JP2009252780A - ロードポート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器のクランプ手段が、フープK1の底面を固定するときの位置よりもさらに下降し、オープンカセットK2がステージに搭載されたときにオープンカセットK2の底面と接触しない位置まで下降可能となるよう構成した。
【選択図】図2
Description
一方、工場内が比較的清浄であるため、局所クリーンではない搬送方式を用いる場合がある。この場合、基板を容器で密封しないオープンカセットK2が使用される。オープンカセットK2は、フープK1と同様に上下に多段に形成されたスロットを有し、このスロットに基板が収納されるが、容器内で基板を密封することが無く、フープK1のような蓋も無く、基板が工場内の雰囲気にさらされる。
図3は半導体製造装置に設置されたロードポートの側面を示す図である。図において、ロードポート38は半導体製造装置37の側壁に設置されている。31は、基板収納容器(フープK1、オープンカセットK2)を載置するステージである。32はステージの位置決めのためのベースであり、33は基板収納容器の載置位置を位置決めするための手段である。34は基板収納容器を固定するための固定手段でありステージ31に具備されている。ステージ31はフープK1が載置された後、ベース32上で矢印X方向(半導体製造装置側)へ移動することができる。35は、フープK1の蓋39とドッキングして蓋39とともに昇降することで蓋39を開閉するドアである。
以上の構成により、図3(a)のようにフープK1がステージ31上に載置されると、固定手段34により基板収納容器を固定し、ステージ31がベース32上を矢印X方向へ移動すると共に、フープK1の蓋39がドア35にドッキングし、ドア35が蓋39とともに下降することでフープK1の蓋39が開かれ、フープK1内部の基板が半導体製造装置37の内部からアクセス可能にさせる。
一方、フープK1のような蓋39が無いオープンカセットK2をロードポート38に載置する場合、図3(b)に示すようにオープンカセット用アダプタ36をステージ上に設置することでオープンカセットK2をロードポート38に搭載可能なようにしている。ロードポートがフープK1を固定する領域はSEMI-E47.1により規格化されている。従来のロードポートはフープK1のみを使用することを前提としているため、前記規格に合うように専用設計されていることが多い。その結果、ロードポートに規格化されていないオープンカセットK2を設置する場合、ロードポート上の固定手段34とオープンカセットK2が干渉するため設置することができない。よって、オープンカセットK2を設置する場合は、このようなオープンカセット用アダプタ36を使用することが一般的である。
また、フープK1とオープンカセットK2は以上のように容器の蓋の有無が異なるため、ロードポートの容器を開閉するため開閉動作シーケンスも異なる。そのため1つのロードポートでフープK1とオープンカセットK2を使用する場合は、搭載された容器が何であるかを判断し、それによって開閉動作シーケンスを変更するため、図3では図示はしていないが基板収納容器を判別するためのセンサを設ける必要がある。
さらに、スロット数及びスロットピッチがフープK1と同等であるオープンカセットK2を使用する場合、オープンカセット用アダプタ36を介してオープンカセットK2をロードポートに搭載すると、スロット上段の基板位置がフープK1よりも高くなるため、基板搬送ロボットがスロット上段の基板にアクセスできない、という問題が発生することがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、ロードポートにおいてオープンカセット用アダプタ36を使用することなく、フープK1とオープンカセットK2を短時間で設置できるようにすることができ、かつ、基板収納容器判別センサを設けることなくフープK1とオープンカセットK2を判別することができ、かつ、オープンカセットK2のスロット数およびスロットピッチがフープK1と同等な場合においても設置することが可能なロードポートを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、容器側面の開閉可能な蓋によって基板を密封して収納するフープを載置可能なステージと、前記ステージ上に突出し、前記フープの底面を固定可能なクランプ手段と、前記蓋を吸着して保持する吸着手段と、前記吸着手段が保持した前記蓋を開閉するドアと、を備えたロードポートにおいて、前記クランプ手段が、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに下降し、前記基板と同じサイズの基板を収納可能なオープンカセットが前記ステージに搭載されたときに前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降可能に構成されたことを特徴とするものである。
また、請求項2に記載の発明は、前記クランプ手段に、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに上昇している状態を検知する第1センサと、前記フープの底面を固定するときの位置を検出する第2センサと、前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降した状態を検出する第3センサと、が設けられたことを特徴とする請求項1記載のロードポートとするものである。
また、請求項3に記載の発明は、前記クランプ手段を前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降させるオペレータ用のスイッチを設けたことを特徴とする請求項1記載のロードポートとするものである。
また、請求項4に記載の発明は、前記スイッチが押下されて前記第1センサが検出されているとき、前記フープが前記ステージに搭載可能であり、前記スイッチが押下されて前記第3センサが検出されているとき前記オープンカセットが前記ステージに搭載可能である、ことを前記オペレータに示すインジケータが設けられたことを特徴とする請求項3記載のロードポートとするものである。
また、請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4記載のロードポートが装置壁面に搭載されたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
また、アダプタを交換する必要がないので、作業性や半導体製造装置としてのスループットが向上する。
また、オープンカセット用アダプタを使用しないため、ステージに搭載したときのオープンカセットの設置高さを抑えることができ、フープと同等のスロット数およびスロットピッチをもつオープンカセットを使用することが可能となる。
一方、ステージ12が正面側から奥手側に移動する方向には、ロードポートドア11が設けられている。ロードポートドア11は、後述する吸着手段16によって吸着されたフープK1の蓋とともに昇降し、フープK1の蓋をフープK1の容器から脱着させる。ロードポートドア11の垂直面には吸着手段16a、16bが設けられている。吸着手段16は、フープK1がステージ12に正常に載置されると、フープK1の側面に脱着可能に設けられている蓋と対向する位置にある。吸着手段16によってフープK1の蓋を吸着する。ステージ12がロードポートドア11に近づくと、蓋を吸着可能な状態となる。17a、17bは、フープK1の蓋のキーを開閉するためのラッチキーである。フープK1が搭載されたステージ12がラッチキー17に近づくと、ラッチキー17は、フープK1の蓋と容器とを機械的に係止させているラッチ機構を開閉させる穴へ入り込み、図示しないラッチキー駆動手段によって回転することでラッチ機構を開閉させる。
このように、ステージ12に載置された基板収納容器がフープK1であるときは、クランプ手段14はフープK1のフープ固定部24に入り込み、ここを固定する手段として作用する。しかし、ステージ12に載置される基板収納容器がオープンカセットK2であるときは、オープンカセットK2の底面にはフープK1のフープ固定部24に相当する部分が存在しないため、クランプ手段14とオープンカセットK2の底面とは干渉する。
図2は、本発明のロードポートにおける要部の側面図で、一部を断面化した図である。同図はフープK1およびオープンカセットK2に対するクランプ手段14の停止位置の関係を示している。22はエアシリンダであり、クランプ手段14を駆動するクランプ駆動手段である。エアシリンダ22は圧空によってクランプ手段14を上下もしくは回転駆動させることで、上述のようにフープK1を固定することができる。エアシリンダ22はベース12に固定されている。エアシリンダ22の出力軸は単独動作において上下の2ポジションで停止することができる。しかしながらエアシリンダ22には、23a、23bおよび23cの計3つの位置検出センサが設けられている。位置検出センサ23はエアシリンダ22の動作軸の位置を検出するセンサであって、これによりクランプ手段14が停止した上下位置を検出するようになっている。
(a)の状態は、オペレータがスイッチ15を押下して、エアシリンダ22を上方向に移動させ、クランプ手段14が最上段の位置で停止させた後、フープK1をキネマティックピン21に載置した状態を示している。この状態では位置検出センサ23aのみが検出状態にある。
(b)は(a)の状態の後、フープK1の固定(クランプ)動作によってエアシリンダ22を駆動することで、クランプ手段14が下方向に移動し固定部24に係止されてフープK1を固定した状態を示している。この状態はクランプ手段14の位置が中間の位置であって、位置検出センサ23bのみが検出するように位置検出センサ23が配置されている。
(c)の状態は、オペレータがスイッチ15を押下して、クランプ手段14をエアシリンダ22によって最下端の位置で停止させた後、オープンカセットK2をキネマティックピン21に載置した状態を示している。この状態では位置検出センサ23cのみが検出するようになっている。
以上のように、エアシリンダ22は上下2ポジションの動作であるが、本発明のクランプ手段14は(a)、(b)および(c)の3つの位置が検出できる位置検出センサ23a、23b、23cを備えており、それぞれのポジションを検出することができる。
オペレータがフープK1を使用する場合の設置手順、およびその蓋を開放させるオープン動作は以下の通りである。
(1)オペレータがインジケータ18の表示を見て、フープK1を載置できるランプの状態であることを確認した後、フープK1を載置する。
(2)フープK1が正常に載置されたか否かを認識する載置センサ13a、13bおよび13cがすべて検出し、かつ、クランプ手段14の位置を検出する位置検出センサ23aが検出状態であれば、クランプ手段14が下降し、フープK1を固定する。ここで、クランプ手段14の位置を認識するセンサ23bが検出される。
(3)ステージ12がロードポートドア11の位置まで動作することで、フープK1の蓋とロードポートドア11とが接触する(ドッキング動作)。
(4)吸着手段16a、16bがフープK1蓋を吸着する。吸着動作が完了すると、正常にフープK1が載置されていると判断する。
(5)ラッチキー17a、17bがフープK1の蓋のラッチキーを回して蓋のロックを解除する。
(6)ロードポートドア11が微小な量だけ装置の背面側に後退しながらフープK1の蓋とともに下降する。
(1)オペレータがスイッチ15を押下することで、クランプ手段14が図2で示した(c)位置に移動する。ここで位置検出センサ23cが検出される。
(2)オペレータはインジケータ18を見てオープンカセットK2が載置できるランプの状態であることを確認した後、オープンカセットK2を載置する。
(3)オープンカセットK2が正常に載置されたか否かを認識する載置センサ13a、13bおよび13cがすべて検出し、かつ、クランプ手段14の位置を検出するセンサ23cが検出状態であれば、ステージ12がロードポートドア11の位置まで動作する。オープンカセットK2は蓋が無いためロードポートドア11に接触しない位置で停止する。
(4)オープンカセットK2は側面の蓋が無いため、吸着手段16a、16bの動作は不要であるが、ここで微少な時間(本実施例では1.5秒程度)だけ吸着手段16が吸着動作を行う。すると、吸着可能な蓋が存在しないので吸着手段16は吸着動作を完了できない。
(5)以上の状態で吸着手段16が吸着動作を完了できないことを確認すると、オープンカセットK2が載置されていると判断し、ラッチキー17a、17bの動作は行わず、ロードポートドア11が微小な量だけ装置の背面側に後退しながら下降する。
(1)オペレータがスイッチ15を押下することで、クランプ手段14が図2で示した(c)位置に移動する。ここで位置検出センサ23cが検出される。
(2)インジケータ18はオープンカセットK2が載置できるランプの状態であるが、オペレータが間違ってフープK1を載置する。
(3)載置センサ13a、13bおよび13cがすべて検出され、かつ、クランプ手段14の位置を検出するセンサ23cが検出状態であれば、ステージ12がロードポートドア11の位置まで動作する。ステージ12がロードポートドア11の位置まで動作することで、フープK1の蓋とロードポートドア11とが接触する。
(4)ここで微少な時間(本実施例では1.5秒程度)だけ吸着手段16が吸着動作を行う。すると、吸着可能な蓋が存在しないはずなのに、吸着手段16が吸着動作を完了する。
(5)ここで吸着手段16が吸着動作を完了してしまうと、オープンカセットK2が載置されるべきなのにフープK1が搭載されていることを示す、ここでは図示しないランプを点灯させてロードポートとしての動作を停止する。このランプはインジケータ18とは異なるものである。
なお、オペレータがフープK1を使用するつもりだったのにオープンカセットK2を設置してしまうと、当然ながら、オープンカセットK2の底面とクランプ手段14とが干渉するため、オープンカセットK2は正しくキネマティックピン21に載置されず、位置検出センサ23も正しく押下されないため、一連の動作は実行されない。
また、オープンカセット用アダプタを使用することがないので、アダプタを交換することが不要で、フープK1とオープンカセットK2を短時間で設置できるようにすることができる。
また、オープンカセットK2のスロット数およびスロットピッチがフープK1と同等なものを使用したとしても、アダプタを設置することがないので、フープK1用として設計されたロードポートにこのようなオープンカセットK2を載置でき、オープンカセットK2の高さによる使用制限が無くなる。
また、本発明のロードポートのクランプ手段14はエアシリンダを駆動手段としているが、電気モータを駆動手段としても良い
12 ステージ
13 載置センサ
14 クランプ手段
15 スイッチ
16a、16b 吸着手段
17a、17b ラッチキー
18 インジケータ
21a、21b キネマティックピン
22 エアシリンダ
23a、23b、23c 位置検出センサ
24 フープ固定部
31 ステージ
32 ベース
33 位置決め手段
34 固定手段
35 ドア
36 オープンカセット用アダプタ
37 半導体製造装置
38 ロードポート
39 蓋
K1 フープ
K2 オープンカセット
Claims (5)
- 容器側面の開閉可能な蓋によって基板を密封して収納するフープを載置可能なステージと、前記ステージ上に突出し、前記フープの底面を固定可能なクランプ手段と、前記蓋を吸着して保持する吸着手段と、前記吸着手段が保持した前記蓋を開閉するドアと、を備えたロードポートにおいて、
前記クランプ手段が、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに下降し、前記基板と同じサイズの基板を収納可能なオープンカセットが前記ステージに搭載されたときに前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降可能に構成されたこと、を特徴とするロードポート。 - 前記クランプ手段に、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに上昇している状態を検知する第1センサと、前記フープの底面を固定するときの位置を検出する第2センサと、前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降した状態を検出する第3センサと、が設けられたことを特徴とする請求項1記載のロードポート。
- 前記クランプ手段を前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降させるオペレータ用のスイッチを設けたことを特徴とする請求項1記載のロードポート。
- 前記スイッチが押下されて前記第1センサが検出されているとき前記フープが前記ステージに搭載可能であり、前記スイッチが押下されて前記第3センサが検出されているとき前記オープンカセットが前記ステージに搭載可能である、ことを前記オペレータに示すインジケータが設けられたことを特徴とする請求項3記載のロードポート。
- 請求項1乃至4記載のロードポートが装置壁面に搭載されたことを特徴とする半導体製造装置。
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