JP5614352B2 - ローディングユニット及び処理システム - Google Patents
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Description
床面に設置されるローディングユニットのローディング用筐体の底部に、下方へ突出させて基板保持具収容凹部を形成し、例えば床面に形成した穴部内に基板保持具収容凹部を収容すると共にこの基板保持具収容凹部に基板保持具の下端部を収容できるようにしたので、ローディングユニットの実質的な高さである床面からの高さを抑制することができる。
次に本発明のローディングユニットの第1変形実施例について説明する。先に説明したローディングユニットにおいては、昇降エレベータ機構68の保持アーム82は、鉛直方向下方に延びる垂直部分82Aと、これより水平方向に延びる水平部分82BとによりL字状に成形した場合を例にとって説明したが、これに限定されない。
次に本発明のローディングユニットの第2変形実施例について説明する。先に説明したローディングユニットにおいては、基板移載機構74の移載アーム78自体としては、水平方向に屈曲可能になされ且つ水平面内において旋回可能になされている構造の移載機構を採用した場合を例にとって説明したが、これに限定されず、移載アーム自体に垂直方向、すなわち上下方向へも屈伸できる構造の移載機構を採用してもよい。図4はこのような本発明のローディングユニットの第2変形実施例を示す部分断面図である。尚、図4においては図1及び図2に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してある。
次に本発明のローディングユニットの第3変形実施例について説明する。先に説明したローディングユニットにおいては、昇降エレベータ機構68の保持アーム82としては、垂直部分82Aと水平部分82B(図1参照)又は傾斜部分82Cと水平部分82B(図3参照)により構成した場合を例にとって説明したが、この保持アーム82に更に昇降機構を設けるようにしてもよい。図5はこのような本発明のローディングユニットの第3変形実施例を示す部分断面図であり、図5(A)はウエハボートのアンロード時を示し、図5(B)はウエハボートのロード時を示している。尚、図5においては、図1及び図2に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付してある。
8 筐体
10 中央区画壁
12 ストッカユニット
14 裏面区画壁
16 ベースプレート
18 処理ユニット
20 ローディングユニット
22 底板区画壁
26 前面区画壁
54 処理容器
58 基板保持具
60 ウエハボート
62 保温筒
68 昇降エレベータ機構
70 ローディング室
72 ローディング用筐体
74 基板移載機構
78 移載アーム
82 保持アーム
82A 垂直部分
82B 水平部分
90 基板保持具収容凹部
94 凹部区画壁
96 穴部
W 基板
Claims (6)
- 基板に対して熱処理を施す処理ユニットの下方に設けられて、複数の前記基板が保持された基板保持具を前記処理ユニットに対してロード及びアンロードさせると共に前記基板保持具に対して前記基板の移載を行うようにしたローディングユニットにおいて、
前記処理ユニットに連設されて全体を囲むようになされたローディング用筐体と、
前記基板保持具の下部を保持する保持アームを有すると共に前記基板保持具を前記処理ユニット内に対して昇降させる昇降エレベータ機構と、
前記基板保持具に対して前記基板の移載を行う基板移載機構と、
前記基板保持具の下方に対応する前記ローディング用筐体の底部に設けられて、前記基板保持具の下端部を収容できるようにするために清浄空気のダウンフローが形成されているクリーンルームの床面よりも下方へ突出させて形成された基板保持具収容凹部と、
を備えたことを特徴とするローディングユニット。 - 前記昇降エレベータ機構の前記保持アームは、前記基板保持具収容凹部内へ収容された前記基板保持具の下端部を支持できるように下方向へ向けて延在されていることを特徴とする請求項1記載のローディングユニット。
- 前記昇降エレベータ機構の前記保持アームには、前記基板保持具を保持した状態で昇降する補助昇降機構が設けられていることを特徴とする請求項1記載のローディングユニット。
- 前記基板移載機構は、前記基板保持具に対する前記基板の移載を行うために上下方向へ移動することができる移載アームを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のローディングユニット。
- 前記移載アームは、前記基板の移載を行うために斜め上方向、斜め下方向及び水平方向へ屈伸することができることを特徴とする請求項4記載のローディングユニット。
- 清浄空気のダウンフローが形成されているクリーンルーム内に設けられた処理システムにおいて、
基板に対して熱処理を施す処理ユニットと、
前記処理ユニットの下方に設けられた請求項1乃至5のいずれか一項に記載のローディングユニットと、
前記ローディングユニットに並設されて、複数枚の前記基板を収容した基板容器を待機させるストッカユニットと、
を備えたことを特徴とする処理システム。
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