JP4670863B2 - 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を保持具に搭載して縦型熱処理炉に搬入し、所定の熱処理を行う熱処理装置において、前記保持具をボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージ上に保持具搬送手段により移載する技術に関する。

半導体製造装置の一つとして、多数の半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）に対して一括（バッチ）で熱処理を行う縦型熱処理装置がある。この熱処理装置は、例えば図１１に示すように、熱処理炉１１の下方側にて、ボートエレベータ１２に設けられた断熱材１３上に多数枚のウエハＷが棚状に保持されるウエハボート１４を載置し、前記ボートエレベータ１２を上昇させることによってウエハＷを熱処理炉１１に搬入し、こうして多数枚のウエハＷに対して同時に所定の熱処理が行われるように構成されている。なお図中１２ａは、熱処理炉１１の蓋体である。

この際、例えば図に示すように、ウエハボート１４をボートエレベータ１２に載置する前に基板移載用ステージ１５上に載置し、移載アームＡにより、複数枚のウエハＷを収納したキャリア１０内のウエハＷを、このウエハボート１４に対して移載することが行われる。そしてウエハＷが移載されたウエハボート１４は、ボート搬送手段１６により、前記ボートエレベータ１２の断熱材１３上に移載される。

このようなボート搬送手段１６によるウエハボート１４の移載について簡単に説明すると、前記ウエハボート１４の底板１４ａの下方側には、支持棒１７ａを介して平板状の支持板１７ｂが設けられている。一方、前記ボート搬送手段１６は、昇降自在、水平軸周りに回転自在、進退自在に構成されると共に、平面形状が略Ｕ字型のアーム部１６ａにより（図１２参照）、前記底板１４ａを持ち上げて移動させることにより、ウエハボート１４を搬送するようになっている。

また、前記縦型熱処理装置では、熱処理工程のスループットを高めるために、ウエハボート１４を２基用意し、一方のウエハボート１４Ａに対して所定の熱処理を行っている間に、他方のウエハボート１４Ｂに対してウエハＷの移載を行うことが行われており、このため、図１２に示すように、ウエハボート１４（１４Ａ，１４Ｂ）を載置するための退避用ステージ１８が設けられている。

そして処理の際には、例えば図１３（ａ）に示すように、一方のウエハボート１４Ａを熱処理炉１１内に搬入出して熱処理を行なう間に、他方のウエハボート１４Ｂを基板移載用ステージ１５上に載置して、当該ウエハボート１４Ｂに対してウエハＷの移載を行い、前記一方のウエハボート１４Ａに対する熱処理が終了した後、図１３（ｂ）に示すように、このウエハボート１４Ａを熱処理炉１１から搬出し、ボート搬送手段１６により退避用ステージ１８上に移載する。一方、ボート搬送手段１６により、基板移載用ステージ１５上の他方のウエハボート１４Ｂをボートエレべータ１２の断熱材１３上に移載して、当該他方のウエハボート１４Ｂに対して熱処理を行ない、この間に、ボート搬送手段１６により退避用ステージ１８上の一方のウエハボート１４Ａを基板移載用ステージ１５に移動し、さらに熱処理後のウエハボート１４Ｂを退避用ステージ１８上に移載することが行われている（図１３（ｃ）参照）。

この際、既述のように、ウエハボート１４は、ボート搬送手段１６により、ボートエレベータ１２の断熱材１３、基板移載用ステージ１５、退避用ステージ１８の３箇所に搬送される。ここで予めボートエレベータ１２等におけるウエハボート１４の載置位置は決められており、この載置位置にボート搬送手段１６によりウエハボート１４を載置するときのボート搬送手段１６の軌道についても設定されている。また基板移載用ステージ１５には、当該ステージ１５の基準載置位置にウエハボート１４を合わせるための位置合わせ手段１９が設けられており、当該ステージ１５では必ずウエハボート１４の位置合わせが行なわれるようになっている。従って理論的にはウエハボート１４をボートエレベータ１２や退避用ステージ１８に高い位置精度を確保した状態で搬送することができる。

しかしながら実際には、ボートエレベータ１２、基板移載用ステージ１５、退避用ステージ１８からボート搬送手段１６によりウエハボート１４を受け取ったり、受け渡したりする際に、当該ウエハボート１４が僅かに傾いてしまい、多少の位置ずれが発生してしまう。このように位置ずれが発生する理由について、ウエハボート４１を受け取る場合を例にして説明する。つまりボートエレベータ１２の断熱材１３、基板移載用ステージ１５、退避用ステージ１８の夫々の載置面の水平度は互いに僅かに異なっている。従って前記アーム部１６ａはウエハボート１４の底板１４ａに対して始めから面状に接触した状態で受け取ることができず、先ずある点に接触してから前記底板１４ａ全体を持ち上げることになる。このためアーム部１６ａがウエハボート１４を受け取る際に、当該ウエハボート１４が僅かに傾いてしまい、多少の位置ずれが発生してしまうものと考えられる。

この位置ずれ量は、ボート搬送手段１６によるウエハボート１４の移載回数が多くなるにつれて累積していき、大きくなってくる。従って移載回数がある程度までであれば、位置ずれ量は許容値以内に収まるが、移載回数が許容回数例えば６回を越えると、位置ずれ量の許容値を越えてしまい、ボート搬送手段１６がウエハボート１４を受け取ることができなくなったり、ボートエレベータ１２上にウエハボート１４を搭載して、このウエハボート１４に対してキャリアＣとの間でウエハＷの受け渡しを行う構成では、このウエハＷの受け渡し作業ができなくなるおそれがある。

ところで通常の熱処理においては、既述のように、ウエハボート１４は、基板移載用ステージ１５→ボートエレベータ１２→退避用ステージ１８→基板移載用ステージ１５の経路で搬送されるので、常に基板移載用ステージ１５にて位置合わせを行なうようにすれば、移載回数が６回を越えることはないが、実際の熱処理においては、他方のウエハボート１４が基板移載用ステージ１５に載置されたままであって、一方のウエハボート１４をボートエレベータ１２と退避用ステージ１８との間で繰り返して搬送しなければならない状態が発生することがあり、この場合には一方のウエハボート１４の位置合わせを行なうことができないので、当該ウエハボート１４の移載回数が許容回数を超えてしまう場合がある。

しかしながら現状では、ウエハボート１４の移載回数をカウントしていないため、移載回数が前記許容回数を越えても、移載作業を続行してしまうことがあり、そのためボート搬送手段１６や移載アームＡがウエハボート１４に衝突したり、ウエハボート１４が転倒したりという事故が発生し、ウエハボート１４やボート搬送手段１６等の熱処理装置の構成部材にダメージを与える可能性がある。

このような問題を解決するために、基板移載用ステージ１５のみならず、退避用ステージ１８や、これらステージ以外の領域にウエハボートの位置合わせ手段１９を設け、位置合わせの頻度を多くして、ウエハボートの位置ずれ量の累積を抑えることも考えられるが、位置合わせ手段１９を増加するには、新たに装置や構成部材を設計する必要があり、得策ではない。このため本発明者らは、装置の構成部材を変更せずに、ウエハボートの移載の際の位置ずれ量を許容範囲内に抑える手法について検討している。

なお２基のウエハボートを備えた構成の縦型熱処理装置において、ウエハボートの移載の際の転倒を防止する技術については特許文献１に記載されているが、この技術は、ボートエレベータに対してウエハボートの移載を行わないことにより、ウエハボートの転倒を防止しており、ウエハボートの移載自体を行わないので、この技術によっても本発明の課題の解決を図ることはできない。

特開平９−２８９１７３号公報（請求項１、図５）

本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、複数の基板が保持される保持具を、ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で移載するときに発生する位置ずれ量の累積を抑えることができる技術を提供することにある。

このため本発明は、複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、
その上部に前記保持具が載置され、基板移載手段によりこの保持具に対して基板の移載を行うための基板移載用ステージと、
その上部に前記保持具が載置される退避用ステージと、
前記ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で前記保持具を搬送して載置する保持具搬送手段と、
その上に前記保持具を載置して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ手段と、
前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを１回として、保持具毎にその載置回数を計数すると共に、前記位置合わせ手段に前記保持具が載置されたときに前記載置回数を０にする計数手段と、
前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する手段と、
前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具を前記位置合わせ手段に載置し、この保持具の位置合わせを行なうように、前記保持具搬送手段を制御する手段と、を備えたことを特徴とする。
また他の発明は、複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、
その上部に前記保持具が載置され、基板移載手段によりこの保持具に対して基板の移載を行うための基板移載用ステージと、
その上部に前記保持具が載置される退避用ステージと、
前記ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で前記保持具を搬送して載置する保持具搬送手段と、
その上に前記保持具を載置して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ手段と、
前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを１回として、保持具毎にその載置回数を計数すると共に、前記位置合わせ手段に前記保持具が載置されたときに前記載置回数を０にする計数手段と、
前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する手段と、を備え、
前記位置合わせ手段は、基板移載用ステージ又は退避用ステージに設けられることを特徴とする。

また前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具が次のステージに移動することを禁止する手段を含むものであってもよい。

また本発明の熱処理方法は、複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理方法において、
この保持具の一方を基板移載用ステージの上に載置して、当該保持具に対して基板の移載を行なう工程と、
次いでこの保持具をボートエレベータのステージの上に移載して熱処理炉内に搬入し、当該保持具に搭載された基板に対して熱処理を行なう工程と、
次いで保持具を熱処理炉から搬出し、退避用ステージの上に移載する工程と、
前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを一回として、保持具毎にその載置回数を計数する工程と、
前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する工程と、
前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、前記保持具を位置合わせ手段に搬送して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ工程と、
前記保持具の位置合わせが行なわれたときに前記載置回数を０にする工程と、を含むことを特徴とする。
更に他の熱処理方法は、複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理方法において、
この保持具の一方を基板移載用ステージの上に載置して、当該保持具に対して基板の移載を行なう工程と、
次いでこの保持具をボートエレベータのステージの上に移載して熱処理炉内に搬入し、当該保持具に搭載された基板に対して熱処理を行なう工程と、
次いで保持具を熱処理炉から搬出し、退避用ステージの上に移載する工程と、
前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを一回として、保持具毎にその載置回数を計数する工程と、
前記保持具を、基板移載用ステージ又は退避用ステージに設けられた位置合わせ手段に搬送して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ工程と、
前記保持具の位置合わせが行なわれたときに前記載置回数を０にする工程と、
前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する工程と、を含むことを特徴とする。

また本発明は、前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具が次のステージに移動することを禁止する工程を含むものであってもよい。

さらに本発明の記憶媒体は、複数の基板が棚状に保持される保持具をボートエレベータ上に載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記コンピュータプログラムは、前記熱処理方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。

本発明によれば、複数の基板が保持される保持具を、ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で移載するときに、前記保持具が各ステージに載置される回数を計数し、この載置回数が前記保持具の位置合わせを行なわずに各ステージに載置できる許容回数である載置許容回数と一致するときにアラームを発生させるようにしているので、作業者が前記保持具の位置合わせを行なうタイミングを認識することができ、前記保持具を前記ステージの間で移載するときに発生する位置ずれ量の累積を抑えることができる。

以下に本発明に係る縦型熱処理装置の一実施の形態について説明する。図１は前記縦型熱処理装置の内部を示す縦断側面図であり、図２はその平面図である。図中２は装置の外装体を構成する筐体であり、この筐体２内には、基板であるウエハＷを収納したキャリアＣが装置に対して搬入、搬出されるための搬入搬出領域Ｓ１と、キャリアＣ内のウエハを搬送して後述の熱処理炉内に搬入するための移載領域であるローディングエリアＳ２とが設けられている。搬入搬出領域Ｓ１とローディングエリアＳ２とは隔壁２１により仕切られており、搬入搬出領域Ｓ１は大気雰囲気とされ、ローディングエリアＳ２は不活性ガス雰囲気例えば窒素（Ｎ_２）ガス雰囲気又は清浄乾燥気体雰囲気（パーティクル及び有機成分が少なく、露点−６０℃以下の空気）とされている。

前記搬入搬出領域Ｓ１は、装置の正面側から見て手前側に位置する第１の領域２２と、奥側に位置する第２の領域２３とからなる。第１の領域２２には、例えば２個のキャリアＣを載置するための第１の載置台２４が設けられている。キャリアＣとしては、基板である例えば直径３００ｍｍのウエハＷが複数枚例えば２５枚棚状に所定の配列間隔で配列されて収納され、前面の図示しない取り出し口が蓋体により塞がれた例えば樹脂からなる密閉型のキャリアが用いられる。

搬入搬出領域Ｓ１における第２の領域２３には第２の載置台２５が配置されている。また第２の領域２３の上部側にはキャリアＣを保管するキャリア保管部２６が設けられると共に、キャリアＣを第１の載置台２４、第２の載置台２５並びにキャリア保管部２６の間で搬送するキャリア搬送機構２７が設けられている。このキャリア搬送機構２７は、昇降自在に設けられると共に、左右に伸びるガイドレールを備えた昇降部２７ａと、前記ガイドレールにガイドされながら左右に移動する移動部２７ｂと、この移動部２７ｂに設けられ、キャリアＣの上面のフランジ部２０を保持具２７ｄにより保持してキャリアＣを水平方向に搬送する２本のアーム２７ｃとを備えている。

前記隔壁２１には、第２の載置台２５に載置されたキャリアＣが当該隔壁２１に当接したときに、キャリアＣ内とローディングエリアＳ２とを連通する開口部２０が形成されている。また隔壁２１におけるローディングエリアＳ２側には、前記開口部２０を開閉する扉２８が設けられると共に、この扉２８を閉じたままでキャリアＣの蓋体を開閉する蓋開閉機構２９が設けられている。前記扉２８は、キャリアＣの蓋体が開かれた後、図示しない扉開閉機構により蓋開閉機構２９と蓋体とを共にウエハＷの移載の邪魔にならないように例えば上方側又は下方側に退避するように構成される。また隔壁２１の開口部２０における側縁部側には不活性ガス供給管（図示せず）、開口部２０の下端側には排気路（図示せず）が夫々設けられており、これらにより蓋体が開かれたキャリアＣ内に不活性ガス例えば窒素ガスを供給して内部の空気と置換するためのガス置換手段が構成されている。

前記ローディングエリアＳ２には、多数枚のウエハＷを棚状に所定の配列間隔（例えば上下方向に隣接するウエハＷの互いの上面同士の距離が８〜１６ｍｍ程度）に配列保持する保持具である２基のウエハボート４、つまり第１のウエハボート４Ａと第２のウエハボート４Ｂが設けられている。ここでウエハボート４の構成について図３に基づいて簡単に説明すると、天板４１と底板４２との間に例えば４本の支柱４３が設けられており、この支柱４３に形成された図示しない溝部にウエハＷの周縁部が保持されて、例えば１００枚のウエハＷを所定の間隔で上下に配列して保持できるように構成されている。前記底板４２の下部には、支持部４４が設けられており、この支持部４４は底板４２よりも平面形状が小さい支持棒４５と、支持棒４５の下端側に設けられた板状の載置板４６とを備えている。

そしてローディングエリアＳ２内には、前記ウエハボート４を載置するためのステージが３箇所に用意されている。このステージの一つは、下端が炉口として開口する縦型の熱処理炉３１の下方側に設けられたボートエレベータ５１の上に設けられている。このボートエレベータ５１は昇降自在に構成され、その上には、前記熱処理炉３１の蓋体３２と前記ステージをなす断熱材３３とがこの順序で設けられている。前記断熱材３３は例えば石英等により構成されており、その上にウエハボート４が搭載されるようになっている。そしてこのボートエレベータ５１によりウエハボート４が熱処理炉３１に対して搬入あるいは搬出されるように構成されている。

またステージとしてはさらに基板移載用ステージ５２と退避用ステージ５３とが設けられている。前記基板移載用ステージ５２は、ウエハボート４と第２の載置台２５上のキャリアＣとの間でウエハの移載を行なう際に、当該ウエハボート４が載置されるステージであり、後述するウエハボートの位置合わせ手段６を備えている。また退避用ステージ５３は、熱処理炉３１にて熱処理を行なう前後のウエハボート４を仮置きするために用いられるステージであり、位置合わせ手段６を設けない以外は基板移載用ステージ５２と同様に構成されている。

さらにローディングエリアＳ２には、ボートエレベータ５１と、基板移載用ステージ５２と、退避用ステージ５３との間でウエハボート４の移載を行うボート搬送手段７が設けられている。このボート搬送手段７は保持具搬送手段をなすものであり、図２及び図３に示すように、アーム駆動部７１により、昇降自在、水平軸周りに回転自在、進退自在に構成される多間接アーム７２を備え、その多間接アーム７２の先端には、平面形状が略Ｕ字型であって、開口部７３ａが前記ウエハボート４の支持棒４５よりも大きく、底板４２及び載置板４６よりも小さい保持アーム７３を備えている。

そして図４に、基板移載用ステージ５２からボートエレベータ５１に対してウエハボート４を移載する例を示すように、前記保持アーム７３を前記ウエハボート４の支持棒４５の側方から、前記開口部７３ａが当該支持棒４５の周囲を囲むように移動させ（図４（ａ)参照）、次いで上昇させることにより、底板４２を持ち上げて移動させ（図４（ｂ）参照）、その反対の動作にて、ボートエレベータ５１の断熱材３３に載置板４６を載置することにより（図４（ｃ）参照）、ウエハボート４の搬送を行なうように構成されている。この際、このボート搬送手段７は、後述する制御部１００の指令に基づいて、所定の搬送動作を行なうように構成され、ボートエレベータ５１、基板移載用ステージ５２及び退避用ステージ５３の各ステージにウエハボート４を載置する動作を行ったことを制御部１００が認識できるようになっている。なお第１のウエハボート４Ａ，第２のウエハボート４Ｂのどちらを使用するかについてや、これらウエハボート４Ａ，４Ｂの移載順序については、オペレータが所定の処理レシピを選択するときに指定するようにしてもよいし、当該縦型熱処理装置を管理するホストコンピュータにより指定するようにしてもよい。また当該縦型熱処理装置における後述する制御部１００により指定するようにしてもよい。

また基板移載用ステージ５２と隔壁２１の開口部２０との間には、基板移載手段をなすウエハ搬送機構５４が設けられていて、このウエハ搬送機構５４により基板移載用ステージ５２上のウエハボート４と第２の載置台２５上のキャリアＣとの間でウエハの移載が行われる。また前記ウエハ搬送機構５４は、ボートエレベータ５１上のウエハボート４に対しても、ウエハＷの移載を行うことができるように構成されている。このウエハ搬送機構５４は、ウエハＷを保持する複数枚例えば５枚のフォーク５５と、これらフォーク５５を進退自在に支持する搬送基体５６とを備えており、この搬送基体５６は、図示しない駆動機構によって鉛直軸回りに回動自在及び昇降自在、およびキャリアＣの配列方向に沿って左右に伸びるガイドレール５７に沿って左右方向に移動自在に構成されている。

続いて前記位置合わせ手段６について説明する。この位置合わせ手段６は、その上に前記ウエハボート４を載置して、当該ウエハボート４をステージにおける基準載置位置に位置させるための手段であり、この例では基板移載用ステージ５２の上面が位置合わせ手段６として構成されている。ここで既述のように、ボートエレベータ５１の断熱材３３と退避用ステージ５３におけるウエハボート４の載置位置は予め決められており、この載置位置にボート搬送手段７によりウエハボート４を載置するときの、当該ボート搬送手段７の軌道についても設定されているので、基板移載用ステージ５２においてウエハボート４が基準載置位置に位置するように位置合わせを行なうことにより、ウエハボート４をボートエレベータ５１や退避用ステージ５３に高い位置精度を確保した状態で搬送することができる。

このような位置合わせ手段６の構成について図５を用いて簡単に説明すると、図中６１は固定プレートであり、この例では当該固定プレート６１が基板移載用ステージ５２の載置面に相当する。前記固定プレート６１の上部にはボール部材６２を介して可動プレート６３が設けられており、こうして可動プレート６３は固定プレート６１に対して水平方向に移動自在に設けられるようになっている。図中６４Ａ，６４Ｂは押圧部材であり、これらはスライド機構６５Ａ，６５Ｂにより、水平方向にスライド自在に設けられ、可動プレート６３上にウエハボート４が載置されたときに、例えばウエハボート４の載置板４６を両外側から押圧して、ウエハボート４を可動プレート６３と共に、基板移載用ステージ５２（固定プレート６１）の基準載置位置に位置合わせするようになっている。また固定プレート６１及び可動プレート６３には、押圧部材６４Ａ，６４Ｂの移動領域を形成するために細長い形状の孔部６１ａ，６３ａが形成されている。

また図中６６は可動プレート６３の裏面側中央部に支持棒６６ａを介して接続された固定部材であり、この固定部材６６は可動プレート６３と共に移動するようになっている。前記固定部材６６の上面には、固定棒６６ｂが昇降自在に設けられていて、この固定棒６６ｂを上昇させ、当該固定棒６６ｂの先端を固定プレート６１の裏面に接続させることにより、固定プレート６１を可動プレート６２に対して固定し、両者を位置決めするように構成されている。また図中６１ｂは前記支持棒６６ａを貫通させるための孔部であり、可動プレート６３の移動の程度を見込んでその大きさが設定されている。

そして図中６７は、前記スライド機構６５Ａ，６５Ｂや固定部材６６の駆動を制御するためのコントローラであり、このコントローラ６７により、ウエハボート４が可動プレート６３上に載置されたときに、押圧部材６４Ａ，６４Ｂを移動させて、ウエハボート４の位置合わせ動作を行うと共に、一連の位置合わせ動作が終了したとき、例えばウエハボート４の位置合わせ後に固定部材６６の固定棒６６ａが上昇して、固定プレート６１と可動プレート６３とが固定されたときに、後述する制御部１００に対してウエハボート４の位置合わせを終了した旨の指令が出力されるようになっている。

このような位置合わせ手段６では、先ず図５（ａ）に示すように、押圧部材６４Ａ，６４Ｂを外側に位置させておき、位置合わせ対象となるウエハボート４を可動プレート６３上にボート搬送手段７により載置する。次いで図５（ｂ）に示すように、押圧部材６４Ａ，６４Ｂを内側にスライド移動させて、当該押圧部材６４Ａ，６４Ｂによりウエハボート４を外側から押圧して、ウエハボート４の位置合わせを行ない、次いで固定棒６６ａを上昇させて固定プレート６１を固定し、こうしてウエハボート４を固定プレート６１（基板移載用ステージ５２）の基準載置位置に位置させる位置合わせを行なう。続いて図５（ｃ）に示すように、押圧部材６４Ａ，６４Ｂを外側に移動させてから、位置合わせ後のウエハボート４をボート搬送手段７により次のステージに向けて搬送する。

続いて前記縦型熱処理装置に設けられる制御部１００について図２を参照して説明する。この制御部１００は、例えばコンピュータからなり、プログラム、メモリ、ＣＰＵ１０１からなるデータ処理部を備えていて、前記プログラムには制御部１００から縦型熱処理装置の各部に制御信号を送り、後述の搬送順序を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。前記メモリには、例えば熱処理のレシピが記載された処理レシピが格納されている。また前記コンピュータの画面は表示手段８１をなすものであり、この表示手段８１によって、オペレータが前記処理レシピを選択すると共に、この処理に使用するウエハボート４Ａ，４Ｂや、移載順序を指定したり、各処理におけるパラメータの入力操作を行うことができるように構成される。前記プログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部１００にインストールされる。

また制御部１００には、計数手段１０２や、判断手段１０３、ボート搬送手段制御部１０４も含まれており、コンピュータの表示手段８１、アラーム発生手段８２、位置合わせ手段６との間においても、所定の制御信号の送受信が行われるように構成されている。

前記計数手段１０２とは、第１又は第２のウエハボート４Ａ，４Ｂがステージ、つまりボートエレベータ５１の断熱材３３、基板移載用ステージ５２及び退避用ステージ５３に載置される載置回数を、各ステージに載置されたときを１回としてウエハボート４Ａ，４Ｂ毎に計数する手段である。この載置回数は、既述のように、ボート搬送手段７が各ステージにウエハボート４の載置動作を行ったことを認識して計数されるようになっており、ボート搬送手段７がウエハボート４を同じステージに対して、移載し直した場合にも載置回数が１回加算される。またこの計数手段１０２では、ウエハボート４が基板移載用ステージ５２上に載置されて、位置合わせ手段６により位置合わせを行なった旨の指令を受けたときには、前記載置回数を０に設定するように構成されている。

例えば載置回数は、ウエハボート４がボート搬送手段７により、前のステージ例えば基板移載用ステージ５２から次のステージ例えばボートエレベータ５１の断熱材３３上に移載され、当該断熱材３３上に載置されたときに、載置回数を１回とカウントし、前のステージ例えば退避用ステージ５３から次のステージ例えば基板移載用ステージ５１にウエハボート４が移載され、当該基板移載用ステージ５２にて位置合わせが行なわれたときに、載置回数を０にリセットするようになっている。

前記判断手段１０３とは、前記計数手段１０２により計数された載置回数と予め設定された載置許容回数とを比較し、これら回数が一致したときに、所定のアラーム表示指令と、装置の停止指令とを出力する手段である。ここでアラーム表示とは、この例ではアラーム発生手段８２例えばランプの点灯やアラーム音の発生、コンピュータの表示手段８１へのアラーム表示をいう。また前記載置許容回数は、例えばオペレータによりコンピュータの表示手段８１から入力されるようになっている。さらにコンピュータの表示手段８１では、アラーム指令と装置の停止指令が出力されたときに、オペレータがボート搬送手段７によるウエハボート４の移載を続行させるか、ウエハボート４を基板移載用ステージ５２に強制的に移載し、ウエハボート４の位置合わせを行なうか否かを選択できるように構成されている。

さらに前記ボート搬送手段制御部１０４は、ボート搬送手段７によるウエハボート４の搬送を制御する手段であり、オペレータにより使用するウエハボート４が指定されていない場合にはウエハボート４を指定し、またウエハボート４の搬送先を選択して、この搬送先にウエハボート４を搬送したりするように構成されている。

続いてこのような縦型熱処理装置における正常時のウエハＷの流れについて、図６を用いて簡単に説明する。先ずオペレータにより目的の処理レシピが選択されると共に、使用するウエハボート４Ａ，４Ｂが指定される。そしてクリーンルームの天井部に沿って移動する図示しない自動搬送ロボットによりキャリアＣが第１の載置台２４に載置される。続いてキャリア搬送機構２７により前記キャリアＣが第２の載置台２５に搬送され、このキャリアＣは図示しない機構により隔壁２１の開口部２０に気密に当接される。なおキャリアＣは、一旦キャリア保管部２６に収納された後、第２の載置台２５に搬送される場合もある。

この後蓋開閉機構２９によりキャリアＣから蓋体が取り外され、続いて図示しないガス供給管から不活性ガス例えば窒素ガスがキャリアＣ内に向けて吹き出されて、キャリアＣ内及びキャリアＣと扉２８との間の空間が窒素ガスにより置換される。その後、扉２８、蓋開閉機構２９及び蓋体が例えば上昇して開口部２０から退避し、キャリアＣ内とローディングエリアＳ２とが連通した状態となる。

一方ローディングエリアＳ２では、第１のウエハボート４Ａを基板移載用ステージ５２に、第２のウエハボート４Ｂを退避用ステージ５３に夫々載置しておき、基板移載用ステージ５２では第１のウエハボート４Ａの位置合わせを行なうと共に、ウエハ搬送機構５４により、前記第１のウエハボート４Ａに対してキャリアＣ内のウエハＷを順次取り出して移載し（ステップＳ１）、キャリアＣ内のウエハＷが空になると、上述と逆の動作でキャリアＣの蓋体が閉じられ、第２の載置台２５が後退してキャリアＣが隔壁２１から離れ、キャリア搬送機構２７によりキャリア保管部２６に搬送されて一時的に保管される。

前記第１のウエハボート４Ａに所定枚数のウエハＷが搭載されると、当該ウエハボート４Ａは、ボート搬送手段７により、基板移載用ステージ５２からボートエレベータ５１の断熱材３３上に移載され（ステップＳ２）、次いでボートエレベータ５１が上昇して熱処理炉３１に搬入されて当該ウエハボート４に搭載されたウエハＷに対して熱処理例えばＣＶＤ、アニール処理、酸化処理などが行われる（ステップＳ３）。この際、第１のウエハボート４Ａがボートエレベータ５１の断熱材３３上に移載された後、ボート搬送手段７により、第２のウエハボート４Ｂが退避用ステージ５３から基板移載用ステージ５２に移載され、このウエハボート４Ｂに対してキャリアＣとの間で、ウエハ搬送機構５４により既述のようにウエハＷの移載が行われる。

熱処理後の第１のウエハボート４Ａは、ボートエレベータ５１が下降して熱処理炉３１から搬出された後、ボート搬送手段７により退避用ステージ５３に搬送され（ステップＳ４）、次いで第２のウエハボート４Ｂがボート搬送手段７によりボートエレベータ５１の断熱材３３上に搬送される。こうして基板移載用ステージ５２が空いた後、ボート搬送手段７により第１のウエハボート４Ａが基板移載用ステージ５２に移載され、ここで熱処理後のウエハＷを、上述と逆の動作でキャリアＣ内に戻す移載作業が行われる（ステップＳ５）。また引き続いて例えば処理前のウエハＷをキャリアＣからウエハボート４Ａに移載する作業が行われる。この際、ウエハボート４Ａが基板移載用ステージ５２に載置されると、位置合わせ手段６により当該ウエハボート４Ａの位置合わせが行なわれる。また第２のウエハボート４Ｂについても、ボート搬送手段７により、所定の熱処理後に退避用ステージ５３→基板移載用ステージ５２の経路で搬送される。

このような正常の流れでは、第１及び第２のウエハボート４Ａ，４Ｂは基板移載用ステージ５２→ボートエレベータ５１の断熱材３３→退避用ステージ５３→基板移載用ステージ５２の経路で搬送される。従って載置回数は、各ウエハボート４Ａ，４Ｂ共に、基板移載用ステージ５２からボートエレベータ５１の断熱材３３上に移載されるときに１回、次いでボートエレベータ５１から退避用ステージ５３に載置されることにより２回、次いで退避用ステージ５３から基板移載用ステージ５２に載置されることにより、常にウエハボート４Ａ，４Ｂの位置合わせが行なわれるので、載置回数が０にリセットされる。

続いて本発明の作用について説明するが、本発明は、例えば制御手段１００によりウエハボート４の移載先が選択される場合に適用され、ウエハボート４の載置回数がオペレータにより予め設定された載置許容回数と一致した場合には、アラームを出力して、ウエハボート４の位置合わせ作業が必要であることを通知すると共に、当該熱処理装置を停止するというものである。ここで熱処理装置を停止するとは、熱処理炉３１においては、そのとき実施している所定の熱処理はそのまま遂行して、所定の熱処理後ウエハボート４のアンロードまでは通常通りに行うが、その後の動作は停止することをいい、ウエハボート４が次のステージに移載されることを禁止したり、ウエハボート４に対してウエハＷの移載を行うことを禁止したりするというものである。

以下に図７を参照して具体的に説明するが、ここでは説明の煩雑化を避けるために、１基のウエハボート４の搬送を例にして説明する。先ずオペレータがコンピュータの表示画面８１にて載置許容回数を入力する（ステップＳ１０）。ここで載置許容回数とは、前記ウエハボート４がステージに載置できる許容回数として設定される回数であり、オペレータの経験に基づいてウエハボート４の位置ずれ量を考慮して決定される。この例では載置許容回数は６回とする。そしてウエハボート４をボート搬送手段７により基板移載用ステージ５２に載置して、キャリアＣ内のウエハＷを当該ウエハボート４に移載する。この基板移載用ステージ５２にウエハボート４が載置されると、既述のようにウエハボート４の位置合わせが行なわれ、載置回数が０にリセットされる（ステップＳ１１）。

次いでウエハボート４をボート搬送手段７によりボートエレベータ５１の断熱材３３上に移載し、載置回数に１を加算する（ステップＳ１２）。続いてボートエレベータ５１を上昇させて、当該ウエハボート４を熱処理炉３１に搬入し、ウエハＷに対して所定の熱処理を行った後、ボートエレベータ５１を下降させて、ウエハボート４を熱処理炉３１から搬出する。この後ウエハボート４をボート搬送手段７により次のステージに移載し（ステップＳ１３）、次いでステップＳ１４にて当該ステージが基板移載用ステージ５２か否かを判断する。そして基板移載用ステージ５２であるときには、当該ステージにウエハボート４が移載されると、ウエハボートの位置合わせが行なわれるので、ステップＳ１５に進んで載置回数を０にリセットし、さらにステップＳ１３に進む。

一方基板移載用ステージ５２ではないときには、ステップＳ１６に進み、載置回数に１を加算し、次いでステップＳ１７にて当該載置回数が載置許容回数と一致するか否かを判断する。前記回数が一致する場合にはステップＳ１８に進み、アラーム発生手段８２にアラーム発生指令を出力して、所定のアラーム表示を行い、次いでステップＳ１９にて熱処理装置に停止指令を出力する。この停止指令では、既述のようにウエハボート４を次のステージへ移載することを禁止し、又はウエハボート４へのウエハＷの移載を禁止する。

続いてステップＳ２０に進んで、オペレータがボート搬送手段７を続行させるか、ウエハボート４をボート搬送手段７により基板移載用ステージ５２に強制的に移載し、ウエハボート４の位置合わせを行なうか否かを選択する。なおステップＳ１７にて前記載置回数と載置許容回数とが一致しない場合には、ステップＳ１３に進み、処理を続行する。

続いて載置回数が６回になり、アラーム指令が出力される場合の具体例について、図８及び図９を用いて説明するが、このような例は、処理の途中で何らかのトラブルが発生して、第１及び第２のウエハボート４Ａ，４Ｂのいずれかが基板移載用ステージ５２に載置されたままの状態となって、通常のウエハボート４の移載作業を行えない場合等に発生する。

例えば図８（ａ）に示すように、基板移載用ステージ５２にてウエハが移載された第１のウエハボート４Ａをボートエレベータ５１に移載することにより、載置回数が１回となり、次いで図８（ｂ）に示すように、熱処理が終了した第１のウエハボート４Ａを退避用ステージ５３に移載することによって、載置回数が２回となる。ここで第２のウエハボート４Ｂが基板移載用ステージ５２に載置されたままの状態が発生したと仮定すると、基板移載用ステージ５２に第１のウエハボート４Ａが移載できないので、図８（ｃ）に示すように、第１のウエハボート４Ａはボートエレベータ５１上に再び戻されて、例えばここで処理済みのウエハＷをキャリアＣに戻す移載作業が行われ、これにより載置回数が３回となる。そして再び第１のウエハボート４Ａを退避用ステージ５３に移載すると、載置回数が４回となる（図９（ａ）参照）。

この時点でも未だに第２のウエハボート４Ｂが基板移載用ステージに載置されたままの状態であって、引き続いて第１のウエハボート４Ａについて熱処理を行うとすると、図９（ｂ）に示すように、当該ウエハボート４Ａは再びボートエレベータ５１上に載置されるので、載置回数が５回となり、次いで熱処理後のウエハボート４を退避用ステージ５３に移載することにより載置回数が６回となる（図９（ｃ）参照）。またこのようなケースではなくても、ボート搬送手段７が同じステージにウエハボート４を載置し直したときにも、載置回数は１回加算される。
このような構成では、ウエハボート４をボート搬送手段７により、ボートエレベータ５１、基板移載用ステージ５２及び退避用ステージ５３の各ステージに移載するときに、載置回数を計数し、当該載置回数が予め設定された載置許容回数と一致した場合に、アラームを出力しているので、作業者にウエハボート４の位置合わせが必要であることが通知される。このため作業者がウエハボート４の位置合わせを行なうタイミングを認識することができ、ウエハボート４を前記ステージの間で移載するときに発生する位置ずれ量の累積を抑えることができる。

また前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致した場合に、装置を停止しているので、位置ずれ量の許容値を越えた状態でウエハボート４を搬送することが抑えられる。従ってウエハボート４は必ず位置ずれ量が許容される状態で各ステージに搬送されるので、ボート搬送手段７がウエハボート４を受け取ることができずに、ボート搬送手段７がウエハボート４に衝突して、ウエハボート４が転倒したり、ウエハボート４やボート搬送手段７が破損するといったことが抑えられる。

さらにボートエレベータ５１上にウエハボート４を搭載して、このウエハボート４に対してキャリアＣとの間でウエハＷの受け渡しを行う際に、当該ウエハＷの移載作業を行うことができなくなり、ウエハボート４にウエハ搬送機構４が衝突するといった事故の発生が抑えられ、ウエハボート４やウエハ搬送機構４の破損などの事故を防止することができる。

さらにまたウエハボート４がボートエレベータ５１や退避用ステージ５３に搬送されたときにも、位置ずれ量が許容範囲にあり、これらステージにおけるウエハボート４の位置精度が高いので、これらに載置されたウエハボート４に対しても、キャリアＣとの間でウエハＷの移載作業を行なうことができ、運用の自由度が高まるという利点も得られる。なお図２は基板移載用ステージ５２とボートエレベータ５１上のウエハボート４に対して、ウエハ搬送機構５４によりキャリアＣとの間でウエハＷの移載作業を行なう場合の構成例であり、図１０は基板移載用ステージ５２とボートエレベータ５１と退避用ステージ５３上のウエハボート４に対して、ウエハ搬送機構５４によりキャリアＣとの間でウエハＷの移載作業を行なう場合の構成例である。図１０の構成例では、ボート搬送手段７はウエハボート４におけるウエハＷの移載領域の下方側を支持して搬送するので、例えばウエハ搬送機構５４の下方側に配置されている。

以上において、本発明では、前記判断手段１０３により載置回数と載置許容回数とが一致すると判断したときに、当該ウエハボート４を位置合わせ手段６に強制的に移載し、当該ウエハボート４の位置合わせを行なうように、ボート搬送手段制御部１０４により前記ボート搬送手段７を制御するようにしてもよい。また位置合わせ手段６は、退避用ステージ５３と組み合わせて設けるようにしてもよいし、基板移載用ステージ５２や退避用ステージ５３と別個に設けてもよい。

また本発明は、熱処理装置においてウエハＷに対して処理を行う場合のみならず、装置の組み立て段階においてウエハボート４を熱処理装置内に設置する場合にも適用できる。この場合についてのウエハボート４の移載フローについて説明すると、先ずオペレータによりウエハボート４を退避用ステージ５３上に載置する。そしてボート搬送手段７によりウエハボート４の搬送を行なう際に、次の搬送先が基板移載用ステージ５２であるか否かを判断し、基板移載用ステージ５２であれば搬送を行ない、次の搬送先が基板移載用ステージ５２ではなくボートエレベータ５１であれば、ボート搬送手段７を停止する。そして例えばオペレータによりボート搬送手段７に対してウエハボート４を基板移載用ステージ５２に搬送するように指令を出力し、ウエハボート４を基板移載用ステージ５２に搬送して、当該基板移載用ステージ５２にて、ウエハボート４の位置合わせを行なう。 このような構成では、ウエハボート４を熱処理装置内に設置した直後であって、ウエハボート４の位置合わせが行なわれていない場合でも、必ず次の搬送先が基板移載用ステージ５２となり、ここでウエハボート４の位置合わせを行うことができる。従ってボートエレベータ５１に対しては、位置合わせ後のウエハボート４を搬送することができるので、位置合わせが行なわれていないウエハボート４をボートエレベータ５１上に搬送してしまい、ウエハボート４とボートエレベータ５１や断熱材３１との衝突やウエハボート４の落下等の発生を抑えることが抑えられる。ボートエレベータ５の断熱材３３は石英により構成されており、ここにウエハボート４を移載するときには高い位置精度が要求されるため、ボートエレベータ５１に搬送する前にウエハボート４の位置合わせを行なうようにすることは有効である。

さらに本発明では、例えばメンテナンス時や装置の調整時などに、オペレータによりウエハボート４を位置合わせ手段６に載置し、ウエハボート４の位置合わせ作業をマニュアル動作で行った場合においても前記載置回数が０にリセットされ、制御部１００における計数手段１０２が当該載置回数を０と認識するように構成してもよい。

本発明にかかる縦型熱処理装置の一実施の形態の全体構成を示す断面図である。 前記縦型熱処理装置を示す平面図である。 前記縦型熱処理装置に設けられるウエハボートと、ボート搬送手段とを示す概略斜視図である。 前記ボート搬送手段によるウエハボートの搬送を説明するための工程図である。 基板移載用ステージに設けられる位置合わせ手段を示す断面図である。 本発明におけるウエハＷの流れを説明するための工程図である。 本発明における作用を説明するためのフローチャートである。 ボート搬送手段によるウエハボートの各ステージへの移載例を説明するための工程図である。 ボート搬送手段によるウエハボートの各ステージへの移載例を説明するための工程図である。 本発明にかかる縦型熱処理装置の他の例を示す平面図である。 従来の縦型熱処理装置の一部を示す側面図である。 従来の縦型熱処理装置の一部を示す側面図と平面図である。 従来の縦型熱処理装置におけるウエハボートの搬送を説明するための工程図である。

符号の説明

Ｗ 半導体ウエハ
Ｃ キャリア
３１ 熱処理炉
３３ 断熱材
４Ａ，４Ｂ ウエボート
５１ ボートエレベータ
５２ 基板移載用ステージ
５３ 退避用ステージ
６ 位置合わせ手段
７ ボート搬送手段
８１ 表示手段
８２ アラーム発生手段
１００ 制御部
１０２ 計数手段
１０３ 判断手段
１０４ ボート搬送手段制御部

Claims (7)

1. 複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、
   その上部に前記保持具が載置され、基板移載手段によりこの保持具に対して基板の移載を行うための基板移載用ステージと、
   その上部に前記保持具が載置される退避用ステージと、
   前記ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で前記保持具を搬送して載置する保持具搬送手段と、
   その上に前記保持具を載置して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ手段と、
   前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを１回として、保持具毎にその載置回数を計数すると共に、前記位置合わせ手段に前記保持具が載置されたときに前記載置回数を０にする計数手段と、
   前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する手段と、
   前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具を前記位置合わせ手段に載置し、この保持具の位置合わせを行なうように、前記保持具搬送手段を制御する手段と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。
2. 複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、
   その上部に前記保持具が載置され、基板移載手段によりこの保持具に対して基板の移載を行うための基板移載用ステージと、
   その上部に前記保持具が載置される退避用ステージと、
   前記ボートエレベータ、基板移載用ステージ及び退避用ステージの間で前記保持具を搬送して載置する保持具搬送手段と、
   その上に前記保持具を載置して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ手段と、
   前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを１回として、保持具毎にその載置回数を計数すると共に、前記位置合わせ手段に前記保持具が載置されたときに前記載置回数を０にする計数手段と、
   前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する手段と、を備え、
   前記位置合わせ手段は、基板移載用ステージ又は退避用ステージに設けられることを特徴とする熱処理装置。
3. 前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具が次のステージに移動することを禁止する手段を含むことを特徴とする請求項１または２記載の熱処理装置。
4. 複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理方法において、
   この保持具の一方を基板移載用ステージの上に載置して、当該保持具に対して基板の移載を行なう工程と、
   次いでこの保持具をボートエレベータのステージの上に移載して熱処理炉内に搬入し、当該保持具に搭載された基板に対して熱処理を行なう工程と、
   次いで保持具を熱処理炉から搬出し、退避用ステージの上に移載する工程と、
   前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを一回として、保持具毎にその載置回数を計数する工程と、
   前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する工程と、
   前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、前記保持具を位置合わせ手段に搬送して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ工程と、
   前記保持具の位置合わせが行なわれたときに前記載置回数を０にする工程と、を含むことを特徴とする熱処理方法。
5. 複数の基板が棚状に保持される保持具を２基備えると共に、前記保持具の一方をボートエレベータ上のステージに載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記一方の保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理方法において、
   この保持具の一方を基板移載用ステージの上に載置して、当該保持具に対して基板の移載を行なう工程と、
   次いでこの保持具をボートエレベータのステージの上に移載して熱処理炉内に搬入し、当該保持具に搭載された基板に対して熱処理を行なう工程と、
   次いで保持具を熱処理炉から搬出し、退避用ステージの上に移載する工程と、
   前記保持具が各ステージのいずれかに載置されたときを一回として、保持具毎にその載置回数を計数する工程と、
   前記保持具を、基板移載用ステージ又は退避用ステージに設けられた位置合わせ手段に搬送して、当該保持具を前記ステージの基準載置位置に位置させるための位置合わせ工程と、
   前記保持具の位置合わせが行なわれたときに前記載置回数を０にする工程と、
   前記載置回数が予め設定された載置許容回数と一致したときに、アラームを出力する工程と、を含むことを特徴とする熱処理方法。
   
6. 前記載置回数と前記載置許容回数とが一致したときに、当該保持具が次のステージに移動することを禁止する工程を含むことを特徴とする請求項４または５記載の熱処理方法。
7. 複数の基板が棚状に保持される保持具をボートエレベータ上に載置して、このボートエレベータを上昇させることにより、前記保持具を熱処理炉内に下方側から搬入し、前記基板に対して熱処理を行う熱処理装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
   前記コンピュータプログラムは、請求項４ないし６のいずれかに記載された熱処理方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。

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