JP5779957B2 - ローディングユニット及び処理システム - Google Patents
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Description
基板に対して熱処理を施すための筒体状の処理容器に対して基板を複数枚保持した基板保持具を昇降させるようにしたローディングユニットにおいて、ローディング室内の必要部分のみを区画箱で区画して、この区画箱内に不活性ガスを流すようにすることにより、不活性ガスの使用量を大幅に削減することが可能であり、しかも冷却効率も向上させることができる。
また、冷却効率を向上させて迅速な冷却が可能となることから、基板に対する熱処理のスループットも向上させることができる。
また、冷却効率を向上させて迅速な冷却が可能となることから、基板に対する熱処理のスループットも向上させることができる。
次に本発明のローディングユニットの第1変形実施例について説明する。先に説明した実施例では、第1の区画箱90内のウエハボート収容エリア104内へ降下してくる基板保持具56に対しては、内筒98に設けた多数のガス噴射孔108から均等に冷却ガスを吹き付けるようにしたが、上記多数のガス噴射孔108からのガス噴射に加えて上記基板保持具56の熱容量が大きい部分、すなわち保温筒60に対して特に多量の冷却ガスを噴射して、基板保持具56の全体の冷却高率をより向上させるようにしてもよい。図8はこのような本発明のローディングユニットの第1変形実施例を示す部分拡大断面図である。図8において図1及び図2に示す構成部分と同一構成部分については同一参照符号を付して、その説明を省略する。
4 筐体
6 中央区画壁
8 ストッカユニット
12 ベースプレート
14 処理ユニット
16 ローディングユニット
44 開口部
46 処理容器
56 基板保持具
58 ウエハボート
62 キャップ
66 昇降エレベータ機構
68 ローディング用筐体
70 ローディング室
72 基板移載機構
78 移載アーム
86 シャッタ部
86A シャッタ本体
90 第1の区画箱
92 第2の区画箱
94 第3の区画箱
96 冷却ガス噴射手段
98 内筒
100 外筒
104 ウエハボート収容エリア
106 エレベータ収容エリア
108 ガス噴射孔
114,130,142 ガス導入口
116,132,144 ガス排出口
122,134 開閉ゲート部
124 移載機構区画壁
126 移載機構収容エリア
140 シャッタ部収容エリア
210 補助冷却手段
214 冷却ガスヘッダ
W 基板
Claims (9)
- 基板に対して熱処理を施すために前記基板を複数枚保持した基板保持具を、下端が開口されてキャップにより閉じられる筒体状の処理容器に対して昇降させるようにしたローディングユニットにおいて、
外側全体を囲んでローディング室を形成するローディング用筐体と、
前記基板保持具を保持して昇降させる昇降エレベータ機構と、
前記基板保持具が降下された時に前記処理容器の下端の開口部を閉じるシャッタ部と、
降下された前記基板保持具に対して前記基板の移載を行うために昇降可能になされた移載アームを有する基板移載機構と、
所定の隙間を介して同心円状に配置された内筒と外筒とにより二重管構造に形成されて前記昇降エレベータ機構を囲むように設けられると共に昇降される前記基板保持具の移動範囲を囲むようにして設けられた第1の区画箱と、
前記第1の区画箱に連結され、前記基板移載機構と該基板移載機構の移動範囲を囲むようにして設けられた第2の区画箱と、
前記第1の区画箱に連結され、前記シャッタ部を囲むようにして設けられた第3の区画箱と、
前記内筒の全周に亙って設けられる複数のガス噴射孔を有すると共に前記内筒と前記外筒との間の隙間に供給される冷却ガスを前記ガス噴射孔を介して前記第1の区画箱の内側に噴射するようにした冷却ガス噴射手段と、
を備えるように構成したことを特徴とするローディングユニット。 - 前記冷却ガス噴射手段は、前記内筒と前記外筒との間の前記隙間に前記冷却ガスを導入するガス導入口を有すると共に前記ローディング用筐体内には噴射された前記冷却ガスを排出するためのガス排出口を有することを特徴とする請求項1記載のローディングユニット。
- 前記第1の区画箱の前記昇降エレベータ機構側には、切り欠かれた部分を有し、前記切り欠かれた部分と前記ローディング用筐体との間には、前記昇降エレベータ機構を両側から囲むようにして一対のエレベータ区画壁が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のローディングユニット。
- 前記冷却ガス噴射手段の前記ガス噴射孔は、降下される前記基板保持具に対向させて設けられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のローディングユニット。
- 前記第1の区画箱と前記第2の区画箱との連結部には、内部を互いに連通又は遮断するための開閉ゲート部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のローディングユニット。
- 前記第1の区画箱と前記第3の区画箱との連結部には、内部を互いに連通又は遮断するための開閉ゲート部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のローディングユニット。
- 前記各区画箱に対して不活性ガスを導入するためのガス導入口と、内部の雰囲気を排出するためのガス排出口が設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のローディングユニット。
- 前記基板保持具は、前記基板を支持するウエハボートと、前記ウエハボートの下端部を支持する保温筒とを有し、前記基板保持具の降下時に前記保温筒に対応して降下させるようにした補助冷却手段が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のローディングユニット。
- 基板に対して熱処理を施す処理ユニットと、
前記処理ユニットの下方に設けられた請求項1乃至8のいずれか一項に記載のローディングユニットと、
前記ローディングユニットに並設されて、複数枚の前記基板を収容した基板容器を待機させるストッカユニットと、
を備えたことを特徴とする処理システム。
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