KR20080059068A

KR20080059068A - 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법

Info

Publication number: KR20080059068A
Application number: KR1020070134855A
Authority: KR
Inventors: 히로미 니따도리; 히로후미 가네꼬
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2006-12-22
Filing date: 2007-12-21
Publication date: 2008-06-26
Also published as: CN101207006B; TW200847311A; US7798811B2; CN101207006A; JP2008159793A; US20080153049A1; JP4335908B2; KR101194547B1; TWI393203B

Abstract

본 발명의 과제는, 이른바 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통 상의 보트의 전도를 간단한 구조로 방지하는 것이다.

종형 열처리 장치는 하부에 노구(5a)를 갖는 열처리로(5)와, 그 노구(5)를 폐색하는 덮개체(17)와, 덮개체(17) 상에 보온통(19)을 통해 적재되고 다수의 기판(W)을 다단으로 보유 지지하는 기판 보유 지지구(4)와, 덮개체(17)에 설치되어 보온통(19)을 통해 기판 보유 지지구(4)를 회전시키는 회전 기구(20)와, 덮개체(17)를 승강시켜 기판 보유 지지구(4)를 노 내로 반입·반출하는 승강 기구(18)를 구비하고 있다. 한쪽의 기판 보유 지지구(4)가 노 내에 있을 때에, 다른 하나의 기판 보유 지지구(4)는 기판의 이동 적재를 위해 적재대(22) 상에 적재되고, 적재대(22)와 보온통(19)과의 사이에서 기판 보유 지지구(4)는 반송 기구(23)에 의해 반송된다. 보온통(19)의 상부와 각 기판 보유 지지구(4)의 바닥부에, 기판 보유 지지구(4)를 반송 기구(23)에 의해 보온통(19)의 바로 위에 위치시킨 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시킨 경우에, 서로 계지 가능 또는 해제 가능하게 되는 걸림부(25)와 피계지부(26)가 설치되어 있다.

기판 보유 지지구, 반송 기구, 보온통, 기판, 열처리로

Description

종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법 {VERTICAL HEAT PROCESSING APPARATUS AND VERTICAL HEAT PROCESSING METHOD}

본 특허 출원은, 2006년 12월 22일에 제출된 일본 출원인 일본 특허 출원 제2006-346362호의 이익을 받는다. 이들 이전의 출원에 있어서의 전체 개시 내용은, 인용함으로써 본 명세서의 일부가 된다.

본 발명은, 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법에 관한 것이다.

반도체 장치의 제조에 있어서는, 반도체 웨이퍼(기판)에 예를 들어 산화 처리, 성막 처리 등의 각종 처리를 실시하는 공정이 있고, 이러한 처리를 행하는 장치로서 예를 들어 다수매의 웨이퍼를 뱃치(batch)식으로 처리 가능한 종형 열처리 장치(반도체 제조 장치)가 이용되고 있다[예를 들어, 특허 문헌 1(일본 특허 제3378241호 공보) 참조]. 이 종형 열처리 장치는, 하부에 노구(爐口)를 갖는 종형의 열처리로의 하방에 로딩 영역(이동 적재 영역)을 갖고, 이 로딩 영역에는 상기 노구를 개폐하는 덮개의 상부에 대구경 예를 들어 직경 300 ㎜의 다수매(100 내지 150매 정도)의 웨이퍼를 탑재 보유 지지하는 보트(기판 보유 지지구)가 보온통을 통해 적재된다. 또한 덮개를 승강시켜 보트를 열처리로 내에 반입·반출하는 승강 기구나, 복수매의 웨이퍼를 수납한 캐리어(수납 용기)와 상기 보트와의 사이에서 웨이퍼의 이동 적재를 행하는 이동 적재 기구가 설치되어 있다.

상기 보트는, 석영제로, 매우 고가의 것이다. 또한, 상기 웨이퍼도 고가이며, 처리 공정이 진행함에 따라 제조 비용이 증대한다. 따라서, 이것들의 취급은 신중하게 행해진다.

그러나, 전술한 뱃치식의 반도체 제조 장치에 있어서는, 장치의 구성상, 하드 및 소프트의 면에서 다양한 제약이 있어, 내진(耐震) 구조 또는 내진 기능을 갖게 하는 것이 어려워, 충분한 내진 대책이 이루어져 있지 않은 것이 현실이다. 이로 인해, 지진이 발생하여 장치가 큰 요동을 받으면, 보트가 전도(轉倒)하여 보트나 웨이퍼의 파손 등, 큰 손해를 초래할 우려가 있다.

이 문제를 해소하기 위해, 특허 문헌 1(일본 특허 제3378241호 공보)에 기재된 종형 열처리 장치에 있어서는, 기판 보유 지지구의 바닥판과 보온통을 기판 보유 지지구 고정 부재에 의해 서로 연결 고정하는 구조가 채용되어 있다.

그런데, 종형 열처리 장치에 있어서는, 상기 보트를 2개 사용하여, 한쪽의 보트를 열처리로 내에 반입하여 열처리를 행하고 있는 동안에, 다른 쪽의 보트에 대한 반도체 웨이퍼의 이동 적재를 행하도록 한, 이른바 투 보트 시스템을 채용한 것이 있다.

그러나, 이러한 투 보트 시스템을 채용한 종형 열처리 장치에 있어서는, 보온통 상의 보트의 교환을 수반하므로, 기판 보유 지지구 고정 부재에 의해 보온통과 기판 보유 지지구를 연결 고정하는 구조를 채용하는 것이 어려워, 지진 등의 외 력을 받으면 보온통 상의 보트가 전도할 우려가 있다. 또한, 덮개 상에 보온통을 갖지 않는 타입인 것에 있어서는, 덮개 상의 적재부에 회전에 의해 기판 보유 지지구에 결합 해제 가능한 로크 부재와, 이 로크 부재를 회전시키는 회전부를 설치한 구조인 것이 제안되어 있다[특허 문헌 2(일본 특허 출원 공개 제2003-258063호 공보) 참조]. 그러나, 이 구조의 것은 기판 보유 지지구를 회전시키는 회전 기구 외에 로크 부재의 회전부가 필요하기 때문에, 부득이하게 구조의 번잡화를 초래할 뿐만 아니라, 보온통을 갖는 것에는 적용할 수 없다.

본 발명은, 상기 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통 상의 보트의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있는 종형 열처리 장치 및 종형 열처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 하부에 노구가 형성된 열처리로와, 다수의 기판을 보유 지지하는 동시에 열처리로 내에 반입되어 기판에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 기판 보유 지지구와, 열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체와, 덮개체 상에 설치된 보온통과, 덮개체에 설치되어 덮개체 및 보온통을 회전시키는 회전 기구와, 덮개체를 승강시키는 승강 기구와, 열처리로의 하방에 인접하여 설치된 적재대와, 한 쌍의 기판 보유 지지구의 각각을 보온통 상 및 적재대 상 사이에서 반송하는 반송 기구를 구비하고, 각 기판 보유 지지구 및 보온통 중 한 쪽에 계지부를 설치하는 동시에 다른 쪽에 피계지부를 설치하고, 당해 기판 보유 지지구를 반송 기구에 의해 보온통 바로 위에 보유 지지하고, 또한 회전 기구에 의해 보온통을 회전시킴으로써, 계지부와 피계지부가 계지 가능 또는 해제 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.

본 발명은, 각 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 이들 지지 기둥의 외측부에 홈 형상으로 형성되고, 계지부는 상기 바닥판의 하면에 각 피계지부에 계지되도록 갈고리 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.

본 발명은, 상기 회전 기구는 보온통의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서와, 상기 센서로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통을 회전 제어하기 위한 제어 장치를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.

본 발명은, 계지부는 보온통에 설치되고, 이 계지부는 보온통의 상부 중앙으로부터 우뚝 솟아 좌우 방향으로 플랜지 형상으로 연장되고, 각 기판 보유 지지구는 상기 보온통의 상부에 적재 가능한 바닥판을 갖고, 상기 바닥판에는 계지부가 통과 가능한 열쇠 구멍이 형성되고, 상기 열쇠 구멍을 통과한 계지부를 보온통과 일체로 소정 각도 회전시킴으로써 상기 계지부와 대향하는 상기 바닥판의 상면이 피계지부가 되어 계지부에 계지되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.

본 발명은, 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 각 지지 기둥 상부에 마련된 나사 구멍으로 이루어지고, 계지부는 바닥판으로부터 나사 구멍에 삽입 장착되는 장착 나사로 이루어지는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치이다.

본 발명은 열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체 상에 다수의 기판을 보유 지지한 1개의 기판 보유 지지구를 보온통을 통해 적재하는 공정과, 덮개체를 승강 기구에 의해 상승시켜 기판 보유 지지구를 열처리로 내에 반입하는 공정과, 회전 기 구에 의해 덮개체, 보온통 및 기판 보유 지지구를 회전시키면서 열처리로 내에서 기판을 열처리하는 동시에, 적재대 상에 적재된 다른 기판 보유 지지구에 대해 기판을 이동 적재하는 공정과, 열처리로 내에서의 열처리 후에 반송 기구에 의해 1개의 기판 보유 지지구를 보온통 상으로부터 적재대 상으로 반송하는 동시에, 적재 상의 다른 기판 보유 지지구를 적재대 상으로부터 보온통 상으로 반송하는 공정을 구비하고, 각 기판 보유 지지구 및 보온통 중 한 쪽에 계지부를 설치하는 동시에 다른 쪽에 피계지부를 설치하고, 다른 기판 보유 지지구를 반송 기구에 의해 보온통 바로 위에 보유 지지하고, 또한 회전 기구에 의해 보온통을 회전시킴으로써, 계지부와 피계지부가 계지된 상태로 하고, 그 후 당해 기판 보유 지지구를 더욱 하강시켜 보온통 상에 적재하는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.

본 발명은, 각 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 이들 지지 기둥의 외측부에 홈 형상으로 형성되고, 계지부는 상기 바닥판의 하면에 각 피계지부에 계지되도록 플랜지 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.

본 발명은, 상기 회전 기구는 보온통의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서와, 상기 센서로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통을 회전 제어하기 위한 제어 장치를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.

본 발명은, 계지부는 보온통에 설치되고, 이 계지부는 보온통의 상부 중앙으 로부터 우뚝 솟아 좌우 방향으로 플랜지 형상으로 연장되고, 각 기판 보유 지지구는 상기 보온통의 상부에 적재 가능한 바닥판을 갖고, 상기 바닥판에는 상기 계지부가 통과 가능한 열쇠 구멍이 형성되고, 상기 열쇠 구멍을 통과한 계지부를 보온통과 일체로 소정 각도 회전시킴으로써 상기 계지부와 대향하는 상기 바닥판의 상면이 피계지부가 되어 계지부에 계지되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법이다.

본 발명에 따르면, 이른바 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통 상의 보트의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다.

이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대해, 첨부 도면을 바탕으로 상세하게 서술한다. 도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 종형 열처리 장치를 개략적으로 도시하는 종단면도, 도2는 상기 종형 열처리 장치의 로딩 영역 내의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도, 도3은 보온통 상의 웨이퍼 보트의 적재 상태를 개략적으로 도시하는 사시도, 도4는 반송 기구에 의해 웨이퍼 보트를 보온통 상에 적재하는 상태를 도시하는 사시도, 도5는 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 된 상태를 도시하는 사시도이다.

도1 및 도2에 도시하는 바와 같이, 클린룸 내에 반도체 제조 장치, 예를 들어 종형 열처리 장치(1)가 설치되고, 이 열처리 장치(1)는 장치의 외부를 형성하는 하우징(2)을 구비하고 있다. 이 하우징(2) 내에는, 복수의 반도체 웨이퍼(기판 )(W)를 수납한 캐리어(수납 용기)(3)의 반송·보관을 행하기 위한 반송 보관 영역 Sa와, 작업 영역(이동 적재 영역)인 로딩 영역 Sb가 형성되고, 이들 반송 보관 영역 Sa와 로딩 영역 Sb는 격벽(6)에 의해 서로 구획되어 있다.

또한 하우징(2) 내에는 하부에 노구(5a)가 형성된 열처리로(5)와, 다수의 웨이퍼(W)를 보유 지지하는 동시에 열처리로(5) 내에 반입되어 웨이퍼(W)에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 보트(기판 보유 지지구)(4)가 배치되어 있다.

또한 각 보트(4)는 다수, 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 소정 피치로 다수 탑재할 수 있다. 또한 로딩 영역 Sb 내에 있어서 보트(4)와 캐리어(3)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 이동 적재 작업을 행하거나, 열처리로(5)에 대해 보트(4)의 반입·반출 작업을 행할 수 있다.

열처리로(5)의 노구(5a)는 덮개체(17)에 의해 폐색되고, 이 덮개체(17) 상에 보온통(19)이 설치되어 있다. 또한 덮개체(17)의 하부에는, 덮개체(17) 및 보온통(19)을 회전시키는 회전 기구(20)가 설치되고, 또한 덮개체(17)에는 덮개체(17)를 승강시키는 승강 기구(18)가 설치되어 있다.

또한, 로딩 영역 Sb 내에는, 열처리로(5)의 하방에 인접하여 적재대(22)가 설치되고, 또한 각 보트(4)는 보온통(19) 상 및 적재대(22) 상과의 사이에서 보트 반송 기구(23)에 의해 반송되도록 되어 있다.

상기 캐리어(3)는 소정 구경, 예를 들어 직경 300 ㎜인 웨이퍼를 수평 상태에서 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 복수매 예를 들어 13 내지 25매 정도 수용 가능하고 운반 가능한 플라스틱제의 용기로 이루어지고, 그 전방면부에 개방 형성된 웨이퍼 취출구에 이것을 기밀하게 폐색하기 위한 덮개를 착탈 가능하게 구비하고 있다(도시 생략).

상기 하우징(2)의 전방면부에는, 오퍼레이터 혹은 반송 로봇에 의해 캐리어(3)를 반입 반출하기 위한 반입출구(7)가 설치되고, 이 반입출구(7)에는 상하로 슬라이드 개폐하는 도어(8)가 설치되어 있다. 반송 보관 영역 Sa에는, 반입출구(7) 근방에 캐리어(3)를 적재하기 위한 적재대(9)가 설치되고, 이 적재대(9)의 후방부에는 캐리어(3)의 덮개를 개방하여 웨이퍼(W)의 위치 및 매수를 검출하는 센서 기구(10)가 설치되어 있다. 또한, 적재대(9)의 상방 및 격벽(6)측의 상방에는, 복수의 캐리어(3)를 보관해 두기 위한 보관 선반(11)이 설치되어 있다.

반송 보관 영역 Sa 내의 상기 격벽(6)측에는, 웨이퍼의 이동 적재를 행하기 위해, 캐리어(3)를 적재하기 위한 이동 적재 스테이지(12)가 설치되어 있다. 반송 보관 영역 Sa에는, 상기 적재대(9), 보관 선반(11) 및 이동 적재 스테이지(12)의 사이에서 캐리어(3)의 반송을 행하기 위한 캐리어 반송 기구(13)가 설치되어 있다.

캐리어 반송 영역 Sa는, 도시하지 않은 공기 청정기(팬·필터 유닛)에 의해 청정화된 대기 분위기로 되어 있다. 로딩 영역 Sb도, 그 일측에 설치한 공기 청정기(팬·필터 유닛)(14)에 의해 청정화되어 있고, 양압(陽壓)의 대기 분위기 또는 불활성 가스(예를 들어, N₂ 가스) 분위기로 되어 있다. 상기 격벽(6)에는, 이동 적재 스테이지(12)에 적재된 캐리어(3)의 전방면부를 반송 보관 영역 Sa측으로부터 접촉시켜 캐리어(3) 내와 로딩 영역 Sb 내를 연통하기 위한 도시하지 않은 개구부 가 설치되어 있는 동시에, 상기 개구부를 로딩 영역 Sb측으로부터 폐쇄하는 도어(15)가 개폐 가능하게 설치되어 있다. 개구부는, 캐리어(3)의 취출구와 대략 동일 구경으로 형성되어 있고, 개구부로부터 캐리어(3) 내의 웨이퍼의 출입이 가능하게 되어 있다.

상기 도어(15)에는 캐리어(3)의 덮개를 개폐하는 도시하지 않은 덮개 개폐 기구 및 도어(15)를 로딩 영역 Sb측으로부터 개폐하는 도시하지 않은 도어 개폐 기구가 설치되고, 이 도어 개폐 기구에 의해 도어(15) 및 덮개가 로딩 영역 Sb측으로 개방 이동되고, 또한 웨이퍼의 이동 적재의 방해가 되지 않도록 상방 또는 하방으로 이동(퇴피)되도록 되어 있다. 상기 이동 적재 스테이지(12)의 하방에는, 결정 방향을 맞추기 위해 웨이퍼의 주연부에 설치되어 있는 노치(절결부)를 일방향으로 정렬시키기 위한 노치 정렬 기구(16)가 설치되어 있다. 이 노치 정렬 기구(16)는 로딩 영역 Sb측에 면하여 개방되어 있고, 후술하는 이동 적재 기구(24)에 의해 이동 적재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)로부터 이동 적재되는 웨이퍼의 노치를 정렬시키도록 구성되어 있다.

한편, 로딩 영역 Sb의 깊이부 상방에는, 상술한 바와 같이 하부에 노구(5a)를 갖는 종형의 열처리로(5)가 설치되어 있고, 로딩 영역 Sb에는 다수 예를 들어 100 내지 150매 정도의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 소정 간격으로 다단으로 탑재한 예를 들어 석영제의 보트(4)가 배치되고, 이 보트(4)는 덮개체(17)의 상부에 보온통(19)을 통해 적재된다. 보트(4)를 열처리로(5) 내에 반입·반출하거나 노구(5a)를 개폐하기 위해, 덮개체(17)는 승강 기구(18)에 의해 승강된다. 상술한 바와 같 이 덮개체(17)의 상부에는 그 폐색시에 노구(5a) 부분으로부터의 방열을 억제하는 보온통(차열체)(19)이 적재되고, 이 보온통(19)의 상부에 보트(4)가 적재되어 있다. 열처리로(5)는 반응관과, 이 반응관의 주위에 설치된 가열 장치(히터)로 주로 구성되고, 반응관에는 처리 가스나 불활성 가스(예를 들어, N₂)를 도입하는 가스 도입계와, 반응관 내를 소정의 진공도로 감압 배기 가능한 진공 펌프를 갖는 배기계가 접속되어 있다.

또한 상기 덮개체(17)에는 보온통(19)을 통해 보트(4)를 회전하는 회전 기구(20)가 설치되어 있다. 노구(5a)의 근방에는, 덮개체(17)가 개방되어 열처리 후의 보트(4)가 반출되었을 때에 노구(5a)를 차폐하기 위한 셔터(21)가 수평 방향으로 개폐 이동 가능(선회 가능)하게 설치되어 있다. 이 셔터(21)는 이것을 수평 방향으로 선회 이동시켜 개폐시키는 도시하지 않은 셔터 구동 기구를 갖고 있다.

로딩 영역 Sb의 일측, 즉 공기 청정기(14)측에는 웨이퍼(W)의 이동 적재 등을 위해 보트(4)를 적재해 두기 위한 적재대인 보트 적재대(보트 스테이지, 기판 보유 지지구 적재대라고도 함)(22)가 설치되어 있다. 이 보트 적재대(22)는 1개라도 좋지만, 도2에 도시하는 바와 같이 공기 청정기(14)를 따라 전후에 배치된 제1 적재대(차지 스테이지)(22a)와 제2 적재대(스탠바이 스테이지)(22b)의 2개로 되어 있는 것이 바람직하다.

로딩 영역 Sb 내의 하방이며, 이동 적재 스테이지(12)와 열처리로(5)와의 사이에는, 보트 적재대(22)와 덮개체(17) 상의 보온통(19)과의 사이, 구체적으로는 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 혹은 제2 적재대(22b)와 강하된 덮개체(17) 상의 보온통(19)과의 사이, 및 제1 적재대(22a)와 제2 적재대(22b)와의 사이에서 보트(4)의 반송을 행하는 반송 기구인 보트 반송 기구(23)가 설치되어 있다. 또한, 이 보트 반송 기구(23)의 상방에는, 이동 적재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)와 보트 적재대(22) 상의 보트(4)와의 사이, 구체적으로는 이동 적재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)와 노치 정렬 기구(16)와의 사이, 노치 정렬 기구(16)와 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 상의 보트(4)와의 사이, 및 제1 적재대(22a) 상의 열처리 후의 보트(4)와 이동 적재 스테이지(12) 상의 빈 캐리어(3)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 이동 적재를 행하기 위한 이동 적재 기구(24)가 설치되어 있다.

보트(4)는, 도3에 도시하는 바와 같이 천장판(4a)과, 바닥판(4b)과, 천장판(4a)과 바닥판(4b)과의 사이에 설치된 복수 예를 들어 3개의 지지 기둥(4c)을 갖고 있다. 상기 지지 기둥(4c)에는 웨이퍼(W)를 다단으로 보유 지지하기 위한 홈부(4d)가 소정 피치로 빗살 날 형상으로 형성되어 있다. 정면측의 좌우의 지지 기둥(4c)의 사이는, 웨이퍼를 출입시키기 위해 확대 개방되어 있다.

보트 반송 기구(23)는 1개의 보트(4)를 수직으로 지지하여 수평으로 신축 가능한 아암을 갖고 있다. 보트 반송 기구(23)는 수평 선회 및 승강 가능한 제1 아암(23a)과, 이 제1 아암(23a)의 선단부에 수평 선회 가능하게 축지지되어 보트(4)의 하면[바닥판(4b)의 하면]을 지지하는 평면 대략 U자 형상의 제2 아암(23b)과, 제1 아암(23a) 및 제2 아암(23b)을 구동하는 구동부(23c)와, 이것들 전체를 승강 이동시키는 승강 기구(23d)를 구비하고, 제1 아암(21a)과 제2 아암(21b)의 수평 선 회 동작을 동기시킴으로써, 수평 직선 방향의 반송이 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이 하여 아암을 신축시킴으로써 보트(4)를 반송하는 영역을 필요 최소한으로 하는 것이 가능해, 장치 폭과 깊이 치수를 감소할 수 있다.

상기 이동 적재 기구(24)는 수평 회전 가능한 베이스(24a)와, 베이스(24a) 상에 진퇴 가능하게 설치되고, 반도체 웨이퍼를 적재하는 복수매 예를 들어 5매의 박판 형상의 이동 적재 아암(24b)을 갖고 있다. 상기 이동 적재 아암(24b)으로서는, 5매 중의 중앙의 매엽 이동용의 1매의 이동 적재 아암과, 다른 4매의 이동 적재 아암이 베이스(24a) 상에 독립적으로 진퇴 가능하게 설치되어 있는 동시에, 다른 4매의 이동 적재 아암이 중앙의 이동 적재 아암을 기준으로 하여 상하 방향으로 피치 변환 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 베이스(24a)는 로딩 영역 Sb의 다른 측에 설치된 승강 기구(24c)에 의해 승강 가능하게 되어 있다.

상기 보온통(19) 상에 적재된 보트(4)가 지진 등의 외력에 의해 전도되지 않도록, 상기 보온통(19)의 상부에 걸림부(계지부)(25)가 설치되고, 보트(4)의 바닥부(4b)에는 걸림부(25)에 계지되는 계지 홈부(피계지부)(26)가 설치되어 있다. 도5 내지 도9에 도시하는 바와 같이 보트(4)를 보트 반송 기구(23)에 의해 보온통(19)의 바로 위에 위치시킨 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도, 예를 들어 90도 회전시킴으로써 서로 계지 가능 또는 해제 가능하게 된다.

도3 내지 도5에 도시하는 바와 같이, 상기 보트(4)는 환형의 바닥판(4b)을 갖고, 상기 보온통(19)은 상기 바닥판(4b)의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수 예를 들어 4개의 지지 기둥(19a)을 갖고 있다. 더욱 구체 적으로는, 보온통(19)은 원판 형상의 베이스부(19b)와, 이 베이스부(19b)에 기립 설치된 복수의 지지 기둥(19a)과, 이들 지지 기둥(19a)을 따라 높이 방향으로 스페이서(19j)를 사이에 두고 적절한 간격으로 다단으로 배치된 복수매의 차열판(19c)을 갖고 있고, 이들 구성 부재는 예를 들어 석영에 의해 형성되어 있다. 지지 기둥(19a)은 원통 형상이며, 상단부에는 그 개구단을 폐색하는 상단 부재(19e)가 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 내외의 압력차에 의한 지지 기둥(19a)의 파손을 방지하기 위해 지지 기둥(19a)의 측면에는 지지 기둥(19a)의 내외를 연통하는 구멍부(19f)가 적절하게 형성되어 있다. 지지 기둥(19a)의 상단부, 즉 상단 부재(19e)에는 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 받치는 적재면(19g)과, 상기 적재면(19g)으로부터 우뚝 솟아 바닥판(4b)의 내주에 접하여 바닥판(4b)을 위치 결정하는 위치 결정부(19h)가 형성되어 있다. 바닥판(4b)의 내주에 위치 결정부(19h)가 끼워 맞춤 내지 결합되기 쉽게 하기 위해 위치 결정부(19h) 상단 모서리부에는 경사면(19i)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

보트(4)의 환형의 바닥판(4b)을 지지하기 위해, 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 배치된 상기 지지 기둥(19a)에 외접하는 외접원의 직경은 바닥판(4b)의 외경보다도 작게 형성되어 있다. 이로 인해, 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)이 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하여 보온통(19)의 지지 기둥(19a)의 상단부에 적재할 때에 지지 기둥(19a)과 간섭하지 않도록 되어 있다. 그리고, 이들 지지 기둥(19a)의 외측부에 홈 형상의 피계지부인 계지 홈부(26)가 마련되고, 상기 바닥판(4b)의 하면에는 상기 각 계지 홈부(26)에 계지되는 갈고리 형상(단면 L자 형상)의 복수의 계지부인 걸림부(25)가 상기 계지 홈부(26)와 대응하는 위치에 설치되어 있다.

걸림부(25)는 바닥판(4b)의 하면으로부터 수직 하강된 수직부(25a)와, 이 수직부(25a)의 하단으로부터 반경 방향 내측으로 돌출된 수평부(25b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 계지 홈부(26)는 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)를 보온통(19)의 바로 위로 반송하여 보유 지지한 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시켰을 때에, 그 계지 홈부(26) 내에 주위 방향으로부터 걸림부(25)의 수평부(25b)가 들어간다. 그때 계지 홈부(26)는 걸림부(25)의 수평부(25b)와 간섭하지 않는 홈 폭 및 홈 깊이로 형성되어 있다. 또한, 걸림부(25)가 계지 홈부(26)의 위치에 위치한 계지 가능 위치에서 보온통(19)의 회전이 정지하여, 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)가 더욱 하강되어 보온통(19)의 지지 기둥(19a) 상에 적재되었을 때에도, 걸림부(25)의 수평부(25b)가 계지 홈부(26)에 접하지 않도록 계지 홈부(26)의 홈 폭이 설계되어 있는 것이 파티클의 발생을 억제하기 위해 바람직하다(도6 참조). 상기 수평부(25b)의 선단 및 계지 홈부(26)의 바닥면은 보온통(19)의 회전 중심을 중심으로 하는 곡면 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 회전 기구(20)로서는, 예를 들어 일본 특허 제3579278호 공보에 기재된 것이 적용되어 있다. 즉, 도10에 도시하는 바와 같이 상기 덮개체(17)의 바닥부에는 축 구멍을 갖는 고정 부재(27)가 설치되고, 이 고정 부재(27)의 외주에는 바닥이 있는 통 형상의 회전 통체(28)가 상하에 배치된 도시하지 않은 베어링 및 자성 유체 시일을 통해 회전 가능하게 설치되고, 이 회전 통체(28)의 바닥부에는 상기 고정 부재(27)의 축 구멍에 헐겁게 끼워져 관통된 회전축(29)이 설치되어 있다. 이 회전축(29)의 상단부가 덮개체(17)의 중앙부를 헐겁게 관통하고, 이 회전축(29)의 상단부에는 회전 테이블(30)이 장착되어 있다. 회전 테이블(30)은 덮개체(17)의 상부와 간극을 두고 배치되고, 이 회전 테이블(30) 상에 상기 보온통(19)이 적재되고, 보온통(19)의 베이스부(19b)가 고정 부재(31)에 의해 회전 테이블(30)에 고정되어 있다. 회전 통체(28)에는 이것을 회전 구동하기 위한 모터(32)가 타이밍 벨트(33)를 통해 연결되어 있다.

또한, 상기 걸림부(25)와 상기 계지 홈부(26)가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 자동으로 회전 제어하기 위해, 상기 회전 기구(20)는 보온통(19)의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서(34)와, 상기 센서(34)로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 걸림부(25)와 상기 계지 홈부(26)가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 회전 제어하기 위한 제어 장치(35)를 갖고 있는 것이 바람직하다. 상기 회전 통체(28)의 외주부에는 피검출 부재(키커)(36)가 돌출되고, 이 피검출 부재(36)를 검출하기 위한 센서(34)가 덮개체(17)의 하방에 설치되어 있다. 상기 제어 장치(35)는, 열처리시에는 보온통(19)을 통해 보트(4)를 연속적으로 회전시키는 제어를 행하도록 되어 있다.

한편, 보트 반송 기구(23)에 의한 보트(4)의 반송 중에 그 보트(4)가 지진 등의 외력으로 전도되는 것을 방지하기 위해, 도4에 도시하는 바와 같이 상기 제2 아암(23b)의 상부에는 상기 제2 아암(23b)과의 사이에서 보트(4)의 바닥판(4b)을 상하로부터 규제하는 전도 규제 부재(37)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 전도 규제 부재(37)는, 제2 아암(23b)의 상면부의 베이스부측에 설치되고, 제2 아암의 상면에 지지된 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 소정의 간격을 두고 대치하는 규제편(37a)을 갖고 있다.

또한, 보트 적재대(22) 상에 적재된 보트(4)가 지진 등의 외력으로 전도되는 것을 방지하기 위해, 다음과 같은 구성이 채용되어 있다. 도2, 도11 내지 도12에 도시하는 바와 같이, 보트 적재대(22)에는 보트(4)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 기구(38)가 설치되어 있다. 이 위치 결정 기구(38)는 보트 적재대(22) 상에 있어서 실린더(38a)에 의해 직경 방향으로 확대 축소되는 한 쌍의 핀(38b)을 갖고 있다. 한편, 보트(4)의 바닥판(4b)의 내주에는 상기 한 쌍의 핀(38b)이 확대 개방되었을 때에 결합하는 V자 형상의 결합 홈(40)이 직경 방향에 대향하여 마련되어 있다. 결합 홈(40)은 소정의 각도(θ), 예를 들어 120도로 확대 개방되어 있다. 이에 의해, 보트(4)가 다소 어긋나 보트 적재대(22) 상에 적재되었다고 해도 보트(4)가 위치 결정되도록 되어 있다. 그리고, 상기 핀(38b)의 상부에는 핀(38b)이 결합 홈(40)에 결합될 때에 보트(4)의 바닥판(4b)의 상면에 대치하여 보트 적재대(22)의 상면과의 사이에서 보트(4)의 바닥판(4b)을 상하로부터 규제하여 보트(4)의 전도를 방지하는 플랜지 형상의 전도 규제부(38c)가 설치되어 있다.

다음에, 이상의 구성으로 이루어지는 종형 열처리 장치(1)의 작용 내지 종형 열처리 방법에 대해 설명한다. 우선, 다수의 웨이퍼(W)를 다단으로 보유 지지하 고, 보온통(19)을 통해 덮개체(17) 상에 적재된 보트(4)를, 덮개체(17)의 상승에 의해 열처리로(5) 내에 보온통(19)과 함께 반입하는 동시에, 열처리로(5)의 노구(5a)를 덮개체(17)로 밀폐한다. 그리고, 회전 기구(20)에 의해 보온통(19)을 통해 보트(4)를 열처리로(5) 내에서 회전시키면서 소정의 온도, 소정의 압력 및 소정의 처리 가스 분위기하에서 웨이퍼(W)를 소정 시간 열처리한다. 이 열처리 중에 보트 적재대(22)의 제1 적재대(22a) 상의 다른 하나의 보트(4)에 대한 웨이퍼(W)의 이동 적재를 행한다. 이 경우, 우선, 보트(4)에 탑재되어 있는 열처리 후의 웨이퍼를 이동 적재 기구(24)에 의해 이동 적재 스테이지(12) 상의 빈 캐리어(3)에 반출하고, 다음에, 이동 적재 스테이지(12) 상으로 반송된 열처리 전의 웨이퍼를 수납한 캐리어(3)로부터 상기 빈 보트(4)에 열처리 전의 웨이퍼를 탑재한다.

상기 열처리로(5) 내에 있어서의 열처리가 종료하면, 덮개체(17)의 하강에 의해 보트(4)가 열처리로(5) 내로부터 로딩 영역 Sb으로 반출된다. 이 보트(4)에 대해 보트 반송 기구(23)의 제1 아암(23a)이 하방으로부터 접근하여(도6 참조), 보트(4)를 소정 높이만큼 들어올린다(도7 참조). 이 상태에서 회전 기구(20)에 의해 보온통(19)을 소정의 각도, 예를 들어 90도 회전시켜 걸림부(25)와 계지 홈(26)이 해제 가능한 위치로 하면(도8 참조), 보트(4)를 소정 높이(걸림부와 보온통의 지지 기둥이 간섭하지 않는 높이)까지 더욱 들어올린 후 보트 적재대(22)의 제2 적재대(22b)의 방향으로 반송하여(도9 참조), 제2 적재대(22b) 상에 적재한다. 제2 적재대(22b) 상에 적재된 보트(4)는 위치 결정 기구(38)에 의해 위치 결정되는 동시에, 플랜지 형상의 전도 규제부(38c)에 의해 보트(4)의 전도가 방지된다.

한편, 제1 적재대(22a) 상의 보트(4)는 전도 규제부(38c)에 의한 규제가 해제된 후, 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)에 지지되어 상기 덮개체(17)의 보온통(19)의 상방으로 반송된다. 그리고, 보트 반송 기구(23)에 의해 보트(4)를 보온통(19) 상에 하강시켜, 보트(4)가 보온통(19) 상에 적재되기 직전에 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도, 예를 들어 90도 회전시켜 걸림부(25)와 계지 홈부(26)가 계지 가능하게 되는 위치로 한 후, 보트(4)를 더욱 하강시켜 보온통(19) 상에 적재하면 된다. 이와 같이 하여 보온통(19) 상에의 보트(4)의 적재가 완료되면, 덮개체(17)의 상승에 의해 보트(4)를 열처리로(5) 내에 반입하여 열처리를 개시하면 된다. 그리고, 이 열처리 중에, 상기 제2 적재대(22b) 상의 보트(4)가 보트 반송 기구(23)에 의해 제1 적재대(22a) 상에 반송되고, 이 제1 적재대(22a) 상에 있어서, 이동 적재 기구(24)에 의한 당해 보트(4)로부터 이동 적재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)로의 열처리 후 웨이퍼의 불출 작업과, 이동 적재 스테이지(12) 상의 캐리어(3)로부터 보트(4)로의 열처리 전 웨이퍼의 탑재 작업이 행해져, 스루풋의 향상이 도모된다.

이와 같이, 본 실시 형태의 종형 열처리 장치(1)에 따르면, 상기 보온통(19)의 상부와 보트(4)의 바닥부에, 보트(4)를 보트 반송 기구(23)에 의해 보온통(19)의 바로 위에 위치시킨 상태에서 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시킴으로써, 서로 계지 가능 또는 해제 가능하게 되는 걸림부(25)와 계지 홈부(26)가 설치되어 있다. 이로 인해, 이른바 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통(19) 상의 보트(4)의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다. 또 한, 종형 열처리 방법에 따르면, 상기 반송 기구(23)에 의해 보트(4)를 보온통(19) 상에 하강시켜, 보트(4)가 보온통(19) 상에 적재되기 직전에 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도 회전시켜 걸림부(25)와 계지 홈부(26)를 계지 가능하게 되는 상태로 한 후, 보트(4)를 더욱 하강시켜 보온통(19) 상에 적재한다. 이로 인해, 이른바 투 보트 시스템이면서 지진 등의 외력에 의한 보온통(19) 상의 보트(4)의 전도를 간단한 구조로 방지할 수 있다.

이 경우, 상기 보트(4)는 환형의 바닥판(4b)을 갖고, 상기 보온통(19)은 상기 바닥판(4b)의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥(19a)을 갖고, 이들 지지 기둥(19a)의 외측부에 계지 홈부(홈 형상의 피계지부)(26)를 마련하고, 상기 바닥판(4b)의 하면에 상기 각 계지 홈부(26)에 계지되는 걸림부(플랜지 형상의 계지부)(25)를 설치하고 있다. 이로 인해, 간단한 구조로 보온통(19)과 보트(4)의 사이의 로크와 해제를 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.

또한, 상기 회전 기구(20)는 보온통(19)의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서(34)와, 이 센서(34)로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 걸림부(25)와 상기 계지 홈부(26)가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통(19)을 회전 제어하기 위한 제어 장치(35)를 갖고 있다. 이로 인해, 보온통(19)과 보트(4)의 사이의 로크와 해제를 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.

도13은 보온통의 변형예를 도시하는 주요부 확대 단면도이다. 도13의 실시 형태의 보온통(19)에 있어서는, 지지 기둥(19a)의 상단 부재(19e)에 보트(4)의 바 닥판(4b)을 장착 나사(41)로 고정하기 위한 나사 구멍(42)이 마련되어 있다. 장착 나사(41)는 바닥판(4b)의 V자 형상의 결합 홈(40)을 통해 상기 나사 구멍(42)에 비틀어 박아지고, 장착 나사(41)의 머리부(41a)가 바닥판(4b)의 상면을 조여 바닥판(4b)을 지지 기둥(19a) 상에 고정하도록 되어 있다. 이 보온통(19)에 따르면, 보온통(19)과 보트(4)를 장착 나사(41)로 고정함으로써 원 보트 시스템으로 이용할 수 있고, 장착 나사(41)를 제거하면 투 보트 시스템으로도 이용할 수 있다.

도14는 보온통과 웨이퍼 보트를 계지하는 다른 구성을 도시하는 도면으로, 도14의 (a)는 해제 가능 상태의 사시도, 도14의 (b)는 계지 가능 상태의 사시도이다. 도14에 도시하는 바와 같이, 보온통(19)은 상부 중앙으로부터 우뚝 솟아 좌우 방향으로 플랜지 형상으로 연장된 원판 형상의 계지부인 래치 키(43)를 갖고, 상기 보트(4)는 상기 보온통(19)의 상부에 적재 가능한 바닥판(4b)을 갖는다. 이 바닥판(4b)에는 상기 래치 키(43)가 통과 가능한 열쇠 구멍인 래치 키 홀(44)이 형성되고, 이 래치 키 홀(44)을 통과한 래치 키(43)를 보온통(19)과 일체로 소정 각도, 예를 들어 90도 회전시킴으로써 래치 키(43)와, 이와 대향하는 상기 바닥판(4b)의 상면(피계지부)(45)이 계지 가능 상태로 되도록 되어 있다.

원통 형상의 보온통(19)의 상단은 폐색되어 있고, 이 상단부의 중앙에는 단면 원형의 축부(43a)를 통해 상기 래치 키(43)가 일체 형성되어 있다. 래치 키(43)의 긴 직경은 보온통(19)의 직경보다도 작게 또한 축부(43a)보다도 크게 형성되고, 래치 키(43)의 짧은 직경은 축부(43a)의 직경과 대략 동일한 크기로 형성되어 있다. 보트(4)의 바닥판(4b)에 있어서의 래치 키 홀(44)의 내주에는, 상기 실시 형태와 마찬가지로 위치 결정용의 V자 형상의 결합 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다(도시 생략).

보트(4)를 보온통(19) 상에 적재하는 경우에는, 보트 반송 기구(23)의 제2 아암(23b)에 의해 보트(4)의 바닥판(4b)의 하면을 지지하여 보트(4)를 덮개체(17)의 보온통(19)의 상방으로 반송하고, 보트(4)를 하강시켜 바닥판(4b)의 래치 키 홀(44)에 래치 키(43)를 통과시켜, 보트(4)가 보온통(19) 상에 적재되기 직전에 보온통(19)을 회전 기구(20)에 의해 소정 각도, 예를 들어 90도 회전시켜 래치 키(43)와 바닥판(4b)의 상면(45)이 계지 가능하게 되는 위치로 한 후, 보트(4)를 더욱 하강시켜 보온통(19) 상에 적재하면 된다. 이에 의해, 보온통(19) 상의 보트(4)의 전도를 방지할 수 있어, 보트(4) 및 웨이퍼(W)의 파손을 방지할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의해 상세하게 서술해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서의 다양한 설계 변경 등이 가능하다.

도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 종형 열처리 장치를 개략적으로 도시하는 종단면도.

도2는 상기 종형 열처리 장치의 로딩 영역 내의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도.

도3은 보온통 상의 웨이퍼 보트의 적재 상태를 개략적으로 도시하는 사시도.

도4는 반송 기구에 의해 웨이퍼 보트를 보온통 상에 적재하는 상태를 도시하는 사시도.

도5는 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 된 상태를 도시하는 사시도.

도6은 보온통 상에 웨이퍼 보트가 적재되어 있는 상태를 도시하는 도면.

도7은 보온통 상으로부터 웨이퍼 보트를 반송할 때에 소정 높이만큼 들어올린 상태를 도시하는 도면.

도8은 웨이퍼 보트를 소정 높이만큼 들어올린 상태에서 보온통을 회전시켜 해제 가능하게 한 상태를 도시하는 사시도.

도9는 보온통 상으로부터 웨이퍼 보트를 소정 높이만큼 더욱 들어올린 후 측방으로 반송하는 상태를 도시하는 도면이다.

도10은 보온통의 회전 기구를 개략적으로 도시하는 도면.

도11은 보트 적재대 상에 있어서의 웨이퍼 보트의 위치 결정 기구를 개략적으로 도시하는 평면도.

도12는 도11의 A-A선 확대 단면도.

도13은 보온통의 변형예를 도시하는 주요부 확대 단면도.

도14의 (a) 및 도14의 (b)는 보온통과 웨이퍼 보트를 계지하는 다른 구성을 도시하는 도면으로, 도14의 (a)는 해제 가능 상태의 사시도, 도14의 (b)는 계지 가능 상태의 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

W : 웨이퍼

1 : 종형 열처리 장치

2 : 하우징

3 : 캐리어

4 : 보트

5 : 열처리로

14 : 공기 청정기

17 : 덮개체

18 : 승강 기구

19 : 보온통

22 : 적재대

23 : 보트 반송 기구

25 : 걸림부

26 : 계지 홈부

Claims

하부에 노구(爐口)가 형성된 열처리로와,

다수의 기판을 보유 지지하는 동시에, 열처리로 내에 반입되어 기판에 대해 열처리를 실시하는 한 쌍의 기판 보유 지지구와,

열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체와,

덮개체 상에 설치된 보온통과,

덮개체에 설치되어, 덮개체 및 보온통을 회전시키는 회전 기구와,

덮개체를 승강시키는 승강 기구와,

열처리로의 하방에 인접하여 설치된 적재대와,

한 쌍의 기판 보유 지지구의 각각을, 보온통 상 및 적재대 상 사이에서 반송하는 반송 기구를 구비하고,

각 기판 보유 지지구 및 보온통 중 한 쪽에 계지부를 설치하는 동시에 다른 쪽에 피계지부를 설치하고, 당해 기판 보유 지지구를 반송 기구에 의해 보온통 바로 위에 보유 지지하고, 또한 회전 기구에 의해 보온통을 회전시킴으로써, 계지부와 피계지부가 계지 가능 또는 해제 가능하게 되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
제1항에 있어서, 각 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 이들 지지 기둥의 외측부에 홈 형상으로 형성되고, 계지부는 상기 바닥판의 하면에 각 피계지부에 계지되도록 갈고리 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 회전 기구는 보온통의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서와, 상기 센서로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통을 회전 제어하기 위한 제어 장치를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
제1항에 있어서, 계지부는 보온통에 설치되고, 이 계지부는 보온통의 상부 중앙으로부터 우뚝 솟아 좌우 방향으로 플랜지 형상으로 연장되고, 각 기판 보유 지지구는 상기 보온통의 상부에 적재 가능한 바닥판을 갖고, 상기 바닥판에는 계지부가 통과 가능한 열쇠 구멍이 형성되고, 상기 열쇠 구멍을 통과한 계지부를 보온통과 일체로 소정 각도 회전시킴으로써 상기 계지부와 대향하는 상기 바닥판의 상면이 피계지부가 되어 계지부에 계지되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 장치.
제1항에 있어서, 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 각 지지 기둥 상부에 마련된 나사 구멍으로 이루어지고, 계지부는 바닥판으로부터 나사 구멍에 삽입 장착되는 장착 나사로 이루어지는 것을 특징 으로 하는 종형 열처리 장치.
열처리로의 노구를 폐색하는 덮개체 상에 다수의 기판을 보유 지지한 1개의 기판 보유 지지구를 보온통을 통해 적재하는 공정과,

덮개체를 승강 기구에 의해 상승시켜 기판 보유 지지구를 열처리로 내에 반입하는 공정과,

회전 기구에 의해 덮개체, 보온통 및 기판 보유 지지구를 회전시키면서 열처리로 내에서 기판을 열처리하는 동시에, 적재대 상에 적재된 다른 기판 보유 지지구에 대해 기판을 이동 적재하는 공정과,

열처리로 내에서의 열처리 후에, 반송 기구에 의해 1개의 기판 보유 지지구를 보온통 상으로부터 적재대 상으로 반송하는 동시에, 적재대 상의 다른 기판 보유 지지구를 적재대 상으로부터 보온통 상으로 반송하는 공정을 구비하고,

각 기판 보유 지지구 및 보온통 중 한 쪽에 계지부를 설치하는 동시에 다른 쪽에 피계지부를 설치하고, 다른 기판 보유 지지구를 반송 기구에 의해 보온통 바로 위에 보유 지지하고, 또한 회전 기구에 의해 보온통을 회전시킴으로써, 계지부와 피계지부가 계지된 상태로 하고, 그 후에 그 기판 보유 지지구를 더욱 하강시켜 보온통 상에 적재하는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
제6항에 있어서, 각 기판 보유 지지구는 환형의 바닥판을 갖고, 보온통은 바닥판의 하면을 그 주위 방향을 따라 적절한 간격으로 지지하는 복수의 지지 기둥을 갖고, 피계지부는 이들 지지 기둥의 외측부에 홈 형상으로 형성되고, 계지부는 상기 바닥판의 하면에 각 피계지부에 계지되도록 갈고리 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
제6항에 있어서, 상기 회전 기구는 보온통의 회전 방향의 원점 위치를 검출하는 센서와, 상기 센서로부터의 검출 신호를 기초로 하여 상기 계지부와 피계지부가 계지 가능하게 되는 위치 또는 해제 가능하게 되는 위치로 보온통을 회전 제어하기 위한 제어 장치를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.
제6항에 있어서, 계지부는 보온통에 설치되고, 이 계지부는 보온통의 상부 중앙으로부터 우뚝 솟아 좌우 방향으로 플랜지 형상으로 연장되고, 각 기판 보유 지지구는 상기 보온통의 상부에 적재 가능한 바닥판을 갖고, 상기 바닥판에는 상기 계지부가 통과 가능한 열쇠 구멍이 형성되고, 상기 열쇠 구멍을 통과한 계지부를 보온통과 일체로 소정 각도 회전시킴으로써 상기 계지부와 대향하는 상기 바닥판의 상면이 피계지부가 되어 계지부에 계지되는 것을 특징으로 하는 종형 열처리 방법.