쌍의 위치 결정 오목부에 끼워 맞추는 공정과, 상기 로드 포트 장치의 상단부를 상기 설치면에 고정하는 공정을 구비하여 이루어지는 설치 방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 로드 포트 장치를 제조 장치의 설치면에 설치할 때에, 로드 포트 장치의 하단부에 고정된 위치 결정 볼록부를, 설치면 하단부에 고정된 지지판에 형성된 위치 결정 오목부에 끼워 맞춤으로써 상기 로드 포트 장치는 수직 방향 및 폭 방향의 전체 방향에 대해 위치 결정되는 동시에, 전체가 상기 지지판에 지지되므로, 로드 포트 장치의 설치면으로의 나사 고정은 상단부만으로 충분하다. 따라서, 위치 결정이나 나사 고정의 조작이 간략화되어, 조작에 필요로 하는 시간이 줄어들기 때문에, 로드 포트 장치의 설치에 필요로 하는 시간이 대폭으로 단축된다.
도 1은 본 발명에 관한 로드 포트 장치(L)의 전체 사시도이다.
도 2는 설치 장치(A1)에 있어서의 위치 결정 볼록부(10) 및 대차체(B)가 설치된 로드 포트 장치(L)의 하측 부분을 하방향으로부터 본 확대 사시도이다.
도 3은 설치 장치(A1)에 있어서의 위치 결정 볼록부(10)와 위치 결정 지지체(20)를 도시한 도면이다.
도 4는 설치면(51)에 설치된 상태에 있는 로드 포트 장치(L)의 하측 부분의 종단면도이다.
도 5는 설치 장치(A1)의 종단면도에 있어서, 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지는 전후를 도시하는 도면이다.
도 6은 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지는 전후를 도시하는 로드 포트 장치(L)의 하측 부분의 정면도이다.
도 7은 설치면(51)에 로드 포트 장치(L)를 설치하는 수순을 도시하는 도면이다.
도 8의 (A)는 설치 장치(A2)에 있어서, 장착반(31) 하단부에 설치된 상태에 있어서의 위치 결정 볼록부(10')의 사시도이다. 도 8의 (B)는 상기 위치 결정 볼록부(10')가 위치 결정 지지체(20)의 지지판(22)에 형성된 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어진 상태를 도시한 종단면도이다.
도 9의 (A)는 설치 장치(A3)에 있어서, 장착반(31) 하단부에 설치된 상태에 있어서의 위치 결정 볼록부(10")의 사시도이다. 도 9의 (B)는 상기 위치 결정 볼록부(10")가 위치 결정 지지체(20)의 지지판(22)에 형성된 위치 결정 오목부(23")에 끼워 맞추어진 상태를 도시한 종단면도이다.
도 10의 (A), (B)는 각각 종래의 설치 장치(A')의 사시도 및 (A)의 X-X선 단면도이다.
이하, 최선의 실시 형태를 들어 본 발명에 대해 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 로드 포트 장치(L)의 전체 사시도이다. 도 2는 설치 장치(A1)에 있어서의 위치 결정 볼록부(10) 및 대차체(B)가 설치되는 로드 포트 장치(L)의 하측 횡부분을 하방향으로부터 본 확대 사시도이다. 도 3, 로드 포트 장치(L)의 설치 장치(A1)에 있어서의 위치 결정 볼록부(10)와 위치 결정 지지체(20)를 도시한 도면이다. 도 4는 설치면(51)에 설치된 상태에 있는 로드 포트 장치(L)의 하측 부분의 종단면도이다. 도 5는 설치 장치(A1)의 종단면도에 있어서, 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지는 전후를 도시하는 도면이다. 도 6은 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지는 전후를 도시하는 로드 포트 장치(L)의 하측 부분의 정면도이다. 도 7은 설치면(51)에 로드 포트 장치(L)를 설치하는 수순을 도시하는 도면이다.
최초에, 도 1을 사용하여 로드 포트 장치(L)에 대해 설명한다. 로드 포트 장치(L)는 제조 장치(E)의 벽체(50)의 설치면(51)에 장착되는 직사각형 판 형상의 장착반(31), 상기 장착반(31)에 형성된 웨이퍼 이동 탑재 창(32), 당해 웨이퍼 이동 탑재 창(32)의 대략 하단부에 전방측을 향해 수평으로 돌출 설치된 캐리어 테이블(34)과, 캐리어(K)(도시하지 않음)를 적재하기 위해, 상기 캐리어 테이블(34) 상에 웨이퍼의 반출입 방향을 따라서 진퇴 가능하게 배치된 캐리어 베이스(35)로 구성된다. 캐리어 이동 탑재 창(32)은 캐리어(K)의 덮개에 흡착하여 당해 덮개를 개폐하기 위한 흡착 기구(33a, 33b)를 구비하고 있다. 또한, 캐리어 베이스(35) 상에는 캐리어(K)를 위치 결정한 상태로 적재하기 위한 위치 결정 지지 핀(35a) 및 적재된 캐리어(K)가 걸게 하기 위한 클램프구(35b), 캐리어(K)가 적재된 것을 검출하기 위한 착좌 센서(35C)가 설치되어 있다. 여기서, 상기 캐리어 테이블(34)이 배치되어 있는 측을 로드 포트 장치(L)의 정면측으로 한다. 당해 정면측에는 캐리어(K)의 덮개를 탈착하여 개폐시키기 위한 덮개 개폐 장치의 승강 장치(36)가 캐리어 테이블(34)의 하측에 배치되어 있고, 통상 커버체(39)로 덮여 있다. 장착반(31)의 좌우 양 측단부에는 측판부(37)가 종방향을 따라서 설치되어 있다. 당해 측판부(37)의 하단부 부근에는 후술하는 대차체(B)가 장착되어 있다. 또한, 상기 장착반(31)의 하단부에 있어서, 상기 좌우 각 측판부(37)의 내측에 한 쌍의 설치구(38)가 장착되어 있고, 당해 각 설치구(38)를 통해, 로드 포트 장치(L)의 설치 장치(A1)를 구성하는 위치 결정 볼록부(10)가 하방을 향해 돌출 설치되어 있다. 또한, 캐리어(K) 내 각 단의 웨이퍼의 존재 여부를 검출하는 매핑 장치의 승강 장치는, 캐리어 테이블(34)의 측방 하부에 배치되어 있지만, 도시되어 있지 않다. 한편, 제조 장치(E)의 벽체(50)에는 로드 포트 장치(L)를 설치하기 위해, 로드 포트 장치(L)의 종(수직) 방향과 폭 방향의 크기에 대응한 직사각 형상의 개구가 형성되어 있고, 당해 개구에 있어서의 상기 장착반(31)의 배면과 접하는(대향하는) 측의 면을 설치면(51)으로 한다. 당해 설치면(51)의 주연 부근에는 로드 포트 장치(L)를 볼트 등으로 고정하여 설치하기 위한 설치 구멍(52)이 규격화된 소정 개소에 표준 피치로 형성되어 있고, 일반적으로는, 상기 설치 구멍(52)은 설치면(51)의 4코너 부근과, 수직 방향에 있어서의 중앙 부분의 좌우 2개소의 합계 6개소에 형성되어 있다. 상기 설치면(51)의 하단부에는 상기 설치 장치(A1)를 구성하는 위치 결정 지지체(20)가 나사 고정되어 설치되어 있다.
다음에, 도 1 내지 도 3을 사용하여, 로드 포트 장치(L)의 설치 장치(A1)에 대해 설명한다. 설치 장치(A1)는 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)와 상기 위치 결정 지지체(20)로 구성된다. 우선, 위치 결정 볼록부(10)의 구성에 대해 설명한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 위치 결정 볼록부(10)는 지지 구체(11)와 당해 지지 구체(11)를 지지하는 지지체(12)로 구성되어 있다. 상기 지지 구체(11)는 그 일부분이 상기 지지체(12)의 저면으로부터 돌출되도록 지지체(12) 내에 수용된 상태로 지지체(12)에 지지되어 있고, 지지 구체(11)의 돌출 부분의 선단이 위치 결정 오목부(23)에 접촉한다. 본 실시예에서는 위치 결정 볼록부(10)의 일례로서 공지의 볼 베어를 채용하고 있다. 당해 볼 베어는 반송물의 하중을 받는 지지 구체(11)가 설치면(G) 상, 또는 반송물 하면을 매끄럽게 구름으로써, 반송을 용이하게 하기 위한 것이다. 또한, 위치 결정 볼록부(10)의 형상은 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞춤 가능한 돌출 형상체이면 좋고, 횡단면이 원형 이외의 형상이라도 상관없다. 위치 결정 볼록부(10)를 로드 포트 장치(L)의 하단부에 설치하는 방법은 상관없지만, 본 실시예에서는 설치구(38)를 통해 설치하고 있다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 위치 결정 볼록부(10)의 상단부에는 나사부(13)가 기립하여 고정되어 있고, 상기 설치구(38)의 좌우 중앙부를 수직 방향으로 관통한 나사 구멍(38a)에, 상기 나사부(13)를 하부로부터 나사 결합함으로서, 위치 결정 볼록부(10)가 설치구(38)에 설치되어 있다. 또한, 설치구(38)가 로드 포트 장치(L)의 장착반(31)의 하단부에 장착되는 방법으로서, 본 실시예에서는 설치구(38)에 상기 나사 구멍(38a)과 간섭하지 않도록, 상기 나사 구멍(38a)을 양측으로부터 끼우도록 전후 방향(수평면 내의 폭 방향과 직교하는 방향)으로 관통된 한 쌍의 나사 구멍(38b) 및 장착반(31)에 형성된 나사 구멍(도시하지 않음)에, 나사(61)가 나사 결합됨으로써 설치구(38)가 착탈 가능하게 장착되어 있다.
다음에, 도 1, 도 3 및 도 4를 사용하여, 설치 장치(A1)의 위치 결정 지지체(20)에 대해 설명한다. 위치 결정 지지체(20)는 상기 설치면(51)의 하단부에 고정되는 긴 판 형상의 고정판(21)과, 당해 고정판(21)의 하단부 부근에 설치되어, 설치면(51)에 대해 수직으로 돌출된 지지판(22)으로 구성된다. 고정판(21)에는 긴 방향(폭 방향)의 양단부에 나사 구멍(24)이 형성되어 있다. 설치면(51)의 주연에는 설치 구멍(52)이 규격화된 표준 피치로 형성되어 있고, 좌우 2개의 나사 구멍(24)이 이루는 폭은, 설치면(51)을 사이에 둔 좌우 양측의 설치 구멍(52)의 폭과 대응하고 있으므로, 위치 결정 지지체(20)는 고정판(21)의 나사 구멍(24) 및 상기 설치 구멍(52)에 볼트 등의 나사(64)가 나사 결합됨으로써, 설치면(51)의 하단부에 설치되어 있다. 위치 결정 지지체(20)가 상기한 구성이므로, 당해 위치 결정 지지체(20)를 설치면(51)에 설치할 때에는 상기 설치 구멍(52)을 이용하면 되며, 새롭게 벽체(50)에 천공할 필요는 없다. 또한, 상기 설치 구멍(52)을 이용할 수 있으므로, 당해 위치 결정 지지체(20)는 다른 제조 장치(E)에도 사용 가능하게 되어 범용성이 있다. 다음에, 지지판(22)에 대해 설명한다. 지지판(22)은 고정판(21)과 마찬가지로 1매의 긴 판 형상이라도 좋지만, 본 실시예에서는, 단편 형상의 지지판(22)이 좌우 한 쌍으로서 고정판(21)에 설치되어 있다. 상기 지지판(22)에는 상기 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)를 각각 끼워 맞추기 위한 한 쌍의 위치 결정 오목부(23)가 형성되어 있고, 본 실시예에서는 좌우 각 지지판(22)에 위치 결정 오목부(23)가 1개소씩 형성되어 있는 구성이다. 따라서, 상기 각 위치 결정 오목부(23)가 이루는 폭과, 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)가 이루는 폭의 크기는 대응하고 있다.
다음에, 도 4를 사용하여 설치 장치(A1)의 위치 결정 오목부(23)에 대해 설명한다. 위치 결정 오목부(23)는 평면에서 볼 때 원형의 중공 형상으로 되어 있다. 본 실시예에서는, 위치 결정 오목부(23)는 지지판(22)의 상면으로부터 깊이 방향을 따라서 직경이 작아진 유발 형상으로 형성된 중공 원추 사다리꼴 형상의 돌출부 수용부(23a)와, 당해 돌출부 수용부(23a)의 저부로부터 상기 지지판(22)의 이면에 걸쳐서 상기 저부와 동일 직경으로 원통 형상으로 개방된 개구부(23b)로 이루어진다. 돌출부 수용부(23a)의 저부의 직경의 크기는 위치 결정 볼록부(10)의 지지 구체(11)의 돌출 부분에 있어서의 최대 직경보다도 작게 되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어져 있는 상태에서는, 상기 지지 구체(11)는 돌출 부분의 선단을 상기 개구부(23b)에 약간 진입시킨 상태로, 상기 저부의 주연부[돌출부 걸림부(23c)]에 걸려, 로드 포트 장치(L)의 전체 하중을 받고 있다. 또한, 위치 결정 오목부(23)의 평면에서 볼 때의 형상은 원형으로 한정되지 않고, 위치 결정 볼록부(10)의 형상에 대응하여 끼워 맞춤 가능하면 된다.
다음에, 도 1 내지 도 4를 사용하여 대차체(B)에 대해 설명한다. 대차체(B)는 로드 포트 장치(L)를 자유롭게 이동시키기 위한 것이며, 좌우 각 측판부(37)의 하단부 각각에 볼트 등의 나사(62)로 설치되어 있고, 상기 측판부(37)의 길이 방향(수직 방향)에 대해 전방측에 배치된 좌우 한 쌍의 프레임(41), 당해 각 프레임(41)의 전방측의 단부의 하방에 장착된 한 쌍의 캐스터(42), 로드 포트 장치(L)를 자립 가능하게 하기 위해 상기 각 프레임(41)의 안측의 단부에 설치된 높이 조정 가능한 좌우 한 쌍의 지지 볼트(43) 및 한 쌍의 프레임(41)이 평행하게 대향하도록 각 프레임(41)을 전방측의 단부 부근에서 연결하기 위한 연결 프레임(45)으로 구성된다. 상기 좌우 한 쌍의 프레임(41)에 대해, 본 실시예에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 각 프레임(41)은 대략 직각 삼각형 형상의 판 형상 부재로 이루어지고, 당해 직각 삼각형의 직각을 이루는 2변으로부터 각각 직립한 플랜지부에는 측판부(37)에 프레임(41)을 고정하기 위한 나사 구멍(41a)과, 지지 볼트(43)를 삽입 관통하기 위한 나사 구멍 및 캐스터(42)를 장착하기 위한 나사 구멍(모두 도시하지 않음)이 각각 천공되어 있다. 각 프레임(41)은 측판부(37)의 하단부 부근에 형성된 나사 구멍(37b)과 상기 나사 구멍(41a)에 볼트 등의 나사(62)가 와셔(63)를 통해 나사 결합됨으로써 각 측판부(37)에 고정된다. 이로 인해, 대차체(B)는 로드 포트 장치(L)에 착탈 가능하다. 캐스터(42)는 일반적으로 사용되는 것이라도 좋고, 프레임(41)에 대해 볼트 등의 나사(67)로 나사 고정되어 장착되어 있다. 지지 볼트(43)는 프레임(41)에 형성된 나사 구멍에 수직 방향으로 삽입 관통되어, 스토퍼로서의 너트(44)에 나사 결합됨으로써, 높이를 조정 가능하게 되어 있다. 지지 볼트(43)는 높이 조정 가능하면 볼트 이외의 것이라도 좋고, 그 구성은 상관없다. 지지 볼트(43)의 하단부는 접시 형상의 접촉부(43a)를 통해 설치면(G)과 접하고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 지지 볼트(43)의 높이(H1)[프레임(41)의 하면으로부터 접촉부(43a) 하단부까지의 수직 거리]가, 캐스터(42)의 높이(H2)[프레임(41)의 하면으로부터 캐스터(42) 하단부까지의 수직 거리]보다도 크게 설정됨으로써, 대차체(B)가 설치된 로드 포트 장치(L)는 전방측으로 약간 기울어진 자세로 자립할 수 있다. 상기 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어져 있는 상태에 있어서, 상기 캐스터(42) 및 지지 볼트(43)는 설치면(G)으로부터 부상한 상태에 있다. 또한, 연결 프레임(45)은, 예를 들어 단면 L자 형상의 긴 부재로 이루어지고, 당해 연결 프레임(45)의 길이 방향이 각 프레임(41)의 길이 방향에 직교하도록, 즉 로드 포트 장치(L)의 폭 방향과 평행해지도록 배치되어, 그 각 단부가 각각 프레임(41)의 캐스터(42)의 후방(안측)에 볼트 등의 나사(68)로 나사 고정된다. 이로 인해, 각 측판부(37)에 고정된 프레임(41)끼리는 항상 평행하게 대향하고 있다. 또한, 대차체(B)를 구성하는 각 부재는 각각 나사 고정에 의해 고정되어 있으므로, 대차체(B)의 해체, 조립이 가능하다.
설치면(51)에 설치된 상태에 있어서의 로드 포트 장치(L)는 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어져 있음으로써, 전체적으로 지지판(22)에 지지되어 있고, 상기 로드 포트 장치(L)의 좌우의 측판부(37)의 상부 테두리부에 형성되어 있는 나사 구멍(37a)과, 그것에 대응하는 설치면(51)의 주연의 설치 구멍(52)에, 와셔(66) 등을 통해 볼트 등의 나사(65)가 나사 결합되어 있음으로써, 안정적으로 설치면(51)에 배치되어 있다.
다음에, 도 4 내지 도 6을 사용하여 로드 포트 장치(L)의 설치 장치(A1)에 있어서의 작용에 대해 설명한다. 제조 장치(E)의 벽체(50)에 있어서의 설치면(51)에 상기 로드 포트 장치(L)를 설치할 때에는, 로드 포트 장치(L)의 장착반(31)측[대차체(B)의 안측]의 위치 결정 볼록부(10)의 부분을 들어올린 상태로, 로드 포트 장치(L)를 제조 장치(E)의 벽체(50)에 근접하도록 이동시키고, 로드 포트 장치(L)가 상기 벽체(50)의 설치면(51)에 접촉하기 직전에, 들어올려진 상태의 상기 위치 결정 볼록부(10)를 내리면, 하방을 향해 돌출 설치된 좌우 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)가, 상기 설치면(51)의 하단부에 고정된 위치 결정 지지체(20)의 지지판(22) 상에 적재된다. 이때, 한번에 상기 위치 결정 볼록부(10)가 지지판(22) 상의 위치 결정 오목부(23)에 이른 경우, 위치 결정 볼록부(10)의 지지 구체(11)의 위치가 돌출부 걸림부(23c)의 위치와 완전히 일치함으로써, 혹은 상기 지지 구체(11)가 위치 결정 오목부(23)의 돌출부 수용부(23a)에 접촉한 후, 당해 지지 구체(11)가 구름 이동하여 돌출부 수용부(23a)의 경사면을 미끄러져 떨어짐으로써, 상기 지지 구체(11)는 상기 돌출부 걸림부(23c)에 도달하여 걸리고, 그 결과, 위치 결정 볼록부(10)는 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어진다. 돌출부 걸림부(23c)의 위치는 수직 방향 및 수평 방향 모두 고정되어 있으므로, 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어짐으로써, 당해 위치 결정 볼록부(10)는 수직 방향 및 수평 방향 모든 방향에 대해 정규의 위치에 위치 결정된 것으로 된다. 한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 대차체(B)의 안측을 들어올린 상태에 있는 로드 포트 장치(L)를 상기 지지판(22) 상에 내렸을 때에, 상기 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 대해 다소 어긋나게 배치된 경우에는, 상기 로드 포트 장치(L)를 약간 움직임으로써 상기 지지 구체(11)가 구름 이동하여, 상기 위치 결정 볼록부(10)는 상기 위치 결정 오목부(23)에 도달한다. 상기 위치 결정 볼록부(10)가 상기 위치 결정 오목부(23)에 도달하면, 상기한 바와 같이, 즉시 상기 지지 구체(11)는 돌출부 수용부(23a)의 경사면을 미끄러져 떨어져 돌출부 걸림부(23c)에서 걸려, 위치 결정 볼록부(10)는 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어진다. 따라서, 로드 포트 장치(L)의 대차체(B)의 안측을 들어올려 지지판(22)에 적재하는 시점에서, 엄밀하게 위치 결정 오목부(23)에 위치 결정 볼록부(10)를 맞추려고 하여, 시간을 들여 신중을 기할 필요는 없고, 만일, 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)로부터 다소 어긋나도, 로드 포트 장치(L)를 약간 이동시킴으로써 지지 구체(11)가 구름 이동하여, 상기 위치 결정 볼록부(10)는 정규의 위치로 유도되어 위치 결정된다. 또한, 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)가 각각 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어짐으로써, 당해 위치 결정 볼록부(10)의 지지 구체(11)는 돌출부 걸림부(23c)에 걸려져 있어, 당해 걸림 부분에 있어서 로드 포트 장치(L)의 전체 하중을 지지하고 있고, 이 결과, 로드 포트 장치(L)는 전체적으로 상기 지지판(22)에 지지된다. 지지판(22)에 지지된 로드 포트 장치(L)를 설치면(51)에 볼트 등의 나사(65)로 고정하여 설치할 때, 나사 고정 개소는 최소한이 된다. 본 실시예에서는 상기 로드 포트 장치(L)의 좌우의 각 측판부(37)의 상단부에 형성되어 있는 나사 구멍(37a)을 이용하여, 상기 로드 포트 장치(L)의 상단부 부분의 좌우 2개소를 나사 고정하는 것만으로, 확실하고 또한 안정적으로 설치면(51)에 설치되어 있다. 통상, 로드 포트 장치(L)에는 좌우 각 측판부(37)의 수직 방향의 중앙 부분에도 나사 구멍이 형성되어 있는 경우가 많지만, 본 실시예에서는 당해 나사 구멍을 사용할 필요는 없다. 또한, 설치면(51)으로부터 로드 포트 장치(L)를 제거하는 것도 용이하게 행할 수 있다. 즉, 나사(65)를 제거한 후, 위치 결정 볼록부(10)와 위치 결정 오목부(23)의 끼워 맞춤 부분을 지지점으로 하여 상기 로드 포트 장치(L)를 회전시키도록 전방 경사시켜, 캐스터(42)를 설치면(G)에 접촉시킴으로써, 혹은 캐스터(42)가 설치면(G)과 접촉한 후, 이번에는 캐스터(42)를 지지점으로 하여 상기 로드 포트 위치(L)의 대차체(B)의 안측을 들어올림으로써, 지지 구체(11)의 돌출 부분의 선단이 진입하고 있던 개구부(23b)로부터 후퇴하여, 간단하게 돌출부 걸림부(23c)로부터 어긋나 걸림 상태가 해제되므로, 위치 결정 볼록부(10)는 간섭을 받지 않고 위치 결정 오목부(23)로부터 이탈된다.
다음에, 도 7을 사용하여 로드 포트 장치(L)의 설치면(51)으로의 설치 방법에 대해 설명한다. 우선, 로드 포트 장치(L)는 전방측에 전방 경사 자세로 안정적으로 자립하고 있다〔도 7의 (A)〕. 다음에, 제조 장치(E)의 벽체(50)에 있어서의 설치면(51) 부근에 로드 포트 장치(L)를 작업자(도시하지 않음)가 반송한다. 이때, 작업자는 한 사람으로 충분하고, 당해 작업자는 상기 로드 포트 장치(L)의 대차체(B)의 전방측(도면 오른쪽)에 서서, 지지 볼트(43)가 설치면(G)으로부터 이격될 정도로, 캐스터(42)와 설치면(G)의 접점(G1)을 지지점으로 하여 로드 포트 장치(L)에 있어서의 대차체(B)의 안측(도면 왼쪽)을 들어올린 상태로 반송하면 된다. 상기 작업자가 로드 포트 장치(L)를 들어올리는 경우, 로드 포트 장치(L)가 전방 경사 자세이므로, 상기 접점(G1)을 지지점으로 하여 대차체(B)의 안측을 들어올리기 쉬워, 반송하기 쉽다. 상기와 같이 상기 작업자는 상기 접점(G1)을 지지점으로 하여 로드 포트 장치(L)의 상기 장착반(31)측의 위치 결정 볼록부(10)의 부분을 들어올리고, 들어올려진 상태의 로드 포트 장치(L)를, 캐스터(42)를 이용하여 상기 설치면(51)에 근접하도록 이동시킨다〔도 7의 (B)〕. 한 쌍의 위치 결정 볼록부(10)가 각 위치 결정 오목부(23)에 각각 끼워 맞추어지도록, 들어올려진 상태의 로드 포트 장치(L)에 있어서의 대차체(B)의 안측을 상기 접점(G1)을 지지점으로 하여 지지판(22) 상에 내린다〔도 7의 (C)〕. 이때, 상기 위치 결정 볼록부(10)의 지지 구체(11)가 위치 결정 오목부(23)에 도달하지 않으면, 좌우 또는 전후로 약간 상기 대차체(B)의 안측을 움직여서, 위치 결정 볼록부(10)를 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지게 한다. 상기 지지 구체(11)는 돌출부 걸림부(23c)에서 걸려 위치 결정 볼록부(10)가 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어지면, 자동적으로 로드 포트 장치(L)의 위치 결정이 완료되어, 상기 로드 포트 장치(L)는 지지판(22)에 지지된다〔도 7의 (D)〕. 최후에, 상기 작업자는 로드 포트 장치(L)의 상단부에 있어서의 좌우 2개소를, 볼트 등의 나사(65)로 와셔(66)를 통해 나사 고정하여, 로드 포트 장치(L)를 상기 설치면(51)에 설치한다. 설치 장치(A1)가 위치 결정 볼록부(10)와 위치 결정 지지체(20)로 구성되어 있으므로, 위치 결정 볼록부(10)를 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞출 때에, 로드 포트 장치(L)의 커버체(39)에 의해 위치 결정 볼록부(10)가 보이기 어려운 경우라도, 지지판(22) 상면에 위치 결정 볼록부(10)가 적재만 되어 있으면, 로드 포트 장치(L)를 약간 이동시키는 것만으로, 간단하게 위치 결정이 유도되어 자동적으로 완료된다. 또한, 로드 포트 장치(L)의 설치면으로의 나사 고정 개소가 필요 최소한으로 된다. 따라서, 작업자 혼자서 충분히 로드 포트 장치(L)의 반송, 위치 결정 및 설치를 단시간에 실시 가능하다. 또한, 위치 결정 지지체(20)를 설치면(51)의 하단부에 설치하는 타이밍은 로드 포트 장치(L)를 설치면(51)까지 반송하기 전에 미리 설치해 두어도 좋고, 로드 포트 장치(L)의 반송 후, 당해 로드 포트 장치(L)의 설치의 직전이라도 좋으며, 언제라도 적당한 때를 선택하면 된다. 또한, 대차체(B)의 착탈에 대해서는, 대차체(B)는 로드 포트 장치(L)에 대해, 측판부(37)를 통해 나사 고정되어 있으므로, 필요에 따라서 적절하게 착탈 가능하다. 한편, 설치면(51)에 설치된 로드 포트 장치(L)를 제거하는 경우에는, 이하의 수순으로 용이하게 실시할 수 있다. 우선, 나사 고정된 상기 2개소의 나사(65)를 제거한다. 다음에, 위치 결정 볼록부(10)와 위치 결정 오목부(23)의 끼워 맞춤 부분을 지지점으로 하여 상기 로드 포트 장치(L)를 회전시키듯이 전방 경사시켜, 캐스터(42)를 설치면(G)에 접촉시킨다. 캐스터(42)가 설치면(G)과 접촉한 후, 이번에는 캐스터(42)를 지지점으로 하여 상기 로드 포트 장치(L)의 대차체(B)의 안측을 약간 들어올림으로써, 지지 구체(11)는 간단하게 돌출부 걸림부(23c)로부터 어긋나므로, 위치 결정 볼록부(10)는 간섭을 받지 않고 위치 결정 오목부(23)로부터 이탈된다. 최후에, 대차체(B)의 안측을 들어올린 상태 그대로, 로드 포트 장치(L)를 캐스터(42)를 이용하여 상기 설치면(51) 및 제조 장치(E)로부터 이동한다.
다음에, 도 8을 사용하여 다른 실시예(제2 실시예)의 설치 장치(A2)에 대해 설명한다. 도 8의 (A)는, 설치 장치(A2)에 있어서, 장착반(31) 하단부에 설치된 상태에 있어서의 위치 결정 볼록부(10')의 사시도이다. 도 8의 (B)는 상기 위치 결정 볼록부(10')가 위치 결정 지지체(20)의 지지판(22)에 형성된 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어진 상태를 도시한 종단면도이다. 또한, 도 8의 (B)에 있어서, 설치용 나사류는 생략되어 있다. 제2 실시예로서, 이하와 같은 구성의 설치 장치(A2)도 가능하다. 당해 설치 장치(A2)의 구성은 위치 결정 볼록부(10')의 형상의 점에 있어서 설치 장치(A1)와 상이하다. 즉, 설치 장치(A1)의 위치 결정 볼록부(10)는 하중을 받고 또한 구름 이동하는 지지 구체(11)를 구비한 하중 지지 유닛 구조로 되어 있는 한편, 설치 장치(A2)의 위치 결정 볼록부(10')는 횡단면 형상은 원형이지만 선단부가 원추 형상인 돌출 형상체이고, 위치 결정 오목부(23)의 돌출부 수용부(23a)에 있어서의 중공 원추 사다리꼴 형상에 대응하고 있다. 상기 위치 결정 볼록부(10')는 위치 결정 볼록부(10)와 마찬가지로, 장착반(31)의 하단부의 좌우에 설치되어 있다. 설치 장치(A2)를 사용한 경우의 로드 포트 장치(L)의 설치 방법에 있어서, 로드 포트 장치(L)의 대차체(B)의 안측의 하단부를 들어올려, 위치 결정 볼록부(10')를 지지판(22) 상에 내리면, 위치 결정 볼록부(10')와 위치 결정 오목부(23)의 위치가 일치하고 있으면, 그대로 양자는 끼워 맞추어진다. 또한, 다소 어긋난 경우라도, 로드 포트 장치(L)를 약간 이동시킴으로써 위치 결정 볼록부(10')가 위치 결정 오목부(23) 내에 떨어져, 양자는 끼워 맞추어진다. 이때, 원추 형상의 위치 결정 볼록부(10')는 그 선단을 약간 개구부(23b) 내에 진입시킨 상태로 돌출부 걸림부(23c)에 걸려, 로드 포트 장치(L) 전체의 하중이 위치 결정 볼록부(10')를 통해 위치 결정 오목부(23)에 지지된다. 상기 위치 결정 볼록부(10)의 측면 전체가 상기 돌출부 수용부(23a)의 표면 전체에 접촉하고 있으므로, 위치 결정 볼록부(10)의 지지 구체(11)의 경우와 비교하여, 로드 포트 장치(L) 전체의 하중을 지지하는 총 면적이 커지므로, 로드 포트 장치(L)는 보다 안정화되어 지지된다. 로드 포트 장치(L)의 위치 결정에 대해서는, 설치 장치(A1)와 마찬가지이고, 위치 결정 오목부(23)의 위치가 결정되어 있으므로, 위치 결정 볼록부(10')는 위치 결정 오목부(23)에 끼워 맞추어짐으로써 수직 방향 및 수평 방향의 전체 방향에 대해 위치 결정된다.
다음에, 도 9를 사용하여 다른 실시예(제3 실시예)의 설치 장치(A3)에 대해 더 설명한다. 도 9의 (A)는 설치 장치(A3)에 있어서, 장착반(31) 하단부에 설치된 상태에 있어서의 위치 결정 볼록부(10")의 사시도이다. 도 9의 (B)는 상기 위치 결정 볼록부(10")가 위치 결정 지지체(20)의 지지판(22)에 형성된 위치 결정 오목부(23")에 끼워 맞추어진 상태를 도시한 종단면도이다. 또한, 도 9의 (B)에 있어서도, 설치용 나사류는 생략되어 있다. 제3 실시예로서, 이하와 같은 구성의 설치 장치(A3)도 가능하다. 당해 설치 장치(A3)의 구성은 위치 결정 볼록부(10") 및 위치 결정 오목부(23")에 있어서 설치 장치(A1)와 상이하다. 즉, 설치 장치(A3)의 위치 결정 볼록부(10")는, 횡단면 형상은 원형이지만, 원기둥체의 일단부에 반구를 합한 형상의 돌출 형상체이다. 또한, 위치 결정 지지체(20)에 있어서의 지지판(22)의 구성은 설치 장치(A1)와 동일하지만, 지지판(22)에 형성된 위치 결정 오목부(23")의 형상은 상기 위치 결정 볼록부(10")의 직경에 대응한 중공 원통 형상으로 되어 있다. 상기 위치 결정 볼록부(10")는 판 형상의 하중 수용부(71)를 통해 장착반(31)의 하단부의 좌우에 설치되어 있다. 설치 장치(A3)를 사용한 경우의 로드 포트 장치(L)의 설치 방법은 설치 장치(A1 또는 A2)와 마찬가지이다. 또한, 로드 포트 장치(L)의 위치 결정에 대해서도 마찬가지로, 위치 결정 볼록부(10")가 위치 결정 오목부(23")에 끼워 맞추어짐으로써 수직 방향 및 수평 방향의 전체 방향에 대해 위치 결정된다. 설치 장치(A3)의 경우, 로드 포트 장치(L)의 하중은 하중 수용부(71)가 받고 있으므로, 위치 결정 볼록부(10")는 오로지 위치 결정을 위한 돌출 형상체로 되어 있다. 하중 수용부(71)를 통해 로드 포트 장치(L)는 지지판(22)에 지지되어 있으므로, 로드 포트 장치(L)의 설치면(51)의 설치는 최소한의 나사 고정으로 충분하고, 나사(65)로 로드 포트 장치(L)의 측판부(37)의 상단부만을 고정하면 된다. 또한, 상기 각 실시예에서는, 위치 결정 볼록부(10, 10', 10") 및 위치 결정 오목부(23, 23")의 횡단면(평면에서 볼 때) 형상은 원형으로 하였지만, 본원 발명에 있어서 당해 형상은 원형으로 한정되지 않고, 양자가 대응하여 끼워 맞춤 가능하면 형상은 상관없다.
A1, A2, A3 : 설치 장치
B : 대차체
C : 반도체 제조 장치(제조 장치)
L : 로드 포트 장치
10, 10', 10" : 위치 결정 오목부
11 : 지지 구체
20 : 위치 결정 지지체
21 : 고정판
22 : 지지판
23, 23" : 위치 결정 오목부
23a : 돌출부 수용부
23b : 개구부
23c : 돌출부 걸림부
31 : 장착반
41 : 프레임
42 : 캐스터
43 : 지지 볼트
50 : 벽체
51 : 설치면

Claims (8)

  1. 반도체 제조 장치와의 사이에서 웨이퍼의 출입을 행하기 위해, 당해 웨이퍼를 수용한 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 구성되는 로드 포트 장치를, 상기 반도체 제조 장치의 설치면에 설치하기 위한 설치 장치이며,
    상기 로드 포트 장치의 하단부에 설치된 대차체와,
    상기 로드 포트 장치의 상기 하단부에, 하방을 향해 돌출되도록 설치된 한 쌍의 위치 결정 볼록부와,
    상기 설치면의 하단부에 전방측으로 돌출되도록 고정된 지지판과,
    상기 위치 결정 볼록부가 끼워 맞추어지도록 상기 지지판의 상면에 형성된 한 쌍의 위치 결정 오목부를 구비하여 이루어지고,
    상기 한 쌍의 위치 결정 오목부는 상기 지지판의 상면으로부터 깊이 방향을 따라서 직경이 작아지는 형상의 역 원추부를 갖는, 설치 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 위치 결정 볼록부의 각각의 횡단면 형상은 원형이고,
    상기 위치 결정 오목부의 각각은 상기 위치 결정 볼록부의 각각이 끼워 맞추어지도록 평면에서 볼 때 원형의 중공 형상인, 설치 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 위치 결정 볼록부의 각각은 지지체와 지지 구체를 포함하여 이루어지고,
    상기 지지 구체의 일부가 상기 지지체의 저면으로부터 돌출된 상태로, 상기 지지체에 상기 지지 구체가 수평면 내의 전체 방향으로 회전 가능하게 지지되는, 설치 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 지지판은 상기 설치면에 표준 피치로 형성된 나사 구멍에 볼트를 통해 고정되는 고정판에 대해 일체로 형성되는, 설치 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 대차체의 전방측에는 좌우 한 쌍의 캐스터가 설치되고,
    상기 대차체의 안측에는 높이 조정 가능한 좌우 한 쌍의 지지 볼트가 설치되는, 설치 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 대차체가 설치된 상기 로드 포트 장치는 자립 가능한, 설치 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 대차체 및 상기 위치 결정 볼록부는 상기 로드 포트 장치에 대해 착탈 가능하고,
    상기 지지판은 상기 설치면에 대해 착탈 가능한, 설치 장치.
  8. 반도체 제조 장치와의 사이에서 웨이퍼의 출입을 행하기 위해, 당해 웨이퍼를 수용한 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 구성되는 로드 포트 장치를, 상기 반도체 제조 장치의 설치면에 설치하는 설치 방법이며,
    상기 로드 포트 장치를 상기 설치면의 앞에 배치하는 공정과,
    상기 로드 포트 장치를 상기 설치면에 대해 기울이는 공정과,
    상기 로드 포트 장치를 기울인 상태로 상기 반도체 장치의 상기 설치면에 근접시키는 공정과,
    상기 로드 포트 장치의 하단부에, 하방을 향해 돌출되도록 설치된 한 쌍의 위치 결정 볼록부를, 상기 설치면의 하단부에 전방측으로 돌출되도록 고정된 지지판의 상면에 형성된 한 쌍의 위치 결정 오목부에 끼워 맞추어지는 공정과,
    상기 로드 포트 장치의 상단부를 상기 설치면에 고정하는 공정을 구비하여 이루어지고,
    상기 한 쌍의 위치 결정 오목부는, 상기 지지판의 상면으로부터 깊이 방향을 따라서 직경이 작아지는 형상의 역 원추부를 갖는, 설치 방법.
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