JP2022131174A - 収納容器設置台及び半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のサイズのカセットのサイズ変更部品の製作及び管理を不要にし、ウェーハサイズ変更作業を容易にすることができる収納容器設置台を提供する。【解決手段】収納容器設置台（カセット置台３２０）は、第１のサイズのウェーハを収納する第１のカセットを第１の位置に、または、第２のサイズのウェーハを収納する第２のカセットを第２の位置に、着脱自在に設置可能であるカセット置台であって、第１のカセットの底面に存するＴバーと第２のカセットの底面に存するＴバーとに係合可能な係合部を有するＴバー挿入ブロック６０１と、Ｔバー挿入ブロック６０１を第１の方向に可動させて、第１の位置または第２の位置への位置決めを行う第１の可動機構８０１と、を備え、第１の方向は、第１のサイズのウェーハを第１のカセットへ収納する方向、または、第２のサイズのウェーハを第２のカセットへ収納する方向である。【選択図】図１０Ａ

Description

本発明は、半導体製造装置において、ウェーハが収納された容器(以下カセットという)を設置する置台に関するものである。

半導体製造装置の、ウェーハをカセットから取り出し、装置内へ搬入、または、ウェーハを装置内から搬出し、カセットに収納する動作は、ウェーハ搬送ロボットによって行われている。ウェーハ搬送ロボットは、ハンドリングアームに取り付けられたハンドにウェーハを載せて搬送している。ウェーハをカセットから取り出すあるいはウェーハをカセットに戻す際、ハンドはウェーハやカセットに接触しないよう座標位置調整が設定されている。そのため、特許文献１、特許文献２、特許文献３のようにカセットを設置する置台は、カセットを何度おいても再現良く設置できる仕組みになっている。

特許第５８８７７１９号公報 国際公開ＷＯ２００６／０５１５７７号 特許第５６２１４５１号公報

しかしながら、搬送するウェーハのサイズが変われば、カセットのサイズも変わる。複数のサイズのウェーハ搬送に対応した半導体製造装置では、同じポートで複数のサイズのウェーハを搬送できるよう、特許文献２や特許文献３のようにカセットのサイズに合わせた置台やアダプターといったサイズ変更部品を用意し、サイズごとに再現良くカセットを設置できるようにしなければならない。サイズ変更部品は、カセットのサイズごとに製作するためコストがかかり、紛失しないよう管理する必要がある。

また、サイズ変更部品である置台やアダプターは、取り換えや備え付けといった作業を必要とするため、カセット置台のウェーハサイズ変更作業に時間がかかる。

本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、カセット置台のウェーハサイズ変更作業を容易にすることができる収納容器設置台及び半導体製造装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明の収納容器設置台は、第１のサイズのウェーハを収納する第１の収納容器を第１の位置に、または、前記第１のサイズより大きな第２のサイズのウェーハを収納する第２の収納容器を第２の位置に、着脱自在に設置可能であり、前記第１の収納容器の底面に存する第１の突起部と前記第２の収納容器の底面に存する第２の突起部とに係合可能な係合部を有する第１の部材と、前記第１の部材を第１の方向に可動させて、前記第１の位置または前記第２の位置への位置決めを行う第１の可動機構と、を備え、前記第１の方向は、前記第１のサイズのウェーハを前記第１の収納容器へ収納する方向、または、前記第２のサイズのウェーハを前記第２の収納容器へ収納する方向であることを特徴とする。本発明のその他の態様については、後記する実施形態において説明する。

本発明によれば、複数のサイズのカセットのサイズ変更部品の製作、管理の不要及びカセット置台のウェーハサイズ変更作業の容易化ができる。

半導体検査装置の全体を示す傾斜図である。 ウェーハを収納したカセットの正面図である。 ウェーハ搬送ユニットの概略構成を示す上面図である。 ウェーハ搬送ユニットの概略構成を示す側面図である。 第１のカセットの下面の斜視図である。 第２のカセットの下面の斜視図である。 カセット置台の斜視図である。 第１のカセットが載置されている、１００ｍｍ対応カセット置台の上面図である。 図７ＡのＡ－Ａ断面図である。 第２のカセットが載置されている、２００ｍｍ対応カセット置台の上面図である。 本実施形態のブロック可動を示す説明図である。 ブロック可動カセット置台の構成例を示す上面図である。 図１０ＡのＢ－Ｂ断面図である。 ブロック可動前の横つなぎ板の状態図である。 ブロック可動後の横つなぎ板の状態図である。 階段状位置決めブロックのカセット支持例である。 リニアガイドクランパーの説明図である。 リニアガイドクランパーを使用したブロック可動カセット置台の構成例である。 三角形位置決めブロックのカセット支持例である。 ブロックの各種形状例である。 カセット置台のカセットサイズ情報センサ設置例の裏面図である。 図１８ＡのＣ方向視図である。

以下、添付図面を参照して本実施形態について説明する。添付図面では、機能的に同じ要素は同じ番号又は対応する番号で表示される場合もある。なお、添付図面は本開示の原理に則った実施形態と実装例を示しているが、これらは本開示の理解のためのものであり、決して本開示を限定的に解釈するために用いられるものではない。本明細書の記述は典型的な例示に過ぎず、本開示の特許請求の範囲又は適用例を如何なる意味においても限定するものではない。

本実施形態では、当業者が本開示を実施するのに十分詳細にその説明がなされているが、他の実装・形態も可能で、本開示の技術的思想の範囲と精神を逸脱することなく構成・構造の変更や多様な要素の置き換えが可能であることを理解する必要がある。従って、以降の記述をこれに限定して解釈してはならない。

また、以下に説明する実施形態では、半導体製造プロセスに用いられる「ウェーハ処理装置（半導体製造装置）」の一例として、半導体検査装置を例として説明するが、これに限られることなく、半導体製造プロセスにおいてウェーハを観察、検査、計測、分析、加工、エッチング、洗浄、乾燥、熱処理、イオン注入、搬送（以下、「処理」と称する）する装置全般に対して、本開示を適用することが可能である。また、ウェーハの表面処理に関するウェーハ処理装置の例として、スパッタリングや化学蒸着（ＣＶＤ）等の成膜処理、表面酸化や表面窒化等の表面改質処理、さらにはアッシング処理等を行う装置等についても同様に、本開示の適用が可能である。

また、以下に説明する実施形態において、「半導体検査装置」とは、半導体ウェーハ上に形成されたパターンの寸法を計測する装置、半導体ウェーハ上に形成されたパターンの欠陥有無を検査する装置、或いはパターンが形成されていないベアウエハの欠陥有無を検査する装置等をいい、これら装置を複数組み合わせた複合装置をも含むものとする。

また、以下に説明する実施形態において、「カセット（収納容器）」とは、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＳＭＩＦ（Standard Of Mechanical Interface）、その他のウェーハ格納用ポッド、ケース、カセット、容器をも含むものとする。

以下、本開示に係るウェーハ処理装置（半導体製造装置）及びウェーハ搬送の概要を図1、図２、図３、図４を用いて説明する。特に、ウェーハ処理装置（半導体製造装置）の一例として、半導体検査装置を中心に説明する。

図１は、半導体検査装置１００の全体を示す斜視図である。図２は、ウェーハ１０を収納したカセットの正面図である。図３は、ウェーハ搬送ユニットの概略構成を示す上面図である。図４は、ウェーハ搬送ユニットの概略構成を示す側面図である。

図１の半導体検査装置１００は、装置前方にウェーハ搬送ユニット１０１（ウェーハ搬送装置）を扉の中に有している。図２のカセット２００からウェーハ１０を取り出し、装置後方の上位装置であるウェーハ処理ユニット１０２へウェーハ１０を搬送させる。

ウェーハ処理ユニット１０２は、ウェーハ１０を検査または計測するための半導体検査装置としての主たる機能と、その機能を制御するコンピュータシステムや電源を含めた制御部を有している。例えば、測長ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）であれば、電子銃部やステージ部、真空排気部、電源部を有しており、制御部は、それらの制御を行い、ウェーハ１０に形成された微細パターンの寸法計測を行う。

図２のカセット２００は、ウェーハ１０を載置するウェーハガイド２０１が複数段設けられ、ウェーハ１０を複数枚収納できる。このウェーハガイド２０１間で構成される溝は、ポケットやスロットなどと呼ばれ、以後はスロット２０２と記載する。カセット２００は、ウェーハ輸送容器やウェーハ収納容器、オープンカセットなどと呼ばれている。

ウェーハ搬送ユニット１０１は、ウェーハ１０を搬入、搬出が可能であればどのような構成でもかまわない。例えば、図１の半導体製造装置であれば、図３、図４に示す通り、制御部３０１と、プリアライナ３０３と、ウェーハ搬送ロボット３１０と、カセット置台３２０と、シャッター１０３で構成されている。

シャッター１０３は、ウェーハ搬送ロボット３１０が動作中に人や物と接触しないよう設置されたエンクロージャであり、カセット２００を載置あるいは取り出すときは開けて、ウェーハ搬送ロボット３１０を動作させるときは閉める。

ウェーハ搬送は、制御部３０１の命令に従い、ウェーハ搬送ロボット３１０を用いて、カセット置台３２０上のカセット２００からウェーハ１０を取り出し、プリアライナ３０３に載置する。

プリアライナ３０３は、載置されたウェーハ１０の偏芯量を測定し、オリフラやノッチの向きをそろえるユニットである。ウェーハ搬送ロボット３１０は、制御部３０１を介してプリアライナ３０３の前記測定結果を用いて、偏芯量を補正し、ウェーハ１０の向きをそろえて取り出し、ウェーハ処理ユニット１０２とウェーハ１０の受け渡しを行う上位ポート３０２へ搬送する。

ウェーハ搬送ロボット３１０は、ウェーハ処理ユニット１０２で処理されて戻ってきたウェーハ１０を、上位ポート３０２より取り出し、カセット置台３２０のカセット２００の処理前のスロットへ、ウェーハ１０を収納する。図３、図４より、ウェーハ搬送ロボット３１０は、駆動軸として、カセット置台３２０から上位ポート３０２方向のＹ軸４０１、水平面においてＹ軸４０１に直交するＸ軸４０２、ハンド３１２をＸＹ平面上で旋回させるΘ軸４０３、垂直の上下方向のＺ軸４０４、を有しており、これら各駆動軸に沿って動作することで、ウェーハ１０の搬送動作を行う。

ウェーハ搬送ロボット３１０のアーム３１３には、ウェーハ１０を真空吸着または把持するハンド３１２と、その反対側にカセット２００に収納されているウェーハ１０のＺ軸４０４位置をセンシングするマッピングセンサー３１１を有している。スロット２０２の1段目から最上段までウェーハ搬送ロボット３１０がＺ軸４０４方向に動き、マッピングセンサー３１１がウェーハ１０の位置をセンシングする。この動作をマッピング動作といい、スロット２０２の1段目から最上段まではカセット２００のサイズごと（径ごと）に異なるため、マッピング動作は、カセット２００のサイズごと（径ごと）に異なる。

カセット置台３２０は、カセット２００を載置するための置台であり、半導体製造装置には、少なくとも１つは用意されている。例えば、図１の半導体製造装置であれば、カセット置台３２０は２つ用意されており、２つ同時にカセット２００を載置できる。カセット置台３２０は、図示省略されているが、センサやスイッチ、リーダーを備えている。制御部３０１が、カセット２００が正常に載置されているかどうかを確認したり、カセット２００が置かれたかどうか、外されたかどうかの履歴を保存したり、カセット２００を載置した際にカセット２００からウェーハ１０が飛び出していないかを確認したりする。

ウェーハ搬送の際、ウェーハ搬送ロボット３１０のハンド３１２が、カセット２００及びウェーハ１０に接触しないようウェーハ搬送ロボット３１０の駆動量及びアーム３１３の伸ばし量が調整されている。そのため、カセット置台３２０に設置されるカセット２００は再現良く置かれないと、ハンド３１２が、カセット２００あるいはウェーハ１０と接触事故を引き起こすリスクがある。ウェーハ搬送ロボット３１０の駆動量及びアーム３１３の伸ばし量の調整は、カセット２００のサイズごとに異なる。

あらかじめ、制御部３０１にカセット２００のサイズを設定し、ウェーハ搬送ロボット３１０が、カセット２００のサイズに合ったマッピング動作やウェーハ搬送動作をする。

以下、カセットの支持方法を図５Ａ、図５Ｂ、図６、図７Ａ、図７Ｂ、図８を用いて説明する。図５Ａは、第１のカセット２００Ａの下面の斜視図である。図５Ｂは、第２のカセット２００Ｂの下面の斜視図である。図６は、カセット置台３２０の斜視図である。図７Ａは、１００ｍｍ対応カセット置台の上面図であり、第１のカセット２００Ａが載置されている。図７Ｂは、図７ＡのＡ－Ａ断面図である。図８は、２００ｍｍ対応カセット置台の上面図であり、第２のカセット２００Ｂが載置されている。

図５Ａに示す第１のカセット２００Ａの下面には、細長い凸状をしたＴバー５０１Ａがあり、図６のカセット置台３２０にあるＴバー挿入ブロック６０１に挿入することで、第１のカセット２００Ａを支持する。また、第１のカセット２００Ａの背面（ウェーハ収納口を正面とする）にある突出部分５０２Ａを、それぞれカセット置台３２０にある左位置決めブロック６０２、右位置決めブロック６０３を内側から押し当てることで第１のカセット２００Ａを支持する。

同様に、図５Ｂに示す第２のカセット２００Ｂの下面には、細長い凸状をしたＴバー５０１Ｂがあり、図６のカセット置台３２０にあるＴバー挿入ブロック６０１に挿入することで、第２のカセット２００Ｂを支持する。また、第２のカセット２００Ｂの背面（ウェーハ収納口を正面とする）にある突出部分５０２Ｂを、それぞれカセット置台３２０にある左位置決めブロック６０２、右位置決めブロック６０３を内側から押し当てることで第２のカセット２００Ｂを支持する。

図７Ａは、ウェーハサイズ１００ｍｍ対応の第１のカセット２００Ａが設置できるカセット置台、図８は、ウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂが設置できるカセット置台である。

前記に記載した通り、カセット置台３２０にはカセット２００を設置した際に、カセット２００からウェーハ１０が飛び出していないかを確認できるセンサが備わっている。ウェーハ飛び出し検出範囲７０１にウェーハ１０が入ると、ウェーハ１０の飛び出しが検出され、制御部３０１にウェーハ１０が飛び出していることが伝えられる。そのため、ウェーハ１０は、飛び出したらウェーハ飛び出し検出範囲７０１に入る位置になければならない。ウェーハ１０の位置は、ウェーハ１０を収納しているカセット２００の位置に依存するが、カセット２００の位置は、Ｔバーを挿入しているＴバー挿入ブロック６０１の位置に依存する。Ｔバー挿入ブロック６０１の位置は、ウェーハ１０が飛び出したらウェーハ飛び出し検出範囲７０１に入る位置になる。

カセット２００のサイズは収納するウェーハ１０のサイズに比例する。ウェーハ１０のサイズが小さくなればカセット２００も小さくなり、ウェーハ１０のサイズが大きくなればカセット２００も大きくなる。カセット２００のサイズが変われば、Ｔバー挿入ブロック６０１、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の位置も変わる。

例えば、ウェーハサイズ１００ｍｍ対応の第１のカセット２００Ａとウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂを比較したとき、ウェーハ１０の位置を考慮すると、ウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂのほうが、ウェーハ飛び出し検出範囲７０１からＴバー挿入ブロック６０１までの距離７０２が長くなる。また、カセット２００が設置された際のカセット突出部分５０２の位置も変わり、ウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂのほうが、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３からＴバー挿入ブロック６０１までの距離７０３が長く、左位置決めブロック６０２から右位置決めブロック６０３までの距離７０４が長くなる。

カセット置台３２０に複数のＴバー挿入ブロック６０１、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３を設置することはできない。例えば、ウェーハサイズ１００ｍｍ対応の第１のカセット２００Ａとウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂを支持するＴバー挿入ブロック６０１、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３をそれぞれ設置した場合、ウェーハサイズ２００ｍｍ対応の第２のカセット２００Ｂが、ウェーハサイズ１００ｍｍ対応の第１のカセット２００Ａを支持する左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３と干渉して設置できない。そのため、従来、カセット２００のサイズごとに、ブロックの位置が異なるカセット置台３２０を用意し、カセット置台３２０のウェーハサイズ変更作業にて取り替えている。

本実施形態では、１つのカセット置台３２０で複数のサイズのカセット（例えば、第１のカセット２００Ａ、第２のカセット２００Ｂ）を設置できるようにすることで、サイズ変更部品の製作及び管理を不要にし、カセット置台３２０のウェーハサイズ変更作業を容易にすることを実現している。

＜実施形態１＞
以下、実施形態１を、図９、図１０、図１１、図１２、図１３を用いて説明する。図９は、実施形態１のブロック可動を示す説明図である。図１０Ａは、ブロック可動カセット置台の構成例を示す上面図である。図１０Ｂは、図１０ＡのＢ－Ｂ断面図である。図１１は、ブロック可動前の横つなぎ板の状態図である。図１２は、ブロック可動後の横つなぎ板の状態図である。図１３は、階段状位置決めブロックのカセット支持例である。

１つのカセット置台３２０で複数のサイズのカセットを設置できるようにするために、図９に示す通り、Ｔバー挿入ブロック６０１を９０１方向に、左位置決めブロック６０２を９０２方向に、右位置決めブロック６０３を９０３方向に可動可能にする。ブロックを可動させることで複数のサイズのカセットを再現良く設置できるのであれば、可動方法や固定方法、ブロックの形状はどんなものでも構わない。

例えば、可動方法として、リニアガイド（可動機構）を使用した方法がある。リニアガイドは、具体的には、中央リニアガイドレール１００１の上を第１の中央リニアガイドブロック１０１１が滑らかに移動する部品である。図１０Ａと図１０Ｂは、カセット置台３２０に中央リニアガイドレール１００１を入れ込んだ例である。中央リニアガイドレール１００１上には、第１の中央リニアガイドブロック１０１１と、第２の中央リニアガイドブロック１０１４とが移動可能に載置されている。第１の中央リニアガイドブロック１０１１には、Ｔバー挿入ブロック６０１が固定されている。第２の中央リニアガイドブロック１０１４には、横つなぎ板１０３０が固定されていれる。第１の中央リニアガイドブロック１０１１と、第２の中央リニアガイドブロック１０１４とは縦つなぎ板１０２０でつながっている。

左側リニアガイドレール１００２上には、左側リニアガイドブロック１０１２が移動可能に載置されている。左側リニアガイドブロック１０１２には、左位置決めブロック６０２が固定されている。右側リニアガイドレール１００３上には、右側リニアガイドブロック１０１３が移動可能に載置されている。右側リニアガイドブロック１０１３には、右位置決めブロック６０３が固定されている。左側リニアガイドブロック１０１２と右側リニアガイドブロック１０１３は、横つなぎ板１００４でつながっており、横つなぎ板１００４の動きに合わせて左側リニアガイドブロック１０１２及び右側リニアガイドブロック１０１３が動く。この構成でＴバー挿入ブロック６０１を可動させると、つなぎ板を通じて左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３が動く。

Ｔバー挿入ブロック６０１、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の固定方法としては、ねじ留めがある。ウェーハ１０のサイズごとにＴバー挿入ブロック６０１を適した位置で固定できるねじ穴１００５を空ける。使用するウェーハ１０のサイズに合わせてＴバー挿入ブロック６０１を可動させ、ねじ穴の位置に合わせてねじ留めする。Ｔバー挿入ブロック６０１を固定すると、つなぎ板でつながっている左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３も位置決めされる。

カセット置台３２０（収納容器設置台）は、第１の中央リニアガイドブロック１０１１（第１の部材）を９０１方向（第１の方向、Ｔバー挿入ブロック可動方向）に可動させて、第１の位置または第２の位置への位置決めを行う第１の可動機構８０１と、左位置決めブロック６０２（第２の部材）を９０２方向（第２の方向）に可動させることによって、第１の位置に設置された第１のカセット２００Ａまたは第２の位置に設置された第２のカセット２００Ｂを支持する第２の可動機構８０２と、右位置決めブロック６０３（第３の部材）を９０３方向（第３の方向）に可動させることによって、第１の位置に設置された第１のカセット２００Ａまたは第２の位置に設置された第２のカセット２００Ｂを支持する第３の可動機構８０３を有している。

図１１、図１２は、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の移動前と移動後の例である。横つなぎ板１０３０の左端と右端に長円穴１１１０を空け、左側リニアガイドブロック１０１２にねじ付きベアリング１１０１を取りつける、同様に、右側リニアガイドブロック１０１３にねじ付きベアリング１１０１を取りつける、横つなぎ板１０３０の長円穴１１１０を左右のねじ付きベアリング１１０１に嵌めることで、横つなぎ板１０３０と左側リニアガイドブロック１０１２及び右側リニアガイドブロック１０１３を連結させる。

横つなぎ板１０３０が９０１方向に動くと、ねじ付きベアリング１１０１は引っ張られ、左側リニアガイドブロック１０１２及び右側リニアガイドブロック１０１３を動かす。左側リニアガイドブロック１０１２は、左位置決めブロック６０２を９０２方向に、右側リニアガイドブロック１０１３は、右位置決めブロック６０３を９０３方向に可動させ、ねじ付きベアリング１１０１は左側リニアガイドブロック１０１２及び右側リニアガイドブロック１０１３の動きに合わせて長円穴１１１０の中を転がって移動する。

図１３に左位置決めブロック６０２、右位置決めブロック６０３の形状の例として、階段状にしたものを示す。段ごとにサイズが異なるカセット突出部分５０２を支持する。

＜実施形態２＞
図１４は、リニアガイドクランパー１４０１の説明図である。この実施形態２では、実施形態１で示したブロックの固定に、図１４に示すリニアガイドクランパー１４０１を使用する。リニアガイドクランパー１４０１は、第１の中央リニアガイドブロック１０１１と連結させ、リニアガイドクランパー締め付け部品１４０２を回し、中央リニアガイドレール１００１をクランプする（横から締付ける）ことで、第１の中央リニアガイドブロック１０１１を固定できる。中央リニアガイドレール１００１上であればどこでも固定できるため、Ｔバー挿入ブロック６０１を載せている第１の中央リニアガイドブロック１０１１に連結させれば、Ｔバー挿入ブロック６０１の位置を細かく調整できる。

＜実施形態３＞
図１５は、リニアガイドクランパー１４０１を使用したブロック可動カセット置台の構成例である。図１５は、縦つなぎ板１０２０を取り外し、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の形状を三角形にしたものである。ＳＥＭＩの規格では、１５０ｍｍ以下のウェーハ１０を収納するカセットの外形寸法は、最大値しか規格化されていない。また、２００ｍｍのウェーハ１０を収納するカセットの外形寸法は、±１ｍｍ程度の誤差を許容している。そのため、カセット突出部分５０２の位置が異なり、カセットを十分に支持できない可能性がある。縦つなぎ板１０２０を取り外すことで左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３がＴバー挿入ブロック６０１の可動に依存しなくなり、カセット突出部分５０２に合わせた位置で固定できるようになる。固定には、実施形態２で示したリニアガイドクランパー１４０１を使用する。

図１６は、三角形位置決めブロックのカセット支持例である。左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の形状を三角形にし、カセット突出部分５０２に押し当てるように調整することで、図１６のようにカセット２００を支持する。

＜実施形態４＞
図１７は、ブロックの各種形状例である。実施形態３で示した、左位置決めブロック６０２及び右位置決めブロック６０３の押し当て部分を、図１７では、波状にしたものや円状にしたものを示す。

＜実施形態５＞
図１８Ａは、カセット置台３２０のカセットサイズ情報センサ設置例の裏面図である。図１８Ｂは、図１８ＡのＣ方向視図である。実施形態１で示した、ブロックの可動によるカセット置台３２０のウェーハサイズ変更作業に伴い、制御部３０１が、カセット置台３２０に設置可能なカセットサイズを判断できるようにする。

例として図１８に投光センサ１８０２と受光センサ１８０３を用いた方法を示す。Ｔバー挿入ブロック６０１の裏面には、遮光板１８０１を取り付ける。カセット置台３２０の裏面には、投光センサ１８０２と受光センサ１８０３を、Ｔバー挿入ブロック６０１が固定されたとき、遮光板１８０１によって光路１８０４が遮光される位置に取り付ける。遮光されたセンサから制御部３０１がカセット置台３２０に設置可能なカセットサイズを判断する。なお、カセット置台３２０には、遮光板１８０１が可動するための穴１８０５を有している。

カセット２００のサイズによって変わるウェーハ搬送ロボット３１０のマッピング動作やウェーハ搬送の動きを、サイズごとに制御部３０１に記録すれば、カセット置台３２０に設置可能なカセットサイズの判断から、ウェーハ搬送ロボット３１０が、カセット２００のサイズに合ったマッピング動作やウェーハ搬送の動きに自動で切り替わるシステムができる。

以上、本実施形態の収納容器設置台（例えば、カセット置台３２０）は、第１のサイズ（大きさ）のウェーハ１０を収納する第１の収納容器（例えば、第１のカセット２００Ａ）を第１の位置に、または、第１のサイズより大きな第２のサイズ（大きさ）のウェーハ１０を収納する第２の収納容器（例えば、第２のカセット２００Ｂ）を第２の位置に、着脱自在に設置可能であり、第１の収納容器の底面に存する第１の突起部（例えば、Ｔバー５０１Ａ）と第２の収納容器の底面に存する第２の突起部（例えば、Ｔバー５０１Ｂ）とに係合可能な係合部を有する第１の部材（Ｔバー挿入ブロック６０１）と、第１の部材を第１の方向（例えば、Ｔバー挿入ブロック可動方向９０１）に可動させて、第１の位置または第２の位置への位置決めを行う第１の可動機構８０１と、を備え、第１の方向は、第１のサイズのウェーハ１０を第１の収納容器へ収納する方向、または、第２のサイズのウェーハ１０を第２の収納容器へ収納する方向であることが特徴である。これにより、１つのカセット置台で複数のサイズのカセットを設置できる。

収納容器設置台は、第２の部材（例えば、左位置決めブロック６０２）を第２の方向（例えば、左位置決めブロック可動方向９０２）に可動させることによって、第１の位置に設置された第１の収納容器または第２の位置に設置された第２の収納容器を支持する第２の可動機構８０２と、第３の部材（例えば、右位置決めブロック６０３）を第３の方向（右位置決めブロック可動方向９０３）に可動させることによって、第１の位置に設置された第１の収納容器または第２の位置に設置された第２の収納容器を支持する第３の可動機構８０３を備えている。

収納容器設置台は、第１の位置に設置された第１の収納容器に収納される第１のサイズのウェーハ１０の外縁（エッジ）と、第２の位置に設置された第２の収納容器に収納される第２のサイズのウェーハ１０の外縁（エッジ）とが、第１の方向において揃うように位置決めされる。

収納容器設置台は、第１の部材の可動に連動して、第２の部材と第３の部材を可動させることができる。また、収納容器設置台は、第２の部材の可動に連動して、第３の部材を可動、または、第３の部材の可動に連動して、第２の部材を可動させることができる。

第２の部材と第３の部材において、収納容器（例えば、カセット２００）を支持するために押し当てる部分の形状が、線状、または、波状、または、円状になっている。

第１の可動機構８０１は、収納容器設置台に設けた第１の方向に形成された第１のガイドレール（例えば、中央リニアガイドレール１００１）と、第１の部材の下部に設けた第１のガイドブロック（例えば、第１の中央リニアガイドブロック１０１１）と、を備え、第１の部材の第１のガイドブロックを第１のガイドレールに沿って可動させて、第１の部材を第１の位置または第２の位置の位置決め位置で固定されることができる。

第２の方向は、収納容器設置台の面上で第１の方向と所定の角度をなす方向であり、第３の方向と第２の方向とは、第１の方向の線対称の関係にあり、第２の可動機構８０２は、収納容器設置台に、第２の方向に形成された第２のガイドレール（例えば、左側リニアガイドレール１００２）と、第２の部材の下部に設けた第２のガイドブロック（例えば、左側リニアガイドブロック１０１２）と、を備え、第２の部材の第２のガイドブロックを第２のガイドレールに沿って可動させ、第３の可動機構８０３は、収納容器設置台に、第１の方向と対称第２の方向に形成された第３のガイドレール（例えば、右側リニアガイドレール１００３）と、第３の部材の下部に設けた第３のガイドブロック（例えば、右側リニアガイドブロック１０１３）と、を備え、第３の部材の第３のガイドブロックを第３のガイドレールに沿って可動させることができる。

第２の部材と第３の部材は、第２の連結部（例えば、横つなぎ板１０３０）で連結されており、第１の部材と、第２の連結部は、第１の連結機部（例えば、縦つなぎ板１０２０）で連結されている。

第２の部材と第３の部材は、第２の連結部で連結されており、第２の連結部の左右端には、長円穴１１１０が設けられ、第２の部材及び第３の部材には、ベアリング（例えば、ねじ付きベアリング１１０１）が設けられ、ベアリングが、第２の部材または第３の部材の可動に連動して、長円穴内を移動させることができる。

半導体製造装置は、収納容器設置台と、第１の部材が第１の収納容器を位置決めする第１の位置に可動したとき、収納容器設置台の裏面に取り付けられた第１の投光センサ１８０２Ａと第１の受光センサ１８０３Ａの光路１８０４Ａが、第１の部材の裏面に取り付けられた遮光板１８０１に遮光され、または、第１の部材が第２の収納容器を位置決めする第２の位置に可動したとき、収納容器設置台の裏面に取り付けられた第２の投光センサ１８０２Ｂと第２の受光センサ１８０３Ｂの光路１８０４Ｂが、遮光板１８０１に遮光されることにより、収納容器設置台に設置可能な収納容器が第１の収納容器であること、または、収納容器設置台に設置可能な収納容器が第２の収納容器であることを判断する制御部３０１と、を有する。

制御部３０１は、収納容器設置台に設置可能な収納容器のサイズを判断するとともに、ウェーハ搬送ロボット３１０のウェーハ搬送動作及びマッピング動作を、収納容器設置台に設置可能な収納容器のサイズに合わせて自動で切り替えることができる。

本実施形態のカセット置台３２０は、Ｔバーを挿入するブロック及びカセットを支持する２つのブロックをカセットのサイズに合った位置へ可動可能にすることで、カセット置台変更作業を容易にすることができる。また、１つのカセット置台で複数のサイズに対応できるので、サイズ変更部品の製作や管理が不要になる効果がある。

１０ ウェーハ
１００ 半導体検査装置（半導体製造装置）
１０１ ウェーハ搬送ユニット
１０２ ウェーハ処理ユニット
１０３ シャッター
２００ カセット
２００Ａ 第１のカセット（第１の収納容器）
２００Ｂ 第２のカセット（第２の収納容器）
２０１ ウェーハガイド
２０２ スロット
３０１ 制御部
３０２ 上位ポート
３０３ プリアライナ
３１０ ウェーハ搬送ロボット
３１１ マッピングセンサー
３１２ ハンド
３１３ アーム
３２０ カセット置台（収納容器設置台）
４０１ Ｙ軸
４０２ Ｘ軸
４０３ Θ軸
４０４ Ｚ軸
５０１ Ｔバー
５０１Ａ Ｔバー（第１の突起部）
５０１Ｂ Ｔバー（第２の突起部）
５０２ カセット突出部分
６０１ Ｔバー挿入ブロック（第１の部材）
６０２ 左位置決めブロック
６０３ 右位置決めブロック
７０１ ウェーハ飛び出し検出範囲
７０２，７０３，７０４ 距離
８０１ 第１の可動機構
８０２ 第２の可動機構
８０３ 第３の可動機構
９０１ Ｔバー挿入ブロック可動方向（第１の方向）
９０２ 左位置決めブロック可動方向（第２の方向）
９０３ 右位置決めブロック可動方向（第３の方向）
１００１ 中央リニアガイドレール（第１のガイドレール、第１の可動機構）
１００２ 左側リニアガイドレール（第２のガイドレール、第２の可動機構）
１００３ 右側リニアガイドレール（第３のガイドレール、第３の可動機構）
１００５ ねじ穴、
１０１１ 第１の中央リニアガイドブロック（第１のガイドブロック、第１の可動機構）
１０１２ 左側リニアガイドブロック（第２のガイドブロック、第２の可動機構）
１０１３ 右側リニアガイドブロック（第３のガイドブロック、第３の可動機構）
１０１４ 第２の中央リニアガイドブロック
１０２０ 縦つなぎ板（第１の連結部）
１０３０ 横つなぎ板（第２の連結部）
１１０１ ねじ付きベアリング
１１１０ 長円穴
１４０１ リニアガイドクランパー
１４０２ リニアガイドクランパー締め付け部品
１８０１ 遮光板
１８０２ 投光センサ
１８０３ 受光センサ
１８０４ 光路
１８０５ 穴

Claims (12)

1. 第１のサイズのウェーハを収納する第１の収納容器を第１の位置に、または、前記第１のサイズより大きな第２のサイズのウェーハを収納する第２の収納容器を第２の位置に、着脱自在に設置可能であり、
   前記第１の収納容器の底面に存する第１の突起部と前記第２の収納容器の底面に存する第２の突起部とに係合可能な係合部を有する第１の部材と、
   前記第１の部材を第１の方向に可動させて、前記第１の位置または前記第２の位置への位置決めを行う第１の可動機構と、を備え、
   前記第１の方向は、前記第１のサイズのウェーハを前記第１の収納容器へ収納する方向、または、前記第２のサイズのウェーハを前記第２の収納容器へ収納する方向である収納容器設置台。
2. 第２の部材を第２の方向に可動させることによって、前記第１の位置に設置された前記第１の収納容器または前記第２の位置に設置された前記第２の収納容器を支持する第２の可動機構と、
   第３の部材を第３の方向に可動させることによって、前記第１の位置に設置された前記第１の収納容器または前記第２の位置に設置された前記第２の収納容器を支持する第３の可動機構を備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載の収納容器設置台。
3. 前記第１の位置に設置された前記第１の収納容器に収納される前記第１のサイズのウェーハの外縁と、前記第２の位置に設置された前記第２の収納容器に収納される前記第２のサイズのウェーハの外縁とが、前記第１の方向において揃うように位置決めされる
   ことを特徴とする請求項１に記載の収納容器設置台。
4. 前記第１の部材の可動に連動して、前記第２の部材と前記第３の部材を可動させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の収納容器設置台。
5. 前記第２の部材の可動に連動して、前記第３の部材を可動、または、前記第３の部材の可動に連動して、前記第２の部材を可動させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の収納容器設置台。
6. 前記第２の部材と前記第３の部材において、収納容器を支持するために押し当てる部分の形状が線状、または、波状、または、円状になっている
   ことを特徴とする請求項２に記載の収納容器設置台。
7. 前記第１の可動機構は、
   前記収納容器設置台に設けた前記第１の方向に形成された第１のガイドレールと、
   前記第１の部材の下部に設けた第１のガイドブロックと、を備え、
   前記第１の部材の前記第１のガイドブロックを前記第１のガイドレールに沿って可動させて、前記第１の部材を前記第１の位置または前記第２の位置の位置決め位置で固定される
   ことを特徴とする請求項１に記載の収納容器設置台。
8. 前記第２の方向は、前記収納容器設置台の面上で前記第１の方向と所定の角度をなす方向であり、前記第３の方向と前記第２の方向とは、前記第１の方向の線対称の関係にあり、
   前記第２の可動機構は、
   前記収納容器設置台に、前記第２の方向に形成された第２のガイドレールと、
   前記第２の部材の下部に設けた第２のガイドブロックと、を備え、
   前記第２の部材の前記第２のガイドブロックを前記第２のガイドレールに沿って可動させ、
   前記第３の可動機構は、
   前記収納容器設置台に、前記第１の方向と対称前記第２の方向に形成された第３のガイドレールと、
   前記第３の部材の下部に設けた第３のガイドブロックと、を備え、
   前記第３の部材の前記第３のガイドブロックを前記第３のガイドレールに沿って可動させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の収納容器設置台。
9. 前記第２の部材と前記第３の部材は、第２の連結部で連結されており、
   前記第１の部材と、前記第２の連結部は、第１の連結部で連結されている
   ことを特徴とする請求項４に記載の収納容器設置台。
10. 前記第２の部材と前記第３の部材は、第２の連結部で連結されており、
    前記第２の連結部の左右端には、長円穴が設けられ、
    前記第２の部材及び前記第３の部材には、ベアリングが設けられ、
    前記ベアリングが、前記第２の部材または前記第３の部材の可動に連動して、前記長円穴内を移動させる
    ことを特徴とする請求項５に記載の収納容器設置台。
11. 請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の収納容器設置台と、
    前記第１の部材が前記第１の収納容器を位置決めする前記第１の位置に可動したとき、前記収納容器設置台の裏面に取り付けられた第１の投光センサと第１の受光センサの光路が、前記第１の部材の裏面に取り付けられた遮光板に遮光され、または、
    前記第１の部材が前記第２の収納容器を位置決めする前記第２の位置に可動したとき、前記収納容器設置台の裏面に取り付けられた第２の投光センサと第２の受光センサの光路が、前記遮光板に遮光されることにより、
    前記収納容器設置台に設置可能な収納容器が第１の収納容器であること、または、前記収納容器設置台に設置可能な収納容器が第２の収納容器であることを判断する制御部と、を有することを特徴とする半導体製造装置。
12. 前記制御部は、前記収納容器設置台に設置可能な収納容器のサイズを判断するとともに、ウェーハ搬送ロボットのウェーハ搬送動作及びマッピング動作を、前記収納容器設置台に設置可能な収納容器のサイズに合わせて自動で切り替える
    ことを特徴とする請求項１１に記載の半導体製造装置。

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