KR102152908B1 - 기판처리장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배관이 체결되는 장치 및 방법을 제공한다. 기판 처리 장치는 기판 상에 액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 내부에 처리액이 채워지는 버퍼공간을 가지는 액 저장 탱크, 상기 액 저장 탱크로부터 외측으로 연장되는 포트 배관, 상기 포트 배관에 체결 가능한 공급 배관, 그리고 상기 포트 배관 및 상기 공급 배관을 서로 연결시키는 연결 어셈블리를 포함하되, 상기 연결 어셈블리는 양단에 상기 포트 배관 및 상기 공급 배관 각각이 체결 가능한 피팅 캡 및 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관 간에 체결 정도를 측정하는 측정 바디를 포함하되, 상기 측정 바디는 일부가 개방된 링 형상을 가지며, 개방된 영역을 통해 상기 포트 배관에 탈착 가능한 몸체를 포함한다. 측정 바디는 일부가 개방된 링 형상으로 제공되어 탱크로부터 연장된 포트 배관에 탈착이 용이하다.

Description

기판처리장치 및 방법 {Apparatus and Method for treating substrate}
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 배관이 체결되는 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 그리고 박막 증착 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 같은 공정이 진행되기 전 또는 후에는 각각의 공정에서 생성된 오염물 및 파티클을 제거하기 위해 기판을 세정하는 세정공정이 실시된다.
일반적으로 세정공정은 기판 상에 케미칼을 공급하여 기판 상에 부착된 오염물 및 파티클을 제거하는 공정이다. 이러한 세정공정은 액 저장 탱크로부터 공정 챔버에 케미칼이 제공되고, 공정 챔버 내에 위치된 기판 상에 케미칼이 공급되어 수행된다. 공정 챔버에 케미칼이 제공되기 위해서는 공정 챔버 및 액 저장 탱크가 공급 배관에 의해 연결된다. 액 저장 탱크에 저장된 케미칼은 공급 배관을 통해 공정 챔버로 제공된다. 이에 따라 메인터넌스 또는 케미칼의 공급 불량이 발생 시 공급 배관과 액 저장 탱크 간에 체결은 수차례 반복된다. 이 과정에서 공급 배관과 액 저장 탱크를 연결하는 피팅 캡은 그 체결 정도를 기설정값에 대응되도록 조절해야 한다.
그러나 공급 배관과 액 저장 탱크 간의 체결 정도는 작업자에 따라 상이해진다. 도 1은 액 저장 탱크에 피팅 캡이 과체결된 상태를 보여주는 단면도이고, 도 2는 공급 배관과 액 저장 탱크가 불안정적으로 체결된 상태를 보여주는 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 체결 정도가 기설정값에 비해 과체결되는 경우에는 피팅 캡 또는 액 저장 탱크의 연결 포트가 파손될 수 있다. 이로 인헤 피팅캡이 액 저장 탱크에 탈착이 불가능하도록 고정 결합되거나 누수가 발생될 수 있다. 또한 체결 정도가 기설정값에 비해 약하게 체결되는 경우에는 피팅캡이 액 저장 탱크로부터 탈착되거나 누수가 발생될 수 있다.
본 발명은 액 저장 탱크에 피팅 캡을 체결 시 작업자에 따라 체결 정도가 상이해지는 문제점을 해결하고자 한다.
또한 본 발명은 액 저장 탱크에 피팅 캡이 기설정값에 비해 과체결되는 것을 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 액 저장 탱크에 피팅 캡이 기설정값에 비해 불안정적으로 체결되는 것을 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 배관이 체결되는 장치 및 방법을 제공한다. 기판 처리 장치는 기판 상에 액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 내부에 처리액이 채워지는 버퍼공간을 가지는 액 저장 탱크, 상기 액 저장 탱크로부터 외측으로 연장되는 포트 배관, 상기 포트 배관에 체결 가능한 공급 배관, 그리고 상기 포트 배관 및 상기 공급 배관을 서로 연결시키는 연결 어셈블리를 포함하되, 상기 연결 어셈블리는 양단에 상기 포트 배관 및 상기 공급 배관 각각이 체결 가능한 피팅 캡 및 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관 간에 체결 정도를 측정하는 측정 바디를 포함하되, 상기 측정 바디는 일부가 개방된 링 형상을 가지며, 개방된 영역을 통해 상기 포트 배관에 탈착 가능한 몸체를 포함한다.
상기 몸체의 두께는 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관이 정상 체결 시 상기 피팅 캡과 상기 액 저장 탱크 간의 이격 거리와 대응되도록 제공될 수 있다. 상기 피팅 캡을 향하는 상기 몸체의 일면에는 홈이 형성되고, 상기 측정 바디는 상기 홈에 삽입되는 눌림부재를 더 포함하되, 상기 눌림부재의 일부는 상기 홈으로부터 돌출되게 위치될 수 있다. 상기 측정 바디는 상기 홈을 형성하는 상기 몸체의 바닥면에서 상기 눌림부재를 지지하는 탄성부재를 더 포함할 수 있다. 내부에 상기 노즐이 위치되는 처리공간을 제공하며, 상기 공급배관과 연결되는 하우징 및 상기 처리공간에서 기판을 지지하는 기판지지유닛을 더 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 상기 공급 배관과 상기 노즐을 연결하는 액 공급 라인을 더 포함할 수 있다.
상기 기판처리장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법으로는 상기 포트 배관에 상기 측정 바디를 장착하고, 상기 피팅 캡을 상기 포트 배관에 체결하되, 상기 피팅 캡이 상기 측정 바디에 접촉되면, 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관 간의 체결을 중지한다.
상기 측정 바디는 상기 액 저장 탱크에 접촉되도록 상기 포트 배관에 장착될 수 있다. 상기 피팅 캡이 상기 측정 바디에 접촉되면, 상기 측정 바디를 상기 포트 배관으로부터 탈착시킬 수 있다. 상기 측정 바디는 수지류 재질로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 피팅캡은 탱크로부터 연장되는 포트 배관에 체결되고, 피팅캡과 탱크 사이에는 측정 바디가 제공되어 피팅캡과 탱크 사이의 거리를 측정하도록 제공된다. 측정 바디는 일부가 개방된 링 형상으로 제공되어 탱크로부터 연장된 포트 배관에 탈착이 용이하다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 측정 바디의 두께가 피팅 캡이 정상 체결 시 피팅 캡과 탱크 간의 거리와 대응되도록 제공된다. 이에 따라 작업자는 피팅 캡을 포트 배관에 정상 체결하는 것이 용이하다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 측정 바디의 몸체에는 홈이 형성되며, 홈에는 눌림 부재가 삽입된다. 눌림 부재는 탄성부재에 의해 지지되며, 일부는 홈으로부터 돌출되게 제공된다. 눌림 부재는 피팅 캡이 밀착되어 전체 영역이 삽입 가능하며, 돌출된 일부 영역을 통해 피팅 캡의 체결 상태를 확인할 수 있다.
도 1은 액 저장 탱크에 피팅 캡이 과체결된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 2는 공급 배관과 액 저장 탱크가 불안정적으로 체결된 상태를 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 3의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4의 하우징 및 액 공급 유닛을 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 6 은 도 5의 연결부재를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6의 측정 바디를 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 7의 측정 바디를 선 a-a' 에서 바라본 단면도이다.
도 9는 도 8의 측정 바디의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
본 실시예에는 기판 상을 처리액으로 세정 처리하는 장치에 대해 설명한다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않으며, 처리액을 사용하는 도포공정, 현상공정, 그리고 식각공정 등 액을 사용하는 공정이라면 다양하게 적용 가능하다.
이하, 도 3 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도 3을 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 공정챔버들(260)이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정챔버들(260)은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정챔버들(260)이 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정 챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)가 제공된다. 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정챔버(260) 내의 기판처리장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버들(260)은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.
도 4는 도 3의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다. 도 4를 참조하면, 기판처리장치(300)는 하우징(310), 용기(320), 기판지지유닛(340), 승강유닛(360), 그리고 액 공급 유닛(380)을 포함한다.
하우징(310)은 직육면체 형상을 가진다. 하우징(310)의 내부에는 처리공간을 제공한다. 하우징(310)의 일측면에는 개구가 형성된다. 개구는 기판(W)이 출입 가능한 입구로 기능한다.
용기(320)는 처리공간에 위치된다. 용기(320)는 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 용기(320)는 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 처리액들 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(326)은 내부회수통(326)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a) 및 내부회수통(322)과 외부회수통(326)의 사이공간(326a)은 각각 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)으로 처리액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 각각의 회수통(322,326)의 저면 아래에는 회수라인(322b,326b)이 연결된다. 각각의 회수통(322,326)에 유입된 처리액들은 회수라인(322b,326b)을 통해 외부의 처리액재생시스템(미도시)으로 제공되어 재사용될 수 있다.
기판지지유닛(340)은 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 기판지지유닛(340)은 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 대체로 원판 형상을 가지도록 제공된다. 몸체(342)의 상부면은 저면에 비해 큰 크기를 가지도록 제공된다. 몸체(342)의 외측면은 상부면의 가장자리영역에서 저면의 가장자리영역까지 연장되게 제공된다. 몸체(342)의 외측면은 아래로 갈수록 그 중심축과 가까워지도록 경사지게 제공된다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전 가능한 지지축(348)이 고정결합된다. 지지축(348)은 원통 형상을 가지며, 그 중심축을 중심으로 회전 가능하다.
지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 몸체(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 기판지지유닛(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.
승강유닛(360)은 용기(320)를 상하 방향으로 직선이동시킨다. 용기(320)가 상하로 이동됨에 따라 기판지지유닛(340)에 대한 용기(320)의 상대 높이가 변경된다. 예컨대, 용기(320)가 상하 이동됨에 따라 기판지지유닛(340)에 놓인 기판(W)은 처리액이 유입되는 복수의 유입구들(322a, 326a) 중 어느 하나에 대응될 수 있다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 용기(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 기판지지유닛(340)에 놓이거나, 기판지지유닛(340)으로부터 들어올려 질 때 기판지지유닛(340)이 용기(320)의 상부로 돌출되도록 용기(320)는 하강된다. 또한 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 용기(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 기판지지유닛(340)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
액 공급 유닛(380)은 기판(W) 상으로 처리액들을 분사한다. 액 공급 유닛(380)은 분사 부재(381) 및 액 공급 부재(400)를 포함한다. 분사 부재(381)는 지지축(386), 아암(382), 노즐(390), 그리고 액 공급 라인(384)을 포함한다. 지지축(386)은 용기(320)의 일측에 배치된다. 지지축(386)은 그 길이방향이 상하방향으로 제공되는 로드 형상을 가진다. 지지축(386)은 구동부재(388)에 의해 회전 및 승강운동이 가능하다. 아암(382)은 노즐(390)을 지지한 채로 지지축(386)에 결합된다. 지지축(386)의 회전에 의해 아암(382) 및 노즐(390)은 스윙이동된다. 지지축(386)의 회전에 의해 노즐(390)은 공정위치와 대기위치로 이동된다. 여기서 공정위치는 노즐(386)이 기판지지유닛(340)에 놓인 기판(W)과 대향되는 위치이고, 대기위치는 공정위치를 벗어난 위치이다. 일 예에 의하면, 처리액은 케미칼일 수 있다. 케미칼은 강산의 성질을 가지는 액일 수 있다. 케미칼은 황산(H2SO3)을 포함할 수 있다. 선택적으로 아암(382)은 지지축(386)에 대해 수평방향으로 직선이동 및 승강운동할 수 있다. 액 공급 라인(384)은 액 공급 부재(400)와 노즐을 연결한다. 액 공급 라인(384)은 액 공급 부재(400)로부터 제공된 처리액을 노즐에 공급한다.
액 공급 부재(400)는 노즐(386)에 처리액을 공급한다. 도 5는 도 4의 하우징 및 액 공급 부재를 개략적으로 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 액 공급 부재(400)는 액 저장 탱크(410), 포트 배관(420), 공급 배관(430), 그리고 연결 어셈블리(440)를 포함한다. 액 저장 탱크(410)는 내부에 버퍼 공간이 제공되다. 버퍼 공간에는 외부로부터 제공된 처리액이 채워진다. 예컨대, 액 저장 탱크(410)는 외부로부터 제공된 처리액이 임시 대기되는 버퍼 탱크일 수 있다. 선택적으로, 액 저장 탱크(410)는 서로 상이한 종류의 처리액들이 혼합되는 매니폴더일 수 있다. 매니폴더는 복수 개의 공정 챔버들에 제공된 노즐들(390) 각각에 처리액을 공급할 수 있다.
포트 배관(420)은 버퍼공간에 채워진 처리액이 유출되는 출구로 기능한다. 포트 배관(420)은 액 저장 탱크(410)로부터 외측면으로부터 연장되게 제공된다. 포트 배관(420)은 액 저장 탱크(410)로부터 외측방향으로 돌출된 환형의 링 형상을 가진다. 포트 배관(420)의 외측면에는 나사산이 형성된다. 공급 배관(430)은 버퍼 공간에 채워진 처리액이 노즐(390)로 공급되도록 액 공급 라인(384)과 액 저장 탱크(410)를 연결한다.
연결 어셈블리(440)는 공급 배관(430)과 액 저장 탱크(410)를 서로 연결시킨다. 도 6 은 도 5의 연결 어셈블리를 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 연결 어셈블리(440)는 피팅 캡(450) 및 측정 바디(460)를 포함한다. 피팅 캡(450)은 양단이 공급 배관(430)과 포트 배관(420) 각각에 체결된다. 피팅 캡(450)은 중공을 가지는 원통 형상으로 제공된다. 중공을 형성하는 피팅 캡(450)의 내측면에는 나사산이 형성된다. 피팅 캡(450)은 포트 배관(420) 에 체결 시 포트 배관(420)의 외측면을 감싸는 암나사로 기능한다.
측정 바디(460)는 피팅 캡(450)과 포트 배관(420) 간에 체결 정도를 측정한다. 측정 바디(460)는 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 이격 거리를 측정한다. 측정 바디(460)는 포트 배관(420)에 탈착 가능하도록 제공된다. 측정 바디(460)는 액 저장 탱크(410)와 공급 배관(430) 사이에 장착되게 제공된다. 예컨대, 측정 바디(460)는 수지류 재질로 제공될 수 있다.
도 7은 도 6의 측정 바디를 보여주는 사시도이고, 도 8은 도 7의 측정 바디를 선 a-a' 에서 바라본 단면도이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 측정 바디(460)는 몸체(470), 눌림 부재(480), 그리고 탄성 부재(490)를 포함한다. 몸체(470)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 몸체(470)의 외경은 피팅 포트와 동일하거나 이보다 크게 제공된다. 몸체(470)의 일측부는 개방되게 제공된다. 예컨대, 몸체(470)는 상부에서 바라볼 때 'C' 형상을 가지도록 제공될 수 있다. 몸체(470)는 개방된 일측부를 통해 포트 배관(420)에 장착 및 탈착이 가능하다. 몸체(470)가 포트 배관(420)에 장착 시 몸체(470)는 포트 배관(420)의 외측부를 감싸도록 제공된다. 몸체(470)의 두께는 피팅 캡(450)과 포트 배관(420)이 정상 체결된 상태에서 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 이격 거리와 대응되도록 제공된다. 선택적으로 몸체(470)는 중심축에 형성된 중공을 통해 포트 배관(420)에 장착될 수 있다. 몸체(470)의 일면에는 삽입 공간(472)이 제공되는 홈이 형성된다. 홈이 형성되는 몸체(470)의 일면은 몸체(470)가 포트 배관(420)에 장착 시 공급 배관(430)을 향하는 평면으로 제공된다.
눌림 부재(480)는 몸체(470)의 홈과 대응되는 형상을 가진다. 눌림 부재(480)는 몸체(470)의 홈에 삽입된다. 눌림 부재(480)의 제1영역부(480b)는 삽입 공간(472)에 위치되고, 제2영역부(480a)는 삽입 공간(472)을 벗어난 위치에 제공된다. 제2영역부(480a)는 제1영역부(480b)로부터 연장된 영역으로 제공된다. 탄성 부재(490)는 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)가 몸체(470)의 상단에 비해 높게 위치되도록 눌림 부재(480)에 탄성력을 제공한다. 탄성 부재(490)는 눌림 부재(480)와 홈을 형성하는 몸체(470)의 바닥면 사이에 위치된다. 탄성 부재(490)는 눌림 부재(480)의 제1영역부(480b)와 고정 결합된다. 일 예에 의하면, 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)는 외부의 힘에 의해 삽입 공간(472)에 위치될 수 있다. 탄성 부재(490)는 스프링일 수 있다.
다음은 상술한 연결 어셈블리(440)를 이용하여 포트 배관(420)에 피팅 캡(450)을 체결하는 방법을 설명한다. 작업자는 측정 바디(460)의 저면이 액 저장 탱크(410)를 향하도록 포트 배관(420)에 측정 바디(460)를 장착시킨다. 측정 바디(460)가 포트 배관(420) 장착되면, 그 저면이 액 저장 탱크(410)에 접촉되도록 측정 바디(460)를 이동시킨다. 측정 바디(460)와 액 저장 탱크(410)가 접촉되면, 피팅 캡(450)과 포트 배관(420)을 나사 체결한다. 피팅 캡(450)을 계속 체결하면, 피팅 캡(450)은 측정 바디(460)를 향해 이동되고, 피팅 캡(450)은 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)에 접촉된다. 피팅 캡(450)은 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)에 접촉된 상태에서 이동되고, 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)는 삽입 공간(472)에 삽입된다. 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)가 삽입 공간(472)에 삽입되면, 피팅 캡(450)은 측정 바디(460)에 의해 나사 체결이 정지된다. 작업자는 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)가 삽입 공간(472)에 삽입된 것을 확인하고, 이를 피팅 캡(450)과 포트 배관(420)이 정상 체결된 것을 알 수 있다. 이와 달리 눌림 부재(480)의 제2영역부(480a)가 삽입 공간(472)으로부터 돌출되게 위치되면, 피팅 캡(450)의 체결이 불량 상태임을 알 수 있다. 이후 작업자는 측정 바디(460)의 개방된 영역을 통해 측정 바디(460)를 포트 배관(420)으로부터 탈착할 수 있다. 선택적으로, 작업자는 측정 바디(460)를 포트 배관(420)으로부터 탈착시키지 않고, 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 거리를 수시로 확인할 수 있다. 또한 피팅 캡(450)이 체결된 포트 배관(420)에 측정 바디(460)를 장착하여 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 거리를 확인할 수 있다.
상술한 실시예에는 작업자의 시각을 통해 눌림 부재(480)의 위치를 확인하고, 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 이격 거리를 측정하는 것으로 설명하였다. 그러나 도 9와 같이 작업자는 청각을 통해 피팅 캡(450)과 액 저장 탱크(410) 간의 이격 거리를 측정할 수 있다. 눌림 부재(480)는 가이드부(482) 및 걸림부(484)를 더 포함할 수 있다. 가이드부(482)는 제1영역부(480b)를 중심으로 제2영역부(480a)와 반대편에 위치될 수 있다. 가이드부(482)는 제1영역부(480b)의 가장자리로부터 연장되게 제공될 수 있다. 걸림부(484)는 가이드부(482)의 끝단으로부터 연장되게 제공된다. 걸림부(484)는 제2영역부(480a)가 삽입 공간(472)에 삽입 시 몸체(470)에 걸려 소음이 발생되고, 작업자는 이를 통해 피팅 캡(450)의 정상 체결을 인지할 수 있다.
또한 눌림 부재(480)와 몸체(470)는 서로 상이한 색깔로 채색되고, 작업자는 제2영역부(480a)의 돌출 정도를 보다 용이하게 확인하고, 피팅 캡(450)의 체결 상태를 측정할 수 있다.
390: 노즐 400: 액 공급 부재
410: 액 저장 탱크 420: 포트 배관
430: 공급 배관 440: 연결 어셈블리
450: 피팅 캡 460: 측정 바디
470: 몸체 480: 눌림부재
490: 탄성 부재

Claims (9)

  1. 기판 상에 액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛을 포함하되,
    상기 액 공급 유닛은,
    내부에 처리액이 채워지는 버퍼공간을 가지는 액 저장 탱크와;
    상기 액 저장 탱크로부터 외측으로 연장되는 포트 배관과;
    상기 포트 배관에 체결 가능한 공급 배관과;
    상기 포트 배관 및 상기 공급 배관을 서로 연결시키는 연결 어셈블리를 포함하되,
    상기 연결 어셈블리는
    양단에 상기 포트 배관 및 상기 공급 배관 각각이 체결 가능한 피팅 캡과;
    상기 피팅 캡과 상기 포트 배관 간에 체결 정도를 측정하는 측정 바디를 포함하되,
    상기 측정 바디는,
    일부가 개방된 링 형상을 가지며, 개방된 영역을 통해 상기 포트 배관에 탈착 가능한 몸체를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 몸체의 두께는 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관이 정상 체결 시 상기 피팅 캡과 상기 액 저장 탱크 간의 이격 거리와 대응되도록 제공되는 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 피팅 캡을 향하는 상기 몸체의 일면에는 홈이 형성되고,
    상기 측정 바디는.
    상기 홈에 삽입되는 눌림부재를 더 포함하되,
    상기 눌림부재의 일부는 상기 홈으로부터 돌출되게 위치되는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 측정 바디는,
    상기 홈을 형성하는 상기 몸체의 바닥면에서 상기 눌림부재를 지지하는 탄성부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    내부에 상기 노즐이 위치되는 처리공간을 제공하며, 상기 공급배관과 연결되는 하우징과;
    상기 처리공간에서 기판을 지지하는 기판지지유닛을 더 포함하되,
    상기 액 공급 유닛은,
    상기 공급 배관과 상기 노즐을 연결하는 액 공급 라인을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제2항의 기판처리장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서,
    상기 포트 배관에 상기 측정 바디를 장착하고, 상기 피팅 캡을 상기 포트 배관에 체결하되,
    상기 피팅 캡이 상기 측정 바디에 접촉되면, 상기 피팅 캡과 상기 포트 배관 간의 체결을 중지하는 기판 처리 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정 바디는 상기 액 저장 탱크에 접촉되도록 상기 포트 배관에 장착되는 기판 처리 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 피팅 캡이 상기 측정 바디에 접촉되면, 상기 측정 바디를 상기 포트 배관으로부터 탈착시키는 기판 처리 방법.
  9. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정 바디는 수지류 재질로 제공되는 기판 처리 방법.
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