JP2007281254A - 基板支持体及び基板搬送機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理システムに配置された基板搬送ユニットが備える搬送フォーク25(28)は、ウエハWに対向する対向面30に配置された5つの支持ピン31を備え、各支持ピン31は、エラストマ等の弾性材料からなり、ウエハWの裏面に接触する半球状の頭部32と、頭部32を対向面30から離間させて担持する円柱状の基部33とを備え、頭部32は対向面30に対して略平行に突出する傘部35を有し、傘部35、基部33及び対向面30は空間Sを形成し、頭部32の断面形状は対向面30側からウエハWの裏面に向けての先細り形状を呈する。
【選択図】図3
Description
10 基板処理システム
17,19 基板搬送ユニット
25,28,157 搬送フォーク
27,29,156 アーム
30 対向面
31,38 支持ピン
32,39 頭部
33 基部
35 傘部
36 制動線
37,42 貫通孔
40 リング部
41 円板部材
Claims (5)
- 基板を支持して移動する基板支持体であって、前記支持された基板に対向する対向面と、該対向面に配置され且つ前記基板の裏面を支持する複数の支持部材とを備える基板支持体において、
少なくとも2つの前記支持部材が前記基板の搬送方向に対する直角方向の直線上に配置され、
前記支持部材は、弾性材料からなり且つ前記基板の裏面と接触する頭部と、該頭部を前記対向面から離間させる基部とを備え、
前記頭部は前記対向面に対して略平行に突出する突出部を有し、該突出部、前記基部及び前記対向面は空間を形成し、前記頭部の断面形状は前記対向面側から前記基板の裏面に向けての先細り形状であることを特徴とする基板支持体。 - 前記頭部は半球状であることを特徴とする請求項1記載の基板支持体。
- 前記頭部は環状部と該環状部及び基部を連結する連結部とを有し、該連結部は前記対向面に対して略平行に配された平板部材からなることを特徴とする請求項1記載の基板支持体。
- 前記支持部材は前記頭部における前記基板の裏面との接触部において一端が開口し、且つ空間に向けて開口する通気孔を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板支持体。
- 基板を支持して移動する基板支持体と、該基板支持体に接続され且つ伸縮・回転自在な腕部とを備える基板搬送機構において、
前記基板支持体は、前記支持された基板に対向する対向面と、該対向面に配置され且つ前記基板の裏面を支持する複数の支持部材とを備え、
前記基板支持体において少なくとも2つの前記支持部材が前記基板の搬送方向に対する直角方向の直線上に配置され、
前記支持部材は、弾性材料からなり且つ前記基板の裏面と接触する頭部と、該頭部を前記対向面から離間させる基部とを備え、
前記頭部は前記対向面に対して略平行に突出する突出部を有し、該突出部、前記基部及び前記対向面は空間を形成し、前記頭部の断面形状は前記対向面側から前記基板の裏面に向けての先細り形状であることを特徴とする基板搬送機構。
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