KR101321149B1 - 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및지진 피해 확산 저감 시스템 - Google Patents

반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및지진 피해 확산 저감 시스템 Download PDF

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 지진의 발생을 예지하여 보트의 도괴를 방지하고, 피해를 최소한으로 억제하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및 지진 피해 확산 저감 시스템을 제공하는 것이다. 지진 피해 확산 저감 시스템(27)은, 통신 회선(26)을 통해 배신되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부(28) 또는 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부(60)를 구비하고 있다. 제어부(29)는, 수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 반도체 제조 장치(1)의 운전을 정지하는 제1 공정 및 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트(4)의 도괴를 방지하기 위해 보트(4)를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하는 제2 공정을 실행한다.
지진 피해 확산 저감 시스템, 통신 회선, 수신부, 제어부, 보트

Description

반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및 지진 피해 확산 저감 시스템 {METHOD AND SYSTEM　OF REDUCING SPREADING EARTHQUAKE DAMAGES IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및 지진 피해 확산 저감 시스템에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조에 있어서는, 피처리체인 반도체 웨이퍼에 예를 들어 산화 처리, 성막 처리 등의 각종 처리를 실시하는 공정이 있고, 이와 같은 처리를 행하는 장치로서 예를 들어 다수매의 웨이퍼를 뱃치(batch)식으로 처리 가능한 반도체 제조 장치(종형 열처리 장치라고도 함)가 이용되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 이 반도체 제조 장치는, 하부에 노구(爐口)를 갖는 종형의 열처리로(爐)의 하방에 로딩 영역(이동 탑재 영역)을 갖고, 이 로딩 영역에는, 상기 노구를 개폐하는 덮개체의 상부에 대구경 예를 들어 직경 300 ㎜인 다수매(100 내지 150매 정도)의 웨이퍼를 탑재한 보트를 보온통을 통해 적재하고, 덮개체를 승강시켜 보트를 열처리로 내에 반입ㆍ반출하는 승강 기구나, 복수매의 웨이퍼를 수납한 캐리어(수납 용기)와 상기 보트와의 사이에서 웨이퍼의 이동 탑재를 행하는 이동 탑재 기 구 등이 설치되어 있다.
또한, 반도체 제조 장치로서는, 상기 보트를 2개 사용하고, 덮개체 상에 한쪽의 보트를 적재하고, 이 보트를 열처리로 내에 반입하여 열처리를 행하고 있는 동안에, 다른 쪽의 보트에 대한 반도체 웨이퍼의 교환 이동을 행하도록 한, 소위 투 보트 시스템을 채용한 것도 제안되고 있다.
그런데, 상기 보트는 석영제이고, 매우 고가의 것이다. 또한, 상기 웨이퍼도 고가이고, 처리 공정이 진행됨에 따라 제조 비용이 증대된다. 따라서, 이들의 취급은 신중하게 행해진다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2000-150400호 공보
그러나, 전술한 뱃치식의 반도체 제조 장치에 있어서는, 장치의 구성상, 하드 및 소프트의 면에서 다양한 제약이 있어, 내진 구조 내지 내진 기능을 갖게 하는 것이 어려워, 충분한 내진 대책이 이루어지고 있지 않은 것이 현재의 상태이다. 이 때문에, 지진이 발생하여, 장치가 큰 흔들림을 받으면, 보트의 도괴, 보트로부터의 웨이퍼의 탈락ㆍ파손, 가스의 누설 등등의 피해가 발생할 우려가 있다. 또한, 피해가 발생한 경우에는, 조업 재개까지의 장치 복구에도 장시간을 필요로 한다. 그 때문에, 지진이 발생한 경우에는 피해가 매우 커질 우려가 있다.
본 발명은 상기 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 지진의 발생을 예지하여 보트의 도괴를 미연에 방지하고, 피해를 최소한으로 억제하고 또한 복구 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법 및 지진 피해 확산 저감 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 포함하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법에 있어서, 통신 회선을 통해 배신(配信)되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하거나 또는 초기 미동을 직접 검지하는 공정과, 수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정과, 상기 제1 공정과 병행하여, 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴 를 방지하기 위해 상기 보트를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하는 제2 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제1 공정과 병행하여 행해지는 제2 공정에 있어서, 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해 상기 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제2 공정 후에, 상기 보트를 승강 기구에 의한 상기 열처리로로부터의 반출 위치인 홈 포지션으로 복귀시키는 제3 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제3 공정은, 상기 제2 공정 후이며 지진의 주요동의 종료 후에 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 노구를 갖는 열처리로와, 상기 노구를 개폐하는 덮개체와, 상기 덮개체 상에 적재되고 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 갖는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템에 있어서, 통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부 또는 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부와, 수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정 및 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해 상기 보트를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하는 제2 공정을 실행하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제어부는, 상기 제2 공정을 실행할 때, 상기 보트를 상하로 부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 덮개체의 상부에 상기 보트를 적재하여 상기 열처리로로의 반입ㆍ반출을 행하는 승강 기구와, 상기 덮개체 개방 중에 상기 노구를 차폐하고 있는 셔터를 더 갖고, 상기 제어부는, 상기 제2 공정을 실행할 때, 상기 승강 기구에 의해 상기 보트를 반출 위치로부터 상승 이동시켜, 상기 셔터의 하면부에 상기 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키는 것에 의해, 상기 보트를 상기 셔터와 상기 덮개체와의 사이에서 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 지진 피해 확산 저감 시스템은, 상기 제2 공정을 실행하기 위한 보트 도괴 방지 기구를 더 구비하고, 상기 보트 도괴 방지 기구는, 상기 노구로부터 반출된 반출 위치에 있는 상기 보트의 바로 위의 작동 위치에 측방의 퇴피 위치로부터 압박 수단에 의해 선회 이동 가능하게 베어링부에 축 지지된 아암과, 상기 아암을 상기 퇴피 위치에 계지하고 상기 제어부에 의해 계지 상태가 해제되는 로크 기구와, 상기 아암이 작동 위치로 선회 이동되었을 때에, 상기 아암과 상기 덮개체와의 사이에서 상기 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 끼워 보유 지지하도록 상기 아암을 하강시키기 위해 상기 베어링부에 마련된 가이드홈부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 설치되고 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와, 상기 보트 적 재대와 상기 덮개체와의 사이에서 상기 보트의 반송을 행하는 보트 반송 기구를 갖고, 상기 제어부는, 상기 보트 반송 기구를 제어하여, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트를 들어올려 상기 이동 탑재 영역 내의 천장부에 상기 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키고, 상기 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 열처리로로 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 설치되고 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트와 복수의 상기 피처리체를 수납한 수납 용기와의 사이에서 상기 피처리체의 이동 탑재를 행하는 이동 탑재 기구를 갖고, 상기 제어부는, 상기 이동 탑재 기구를 제어하여, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트의 상단부에 접근 또는 접촉하고, 상기 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 덮개체 상의 상기 보트를 회전하는 회전 기구와, 상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 있어서, 상기 열처리로로부터 반출된 상기 보트에 불활성 가스를 불어대어 냉각하는 상기 보트에 대해 진퇴 이동 가능한 세로로 긴 샤워 헤드를 갖는 보트 샤워 기구를 갖고, 상기 제어부는, 상기 회전 기구를 제어하여, 상기 덮개체 상의 상기 보트를 회전시켜 상기 샤워 헤드측을 향하는 동시에, 상기 보트에 대해 상기 샤워 헤드를 접근 이동시켜 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출 을 규제하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 회전 가능한 적재부를 갖는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트에 대해 측방으로부터 청정 공기를 분출하는 공기 청정기와, 상기 보트가 상기 공기 청정기와는 반대측을 향하도록 상기 적재부를 계지하는 계지 기구와, 상기 계지 기구에 의한 계지 상태를 해제했을 때에 보트가 공기 청정기측을 향하도록 적재부를 회전 압박하는 압박 수단을 갖고, 상기 제어부는, 상기 계지 기구를 해제하고, 상기 압박 수단이 상기 적재부를 압박하여 상기 적재부의 회전에 의해 상기 보트를 공기 청정기측에 대향시켜, 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출을 규제하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제어부가, 상기 제2 공정 후에, 상기 보트를 승강 기구에 의한 상기 열처리로로부터의 반출 위치인 홈 포지션으로 복귀시키는 제3 공정을 실행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 제3 공정은, 상기 제2 공정 후이며 지진의 주요동의 종료 후에 행해지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 주요동(S파)의 수십초 전에 검지되어 통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동(P파)의 긴급 지진 정보를 이용하거나 또는 초기 미동을 직접 검출하여 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 한편, 이것과 병행하여, 보트를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하기 때문에, 지진에 의한 보트의 도괴를 미연에 방 지할 수 있어, 피해를 최소한으로 억제하고 또한 복구 시간을 단축시킬 수 있다.
이 경우, 열처리리로의 노구를 개폐하는 덮개체의 상부에 보트를 적재하여 열처리로로의 반입ㆍ반출을 행하는 승강 기구에 의해 보트를 반출 위치로부터 상승 이동시키고, 덮개체 개방 중에 상기 노구를 차단하고 있는 셔터의 하면부에 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키는 것에 의해, 보트를 셔터와 덮개체와의 사이에서 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하도록 하면, 이동 탑재 영역 내에 새로운 기구를 증설하는 일없이, 기존의 장치 구성을 이용하여 보트의 도괴를 방지할 수 있다.
열처리로의 노구를 개폐하는 덮개체의 상부에 적재되고 노구로부터 반출된 반출 위치에 있는 보트의 바로 위의 작동 위치에 측방의 퇴피 위치로부터 압박 수단에 의해 선회 이동 가능하게 베어링부에 축 지지된 아암과, 상기 아암을 퇴피 위치에 계지하고 상기 제어부에 의해 계지 상태가 해제되는 로크 기구와, 아암이 작동 위치로 선회 이동되었을 때에, 아암과 덮개체와의 사이에서 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 끼워 보유 지지하도록 상기 아암을 하강시키기 위해 상기 베어링부에 마련된 가이드홈부를 갖는 구성으로 하면, 승강 기구를 승강 제어하는 일없이 보트의 도괴를 방지할 수 있다.
이동 탑재 영역 내에 덮개체 상의 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대와 덮개체와의 사이에서 보트의 반송을 행하는 보트 반송 기구를 구비하고, 상기 제어부로부터의 제어에 의해 상기 보트 반송 기구가 보트 적재대 상의 보트를 들어올려 이동 탑재 영역 내의 천장부에 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키고, 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사 이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하도록 구성하면, 소위 투 보트 시스템에 있어서의 보트 적재대 상의 보트의 도괴를, 이동 탑재 영역 내의 기존의 장치 구성을 이용하여 방지할 수 있다.
이동 탑재 영역 내에 덮개체 상의 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대와 덮개체와의 사이에서 보트의 반송을 행하는 보트 반송 기구와, 보트 적재대 상의 보트와 복수의 피처리체를 수납한 수납 용기와의 사이에서 피처리체의 이동 탑재를 행하는 이동 탑재 기구를 구비하고, 상기 제어부로부터의 제어에 의해 상기 이동 탑재 기구가 보트 적재대 상의 보트의의 상단부에 근접 또는 접촉하고, 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하도록 구성하면, 소위 투 보트 시스템에 있어서의 보트 적재대 상의 보트의 도괴를, 이동 탑재 영역 내의 기존의 장치 구성을 이용하여 방지할 수 있다.
덮개체 상의 보트를 회전하는 회전 기구와, 이동 탑재 영역 내에 있어서 상기 열처리로로부터 반출된 보트에 불활성 가스를 불어대어 냉각하는 보트에 대해 진퇴 이동 가능한 세로로 긴 샤워 헤드를 갖는 보트 샤워 기구를 구비하고, 상기 제어부로부터의 제어에 의해 덮개체 상의 보트를 회전시켜 샤워 헤드측을 향하는 동시에, 상기 보트에 대해 샤워 헤드를 접근 이동시켜, 보트로부터의 피처리체의 돌출을 규제하도록 구성하면, 기존의 샤워 헤드를 이용하여 보트로부터의 피처리체의 돌출이나 탈락에 의한 파손을 방지할 수 있다.
이동 탑재 영역 내에 덮개체 상의 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 회전 가능한 적재부를 갖는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대 상의 보트에 대해 측방으로부터 청정 공기를 분출하는 공기 청정기와, 상기 보트가 공기 청정기와는 반대측을 향하도록 상기 적재부를 계지하는 계지 기구와, 상기 계지 기구에 의한 계지 상태를 해제했을 때에 보트가 공기 청정기측을 향하도록 적재부를 회전 압박하는 압박 수단을 구비하고, 상기 제어부로부터의 제어에 의해 상기 계지 기구를 해제하여, 상기 적재부의 회전에 의해 보트를 공기 청정기측에 대향시켜, 보트로부터의 피처리체의 돌출을 규제하도록 구성하면, 소위 투 보트 시스템에 있어서의 보트 적재대 상의 보트로부터의 피처리체의 돌출이나 탈락에 의한 파손을 방지할 수 있다.
상기 제2 공정 후에 또는 제2 공정 후이며 주요동의 종료 후에, 상기 보트를 승강 기구에 의한 열처리로로부터의 반출 위치인 홈 포지션으로 복귀시키기 때문에, 반도체 제조 장치를 신속하게 복귀시키는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 따르면, 초기 미동의 긴급 지진 정보를 이용해 반도체 제조 장치의 운전을 정지하고, 보트를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하기 때문에, 지진에 의한 보트의 도괴를 미연에 방지할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.
이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대해, 첨부 도면을 기초로 상세하게 서술한다. 도1은 본 발명의 실시 형태인 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템을 개략적으로 도시하는 도면, 도2는 도1의 반도체 제 조 장치의 횡단면도, 도3은 보트의 도괴를 방지하는 공정을 설명하는 사시도이다.
이들 도면에 있어서, 부호 1은 클린룸 내에 설치되는 반도체 제조 장치 예를 들어 종형 열처리 장치이고, 이 열처리 장치(1)는 장치의 외곽을 형성하는 하우징(2)을 구비하고 있다. 이 하우징(2) 내에는, 피처리체 예를 들어 반도체 웨이퍼(w)를 복수매 수납한 수납 용기인 캐리어(3)의 반송ㆍ보관을 행하기 위한 반송 보관 영역(Sa)과, 다수 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼를 상하 방향으로 소정 피치로 다단으로 탑재하는 보트(4)와 상기 캐리어(3)와의 사이에서 웨이퍼의 이동 탑재 작업이나, 열처리로(5)로의 보트(4)의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 작업 영역(이동 탑재 영역)인 로딩 영역(Sb)이 마련되어 있다. 상기 반송 보관 영역(Sa)과 로딩 영역(Sb)은 격벽(6)에 의해 구획되어 있다.
상기 캐리어(3)는, 소정 구경 예를 들어 직경 300 ㎜인 웨이퍼를 수평 상태에서 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 복수매 예를 들어 13 내지 25매 정도 수용 가능하고 휴대 가능한 플라스틱제의 용기로 이루어지고, 그 전방면부에 개구 형성된 웨이퍼 취출구에 이것을 기밀하게 폐색하기 위한 덮개를 착탈 가능하게 구비하고 있다(도시 생략).
상기 하우징(2)의 전방면부에는, 오퍼레이터 혹은 반송 로봇에 의해 캐리어(3)를 반입 반출하기 위한 반입출구(7)가 마련되고, 이 반입출구(7)에는 상하로 슬라이드 개폐하는 도어(8)가 마련되어 있다. 반송 보관 영역(Sa)에는, 반입출구(7) 근방에 캐리어(3)를 적재하기 위한 적재대(9)가 설치되고, 이 적재대(9)의 후방부에는 캐리어(3)의 덮개를 개방하여 웨이퍼(w)의 위치 및 매수를 검출하는 센 서 기구(10)가 설치되어 있다. 또한, 적재대(9)의 상방 및 격벽(6)측의 상방에는, 복수의 캐리어(3)를 보관해 두기 위한 보관 선반(11)이 설치되어 있다.
반송 보관 영역(Sa) 내의 상기 격벽(6)측에는, 웨이퍼의 이동 탑재를 행하기 위해, 캐리어(3)를 적재하기 위한 이동 탑재 스테이지(12)가 설치되어 있다. 반송 보관 영역(Sa)에는, 상기 적재대(9), 보관 선반(11) 및 이동 탑재 스테이지(12)의 사이에서 캐리어(3)의 반송을 행하기 위한 반송 기구(13)가 설치되어 있다. 이 반송 기구(13)는, 반송 보관 영역(Sa)의 한쪽에 설치된 승강 기구(13a)에 의해 승강 이동되는 승강 아암(13b)과, 이 승강 아암(13b)에 설치되고 캐리어(3)의 바닥부를 지지하여 수평 방향으로 반송하는 반송 아암(13c)으로 주로 구성되어 있다.
캐리어 반송 영역(Sa)은, 도시하지 않은 공기 청정기(팬ㆍ 필터 유닛)에 의해 청정화된 대기 분위기로 되어 있다. 로딩 영역(Sb)도, 그 한쪽에 설치한 공기 청정기(팬ㆍ필터 유닛)(14)에 의해 청정화되어 있고, 양압(陽壓)의 대기 분위기 또는 불활성 가스(예를 들어 N2 가스) 분위기로 되어 있다. 상기 격벽(6)에는, 이동 탑재 스테이지(12)에 적재된 캐리어(3)의 전방면부를 반송 보관 영역(Sa)측으로부터 접촉시켜 캐리어(3) 내와 로딩 영역(Sb) 내를 연통하기 위한 도시하지 않은 개구부가 마련되어 있는 동시에, 상기 개구부를 로딩 영역(Sb)측으로부터 폐쇄하는 도어(15)가 개폐 가능하게 마련되어 있다. 개구부는, 캐리어(3)의 취출구와 대략 동일 구경으로 형성되어 있고, 개구부로부터 캐리어(3) 내의 웨이퍼의 출입이 가능하게 되어 있다.
상기 도어(15)에는, 캐리어(3)의 덮개를 개폐하는 도시하지 않은 덮개 개폐 기구 및 도어(15)를 로딩 영역(Sb)측으로부터 개폐하는 도시하지 않은 도어 개폐 기구가 설치되고, 이 도어 개폐 기구에 의해 도어(15) 및 덮개가 로딩 영역(Sb)측으로 개방 이동되고, 또한 웨이퍼의 이동 탑재의 방해로 되지 않도록 상방 또는 하방으로 이동(퇴피)되도록 되어 있다. 상기 이동 탑재 스테이지(12)의 하방에는, 결정 방향을 일정하게 하기 위해 웨이퍼의 주연부에 마련되어 있는 노치(절결부)를 한 방향으로 정렬시키기 위한 노치 정렬 기구(16)가 설치되어 있다. 이 노치 정렬 기구(16)는, 로딩 영역(Sb)측에 면하여 개방되어 있고, 후술하는 이동 탑재 기구(24)에 의해 이동 탑재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)로부터 이동 탑재되는 웨이퍼의 노치를 정렬시키도록 구성되어 있다.
한편, 로딩 영역(Sb)의 안쪽 상방에는, 하부에 노구(5a)를 갖는 종형의 열처리로(5)가 설치되어 있고, 로딩 영역(Sb)에는, 다수 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼(w)를 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 탑재한 예를 들어 석영제의 보트(4)를 덮개체(17)의 상부에 적재하여 열처리로(5) 내로의 반입ㆍ반출 및 노구(5a)를 개폐하는 덮개체(17)의 승강을 행하는 승강 기구(18)가 설치되어 있다. 덮개체(17)의 상부에는 그 폐색시에 노구(5a) 부분으로부터의 방열을 억제하는 보온통(차열 부재)(19)이 적재되고, 이 보온통(19)의 상부에 보트(4)가 적재되어 있다. 상기 덮개체(17)에는 보온통(19)을 통해 보트(4)를 회전하는 회전 기구(20)가 설치되어 있다. 노구(5a)의 근방에는, 덮개체(17)가 개방되어 열처리 후의 보트(4)가 반출되었을 때에 노구(5a)를 차폐하기 위한 셔터(21)가 수평 방향으로 개 폐 이동 가능(선회 가능)하게 설치되어 있다. 이 셔터(21)는, 이것을 수평 방향으로 선회 이동시켜 개폐시키는 도시하지 않은 셔터 구동 기구를 갖고 있다.
로딩 영역(Sb)의 한쪽 즉 공기 청정기측에는, 웨이퍼(w)의 이동 탑재 등을 위해 보트(4)를 적재해 두기 위한 보트 적재대(보트 스테이지라고도 함)(22)가 설치되어 있다. 이 보트 적재대(22)는 1개라도 좋지만, 도2에 도시하는 바와 같이 공기 청정기(14)를 따라 전후에 배치된 제1 적재대[차지 스테이지(charge stage](22a)와 제2 적재대[스탠바이 스테이지(standby stage)](22b)의 2개로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
로딩 영역(Sb) 내의 하방이며, 이동 탑재 스테이지(12)와 열처리로(5)와의 사이에는, 보트 적재대(22)와 덮개체(17)와의 사이, 구체적으로는 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 혹은 제2 적재대(22b)와 강하된 덮개체(17)와의 사이, 및 제1 적재대(22a)와 제2 적재대(22b)와의 사이에서 보트(4)의 반송을 행하는 보트 반송 기구(23)가 설치되어 있다. 또한, 이 보트 반송 기구(23)의 상방에는, 이동 탑재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)와 보트 적재대(22) 상의 보트(4)와의 사이, 구체적으로는 이동 탑재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)와 노치 정렬 기구(16)와의 사이, 노치 정렬 기구(16)와 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 상의 보트(4)와의 사이, 및 제1 적재대(22a) 상의 열처리 후의 보트(4)와 이동 탑재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)와의 사이에서 웨이퍼(w)의 교환 이동을 행하기 위한 이동 탑재 기구(24)가 설치되어 있다.
보트(4)는, 도3에 도시하는 바와 같이 천장판(4a)과 바닥판(4b)의 사이에 복 수 예를 들어 4개의 지지 기둥(4c)을 개재 설치하여 이루어지고, 바닥판(4b)의 하부에는 바닥판(4b)보다도 직경이 작은 직경 축소부(4d)가 설치되어 있다. 상기 지지 기둥(4c)에는 웨이퍼를 다단으로 보유 지지하기 위한 도시하지 않은 홈부가 소정 피치로 형성되어 있다. 정면측의 좌우의 지지 기둥(4c) 사이는, 웨이퍼를 출입하기 위해 확대 개방되어 있다.
보트 반송 기구(23)는, 1개의 보트(4)를 수직으로 지지하여 수평으로 신축 가능한 아암을 갖고 있다. 보트 반송 기구(23)는, 수평 선회 및 승강 가능한 제1 아암(23a)과, 이 제1 아암(23a)의 선단부에 수평 선회 가능하게 축 지지되고 보트(4)의 하부의 직경 축소부(4d)에 수평 방향으로부터 결합하여 지지 가능한 평면 대략 C자 형상의 제2 아암(23b)과, 제1 아암(23a) 및 제2 아암(23b)을 구동하는 구동부(23c)를 구비하고, 이 제2 아암(23b)의 결합부 중심이 제1 아암(23a)의 선회 중심을 통과하도록 설계하고, 제1 아암(23a)과 제2 아암(23b)의 수평 선회 동작을 동기시키는 것에 의해, 수평 직선 방향의 반송이 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이 하여 아암을 신축시키는 것에 의해 보트(4)를 반송하는 영역을 필요 최소한으로 하는 것이 가능하여, 장치 폭과 깊이 치수를 감소할 수 있다.
상기 이동 탑재 기구(24)는, 수평 회전 가능한 베이스(24a) 상에 반도체 웨이퍼를 적재하는 복수매 예를 들어 5매의 박판 형상의 이동 탑재 아암(24b)을 진퇴 가능하게 설치하여 이루어지고, 반송시의 보트(4)와의 간섭을 피하기 위해, 도2에 가상선으로 나타내는 작업 위치(A)로부터 실선으로 나타내는 퇴피 위치(B)로 선회 아암(25)을 통해 횡방향으로 퇴피 가능하게 구성되어 있다. 상기 이동 아암(24b) 으로서는, 5매 중 중앙의 매엽 이동 탑재용의 1매의 이동 탑재 아암과, 다른 4매의 이동 탑재 아암이 베이스(24a) 상에 독립하여 진퇴 가능하게 설치되어 있는 동시에, 다른 4매의 이동 탑재 아암이 중앙의 이동 탑재 아암을 기준으로 하여 상하 방향으로 피치 변환 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 선회 아암(25)의 기부(基部)측은, 로딩 영역(Sb)의 다른 쪽에 설치된 도시하지 않은 승강 기구에 연결되어 있고, 이것에 의해 이동 탑재 기구(24)가 승강 가능하게 되어 있다.
이와 같이 구성된 종형 열처리 장치(1)를 지진으로부터 지키기 위해, 종형 열처리 장치(1)에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법은, 통신 회선(26)을 통해 배신되는 초기 미동(P파)을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 공정과, 상기 긴급 지진 정보를 기초로 하여 상기 종형 열처리 장치(1)의 운전을 정지하는 제1 공정과, 상기 제1 공정과 병행하여, 상기 보트(4)의 도괴(倒壞)를 방지하기 위해, 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 제2 공정을 구비하고 있다. 또한, 이 방법을 실행하는 지진 피해 확산 저감 시스템(27)은, 통신 회선(26)을 통해 배신되는 초기 미동(P파)을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부(28)와, 상기 수신부(28)에 의해 얻어진 긴급 지진 정보를 기초로 하여 종형 열처리 장치(1)의 운전을 정지시키는 제1 공정 및 웨이퍼를 다단으로 탑재하는 보트(4)의 도괴를 방지하기 위해, 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 제2 공정을 실행하는 제어부(29)를 구비하고 있다.
상기 긴급 지진 정보로서는, 기상청이 제공하는 긴급 지진 속보나, 제삼자 기관이 제공하는 긴급 지진 검지 시스템 등이 이용 가능하다. 지진은, 종파이고 속도가 빠른(매초 7 k 내지 8 ㎞) P파(Primary)로 이루어지는 작은 흔들림의 초기 미동(微動)과, 횡파이고 속도가 느린(매초 3 k 내지 4 ㎞) S파(Secondary)로 이루어지는 큰 흔들림의 주요동(主要動)으로 구성되어 있다. 전국 각지에 설치된 다수의 지진계(30)에 의해 수집한 P파의 데이터를 처리하여 진원, 진도 및 S파의 도착 시간을 산출하고, 이 지진 정보가 배신부(31)로부터 유선 회선이나 위성 회선을 통해 배신되고, 이 지진 정보가 상기 수신부(28)에서 수신되도록 되어 있다. 이것에 의해, 크게 흔들리는 본진의 수초 내지 수십초 전에 예상되는 진도를 알고, 미리 본진에 대비할 수 있다. 제어부(29)는, 소정의 임계치(예를 들어 예상 진도 5)가 설정되고, 그 임계치를 초과했을 때에 지진 피해 확산 저감 방법을 실행하도록 구성되어 있다.
상기 제1 공정에서는, 상기 열처리 장치(1)의 전원(주전원), 가스 라인을 차단한다. 또한, 주전원은, 본진(S파)의 직전까지 살려 두도록 해도 좋다. 제1 공정(P파)에서 주전원을 차단하는 경우, 보트(4)의 도괴를 방지하기 위해 보트(4)를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지할 때에 구동하는 예를 들어 승강 기구(18)나 보트 반송 기구(23) 혹은 이동 탑재 기구(24)에는 보조 전원이 확보되어 있을 필요가 있다. 본 실시 형태에서는, 상기 제2 공정은, 도3에 도시하는 바와 같이, 승강 기구(18)에 의해 보트(4)를 반출 위치(하강 위치)로부터 상승 이동시켜, 덮개체(17)의 개방 중에 상기 노구(5a)를 차폐하고 있는 셔터(21)의 하면부에 보트(4)의 상단부[천장판(4a)]를 근접 또는 접촉시키는 것에 의해, 보트(4)를 셔터(21)와 덮개체(17)와의 사이에서 상하로부터 끼워 보유 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 셔 터(21)의 하면부에는, 요잉(yawing)에 의한 보트(4)의 횡 어긋남을 방지하기 위해, 보트(4)의 상단부[천장판(4a)]를 결합 보유 지지하는 오목부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 제어부(29)는, 상기 제2 공정 후에 또는 제2 공정 후이며 주요동의 종료 후에, 상기 보트(4)를 승강 기구(18)에 의한 열처리로(5)로부터의 반출 위치인 홈 포지션(HP)으로 복귀시키는 제3 공정을 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이상의 구성으로 이루어지는 지진 피해 확산 저감 방법 내지 지진 피해 확산 저감 시스템(27)에 따르면, 주요동(S파)의 수초부터 수십초 전에 검지되어 통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동(P파)을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 사용하고, 종형 열처리 장치(1)의 운전을 정지하는 한편, 이것과 병행하여, 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하기 때문에, 지진에 의한 보트(4)의 도괴 등의 물적 피해 및 장치 복구의 시간적 손실의 확대를 미연에 방지할 수 있다. 이 경우, 열처리로(5)의 노구(5a)를 개폐하는 덮개체(17)의 상부에 보트(4)를 적재하여 열처리로(5)로의 반입ㆍ반출을 행하는 승강 기구(18)에 의해 보트(4)를 로딩 영역(Sb) 내 하방의 반출 위치로부터 상승 이동시켜, 덮개체(17)의 개방 중에 상기 노구(5a)를 차폐하고 있는 셔터(21)의 하면부에 보트(4)의 상단부를 근접 또는 접촉시키는 것에 의해, 보트(4)를 셔터(21)와 덮개체(17)와의 사이에서 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 끼워 보유 지지하도록 했으므로, 로딩 영역(Sb) 내에 새로운 기구를 증설하는 일없이, 기존의 장치 구성을 이용하여 보트(4)의 도괴 를 미연에 방지할 수 있다. 또한, 보트(4)를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지하는 경우, 접촉이라도 좋지만, 비접촉의 쪽이 파티클의 발생을 억제할 수 있어 바람직하다. 또한, 상기 제2 공정 후에 또는 제2 공정 후이며 주요동의 종료 후에, 상기 보트(4)를 승강 기구(18)에 의한 열처리로(5)로부터의 반출 위치인 홈 포지션(HP)으로 복귀시키기 때문에, 반도체 제조 장치(1)를 신속하게 복귀시킬 수 있다.
도4는 본 발명의 다른 실시 형태인 보트 도괴 방지 기구를 도시하는 사시도, 도5는 상기 보트 도괴 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도5의 (a)는 비작동시의 평면도, 도5의 (b)는 작동시의 평면도이다. 도4 내지 도5의 실시 형태에서는, 상기 제2 공정을 실행하기 위한 보트 도괴 방지 기구(32)를 구비하고 있다. 이 보트 도괴 방지 기구(32)는, 열처리로(5)의 노구(5a)를 개폐하는 덮개체(17)의 상부에 적재되고 노구(5a)로부터 반출된 반출 위치에 있는 보트(4)의 바로 위의 작동 위치에 측방의 퇴피 위치로부터 압박 수단 예를 들어 스프링(도시 생략)에 의해 선회 이동 가능하게 베어링부(33)에 축 지지된 아암(34)과, 상기 아암(34)을 퇴피 위치에 계지하고 상기 제어부(29)에 의해 계지 상태가 해제되는 로크 기구(35)와, 아암(34)이 작동 위치로 선회 이동되었을 때에, 아암(34)과 덮개체(17)와의 사이에서 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 끼워 보유 지지하도록 상기 아암(34)을 하강시키기 위해 상기 베어링부(33)에 마련된 가이드홈부(36)를 갖고 있다.
아암(34)의 기단부에는 상향으로 지지축(37)이 돌출 설치되고, 이 지지축(37)이 베어링부(33)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링부(33)는 소정의 위치에 고정되어 있다. 지지축(37)의 상단부에는 베어링부(33)의 상단부면에 계지되어 지지축(37)의 탈락을 방지하는 계지 핀(37a)이 부착되고, 계지 핀(37a)은 아암(34)의 회전 즉 지지축(37)의 회전에 수반하여 베어링부(33)의 상단부면을 미끄럼 이동한다. 베어링부(33)의 상단부면에는 아암(34)이 퇴피 위치로부터 작동 위치로 회전했을 때에 상기 계지 핀(37a)이 떨어져 들어가 아암(34)을 하강시키기 위한 상기 가이드홈부(36)가 형성되어 있다. 상기 로크 기구(35)는, 퇴피 위치의 아암(34)의 선단부에 결합하여 이것을 퇴피 위치에 보유 지지하는 평면 L자 형상의 계지 부재(35a)와, 이 계지 부재(35a)를 퇴피 위치의 아암(34)의 선단부에 대해 진퇴시키는 구동부 예를 들어 에어 실린더(35b)에 의해 구성되어 있다.
상기 아암(34)은, 퇴피 위치로부터 작동 위치에 왔을 때에 자중으로 하강하도록 해도 좋지만, 압박 수단 예를 들어 스프링에 의해 강제적으로 하강하도록 해도 좋다. 또한, 아암(34)의 선단부측에는, 아암(34)이 퇴피 위치에 있을 때에 수축하고, 작동 위치에 왔을 때에 탄성력으로 확대 개방하여 보트(4)의 상단부(천장판부)를 압박하는 것이 가능한 한 쌍의 보조 부재(38)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 아암(34)의 선단부 및 보조 부재(38)의 선단부에는, 보트(4)의 상단부(천장판부)의 반경 방향으로의 이동을 규제하는 갈고리부(39)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
도4 내지 도5의 실시 형태에 따르면, 로딩 영역 내에 승강 기구(18)와는 별개로 상기 구성의 보트 도괴 방지 기구(32)를 구비하고 있기 때문에, 승강 기구(18)를 승강 제어하는 일없이 보트(4)의 도괴를 방지할 수 있다. 또한, 상기 보 트 도괴 방지 기구(32)의 아암(34)은, 비작동시에는 측방의 퇴피 위치에 있기 때문에 열처리로(5) 내로의 보트(4)의 반입ㆍ반출 작업의 방해로 되는 일은 없다.
도6은 보트 스탠드 상의 보트의 도괴를 방지하는 방법을 설명하는 사시도이다. 도6의 실시 형태에서는, 투 보트 시스템을 갖는 종형 열처리 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템에 있어서, 제어부(29)로부터의 제어에 의해 보트 반송 기구(23)가 보트 적재대(22) 상의 보트(4)를 들어올려 로딩 영역(Sb) 내의 천장부(40)에 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키고, 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하도록 구성되어 있다. 도6의 실시 형태에 따르면, 소위 투 보트 시스템에 있어서 예상되는 지진에 의한 보트 적재대(22) 상의 보트의 도괴를, 로딩 영역 내의 기존의 장치 구성[보트 반송 기구(23)와 천장부(40)]을 이용하여 방지할 수 있다.
도7은 보트 스탠드 상의 보트의 도괴를 방지하는 다른 방법을 설명하는 사시도이다. 도7의 실시 형태에서는, 투 보트 시스템을 갖는 종형 열처리 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템에 있어서, 제어부(29)로부터의 제어에 의해 이동 기구(24)가 보트 적재대(22) 상의 보트(4)의 상단부에 근접 또는 접촉하여 이것을 규제하고, 보트(4)를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하도록 구성되어 있다. 이 경우, 이동 탑재 기구(24)는, 베이스(24a)의 선단부로부터 이동 탑재 아암(24b)을 돌출시키고, 이동 탑재 아암(24b)의 하면부에 의해 보트(4)의 상단면부를 억제하도록 하는 것이 바람직하다. 따라서, 도7의 실시 형태에 의해서도, 소위 투 보트 시스템에 있어서의 보트 적재대(22) 상의 보트(4)의 도괴를, 로딩 영역(Sb) 내의 기존의 장치 구성[보트 적재대(22)와 이동 탑재 기구(24)]을 이용하여 방지할 수 있다.
도8은 웨이퍼 돌출 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도8의 (a)는 비작동시의 평면도, 도8의 (b)는 보트를 웨이퍼 돌출 방지 기구측으로 선회시키는 평면도이다. 도9는 웨이퍼 돌출 방지 기구의 작동을 도시하는 도면으로, 도9의 (a)는 평면도, 도9의 (b)는 측면도이다. 도8 내지 도9의 실시 형태에서는, 덮개체(17) 상의 보트(4)를 회전하는 회전 기구(20)와, 로딩 영역(Sb) 내에 있어서 상기 열처리로(5)로부터 반출된 보트(4)에 불활성 가스를 측방[공기 청정기(14)와 동일한 측]으로부터 불어대어 냉각하는 보트(4)에 대해 진퇴 이동 가능한 세로로 긴 샤워 헤드(41)를 갖는 보트 샤워 기구(42)를 구비하고, 상기 제어부(29)로부터의 제어에 의해 상기 회전 기구(20)에서 덮개체(17) 상의 보트(4)를 회전시켜 샤워 헤드(41)측을 향하는[도8의 (b) 참조] 동시에, 상기 보트(4)에 대해 샤워 헤드(41)를 접근 이동시켜[도9의 (a), 도9의 (b) 참조], 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출을 규제하도록 구성되어 있다.
상기 샤워 헤드(41)는, 예를 들어 상하 단부가 폐색된 좌우 한 쌍의 파이프로 이루어지고, 각 파이프에는 불활성 가스 예를 들어 N2 가스를 공급하는 공급 호스가 접속되어 있고, 각 파이프의 전방면부에는 보트를 향해 불활성 가스를 분출하는 도시하지 않은 분출 구멍이 소정 피치로 형성되어 있다. 샤워 헤드(41)를 구성하는 좌우 한 쌍의 파이프는 상하에 배치한 연결 부재(43)에 의해 연결되어 있다. 보트 샤워 기구(42)는, 샤워 헤드(41)를 덮개체(17) 상의 보트(4)에 대해 진퇴시키는 진퇴 이동 수단인 예를 들어 텔레스코픽형의 에어 실린더(44)를 구비하고 있다. 상부와 하부에 배치한 연결 부재(43)에 에어 실린더(44)의 선단부가 각각 연결되고, 에어 실린더(44)의 기단부는, 예를 들어 공기 청정기(팬 필터 유닛)(14)의 전방면부 또는 그 근방에 설치되어 있다.
이 경우, 지진의 흔들림에 의한 보트(4)의 전도 내지 도괴를 방지하는 위해, 전술한 바와 같이 보트를 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 것이 전제로 된다. 보트의 전도 내지 도괴를 방지하는 방법으로서는, 도9에 도시하는 바와 같이 이동 탑재 기구(24)의 베이스(24a)의 단부를 보트(4)의 측면부에 근접 또는 접촉시켜, 베이스(24a)와 샤워 헤드(41)와의 사이에서 보트(4)를 끼우도록 해도 좋다. 혹은 도3, 도4 등의 보트 도괴 방지 기구를 적용해도 좋다. 도8 내지 도9의 실시 형태에 따르면, 덮개체(17) 상의 보트(4)를 회전 기구(20)에 의해 회전시켜 샤워 헤드(41)측을 향하게 하고, 보트(4)에 대해 샤워 헤드(41)를 보트 샤워 기구(42)의 에어 실린더(44)에 의해 전진 접근시키도록 했으므로, 기존의 샤워 헤드(41)를 이용하여 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출 내지 탈락을 방지할 수 있는 동시에 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 탈락에 의한 파손을 방지할 수 있다.
도10은 웨이퍼 돌출 방지 기구의 다른 예를 나타내는 도면으로, 도10의 (a)는 비작동시의 평면도, 도10의 (b)는 작동시의 평면도이다. 도10의 실시 형태에서는, 도8 내지 도9의 실시 형태에 있어서의 보트 샤워 기구(42)의 에어 실린더(진퇴 이동 수단) 대신에, 샤워 헤드(41)를 덮개체(17)의 승강과 간섭하지 않도록 보트(4)로부터 이격시키는 퇴피 위치로부터 보트(4)에 접근시키는 작동 위치로 압박하는 압박 수단 예를 들어 스프링(45)과, 샤워 헤드(41)를 상기 스프링(45)의 압박력에 대항하여 퇴피 위치에 계지하고, 상기 제어부(29)로부터의 제어에 의해 계지 상태가 해제되는 로크 기구(46)를 구비하고 있다. 도10의 실시 형태에 따르면, 지진 정보를 기초로 하여 제어부(29)에 의해 로크 기구(46)에 의한 샤워 헤드(41)의 퇴피 위치에서의 계지 상태가 해제되면, 스프링(45)의 압박력에 의해 샤워 헤드(41)가 자동적으로 보트(4)의 정면에 접근하기 때문에, 도8 내지 도9의 실시 형태와 마찬가지로, 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출 내지 탈락을 방지할 수 있는 동시에 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 탈락에 의한 파손을 방지할 수 있다.
도11은 보트 스테이지 상에 있어서의 웨이퍼 돌출 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도11의 (a)는 비작동시의 평면도, 도11의 (b)는 작동 개시시의 평면도, 도11의 (c)는 작동 도중의 평면도, 도11의 (d)는 작동 종료시의 평면도이다. 도11의 실시 형태에서는, 로딩 영역(Sb) 내에 덮개체(17) 상의 보트(4)와 교대로 사용되는 또 하나의 보트(4)를 적재하는 회전 가능한 적재부(47)를 갖는 보트 적재대[22(22a, 22b)]와, 상기 보트 적재대(22) 상의 보트(4)에 대해 측방으로부터 청정 공기를 분출하는 공기 청정기(14)와, 상기 보트(4)가 공기 청정기(14)와는 반대측을 향하도록 상기 적재부(47)를 계지하는 계지 기구(48)와, 상기 계지 기구(48)에 의한 계지 상태를 해제했을 때에 보트(4)가 공기 청정기(14)측을 향하도록 적재부(47)를 회전 압박하는 압박 수단 예를 들어 스프링(49)을 구비하고, 상기 제어 부(29)로부터의 제어에 의해 상기 계지 기구(48)에 의한 계지 상태를 해제하여, 상기 스프링(49)의 압박력에 의한 상기 적재부(47)의 회전에 의해 보트(4)를 공기 청정기(14)측에 대향시켜, 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출을 규제하도록 구성되어 있다.
도시예의 적재부(47)는, 공기 청정기(14)를 따라 근접하여 배치된 회전 가능한 한 쌍의 적재부에 의해 구성되어 있다. 상기 계지 기구(48)는, 양 적재부(47)에 걸쳐 계지되는 두 갈래 형상의 계지 핀(48a)과, 상기 계지 핀(48a)을 양 적재부(47)에 계지시킨 상태로부터 잡아당겨 양 적재부(47)로부터 이탈시키는 액츄에이터 예를 들어 에어 실린더(48b)로 구성되어 있다. 상기 스프링(49)은 예를 들어 코일 스프링으로 이루어지고, 그 양단부에는 끈 형상 부재(50)가 각각 연결되고, 각 끈 형상 부재(50)의 선단부가 각 적재부(47)의 외주에 감겨 고정되어 있다.
도11의 실시 형태에 따르면, 상기 제어부(29)로부터의 제어에 의해 상기 계지 기구(48)의 계지 상태가 해제되면, 상기 적재부(47)가 스프링(49)의 압박력에 의해 회전되고, 적재부(47)에 적재된 보트(4)가 공기 청정기(14)측을 향해, 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출을 방지할 수 있고, 소위 투 보트 시스템에 있어서의 보트 적재대(20) 상의 보트(4)로부터의 웨이퍼(w)의 돌출이나 탈락에 의한 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 도11의 실시 형태에 있어서도, 적재부(47) 상의 보트(4)의 전도 내지 도괴를 방지하기 위해, 예를 들어 도7의 실시 형태와 같이 이동 탑재 기구(24) 또는 다른 보유 지지 수단에 의해 보트(4)를 보유 지지하는 것이 전제로 된다. 도11에서는, 각 적재부(47)에 보트가 적재되어 있는 상태가 모식 적으로 도시되고, 4개의 지지 기둥(4c)의 배향으로 보트(4)의 배향을 나타내고 있다.
도12는 본 발명의 다른 실시 형태인 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템을 개략적으로 도시하는 도면이다. 도12의 실시 형태에 있어서, 도1의 실시 형태와 동일한 부분은 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 본 실시 형태의 종형 열처리 장치(1)는, 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부인 지진계(60)와, 검지한 초기 미동을 기초로 하여 종형 열처리 장치(1)의 운전을 정지하는 제1 공정 및 보트(4)의 도괴를 방지하기 위해, 보트(4)를 접촉 또는 비접촉으로 보유 지지하거나 혹은 상하로부터 접촉 또는 비접촉으로 사이에 끼워 보유 지지하는 제2 공정을 실행하는 제어부(29)를 구비하고 있다. 상기 지진계(60)는 하우징(2) 내에 설치되어 있는 것이 바람직하지만, 공장의 부지 내에 설치되어 있어도 좋다. 본 실시 형태에 따르면, 긴급 지진 정보를 수신하는 일없이 스스로 초기 미동을 검지할 수 있어, 지진의 발생을 예지하여 보트의 도괴를 미연에 방지할 수 있어, 피해를 최소한으로 억제하는 것이 가능하게 된다.
상기 제어부(29)는, 상기 제2 공정 후에 또는 제2 공정 후이며 주요동의 종료 후에, 상기 보트(4)를 승강 기구(18)에 의한 열처리로(5)로부터의 반출 위치인 홈 포지션(HP)으로 복귀시키는 제3 공정을 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하고, 이것에 의해, 반도체 제조 장치를 신속하게 복귀시키는 것이 가능하게 된다.
이상, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의해 상세하게 서술해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 에서의 다양한 설계 변경이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 이동 탑재 영역 내에 새로운 기구를 증설하는 일없이, 기존의 장치 구성을 이용하여 보트의 도괴를 방지하도록 하고 있지만, 본 발명은, 기존의 장치 구성(기존축)을 이용하지 않고 새로운 기구(신기축, 전용의 기구)를 이용하여 보트의 도괴를 방지하도록 해도 좋다. 또한, 본 발명에 관한 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템은, 통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부와, 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부를 함께 구비하여, 이들을 선택적으로 절환하여 사용하도록 구성되어 있어도 좋다.
도1은 본 발명의 실시 형태인 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템을 개략적으로 도시하는 도면.
도2는 도1의 반도체 제조 장치의 횡단면도.
도3은 보트의 도괴를 방지하는 공정을 설명하는 사시도.
도4는 보트 도괴 방지 기구를 도시하는 사시도.
도5는 상기 보트 도괴 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도5의 (a)는 비작동시의 평면도, 도5의 (b)는 작동시의 평면도.
도6은 보트 스탠드 상의 보트의 도괴를 방지하는 방법을 설명하는 사시도.
도7은 보트 스탠드 상의 보트의 도괴를 방지하는 다른 방법을 설명하는 사시도.
도8은 웨이퍼 돌출 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도8의 (a)는 비작동시의 평면도, 도8의 (b)는 보트를 웨이퍼 돌출 방지 기구측으로 선회시키는 평면도.
도9는 웨이퍼 돌출 방지 기구의 작동을 도시하는 도면으로, 도9의 (a)는 평면도, 도9의 (b)는 측면도.
도10은 웨이퍼 돌출 방지 기구의 다른 예를 나타내는 도면으로, 도10의 (a)는 비작동시의 평면도, 도10의 (b)는 작동시의 평면도.
도11은 보트 스테이지 상에 있어서의 웨이퍼 돌출 방지 기구를 도시하는 도면으로, 도11의 (a)는 비작동시의 평면도, 도11의 (b)는 작동 개시시의 평면도, 도11의 (c)는 작동 도중의 평면도, 도11의 (d)는 작동 종료시의 평면도.
도12는 본 발명의 다른 실시 형태인 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템을 개략적으로 도시하는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 열처리 장치
2 : 하우징
3 : 캐리어
4 : 보트
5 : 열처리로
6 : 격벽
7 : 반입출구
8 : 도어
9 : 적재대
10 : 센서 기구
11 : 보관 선반
12 : 이동 탑재 스테이지
13 : 반송 기구
14 : 공기 청정기
15 : 도어

Claims (14)

  1. 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 포함하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법에 있어서,
    통신 회선을 통해 배신(配信)되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하거나 또는 초기 미동을 직접 검지하는 공정과,
    수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정과,
    상기 제1 공정과 병행하여, 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해, 상기 보트를 보유 지지하는 제2 공정을 구비하고,
    상기 반도체 제조 장치는, 덮개체 상의 상기 보트를 회전하는 회전 기구와, 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 있어서, 상기 열처리로로부터 반출된 상기 보트에 불활성 가스를 불어대어 냉각하는 상기 보트에 대해 진퇴 이동 가능한 세로로 긴 샤워 헤드를 갖는 보트 샤워 기구를 갖고,
    상기 제 2공정은, 상기 회전 기구를 제어하여, 상기 덮개체 상의 상기 보트를 회전시켜 상기 샤워 헤드측을 향하는 동시에, 상기 보트에 대해 상기 샤워 헤드를 접근 이동시키고, 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출을 규제하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법.
  2. 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 포함하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법에 있어서,
    통신 회선을 통해 배신(配信)되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하거나 또는 초기 미동을 직접 검지하는 공정과,
    수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정과,
    상기 제1 공정과 병행하여, 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해, 상기 보트를 보유 지지하는 제2 공정을 구비하고,
    상기 반도체 제조 장치는, 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 회전 가능한 적재부를 갖는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트에 대해 측방으로부터 청정 공기를 분출하는 공기 청정기와, 상기 보트가 상기 공기 청정기와는 반대측을 향하도록 상기 적재부를 계지하는 계지 기구와, 상기 계지 기구에 의한 계지 상태를 해제했을 때에 보트가 공기 청정기측을 향하도록 적재부를 회전 압박하는 압박 수단을 갖고,
    상기 제2 공정은, 상기 계지 기구를 해제하고, 상기 압박 수단이 상기 적재부를 압박하여 상기 적재부의 회전에 의해 상기 보트를 공기 청정기측에 대향시켜, 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출을 규제하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 공정과 병행하여 행해지는 제2 공정에 있어서, 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해, 상기 보트를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 공정 후에, 상기 보트를 승강 기구에 의한 상기 열처리로로부터의 반출 위치인 홈 포지션으로 복귀시키는 제3 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제3 공정은, 상기 제2 공정 후이며 지진의 주요동(主要動)의 종료 후에 행해지는 것을 특징으로 하는 지진 피해 확산 저감 방법.
  6. 노구를 갖는 열처리로와, 상기 노구를 개폐하는 덮개체와, 상기 덮개체 상에 적재되고 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 갖는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템에 있어서,
    통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부 또는 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부와,
    수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정 및 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해, 상기 보트를 보유 지지하는 제2 공정을 실행하는 제어부를 구비하고,
    상기 반도체 제조 장치는, 상기 덮개체 상의 상기 보트를 회전하는 회전 기구와, 상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 있어서, 상기 열처리로로부터 반출된 상기 보트에 불활성 가스를 불어대어 냉각하는 상기 보트에 대해 진퇴 이동 가능한 세로로 긴 샤워 헤드를 갖는 보트 샤워 기구를 갖고,
    상기 제어부는, 상기 회전 기구를 제어하여, 상기 덮개체 상의 상기 보트를 회전시켜 상기 샤워 헤드측을 향하는 동시에, 상기 보트에 대해 상기 샤워 헤드를 접근 이동시키고, 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출을 규제하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  7. 노구를 갖는 열처리로와, 상기 노구를 개폐하는 덮개체와, 상기 덮개체 상에 적재되고 피처리체를 다단으로 탑재하는 보트를 갖는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템에 있어서,
    통신 회선을 통해 배신되는 초기 미동을 기초로 하는 긴급 지진 정보를 수신하는 수신부 또는 초기 미동을 직접 검지하는 초기 미동 검지부와,
    수신한 긴급 지진 정보 또는 검지한 초기 미동을 기초로 하여 상기 반도체 제조 장치의 운전을 정지하는 제1 공정 및 상기 피처리체를 다단으로 탑재하는 상기 보트의 도괴를 방지하기 위해, 상기 보트를 보유 지지하는 제2 공정을 실행하는 제어부를 구비하고,
    상기 반도체 제조 장치는, 상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 회전 가능한 적재부를 갖는 보트 적재대와, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트에 대해 측방으로부터 청정 공기를 분출하는 공기 청정기와, 상기 보트가 상기 공기 청정기와는 반대측을 향하도록 상기 적재부를 계지하는 계지 기구와, 상기 계지 기구에 의한 계지 상태를 해제했을 때에 보트가 공기 청정기측을 향하도록 적재부를 회전 압박하는 압박 수단을 갖고,
    상기 제어부는, 상기 계지 기구를 해제하고, 상기 압박 수단이 상기 적재부를 압박하여 상기 적재부의 회전에 의해 상기 보트를 공기 청정기측에 대향시켜, 상기 보트로부터의 상기 피처리체의 돌출을 규제하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제2 공정을 실행할 때, 상기 보트를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 반도체 제조 장치는, 상기 덮개체의 상부에 상기 보트를 적재하여 상기 열처리로로의 반입ㆍ반출을 행하는 승강 기구와, 상기 덮개체 개방 중에 상기 노구를 차폐하고 있는 셔터를 더 갖고,
    상기 제어부는, 상기 제2 공정을 실행할 때, 상기 승강 기구에 의해 상기 보트를 반출 위치로부터 상승 이동시키고, 상기 셔터의 하면부에 상기 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키는 것에 의해, 상기 보트를 상기 셔터와 상기 덮개체와의 사이에서 상하로부터 끼워 보유 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 지진 피해 확산 저감 시스템은, 상기 제2 공정을 실행하기 위한 보트 도괴 방지 기구를 더 구비하고,
    상기 보트 도괴 방지 기구는,
    상기 노구로부터 반출된 반출 위치에 있는 상기 보트의 바로 위의 작동 위치에 측방의 퇴피 위치로부터 압박 수단에 의해 선회 이동 가능하게 베어링부에 축 지지된 아암과,
    상기 아암을 상기 퇴피 위치에 계지하고, 상기 제어부에 의해 계지 상태가 해제되는 로크 기구와,
    상기 아암이 작동 위치로 선회 이동되었을 때에, 상기 아암과 상기 덮개체와의 사이에서 상기 보트를 상하로부터 끼워 보유 지지하도록 상기 아암을 하강시키기 위해 상기 베어링부에 마련된 가이드홈부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  11. 제8항에 있어서, 상기 반도체 제조 장치는,
    상기 열처리로로의 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 설치되고, 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와,
    상기 보트 적재대와 상기 덮개체와의 사이에서 상기 보트의 반송을 행하는 보트 반송 기구를 갖고,
    상기 제어부는, 상기 보트 반송 기구를 제어하여, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트를 들어올려 상기 이동 탑재 영역 내의 천장부에 상기 보트의 상단부를 근접 또는 접촉시키고, 상기 보트를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  12. 제8항에 있어서, 상기 반도체 제조 장치는,
    상기 열처리로로 상기 보트의 반입ㆍ반출 작업을 행하기 위한 이동 탑재 영역 내에 설치되고 상기 덮개체 상의 상기 보트와 교대로 사용되는 또 하나의 보트를 적재하는 보트 적재대와,
    상기 보트 적재대 상의 상기 보트와 복수의 상기 피처리체를 수납한 수납 용기와의 사이에서 상기 피처리체의 이동 탑재를 행하는 이동 탑재 기구를 갖고,
    상기 제어부는, 상기 이동 탑재 기구를 제어하여, 상기 보트 적재대 상의 상기 보트의 상단부에 접근 또는 접촉하고, 상기 보트를 상하로부터 사이에 끼워 보유 지지하여 도괴를 방지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  13. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 제어부가, 상기 제2 공정 후에, 상기 보트를 승강 기구에 의한 상기 열처리로로부터의 반출 위치인 홈 포지션으로 복귀시키는 제3 공정을 실행하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제3 공정은, 상기 제2 공정 후이며 지진의 주요동의 종료 후에 행해지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치에 있어서의 지진 피해 확산 저감 시스템.
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