JP2002175998A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 メンテナンス性の向上および載置台設置時の
位置決めの再現性の向上を図る。 【解決手段】 装置本体１ａの前面外側に、複数の被処
理体ｗが密閉状態で収容された蓋付きの運搬容器２を載
置する載置部２１および運搬容器２を装置本体１ａ内に
移動可能な移動機構１０を備えた載置台７を設置した処
理装置１であって、装置本体１ａの前面外側の床Ｆ上に
前記載置台７を手前に引き出し可能に支持すると共に載
置台７の位置決めが可能な支持台７０を設置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
例えば半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の処
理を施す処理装置（半導体製造装置）が用いられてい
る。このような処理装置としては、複数例えば２５枚或
いは１３枚のウエハが密閉状態で収容された蓋付きのキ
ャリア（運搬容器）を載置する載置部およびキャリアを
装置本体内に移動可能な移動機構とを備えた載置台（ロ
ードポートともいう）を装置本体の前側に設置したもの
が提案されている（例えば、特開平１１−２９７７９２
号公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記処
理装置においては、装置本体の前側や載置台の背面側の
メンテナンスを行うには、載置台を移動しなければなら
ないが、重量のある載置台をそう簡単には移動すること
ができず、メンテナンス性が悪いという問題がある。ま
た、前記載置台は頭上搬送機構との間でキャリアの受け
渡しが行われる部分でもあり、設置時に高い位置決め精
度が要求されるが、メンテナンスで載置台を移動する度
に位置決めが必要となるため、その再現性が問題とな
る。

【０００４】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、メンテナンス性の向上および位置決めの再現性の
向上が図れる処理装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
の発明は、装置本体の前面外側に、複数の被処理体が密
閉状態で収容された蓋付きの運搬容器を載置する載置部
および運搬容器を装置本体内に移動可能な移動機構を備
えた載置台を設置した処理装置であって、装置本体の前
面外側の床上に前記載置台を手前に引き出し可能に支持
すると共に載置台の位置決めが可能な支持台を設置した
ことを特徴とする。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記支持台が高さ調節可能な支持脚を備えてい
ると共に、前記装置本体に連結されていることを特徴と
する。

【０００７】請求項３の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記支持台および載置台には支持台上の所定位
置に載置台を位置決め固定する位置決めピンを挿入する
ための位置決め孔が形成されていることを特徴とする。

【０００８】請求項４の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記載置台が床上を移動可能な折畳式のキャス
タを備えていることを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。

【００１０】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の
形態を示す図１ないし図２において、１は半導体製造工
場のクリーンルームＣ内に設置される処理装置例えばバ
ッチ処理式の縦型熱処理装置で、１００はその装置本体
１ａの外郭を形成する筐体である。この筐体１００内
は、キャリア２の搬入搬出および保管を行うための搬送
保管領域Ｓａと、キャリア２内から半導体ウエハｗを取
出してボート３への移替え（移載）、熱処理炉４へのボ
ート３の搬入搬出等の所定の処理を行うための処理領域
であるローディングエリアＳｂとに隔壁５により仕切ら
れている。

【００１１】前記キャリア２は、所定口径例えば直径３
００ｍｍの被処理体例えばウエハｗを水平状態で上下方
向に所定間隔で複数例えば１３枚もしくは２５枚程度収
容可能なプラスチック製の蓋付き運搬容器、いわゆるク
ローズ型キャリアであり、その前面部の開口（ウエハ出
入口）２ａにこれを密封状態に塞ぐための蓋２ｂを脱着
可能に備えている。この蓋２ｂには、これをキャリア２
の開口２ａに保持するための図示しないラッチ機構が設
けられ、このラッチ機構の解除によりキャリア２の開口
２ａから蓋２ｂが取外せるようになっている。

【００１２】前記筐体１００の前面部には、キャリア２
を搬入搬出するための搬出入口６が配置され、この搬出
入口６の外側にキャリア２を載置するための後述の載置
台７が設置されている。前記搬送保管領域Ｓａには、上
方の前部と後部に複数個のキャリア２を一時的に保管し
ておくための保管棚８が対向して設けられていると共
に、下方の隔壁５側にウエハ移載を行うためにキャリア
２を載置するための移載台（移載ステージ）９が設けら
れている。

【００１３】また、搬送保管領域Ｓａには、前記載置台
７の後述する移動機構１０、保管棚８および移載台９の
間でキャリア２の搬送を行うための搬送機構（キャリア
搬送機構）１１が設けられている。この搬送機構１１
は、搬送保管領域Ｓａの一側部に設けられた昇降機構１
１ａにより昇降移動される昇降アーム１１ｂと、この昇
降アーム１１ｂに設けられ、キャリア２の底部を支持し
て水平方向に搬送する搬送アーム１１ｃとから主に構成
されている。

【００１４】搬送保管領域Ｓａは、搬出入口６を通って
クリーンルームＣ内と連通されている。ローディングエ
リアＳｂは、清浄な空気が供給される大気雰囲気または
不活性ガス例えば窒素ガスが供給される不活性ガス雰囲
気とされており、何れの場合でもクリーンルームＣ内よ
りも充分に清浄度が高く維持されている。

【００１５】前記隔壁５には、移載台９に載置されたキ
ャリア２を搬送保管領域Ｓａ側から当接させてキャリア
２内とローディングエリアＳｂ内を連通するための開口
部（図示省略）が設けられていると共に、この開口部を
ローディングエリアＳｂ側から閉鎖する扉１３が開閉可
能に設けられている。前記開口部は、キャリア２の開口
２ａとほぼ同口径に形成されており、開口部からキャリ
ア２内のウエハｗの出し入れが可能になっている。

【００１６】前記扉１３には、キャリア２の蓋を脱着
（開閉）する図示しない脱着機構および扉１３をローデ
ィングエリアＳｂ側から開閉する図示しない扉開閉機構
が設けられ、この扉開閉機構により扉１３および蓋がロ
ーディングエリアＳｂ側に開放移動され、更に半導体ウ
エハＷの移載の邪魔にならないように上方または下方へ
移動（退避）されるようになっている。

【００１７】前記移載台９の下方には、ウエハｗの周縁
部に設けられているノッチ（切欠部）を一方向に整列さ
せるためのノッチ整列機構１４が設けられている。この
ノッチ整列機構１４は、ローディングエリアＳｂ側に臨
んで開放されており、後述する移載機構１５により移載
台９上のキャリア２から移載されたウエハｗのノッチを
整列させるように構成されている。

【００１８】一方、ローディングエリアＳｂの奥部上方
には、多数例えば１００枚もしくは１５０枚程度の半導
体ウエハｗを上下方向に所定間隔で多段に支持する支持
具である例えば石英製のボート３を載置して熱処理炉４
内への搬入搬出および炉口４ａの開閉を行う蓋体１６が
図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。
炉口４ａの近傍には、蓋体１６が開放されて熱処理後の
ボート３が搬出された際に炉口４ａを遮蔽するためのシ
ャッター１７が水平方向に開閉移動可能に設けられてい
る。

【００１９】ローディングエリアＳｂには、移載台９上
のキャリア２とボート３との間、具体的には移載台９上
のキャリア２とノッチ整列機構１４との間、ノッチ整列
機構１４とボート３との間、熱処理後のボート３と移載
台９上の空のキャリア２との間で半導体ウエハｗの移載
（移替え）を行う移載機構１５が設けられている。前記
移載機構１５は、昇降可能、水平移動可能および水平回
動可能な基台１５ａ上に半導体ウエハを載置する複数枚
例えば２枚もしくは５枚の薄板フォーク状の支持アーム
１５ｂを進退可能に設けて構成されている。なお、ロー
ディングエリアＳｂ内は、ボート３を２個使用し、一方
のボートを熱処理炉内に搬入して被処理体の熱処理を行
っている間に、他方のボートに対するウエハの移載を行
うようして処理能力の向上を図る２ボートシステムとさ
れていてもよい。

【００２０】一方、前記装置本体１ａの搬出入口６より
も外側に配置される載置台７には、その上部に載置され
たキャリア２を前記搬送機構１１との受渡位置ハまで移
動可能な移動機構１０が設されている。載置台７上に
は、左右方向に所定の間隔例えば５０５ｍｍでキャリア
を２個載置できるように移動機構１０が左右に２つ並設
されている。この移動機構１０は、図３ないし図５に示
すように、キャリア２を載置して、図示しないリニアガ
イドおよびエアシリンダを介して載置台７上の待機位置
イから搬送機構１１との受渡位置ハに向って進退移動さ
れる載置部である可動板２１を有している。

【００２１】更に具体的には、移動機構１０は、リニア
ガイドを介して複数段例えばベースフレーム、中間フレ
ームおよび先端フレームからなる３段式の伸縮可能なフ
レーム構造をなし、その先端フレームに可動板２１が取
付けられている。前記可動板２１上には、キャリア２を
位置決めする複数例えば３本の位置決めピンが突設され
ていると共にキャリア２が正しい位置に載置されたか否
かを検知するキャリアセンサが設けられている。また、
可動板２１上には、キャリア２の種類を識別するための
識別機構が設けられていてもよい。

【００２２】前記キャリア２には当該キャリアの情報を
書き込んだ情報記録部が設けられ、前記載置台７にはそ
の情報記録部の情報を読み取る情報読取器が設けられて
いることが好ましい。この情報読取器としては、バーコ
ード式、赤外線式、電波式等の何れであってもよい。ま
た、情報読取器は、前記情報記録部に情報を書き込み可
能に構成されていてもよい。

【００２３】前記載置台７の背面部には、クリーンルー
ムＣ内と筐体１００内の搬送保管領域Ｓａとを連通する
搬出入口６が形成されたフレーム３６が設けられ、この
フレーム３６の搬出入口６にキャリア２の前部が位置す
るキャリアの位置がウエハカウント位置ロとされてい
る。筐体１００の前面部には、前記フレーム３６が入る
図示しない開口が形成されている。

【００２４】前記載置台７のフレーム３６内には、ウエ
ハカウント位置ロのキャリア２から蓋２ｂを一時的に取
外す蓋脱着機構３７と、蓋２ｂが取外されたキャリア２
内にセンサ部を挿入してウエハｗの位置および数を検出
（ウエハカウント）する検出機構３９とがそれぞれキャ
リア２の移動通過時には下方に退避できるように図示し
ないエアシリンダを介して昇降可能に設けられている。

【００２５】前記キャリア２の蓋２ｂを開けた時に、キ
ャリア２に付着していたパーティクルが飛散してウエハ
ｗに付着するのを抑制ないし防止するために、前記筐体
１００内の搬出入口６の上方には、搬送保管領域Ｓａ内
の空気をフィルタにより濾過して清浄空気を下方へ吹出
す空気清浄器５１が取付けられている。前記筐体１００
内における搬送機構１１との受渡位置ハの下方は空間
（デッドスペース）となるので、スペースの有効利用を
図るために、搬送機構１１との受渡位置ハの下方には搬
送機構１１や移動機構１０等の制御を行う電装品が収容
された電装ユニット５３が設置されている。電装ユニッ
ト５３は、図９に示すように、ユニット支持台５３ａ上
にヒンジ５３ｂを介して前方へ転倒可能に連結されてお
り、載置台７の移動後、電装ユニット５３を装置本体１
ａの前面の開口を通して前方へ倒すことにより作業員が
開口から装置本体１ａの搬送保管領域Ｓａ内に容易に入
れ、メンテナンスが可能になっている。

【００２６】クリーンルームＣの天上部５４には、前記
キャリア２を搬送する頭上搬送機構（Overhead Hoist
Transport）５５が走行レール５５ａを介して走行可
能に設けられ、その真下に前記載置台７が設置され、載
置台７の上部が待機位置（頭上搬送機構５５との受渡位
置）イとされている。前記装置本体１ａの底部には、装
置本体１ａの高さ調節が可能なジャッキボルトからなる
支持脚部６０が設けられている。

【００２７】例えば装置本体１ａの搬送保管領域Ｓａ内
の保守点検等のように載置台７の移動を要するメンテナ
ンスの容易化を図ると共に、載置台設置時の位置決めの
再現性の向上を図るために、図２ないし図４にも示すよ
うに、前記装置本体１ａの前面外側の床Ｆ上には、前記
載置台７を手前に引き出し可能に支持すると共に載置台
７の位置決めが可能な支持台７０が設置されている。こ
の支持台７０は、載置台７を載せることが可能な高さの
低い台として形成されており、支持台７０の上面部には
載置台７を前後方向にスライド移動可能に支持するガイ
ドレール７１が設けられている。

【００２８】前記支持台７０の底部には床面に対して高
さ調節可能なジャッキボルトからなる支持脚７２が適宜
個数設けられていると共に、支持台７０の背面部が前記
装置本体１ａの前面部にボルト７３で連結されている。
支持台７０の背面部にはボルト７３を挿通する孔部７４
が形成され、装置本体１ａの前面部にはボルト７３を螺
合する図示しない雌ねじ孔もしくはナットが設けられて
いる。前記孔部７４は、高さ調節時の支持台７０の上下
動を許容するため上下方向に長い長穴状に形成されてい
る。

【００２９】前記支持台７０上の所定位置すなわち載置
台７の背面部が装置本体１ａの前面部に当接する位置に
載置台７を位置決め固定（係止）するために、前記支持
台７０と載置台７の対向部分には、図３ないし図５に示
すように、位置決めピン７５を上方から下方に挿入する
ための位置決め孔７６，７７が形成されている。載置台
７０が装置本体１ａに対して平行に位置決め固定される
ように前記位置決めピン７５が左右に配置されることが
好ましい。

【００３０】また、前記支持台７０上に位置決めピン７
５を介して位置決め固定された載置台７が地震などによ
り前方へ倒れるのを防止するために、載置台７の背面部
が前記装置本体１ａの前面部にボルト７８で脱着可能に
連結されるようになっている。載置台７の背面部にはボ
ルト７８を挿通する孔部７９が形成され、装置本体１ａ
の前面部にはボルト７８を螺合する図示しない雌ねじ孔
もしくはナットが設けられている。前記孔部７９は、高
さ調節時の載置台７の上下動を許容するため上下方向に
長い長穴状に形成されている。

【００３１】前記載置台７には、載置台７を支持台７０
上から床Ｆ上に降ろした時に床Ｆ上を移動可能（走行可
能）な折畳式のキャスタ８０，８１が設けられている。
キャスター８０，８１は、左右一対ずつの前部キャスタ
８０と後部キャスタ８１とからなっている。前部キャス
タ８０は、図６にも示すように、車輪８２を有するキャ
スタ本体８３と、載置台７の左右の内側壁に固定され、
キャスタ本体８３をガイドロッド８４およびネジ棒８５
を介して上下移動可能に支持する支持体８６とから主に
構成されている。前部キャスタ８０は、不使用時には車
輪８２を載置台７の底面（下面）から内部に引き上げた
収納状態にあり、使用時にはネジ棒８５を締め込んで底
面から下方へ下げていき車輪８２を床Ｆに接地させれば
よい。

【００３２】後部キャスタ８１は、図７の（ａ），
（ｂ）に示すように、車輪８７を有するキャスタ本体８
８と、載置台７の左右の内側壁に固定され、キャスタ本
体８８を支軸８９を介して垂直回動可能に支持する支持
体９０と、キャスタ本体８８を支持体９０に対して実線
で示す使用位置または仮想線で示す不使用位置に固定す
る固定ネジ９１とから主に構成されている。後部キャス
タ８１は、不使用時には車輪８７を載置台７の底面から
内部に引き上げた不使用位置（収納位置）にあり、使用
時にはキャスタ本体８８を支軸８９回りに回動ないし振
り下ろして車輪８７を底面から下方に突出させた使用位
置にし、固定ネジ９１をねじ込み固定すればよい。

【００３３】次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置
の作用およびメンテナンスを行う場合について述べる。
載置台７を装置本体１ａから取外す場合には、先ず載置
台７と装置本体１ａを連結しているボルト７８を取外
し、載置台７と支持台７０を連結している位置決めピン
７５を抜き取る。次に、前部キャスタ８０のネジ棒８５
を締め込んで下げていき車輪８２を床Ｆに接地させる。

【００３４】次に、後部キャスタ８１を振り下ろせる位
置まで載置台７を支持台７０の上面（ガイドレール７１
上）をスライドさせて前方へ引き出したなら、図８に示
すように、前部キャスタ８０を最後まで締め込んで載置
台７の前方を持ち上げる。載置台７の後部を支持台７０
に載せた状態で載置台７の前部を持ち上げると、載置台
７の底面と床Ｆの間の距離が広がることにより、後部キ
ャスタ８１を下方の使用位置まで振り下ろすことが可能
になる。後部キャスタ８１を使用位置に固定ネジ９１で
固定したなら、前部キャスタ８０のネジ棒８５を緩めて
載置台７を水平にし、この状態で載置台７をキャスタ８
０，８１で床Ｆ上を移動させることができる。このよう
にして装置本体１ａから載置台７の取外しが完了したな
ら、電装ユニット５３を前方へ倒すことにより、作業員
が開口から装置本体１ａの搬送保管領域Ｓａ内に入って
メンテナンスを行うことができる。

【００３５】一方、載置台７を装置本体１ａに取付ける
場合には、先ず後部キャスタ８１が支持台７０にぶつか
る位置まで載置台７を押し込んで載置台７の後部を支持
台７０上に載せる。次に、前部キャスタ８０のネジ棒８
５を最後まで締め込んで載置台７の前部を持ち上げるこ
とにより、後部キャスタ８１の車輪８７を床Ｆから浮か
せる。この状態で、後部キャスタ８１を収納位置に振り
上げて固定ネジ９１で固定する。

【００３６】次に、前部キャスタ８０のネジ棒８５を緩
めて載置台７を水平にしたなら、載置台７の背面が装置
本体１ａの前面に当接するまで載置台７を押し込んでい
く。押し込みきる手前で、前部キャスタ８０のネジ棒８
５を完全に緩めて前部キャスタ８０を収納し、載置台７
の荷重を支持台７０上に預けてから支持台７を最後まで
押し込めばよい。そして、位置決めピン７５を載置台７
および支持台７０の位置決め孔７６，７７に挿入して取
付け、載置台７をボルト７８で装置本体１ａに連結すれ
ばよい。

【００３７】このように、縦型熱処理装置によれば、装
置本体１ａの前面外側に、複数の被ウエハｗが密閉状態
で収容された蓋付きのキャリア２を載置する可動板（載
置部）２１およびキャリア２を装置本体１ａ内に移動可
能な移動機構１０を備えた載置台７を設置し、装置本体
１ａの前面外側の床Ｆ上に前記載置台７を手前に引き出
し可能に支持すると共に載置台７の位置決めが可能な支
持台７０を設置しているため、載置台７の移動を伴うメ
ンテナンスが容易にできると共にその都度再現性良く正
確に載置台７の位置決めができ、メンテナンス性の向上
および位置決めの再現性の向上が図れる。

【００３８】前記支持台７０が高さ調節可能な支持脚７
２を備えていると共に、前記装置本体１ａに連結されて
いるため、支持台７０の位置を一度設定しておくだけで
メンテナンスの度に載置台７のレベル出しや位置出しを
行う必要がなく、作業性の向上が図れる。また、前記支
持台７０および載置台７には支持台７０上の所定位置に
載置台７を位置決め固定する位置決めピン７５を挿入す
るための位置決め孔７６，７７が形成されているため、
簡単な構成で支持台７０上における載置台７の位置決め
が容易にできる。更に、前記載置台７が床Ｆ上を移動可
能な折畳式のキャスタ８０，８１を備えているため、床
Ｆ上における載置台７の移動が容易にでき、作業性の向
上が図れる。

【００３９】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、処理装置としては、
縦型以外の横型であってもよく、また、熱処理以外の処
理を行うものであってもよい。また、処理装置として
は、バッチ処理式以外に枚葉処理式であってもよい。被
処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばガラス基
板やＬＣＤ基板等が適用可能である。前記実施の形態で
は、折畳式のキャスタとして、昇降式キャスタと旋回式
キャスタの組合せが例示されているが、その組合せは任
意であり、例えば４ヶ所とも昇降式であってもよく、３
ヶ所が昇降式で１ヶ所が旋回式であってもよい。また、
キャスタの数は、条件により増減可能である。

【００４０】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００４１】（１）請求項１の発明によれば、装置本体
の前面外側に、複数の被処理体が密閉状態で収容された
蓋付きの運搬容器を載置する載置部および運搬容器を装
置本体内に移動可能な移動機構を備えた載置台を設置し
た処理装置であって、装置本体の前面外側の床上に前記
載置台を手前に引き出し可能に支持すると共に載置台の
位置決めが可能な支持台を設置しているため、載置台の
移動を伴うメンテナンスが容易にできると共にその都度
再現性良く正確に載置台の位置決めができ、メンテナン
ス性の向上および位置決めの再現性の向上が図れる。

【００４２】（２）請求項２の発明によれば、前記支持
台が高さ調節可能な支持脚を備えていると共に、前記装
置本体に連結されているため、支持台の位置を一度設定
しておくだけでメンテナンスの度に載置台のレベル出し
や位置出しを行う必要がなく、作業性の向上が図れる。

【００４３】（３）請求項３の発明によれば、前記支持
台および載置台には支持台上の所定位置に載置台を位置
決め固定する位置決めピンを挿入するための位置決め孔
が形成されているため、簡単な構成で支持台上における
載置台の位置決めが容易にできる。

【００４４】（４）請求項４の発明によれば、前記載置
台が床上を移動可能な折畳式のキャスタを備えているた
め、床上における載置台の移動が容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態
を示す概略的縦断面図である。

【図２】載置台の概略的側面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ矢視概略的断面図である。

【図４】図３のＢ−Ｂ矢視概略的断面図である。

【図５】位置決めピンを示す断面図である。

【図６】前部キャスタを示す正面図である。

【図７】後部キャスタを示す図で、（ａ）は正面図、
（ｂ）は側面図である。

【図８】載置台を支持台から降ろす状態を説明する説明
図である。

【図９】載置台をキャスタで移動する状態を説明する説
明図である。

【符号の説明】

ｗ 半導体ウエハ（被処理体） １ 縦型熱処理装置（処理装置） １ａ 装置本体 ２ キャリア（運搬容器） ７ 載置台 １０ 移動機構 ２１ 可動板（載置部） ７０ 支持台 ７２ 支持脚 ７５ 位置決めピン ７６，７７ 位置決め孔 ８０，８１ キャスタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 DA08 DA17 EA14 FA01 FA03 FA07 FA11 GA02 GA03 GA47 GA49 GA60 JA01 JA02 JA13 JA22 JA23 JA49 MA11 MA17 MA28 NA02 NA04 NA07 PA06 5F045 BB10 DP19 EN05

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置本体の前面外側に、複数の被処理体
   が密閉状態で収容された蓋付きの運搬容器を載置する載
   置部および運搬容器を装置本体内に移動可能な移動機構
   を備えた載置台を設置した処理装置であって、装置本体
   の前面外側の床上に前記載置台を手前に引き出し可能に
   支持すると共に載置台の位置決めが可能な支持台を設置
   したことを特徴とする処理装置。
2. 【請求項２】 前記支持台が、高さ調節可能な支持脚を
   備えていると共に、前記装置本体に連結されていること
   を特徴とする請求項１記載の処理装置。
3. 【請求項３】 前記支持台および載置台には、支持台上
   の所定位置に載置台を位置決め固定する位置決めピンを
   挿入するための位置決め孔が形成されていることを特徴
   とする請求項１記載の処理装置。
4. 【請求項４】 前記載置台が、床上を移動可能な折畳式
   のキャスタを備えていることを特徴とする請求項１記載
   の処理装置。