JP2005209986A - ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該クランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下動可能なクランプ部材開閉シリンダ7と、一方の端部が当該シリンダ7に回動可能に支持されて他方の端部にクランプ部を有すると共にその延在面に対して垂直に埋設されたスライドピンを有する一対のクランプ部材3と、長穴にスライドピン各々が挿嵌されるリンク5とを有し、リンク5及びスライドピンを介して一対のクランプ部材3を駆動して所定のクランプ姿勢となった状態にした後にクランプ部材開閉シリンダ7が所定量降下する構成とする。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、
前記載置台の表面に対して垂直な方向に上下動可能なクランプ部材開閉シリンダと、
前記クランプ部材開閉シリンダにより一方の端部が回動可能に支持され、他方の端部にクランプ部を有し、且つその延在面に対して直交する方向に埋設されたスライドピンを有する一対のクランプ部材と、
長孔を有し、前記長穴に前記一対のクランプ部材におけるスライドピン各々が挿嵌されるリンクとを有し、
前記リンクを駆動することにより前記スライドピンを介して一対の前記クランプ部材を駆動し、前記クランプ部材が所定のクランプ姿勢となった状態にあるときにと前記クランプ部材開閉シリンダが所定量降下可能であることを特徴とするポッドクランプユニット。 - 前記クランプ部材開閉シリンダはその軸方向に上下動可能な開閉ピストンを保持し、前記リンクは前記開閉ピストンと接続されて前記開閉ピストンの上下動作に応じて駆動されることを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 前記クランプ部材開閉シリンダは、その下方に配置されたクランプ部材昇降シリンダに設けられた内部空間に保持される昇降ピストンによって支持され、前記クランプ姿勢となったクランプ部材は前記昇降ピストンの上下動に伴ってクランプ位置と非クランプ位置との間を移動することを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 前記クランプ部材は、前記スライドピンが埋設された直線部と、前記直線部の一端と接続されて所定方向に屈曲して延在すると共に前記クランプ部材開閉シリンダによって回動可能に支持される屈曲部と、前記直線部の他端と接続されて前記屈曲部と略同一方向に延在する前記クランプ部とを有することを特徴とする請求項1記載のポッドクランプユニット。
- 請求項1記載のポッドクランプユニットと、前記ポッドの底面に設けられた係合凹部とからなるポッドクランプ機構であって、
前記係合凹部は、前記クランプ部材が前記クランプ姿勢にある際に前記クランプ部を所定深さに収容可能な内部深さを有する係合穴と、前記係合穴の開口部分において開口を狭めるように前記係合穴の中心に向かって張り出して、前記開口を前記クランプ部材が前記リンクの駆動により前記クランプ姿勢となる過程においてのみ進入可能な広さに規定する被クランプ部分とを有することを特徴とするポッドクランプ機構。 - 前記載置台表面には、前記開口部と略同じ大きさの穴が形成されており、前記クランプ部材は前記孔を介して前記載置台における待機位置から前記係合穴に進入することを特徴とする請求項5記載のポッドクランプ機構。
- 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
前記載置台の表面上の所定位置に前記ポッドを載置する工程と、
前記載置台により下方に配置されており且つリンクによって接続された回動可能な一対のクランプ部材を回動させてクランプ姿勢をとらせることによって、前記載置台表面から前記ポッド底面に設けられた係合凹部内部に突出させる工程と、
前記クランプ姿勢にある一対のクランプ部材を所定の方向に移動させて、前記係合凹部の開口部を規定する被クランプ部分と前記クランプ部材とを係合する工程とを有することを特徴とするポッドクランプ方法。
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