JP2018022721A - ティーチング治具、基板処理装置及びティーチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板を保持する基板保持具に対する前後方向の基板載置位置を決定する第1のプレートと、
前記第1のプレートに対して直交するとともに前後方向に移動自在に設けられ、前記基板保持具に対する左右方向の基板載置位置を決定する第2のプレートと、
前記第1のプレートに設けられた位置決め用のターゲットピンと、
を有するティーチング治具を用いた技術が提供される。
以下、次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1及び2に示されているように、シリコン等からなる基板としてのウエハ200を所定の枚数収容し、収容容器として用いられるウエハキャリアとしてフープ(FOUP、PODとも称される。以下ポッドという。)110が使用される。基板処理装置100は、基板処理装置本体として用いられる筐体111を備えている。なお、図1において、後述するメンテナンス扉104側を装置前方、待機部126側を装置後方として定義し、他の図面においても装置に対する前後方向と説明する場合は、同一の定義によって説明を行う。
図4に示すように、ウエハ移載装置125aは、主に、ウエハ200を載置して搬送するツイーザ125cと、ウエハ200を載置する位置を検出する検知部300と、ツイーザ125cと検知部300とを誘導する誘導部302から構成される。
ティーチング治具10は、図5に示すように、ボート柱217aの最上位のスロット(ウエハ200を載せる一番上)のボート溝と、下からnスロット目、例えば25枚のウエハを処理する場合には、下から2スロット目のボート溝のそれぞれに2つ設置して位置情報を取得するか、または1つをそれぞれのボート溝に1回ずつ設置してそれぞれの位置情報を取得する。ティーチング治具10をティーチングを行う際の設置位置である所定の位置に設置後、位置情報の取得処理が行われる。
次に上述したティーチング治具10を用いて、半導体装置の製造工程の一工程、すなわち、後述する基板処理工程の準備工程としてのウエハ移載装置125aのティーチングを行う工程について、図10、図11、図12を参照しながら説明する。
次に、上述した構成を用いた基板処理装置100の動作について図13を用いて説明する。
尚、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作は、コントローラ240により制御される。
ポッド110がポッドオープナ121によって開放されると、ウエハ200はポッド110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによって排出され、移載室124の後方にある待機部126に待機しているボート217に装填される。ボート217に所定枚数のウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはポッド110に戻り、次のウエハ200をボート217に装填する。
処理後は、上述の逆の手順で、ボート217を処理炉202から搬出(ボートアンローディング)され(ステップS110)、ボート217からポッドにウエハ200を払い出され(ディスチャージング)(ステップS112)、ウエハ200及びポッド110は筐体の外部へ搬出される(ステップS114)。その後、未処理のウエハ200が収容された別のポッド110が搬送され、ステップS102からステップS114までの処理が行われる。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を得ることができる。
(a)ティーチング治具に円弧部を設けることによって、Y軸方向の位置決めを容易に行うことが可能となり、同じ精度でターゲットピンを基板載置位置に配置することが可能となる。
(b)ティーチング治具の設置位置を検知部により検知し、これによって、ウエハ移載装置の位置情報を取得して記憶装置に記憶するようにしたため、ウエハ移載装置のティーチング作業を作業者の能力に依存することなく一定した精度で行うことが可能となる。
(c)ティーチング治具の設置を簡易にしたため、ティーチング時間を大きく短縮することが可能となる。
(d)ティーチング時間を短縮することが可能となるため、実プロセスを早期に実施することが可能となり、半導体製造装置の稼働効率を向上させることが可能となる。
(e)ティーチングの精度が一定となるため、装置間の機差が小さくなり、基板処理工程を一定の精度で行うことが可能となる。
(f)ティーチング精度を一定とすることが可能となるため、基板保持具が経時変化によって変形した場合であっても、適切な基板載置位置を設定することが可能となる。
(g)ティーチング治具をボート載置可能な形状とすることによってボートおよびポッドの両方に対して同様の方法でティーチングを行うことが可能となる。
12 第1のプレート
13 第2のプレート
13a−1,13a―2 円弧部
14 第3のプレート
18 ターゲットピン
125a ウエハ移載装置
200 ウエハ(基板)
217 ボート(基板保持具)
217a−1,217a―2,217a―3 ボート柱(基板保持柱)
240 コントローラ
Claims (5)
- 基板を保持する基板保持具に対する前後方向の基板載置位置を決定する第1のプレートと、
前記第1のプレートに対して直交するとともに前後方向に移動自在に設けられ、前記基板保持具に対する左右方向の基板載置位置を決定する第2のプレートと、
前記第1のプレートに設けられた位置決め用のターゲットピンと、
を有するティーチング治具。 - 前記第2のプレートは、前記基板保持具の保持部に接触する円弧部を有し、
前記円弧部を前記基板保持具の保持部に接触させて左右方向の基板載置位置を決定する請求項1記載のティーチング治具。 - 前記第2のプレートに対して略平行に移動自在に設けられ、前記基板保持具の保持部に押し当てられることにより、前記基板保持具に対する回転方向の基板載置位置を決定する第3のプレートをさらに有する請求項1または2に記載のティーチング治具。
- 基板を保持する基板保持具に対する前後方向の基板載置位置を決定する第1のプレートと、前記第1のプレートに対して直交するとともに前後方向に移動自在に設けられ、前記基板保持具に対する左右方向の基板載置位置を決定する第2のプレートと、前記第1のプレートに設けられた位置決め用のターゲットピンと、を有するティーチング治具を用いて、該ティーチング治具の前後方向、左右方向及び上下方向の位置を検知する検知部と、
前記検知部により検知された位置情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された位置情報に基づいて基板移載装置をティーチングする制御部と、を有する基板処理装置。 - 基板を保持する基板保持具に対する前後方向の基板載置位置を決定する第1のプレートと、前記第1のプレートに対して直交するとともに前後方向に移動自在に設けられ、前記基板保持具に対する左右方向の基板載置位置を決定する第2のプレートと、前記第1のプレートに設けられた位置決め用のターゲットピンと、を有するティーチング治具を用いて、該ティーチング治具の前後方向、左右方向及び上下方向の位置を検知し、
検知された位置情報を記憶し、
記憶された位置情報に基づいて基板移載装置をティーチングする
ティーチング方法。
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