JP3917139B2 - ポッドオープナのポッドクランプユニット及びクランプ方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造プロセスにおいて、ポッドと呼ばれる搬送容器に内部保持されたウエハを半導体処理装置に移載する際に当該ポッドが載置されて用いられる、いわゆるFIMS（front-opening interface mechanical standard）システムに関する。より詳細には、いわゆるFOUP(front-opening unified pod)と呼ばれるポッドが載置されると共に当該ポッドに対する半導体ウエハの移載を行うFIMSシステムにおいて、ポッドをFIMSシステムに固定するポッドクランプユニット、当該ユニットに対応するポッド、及び当該ユニットを用いたクランプ機構及びクランプ方法に関する。

以前、半導体製造プロセスは、半導体ウエハを取り扱う部屋内部を高清浄化したいわゆるクリーンルーム内において行われていた。しかしウエハサイズの大型化とクリーンルームの管理に要するコスト削減との観点から、近年では処理装置内部、ポッド（ウエハの収容容器）、及び当該ポッドから処理装置への基板受け渡しを行う微小空間のみを高清浄状態に保つ手法が採用されるに至っている。

ポッドは、その内部に複数のウエハを平行且つ隔置した状態で保持可能な棚と、その一面にウエハ出し入れに用いられる開口部とを有する略立方体形状を有する本体部と、その開口部を閉鎖する蓋とから構成される。この開口部の形成面がポッドの鉛直下方ではなく一側面（微小空間に対して正面）に配置されたポッドは、FOUP(front-opening unified pod)と総称され、本発明はこのFOUPを用いる構成を主として対象としている。

上述した微小空間は、ポッド開口部と向かい合う第一の開口部と、第一の開口部を閉鎖するドアと、半導体処理装置側に設けられた第二の開口部と、第一の開口部からポッド内部に侵入してウエハを保持すると共に第二の開口部を通過して処理装置側にウエハを搬送する移載ロボットとを有している。微小空間を形成する構成は、同時にドア正面にポッド開口部が正対するようにポッドを支持する載置台を有している。

載置台上面には、ポッド下面に設けられた位置決め用の穴に嵌合されてポッドの載置位置を規定する位置決めピンと、ポッド下面に設けられた被クランプ部と係合してポッドを載置台に対して固定するクランプユニットとが配置されている。通常、載置台はドア方向に対して所定距離の前後移動が可能となっている。ポッド内のウエハを処理装置に移載する際には、ポッドが載置された状態でポッドの蓋がドアと接触するまでポッドを移動させ、接触後にドアによってポッド開口よりその蓋が取り除かれる。これら操作によって、ポッド内部と処理装置内部とが微小空間を介して連通することとなり、以降ウエハの移載操作が繰り返して行われる。この載置台、ドア、第一の開口部、ドアの開閉機構、第一の開口部が構成された微小空間の一部を構成する壁等を含めて、FIMS（front-opening interface mechanical standard）システムと総称される。

FIMSシステムにおけるクランプ機構は、ポッド底面に設けられた凹部であってその凹部開口の一部を覆うように凹部の中央に向けて突出した被クランプ部を有する係合凹部と、載置台側に配置されたクランプユニットとから構成される。従来からあるクランプユニットとしては、特許文献１乃至３に開示される構成が知られている。特許文献１に開示されるクランプユニットは、一端にカギ爪が形成された略棒状の部材の中央部を回動可能に支持し、他端をアクチュエータと接続して構成される。当該構成においては、他端をアクチュエータによって駆動することでクランプ部材を回転させ、カギ爪がポッドの被クランプ部と係合する仕組みとなっている。また、特許文献３に開示されるクランプユニットも、軸中心に回転するカギ爪がポッドの被クランプ部と係合する構成となっている。

しかしながら、本構成においては、ポッド固定時において、カギ爪が被クランプ部上を摺動しながら最終停止位置に達する。このために、パーティクル等を発生する可能性が高く、パーティクル等の発生、存在を極端に嫌うFIMSシステムにおいては、当該構成は用いられなくなってきている。当該構成に換えて、近年は、以下に示すクランプユニット（特許文献２参照）からなる構成が用いられている。

当該クランプユニットにおいては、略Ｔ字形状を有するクランプ部材が用いられる。具体的には、ポッドが載置台上の所定位置に載置された後に、当該クランプ部材は一旦上昇し、ポッド内に設けられた回動空間内で停止後、略90度回転し、その後下降して回動空間の下方開口を狭めるように張り出した被クランプ部と係合する。当該構成においては、特許文献１の場合とは異なりクランプ部材と被クランプ部表面とが擦れ合うことが無いため、これに起因するパーティクル等は大幅に低減される。

上述した特許文献２に開示されたクランプユニットは、特許文献４に開示されるロータリクランプシリンダ等を用いたものである。ロータリクランプシリンダは、伸縮可能なピストンロッドが伸長状態から収縮状態に至る際に、その伸縮軸と垂直な平面におけるピストンロッドの向きが略90度回転するものである。実際には、ピストンロッドの上部にクランプ用部材を固定して用いられる。クランプ操作においては、ポッドを載置台上に載置した状態で、載置台表面から突出するクランプ用部材が係合凹部に既に進入している。この状態からピストンロッドを収縮させることにより、クランプ用部材が被クランプ部と係合し、ポッドの固定が行われる。

特開２００２−１６４４１２号公報 米国特許第６５０１０７０Ｂ１号 米国特許第６２８１５１６Ｂ１号 実開平５−５２３０５号公報

しかし、特許文献２に開示される方式においては、ポッド内にＴ字状のクランプ部材が回転するための大きな回動空間が必要となる。この回動空間は被クランプ部の存在によってその開口が狭められており、洗浄等を行う上で直接アクセスできない空間となる。このようなアクセスが困難な空間の存在は、ポッドの清浄度を保つ上で好ましくない。また、このような突出部分の存在は、載置台表面を清浄に保つ、具体的には清掃等行う場合にこれら操作を煩雑なものとし、また完全な粉塵等の除去を妨げる要因となり得る。このような要因は、より配線の細い半導体を製造する上で製造歩留まりを低下させる恐れがあり、極力排除されることが望ましい。

上述のＴ字形状を一方向にのみクランプ用の部分が突出する形状に変更することで、上述したようなアクセス困難な空間をある程度小さくとすることは可能である。また、これによって載置台表面上の突出部分も減らすことができる。しかし、当該方法に用いられるロータリクランプシリンダは、その構成上、ポッドが非係合の状態で常にピストンロッドを伸長させておく必要がある。このため、載置台上にポッドを載置する際に、位置決めピンによるポッド位置決めがなされる以前に、ポッド下面とピストンロッド先端のクランプ用部材とが接触し、ポッドに対して不必要な衝撃を与える、或いは本来生じないはずのパーティクル等を発生させる等の問題を生じる恐れがある。

この問題は、Ｔ字状クランプ部材の回転用の諸構成を必要とすること、或いは大きな回動領域を必要とすることによる位置決め上の理由等により、Ｔ字状部分が載置台表面に突出せざるを得ない特許文献２に開示される方式においても同様に生じ得る。更に特許文献２に開示されるクランプ部材は載置台の移動に伴って上下動する構成を採用しており、この点からも必然的に載置台表面から突出する構成となる。

また、近年ウエハサイズが大型化することに伴って、ポッド自体も、その大型化とその重量の増加とが進んでいる。このため、これまで大きな問題とはならなかったこのクランプ用の部材とポッド下面との不必要な接触、衝突といった上記の事態が生じる可能性が顕在化しつつある。ポッド自体及びこれに収容されるウエハ全ての重量が重くなった場合、上述した不必要な衝撃も大きくなる可能性が高く、このような事態は未然に防ぐ必要がある。

さらに近年、このようなFIMSシステムを、いわゆるオープンカセットにも対応させたい旨の要望が存在している。しかしながら、現状FOUPに対応するためには載置台表面にこのような位置決め用のピン以外の突出部分が存在する構成が必然となっている。このため、FOUP用のFIMSシステムに対しては、オープンカセットを載置台上に載置することは不可能である。

本発明は、上記状況に鑑みて為されたものであり、ポッドをFIMSシステムに固定するポッドクランプを行う際に、当該クランプに要する部材を載置台表面に突出させること無したポッドクランプユニット、及び当該ユニットを用いたクランプ機構或いはクランプ方法を提供することを目的としている。また、本発明は、クランプに際してはクランプユニットと被クランプ部との摺動が生じ得る状況をこれらの接触時のみとするポッドクランプユニット、及び当該ユニットを用いたクランプ機構或いはクランプ方法を提供することを目的としている。更に、本発明は、係合凹部におけるアクセス困難な領域を必要最小限にとどめるポッドクランプユニット及び当該ユニットを用いたクランプ機構或いはクランプ方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明に係るポッドクランプユニットは、一側面に開口するポッド本体と開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、蓋を開閉してポッド内部へのウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、ポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、載置台の表面に対して上下動可能な略棒状の昇降ピストンと、昇降ピストンの上端部に固定されるクランプピンシリンダと、クランプピンシリンダに収容されて上下方向に対して直交する方向に伸縮可能な略棒状のクランプ部材とを有し、クランプ部材の伸縮動作は、昇降ピストンがその上昇位置及びその近傍に存在する際にのみ実行可能であることを特徴としている。

なお、上述のポッドクランプユニットにおいて、クランプ部材はクランプピンシリンダに設けられたクランプ部材の一部を収用可能な空間によって収用されており、空間に圧力媒体を導入及び排出することによってクランプ部材の伸縮操作が為されることが好ましい。また、上述のポッドクランプユニットにおいて、昇降ピストンは昇降ピストンの下方を収用する昇降ピストンシリンダによってその非収用部分が上下方向に伸縮可能に支持されており、昇降ピストンピンシリンダは載置台に固定されていることが好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るポッドクランプ機構は、上述したポッドクランプユニットと、ポッドの底面に設けられた係合凹部とからなるポッドクランプ機構であって、係合凹部は、クランプピンシリンダを所定深さに収容可能な内部深さとクランプ部材が突出した状態でのクランプピンシリンダを収用可能な内部広さを有する係合穴と、係合穴の開口部分において開口を狭めるように係合穴の中心に向かって張り出して、開口をクランプピンシリンダが進入可能であると共にクランプピンが突出した状態でのクランプピンシリンダの進入が不可能な広さに規定する被クランプ部分とを有することを特徴としている。

なお、上述のポッドクランプ機構においては、載置台表面にはクランプピンシリンダが通過可能な孔が形成されていることが好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るポッドクランプ方法は、一側面に開口するポッド本体と開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、蓋を開閉してポッド内部へのウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、ポッドを載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、載置台の表面上の所定位置にポッドを載置する工程と、載置台表面からポッド底面に設けられた係合凹部に、載置台表面より下方に配置されたクランプピンシリンダを進入させる工程と、クランプピンシリンダに収用されたクランプ部材の一部を所定の方向に突出させる工程と、クランプ部材が突出された状態にてクランプピンシリンダを載置台表面側に引き戻す工程とを有することを特徴としている。

本発明によれば、ポッド内部に設けられる係合凹部は同軸エアシリンダからなるクランプユニットの先端部のみが進入する深さを有し、且つ当該先端部に収容されたクランプピストンを部分的に収容可能とするだけの空間とすれば良い。従って、クランプ部材がその内部で駆動するための凹部空間の大きさを極力小さくすることが可能となり、係合凹部における外部からのアクセスが困難な領域は、必要最小限の大きさとなる被クランプ部の裏面だけとなる。このため、当該空間周囲壁の洗浄作業等を容易に行うことが可能となる。また、クランプ時においては、クランプ部材がある駆動系によってクランプ姿勢になった後に、他の駆動系によって一方向にのみ駆動されて被クランプ部と当接してその姿勢のままクランプ操作が行われる。従って、クランプ用部材と、被クランプ部表面とが接触した位置から互いに移動する可能性が低く、これら部材の擦り合わせによるパーティクル等の発生可能性は低減される。

また、本発明によれば、待機時において、クランプユニットはその構成全てが載置台表面より常に下方に存在することとなる。従って、ポッドを載置台上に載置する際に、位置決めピンを用いた位置決め操作を容易且つ円滑に行うことが可能となる。また、ポッド固定時において、クランプ部材の個々の面と被クランプ部の対応する個々の面とが当接するだけで、基本的には当該固定操作が終了する。従って、部材の摺動等によるパーティクル等の発生の可能性は大きく低減される。

また、エアシリンダ等を用いて、クランプ用部材であるクランプピストンの駆動に要する機構を簡易且つ小型のものから構成することを可能としている。即ち、本発明においては、特許文献４と異なり、一軸方向にのみロッドの伸縮が可能な小型のシリンダを複数用いてクランプ機構を構成するため、クランプユニットとしての外形を小さくし且つその重量も小さく抑えることが可能である。従って、これまでのFIMSシステムにおける種々の機構の配置等を大きく変更することなく、本発明に係る構成を用いることが可能となる。その結果、当該クランプユニットが固定される載置台の軽量化とその構成の簡略化を図ることが可能となり、載置台の移載機構、更にはFIMSシステムとしての構成の簡略化、軽量化を図ることが可能となる。

本発明に係るクランプ機構の実施形態について、以下図面を参照して説明する。図１は、本発明に係るクランプ機構の実施形態の概略構成を示す図である。本発明に係るクランプ機構は、ポッド本体５６の下面に設けられた係合凹部３１と、FIMSシステム９０に配置されたクランプユニット１とから構成される。ポッド本体５６の底面に設けられた係合凹部３１は、係合穴３１ｂと、その係合穴の開口３１ａと、係合穴３１ｂと隣接して当該係合穴３１ｂの一部を覆うように開口３１ａの中央に向けて突出した被クランプ部３３とを有する。

本実施の形態において、係合穴３１ｂ深さは、後述するクランプ部材を所定深さに収容可能となる内部深さとされている。即ち、本実施の形態において、本実施の形態において、係合凹部３１は、ポッド５６の底面からポッド５６の内部方向に形成された係合穴３１ｂを有している。この係合穴３１ｂは、係合姿勢にあるクランプ部材３を所定深さに収容可能な内部深さとクランプ部材３の所定範囲の上下動が可能な内部広さを有する。

また、係合穴３１ｂの開口部分において、被クランプ部３３が、開口３１ａを狭めるように係合穴３１ｂの中心に向かって張り出して、係合状態のクランプ部材３降下した際に当該クランプ部材３のクランプ部３ａと係合可能となるように形成されている。被クランプ部３３によって開口３１ａの大きさが規定される。被クランプ部の係合穴３１ｂ側の面、特に当該面における開口３１ａの周囲部分が、実質的な被クランプ面として作用する。なお、ポッド本体５６は、載置台６２上の不図示の位置決めピン及び略平坦なポッド受面によって支持されている。

クランプユニット１は、クランプ部材である略棒状のクランプピンピストン３、クランプピンシリンダ５、略棒状の昇降ピストン７、昇降ピストンシリンダ９、とを有している。クランプ部材３は、クランプピンシリンダ５内部にその一端部が収容されている。不図示のガス導入系による加圧された空気等の導入、排出の操作を行うことによって、当該シリンダ５からのクランプ部材３の伸長及び伸縮の操作が行われる。なお、クランプ部材の伸縮等の方向は、載置台６２の表面と略平行な方向に設定されている。

クランプピンシリンダ５は、載置台６２（図２Ａ等参照）に形成された開口６２ａを貫通して載置台表面に対してその上下方向に伸縮可能な昇降ピストン７の上端部に固定されている。また、昇降ピストン７はその他端部が昇降ピストンシリンダ９内部に収容されている。不図示のガス導入系によって加圧された空気等の導入、排出の操作を行うことにより、昇降ピストン７の伸長及び伸縮の操作が行われる。クランプピンシリンダ５は初期位置において、ポッド本体５６を載置台６２上に載置する際に、ポッド本体５６下面とクランプ部材３とが接触しない位置にて、クランプ部材３を保持、待機している。昇降ピストン７の大部分及び昇降ピストンシリンダ９は、載置台６２の下部空間内に配置されている。また、昇降ピストンシリンダ９は、載置台６２に対して固定されている。

これら構成を有することによって、クランプ部材３は、初期状態においては、ポッド本体６２の下面と接触する可能性のない位置にて待機し、クランプ動作時においては上下方向及び当該方向に対して直交する方向に独立して駆動することを可能としている。なお、ここで述べる上下方向は、ポッドの上下面に対して便宜的に規定される方向であり、ポッドの形状等に応じて各々直行する第一の方向として適宜設定されることが望ましい。

次に、これらクランプ機構による実際のクランプ動作について図1、及び図２Ａ〜２Ｄを参照して述べる。ポッド本体５６が載置台６２上に載置され、その位置決めが不図示の位置決めピン等によって行われた状態でのクランプ部材等３の配置は、図２Ａに示されるように、ポッド本体５６の下面即ち載置台６２の表面より下方に位置している。クランプ動作に際しては、例えば不図示の加圧空気源より加圧空気が昇降ピストンシリンダ９に導入されることによって、昇降ピストン7が伸長され、クランプピンシリンダ５が係合凹部３１内部に突出、侵入する(図２Ｂ)。

なお、昇降ピストン７の昇降量は、係合凹部３１の内部深さに応じて予め定められている。続いて、例えば不図示の加圧空気源より加圧空気がクランプピンシリンダ５に導入されることによって、クランプ部材３が伸長され、クランプ部材３の一部が被クランプ部３３と係合可能な位置まで突出する(図２Ｃ)。なお、クランプ部材３の突出量は、被クランプ部３３における開口３１ａへの張り出し量に応じて予め定められている。クランプ部３が被クランプ部３３と係合可能な所定の水平位置に達しところで、この移動が停止される。

クランプピンシリンダ５によるクランプ部材３の突出操作が終了した後、昇降ピストン７が短縮される。この短縮操作は、クランプ部材３のクランプ部３ａと被クランプ部３３の係合面３３ａとが接触、係合した時点で停止される（図２Ｄ、２Ｅ参照）。この停止操作は、昇降ピストンシリンダ９として所定の負荷以上は駆動不能となるシリンダを用いることで係合と共に自動的にその駆動が停止することとすることが好ましい。この昇降ピストンシリンダ９による所定の負荷が、クランプ部３ａと係合面３３ａとの間に与えられることにより、ポッド本体５６は載置台６２に対して、所定の負荷を伴って固定されることとなる。

なお、上述した実施の形態におけるクランプ部材３及び被クランプ部３３の形状は、図示されたものに限定されるものではなく、適当な負荷を伴って点接触し且つ摺動等を起こさない形状、配置であればこれに限定されない。また、過荷重の付加を避けることが容易であることから、各部材の駆動はシリンダを用いたエア作動方式によることとしている。しかしながら、本発明は当該作動方式に限られず、荷重の制御、位置制御等が容易である種々の細動方式からなるものと用いることとしても良い。

また、クランプピンシリンダ５とクランプ部材３とからなる組み合わせは一式に限られず、図に示すポッド５６下面の係合凹部３１のような形状の場合にはこれを二式用いることとしても良い。また、クランプ部３ａと係合面３３ａとは共にポッド下面と略平行な面としてあるが、本発明はこれら平面に限定されない。例えば二式の組み合わせからなるクランプ部３ａ及び係合面３３ａ各々を、共にポッド下面とは正及び負の所定の角度傾いた面からなる構成としても良い。このような面からクランプ部及び係合面を構成することで、単にポッドを載置台表面に押し付けるのみならずポッドを所定の位置に固定する力を付与することも可能となる。従って、より安定したポッドの固定状態を得ることが可能となる。

本発明に係るクランプ機構を実際に有するFIMSシステム、これに載置されるポッド、及びFIMSシステムが取り付けられるウエハ移載装置等について、図３及び図４を用いて、以下に本発明の実施例として説明する。図３は、これら全ての構成を含むウエハ等のポッドから処理装置までの移載を行うシステムの概略構成を示している。図１に示すシステムは、ウエハ移載ロボット６４が中央に配置された高清浄状態に保たれた微小空間５５、当該空間５５の一方の壁に設けられた不図示の処理装置側の基板受け取りステージ８１、当該空間５５の他方の壁に設けられたFIMSシステム９０とから構成される。

FIMSシステム９０は、微小空間５５の他方の壁と、開口５２と、ドア５３、載置台６２とを有している。開口５２は、微小空間５５の他方の壁に設けられている。ドア５３は、不図示の駆動機構によって、開口５２を当該空間５５の内部からの閉鎖及び、且つ開口１０２を開状態にする際には下方への移動を可能とする。載置台６２は、ポッド５６の開口面を開口５２に対して正対させて載置可能であり、且つ載置台駆動装置６５（図４参照）によって開口５２に対してポッド５６を接近或いは隔置可能となっている。ポッド５６は、その内部に、複数のウエハ７を垂直方向に等間隔空けて収容している。ポッド１０６の開口面には、これを閉鎖するための蓋５４に固定されており、FIMSシステムにおけるウエハの挿脱に際して当該蓋５４は、ドア５３に保持されてドア５３と共に下方に移動される。

FIMSシステム９０における載置台６２、開口５２、及びドア５３及びこれらに付随する構成の略断面状態を図４に示す。載置台６２は、開口５２が形成された壁６０と一体化されたテーブル５９上に配置される。載置台６２は、支持部材７３を介してエアシリンダ６５と接続されている。エアシリンダ６５はテーブル５９に設けられた矩形穴７４内部においてテーブル５９に対して固定されており、載置台６２を壁６０に対して接近或いは隔置するために用いされる。載置台６２の壁６０方向に対する移動量は、当接部材７２が矩形穴７４の端部と当接することによって規制される。

載置台６２の下面には、前述したように昇降ピストンシリンダ９が固定されている。なお、昇降ピストンシリンダ及びその他のクランプ機構を構成する各要素の配置、及び関係は、実施の形態において述べた内容と特に異なる部分は無いことからここでの説明は省略する。以上に述べた構成からなるクランプ機構を用いることにより、載置台６２の表面には、位置決めピン以外にその上面に突出する部材は存在しなくなる。従って、ポッド下面と、載置台表面との不必要な接触、及びこれに伴うポッド底部の磨耗等を無くすことが可能となる。また、載置台表面が略平坦となることにより、オープンカセットに対しても対応することが可能となる。

本発明の実施の形態にかかるクランプ機構に関し、その概略構成を示す側面図である。 図１に示すクランプ機構に関し、その動作状態を示す図である。 図１に示すクランプ機構に関し、その動作状態を示す図である。 図１に示すクランプ機構に関し、その動作状態を示す図である。 図１に示すクランプ機構に関し、その動作状態を示す図である。 図１に示すクランプ機構に関し、クランプ部材及び当該部材とクランプ操作時に関係する部材を拡大して示す図である。 本発明に係るクランプ機構を用いたFIMSシステム等の実施例を示す概略図である。 図３に示すFIMSシステムの主要部の部分断面を含む側面図である。

符号の説明

１：クランプユニット、 ３：クランプ部材、 ５：クランプピンシリンダ、 ７：昇降ピストン、 ９：昇降ピストンシリンダ、 ３１：係合凹部、 ３３：被クランプ部、 ５２：開口、 ５３：ドア、 ５４：蓋、 ５５：微小空間、 ５６：ポッド本体、 ５７：ウエハ、 ５９：テーブル、 ６０：壁、 ６２：載置台、 ６４：移載ロボット、 ６５：エアシリンダ、 ７２：当接部材、 ７３：支持部材、 ７４：矩形穴、 ８１：ウエハ受け取りステージ

Claims (6)

1. 内部にウエハが収容可能であって、係合凹部を有するポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、該ポッドクランプユニットは、
   前記載置台に対して上下方向に可動な昇降ピストンと、
   前記昇降ピストンの上端部に固定され、内部に空間を有するクランプピンシリンダと、
   該空間の内部に収容され、前記上下方向に対して直交する方向に突出可能なクランプ部材とを有し、
   前記クランプ部材は、該空間に圧力媒体を導入することによって、前記上下方向に対して直交する方向に移動して突出し、該係合凹部と係合することを特徴とするポッドクランプユニット。
2. 請求項１記載のポッドクランプユニットであって、
   前記クランプ部材は、該空間から圧力媒体を排出することによって、該空間に圧力媒体を導入した際に移動した方向と逆に移動して該空間内に収まり、該係合凹部と係合が解除されることを特徴とするポッドクランプユニット。
3. 請求項１または２のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットであって、該係合凹部は、
   前記クランプピンシリンダを所定深さに収容可能な上下方向の深さと前記クランプ部材が突出した状態での前記クランプピンシリンダを収用可能な該上下方向に対して直交する方向の広さを有する係合穴と、
   前記係合穴の開口において、該上下方向に対して直交する方向に張り出した被クランプ部分であって、該クランプ部材が突出している状態では前記クランプピンシリンダが該開口に進入不可能であって、前記クランプ部材が該空間内に収まった状態では前記クランプピンシリンダの進入が可能な大きさに該開口を狭めるような被クランプ部分とを有することを特徴とするポッドクランプユニット。
4. 内部にウエハが収容可能なポッドを載置台に対して固定するポッドクランプ機構であって、
   該ポッドの底面に設けられた係合凹部と、
   請求項１から３のいずれか一項に記載のポッドクランプユニットとを備えることを特徴とする該ポッドクランプ機構。
5. 請求項４に記載のポッドクランプ機構であって、
   前記載置台には前記クランプピンシリンダが通過可能な孔が形成されていることを特徴とするポッドクランプ機構。
6. 内部にウエハが収容可能であって、係合凹部を有するポッドを、ポッドクランプユニットによって、載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
   該ポッドクランプユニットは、
   該載置台に対して上下方向に可動な昇降ピストンと、
   前記昇降ピストンの上端部に固定され、内部に空間を有するクランプピンシリンダと、
   該空間の内部に収容され、前記上下方向に対して直交する方向に可動なクランプ部材とを有し、
   該ポッドクランプ方法は、
   前記載置台の所定位置に前記ポッドを載置する工程と、
   該係合凹部の内部に該クランプピンシリンダを進入させる工程と、
   該空間に圧力媒体を導入し、前記クランプ部材を前記上下方向に対して直交する方向に突出するように移動させ、前記クランプ部材を該係合凹部と係合させる工程とを備えることを特徴とするポッドクランプ方法。

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