JP5621450B2 - カセットアダプタ、及びアダプタ本体ロック装置 - Google Patents
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Description
B:カセット受台
C:カセットカバー
D:アダプタ本体
E:アダプタプレート
K1 :第1カセット
K2 :第2カセット
S1 〜S3 :第1カセットのロードポートの着座センサ
S4 ,S5 :第2カセットのカセットアダプタの着座センサ
W2 :第2ウエハ
X:第1水平方向
Y:第2水平方向
θ:カセット受台の傾斜配置角度
5:キャリアベース
12:ロック爪
13:ロック用エアシリンダのロッド
14:ロック用エアシリンダ
33:ストッパボルト
34:センサ作動ボルト
35:被ロック部材
35a:被ロック部
Claims (5)
- 直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、
理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させると共に、前記第1カセットの裏面部に設けられた被ロック部に対して解除可能に係合して、キャリアベースに対して前記第1カセットをロックするロック部材を備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、
前記カセットアダプタは、前記キャリアベースに固定されるアダプタベースと、二枚のプレート体が側面視でL字状となるように直交して一体化されて、当該アダプタベースに対して水平配置された回動軸を中心にして(90°−θ)の角度で回動可能に支持されるアダプタ本体とから成り、
前記アダプタ本体は、前記回動軸心の側が低くなるように、水平面に対して角度(θ)だけ傾斜配置された状態で、前記ロードポートのカセットテーブルに対する第2カセットの設置及び取出しの双方が可能であるカセット受台と、傾斜姿勢から水平姿勢への移行により、前記カセット受台で支持されていた第2カセットを(90°−θ)だけ回動させて、前記処理装置との間で第2ウエハの搬入・搬出が可能な姿勢で、当該第2カセットを載置可能なアダプタプレートとから成り、
前記アダプタプレートの裏面には、当該アダプタプレートが水平配置された状態で、前記アダプタベースの下方に配置された前記ロック部材に対して解除可能に係合されて、前記キャリアベースに対して前記アダプタ本体を固定可能とする被ロック部材が一体に設けられて、
前記ロック部材と前記被ロック部材とが係合した状態では、前記アダプタベースに固定されたカセットカバー内に前記第2カセットが収容された状態で、当該カセットカバーの手前側の開口を開口閉塞カバーのようにして覆っている前記カセット受台が開かないようにロックされる構成であることを特徴とするカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。 - 前記ロック部材は、先端にロック爪が設けられて、シリンダに対して出入りしながら回動を行うロッドを備えたエアシリンダで構成され、前記アダプタプレートの裏面に設けられた前記被ロック部材は、当該アダプタプレートが水平配置された状態で、前記キャリアベースにセットされた第1カセットの被ロック部と同一位置に配置される被ロック部を備え、前記エアシリンダのロッドの先端のロック爪と、前記被ロック部材の被ロック部とが係合する構成であることを特徴とする請求項1に記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。
- ロック部材である前記エアシリンダのロッドは、垂直線に対して傾斜した方向に出入りすることを特徴とする請求項2に記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。
- 前記カセット受台は、透明体で構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のカセットアダプタのアダプタ本体ロック装置。
- 直径300mmの円形の第1ウエハを収容可能な第1カセットを設置して、処理装置に対して当該第1ウエハを搬入・搬出させると共に、前記第1カセットの裏面部に設けられた被ロック部に対して解除可能に係合して、キャリアベースに対して前記第1カセットをロックするロック部材を備えたロードポートの前記キャリアベースに装着されて、直径200mmの円形の第2ウエハを収容可能な第2カセットを設置可能とするためのカセットアダプタであって、
請求項1ないし4のいずれかに記載のアダプタ本体ロック装置を備えていることを特徴とするカセットアダプタ。
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