JP6551197B2 - ロードポート - Google Patents
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Description
図1に示す装置は、半導体の製造に用いられる装置であって、複数のロードポート1(本実施形態では3つ)と、搬送室2と、処理装置3とで構成される。ロードポート1は、ウエハ(Wafer)などの被処理物を、搬送室2の中の空間(搬送空間S)に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器(例えば、カセット51,52(図4,5参照))が載置される装置である。なお、ウエハは、ウエハのみが(ウエハが直接)容器に収容される場合もあるし、FFC(Film Flame Carrier)やフープリング(Hoop Ring)の上面(または下面)に貼ったテープに貼られた状態で容器に収容される場合もある。以下で単に「FFC」と言う場合は、FFC(Film Flame Carrier)の上面(または下面)に貼ったテープにウエハが貼られた状態のFFCのことを指す。
図2〜図11を参照しつつ、ロードポート1の構成を説明する。図2に示すように、ロードポート1は、搬送空間Sを区画する隔壁21の一部を構成する板形状のベース10を有する。ベース10は立設配置され、このベース10には、被処理物を搬送空間Sに出し入れするための開口としてのベース開口部10a(図2(b)参照)が設けられている。搬送空間Sをクリーンな状態に保つため、通常時、ベース開口部10aはドア12で閉じられている。
カセット51,52に収容された複数のFFCをマッピングするマッピングセンサ30をロードポート1は備えている。図2(b)、図3に示されているように、マッピングセンサ30は、ベース10の搬送空間Sの側とは反対側、すなわちベース10の前方に配置される。マッピングセンサ30は光学式のセンサである。なお、光学式のセンサは、レーザー光式のセンサを含む。
図2に示すように、前記した載置台11、マッピングセンサ30は、ロードポート1の外カバー13(固定カバー)の中に収容される。本実施形態では、外カバー13のうちの前面側カバーは、カバー13a,13b,13cで構成され、側面側カバーは、左右一対のカバー13d,13eで構成される。ロードポート1の背面側は、ベース10がカバーの役割を果たす。なお、ロードポート1の底部にはキャスター14が取り付けられており、これにより、ロードポート1は容易に移動させることができるようになっている。
さらに、本実施形態のロードポート1は、FFC用アダプタ20を介して載置台11の上に載置されたカセット51,52、および上下動するセンサ部31を有するマッピングセンサ30の全体を覆う開閉可能な容器カバー15,16を備えている。
この結果、なんらかの原因でエアシリンダー17が故障したとしても、第2容器カバー16がショックアブソーバー65によって、退避位置に移動するか、ゆっくりと倒れていくので、第2容器カバー16が自重により勢いよく閉まることを防ぐことができる。
ロードポート1の動作(制御装置4によるロードポート1の制御)を説明する。ここでは、一例として、図4,5に示すFFC用アダプタ20がロードポート1の載置台11の上に取り付けられていることとする。最初、容器カバー15,16は開いた状態にあり、マッピングセンサ30のセンサ部31は、載置台11の高さレベル以下に下がった状態にある(待機状態、図2(b)参照)。また、載置台11は、図2(b)、図3に示す位置(=UNDOCK位置)に位置する。なお、説明を省略するが、FFC用アダプタ20がロードポート1の載置台11の上に取り付けられていることで、ロードポート1(制御装置4)は、処理対象がFFCであることを特定できている。以下に記載するロードポート1の各部の動きは、制御装置4からの指令によるものである。
載置台11の上に載置された容器を覆う開閉可能な容器カバーの変形例を図12,13に示している。図12に示す開閉可能な容器カバーは、回動動作する容器カバー66と、昇降移動する1組の容器カバー67とで構成される。容器カバー66は、側面視L字形状のカバーであり、載置台11の上方の回動軸まわりに回動する。容器カバー66は、載置台11の前方側および上方側を覆う。容器カバー67は、平板形状のカバーであり、載置台11の側方側を覆う。
また、AGV(Automated Guided Vehicle)のような床上走行式無人搬送車により容器をロードポートに載置する場合、第1カバー15のみを退避位置に移動させてもよい。
なお、第1カバー15の駆動部および第2カバー16の駆動部の制御は、制御装置4が上位コンピュータの指令を受けて動作させる。例えば、OHTにより搬送されている容器がロードポートに近づいた場合、予め第2カバー16のみを退避位置に移動させておき、OHTで上方から載置台に容器を載置可能にスタンバイさせておけばよい。
2:搬送室
3:処理装置
4:制御装置
10:ベース
10a:ベース開口部
11:載置台
12:ドア
15:第1容器カバー(分割容器カバー)
16:第2容器カバー(分割容器カバー)
17:エアシリンダー(駆動装置)
21:隔壁
30:マッピングセンサ
51、52:カセット(容器)
61:エアシリンダー(駆動装置)
S:搬送空間
Claims (3)
- 搬送空間を区画する隔壁の一部を構成し、被処理物を前記搬送空間に出し入れするためのベース開口部を有する立設配置されるベースと、
前記ベースの前記搬送空間の側とは反対側に設けられ、複数の前記被処理物を収容する容器が載置される載置台と、
前記ベース開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台の上に載置された前記容器を覆う開閉可能な容器カバーと、
を備えるロードポートにおいて、
前記容器カバーは、分割された形態の複数の分割容器カバーで構成されており、
前記複数の分割容器カバーは、前記載置台の上方、および前記載置台の下方スペースに退避可能に構成されていることを特徴とする、ロードポート。 - 請求項1に記載のロードポートにおいて、
前記複数の分割容器カバーは、
前記載置台の前方側を覆うとともに、開の状態にされたとき、前記載置台の下方スペースに退避する、昇降移動する第1容器カバーと、
前記第1容器カバーの上に載せられて前記載置台の上方側を覆うとともに、前記開の状態にされたとき、前記載置台の上方に退避する、回動動作する第2容器カバーと、
を有することを特徴とする、ロードポート。 - 請求項1または2に記載のロードポートにおいて、
前記複数の分割容器カバーを動作させる駆動装置が、前記複数の分割容器カバーのそれぞれに設けられていることを特徴とする、ロードポート。
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