JP2009252780A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 容器側面の開閉可能な蓋によって基板を密封して収納するフープを載置可能なステージと、前記ステージ上に突出し、前記フープの底面を固定可能なクランプ手段と、前記蓋を吸着して保持する吸着手段と、前記吸着手段が保持した前記蓋を開閉するドアと、を備えたロードポートにおいて、
   前記クランプ手段が、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに下降し、前記基板と同じサイズの基板を収納可能なオープンカセットが前記ステージに搭載されたときに前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降可能に構成されたこと、を特徴とするロードポート。
2. 前記クランプ手段に、前記フープの底面を固定するときの位置よりもさらに上昇している状態を検知する第１センサと、前記フープの底面を固定するときの位置を検出する第２センサと、前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降した状態を検出する第３センサと、が設けられたことを特徴とする請求項１記載のロードポート。
3. 前記クランプ手段を前記オープンカセットの底面と接触しない位置まで下降させるオペレータ用のスイッチを設けたことを特徴とする請求項１または２記載のロードポート。
4. 前記スイッチが押下されて前記第１センサが検出されているとき前記フープが前記ステージに搭載可能であり、前記スイッチが押下されて前記第３センサが検出されているとき前記オープンカセットが前記ステージに搭載可能である、ことを前記オペレータに示すインジケータが設けられたことを特徴とする請求項３記載のロードポート。
5. 請求項１乃至４いずれかに記載のロードポートが装置壁面に搭載されたことを特徴とする半導体製造装置。