JP2008098610A - 半導体製造装置における地震被害拡散低減方法及び地震被害拡散低減システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】通信回線26を介して配信される初期微動に基く緊急地震情報を受信する受信部28又は初期微動を直接検知する初期微動検知部と、受信した緊急地震情報又は検知した初期微動に基いて半導体製造装置1の運転を停止する第1工程、及び、被処理体を多段に搭載するボート4の倒壊を防止すべく、ボート4を接触又は非接触で保持する第2工程を実行する制御部29と、を備えている。
【選択図】図1
Description
w 半導体ウエハ(被処理体)
4 ボート
5 熱処理炉
Sb ローディングエリア(移載領域)
14 空気清浄機
18 昇降機構
20 回転機構
21 シャッター
22 ボート載置台
23 ボート搬送機構
24 移載機構
26 通信回線
27 地震被害拡散低減システム
28 受信部
29 制御部
32 ボート転倒防止機構
33 軸受部
34 アーム
35 ロック機構
36 ガイド溝部
41 シャワーヘッド
42 ボートシャワー機構
47 載置部
48 係止機構
49 バネ(付勢手段)
60 地震計(初期微動検知部)
Claims (12)
- 通信回線を介して配信される初期微動に基く緊急地震情報を受信するか又は初期微動を直接検知する工程と、受信した緊急地震情報又は検知した初期微動に基いて半導体製造装置の運転を停止する第1工程と、該第1工程と並行して、被処理体を多段に搭載するボートの倒壊を防止すべく、ボートを接触又は非接触で保持する第2工程と、を備えていることを特徴とする半導体製造装置における地震被害拡散低減方法。
- 通信回線を介して配信される初期微動に基く緊急地震情報を受信するか又は初期微動を直接検知する工程と、受信した緊急地震情報又は検知した初期微動に基いて半導体製造装置の運転を停止する第1工程と、該第1工程と並行して、被処理体を多段に搭載するボートの倒壊を防止すべく、ボートを上下から接触又は非接触で挟んで保持する第2工程と、を備えていることを特徴とする半導体製造装置における地震被害拡散低減方法。
- 上記第2工程の後に又は第2工程の後であって主要動の終了後に、上記ボートを昇降機構による熱処理炉からの搬出位置であるホームポジションに復帰させる第3工程を有していることを特徴とする請求項1又は2記載の地震被害拡散低減方法。
- 通信回線を介して配信される初期微動に基く緊急地震情報を受信する受信部又は初期微動を直接検知する初期微動検知部と、受信した緊急地震情報又は検知した初期微動に基いて半導体製造装置の運転を停止する第1工程、及び、被処理体を多段に搭載するボートの倒壊を防止すべく、ボートを接触又は非接触で保持する第2工程を実行する制御部と、を備えていることを特徴とする半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 通信回線を介して配信される初期微動に基く緊急地震情報を受信する受信部又は初期微動を直接検知する初期微動検知部と、受信した緊急地震情報又は検知した初期微動に基いて半導体製造装置の運転を停止する第1工程、及び、被処理体を多段に搭載するボートの倒壊を防止すべく、ボートを上下から接触又は非接触で挟んで保持する第2工程を実行する制御部と、を備えていることを特徴とする半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記第2工程は、熱処理炉の炉口を開閉する蓋体の上部にボートを載置して熱処理炉への搬入・搬出を行う昇降機構によりボートを搬出位置から上昇移動させ、蓋体開放中に前記炉口を遮蔽しているシャッターの下面部にボートの上端部を近接又は当接させることにより、ボートをシャッターと蓋体との間で上下から接触又は非接触で挟んで保持することを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記第2工程を実行するためのボート倒壊防止機構を備え、該ボート倒壊防止機構は、熱処理炉の炉口を開閉する蓋体の上部に載置されて炉口より搬出された搬出位置にあるボートの直上の作動位置に側方の退避位置から付勢手段により旋回移動可能に軸受部に軸支されたアームと、該アームを退避位置に係止し、前記制御部により係止状態が解除されるロック機構と、アームが作動位置に旋回移動された時に、アームと蓋体との間でボートを上下から接触又は非接触で挟んで保持すべく前記アームを下降させるために前記軸受部に設けられたガイド溝部とを有していることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記半導体製造装置は、移載領域内に蓋体上のボートと交互に使用されるもう一つのボートを載置するボート載置台と、該ボート載置台と蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構とを備え、前記制御部からの制御により該ボート搬送機構がボート載置台上のボートを持ち上げて移載領域内の天井部にボートの上端部を近接又は当接させ、ボートを上下から接触又は非接触で挟んで保持して倒壊を防止するように構成されていることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記半導体製造装置は、移載領域内に蓋体上のボートと交互に使用されるもう一つのボートを載置するボート載置台と、該ボート載置台と蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構と、ボート載置台上のボートと複数の被処理体を収納した収納容器との間で被処理体の移載を行う移載機構とを備え、前記制御部からの制御により該移載機構がボート載置台上のボートの上端部に接近又は当接し、ボートを上下から接触又は非接触で挟んで保持して倒壊を防止するように構成されていることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記半導体製造装置は、蓋体上のボートを回転する回転機構と、移載領域内において前記熱処理炉から搬出されたボートに不活性ガスを吹付けて冷却するボートに対して進退移動可能な縦長のシャワーヘッドを有するボートシャワー機構とを備え、前記制御部からの制御により蓋体上のボートを回転させてシャワーヘッド側に向けると共に、該ボートに対してシャワーヘッドを接近移動させ、ボートからの被処理体の飛び出しを規制するように構成されていることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記半導体製造装置は、移載領域内に蓋体上のボートと交互に使用されるもう一つのボートを載置する回転可能な載置部を有するボート載置台と、該ボート載置台上のボートに対して側方から清浄空気を噴出す空気清浄機と、前記ボートが空気清浄機とは反対側に向くように前記載置部を係止する係止機構と、該係止機構による係止状態を解除した時にボートが空気清浄機側に向くように載置部を回転付勢する付勢手段とを備え、前記制御部からの制御により前記係止機構を解除して、前記載置部の回転によりボートを空気清浄機側に対向させ、ボートからの被処理体の飛び出しを規制するように構成されていることを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
- 前記制御部が、上記第2工程の後に又は第2工程の後であって主要動の終了後に、上記ボートを昇降機構による熱処理炉からの搬出位置であるホームポジションに復帰させる第3工程を実行することを特徴とする請求項4又は5記載の半導体製造装置における地震被害拡散低減システム。
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