JP2013074112A - ハンドおよび基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記の課題を解決するために、複数のフォークと、生成部であるところのイオナイザと、噴出部であるところの噴出孔とを備えるようにハンドおよびかかるハンドを備える基板搬送装置を構成する。上記の複数のフォークは、基板を載置する。上記のイオナイザは、上記のフォークの内部に設けられ、イオン化した気体を生成する。上記の噴出孔は、上記のイオナイザによって生成されたイオン化した気体を噴出する。
【選択図】図2
Description
まず、第1の実施形態に係るハンドおよび基板搬送装置を含む基板搬送システムの構成例について、図1を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係るハンド15および基板搬送装置10を含む基板搬送システム1の構成例を示す図である。
次に、第2の実施形態に係るハンド15Aの構成例について、図9Aを用いて説明する。図9Aは、第2の実施形態に係るハンド15Aの構成例を示す図である。
次に、第3の実施形態に係るハンド15Bの構成例について、図9Bを用いて説明する。図9Bは、第3の実施形態に係るハンド15Bの構成例を示す図である。
10 基板搬送装置
11 昇降機構
12 旋回機構
13 伸縮機構
14 支持部材
15、15A、15B ハンド
16 ベース
20 コントローラ
30 カセット
100 基板
150 フォーク
150a タップ孔
151 吸着部
152、152A キャップ
152a 取り付け部
152b 連接孔
152c 噴出孔
153 イオナイザ
154、154A、154B 配管
155 噴出孔
155a 空気溜り
156 開口部
157 蓋
200 ネジ
Claims (7)
- 基板を載置する複数のフォークと、
前記フォークの内部に設けられ、イオン化した気体を生成する生成部と、
前記生成部によって生成された前記気体を噴出する噴出部と
を備えることを特徴とするハンド。 - 前記噴出部は、
前記フォークの先端部近傍の前記基板を載置する面側に設けられることを特徴とする請求項1に記載のハンド。 - 前記生成部は、
前記噴出部の近傍に設けられることを特徴とする請求項1または2に記載のハンド。 - 前記フォークは、
前記基板を載置する際に当該基板を吸着する吸着部を有しており、
前記噴出部は、
前記吸着部の近傍に設けられることを特徴とする請求項1、2または3に記載のハンド。 - 前記噴出部は、
前記気体を前記吸着部へ向けて噴出することを特徴とする請求項4に記載のハンド。 - 前記フォークの先端部へ取り付けられるキャップ
をさらに備え、
前記キャップは、
前記先端部へ取り付けられた場合に、前記生成部において生成された前記気体を導通する導通管と前記噴出部とを連接する連接孔を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のハンド。 - 請求項1〜6のいずれか一つに記載のハンド
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
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