JP5050761B2 - 被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法 - Google Patents

被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を収納する収容ボックスから被処理体を被処理体移載エリア内の被処理体ボートへ移載して被処理体に熱処理を施すようにした処理システム及び被処理体の熱処理方法に関する。
一般に、ＩＣやＬＳＩ等の半導体集積回路を製造するためには、半導体ウエハに対して各種の成膜処理、酸化拡散処理、エッチング処理等を繰り返し行なうが、各処理を行なうにあたって、半導体ウエハを対応する装置間で搬送する必要がある。この場合、半導体ウエハは、複数枚、例えば２５枚ずつ収容ボックス内へ収容されて搬送される。この種の収容ボックスとしては、カセットのように大気に対して開放状態で搬送するものや、ＦＯＵＰ（登録商標）のように、パーティクルや自然酸化膜の付着を抑制するために、開閉蓋で密閉状態になされた箱内をＮ２ ガス等の不活性ガスや清浄空気の雰囲気にしたものが知られている（特許文献１〜３）。
そして、上記収容ボックスを取り扱う例えばバッチ式の処理システムにあっては、上記収容ボックスを搬送機構によって搬送するボックス搬送エリアと、この収容ボックスより半導体ウエハを熱処理のためにウエハボート等へ移載するための被処理体移載エリアとが一般的にはある（例えば特許文献４〜６）。そして、両エリアはウエハの受け渡しを行うために開閉可能になされた開口ゲートを有する区画壁により区画されており、被処理体を剥き出し状態で搬送する上記被処理体移載エリア内は、ウエハ表面に自然酸化膜等が付着することを防止するために、不活性ガス、例えば窒素雰囲気になされている場合もあるし、清浄雰囲気になされている場合もある。
ところで、上記被処理体移載エリアでは、上述したように例えば２５枚のウエハを収容する収容ボックス内のウエハをウエハボート内が例えば満載になるまで移載するが、この移載操作を完了するためにある程度の時間を要することになる。例えばウエハボートの容量が１００枚のウエハを収容できる大きさの場合には、上記収容ボックスを４個取り代えつつウエハの移載をしなければならず、移載アーム機構の能力にもよるがこの移載操作に例えば１４分程度も要してしまう。
従って、スループットを向上させるために通常は上記被処理体移載エリア側に複数台、例えば２台のウエハボートを用意し、一方のウエハボートでウエハに対して熱処理を施している間に、他方のウエハボートでは熱処理済みのウエハの搬出と未処理のウエハのウエハボートへの移載操作を行うようにしており、可能な限り空き時間を少なくしている（特許文献４、５）。
特開平８−２７９５４６号公報 特開平９−３０６９７５号公報 特開平１１−２７４２６７号公報 特開２００２−７６０８９号公報 特開２００３−３７１４８号公報 特開２００４−２２６７４号公報
ところで、上記ウエハの移載を行う移載アーム機構は、熱に比較的に弱く耐熱性に劣る部品を用いている。例えばその移載アーム機構には、ウエハボートに支持されているウエハの位置や収容ボックス内に複数段に亘って収容されているウエハの位置等を検出するためのマッピングセンサが露出させて設けられていたり、各種の電子部品も搭載されていたり、或いは、駆動力を圧縮エアーにより得る場合が多いので、この圧縮エアーを給排するエアー管等が露出させて設けられており、これらのマッピングセンサや電子部品やエアー管等はいずれも耐熱性が低く、部材にもよるが例えば５０〜２００℃程度の耐熱性しかない。
そして、上記被処理体移載エリア内は、冷却ガスや清浄空気等が循環されているとはいえ、熱処理により最大７００〜８００℃程度にも達した処理済みの高温のウエハを被処理体移載エリア内へアンロードすると、この被処理体移載エリア内の特に上部の雰囲気温度は対流や輻射熱によって２００℃以上になってしまう。そのため、上記した耐熱性に劣る移載アーム機構が熱的ダメージを受けることを防止するために、ウエハのアンロード時には上記移載アーム機構を被処理体移載エリア内の下部の比較的温度が低い部分に位置させて退避するようにしてウエハの移載操作を禁止している。
しかしながら、この場合、上記移載アーム機構の退避時間は、アンロードの開始からアンロードが完了して被処理体移載エリア内の上部の雰囲気温度が十分に冷却される迄の長い時間だけ常に退避させるようにしているので、例えば被処理体移載エリア内の上部の雰囲気温度が移載アーム機構を構成する前述したような各部材にとって安全温度まで低下しているにもかかわらず、ウエハの移載操作が禁止されたままの状態となっている場合があり、その分、スループットを低下させてしまう、といった問題があった。
本発明の目的は、移載アーム機構が熱的ダメージを受けることを防止しつつ、移載アーム機構が退避している時間を最小限にして被処理体の移載操作を効率的に行うようにし、もってスループットを向上させることが可能な被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法を提供することにある。
請求項１に係る発明は、複数の被処理体を収容する収容ボックスから前記被処理体を取り出して前記被処理体に対して熱処理を施すようにした被処理体の処理システムにおいて、前記被処理体に対して熱処理を施すための縦型の処理ユニットと、前記処理ユニットの下方に設けられて周囲が区画壁により区画された被処理体移載エリアと、前記被処理体を複数段に亘って保持する複数の被処理体ボートと、前記被処理体ボートを昇降させて前記処理ユニット内へロード及びアンロードするボート昇降手段と、前記被処理体の移載時に前記被処理体ボートを載置する移載用ボート載置台と、前記区画壁に設けられた移載ステージに設置した前記収容ボックスと前記移載用ボート載置台上に載置された被処理体ボートとの間で前記被処理体を移載するための移載アーム機構と、前記移載アーム機構を昇降させるアーム昇降手段と、前記被処理体ボートを前記移載用ボート載置台と前記ボート昇降手段との間で移載するボート移載機構と、熱処理が施された前記被処理体がアンロードされた前記被処理体移載エリア内の雰囲気温度を検出するために前記被処理体移載エリア内の上部に設けられた温度測定手段と、前記温度測定手段の測定値に基づいて前記移載アーム機構の移載動作を制御し、前記処理ユニットから前記被処理体ボートを降下させるアンロードを開始した後に前記温度測定手段が第１の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載を禁止して前記移載アーム機構を前記被処理体移載エリア内の下部に位置させて退避させるようにし、前記アンロードを完了した後に前記温度測定手段が前記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載の禁止を解除するように動作させる移載制御部と、を備えたことを特徴とする被処理体の処理システムである。
このように、被処理体ボートに対して被処理体を移載するための被処理体移載エリア内の上部に温度測定手段を設け、この温度測定手段の測定値に基づいて移載アーム機構の移載動作を制御するようにしたので、移載アーム機構が熱的ダメージを受けることを防止しつつ、移載アーム機構が退避している時間を最小限にして被処理体の移載操作を効率的に行うようにし、もってスループットを向上させることができる。
この場合、例えば請求項２に記載したように、前記被処理体移載エリア内には、前記被処理体ボートを一時的に待機させるための待機用ボート載置台が設けられている。
また例えば請求項３に記載したように、前記被処理体移載エリア内は、不活性ガス又は清浄空気の雰囲気になされている。
また例えば請求項４に記載したように、前記移載アーム機構には、前記収容ボックスに収容されている被処理体の位置、或いは前記被処理体ボートに支持されている被処理体の位置を検出するマッピングセンサが設けられており、前記第２の温度は前記マッピングセンサの耐熱上限温度である。
また例えば請求項５に記載したように、前記移載アーム機構には、カバーにより保護された電子部品が設けられており、前記第１の温度は、前記電子部品の耐熱上限温度である。
また例えば請求項６に記載したように、前記温度測定手段は、１又は複数個設けられると共に、前記移載アーム機構の上方に１つ位置されている。
請求項７に係る発明は、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の被処理体の処理システムを用いて被処理体に熱処理を施す熱処理方法において、複数枚の被処理体を保持している被処理体ボートを処理ユニット内へロードして前記被処理体に対して熱処理を施し、熱処理を施したならば前記被処理体ボートをアンロードするようにした熱処理工程と、移載アーム機構を用いて収容ボックスから前記被処理体ボートとは異なる被処理体ボートに対して被処理体を移載する移載工程と、被処理体移載エリア内の上部の雰囲気の温度を温度測定手段によって測定する温度測定工程と、前記処理ユニットから前記被処理体ボートを降下させるアンロードを開始した後に前記温度測定手段が第１の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載を禁止して前記移載アーム機構を前記被処理体移載エリア内の下部に位置させて退避させる第１の判断工程と、前記アンロードを完了した後に前記温度測定手段が前記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載の禁止を解除する第２の判断工程と、を有することを特徴とする被処理体の熱処理方法である。
また例えば請求項８に記載したように、前記移載アーム機構には、前記収容ボックスに収容されている被処理体の位置、或いは前記被処理体ボートに支持されている被処理体の位置を検出するマッピングセンサが設けられており、前記第２の温度は前記マッピングセンサの耐熱上限温度である。
また例えば請求項９に記載したように、前記移載アーム機構には、カバーにより保護された電子部品が設けられており、前記第１の温度は、前記電子部品の耐熱上限温度である。
請求項１０に係る発明は、請求項７乃至９のいずれか一項に記載した被処理体の処理システムの使用方法を実行するためのプログラムが記憶されたコンピュータで読み取り可能な記憶媒体である。
本発明に係る被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
被処理体ボートに対して被処理体を移載するための被処理体移載エリア内の上部に温度測定手段を設け、この温度測定手段の測定値に基づいて移載アーム機構の移載動作を制御するようにしたので、移載アーム機構が熱的ダメージを受けることを防止しつつ、移載アーム機構が退避している時間を最小限にして被処理体の移載操作を効率的に行うようにし、もってスループットを向上させることができる。
以下に、本発明に係る被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法の好適な一例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は本発明に係る被処理体の処理システムの一例を示す概略構成図、図２は被処理体移載エリア内の各構成部材の配列位置の一例を示す平面図、図３は被処理体の移載アーム機構の一例を示す図である。
まず、図１及び図２に示すように、この被処理体の処理システム２は、全体が区画壁として機能する例えばステンレス等よりなる筐体４に囲まれており、この内部は収容ボックス６を搬送するための収容ボックス搬送エリア８と被処理体である半導体ウエハＷを移載する被処理体移載エリア１０とに区画壁１２により２分されている。尚、ここではウエハＷは直径が３００ｍｍのウエハを用いるが、これに限定されず、直径が８インチ、６インチのウエハも用いることができる。上記収容ボックス６には、複数枚、例えば２５枚のウエハが段部状に支持されて開閉蓋６Ａにより密閉状態になされており、内部はＮ２ ガス等の不活性ガス雰囲気や清浄空気の雰囲気になされている。そして、上記収容ボックス搬送エリア８内には清浄空気のダウンフローが流され、上記被処理体移載エリア１０内にはＮ２ ガス等の不活性ガス雰囲気になされている。尚、このエリア１０内に清浄空気を流す場合もある。
この処理システム２は、主に収容ボックス６を処理システム２内に対して搬入搬出させるための搬出入ポート１６と、上記収容ボックス６を一時的に貯留するためのストッカ部１８と、この収容ボックス６と被処理体ボート２０との間で半導体ウエハＷを移載する移載ステージ２２と、被処理体ボート２０に移載されて保持されている半導体ウエハＷに対して所定の熱処理を施す処理ユニット２４とにより主に構成される。
上記搬出入ポート１６において、筐体４には常時開放されているボックス搬出入口２６が形成されている。尚、このボックス搬出入口２６が開閉ドアで開閉可能になされている場合もある。このボックス搬出入口２６の外側には、外部より搬送してきた収容ボックス６を載置するための外側載置台２８が設けられると共に、このボックス搬出入口２６の内側には、上記外側載置台２８よりスライド移動されてくる収容ボックス６をその上に載置するための内側載置台３０が設置されている。上記外側、或いは内側載置台２８、３０の上部には、両載置台２８、３０間をスライド移動可能になされたスライド板３２が設けられており、この上に収容ボックス６を載せた状態で移動できるようになっている。
一方、収容ボックス搬送エリア８内の上方には、上記ストッカ部１８が位置されている。このストッカ部１８は、図示例においては例えば２列２段に上記収容ボックス６を一時的に載置して保管する棚段３４が並設されている。尚、この棚段３４の数量は特に限定されず、実際には更に多く設けられる。
上記２つの棚段３４間には、昇降エレベータ３６が起立させて設けられており、この昇降エレベータ３６には、水平方向に前進後退及び旋回可能になされたボックス搬送アーム３８が設けられている。従って、このボックス搬送アーム３８を屈伸及び昇降させることにより、収容ボックス６をボックス搬送アーム３８で保持し、搬出入ポート１６とスットカ部１８との間で搬送できるようになっている。
また、上記移載ステージ２２において、両エリア８、１０間を区画する区画壁１２には、収容ボックス６の開閉蓋６Ａよりも僅かに大きくなされた開口４０が形成されると共に、この開口４０の収容ボックス搬送エリア８側には、載置台４２が水平に設けられており、この上に収容ボックス６を載置できるようになっている。また、この載置台４２の一側には、この上に載置された収容ボックス６を区画壁１２側へ押圧付勢するための水平アクチュエータ４４が設けられており、上記収容ボックス６の開閉蓋６Ａを、上記開口４０に臨ませた状態で収容ボックス６の開口部の開口縁が区画壁１２の開口４０の開口縁に略気密に接触されることになる。
また、この開口４０の被処理体移載エリア１０側には、これを開閉する開閉ドア４６が横方向へスライド可能に設けられている。また、この開閉ドア４６には上記収容ボックス６の開閉蓋６Ａを開閉するための蓋開閉機構４８が設けられている（図２参照）。そして、収容ボックス搬送エリア８内において、この開口４０の近傍に収容ボックス６を待機させるための待機用ボックス搬送アーム５０が設置されており、次に処理すべきウエハを収容する収容ボックス６をボックス搬送アーム３８から受け取り、待機後にこれを移載ステージ２２に置くようになっている。尚、上記待機用ボックス搬送アーム５０を設けない場合もあり、この場合には、上記ボックス搬送アーム３８により収容ボックス６を移載ステージ２２上に設置することになる。
一方、上記被処理体移載エリア１０内には、ウエハボートの如き被処理体ボート２０を載置する２つのボート載置台、すなわち移載用ボート載置台５２と待機用ボート載置台５４とが設けられている。上記２つのボート載置台５２、５４の内、この待機用ボート載置台５２と上記移載ステージ２２との間には、水平方向へ前進後退及び旋回可能になされた移載アーム機構５６が設けられており、この移載アーム機構５６は昇降エレベータのようなアーム昇降手段５８により上下動可能になされている。このアーム昇降手段５８として例えばボールネジ等を用いることができる。
従って、この移載アーム機構５６を屈伸、旋回及び昇降駆動することにより、載置台４２上の収容ボックス６と移載用ボート載置台５２上の被処理体ボート２０との間でウエハＷの移載を行なうことができるようになっている。ここでは被処理体ボート２０に関しては、複数台、例えば２台の被処理体ボート２０Ａ、２０Ｂが設けられており、この２台が交互に用いられる。尚、被処理体ボート２０を３台以上設けてもよい。
この被処理体ボート２０は、例えば石英よりなり、例えば５０〜１５０枚程度のウエハＷを所定のピッチで多段に支持できるようになっている。そして、上記移載アーム機構５６は、具体的には、図３にも示すように、上記アーム昇降手段５８によって昇降されるベース台７６を有しており、このベース台７６には、スライド移動及び旋回移動可能になされたアーム台７８が設けられている。そして、このアーム台７８には、その上にウエハＷを載置して水平方向へ個別に前進及び後退可能になされた複数本の２股状になされたアーム８０が上下に並列させて設けられている。ここでは上記アーム８０に関しては、５本のアーム８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ、８０Ｄ、８０Ｅが設けられており、一度に最大５枚のウエハＷを移載できるようになっている。
そして、上記５本のアーム８０Ａ〜８０Ｅの内の一本のアーム、ここでは中央のアーム８０Ｃの先端部には、ウエハＷの有無を検出するためのマッピングセンサ８２が設けられており、上記収容ボックス６内を縦方向に走査したり、或いは上記被処理体ボート２０を縦方向に走査したりすることにより、ウエハＷが収容されている位置を検出するようになっている。このマッピングセンサ８２は、例えば光送受光器よりなり、その耐熱性はそれ程高くなく、耐熱上限温度は例えば１３０℃程度である。
また、上記ベース台７６には、例えば上記マッピングセンサ８２等に関連する電子回路や上記各アーム８０Ａ〜８０Ｅの駆動制御用の電子回路などを形成する電子部品８４がベース台７６のカバー７６Ａにより保護された状態で搭載されている。上記電子部品８４の耐熱上限温度は、上記マッピングセンサ８２よりも低く、例えば５０℃程度である。更に、この移載アーム機構５６には、上記各アーム８０Ａ〜８０Ｅやアーム台７８等を駆動するための加圧気体を給排するために可撓性のある樹脂製のエアチューブ（図示せず）が配設されている。
また、この被処理体移載エリア１０の一側の上方には、縦型熱処理炉よりなる処理ユニット２４がベース板６２により支持されて配置されている。この処理ユニット２４は、石英製の円筒体状の処理容器６４を有し、その周囲には円筒状の加熱ヒータ６６が設けられて、処理容器６４内のウエハを加熱し得るようになっている。これにより、一度に多数枚のウエハＷに対して成膜や酸化拡散等の所定の熱処理を施すようになっている。
この場合、処理内容にもよるが、ウエハ温度は例えば最大８００〜１０００℃程度になる。この処理容器６４の下方には、昇降エレベータのようなボート昇降手段６８により昇降可能になされたキャップ７０が配置されている。このボート昇降手段６８として例えばボールネジ等を用いることができる。そして、このキャップ７０上に被処理体ボート２０を載置してこれを上昇させることにより、この被処理体ボート２０を処理容器６４の下端開口部よりこの処理容器６４内へロードできるようになっている。この時、処理容器６４の下端開口部は上記キャップ７０により気密に閉じられるようになっている。
また処理容器６４の下端開口部の側部には、上記被処理体ボート２０をアンロードしてこれを下方向へ降下させた際に、上記下端開口部を閉じるシャッタ７２がスライド可能に設けられている。そして、降下されたキャップ７０と上記両ボート載置台５２、５４の近傍には、屈伸及び旋回可能になされたボート移載機構７４が設けられており、上記両ボート載置台５２、５４とキャップ７０との間及び両ボート載置台５２、５４間で被処理体ボート２０の移載ができるようになされている。
そして、上記被処理体移載エリア１０内の上部には、本発明の特徴とする温度測定手段８６（図１参照）が設けられており、この被処理体移載エリア１０内の雰囲気の温度を検出するようになっている。具体的には、上記温度測定手段８６は、熱電対８６Ａよりなり、この熱電対８６Ａは、上記移載アーム機構５６の上方の天井部、すなわちアーム昇降手段５８の上端部の近傍に設けられており、この部分の雰囲気の温度を検出するようになっている。
尚、温度測定手段８６として上記熱電対８６Ａに限定されず、例えばこれに替えて放射温度計等を用いるようにしてもよい。また上記温度測定手段８６の設置位置としては、上記した天井部に限定されず、例えば上記移載アーム機構５６のウエハ移載時における上死点（移載アーム機構が到達する最上端の位置）の部分に設置するようにしてもよい。
そして、この温度測定手段８６の測定値は、例えばコンピュータ等よりなる移載制御部８８に入力されており、この移載制御部８８は、この測定値に基づいて上記移載アーム機構５６の移載動作を制御するようになっている。具体的には、上記移載制御部８８は、上記処理ユニット２４から上記被処理体ボート２０を降下させるアンロードを開始した後に上記温度測定手段８６が第１の温度を検出した時以降は、上記ウエハの移載を禁止（不許可）するようにし、上記被処理体ボート２０が最下端に到達することにより上記アンロードを完了した後に上記温度測定手段８６が上記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時以降は、上記ウエハの移載の禁止（不許可）を解除してウエハの移載が可能となるように制御するようになっており、これにより上記移載アーム機構５６が熱的ダメージを受けることを防止するようにしている。
ここで上記ウエハの移載操作を禁止している期間では、上記移載アーム機構５６はこの被処理体移載エリア１０内で一番温度が低い領域、すなわち、この被処理体移載エリア１０内の下部（底部）、例えばボトムポジション（下死点）９０（図１参照）に位置させて退避させるようになっている。
そして、この被処理体移載エリア１０内には、清浄空気、又はＮ２ ガス等の不活性ガスのサイドフローが常時形成されており、この被処理体移載エリア１０内を清浄に保つと共に、この雰囲気温度を冷却するようになっている。
そして、この処理システム２の全体の動作の制御、例えば収容ボックス搬送エリア８内における収容ボックス６の搬入及び搬出操作、被処理体移載エリア１０内におけるウエハＷの移載操作、被処理体ボート２０の移載操作、被処理体ボート２０の昇降操作、処理ユニット２４における熱処理操作（成膜処理等）等は、例えばコンピュータよりなる装置制御部９２により制御される。この場合、上記移載制御部８８は、上記装置制御部９２の支配下になっている。そして、上記装置制御部９２や移載制御部８８の制御に必要なプログラム（コンピュータによって読み取り可能）は記憶媒体９４に記憶されている。この記憶媒体９４としては、例えばフレキシブルディスクやＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）やハードディスクやフラッシュメモリ等よりなる。
次に、以上のように構成された処理システム２の動作について、図４乃至図７も参照して説明する。図４は１バッチ処理における各工程のタイミングチャートの一例を示す図、図５は移載アーム機構を退避させない時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフ、図６は移載アーム機構を退避させた時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフ、図７は半導体ウエハに対する搬送を含む熱処理の全工程を示すフローチャートである。
まず、被処理体移載エリア１０内は、ウエハ表面への自然酸化膜の付着を防止するために不活性ガス、例えばＮ２ ガスのサイドフローが形成されてＮ２ 雰囲気になされている。また、収容ボックス搬送エリア８内は、清浄空気のダウンフローが形成されて清浄空気の雰囲気に維持されている。
最初に、半導体ウエハＷの全体的な流れについて説明すると、収容ボックス搬送エリア８側において外部より搬送されてきた収容ボックス６は、その開閉蓋６Ａをボックス搬出入口２６側に向けて外側載置台２８上に載置される。そして、収容ボックス６が載置されている外側載置台２８上のスライド板３２を前進させることによって、これを内側載置台３０上に移送する。
次に、ボックス搬送アーム３８を駆動することにより、内側載置台３０上に設置されている収容ボックス６を取りに行ってこれを保持し、更に昇降エレベータ３６を駆動することによって、この収容ボックス６を上方のストッカ部１８の棚段３４の所定の位置まで搬送して設置し、これを一時的に保管する。これと同時に、すでに棚段３４に一時貯留されており、処理対象となったウエハを収容する収容ボックス６をこのボックス搬送アーム３８により取りに行き、上述のように昇降エレベータ３６を駆動してこれを降下させる。
そして、移載ステージ２２の載置台４２が空の場合には、この収容ボックス６を移載ステージ２２の載置台４２上に移載する。また、載置台４２上に別の収容ボックス６がすでにセットされている場合には、ボックス搬送アーム３８上の収容ボックス６を待機用ボックス搬送アーム５０で把持し、これを開口４０の近傍まで搬送して待機させる。そして、載置台４２上の収容ボックス６の開閉蓋６Ａは、開閉ドア４６側に向けられており、しかも、載置台４２の一側に設けた水平アクチュエータ４４により、収容ボックス６は押圧付勢されて載置台４２上にて固定されている。
この状態で、蓋開閉機構４８を駆動することにより、開口４０の開閉ドア４６と収容ボックス６の開閉蓋６Ａとを取り外し、これらを例えば水平方向へスライド移動させて退避させる。そして、移載アーム機構５６及びアーム昇降手段５８を駆動することにより、収容ボックス６内に収容されていたウエハＷを、ここでは５枚ずつ取り出し、これを移載用ボート載置台５２上に設置されている被処理体ボート２０に移載する。
この場合、被処理体ボート２０のウエハ収容枚数が１００枚で、且つ収容ボックス６内のウエハ収容枚数が２５枚ならば、４つの収容ボックス６内からウエハが取り出されて移載され、１バッチの処理が行われることになる。
上記被処理体ボート２０へのウエハＷの移載が完了したならば、次に、ボート移載機構７４を駆動して、この移載用ボート載置台５２上の被処理体ボート２０を最下端へ降下されているキャップ７０上に載置する。ここで、熱処理が完了してアンロードされたウエハを収容する被処理体ボート２０が上記キャップ７０上にある場合には、ボート移載機構７４を用いてこの被処理体ボート２０を予め待機用ボート載置台５４上へ移しておく。
そして、この未処理のウエハを収容する被処理体ボート２０の移載が完了したならば、ボート昇降手段６８を駆動させて、被処理体ボート２０と、これを載置したキャップ７０を一体的に上昇させ、この被処理体ボート２０を処理ユニット２４の処理容器６４内へ、この下端開口部より導入してロードする。そして、このキャップ７０によって処理容器６４の下端開口部を密閉し、この状態で処理ユニット２４内でウエハＷに対して所定の熱処理、例えば成膜処理や酸化拡散処理等を行なう。この場合、熱処理の態様にもよるが、ウエハＷの温度は８００〜１０００℃の高温に達する。
このようにして、所定の時間の熱処理が終了したならば、前述したと逆の操作を行なって、処理済みのウエハＷを取り出す。すなわち、アンロードを開始することより被処理体ボート２０を処理容器６４内から降下させてアンロードを完了する。この際、アンロードを開始して被処理体ボート２０の降下を開始すると、被処理体移載エリア１０内の雰囲気は高温状態になるので、耐熱性に劣る移載アーム機構５６を後述するように下方へ退避させる。そして、このアンロードされた被処理体ボート２０は、ボート移載機構７４により、待機用ボート載置台５４を経由して、或いはこれを経由することなく直接的に移載用ボート載置台５２上へ移載される。この間に上記処理済みのウエハＷは、ある程度冷却されている。
そして、移載アーム機構５６とアーム昇降手段５８を用いて処理済みのウエハＷを被処理体ボート２０から移載ステージ２２の載置台４２上の空の収容ボックス６内に移載する。この収容ボックス６内への処理済みウエハＷの移載が完了したならば、開閉ドア４６を開口４０へ装着し、更に蓋開閉機構４８を駆動して、これに保持していた開閉蓋６Ａを収容ボックス６側へ装着する。
次に、収容ボックス搬送エリア８内のボックス搬送アーム３８を駆動し、この収容ボックス６を一時的にストッカ部１８へ貯留し、或いは貯留することなくボックス搬出入口２６を介して処理システム２の外へ搬送することになる。このボックス搬送アーム３８が処理済みのウエハを収容した収容ボックス６を搬送している間、すでに空の収容ボックス６を把持して待機していた待機用ボックス搬送アーム５０は、この空の収容ボックス６を載置台４２上にセットし、処理済みのウエハの収容ボックス６内への収容が開始されることになる。この場合、例えば４つの空の収容ボックス６が用いられることになる。そして、これにより、１バッチのウエハの処理が完了する。以下、同様な操作が繰り返される。尚、上記した収容ボックス６の流れは単に一例を示したに過ぎず、これに限定されないのは勿論である。
ここで、高温状態の上記被処理体ボート２０を高温状態の処理容器６４内から降下させるアンロードを行う場合には、前述したように耐熱性が高くない移載アーム機構５６が熱的ダメージを受けることを防止するために、移載アーム機構５６の移載動作を禁止し、これを下方へ降下させて図１中のボトムポジション９０に位置させて退避させるようにしている。このように、移載アーム機構５６を下方へ退避させる理由は、この被処理体移載エリア１０内は、高温状態の被処理体ボート２０やウエハＷからの放熱により、更には内部雰囲気の対流により、上部側の雰囲気温度がかなり上昇するのに対して、下部側の雰囲気温度の上昇は少ないからである。
そして、従来の処理システムにあっては、移載アーム機構の移載禁止の期間を、アンロードの開始から被処理体ボート２０が最下端まで到達してアンロードが完了した後に被処理体移載エリア１０内の雰囲気が経験的に十分に冷却されるまでの長い時間、例えば１０分程度を固定的に設定し、この長い時間に亘ってウエハの移載を禁止するようにしていた。この結果、前述したように、ウエハの移載操作が遅延してスループットが低下する場合が発生していた。
これに対して、本発明では、被処理体移載エリア１０内の天井部に設けた例えば熱電対８６Ａよりなる温度測定手段８６によりこのエリア１０内の雰囲気温度が検出されており、移載アーム機構５６は被処理体ボート２０のアンロードが開始したら直ちに退避されるのではなく、アンロード開始後に上記温度測定手段８６が第１の温度を検出した時に退避させるようにし、そして、アンロードが完了した後に上記温度測定手段８６が上記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時に移載禁止を解除するようにしている。換言すれば、上記温度測定手段８６が第１の温度を検出した時から、雰囲気温度がピークになって、その後、この温度が降下して第２の温度を検出するまでの間、上記ウエハの移載操作が禁止されることになる。
これにより、移載アーム機構５６に熱的ダメージを与えることなく移載禁止の期間を最少限にでき、これによって移載効率を上げてスループットを向上させることが可能となる。尚、上記した制御は、この処理システム２の全体の動作を制御する装置制御部９２の支配下にある移載制御部８８によって行われる。
上記した熱処理の各工程をバッチ毎にタイミングチャートとしてその一例を表すと図４に示すようになる。ここでは、ｎ（正の整数）番目のバッチ処理とｎ＋１番目のバッチ処理とのタイミングチャートの一例を示している。
ここでは図示するように、各バッチ処理の主な工程を示すと、各バッチ処理では、それぞれウエハ移載工程、被処理体ボートの交換工程、ボートのロード工程、熱処理工程、ボートアンロード程度、ボート冷却工程、ボート交換工程、ウエハ移載工程（処理済み）のように順に実行されて行く。例えばｎ番目のバッチ処理中にｎ＋１番目のバッチ処理の要求が装置制御部９２からなされると、被処理体移載エリア１０内ではｎ＋１番目のバッチ処理用の未処理のウエハを被処理体ボート２０へ移載するウエハ移載操作が開始され、例えば前述したように全部で４つの収容ボックス６内の１００枚のウエハＷの移載が収容ボックス６を取り替えつつ行われる。
そして、このウエハ移載の途中で、ｎ番目の熱処理操作が完了して被処理体ボート２０のアンロードが開始されてもウエハ移載は継続して行われており、その後に温度測定手段８６が第１の温度を検出すると直ちにウエハ移載は禁止され、ウエハ移載操作は中断されることになる。
このウエハ移載が禁止の間は、前述したように移載アーム機構５６は下部のボトムポジション９０に位置されて退避された状態となっている。そして、その後に、被処理体ボート２０のアンロードが完了した後に上記温度測定手段８６が第２の温度を検出すると直ちにウエハ移載の禁止が解除されることになり、ここでは中断していたウエハの移載操作が再開されることになる。これにより、ウエハ移載の禁止期間は、従来の処理システムの場合は２６分程度あったが、本発明の処理システムの場合には、２０分以内までに短縮化することができる。従って、その分、ウエハの移載操作を迅速に、且つ効率的に行うことができるので、スループットを向上させることができる。
尚、図４に示す場合には、ｎ＋１番目のバッチ処理に対してウエハの移載操作がボートのアンロードによって２つに分断されているが、ｎ＋１番目のバッチ処理に関する処理ウエハの要求のタイミングが異なれば、例えばもう少し早目に出ていれば、上記ウエハの移載操作が分断されることなく連続的に行われるのは勿論である。
ここで上記被処理体移載エリア１０内の温度変化を実際に測定したので、その結果を図５及び図６を参照して説明する。図５は移載アーム機構を退避させない時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフ、図６は移載アーム機構を退避させた時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフである。ここでは、熱電対を３つ用い、１つ目を温度測定手段８６の設置位置に対応する天井部に設け、２つ目を移載アーム機構５６の中央のアーム８０Ｃの先端部のマッピングセンサ８２の位置に設け、３つ目をベース台７６のカバー７６Ａで覆われた電子部品８４（図３参照）が設けられている。
そして、曲線Ａ１は天井部の熱電対の測定値を示し、曲線Ａ２はマッピングセンサに設けた熱電対の測定値を示し、曲線Ａ３は電子部品に設けた熱電対の測定値を示す。ここでは被処理体移載エリア１０内にサイドフローが形成されており、被処理体ボート２０が７８０℃に加熱された状態でアンロードを行った時の温度が示されている。また、アンロード期間は、１６分程度に設定してある。
まず、図５に示すように、アンロードが開始されても移載アーム機構５６を退避させないでウエハ移載操作の動きを継続して行っている場合には、各曲線Ａ１〜Ａ３は、アンロード開始後は暫くは温度上昇が見られず、そして、３分程度経過した時に温度上昇が始まる。この場合、天井部の熱電対の温度を示す曲線Ａ１はかなり急激に温度上昇が生じ、途中に若干の温度の上下変動はあるものの、アンロード完了まで温度上昇は継続してピーク温度として１７０℃程度まで達する。そして、アンロード完了後は温度は急激に低下している。
またマッピングセンサの熱電対の温度を示す曲線Ａ２は、曲線Ａ１よりは少し緩やかな角度で温度上昇が生じ、アンロード完了まで温度上昇は継続してピーク温度として１２０℃程度まで達する。そして、アンロード完了後は温度は緩やかに低下している。更に、電子部品の熱電対の温度を示す曲線Ａ３は、曲線Ａ２よりも更に緩やかな角度で温度上昇が生じ、アンロード完了まで温度上昇は継続してピーク温度として９０℃程度まで達する。そして、アンロード完了後は温度は緩やかに低下している。
以上の結果から、被処理体ボート２０のアンロードが開始されても、直ちに移載アーム機構５６を退避させる必要はなく、その後、３分間程度はウエハの移載操作を継続して行っても、この移載アーム機構５６は熱的ダメージを受けないことが理解できる。
ここで、上記マッピングセンサ８２の耐熱上限温度は例えば１３０℃程度であるのに対して、カバー７６Ａで覆われた上記電子部品８４の耐熱上限温度は上記マッピングセンサ８２よりも低くて例えば５０℃程度なので、移載アーム機構５６が熱的ダメージを受けることなくウエハ移載の操作を効率的に行うために、上記第１の温度として電子部品８４の耐熱上限温度、すなわち５０℃を設定し、上記第２の温度として上記マッピングセンサ８２の耐熱上限温度、すなわち１３０℃を設定する。
この理由は、ウエハの移載操作を禁止して退避指示を出す時は、被処理体移載エリア１０内の雰囲気温度、特に天井部の雰囲気温度は急激な上昇傾向にあり、且つ底部の雰囲気温度も緩やかではあるが上昇傾向にあるので、すなわち換言すれば熱的に厳しい環境に移行しつつある段階なので、ここでは最も熱的に弱い電子部品８４の耐熱上限温度を退避を行うトリガとする。
これに対して、ウエハの移載の禁止を解除する退避解除指示を出す時は、被処理体移載エリア１０内の雰囲気温度、特に天井部の雰囲気温度は急激な下降傾向にあり、且つ底部の雰囲気温度も緩やかではあるが下降傾向にあるので、すなわち換言すれば熱的に緩やかな環境に移行しつつある段階なので、ここでは雰囲気に直接的に晒されるマッピングセンサ８２の耐熱上限温度を退避を行うトリガとする。この場合、熱的に弱い電子部品８４が熱的ダメージを受ける恐れが生ずるが、この電子部品８４は上述のようにカバー７６によって保護されているので、急激な温度上昇が生ずることはなく（図５中の曲線Ａ３参照）、熱的ダメージを受けることはない。
以上のような概念のもとに、温度測定手段８６が第１の温度（５０℃）を検出した時にウエハの移載操作を禁止して移載アーム機構５６の退避指示を出し、アンロード完了後に第２の温度（１３０℃）を検出した時に退避解除の指示を出した時の温度変化を図６に示す。
図６に示すように、退避指示により移載アーム機構５６は下方のボトムポジション９０に位置されるので、曲線Ａ２、Ａ３に示すように、マッピングセンサ８２や電子部品８４の温度上昇は抑制されて、これらが熱的ダメージを受けることがないことを理解することができる。この場合、ウエハ移載操作の禁止期間ｔ１は、１９分程度なので、従来の処理システムの場合の２６分よりも大幅に短縮化することができ、従って、その分ウエハ移載効率を向上させることができる。
次に、上記した一連の動作を図７に示すフローチャートも参照して説明する。
まず、装置制御部９においてウエハ処理の要求が有るか否かを判断する（Ｓ１）。この場合、例えばストッカ部１８に未処理のウエハを収容する収容ボックス６が貯留されていたり、或いは外部より未処理のウエハを収容する収容ボックス６が搬送されてくれば、その順序に従って、ウエハ処理の要求がなされていく。
ここでウエハ処理の要求があった場合には（Ｓ１のＹＥＳ）、前述したように、移載ステージ２２の載置台４２上に収容ボックス６を設定し、このウエハＷを被処理体エリア１０内の待機中の被処理体ボート２０へ移載する（Ｓ２）。そして、例えば収容ボックス６の４個分の１００枚のウエハＷの移載が完了したならば、この被処理体ボート２０をボート移載機構７４によりボート昇降手段６８へ移載（ボート交換）する（Ｓ３）。
上記被処理体ボート２０の移載を行ったならば、ボート昇降手段６８によりこの被処理体ボート２０を上昇させてローディング（ロード）し、処理ユニット２４の処理容器６４内へ被処理体ボート２０収容し、ウエハＷに対する熱処理を開始する（Ｓ４）。
次に、このウエハＷの熱処理中にウエハ処理の要求が有るか否かが判断され（Ｓ５）、ウエハ処理の要求が有った場合には（Ｓ５のＹＥＳ）、未処理のウエハを収容する収容ボックス６内のウエハＷを、上記Ｓ２のステップと同様に待機中の被処理体ボート２０へ移載する移載操作を開始する（Ｓ６）。尚、被処理体ボート２０は、ここでは２台、すなわち被処理体ボート２０Ａ、２０Ｂを有しており、これらが交互に用いられることになる。
そして、上記ウエハ処理の要求がない場合（Ｓ５のＮＯ）や上記ウエハの移載を行っている時に被処理体ボート２０のアンロードの開始指示が有るか否かが判断される（Ｓ７）。尚、ウエハの上記熱処理操作が完了すると装置制御部９２はアンロードの開始指示をすることになる。
上記判断の結果、アンロードの開始指示が無い場合には（Ｓ７のＮＯ）、上記Ｓ５のステップに戻る。そして、この判断の結果、アンロードの開始指示が有った場合には（Ｓ７のＹＥＳ）、装置制御部９２は例えば７８０℃程度の高温状態の被処理体ボート２０を降下させてアンロードを開始する。この開始後、暫くして被処理体移載エリア１０内の雰囲気温度は、図５及び図６で説明したように上昇してくることになる。
また、上記アンロードの開始指示のあったことは、アンロード開始信号によって上記装置制御部９２から移載制御部８８へ通知されることになる。この通知が入ると、この移載制御部８８は、被処理体移載エリア１０内の天井部に設けた温度測定手段８６が第１の温度（例えば５０℃）を検出したか否かの判断を開始する（Ｓ８のＮＯ）。すなわち、第１の判断工程を行う。そして、この第１の判断工程において第１の温度（例えば５０℃）を検出した場合には（Ｓ８のＹＥＳ）、上記装置制御部８８はウエハの移載操作を禁止乃至不許可とし（Ｓ９）、ウエハ移載中の場合には（Ｓ１０のＹＥＳ）、ウエハの移載操作を中断し（Ｓ１１）、移載アーム機構５６を下部に位置させて退避させる（Ｓ１２）。また、ウエハの移載中でない場合も（Ｓ１０のＮＯ）、同様に移載アーム機構５６を下部に位置させて退避させる（Ｓ１２）。これにより、上記移載アーム機構５６が熱的ダメージを受けることを防止する。
そして、このように移載アーム機構５６を退避させた状態で、上記移載制御部８８はアンロードの完了を示すアンロード完了信号が装置制御部９２側から通知されたか否かを判断し、アンロード完了信号の通知を待つ（Ｓ１３）。そして、アンロード完了信号を移載制御部８８が受けると、この移載制御部８８は上記温度測定手段８６が第２の温度（例えば１３０℃）を検出したか否かの判断を開始する（Ｓ１４のＮＯ）。すなわち、第２の判断工程を行う。
そして、この第２の判断工程において、第２の温度（例えば１３０℃）を検出したならば（Ｓ１４のＹＥＳ）、ウエハ移載操作の禁止（不許可）を解除する（Ｓ１５）。この解除により、ウエハの移載操作が中断されていた場合、或いはウエハ処理の要求があった場合には（Ｓ１６のＹＥＳ）、Ｓ２のステップへ戻って、ウエハの移載操作が再開、或いは開始されることになる。また、ウエハの移載操作の中断やウエハ処理の要求が無い場合には（Ｓ１６のＮＯ）、処理が終了することになる。
このように、本発明によれば、被処理体ボート２０に対して被処理体である半導体ウエハＷを移載するための被処理体移載エリア１０内の上部に温度測定手段８６を設け、この温度測定手段８６の測定値に基づいて移載アーム機構５６の移載動作を制御するようにしたので、移載アーム機構５６が熱的ダメージを受けることを防止しつつ、移載アーム機構５６が退避している時間を最小限にして被処理体の移載操作を効率的に行うようにし、もってスループットを向上させることができる。
尚、上記実施例における第１の温度及び第２の温度は、単に一例を示したに過ぎず、対応する各部材の耐熱上限温度が変われば、これに対応して第１の温度及び第２の温度の各値も変化させるのは勿論である。
また、ここでは温度測定手段８６を一個設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、複数個設けるようにしてもよく、この際は上記移載アーム機構５６の上方に必ず１つは設けるのが好ましい。そして、この温度測定手段８６を複数個設けた場合には、最も高い雰囲気温度を検出した温度測定手段８６の測定値を有効なものとして扱えばよい。
また、ここでは温度測定手段８６を被処理体移載エリア１０内の上部として天井部に設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、移載アーム機構５６がウエハ移載操作の際に到達する最上部（上死点）の位置に設けるようにしてもよい。
更に、上記実施例では、被処理体移載エリア１０内の上部に温度測定手段８６を設けたが、これに加えて動作の安全のために移載アーム機構５６にも他の温度測定手段を設けるようにしてもよい。具体的には、例えば熱電対よりなる他の温度測定手段を移載アーム機構５６のマッピングセンサ８２や電子部品８４等に設けるようにして、監視すべき対象物の温度を直接的に監視し、監視対象物の耐熱上限温度を検出した時に移載アーム機構５６を退避させるようにする。これによれば、天井部の温度測定手段が故障等しても動作の安全性を高めることができる。
また、ここでは不活性ガスとしてＮ２ ガスを用いた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、Ａｒガス、Ｈｅガス等の希ガスを用いてもよい。
また、ここでは処理システム２として、被処理体移載エリア１０の前段に収容ボックス搬送エリア８を設けた場合について説明したが、これに限定されず、収容ボックス搬送エリア８を設けないで、この部分をクリーンルーム内の作業領域とし、オペレータが収容ボックス６を直接的に移載ステージ２２の載置台４２上に載置するような構造の処理システムとしてもよい。
また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、ＬＣＤ基板、セラミック基板等にも本発明を適用することができる。
本発明に係る被処理体の処理システムの一例を示す概略構成図である。 被処理体移載エリア内の各構成部材の配列位置の一例を示す平面図である。 被処理体の移載アーム機構の一例を示す図である。 １バッチ処理における各工程のタイミングチャートの一例を示す図である。 移載アーム機構を退避させない時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフである。 移載アーム機構を退避させた時の被処理体移載エリア内における各部の温度変化を示すグラフである。 半導体ウエハに対する搬送を含む熱処理の全工程を示すフローチャートである。
符号の説明
２ 被処理体の処理システム
４ 筐体（区画壁）
６ 収容ボックス
６Ａ 開閉蓋
８ 収容ボックス搬送エリア
１０ 被処理体移載エリア
１６ 搬出入ポート
２０ 被処理体ボート
２２ 移載ステージ
２４ 処理ユニット
５２ 移載用ボート載置台
５４ 待機用ボート載置台
５６ 移載アーム機構
５８ アーム昇降手段
６４ 処理容器
６６ 加熱ヒータ
６８ ボート昇降手段
７４ ボート移載機構
７６ ベース台
７６Ａ カバー
７８ アーム台
８０，８０Ａ〜８０Ｅ アーム
８２ マッピングセンサ
８４ 電子部品
８６ 温度測定手段
８６Ａ 熱電対
８８ 移載制御部
９０ ボトムポジション
９２ 装置制御部
９４ 記憶媒体
Ｗ 半導体ウエハ（被処理体）

Claims (10)

  1. 複数の被処理体を収容する収容ボックスから前記被処理体を取り出して前記被処理体に対して熱処理を施すようにした被処理体の処理システムにおいて、
    前記被処理体に対して熱処理を施すための縦型の処理ユニットと、
    前記処理ユニットの下方に設けられて周囲が区画壁により区画された被処理体移載エリアと、
    前記被処理体を複数段に亘って保持する複数の被処理体ボートと、
    前記被処理体ボートを昇降させて前記処理ユニット内へロード及びアンロードするボート昇降手段と、
    前記被処理体の移載時に前記被処理体ボートを載置する移載用ボート載置台と、
    前記区画壁に設けられた移載ステージに設置した前記収容ボックスと前記移載用ボート載置台上に載置された被処理体ボートとの間で前記被処理体を移載するための移載アーム機構と、
    前記移載アーム機構を昇降させるアーム昇降手段と、
    前記被処理体ボートを前記移載用ボート載置台と前記ボート昇降手段との間で移載するボート移載機構と、
    熱処理が施された前記被処理体がアンロードされた前記被処理体移載エリア内の雰囲気温度を検出するために前記被処理体移載エリア内の上部に設けられた温度測定手段と、
    前記温度測定手段の測定値に基づいて前記移載アーム機構の移載動作を制御し、前記処理ユニットから前記被処理体ボートを降下させるアンロードを開始した後に前記温度測定手段が第１の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載を禁止して前記移載アーム機構を前記被処理体移載エリア内の下部に位置させて退避させるようにし、前記アンロードを完了した後に前記温度測定手段が前記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載の禁止を解除するように動作させる移載制御部と、
    を備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。
  2. 前記被処理体移載エリア内には、前記被処理体ボートを一時的に待機させるための待機用ボート載置台が設けられていることを特徴とする請求項１記載の被処理体の処理システム。
  3. 前記被処理体移載エリア内は、不活性ガス又は清浄空気の雰囲気になされていることを特徴とする請求項１又は２記載の被処理体の処理システム。
  4. 前記移載アーム機構には、前記収容ボックスに収容されている被処理体の位置、或いは前記被処理体ボートに支持されている被処理体の位置を検出するマッピングセンサが設けられており、前記第２の温度は前記マッピングセンサの耐熱上限温度であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の被処理体の処理システム。
  5. 前記移載アーム機構には、カバーにより保護された電子部品が設けられており、前記第１の温度は、前記電子部品の耐熱上限温度であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の被処理体の処理システム。
  6. 前記温度測定手段は、１又は複数個設けられると共に、前記移載アーム機構の上方に１つ位置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の被処理体の処理システム。
  7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の被処理体の処理システムを用いて被処理体に熱処理を施す熱処理方法において、
    複数枚の被処理体を保持している被処理体ボートを処理ユニット内へロードして前記被処理体に対して熱処理を施し、熱処理を施したならば前記被処理体ボートをアンロードするようにした熱処理工程と、
    移載アーム機構を用いて収容ボックスから前記被処理体ボートとは異なる被処理体ボートに対して被処理体を移載する移載工程と、
    被処理体移載エリア内の上部の雰囲気の温度を温度測定手段によって測定する温度測定工程と、
    前記処理ユニットから前記被処理体ボートを降下させるアンロードを開始した後に前記温度測定手段が第１の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載を禁止して前記移載アーム機構を前記被処理体移載エリア内の下部に位置させて退避させる第１の判断工程と、
    前記アンロードを完了した後に前記温度測定手段が前記第１の温度よりも高い第２の温度を検出した時以降は前記被処理体の移載の禁止を解除する第２の判断工程と、
    を有することを特徴とする被処理体の熱処理方法。
  8. 前記移載アーム機構には、前記収容ボックスに収容されている被処理体の位置、或いは前記被処理体ボートに支持されている被処理体の位置を検出するマッピングセンサが設けられており、前記第２の温度は前記マッピングセンサの耐熱上限温度であることを特徴とする請求項７記載の被処理体の熱処理方法。
  9. 前記移載アーム機構には、カバーにより保護された電子部品が設けられており、前記第１の温度は、前記電子部品の耐熱上限温度であることを特徴とする請求項７又は８記載の被処理体の熱処理方法。
  10. 請求項７乃至９のいずれか一項に記載した被処理体の処理システムの使用方法を実行するためのプログラムが記憶されたコンピュータで読み取り可能な記憶媒体。
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