JP5217668B2 - 被処理体の移載機構及び被処理体の処理システム - Google Patents
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Description
請求項3の発明は、請求項2の発明において、前記フォーク手段は、前記旋回台に設けられて、前記被処理体の有無を検出する光センサを先端部に有して前進及び後退可能になされたセンサ付きフォーク本体を備えていることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項2乃至4のいずれか一項の発明において、前記イオン発生手段は、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段を有しており、前記イオン発生手段のイオン吹出しノズルは、前記旋回台の先端部に設けられることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項3又は6の発明において、前記イオン発生手段は、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段を有しており、前記イオン発生手段のイオン吹出しノズルは、前記センサ付きフォーク本体の先端部に設けられることを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項5又は7の発明において、前記イオン吹出しノズルには、前記イオンの吹き出し方向を変化させるための可変ルーバが設けられていることを特徴とする。
請求項12の発明は、請求項1乃至11のいずれか一項の発明において、前記処理容器は、底部に開口を有すると共に有天井になされた石英製の円筒体よりなり、前記開口には気密に着脱可能になされたキャップが装着されることを特徴とする。
請求項14の発明は、請求項1乃至13のいずれか一項の発明において、前記被処理体移載エリアには、清浄気体のサイドフローが形成されていることを特徴とする。
被処理体を収容する収容ボックスと処理容器内へロード及びアンロードされる被処理体保持手段との間で被処理体の移載を行う移載機構において、被処理体を載置して移動するフォーク手段にイオンをフォーク手段の前方に放出するイオン発生手段を設けて静電気を除去するようにしたので、少ない台数のイオン発生手段で例えば被処理体移載エリア内の広範囲に亘って帯電箇所の除電及び浮遊する帯電塵の除電を行うことができる。また、被処理体移載エリア内の帯電状況によってはイオン発生器の動作を停止するので、イオン発生に用いるキャリアガス等を無駄に消費することを防止することができる。
図1は本発明に係る被処理体の処理システムの一実施形態を示す概略構成図、図2は本発明に係る被処理体の移載機構を設置した被処理体移載エリア内の各構成部材の配列位置の一例を示す平面図、図3は被処理体移載エリア内の清浄気体の流れを示す斜視図、図4は被処理体移載エリア内の各構成部材の配列位置と移載機構の動作状況の一例を示す斜視図、図5はイオン発生手段を有する移載機構を示す拡大斜視図、図6は移載機構のフォーク手段を示す側面図、図7はイオン発生手段の各種形態を示すブロック構成図である。
次に、本発明の被処理体の搬送機構の変形実施形態について説明する。先の実施形態にあっては、イオン発生手段60の全体を旋回台92に設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、イオン発生手段60の一部、或いは全部をフォーク本体94側に取り付けるようにしてもよい。図8はこのような本発明の被処理体の搬送機構の変形実施形態の一例を示す側面図、図9は本発明の被処理体の搬送機構の変形実施形態の一例を示す平面図であり、図8中のA−A線矢視概略断面図を示している。尚、図8及び図9において、図5中の構成部費かと同一構成部品については同一参照符号を付してある。
4 筐体
6 収容ボックス
8 収容ボックス搬送エリア
10 被処理体移載エリア
18 ウエハボート(被処理体保持手段)
22 処理ユニット
32 昇降エレベータ
34 ボックス搬送アーム
48 移載用ボート載置台
50 待機用ボート載置台
52 被処理体の移載機構
54 昇降手段
56 昇降台
58 フォーク手段
60 イオン発生手段
64 処理容器
68 ボート昇降機構
70 キャップ
74 ボート移載機構
76 フィルタ
78 サイドフロー
92 旋回台
94,94A〜94E フォーク本体
96 スライダ
98 イオン発生器
100 イオン流路
102 イオン吹出しノズル
104 キャリアガス供給手段
108 キャリアガス管
112 帯電量検出センサ
114 イオン用制御部
120 システム制御部
130 光センサ
132 拡散ヘッド
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (15)
- 全体が区画壁により囲まれて閉じられた被処理体移載エリア内にて、複数の被処理体を複数段に亘って保持して収容することが可能な収容ボックスと、複数の被処理体を複数段に亘って保持し、前記被処理体に対して所定の処理を施すための処理容器内へロード及びアンロードされる被処理体保持手段との間で、前記被処理体の移載を行う被処理体の移載機構において、
昇降手段により上下方向へ昇降可能になされた昇降台と、
前記昇降台に設けられて、前記被処理体を載置して前進、後退及び旋回可能になされたフォーク手段と、
前記フォーク手段に設けられて静電気を除去するイオンを発生させると共に発生した前記イオンを前記フォーク手段の前方に向けて放出するイオン発生手段と、
前記被処理体移載エリア内に設けられる帯電量検出センサと、
前記帯電量検出センサの検出値に基づいて前記イオン発生手段の動作を制御するイオン用制御部とを備え、
前記フォーク手段の移動する全ての領域に対して前記イオンを放出するようにしたことを特徴とする被処理体の移載機構。 - 前記フォーク手段は、
前記昇降台上に旋回可能に設けられた旋回台と、
前記旋回台に設けられて前記被処理体を載置して前進及び後退可能になされた複数のフォーク本体と、
よりなることを特徴とする請求項1記載の被処理体の移載機構。 - 前記フォーク手段は、
前記旋回台に設けられて、前記被処理体の有無を検出する光センサを先端部に有して前進及び後退可能になされたセンサ付きフォーク本体を備えていることを特徴とする請求項2記載の被処理体の移載機構。 - 前記イオン発生手段は、前記旋回台に設けられることを特徴とする請求項2又は3記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン発生手段は、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段を有しており、前記イオン発生手段のイオン吹出しノズルは、前記旋回台の先端部に設けられることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン発生手段は、前記センサ付きフォーク本体に設けられることを特徴とする請求項3記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン発生手段は、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段を有しており、前記イオン発生手段のイオン吹出しノズルは、前記センサ付きフォーク本体の先端部に設けられることを特徴とする請求項3又は6記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン吹出しノズルには、前記イオンの吹き出し方向を拡散させる拡散ヘッドが設けられることを特徴とする請求項5又は7記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン吹出しノズルには、前記イオンの吹き出し方向を変化させるための可変ルーバが設けられていることを特徴とする請求項5又は7記載の被処理体の移載機構。
- 前記イオン発生手段は、イオナイザであることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構。
- 前記収容ボックスは、着脱可能になされた開閉蓋を有し、内部は密閉可能になされていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構。
- 前記処理容器は、底部に開口を有すると共に有天井になされた石英製の円筒体よりなり、前記開口には気密に着脱可能になされたキャップが装着されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構。
- 前記被処理体の移載を行う空間は、前記処理容器の下方の被処理体移載エリアであることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構。
- 前記被処理体移載エリアには、清浄気体のサイドフローが形成されていることを特徴とする請求項13記載の被処理体の移載機構。
- 複数の被処理体を収容する収容ボックスから前記被処理体を取り出して前記被処理体に対して熱処理を施すようにした被処理体の処理システムにおいて、
前記被処理体に対して熱処理を施すための処理容器を有する縦型の処理ユニットと、
前記処理ユニットの下方に設けられて周囲が区画壁により区画された被処理体移載エリアと、
前記被処理体を複数段に亘って保持する被処理体保持手段と、
前記被処理体保持手段を昇降させて前記処理容器内へロード及びアンロードする保持手段用昇降手段と、
前記区画壁に設けられた移載ステージに設置した前記収容ボックスと前記被処理体保持手段との間で前記被処理体を移載するための請求項1乃至14のいずれか一項に記載の被処理体の移載機構と、
を備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。
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