KR101687297B1 - 반송대차 얼라인 장치 - Google Patents

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Abstract

반송대차 얼라인 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치는, 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및 스테이션유닛에 설치되며, 반송대차에 형성된 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 포함한다.

Description

반송대차 얼라인 장치{APPARATUS FOR ALIGNING TRANSPORT CARRIAGE}
본 발명은, 반송대차 얼라인 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반송대차에 형성된 삽입홀이 스테이션유닛의 틀어짐방지유닛에 삽입되어 반송대차의 틀어짐을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 센터플레이트 또는 센서유닛의 위치 또는 방향 조절이 가능한 반송대차 얼라인 장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였는데, 평면디스플레이는 TV나 컴퓨터의 모니터, 혹은 핸드폰(mobile phone), PDA, 디지털 카메라 등과 같은 기기의 표시장치로 사용되고 있다.
평면 디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
상기와 같은 평면 디스플레이의 제조공정은, 기판을 제조하는 공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정 등 수많은 공정들로 구성된다.
이와 같이, 수많은 단위 공정들로 이루어진 평면 디스플레이의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 일단 카세트(Cassette)에 적재된 후 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle: AGV)에 의해 클린룸 내의 다른 공정장비로 이송된다.
여기서, 다른 공정장비들에서 이미 공정이 수행되고 있거나, 또는 카세트에 적재된 기판을 임시 보관하기 위하여 클린룸 내부에는 복수의 스토커(stocker)가 배치되어 있다.
그리고, 스토커에서 다른 스토커로 카세트를 이송할 필요가 있는 경우에는 일반적으로 오버 헤드 셔틀(Over Head Shuttle: OHS)이 이용되고 있다.
이에 대해 설명하면, 일반적인 평면 디스플레이 공정라인은, 각 공정에 필요한 각종 공정장비와, 공정장비들에 공급될 기판이 적재된 카세트를 보관하기 위한 복수의 스토커와, 카세트를 스토커에서 다른 스토커로 이동시키는 오버 헤드 셔틀과, 오버 헤드 셔틀을 가이드하는 주행 레일을 포함한다.
즉, 각 공정장비들은 각각의 스토커 주변에 배치되며, 스토커로부터 제공되는 카세트에 적재되어 있는 기판을 이용하여 각 공정을 수행한다. 그리고, 각 공정을 거친 기판들은 다시 카세트에 적재되어 스토커에 보관된다.
이때, 카세트를 공정장비로 이송하거나 또는 카세트를 공정장비로부터 스토커로 이송하는 공정은 오버 헤드 셔틀이 이용된다. 오버 헤드 셔틀은 클린룸 내부에 이격되게 배치된 복수의 스토커에 카세트를 이송하기 위한 것이다.
오버 헤드 셔틀을 이용한 카세트 이송장치는, 천장에 설치되어 있는 주행 레일을 따라 이동하면서 카세트를 이송하는 반송대차와, 반송대차에 의해 운반된 카세트를 임시 보관하는 적재 포트와, 적재 포트에 놓여진 카세트를 반송대차로 이재하기 위한 이재 로봇(P&P)을 포함할 수 있다.
여기서, 필요에 따라 반송대차의 중심을 외부에서 인식해야 하는 경우가 발생될 수 있다.
그리고, 반송대차가 주행 레일을 따라 이동하는 경우 반송대차에 설치되어 있는 센서 등이 정확하지 않은 위치에 설치되면 센서에 의한 센싱에 오차가 발생되어 반송대차의 주행에 문제가 발생될 수 있다.
없음
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 반송대차에 형성된 삽입홀이 스테이션유닛의 틀어짐방지유닛에 삽입되어 반송대차의 틀어짐을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 이 상태에서 센터플레이트위치방향조절지그에 의해 센터플레이트를 조절하여 센터플레이트의 정확한 위치를 인식할 수 있고, 센서유닛위치방향조절지그에 의해 센서유닛의 정확한 위치 또는 방향의 조절이 가능하여 반송대차의 주행시 센싱오차를 감소시킬 수 있는 반송대차 얼라인 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및 상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 포함하는 반송대차 얼라인 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 틀어짐방지유닛은, 상기 스테이션유닛으로부터 돌출되어 상기 삽입홀에 삽입되는 삽입용결합돌출부; 및 상기 삽입용결합돌출부로부터 연장되며 테이퍼(Taper)가 형성되는 삽입보완테이퍼부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 틀어짐방지유닛은 상측을 향하도록 상기 스테이션유닛에 결합되며, 상기 삽입보완테이퍼부는 하측에서 상측으로 갈수록 직경이 감소하도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 스테이션유닛은, 상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임; 및 상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 반송대차는, 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및 상기 캐리어유닛의 중심부를 인식하기 위해 상기 캐리어유닛의 중심부에 설치되는 센터플레이트를 포함하며, 상기 스테이션유닛은, 상기 센터플레이트의 정확한 위치 및 방향 중 적어도 하나를 조절하기 위해 상기 스테이션유닛에 결합되는 센터플레이트위치방향조절지그를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 센터플레이트위치방향조절지그는, 상기 스테이션유닛에서 상방을 향해 돌출되는 상방돌출지그부; 및 상기 상방돌출지그부로부터 연장되며 단부가 날카롭게 형성되는 지그뾰족부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 반송대차는, 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및 상기 캐리어유닛에 설치되며, 상기 캐리어유닛의 위치정보를 위해 상기 주행 레일을 센싱하도록 마련되는 센서유닛을 포함하며, 상기 스테이션유닛은, 상기 센서유닛의 정확한 위치 및 방향 중 적어도 하나를 조절하기 위해 상기 스테이션유닛에 결합되는 센서유닛위치방향조절지그를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 센서유닛은, 세로방향으로 배치되는 한 쌍의 세로부재; 및 상기 한 쌍의 세로부재 각각의 상측을 상호 연결하는 가로부재를 포함하며, 상기 센서유닛위치방향조절지그는 상기 센서유닛의 하측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 센서유닛위치방향조절지그는, 상기 스테이션유닛에 결합되는 스테이션결합플레이트부; 및 상기 스테이션결합플레이트부로부터 상측으로 돌출되되 상기 한 쌍의 세로부재의 사이에 위치하도록 마련되는 센서위치방향기준제공돌출부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 센서유닛은, 상기 주행 레일을 향해 경사지게 마련되는 바코드부를 포함하며, 상기 센서유닛위치방향조절지그는 상기 센서유닛의 하측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 센서유닛위치방향조절지그는, 상기 스테이션유닛에 결합되어 상기 바코드부를 향해 돌출되는 결합돌출부; 및 상기 결합돌출부로부터 연장되되 상기 바코드부에 형성된 경사에 대응되는 경사가 형성되는 센서위치방향기준제공경사부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 반송대차는, 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및 상기 캐리어유닛의 내측면에 형성되는 간격조절용홀을 포함하며, 상기 스테이션유닛은, 상기 스테이션유닛에 착탈가능하게 결합되되 상기 간격조절용홀에 삽입되어 상기 캐리어유닛의 좌우간격 및 좌우높이 중 적어도 하나를 조절하는 캐리어간격조절지그를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 캐리어간격조절지그는, 상기 간격조절용홀에 삽입되도록 마련되는 복수의 홀삽입플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 스테이션유닛은, 상기 안착프레임의 상승 및 하강 중 적어도 하나의 구동을 위해 상기 안착프레임에 결합되는 프레임동력전달유닛을 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 스테이션유닛은, 상기 안착프레임의 상승 또는 하강시 상기 반송대차의 하중 지지를 보완할 수 있도록 상기 안착프레임에 결합되는 하중지지보완유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 하중지지보완유닛은, 상기 안착프레임에 결합되어 상승 또는 하강하는 실린더부재; 및 상기 실린더부재의 둘레를 감싸도록 마련되어 상기 실린더부재를 지지하는 실린더지지부재를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 스테이션유닛은, 상기 반송대차가 상기 스테이션유닛 내부로 인입 후 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀이 정확한 위치에서 상기 틀어짐방지유닛에 삽입될 수 있도록, 상기 안착프레임에 교차하는 방향으로 상기 복수의 지지프레임을 각각 연결하는 반송대차위치기준제공바를 포함할 수 있다.
또한, 상기 반송대차위치기준제공바는 상기 스테이션유닛에 착탈가능하게 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 반송대차에 형성된 삽입홀이 스테이션유닛의 틀어짐방지유닛에 삽입되어 반송대차의 틀어짐을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 이 상태에서 센터플레이트위치방향조절지그에 의해 센터플레이트를 조절하여 센터플레이트의 정확한 위치를 인식할 수 있고, 센서유닛위치방향조절지그에 의해 센서유닛의 정확한 위치 또는 방향의 조절이 가능하여 반송대차의 주행시 센싱오차를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차가 반송대차 얼라인 장치에 안착되고 있는 상태의 개략적인 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차가 반송대차 얼라인 장치에 안착된 상태의 개략적인 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센터플레이트와 센터플레이트위치방향조절지그의 측면확대도이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센서유닛과 센서유닛위치방향조절지그의 개략적인 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센서유닛과 센서유닛위치방향조절지그의 측면확대도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 캐리어간격조절지그가 결합된 모습의 개략적인 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 캐리어간격조절지그가 반송대차에 결합된 모습의 정면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 명세서에서 사용되는 '일측'과 '타측'의 용어는 특정된 측면을 의미할 수도 있고, 또는, 특정된 측면을 의미하는 것이 아니라 복수의 측면 중 임의의 측면을 일측이라 지칭하면, 이에 대응되는 다른 측면을 타측이라 지칭하는 것으로 이해되어질 수 있다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 '결합'되거나 직접 '연결'되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치의 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차의 개략적인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차가 반송대차 얼라인 장치에 안착되고 있는 상태의 개략적인 정면도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 반송대차가 반송대차 얼라인 장치에 안착된 상태의 개략적인 정면도이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센터플레이트와 센터플레이트위치방향조절지그의 측면확대도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센서유닛과 센서유닛위치방향조절지그의 개략적인 사시도이며, 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 센서유닛과 센서유닛위치방향조절지그의 측면확대도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치(100)는, 삽입홀(410)이 형성되는 반송대차(400)의 얼라인을 위해 반송대차(400)가 안착되는 스테이션유닛(200)과, 스테이션유닛(200)에 설치되며, 반송대차(400)에 형성된 삽입홀(410)에 삽입되는 틀어짐방지유닛(300)을 포함한다.
일반적으로, OHS 또는 OHT(Overhead Hoist Shuttle OR Transport, 천장 대차시스템)는 이송할 소형 반송 대상물이 많은 대형병원, 반도체 및 평판 디스플레이 생산공장 등에 설치된다.
천장 대차시스템은 천장에 설치되는 주행 레일과, 주행 레일을 따라 주행하며 대상물을 운반하는 반송대차(400)를 포함한다.
일 예로, 이러한 천장 대차시스템이 반도체 또는 디스플레이 평판패널 생산 라인에 설치된 경우, 크린룸 내의 천장공간을 이용해서 주행 레일이 설치되는데, 주행 레일 상에서 구동되는 반송대차(400)는 반도체 웨이퍼, 기판, 마스크, 글라스, 카세트 등이 적재된 반송 대상물을 반송 포트들 사이에서 운반한다.
여기서, 주행 레일은 지주 등에 의해 크린 룸의 천장 등으로부터 지지되며, 주행 레일 본체와 급전 레일로 이루어질 수 있다.
반송대차(400)는 주행 구동부를 구비하여 주행 레일의 본체 내를 주행할 수 있고, 수신부에 의해 급전 레일로부터 신호를 수신하여 통신할 수도 있다.
그리고, 반송대상물 중 기판은 각종 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD), 즉, LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 또는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판. LED(Light Emitting Diodes) 기판, TSP(Touch Screen Panel) 기판, PCB(Printed Circuit Board) 기판 및 각종 반도체에 사용되는 기판을 포함할 수 있다.
그리고, 이러한 다양한 공정에서 사용되는 기판(700)은 유리(Glass)를 사용할 수도 있고, 경우에 따라, 휘어짐 또는 구부림이 가능한 플라스틱(Plastic)이나 필름(Film) 종류를 사용할 수도 있다.
반송대차(400)는 리프트를 통해 천장에 설치되어 있는 주행 레일로 승강된 후 주행 레일을 따라 이동하도록 마련될 수 있다. 반송대차(400)는 기판 등이 인입 후 안착되는 캐리어유닛(420)과, 캐리어유닛(420)에 결합되어 주행 레일을 따라 구동하는 구동용휠(미도시)을 포함할 수 있다.
그리고 반송대차(400)에는 작업의 편의를 위해 사용자가 외관으로 반송대차(400)의 센터를 알 수 있도록 센터플레이트(430)가 설치될 수 있다.
도 2를 참조하면, 센터플레이트(430)는 반송대차(400)의 중심부에 설치될 수 있는데, 여기서 센터플레이트(430)는 반송대차(400)의 가로방향을 기준(도 2의 화살표 A 참조)으로 반송대차(400)의 하측에서 가로방향의 중심부에 설치될 수 있다.
또한 센터플레이트(430)는 반송대차(400)의 세로방향을 기준으로 반송대차(400)의 하측에서 세로방향의 중심부에 설치될 수 있으며(미도시), 또는 사각형상을 가지는 반송대차(400)의 하측에서 정중앙에 설치될 수도 있는데(미도시), 이하에서는 반송대차(400)의 하측에서 가로방향의 중심부에 설치된 경우를 중심으로 설명한다.
그리고, 도 2를 참조하면, 반송대차(400)가 주행 레일을 따라 주행시 정확한 위치를 따라 이동하거나 정확한 지점에서 회전하기 위해, 반송대차(400)에는 주행 레일을 센싱하도록 마련되는 센서유닛(440)이 설치될 수 있다.
반송대차(400)에 설치되는 이러한 센터플레이트(430)와 센서유닛(440)은 정확한 위치 또는 방향을 가지도록 조절될 필요가 있는데 이를 위해 스테이션유닛(200)에 틀어짐방지유닛(300)이 설치된다. 그리고 틀어짐방지유닛(300)에 의해 반송대차(400)가 스테이션유닛(200)에 틀어짐없이 안착되도록 마련된 후 센터플레이트(430)와 센서유닛(440)을 정확하게 조절하게 되는 바, 이하 이에 대해 상세히 설명한다.
도 1을 참조하면, 스테이션유닛(200)은 삽입홀(410, 도 2 참조)이 형성되는 반송대차(400)의 얼라인을 위해 반송대차(400)가 안착되도록 마련된다(도 3 및 도 4 참조).
즉, 스테이션유닛(200)에 반송대차(400)가 안착된 후 반송대차(400)에 설치될 수 있는 센서유닛(440)과 센터플레이트(430)의 위치 또는 방향을 조절하여 센서유닛(440)과 센터플레이트(430)를 정렬하게 된다.
여기서, 도 1을 참조하면, 스테이션유닛(200)은 지지프레임(210)과, 안착프레임(220)을 포함할 수 있다.
지지프레임(210)은 복수로 마련되어 상하방향으로 설치되는데, 특히 지지프레임(210)은 4개로 마련되어 사각형의 형태로 배치될 수 있으며, 이 경우 바닥 등에 설치될 수 있다. 다만, 지지프레임(210)의 개수와 배치 형태가 전술한 바에 의해 한정되는 것은 아니며 개수와 배치 형태는 다양하게 마련될 수 있다.
지지프레임(210)은, 지지프레임(210)에 연결되는 안착프레임(220)을 지지하며, 또한 안착프레임(220)에 반송대차(400)가 안착되면 반송대차(400)를 지지하게 된다.
안착프레임(220)은 복수의 지지프레임(210)을 좌우방향으로 각각 연결하며, 안착프레임(220)에 반송대차(400)가 안착될 때 반송대차(400)의 자중에 의해, 또는 다른 다양한 원인으로 인해 반송대차(400)가 틀어지면서 안착프레임(220)에 안착되는 것을 방지하도록 틀어짐방지유닛(300)이 결합될 수 있다.
이에 대해 설명하면, 반송대차(400)를 이송하도록 마련되는 이송차량(미도시)에 반송대차(400)가 실리게 된 후 이송차량(미도시)이 스테이션유닛(200) 내측으로 이동한다.
여기서, 스테이션유닛(200)에는, 안착프레임(220)에 결합되어 안착프레임(220)을 상승시키거나 하강시키도록 마련되는 프레임동력전달유닛(260)이 설치될 수 있는데, 이송차량(미도시)이 스테이션유닛(200) 내측으로 이동하게 되면 프레임동력전달유닛(260)에 의해 안착프레임(220)이 상승하면서 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 올려지게 된다.
즉, 전술한 바와 같이 반송대차(400)가 이송차량(미도시)을 통해 스테이션유닛(200) 내측으로 이동 후(도 3 참조) 프레임동력전달유닛(260)이 구동하여 안착프레임(220)이 상승하게 되면(도 4 참조), 반송대차(400)는 안착프레임(220)에 안착되면서 이송차량(미도시)으로부터 이탈하게 되며, 이후 이송차량(미도시)은 스테이션유닛(200)과의 간섭없이 스테이션유닛(200)의 외측으로 이동할 수 있게 된다.
여기서, 프레임동력전달유닛(260)은 다양한 종류의 모터(미도시)와 스크류 잭(미도시)을 포함할 수 있다.
그리고, 도 1 및 도 3을 참조하면, 스테이션유닛(200)에는 하중지지보완유닛(270)이 설치될 수 있는데, 하중지지보완유닛(270)은 안착프레임(220)에 결합되어 안착프레임(220)의 상승 또는 하강시 반송대차(400)의 하중 지지를 보완하도록 마련된다.
도 1을 참조하면, 하중지지보완유닛(270)은 안착프레임(220)에 결합되어 상승 또는 하강하는 실린더부재(271)와, 실린더부재(271)의 둘레를 감싸도록 마련되어 실린더부재(271)를 지지하는 실린더지지부재(272)로 마련될 수 있다.
즉, 실린더부재(271)는 안착프레임(220)에 결합되어 안착프레임(220)의 상승 또는 하강시 이에 연동되어 함께 상승 또는 하강하게 되며 실린더지지부재(272)는 실린더부재(271)를 감싸도록 마련되어 실린더부재(271)를 지지하므로 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 안착되는 경우 하중지지보완유닛(270)이 안착프레임(220)의 하측에서 안착프레임(220)을 받쳐주는 것에 의해 반송대차(400)의 하중을 지지하게 되며, 안착프레임(220)에서 반송대차(400)의 하중을 지지하는 것을 보완하게 된다.
한편, 반송대차(400)는 이송차량(미도시)뿐만 아니라 리프트(미도시)를 통해 안착프레임(220)의 상측으로부터 안착프레임(220)에 올려질 수도 있다.
그리고, 전술한 바와 같이, 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 안착되는 경우 반송대차(400)의 자중 등의 다양한 원인으로 인해 안착프레임(220)에 정확하게 올려지지 못하고 틀어지게 될 수 있는데, 이를 방지하기 위해 안착프레임(220)에는 틀어짐방지유닛(300)이 결합될 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 틀어짐방지유닛(300)은 반송대차(400)에 형성된 삽입홀(410)에 삽입될 수 있도록 삽입용결합돌출부(310)와 삽입보완테이퍼부(320)를 포함할 수 있다.
삽입용결합돌출부(310)는 스테이션유닛(200)의 안착프레임(220)으로부터 돌출되며, 반송대차(400)의 하측에 형성되는 삽입홀(410)에 삽입되도록 마련된다. 여기서, 삽입용결합돌출부(310)는 예를 들어 4개로 마련되어 안착프레임(220)에 결합될 수 있는데, 이 경우, 삽입홀(410) 역시 4개로 마련될 수 있다.
즉, 도 2를 참조하면, 반송대차(400)의 하측에 4개의 삽입홀(410)이 형성될 수 있는데, 안착프레임(220)에 결합되어 있는 4개의 삽입용결합돌출부(310)가 반송대차(400)의 하측에 형성되어 있는 4개의 삽입홀(410)에 삽입되도록 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 안착됨으로써, 전술한 바와 같은 반송대차(400)의 자중 등에 의한 틀어짐을 방지할 수 있게 된다.
다만, 틀어짐방지유닛(300)의 개수와 삽입홀(410)의 개수는 4개에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 다양한 숫자를 가질 수 있다.
그리고, 반송대차(400)의 삽입홀(410)이 삽입용결합돌출부(310)로부터 다소 벗어난 범위에서 안착프레임(220)에 안착되는 경우에도 삽입용결합돌출부(310)가 정확하게 삽입홀(410)에 삽입될 수 있도록, 삽입용결합돌출부(310)의 상측에는 삽입보완테이퍼부(320)가 형성될 수 있다.
여기서, 도 3을 참조하면, 틀어짐방지유닛(300)은 안착프레임(220)으로부터 상측을 향하도록 안착프레임(220)에 결합되는데, 이 경우, 삽입보완테이퍼부(320)는 하측에서 상측으로 갈수록 직경이 감소하도록 마련될 수 있다.
즉, 도 3 및 도 4를 참조하면, 삽입보완테이퍼부(320)는 삽입용결합돌출부(310)로부터 테이퍼(Taper)가 형성되도록 연장될 수 있는데, 반송대차(400)의 삽입홀(410)이 삽입용결합돌출부(310)로부터 다소 벗어난 범위에서 삽입용결합돌출부(310)로 접근하더라도, 삽입홀(410) 부분이 삽입보완테이퍼부(320)의 경사를 따라 하강하게 되므로 삽입용결합돌출부(310)의 삽입을 보완하게 되며, 이에 의해, 삽입용결합돌출부(310)가 삽입홀(410)에 정확하게 삽입될 수 있게 된다.
이에 의하면, 복수의 반송대차(400) 각각이 안착프레임(220)에 안착되는 경우 복수의 반송대차(400)는 일률적인 위치에 안착될 수 있게 된다.
한편, 도 1을 참조하면, 스테이션유닛(200)에는 안착프레임(220)에 교차하는 방향으로 복수의 지지프레임(210)을 각각 연결하는 반송대차위치기준제공바(280)가 설치될 수 있는데, 이는, 반송대차(400)가 스테이션유닛(200) 내부로 인입 후 반송대차(400)에 형성된 삽입홀(410)이 정확한 위치에서 틀어짐방지유닛(300)에 삽입될 수 있기 위함이다.
여기서, 반송대차위치기준제공바(280)는 스테이션유닛(200)에 착탈가능하게 결합될 수 있는데, 반송대차(400)를 실은 이송차량이 스테이션유닛(200)으로 이동할 때는 반송대차위치기준제공바(280)를 분리시켜 이송차량과의 간섭을 방지한다.
그리고 이송차량(미도시)이 스테이션유닛(200) 내부로 인입된 상태에서는 반송대차위치기준제공바(280)가 스테이션유닛(200)에 부착되는데, 이 경우 이송차량의 일측면이 반송대차위치기준제공바(280)에 접촉하게 되면 이송차량이 소정의 지점에 위치하게 되므로 이 상태에서 반송대차(400)가 안착유닛에 안착되면 반송대차(400)에 형성된 삽입홀(410)이 정확한 위치에서 틀어짐방지유닛(300)에 삽입될 수 있게 된다.
그리고, 이와 같이 복수의 반송대차(400) 각각이 틀어짐없이 안착프레임(220)에 정확하게 안착된 후, 스테이션유닛(200)에 결합되어 있는 센터플레이트위치방향조절지그(230)와 센서유닛위치방향조절지그(240)를 통해 센터플레이트(430) 또는 센서유닛(440)의 얼라인을 실시하게 된다.
우선, 센터플레이트위치방향조절지그(230)를 통해 센터플레이트(430)의 위치 또는 방향을 조절하여 얼라인하는 것에 대해 설명한다.
이와 관련하여, 반송대차(400)는 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛(420)과, 캐리어유닛(420)의 중심부를 인식하기 위해 캐리어유닛(420)의 중심부에 설치되는 센터플레이트(430)를 포함할 수 있다.
센터플레이트(430)는 전술한 바와 같이, 사용자가 반송대차(400)에 관한 작업 수행 중 외관으로부터 반송대차(400)의 센터를 알 수 있도록 하기 위해 반송대차(400)의 중심부에 설치될 수 있다.
그런데 초기에는, 반송대차(400)에 설치되어 있는 센터플레이트(430)가 대략적인 위치 또는 방향에서 반송대차(400)에 결합되어 있으므로 센터플레이트(430)가 반송대차(400)의 정확한 위치에 결합되어 정확한 방향을 가지도록 센터플레이트(430)의 위치 내지 방향을 조절 내지 조정할 필요가 있다.
또는 반송대차(400)의 반복적 사용에 의해 센터플레이트(430)를 반송대차(400)에 체결하는 체결부재의 변형 등으로 센터플레이트(430)의 위치 내지 방향이 미세하게 변동되어 센터플레이트(430)의 위치 또는 방향을 조절할 필요가 있는 경우도 고려될 수 있다.
여기서, 도 1 및 도 5를 참조하면, 반송대차(400)에 결합된 센터플레이트(430)의 정확한 위치 또는 방향을 조절하기 위해 스테이션유닛(200)에는 센터플레이트위치방향조절지그(230)가 결합될 수 있다.
그리고, 센터플레이트위치방향조절지그(230)는 상방돌출지그부(231)와, 지그뾰족부(232)를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 5를 참조하면, 상방돌출지그부(231)는 스테이션유닛(200)에서 상방을 향해 돌출되도록 마련될 수 있으며, 지그뾰족부(232)는 상방돌출지그부(231)로부터 연장되며 단부가 날카롭게 형성될 수 있다.
이 경우, 반송대차(400)에 결합된 센터플레이트(430)는 반송대차(400)의 하측에서 하방을 향해 돌출되도록 마련되며, 센터플레이트위치방향조절지그(230)의 지그뾰족부(232)에 대응되도록 일측 단부가 날카롭고 형성되어 있는 센터플레이트뾰족부(431, 도 2 참조)를 포함할 수 있다.
여기서, 센터플레이트(430)의 센터플레이트뾰족부(431)가 센터플레이트위치방향조절지그(230)의 지그뾰족부(232)에 위치하도록 조절 후 센터플레이트(430)를 고정하게 되면 센터플레이트(430)의 정확한 위치가 맞추어 질 수 있게 된다. 그리고, 방향에 대해서도 마찬가지로 조절가능하다.
즉, 복수의 반송대차(400) 각각은 초기에 센터플레이트(430)의 위치 내지 방향이 정확하게 맞추어 지지 않은 제각각의 상태이지만, 스테이션유닛(200)에 고정되어 있는 센터플레이트위치방향조절지그(230)의 지그뾰족부(232)에 대해 센터플레이트(430)의 센터플레이트뾰족부(431)를 맞춘 후 센터플레이트(430)를 고정함으로써 복수의 반송대차(400) 각각에 대해 센터플레이트(430)의 정확한 위치 또는 방향을 맞출 수 있게 된다.
즉, 센터플레이트위치방향조절지그(230)는 센터플레이터의 위치 내지 방향을 조절하기 위한 기준을 제공하는 역할을 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 센터플레이트(430)의 정확한 위치를 인식할 수 있는 효과가 있게 된다.
다음으로, 센서유닛위치방향조절지그(240)를 통해 센서유닛(440)의 위치 또는 방향을 조절하여 얼라인하는 것에 대해 설명한다.
전술한 바와 마찬가지로, 반송대차(400)는 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛(420)을 포함하며, 캐리어유닛(420)에는 캐리어유닛(420)의 위치정보를 위해 주행 레일을 센싱하도록 마련되는 센서유닛(440)이 설치될 수 있다.
여기서 센서유닛(440)은 근접센서 또는 바코드센서를 포함할 수 있으며, 다만, 이에 한정되는 것은 아니고 센서유닛(440)은 다양한 종류의 센서를 포함할 수 있다.
센서유닛(440)은 반송대차(400)의 하측에서 다양한 부분에 설치될 수 있는데, 도 2를 참조하면, 센터플레이트(430)와 동일선상에서 근접센서가 반송대차(400)에 결합될 수 있고, 근접센서의 근접한 위치에 바코드센서가 반송대차(400)에 결합될 수 있다. 다만, 센서유닛(440)의 설치위치는 하나의 예시일 뿐이며 이에 한정되는 것은 아니다.
여기서, 센터플레이트(430)와 마찬가지로 센서유닛(440)의 경우에도 초기에는 정확한 위치와 방향이 아니라 대략적인 위치와 방향을 가지도록 반송대차(400)에 결합되어 있으므로, 센서유닛(440)이 반송대차(400)의 정확한 위치에서 결합되어 정확한 방향을 가지도록 센서유닛(440)의 위치 내지 방향을 조절할 필요가 있다.
또는 반송대차(400)의 반복적 사용에 의해 센서유닛(440)을 반송대차(400)에 체결하는 체결부재의 변형 등으로 센서유닛(440)의 위치 내지 방향이 미세하게 변동하여 센서유닛(440)의 위치 또는 방향을 조절할 필요가 있는 경우도 역시 고려될 수 있다.
여기서, 도 1 및 도 6을 참조하면, 반송대차(400)에 결합된 센서유닛(440)의 정확한 위치 또는 방향을 조절하기 위해 스테이션유닛(200)에는 센서유닛위치방향조절지그(240)가 결합될 수 있다.
한편, 도 6의 경우 설명의 편의를 위해, 센서유닛위치방향조절지그(240)의 상측에 센서유닛(440)만 도시되어 있고 센서유닛(440)이 결합되는 반송대차(400)의 도시는 생략되어 있음을 밝혀 둔다.
도 6을 참조하면, 센서유닛(440a)은 세로방향으로 배치되는 한 쌍의 세로부재(441)와, 한 쌍의 세로부재(441) 각각의 상측을 상호 연결하는 가로부재(442)로 마련될 수 있다.
이 경우 센서유닛(440a)은 근접센서를 포함할 수 있는데, 근접센서는 도 6에 도시된 바와 같이 대략 'ㄷ'자 형상을 가지도록 마련될 수 있다. 다만, 근접센서의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고, 센서유닛(440a)이 한 쌍의 세로부재(441)와 이를 연결하는 가로부재(442)로 마련되는 경우 센서유닛위치방향조절지그(240a)는 센서유닛(440a)의 하측에 배치되어 센서유닛(440a)의 위치를 조절하도록 마련될 수 있다.
이에 대해 도 6 및 도 7을 참조하여 설명하면, 센서유닛위치방향조절지그(240a)는 스테이션결합플레이트부(241)와, 센서위치방향기준제공돌출부(242)를 포함할 수 있다.
스테이션결합플레이트부(241)는 스테이션유닛(200)에 결합되어 고정되도록 마련되며, 여기서 스테이션결합플레이트부(241)는 스테이션결합플레이트부(241)에 결합되는 센서위치방향기준제공돌출부(242)를 지지하도록 마련된다.
센서위치방향기준제공돌출부(242)는 스테이션결합플레이트부(241)로부터 상측으로 돌출되도록 마련되는데, 여기서 한 쌍의 세로부재(441)는 서로 이격되어 공간이 형성되므로 센서위치방향기준제공돌출부(242)를 한 쌍의 세로부재(441) 사이에 형성된 공간에 위치시킨 후 이 상태에서 센서유닛(440a)을 고정하게 되면 센서유닛(440a)은 정확한 위치 또는 방향이 맞추어지게 된다.
즉, 센서위치방향기준제공돌출부(242)는 센서유닛(440a)이 고정되어야 할 위치와 방향을 제공하는 기준이 되므로, 복수의 반송대차(400) 각각에 설치되어 있는 센서유닛(440a)에 대해 센서위치방향기준제공돌출부(242)를 기준으로 위치와 방향을 맞춘 후 고정하면 센서유닛(440a)의 정확한 위치 또는 방향을 맞출 수 있게 된다.
한편 도 2 및 도 6을 참조하면, 센서유닛(440b)은 주행 레일을 향해 경사지게 마련되는 바코드부(443)를 포함할 수 있는데, 이 경우, 바코드부(443)는 주행 레일에 표시되어 있는 바코드를 읽을 수 있도록 마련된다.
그리고 바코드부(443)의 위치 내지 방향을 조절할 수 있도록 센서유닛위치방향조절지그(240b)는 바코드부(443b)의 하측에 배치될 수 있다.
여기서 도 6 및 도 7을 참조하면, 센서유닛위치방향조절지그(240b)는 센서용결합돌출부(243)와, 센서위치방향기준제공경사부(244)를 포함할 수 있다.
센서용결합돌출부(243)는 스테이션유닛(200)에 결합되어 바코드부(443)를 향해 돌출되도록 마련되는데, 바코드부(443)가 센서위치방향기준제공경사부(244)에 근접하게 위치될 수 있는 높이까지 돌출될 수 있다.
그리고, 센서위치방향기준제공경사부(244)는 센서용결합돌출부(243)로부터 연장되며 바코드부(443)에 형성된 경사에 대응되는 경사가 형성되도록 마련된다.
반송대차(400)에 설치되어 있는 바코드부(443)는 주행 레일을 향해 소정 각도로 경사지게 마련되는 경우 센싱의 정확도가 향상될 수 있으므로 도 2, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 바코드부(443)는 경사가 형성되도록 반송대차(400)에 설치된다. 다만, 주행 레일의 바코드를 읽을 수 있다면 필요에 따라 바코드부(443)는 주행 레일을 향해 수직한 방향을 향하도록 마련될 수도 있다.
여기서, 복수의 반송대차(400) 각각에 설치되는 바코드부(443)는 모두 일정한 경사를 가지도록 반송대차(400)에 결합되어야하지만, 초기에 바코드부(443)의 위치 내지 방향이 정확하게 맞추어 지지 않은 제각각의 상태이므로 바코드부(443)의 경사 역시 주행 레일의 바코드를 읽을 수 있는 정확한 각도를 기울어져 있지 않은 상태이다.
여기서, 센서위치방향기준제공경사부(244)는 경사가 형성된 상태로 고정되어 있으므로, 반송대차(400)에 설치되어 있는 바코드부(443)를 센서위치방향기준제공경사부(244)에 미세하게 접촉시키거나, 접촉되지 않을 정도의 가까운 위치로 접근시켜 센서위치방향기준제공경사부(244)의 경사와 동일한 경사를 가지도록 바코드부(443)를 고정하게 되면 복수의 반송대차(400) 각각에 대해 바코드부(443)가 정확한 위치 또는 방향을 가질 수 있게 된다.
다만 바코드부(443)의 전면에는 글래스가 결합될 수 있으므로 바코드부(443)를 센서위치방향기준제공경사부(244)에 미세하게 접촉시킬 경우에는 글래스에 파손이 발생되는 것을 주의할 필요가 있다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치(100)에서, 반송대차(400)에 형성된 삽입홀(410)이 스테이션유닛의 틀어짐방지유닛(300)에 삽입되어 반송대차(400)의 틀어짐을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 센터플레이트위치방향조절지그(230)에 의해 센터플레이트(430)를 조절하여 센터플레이트(430)의 정확한 위치를 인식할 수 있고, 센서유닛위치방향조절지그(240)에 의해 센서유닛(440)의 정확한 위치 또는 방향의 조절이 가능하여, 반송대차(400)의 주행시 센싱오차를 감소시킬 수 있는 작용 및 효과에 대해 설명한다.
반송대차(400)에는 작업의 편의를 위해 사용자가 외관으로 반송대차(400)의 센터를 알 수 있도록 센터플레이트(430)가 설치될 수 있고, 또한 반송대차(400)가 주행 레일을 따라 주행시 정확한 위치를 따라 이동하거나 정확한 지점에서 회전할 수 있도록 주행 레일을 센싱하는 센서유닛(440)이 설치될 수 있다.
하지만, 초기에 복수의 반송대차(400) 각각에 설치되어 있는 센터플레이트(430) 내지 센서유닛(440)은 정확한 위치 내지 방향에 맞게 설치되어 있는 것이 아니라 위치 내지 방향이 정확하게 맞추어 지지 않고 대략의 위치에서 제각각의 상태이므로 이를 정확하게 맞추어 세팅할 필요가 있다.
이를 위해, 본 발명의 제1실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치(100)는 반송대차(400)를 스테이션유닛(200)에 안착시킨 후 센터플레이트(430) 또는 센서유닛(440)을 정확하게 조절하게 된다.
여기서 센터플레이트(430) 또는 센서유닛(440)을 정확하게 조절하기 위해서는 반송대차(400)가 스테이션유닛(200)에 정확하게 안착되어야 하는데, 반송대차(400)를 스테이션유닛(200)에 안착하는 과정에서 반송대차(400)의 자중에 의해 반송대차(400)가 틀어진 채로 스테이션유닛(200)에 안착될 수 있다.
이를 방지하기 위해 반송대차(400)의 하측에는 삽입홀(410)이 형성되어 있고 스테이션유닛(200)의 안착프레임(220)에는 틀어짐방지유닛(300)이 결합되어 있으며, 틀어짐방지유닛(300)이 삽입홀(410)에 삽입되도록 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 올려지게 되면 반송대차(400)가 정확한 위치에서 스테이션유닛(200)에 안착될 수 있다.
그리고 반송대차(400)가 스테이션유닛(200)에 안착되면 센터플레이트(430)의 센터플레이트뾰족부(431)가 센터플레이트위치방향조절지그(230)의 지그뾰족부(232)에 위치하도록 조절하게 되며, 이에 의해, 센터플레이트(430)의 정확한 위치 또는 방향을 맞출 수 있게 된다.
한편, 센서유닛(440a)은 세로방향으로 배치되는 한 쌍의 세로부재(441)와, 한 쌍의 세로부재(441) 각각의 상측을 상호 연결하는 가로부재(442)로 마련되어 대략 'ㄷ'자 형상을 가질 수 있는데, 이 경우 센서위치방향기준제공돌출부(242)가 한 쌍의 세로부재(441)의 사이에서 소정의 간격을 가지도록 센서유닛(440a)을 위치시킨 후 센서유닛(440a)을 고정하게 되며, 이에 의해, 센서유닛(440a)의 정확한 위치 또는 방향을 맞출 수 있게 된다.
또한 센서유닛(440b)은 주행 레일에 표시되어 있는 바코드를 읽을 수 있도록 주행 레일을 향해 경사지게 마련되는 바코드부(443)를 포함할 수 있는데, 이 경우, 바코드부(443)를 센서위치방향기준제공경사부(244)에 미세하게 접촉시키거나, 접촉되지 않을 정도의 가까운 위치로 접근시켜 센서위치방향기준제공경사부(244)의 경사와 동일한 경사를 가지도록 바코드부(443)를 고정하게 되며, 이에 의해, 복수의 반송대차(400) 각각에 대해 바코드부(443)의 정확한 위치 또는 방향을 맞출 수 있게 된다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 캐리어간격조절지그가 결합된 모습의 개략적인 사시도이고, 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치에서 캐리어간격조절지그가 반송대차에 결합된 모습의 정면도이다.
이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 반송대차 얼라인 장치(100)의 작용 및 효과에 대해 설명하되, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 처리 장치에서 설명한 내용과 공통되는 내용은 전술한 설명으로 대체하도록 한다.
본 발명의 제2실시예의 경우, 제1실시예와 비교시 캐리어유닛(420)의 좌우간격 및 좌우높이 중 적어도 하나를 조절하는 캐리어간격조절지그(250)를 포함한다는 점에서 제1실시예와 차이가 있다.
도 9를 참조하면, 반송대차(400)는 주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛(420)과, 캐리어유닛(420)의 내측면에 형성되는 간격조절용홀(450)을 포함할 수 있다.
여기서, 반송대차(400)가 스테이션유닛(200)에 안착된 상태에서 리프트를 통해 스테이션유닛(200) 상측의 천장에 마련되어 있는 주행 레일로 승강하기 위해서는 좌우간격이 정확하게 맞아야하며 또한 반송대차(400)의 좌우높이도 정확하게 맞아야 한다.
이를 위해 도 8을 참조하면, 스테이션유닛(200)에는 캐리어간격조절지그(250)가 착탈가능하게 결합될 수 있는데, 캐리어간격조절지그(250)는 캐리어유닛(420)의 내측면에 형성되어 있는 간격조절용홀(450)에 삽입되어 캐리어유닛(420)의 좌우간격 또는 좌우높이를 조절하도록 마련된다.
즉 캐리어유닛(420)의 내측에는 캐리어간격조절지그(250)가 삽입될 수 있는 간격조절용홀(450)이 형성되어 있으므로, 반송대차(400)가 안착프레임(220)에 안착된 후 캐리어유닛(420)의 측면에 형성된 중공(460, 도 2 참조)을 통해 캐리어간격조절지그(250)가 캐리어유닛(420) 내부로 인입되어 간격조절용홀(450)에 결합된다.
여기서 도 8을 참조하면, 캐리어간격조절지그(250)는 간격조절용홀(450)에 삽입되도록 마련되는 복수의 홀삽입플레이트(251)로 마련될 수 있는데, 복수의 홀삽입플레이트(251)가 캐리어유닛(420)의 내측의 간격조절용홀(450)에 결합되도록 캐리어유닛(420)을 조절하여 캐리어유닛(420)의 좌우간격 또는 좌우높이를 정확하게 맞추게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 반송대차 얼라인 장치 200 : 스테이션유닛
210 : 지지프레임 220 : 안착프레임
230 : 센터플레이트위치방향조절지그 231 : 상방돌출지그부
232 : 지그뾰족부 240 : 센서유닛위치방향조절지그
241 : 스테이션결합플레이트부 242 : 센서위치방향기준제공돌출부
243 : 센서용결합돌출부 244 : 센서위치방향기준제공경사부
250 : 캐리어간격조절지그 251 : 홀삽입플레이트
260 : 프레임동력전달유닛 270 : 하중지지보완유닛
271 : 실린더부재 272 : 실린더지지부재
280 : 반송대차위치기준제공바 300 : 틀어짐방지유닛
310 : 삽입용결합돌출부 320 : 삽입보완테이퍼부
400 : 반송대차 410 : 삽입홀
420 : 캐리어유닛 430 : 센터플레이트
431 : 센터플레이트뾰족부 440 : 센서유닛
441 : 세로부재 442 : 가로부재
443 : 바코드부 450 : 간격조절용홀

Claims (18)

  1. 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및
    상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 구비하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임; 및
    상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임을 포함하며,
    상기 반송대차는,
    주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및
    상기 캐리어유닛의 중심부를 인식하기 위해 상기 캐리어유닛의 중심부에 설치되는 센터플레이트를 포함하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상기 센터플레이트의 정확한 위치 및 방향 중 적어도 하나를 조절하기 위해 상기 스테이션유닛에 결합되는 센터플레이트위치방향조절지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 틀어짐방지유닛은,
    상기 스테이션유닛으로부터 돌출되어 상기 삽입홀에 삽입되는 삽입용결합돌출부; 및
    상기 삽입용결합돌출부로부터 연장되며 테이퍼(Taper)가 형성되는 삽입보완테이퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 틀어짐방지유닛은 상측을 향하도록 상기 스테이션유닛에 결합되며,
    상기 삽입보완테이퍼부는 하측에서 상측으로 갈수록 직경이 감소하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 센터플레이트위치방향조절지그는,
    상기 스테이션유닛에서 상방을 향해 돌출되는 상방돌출지그부; 및
    상기 상방돌출지그부로부터 연장되며 단부가 날카롭게 형성되는 지그뾰족부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  7. 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및
    상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 구비하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임; 및
    상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임을 포함하며,
    상기 반송대차는,
    주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및
    상기 캐리어유닛에 설치되며, 상기 캐리어유닛의 위치정보를 위해 상기 주행 레일을 센싱하도록 마련되는 센서유닛을 포함하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상기 센서유닛의 정확한 위치 및 방향 중 적어도 하나를 조절하기 위해 상기 스테이션유닛에 결합되는 센서유닛위치방향조절지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 센서유닛은,
    세로방향으로 배치되는 한 쌍의 세로부재; 및
    상기 한 쌍의 세로부재 각각의 상측을 상호 연결하는 가로부재를 포함하며,
    상기 센서유닛위치방향조절지그는 상기 센서유닛의 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 센서유닛위치방향조절지그는,
    상기 스테이션유닛에 결합되는 스테이션결합플레이트부; 및
    상기 스테이션결합플레이트부로부터 상측으로 돌출되되 상기 한 쌍의 세로부재의 사이에 위치하도록 마련되는 센서위치방향기준제공돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 센서유닛은, 상기 주행 레일을 향해 경사지게 마련되는 바코드부를 포함하며,
    상기 센서유닛위치방향조절지그는 상기 센서유닛의 하측에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 센서유닛위치방향조절지그는,
    상기 스테이션유닛에 결합되어 상기 바코드부를 향해 돌출되는 결합돌출부; 및
    상기 결합돌출부로부터 연장되되 상기 바코드부에 형성된 경사에 대응되는 경사가 형성되는 센서위치방향기준제공경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  12. 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및
    상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 구비하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임; 및
    상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임을 포함하며,
    상기 반송대차는,
    주행 레일을 따라 이동하도록 마련되는 캐리어유닛; 및
    상기 캐리어유닛의 내측면에 형성되는 간격조절용홀을 포함하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상기 스테이션유닛에 착탈가능하게 결합되되 상기 간격조절용홀에 삽입되어 상기 캐리어유닛의 좌우간격 및 좌우높이 중 적어도 하나를 조절하는 캐리어간격조절지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 캐리어간격조절지그는, 상기 간격조절용홀에 삽입되도록 마련되는 복수의 홀삽입플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  14. 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및
    상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 구비하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임; 및
    상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임을 포함하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상기 안착프레임의 상승 및 하강 중 적어도 하나의 구동을 위해 상기 안착프레임에 결합되는 프레임동력전달유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 스테이션유닛은,
    상기 안착프레임의 상승 또는 하강시 상기 반송대차의 하중 지지를 보완할 수 있도록 상기 안착프레임에 결합되는 하중지지보완유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 하중지지보완유닛은,
    상기 안착프레임에 결합되어 상승 또는 하강하는 실린더부재; 및
    상기 실린더부재의 둘레를 감싸도록 마련되어 상기 실린더부재를 지지하는 실린더지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  17. 삽입홀이 형성되는 반송대차의 얼라인을 위해 상기 반송대차가 안착되는 스테이션유닛; 및
    상기 스테이션유닛에 설치되며, 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀에 삽입되는 틀어짐방지유닛을 구비하며,
    상기 스테이션유닛은,
    상하방향으로 설치되는 복수의 지지프레임;
    상기 복수의 지지프레임을 좌우방향으로 각각 연결하며, 상기 틀어짐방지유닛이 결합되는 안착프레임; 및
    상기 반송대차가 상기 스테이션유닛 내부로 인입 후 상기 반송대차에 형성된 상기 삽입홀이 정확한 위치에서 상기 틀어짐방지유닛에 삽입될 수 있도록, 상기 안착프레임에 교차하는 방향으로 상기 복수의 지지프레임을 각각 연결하는 반송대차위치기준제공바를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 반송대차위치기준제공바는 상기 스테이션유닛에 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반송대차 얼라인 장치.
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