KR101591842B1 - 배관 어셈블리 및 이를 가지는 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실시예는 복수 개의 배관들이 결합되는 구조를 가지는 배관 어셈블리 및 기판처리장치를 제공한다. 배관 어셈블리는 제1튜브 배관, 제2튜브 배관, 그리고 상기 제1튜브 배관 및 상기 제2튜브 배관을 서로 연결시키는 연결부재를 포함하되, 상기 연결부재는 상기 제1튜브 배관에 삽입되는 슬리브, 일단부가 상기 제1튜브 배관의 둘레를 감싸도록 상기 제1튜브 배관에 장착 가능하며, 외측면에 나사산이 형성되는 연결 배관, 그리고 상기 슬리브가 상기 제1튜브 배관에 삽입된 상태에서 상기 나사산과 나사 체결되어 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관을 결합시키는 결합부재를 포함하되, 상기 슬리브는 상기 제1튜브 배관에 결합되는 결합부, 상기 결합부로부터 연장되며 외측면이 바깥쪽으로 돌출되고 상기 제1튜브 배관에 삽입되는 삽입부, 그리고 상기 삽입부로부터 연장되며 상기 제1튜브 배관으로 삽입되는 가이드부를 포함하며, 상기 결합부, 상기 삽입부, 그리고 상기 가이드부는 순차적으로 제공된다. 이로 인해 가이드부는 슬리브와 튜브 배관 간에 접촉면적을 증대시키며, 튜브 배관의 꺽임을 최소화할 수 있다.

Description

배관 어셈블리 및 이를 가지는 기판처리장치 {Pipe assembly and Apparatus for treating substrate with the assembly}

본 발명은 배관 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수 개의 배관들이 결합되는 구조를 가지는 배관 어셈블리에 관한 것이다.

반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 그리고 박막 증착 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 같은 공정이 진행되기 전 또는 후에는 각각의 공정에서 생성된 오염물 및 파티클을 제거하기 위해 기판을 세정하는 세정공정이 실시된다.

일반적으로 세정공정은 기판 상에 케미칼을 공급하여 기판 상에 부착된 오염물 및 파티클을 제거하는 공정이다. 세정공정에서 사용된 케미칼은 챔버에 연결된 배관을 통해 외부로 배출된다. 이러한 배관은 케미칼에 의해 부식을 방지하기 위해 그 전체가 수지류 재질로 제공된다. 또한 배관은 주변 공간이 제약됨에 따라 그 배치구조가 한정된다. 이로 인해 복수 개의 배관들이 각각 다른 길이방향을 가지도록 배치되며, 배관들을 서로 연결하는 연결부재가 제공된다.

도1은 일반적인 배관 어셈블리를 보여주는 단면도이다. 도1을 참조하면, 튜브 배관(2)과 연결 배관(4)은 결합 너트(6) 및 슬리브(8)에 의해 서로 체결된다. 튜브 배관(2)과 연결 배관(4)이 서로 체결되는 순서로는 튜브 배관(2)에 결합 너트(6) 및 슬리브(8)가 끼워진다. 이후 연결 배관(4)이 튜브 배관(2)과 결합 너트(6) 사이로 제공되어 결합 너트(6)와 연결 배관(4)이 나사 결합된다. 그러나 연결 배관(4)이 튜브 배관(2)과 결합 너트(6) 사이로 이동되는 과정에서 튜브 배관(2)의 꺽임이 발생된다. 도2 및 도3은 배관의 꺽임으로 인해 체결 불량이 발생되는 배관 어셈블리를 보여주는 단면도이다. 도2 및 도3을 참조하면, 튜브 배관(2)은 수지류 재질로 제공됨에 따라 꺽임 현상이 발생된다. 특히 튜브 배관(2)은 슬리브(8)의 접촉영역과 비접촉영역의 경계영역 및 결합 너트의 접촉영역과 비접촉영역의 경계영역에서 꺽임 현상이 자주 발생된다. 이로 인해 연결 배관(4)은 결합 너트와 사선체결이 발생되고, 케미칼이 배출되는 과정에서 튜브 배관(2)과 연결 배관(4)의 체결영역에 누수가 발생된다.

본 발명은 배관들이 결합될 때 배관이 꺽이는 것을 방지할 수 있는 배관 어셉블리를 제공하고자 한다.

또한 본 발명은 배관의 일부가 꺽임에 따라 이에 장착된 결합 너트가 연결부재와 사선체결되는 것을 방지할 수 있는 배관 어셈블리를 제공하고자 한다.

또한 본 발명은 배관 간의 체결을 강화시킬 수 있는 배관 어셈블리를 제공하고자 한다.

본 발명의 실시예는 복수 개의 배관들이 결합되는 구조를 가지는 배관 어셈블리 및 기판처리장치를 제공한다. 배관 어셈블리는 제1튜브 배관, 제2튜브 배관, 그리고 상기 제1튜브 배관 및 상기 제2튜브 배관을 서로 연결시키는 연결부재를 포함하되, 상기 연결부재는 상기 제1튜브 배관에 삽입되는 슬리브, 일단부가 상기 제1튜브 배관의 둘레를 감싸도록 상기 제1튜브 배관에 장착 가능하며, 외측면에 나사산이 형성되는 연결 배관, 그리고 상기 슬리브가 상기 제1튜브 배관에 삽입된 상태에서 상기 나사산과 나사 체결되어 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관을 결합시키는 결합부재를 포함하되, 상기 슬리브는 상기 제1튜브 배관에 결합되는 결합부, 상기 결합부로부터 연장되며 외측면이 바깥쪽으로 돌출되고 상기 제1튜브 배관에 삽입되는 삽입부, 그리고 상기 삽입부로부터 연장되며 상기 제1튜브 배관으로 삽입되는 가이드부를 포함하며, 상기 결합부, 상기 삽입부, 그리고 상기 가이드부는 순차적으로 제공된다.

상기 삽입부는 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 제1튜브 배관의 외경보다 큰 외경을 가지는 부분을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 제1튜브 배관의 외경보다 작은 외경으로 제공될 수 있다. 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 가이드부의 외측면은 상기 연결 배관의 내측면과 접촉되도록 제공될 수 있다. 상기 결합부재는 일단이 상기 제1튜브 배관에 끼워지고, 상기 연결 배관의 나사산과 결합되는 나사산이 내주면에 형성된 바디부 및 상기 제1튜브 배관에 삽입된 상기 가이드부에 대응되도록 상기 일단의 외측면으로부터 연장되며 상기 제1튜브 배관과 접촉되게 제공되는 외측접촉부를 포함할 수 있다. 상기 결합부재는 상기 제1튜브 배관에 삽입된 상기 삽입부에 대응되도록 상기 일단의 내측면으로부터 연장되며, 상기 제1튜브 배관과 접촉되게 제공되는 내측접촉부를 포함할 수 있다. 상기 결합부재는 상기 연결 배관과 대향되는 상기 결합부재의 타단에는 상기 연결배관과 가까워지는 방향으로 돌출되게 제공되는 돌기를 더 포함할 수 있다. 상기 연결 배관은 상기 결합부재와 상기 제1튜브배관의 사이 공간에 삽입 가능하며, 나사산이 형성되는 체결부 및 상기 체결부로부터 상기 결합부재와 멀어지는 방향으로 연장되고, 상기 체결부에 비해 큰 외경을 가지는 몸체부를 포함하되, 상기 결합부재와 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 돌기는 상기 몸체부의 외측면과 접촉되게 제공될 수 있다. 상기 바디부, 상기 외측접촉부, 그리고 상기 돌기는 일체로 제공될 수 있다. 상기 제1튜브 배관, 상기 연결 배관, 상기 슬리브, 그리고 상기 결합부재 각각은 수지류 재질로 제공될 수 있다.

기판처리장치는 내부에 처리공간을 제공하는 하우징, 상기 처리공간에서 기판을 지지하는 기판지지유닛, 상기 기판지지유닛에 의해 지지된 기판 상으로 처리액을 공급하는 액공급유닛, 그리고 상기 처리공간에 제공된 처리액을 회수하도록 상기 하우징에 연결되는 배관 어셈블리를 포함하되, 상기 배관 어셈블리는 복수 개의 튜브 배관들 및 서로 인접하게 위치되는 상기 튜브 배관들을 연결하는 연결부재를 포함하되, 상기 연결부재는 상기 튜브 배관에 삽입되는 슬리브, 일단부가 상기 튜브 배관의 둘레를 감싸도록 상기 튜브 배관에 장착 가능하며, 외측면에 나사산이 형성되는 연결 배관, 그리고 상기 슬리브가 상기 튜브 배관에 삽입된 상태에서 상기 나사산과 나사 체결되어 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관을 결합시키는 결합부재를 포함하되, 상기 슬리브는 상기 튜브 배관에 결합되는 결합부, 상기 결합부로부터 연장되며 외측면이 바깥쪽으로 돌출되고 상기 튜브 배관에 삽입되는 삽입부, 그리고 상기 삽입부로부터 연장되며 상기 튜브 배관으로 삽입되는 가이드부를 포함하며, 상기 결합부, 상기 삽입부, 그리고 상기 가이드부는 순차적으로 제공된다.

상기 삽입부는 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 튜브 배관의 외경보다 큰 외경을 가지는 부분을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 튜브 배관의 외경보다 작은 외경으로 제공될 수 있다. 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 가이드부의 외측면은 상기 연결 배관의 내측면과 접촉되도록 제공될 수 있다. 상기 결합부재는 일단이 상기 튜브 배관에 끼워지고, 상기 연결 배관의 나사산과 결합되는 나사산이 내주면에 형성된 바디부 및 상기 튜브 배관에 삽입된 상기 가이드부에 대응되도록 상기 일단의 외측면으로부터 연장되며 상기 튜브 배관과 접촉되게 제공되는 외측접촉부를 포함할 수 있다. 상기 처리액은 황산을 포함하고, 상기 튜브 배관, 상기 연결 배관, 상기 슬리브, 그리고 상기 결합부재 각각은 수지류 재질로 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 슬리브는 튜브 배관에 삽입되는 삽입부 및 삽입부로부터 연장되는 가이드부를 포함한다. 가이드부는 슬리브와 튜브 배관 간에 접촉면적을 증대시키며, 튜브 배관의 꺽임을 최소화할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 튜브 배관에 접촉되는 바디부의 일단에는 외측접촉부 및 내측접촉부가 각각 제공된다. 각각의 접촉부는 튜브 배관의 외측면에 접촉되고, 결합부재과 튜브 배관 간에 접촉면적이 증대됨에 따라 튜브 배관의 꺽임을 최소화할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 결합부재와 연결 배관이 결합 시 결합부재에 제공된 돌기는 연결 배관의 외측면을 감싸도록 제공된다. 이로 인해 돌기는 튜브 배관과 연결 배관 간의 결합을 강화시킬 수 있다.

도1은 일반적인 배관 어셈블리를 보여주는 단면도이다.
도2 및 도3은 배관의 꺽임으로 인해 체결 불량이 발생되는 배관 어셈블리를 보여주는 단면도이다.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다.
도5는 도4의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도6은 도5의 배관 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도7은 도6의 "A" 영역을 보여주는 단면도이다.
도8은 도7의 튜브 배관 및 연결부재가 분해된 분해 사시도이다.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.

본 실시예에는 기판 상을 처리액으로 세정 처리하는 장치에 대해 설명한다. 그러나 본 실시예는 이에 한정되지 않으며, 처리액을 사용하는 도포공정, 현상공정, 그리고 식각공정 등 액을 사용하는 공정이라면 다양하게 적용 가능하다.

이하, 도4 내지 도8을 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도4를 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.

로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.

공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 기판처리부(300a)(260)들이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 기판처리부(300a)(260)들은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 기판처리부(300a)(260)들이 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.

버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.

이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.

공정챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)가 제공된다. 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정챔버(260) 내의 기판처리장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버들(260)은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.

도5는 도4의 기판처리장치를 보여주는 단면도이다. 도5를 참조하면, 기판처리장치(300)는 하우징(320), 기판지지유닛(340), 승강유닛(360), 액공급유닛(380), 그리고 배관 어셈블리(400)를 포함한다.

하우징(320)은 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 하우징(320)은 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 처리액들 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(326)은 내부회수통(326)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a) 및 내부회수통(322)과 외부회수통(326)의 사이공간(326a)은 각각 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)으로 처리액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 각각의 회수통(322,326)의 저면 아래에는 회수라인(322b,326b)이 연결된다. 각각의 회수통(322,326)에 유입된 처리액들은 회수라인(322b,326b)을 통해 외부의 처리액재생시스템(미도시)으로 제공되어 재사용될 수 있다.

기판지지유닛(340)은 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 기판지지유닛(340)은 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.

지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.

척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 몸체(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 기판지지유닛(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.

승강유닛(360)은 하우징(320)을 상하 방향으로 직선이동시킨다. 하우징(320)이 상하로 이동됨에 따라 기판지지유닛(340)에 대한 하우징(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 하우징(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 기판지지유닛(340)에 놓이거나, 기판(340)로부터 들어올려 질 때 기판지지유닛(340)이 하우징(320)의 상부로 돌출되도록 하우징(320)은 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 하우징(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 기판지지유닛(340)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

액공급유닛(380)은 기판(W) 상으로 처리액들을 분사한다. 액공급유닛(380)은 지지축(386), 아암(382), 그리고 노즐(390)을 포함한다. 지지축(386)은 하우징(320)의 일측에 배치된다. 지지축(386)은 그 길이방향이 상하방향으로 제공되는 로드 형상을 가진다. 지지축(386)은 구동부재(388)에 의해 회전 및 승강운동이 가능하다. 아암(382)은 노즐(390)을 지지한 채로 지지축(386)에 결합된다. 지지축(386)의 회전에 의해 아암(382) 및 노즐(390)은 스윙이동된다. 지지축(386)의 회전에 의해 노즐(390)은 공정위치와 대기위치로 이동된다. 여기서 공정위치는 노즐(386)이 기판지지유닛(340)에 놓인 기판(W)과 대향되는 위치이고, 대기위치는 공정위치를 벗어난 위치이다. 일 예에 의하면, 처리액은 케미칼일 수 있다. 케미칼은 강산의 성질을 가지는 액일 수 있다. 케미칼은 황산(H₂SO₃)을 포함할 수 있다. 선택적으로 아암(382)은 지지축(386)에 대해 수평방향으로 직선이동 및 승강운동할 수 있다.

배관 어셈블리(400)는 각각의 회수통(322,326)에 유입된 처리액을 회수한다. 도6은 도5의 배관 어셈블리를 보여주는 도면이다. 도6을 참조하면, 배관 어셈블리(400)는 튜브 배관(410), 펌프(420), 그리고 연결부재(430)를 포함한다. 튜브 배관(410)은 복수 개로 제공된다. 각각의 튜브 배관(410)은 서로 연결되어 회수통에 연결된 회수라인으로 제공된다. 각각의 튜브 배관(410)은 서로 인접한 끝단이 연결된다. 복수 개의 튜브 배관(410)들 중 어느 하나에는 펌프(420)가 설치된다. 펌프(420)는 각각의 튜브 배관(410)을 통해 음압을 회수통으로 제공한다. 연결부재(430)는 서로 인접한 2 개의 튜브 배관(410)을 연결한다. 일 예에 의하면, 튜브 배관(410) 및 연결부재(430)는 동일 재질로 제공될 수 있다. 튜브 배관(410) 및 연결 부재는 수지류 재질로 제공될 수 있다. 튜브 배관(410) 및 연결 부재는 테프론 재질로 제공될 수 있다.

다음은 연결부재(430)와 튜브 배관(410) 간의 결합 관계에 대해 보다 상세히 설명한다. 도7은 도6의 A 영역을 보여주는 단면도이고, 도8은 도7의 튜브 배관 및 연결부재가 분해된 분해 사시도이다. 도7 및 도8을 참조하면, 튜브 배관(410)은 전체 영역의 직경이 동일하도록 제공된다. 튜브 배관(410)은 양단이 개방되게 제공된다. 연결부재(430)는 슬리브(440), 결합부재(450), 그리고 연결 배관(460)을 포함한다.

슬리브(440)는 튜브 배관(410)에 삽입 가능하도록 제공된다. 슬리브(440)는 결합부(442), 삽입부(444), 그리고 가이드부(446)를 포함한다. 슬리브(440)가 튜브 배관(410)에 삽입된 상태에서 슬리브(440)가 튜브 배관(410)에 가까워지는 방향으로 결합부(442), 삽입부(444), 그리고 가이드부(446)는 순차적으로 제공된다. 결합부(442)는 튜브 배관(410)과 동일하거나, 이보다 큰 외경을 가진다. 슬리브(440)가 튜브 배관(410)에 삽입된 상태에서 결합부(442)는 튜브 배관(410)의 외측에 위치된다. 삽입부(444)는 결합부(442)로터 연장되게 제공된다. 삽입부(444)는 그 외측면이 외측방향으로 돌출된 형상을 가진다. 삽입부(444)의 돌출된 영역은 튜브 배관(410)보다 큰 외경을 가진다. 가이드부(446)는 삽입부(444)로부터 연장되게 제공된다. 가이드부(446)는 전체 영역의 직경이 동일하도록 제공된다. 슬리브(440)가 튜브 배관(410)에 삽입된 상태에서 삽입부(444) 및 가이드부(446) 각각의 외측면은 튜브 배관(410)의 내측면과 접촉되게 제공된다.

결합부재(450)는 바디부(452), 외측접촉부(454), 내측접촉부(456), 그리고 돌기(458)를 포함한다. 바디부(452)는 양단이 개방된 원통 형상을 가진다. 바디부(452)의 일단의 내경은 이와 반대되는 타단의 내경보다 작게 제공된다. 바디부(452)의 일단의 내경은 튜브 배관(410)의 외경과 동일하거나 이보다 작게 제공된다. 바디부(452)는 그 일단이 튜브 배관(410)의 외측면에 강제 끼움되도록 튜브 배관(410)에 장착 가능하다. 바디부(452)가 튜브 배관(410)에 장착된 상태에서 바디의 타단은 튜브 배관(410)의 둘레를 감싸도록 제공된다. 바디부(452)가 튜브 배관(410)에 장착된 상태에서 바디부(452)의 타단은 튜브 배관(410)과 이격되게 제공된다. 바디부(452)의 타단은 일단에 비해 튜브 배관(410)의 끝단과 인접하게 위치된다. 바디부(452)의 내측면에는 제1나사산(452a)이 형성된다. 제1나사산(452a)은 바디부(452)의 타단과 인접하게 위치된다.

외측접촉부(454)는 바디부(452)의 일단 외측면으로부터 연장되게 제공된다. 외측접촉부(454)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 결합부재(450)가 튜브 배관(410)에 결합된 상태에서 외측접촉부(454)는 가이드부(446)와 대응되게 위치된다. 외측접촉부(454)는 튜브 배관(410)을 사이에 두고 가이드부(446)의 둘레를 감싸도록 제공된다. 결합부재(450)가 튜브 배관(410)에 결합된 상태에서 외측접촉부(454)는 튜브 배관(410)의 외측면과 접촉되게 제공된다.

내측접촉부(456)는 바디부(452)의 일단 내측면으로부터 연장되게 제공된다. 내측접촉부(456)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 결합부재(450)가 튜브 배관(410)에 결합된 상태에서 내측접촉부(456)는 삽입부(444)와 대응되게 위치된다. 내측접촉부(456)는 튜브 배관(410)을 사이에 두고 삽입부(444)의 둘레를 감싸도록 제공된다. 결합부재(450)가 튜브 배관(410)에 결합된 상태에서 내측접촉부(456)는 튜브 배관(410)의 외측면과 접촉되게 제공된다. 돌기(458)는 바디부(452)의 타단 외측면으로부터 연장되게 제공된다. 돌기(458)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 바디부(452), 외측접촉부(454), 내측접촉부(456), 그리고 돌기(458)는 일체로 제공될 수 있다. 결합부재(450)는 너트일 수 있다.

연결배관은 체결부(462) 및 몸체부(464)를 포함한다. 체결부(462)는 외측면에 제2나사산(462a)이 형성된다. 체결부(462)는 결합부재(450)가 튜브 배관(410)에 결합된 상태에서 결합부재(450)와 튜브 배관(410)의 사이 공간에 체결 가능하도록 제공된다. 제2나사산(462a)은 연결 배관(460)과 튜브 배관(410)이 결합 시 제1나사산(452a)과 나사 체결되게 제공된다.

몸체부(464)는 체결부(462)로부터 연장되게 제공된다. 튜브 배관(410)이 연결 배관(460)에 결합된 상태에서 몸체부(464)는 결합부재(450)의 외측에 위치된다. 몸체부(464)는 체결부(462)에 비해 큰 외경을 가지도록 제공된다. 체결부(462)의 제2나사산(462a)의 일부가 제1나사산(452a)에 체결된 상태에서 몸체부(464)는 돌기(458)와 대향되는 외경을 가지도록 제공된다. 몸체부(464)의 외경은 돌기(458)의 내경보다 크고, 돌기(458)의 외경보다 작게 제공된다. 체결부(462)의 제2나사산(462a)의 전체 영역이 제1나사산(452a)에 체결된 상태에서 돌기(458)는 몸체부(464)의 둘레를 감싸도록 제공된다.

다시 체결부(462)에 대해 설명하면, 체결부(462)는 복수 개로 제공된다. 각각의 체결부(462)는 서로 상이한 길이방향을 가지는 튜브 배관(410)들 또는 서로 상이한 높이에 위치되는 튜브 배관(410)들이 연결되도록 몸체부(464)에 제공된다. 일 예에 의하면, 연결배관은 2 개의 체결부(462)를 포함할 수 있다. 제1체결부는 개방영역이 수평방향을 향하도록 제공되고, 제2체결부는 개방영역이 수직방향을 향하도록 제공될 수 있다. 연결배관은 휘팅(Fitting)일 수 있다. 선택적으로 연결부재(430)는 3 개 이상의 체결부(462)를 포함하여 서로 인접한 3 개 이상의 튜브 배관(410)을 연결할 수 있다.

상술한 실시예에는 슬리브(440)의 삽입부(444) 및 가이드부(446)가 튜브 배관(410)에 삽입된다. 가이드부(446)는 삽입부(444)로부터 연장되어 튜브 배관(410)의 내측면과 접촉된다. 이로 인해 가이드부(446)는 튜브 배관(410)을 지지하는 역할을 수행하며, 삽입부(444)가 제공된 튜브 배관(410)의 영역에 꺽임 발생을 방지할 수 있다.

또한 결합부재(450)는 튜브 배관(410)의 외측면에 장착된다. 결합부재(450)의 외측접촉부(454) 및 내측접촉부(456)는 바디부(452)로부터 연장되어 튜브 배관(410)의 외측면에 접촉된다. 외측접촉부(454) 및 내측접촉부(456)는 가이드부(446) 및 삽입부(444)에 대응되게 위치되므로, 바디부(452)가 접촉되는 튜브 배관(410)의 영역에 꺽임 발생을 방지할 수 있다.

또한 연결 배관(460)에 튜브 배관(410)이 결합 시 몸체부(464)의 외측면은 돌기(458)의 내측면에 강제 끼움된다. 이로 인해 돌기(458)는 연결 배관(460)과 튜브 배관(410)을 실링하여 처리액의 누수를 방지할 수 있다. 또한 돌기(458)는 연결배관과 튜브배관 간의 결합을 강화시킬 수 있다. 또한 작업자는 돌기(458)에 끼워진 몸체부(464)를 통해 연결배관과 결합부재(450) 간의 체결 상태를 확인할 수 있다.

410: 튜브 배관 440: 슬리브
442: 결합부 444: 삽입부
446: 가이드부 450: 결합부재
452: 바디부 454: 외측접촉부
456: 내측접촉부 458: 돌기
460: 연결배관

Claims (14)

1. 제1튜브 배관과;
   제2튜브 배관과;
   상기 제1튜브 배관 및 상기 제2튜브 배관을 서로 연결시키는 연결부재를 포함하되,
   상기 연결부재는
   상기 제1튜브 배관에 삽입되는 슬리브와;
   일단부가 상기 제1튜브 배관의 둘레를 감싸도록 상기 제1튜브 배관에 장착 가능하며, 외측면에 나사산이 형성되는 연결 배관과;
   상기 슬리브가 상기 제1튜브 배관에 삽입된 상태에서 상기 나사산과 나사 체결되어 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관을 결합시키는 결합부재를 포함하되,
   상기 슬리브는,
   상기 제1튜브 배관에 결합되는 결합부와;
   상기 결합부로부터 연장되며 외측면이 바깥쪽으로 돌출되고 상기 제1튜브 배관에 삽입되는 삽입부와;
   상기 삽입부로부터 연장되며 상기 제1튜브 배관으로 삽입되는 가이드부를 포함하되,
   상기 결합부, 상기 삽입부, 그리고 상기 가이드부는 순차적으로 제공되며,
   상기 결합부재는,
   일단이 상기 제1튜브 배관에 끼워지고, 상기 연결 배관의 나사산과 결합되는 나사산이 내주면에 형성된 바디부와;
   상기 제1튜브 배관에 삽입된 상기 가이드부에 대응되도록 상기 일단의 외측면으로부터 연장되며 상기 제1튜브 배관과 접촉되게 제공되는 외측접촉부를 포함하는 배관 어셈블리.
2. 제1항에 있어서,
   상기 삽입부는 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 제1튜브 배관의 외경보다 큰 외경을 가지는 부분을 포함하고,
   상기 가이드부는 상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 제1튜브 배관의 외경보다 작은 외경으로 제공되는 배관 어셈블리.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 가이드부의 외측면은 상기 제1튜브 배관의 내측면과 접촉되도록 제공되는 배관 어셈블리.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,
   상기 결합부재는,
   상기 제1튜브 배관에 삽입된 상기 삽입부에 대응되도록 상기 일단의 내측면으로부터 연장되며, 상기 제1튜브 배관과 접촉되게 제공되는 내측접촉부를 포함하는 배관 어셈블리.
6. 제5항에 있어서,
   상기 결합부재는,
   상기 연결 배관과 대향되는 상기 결합부재의 타단에는 상기 연결배관과 가까워지는 방향으로 돌출되게 제공되는 돌기를 더 포함하는 배관 어셈블리.
7. 제6항에 있어서,
   상기 연결 배관은,
   상기 결합부재와 상기 제1튜브배관의 사이 공간에 삽입 가능하며, 나사산이 형성되는 체결부와;
   상기 체결부로부터 상기 결합부재와 멀어지는 방향으로 연장되고, 상기 체결부에 비해 큰 외경을 가지는 몸체부를 포함하되,
   상기 결합부재와 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 돌기는 상기 몸체부의 외측면과 접촉되게 제공되는 배관 어셈블리.
8. 제7항에 있어서,
   상기 바디부, 상기 외측접촉부, 그리고 상기 돌기는 일체로 제공되는 배관 어셈블리.
9. 제1항 내지 제3항, 및 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1튜브 배관, 상기 연결 배관, 상기 슬리브, 그리고 상기 결합부재 각각은 수지류 재질로 제공되는 배관 어셈블리.
10. 내부에 처리공간을 제공하는 하우징과;
    상기 처리공간에서 기판을 지지하는 기판지지유닛과;
    상기 기판지지유닛에 의해 지지된 기판 상으로 처리액을 공급하는 액공급유닛과;
    상기 처리공간에 제공된 처리액을 회수하도록 상기 하우징에 연결되는 배관 어셈블리를 포함하되,
    상기 배관 어셈블리는,
    복수 개의 튜브 배관들과;
    서로 인접하게 위치되는 상기 튜브 배관들을 연결하는 연결부재를 포함하되,
    상기 연결부재는,
    상기 튜브 배관에 삽입되는 슬리브와;
    일단부가 상기 튜브 배관의 둘레를 감싸도록 상기 튜브 배관에 장착 가능하며, 외측면에 나사산이 형성되는 연결 배관과;
    상기 슬리브가 상기 튜브 배관에 삽입된 상태에서 상기 나사산과 나사 체결되어 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관을 결합시키는 결합부재를 포함하되,
    상기 슬리브는,
    상기 튜브 배관에 결합되는 결합부와;
    상기 결합부로부터 연장되며 외측면이 바깥쪽으로 돌출되고 상기 튜브 배관에 삽입되는 삽입부와;
    상기 삽입부로부터 연장되며 상기 튜브 배관으로 삽입되는 가이드부를 포함하되,
    상기 결합부, 상기 삽입부, 그리고 상기 가이드부는 순차적으로 제공되며,
    상기 결합부재는,
    일단이 상기 튜브 배관에 끼워지고, 상기 연결 배관의 나사산과 결합되는 나사산이 내주면에 형성된 바디부와;
    상기 튜브 배관에 삽입된 상기 가이드부에 대응되도록 상기 일단의 외측면으로부터 연장되며 상기 튜브 배관과 접촉되게 제공되는 외측접촉부를 포함하는 기판처리장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 삽입부는 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 튜브 배관의 외경보다 큰 외경을 가지는 부분을 포함하고,
    상기 가이드부는 상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합되기 전에 상기 튜브 배관의 외경보다 작은 외경으로 제공되는 기판처리장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 튜브 배관과 상기 연결 배관이 결합된 상태에서 상기 가이드부의 외측면은 상기 튜브 배관의 내측면과 접촉되도록 제공되는 기판처리장치.
13. 삭제
14. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액은 황산을 포함하고,
    상기 튜브 배관, 상기 연결 배관, 상기 슬리브, 그리고 상기 결합부재 각각은 수지류 재질로 제공되는 기판처리장치.

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