KR101640122B1 - 스토커 티칭 방법 및 그 시스템 - Google Patents

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KR101640122B1 KR1020140057570A KR20140057570A KR101640122B1 KR 101640122 B1 KR101640122 B1 KR 101640122B1 KR 1020140057570 A KR1020140057570 A KR 1020140057570A KR 20140057570 A KR20140057570 A KR 20140057570A KR 101640122 B1 KR101640122 B1 KR 101640122B1
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Abstract

스토커 티칭 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 티칭 방법은, (a) 선반의 기준위치로 운반캐리지가 이동하는 단계; 및 (b) 선반의 기준위치에서 랙포스트감지유닛의 감지여부 결과에 따라, 제어유닛이 티칭값을 연산하여 저장하는 단계를 포함한다.

Description

스토커 티칭 방법 및 그 시스템{STOCKER TEACHING METHOD AND SYSTEM}
본 발명은, 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 랙포스트감지유닛의 감지결과에 따라 티칭값을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행할 수 있는 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에 관한 것이다.
최근 들어, 반도체 산업과, 반도체 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel) 등이 존재한다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 액정표시장치(TFTLCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.
여기서, 평면디스플레이(FPD)는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있는데, 현재, 액정표시장치(LCD)는 전자시계를 비롯하여 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.
한편, 평면디스플레이에는, 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel)외에, 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.
여기서, 액정표시장치(LCD) 또는 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평면디스플레이에서, 반도체 웨이퍼와 글래스 기판의 역할과 기능은 극히 중요한데, 이는, 반도체 웨이퍼와 글래스 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 영향을 받기 때문이다.
그리고, 평면디스플레이의 반도체 웨이퍼와 글래스 기판은 그 특성상 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 성질을 가지고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다.
따라서 평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 반도체 웨이퍼와 글래스 기판을 훼손 없이 효율적으로 이송, 보관할 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것이다.
평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서, 임의의 공정이 완료된 반도체 웨이퍼는 일반적으로 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)에 탑재될 수 있고, 임의의 공정이 완료된 글래스 기판들은 카세트(Cassette)에 탑재될 수 있다.
여기서, 반도체 웨이퍼가 탑재된 전면 개방 운반 용기와, 글래스 기판들이 탑재된 카세트들은, 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전, 전면 개방 운반 용기 또는 카세트를 보관하는 선반에 임시 저장 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비로 운반된다.
이는, 각 공정을 수행하는 각 장비들에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 글래스 기판의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.
이때, 전면 개방 운반 용기 또는 카세트들을 이동시키는 수단으로 스토커 장치가 사용된다. 여기서, 스토커 장치는 레일을 따라 이동하면서 선반으로 전면 개방 운반 용기 또는 카세트를 인입하여 적재하거나, 선반으로부터 전면 개방 운반 용기 또는 카세트를 인출하는 등의 일련의 작업을 수행한다.
한편, 전면 개방 운반 용기 또는 카세트가 선반의 정확한 위치에 로딩될 수 있도록 공정이 진행되기 전에 스토커의 위치를 조정하는 스토커 티칭 작업이 이루어질 수 있다.
또는, 스토커의 작업 중 다양한 원인에 의해 최초 설정된 위치에서 벗어나는 경우가 종종 발생되는데, 이 경우, 스토커의 티칭을 재설정할 필요가 있다.
즉, 스토커 티칭 작업은, 스토커의 작동시 필요한 정확한 위치 정보를 미리 지정해주는 작업을 의미한다.
여기서, 종래에는, 스토커의 최초 설치 후 티칭을 수행하거나, 다수의 공정이 진행된 이후 새로운 티칭을 수행하는 경우, 작업자가 MU(Maintenance Unit)를 사용하여 수작업으로 직접 티칭을 실시하였었다.
그러나, 작업자가 직접 티칭하게 되면 티칭의 정확성을 확보하기가 용이하지 않고, 작업자가 안전사고에 노출될 수 있는 위험이 있으며, 작업 시간이 증가하게 되는 문제점이 있었다.
대한민국등록특허 등록번호:제10-1191037호(공고일자:2012년10월12일)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 랙포스트감지유닛의 감지결과에 따라 티칭값을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행하며, 이에 의해, 티칭의 정확도를 향상시키고, 작업자의 안전사고 위험을 예방하며, 티칭 작업 시간을 감소시킬 수 있는 스토커 티칭 방법 및 그 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, (a) 선반의 기준위치로 운반캐리지가 이동하는 단계; 및 (b) 상기 선반의 상기 기준위치에서 랙포스트감지유닛의 감지여부 결과에 따라, 제어유닛이 티칭값을 연산하여 저장하는 단계를 포함하고, 상기 선반은, 프레임으로 마련되며 층(層)이 형성되는 플로어(Floor); 상기 플로어의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성되는 레벨(Level); 및 상기 레벨 내부에 배치되며, 대상물이 보관되는 베이(Bay)를 포함하며, 상기 랙포스트감지유닛은 상기 운반캐리지에 장착되고, 상기 레벨 및 베이 중 적어도 어느 하나에는 상기 랙포스트감지유닛이 감지하는 감지대상물이 장착되며, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 운반캐리지의 위치변동에 의한 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부를 통해 목표위치값을 설정하는 단계; 및 (b2) 상기 목표위치값의 평균값을 계산하여 상기 티칭값으로 저장하는 단계를 포함하고, 상기 (b1) 단계는, 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 하측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 상측단부위치값을 설정하는 단계; 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 상측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 하측단부위치값을 설정하는 단계; 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 좌측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 우측단부위치값을 설정하는 단계; 및 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 우측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 좌측단부위치값을 설정하는 단계를 포함하며, 상기 (b2) 단계의 상기 목표위치값의 평균값은, 상기 상측단부위치값과 상기 하측단부위치값을 더한 값의 절반인 상하방향 평균값; 및 상기 우측단부위치값과 상기 좌측단부위치값을 더한 값의 절반인 좌우방향 평균값을 포함하는 스토커 티칭 방법이 제공될 수 있다.
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또한, 상기 (b1) 단계는, (b11) 상기 레벨에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 레벨에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 레벨은 복수로 마련되며, (c) 상기 복수의 레벨 중에서 일측 레벨에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 레벨에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 레벨에 대한 기준위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 제1레벨과, 상기 제1레벨로부터 인접하게 배치되는 제2레벨 사이의 거리차이에 해당되는 레벨이동단위거리에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 이동할 수 있다.
그리고, 상기 베이는 복수로 마련되어 방사형으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 (b1) 단계는, (b12) 상기 베이에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 베이에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 베이는 복수로 마련되며, (d) 상기 복수의 베이 중에서 일측 베이에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 베이에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 베이에 대한 기준위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 제1베이와, 상기 제1베이로부터 인접하게 배치되는 제2베이 사이의 각도차이에 해당되는 베이이동단위각도에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 회전할 수 있다.
그리고, 상기 운반캐리지는 복수로 마련되어 배치되며, 상기 복수의 운반캐리지 중에서, 기준이 되는 제1운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동하도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 운반캐리지는 복수로 마련되어 배치되며, 상기 복수의 운반캐리지 중에서, 기준이 되는 제1운반캐리지로부터 이격되어 배치되는 제2운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동하는 경우, 상기 제2운반캐리지는, 상기 기준이 되는 제1운반캐리지와 상기 제2운반캐리지 사이의 차이에 해당되는 운반캐리지이격단위거리만큼 더 이동하도록 마련될 수 있다.
그리고, 상기 제어유닛은, 상기 플로어, 상기 레벨 및 상기 베이 중 적어도 하나에 대해 사용 가능 여부의 상태를 확인하는 밸리드체크(Valid Check)를 실시하는 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 대상물이 보관되도록 마련되는 선반; 상기 선반의 기준위치로 이동가능하도록 마련되며, 랙포스트감지유닛이 결합되는 운반캐리지; 및 상기 랙포스트감지유닛에 연결되며, 상기 운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동 후, 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부 결과에 따라 티칭값을 연산하여 저장하도록 마련되는 제어유닛을 포함하며, 상기 선반은, 프레임으로 마련되며 층(層)이 형성되는 플로어(Floor); 상기 플로어의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성되는 레벨(Level); 및 상기 레벨 내부에 배치되며, 대상물이 보관되는 베이(Bay)를 포함하고, 상기 랙포스트감지유닛은 상기 운반캐리지에 장착되고, 상기 레벨 및 베이 중 적어도 어느 하나에는 상기 랙포스트감지유닛이 감지하는 감지대상물이 장착되며, 상기 제어유닛은, 상기 운반캐리지의 위치변동에 의한 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부를 통해 목표위치값을 설정하며, 상기 목표위치값의 평균값을 계산하여 상기 티칭값으로 저장하되, 상기 목표위치값은, 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 하측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 상측단부위치값; 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 상측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 하측단부위치값; 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 좌측방향으로 이동 중에 상기 감지 시 감지한 위치의 위치값인 우측단부위치값; 및 상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 우측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 좌측단부위치값을 포함하며, 상기 목표위치값의 평균값은, 상기 상측단부위치값과 상기 하측단부위치값을 더한 값의 절반인 상하방향 평균값; 및 상기 우측단부위치값과 상기 좌측단부위치값을 더한 값의 절반인 좌우방향 평균값을 포함하는 스토커 티칭 시스템이 제공될 수 있다.
또한, 상기 레벨에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 레벨에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동할 수 있다.
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그리고, 상기 베이는 복수로 마련되어 방사형으로 배치될 수 있다.
또한, 상기 베이에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 베이에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동할 수 있다.
그리고, 상기 베이는 복수로 마련되며, 상기 복수의 베이 중에서 일측 베이에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 베이에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 베이에 대한 기준위치로 이동할 수 있다.
또한, 제1베이와, 상기 제1베이로부터 인접하게 배치되는 제2베이 사이의 각도차이에 해당되는 베이이동단위각도에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 회전할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 랙포스트감지유닛의 감지결과에 따라 티칭값을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행하며, 이에 의해, 티칭의 정확도를 향상시키고, 작업자의 안전사고 위험을 예방하며, 티칭 작업 시간을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 선반의 측면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 선반의 개략도를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 베이가 배열된 개략적 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 운반캐리지의 개략적인 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 티칭값에 관련된 도면이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 명세서에서 사용되는 '일측'과 '타측'의 용어는 특정된 측면을 의미할 수도 있고, 또는, 특정된 측면을 의미하는 것이 아니라 복수의 측면 중 임의의 측면을 일측이라 지칭하면, 이에 대응되는 다른 측면을 타측이라 지칭하는 것으로 이해되어질 수 있다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합되거나, 직접 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함될 수 있다.
본 명세서에서 선반에 보관되는 대상물은, 반도체 웨이퍼나 기판이 적재된 다양한 보관용기일 수 있으며, 예를 들어, 상기 대상물은, 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위해 반도체 웨이퍼가 탑재되는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box), 또는, 글래스 기판을 이송시키기 위해 글래스 기판들이 탑재되는 카세트(Cassette)일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 선반의 측면도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 선반의 개략도를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 베이가 배열된 개략적 평면도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 운반캐리지의 개략적인 측면도이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에 따른 스토커 티칭 방법 및 그 시스템에서 티칭값에 관련된 도면이다.
전술한 바와 같이, 반도체 산업 및 반도체 디스플레이 산업과 관련하여, 전자계산기, TV 또는 노트북 PC 등에, 반도체 웨이퍼와, 글래스 기판이 널리 사용되고 있다.
반도체 웨이퍼와, 글래스 기판은 다양한 공정을 거쳐 사용되고 있는데, 공정을 수행하는 각 장비들의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 반도체 웨이퍼가 탑재된 전면 개방 운반 용기(FOSB,500)와, 글래스 기판들이 탑재된 카세트(500)들은, 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 운반되기 전, 보관 시스템인 선반(100)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비로 운반된다.
그리고, 전면 개방 운반 용기(500)와, 카세트(500)들을 이동시키는 수단으로 스토커(600) 장치가 사용되는데, 스토커(600) 장치는 선반(100)에 근접하게 배치된 레일을 따라 이동하도록 마련되고, 입출고포트(미도시)를 통해 인입되는 전면 개방 운반 용기(500) 또는 카세트(500)를 받아서 레일을 따라 선반(100)으로 이동 후 적재하게 된다.
여기서, 전면 개방 운반 용기(500) 또는 카세트(500)가 선반(100)의 정확한 위치에 로딩될 수 있도록, 공정이 진행되기 전에 스토커(600)의 위치를 조정하는 스토커(600) 티칭 작업이 이루어질 수 있는 바, 이하, 이에 대해 상세히 설명한다.
전술한 각각의 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 스토커 티칭 방법은 선반(100)의 기준위치로 운반캐리지(200)가 이동하는 단계와, 선반(100)의 기준위치에서 랙포스트감지유닛(210)의 감지여부 결과에 따라, 제어유닛(400)이 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00001
)을 연산하여 저장하는 단계를 포함한다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 선반(100)은 플로어(110)와, 레벨(120)과, 베이(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
플로어(Floor,110)는 외곽을 형성하는 프레임으로 마련되며, 각각의 층(層)이 형성될 수 있다. 즉, 플로어(110)는 1층, 2층, 3층 또는 그 이상의 층(層)으로 형성될 수 있다.
여기서, 하나의 플로어(110)와 다른 플로어(110) 사이의 거리에 해당되는 플로어이동단위거리는 FD로 나타낼 수 있다.
그리고, 레벨(Level,120)은 플로어(110)의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 1층의 플로어(110)에 1단, 2단, 3단 또는 그 이상의 단(段)으로 형성될 수 있고, 또한, 2층의 플로어(110)에 1단, 2단, 3단 또는 그 이상의 단(段)으로 형성될 수 있으며, 3층 이상의 각 층(層)에 각각의 단(段)이 형성될 수 있다.
여기서, 레벨(120)과 다른 레벨(120) 사이의 거리에 해당되는 레벨이동단위거리는 LD로 나타낼 수 있다.
또한, 베이(Bay,130)는 레벨(120) 내부에 배치되며, 스토커(600)에 의해 운반되는 대상물(500), 즉, 전면 개방 운반 용기(500) 또는 카세트(500)가 보관되도록 마련될 수 있다.
여기서, 하나의 레벨(120)에는 복수의 베이(130)가 배치될 수 있으며, 도 3을 참조하면, 하나의 레벨(120)에 배치되는 복수의 베이(130)는 소정 각도를 가지도록 방사형으로 배치될 수 있다.
한편, 스토커(600)는, 선반(100)을 따라 상하로 승하강 가능하게 마련되는 운반캐리지(200)와, 운반캐리지(200)에 결합되어 운반캐리지(200)의 승하강에 연동되어 움직이며, 전면 개방 운반 용기(500) 또는 카세트(500)가 적재된 후 이를 베이(130)에 로딩시키는 적재포크(300)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 운반캐리지(200)와 적재포크(300)는 일체형으로 형성되어 선반(100)을 따라 상하로 승하강 가능하도록 마련될 수 있으며, 이 경우, 적재포크(300)는 운반캐리지(200)에 포함되는 개념일 수 있다.
그리고, 운반캐리지(200) 및 적재포크(300) 중 적어도 하나에는 랙포스트감지유닛(210)이 결합될 수 있는데(도 4 참조), 랙포스트감지유닛(210)에 의해, 레벨(120) 및 베이(130) 중 적어도 하나에 설치되어 있는 감지대상물인 미러(Mirror,131)를 감지하여 티칭값(
Figure 112015113733985-pat00002
)을 연산하게 된다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
여기서, 랙포스트감지유닛(210)은 레이저 센서를 사용할 수 있는데, 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 랙포스트감지유닛(210)은 초음파 센서 또는 적외선 센서를 사용할 수도 있다.
한편, 본 발명의 제1실시예에서는, 설명의 편의를 위하여, 랙포스트감지유닛(210)이 운반캐리지(200)에 결합되어 있는 것을 중심으로 설명하기로 한다.
도 4를 참조하면, 운반캐리지(200)에는 랙포스트감지유닛(210)이 결합될 수 있으며, 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00003
)의 연산을 위해 운반캐리지(200)가 선반(100)의 기준위치로 이동하게 된다.
여기서, 선반(100)의 기준위치는, 선반(100)에서 티칭 대상이 되는 플로어(110) F, 레벨(120) L 및 베이(130) B의 위치를 의미한다.
그리고, 선반(100)의 기준위치는 다양하게 마련될 수 있는데, 예를 들어, 플로어(110) 1에 있는 레벨(120) 1의 베이(130) 1, 즉, 1층의 1단 내부에 위치하는 1번 베이(130)가 티칭대상인 경우, 운반캐리지(200)는 F1L1B1의 위치로 이동하게 된다. 여기서, F1L1B1은 실제 측정된 거리값에 따라 마련될 수 있다.
하지만, 운반캐리지(200)가 F1L1B1의 위치로 이동하더라도, 운반캐리지(200)가 F1L1B1로 실제 이동한 위치와, 대상물(500)의 로딩을 위한 선반의 정확한 위치 사이에는 오차가 존재할 수 있으므로, 우선, 운반캐리지(200)가 F1L1B1의 위치로 이동 후 티칭 과정을 통해 정확한 위치를 파악하여 저장하며, 이에 의해, 전면 개방 운반 용기(500) 또는 카세트(500)를 선반(100)의 정확한 위치에 로딩할 수 있게 된다.
여기서, 티칭 과정은 선반(100)의 레벨(120)에 대한 티칭과, 선반(100)의 베이(130)에 대한 티칭을 포함하며, 플로어(110)에 대한 티칭은 필요시 진행되도록 마련될 수 있다.
우선, 레벨(120)에 대한 티칭에 대해 설명하면, 운반캐리지(200)는 레벨(120)에 대한 기준위치로 이동한다.
그리고, 도 5를 참조하면, 운반캐리지(200)가 레벨(120)에 대한 기준위치에서 좌우방향 또는 상하방향으로 위치변동하면서 랙포스트감지유닛(210)의 감지여부에 따라 목표위치값을 설정하게 된다. 여기서, 목표위치값은 미러(131)의 상하방향의 단부에서의 위치값(Tmax,Bmax)과, 미러(131)의 좌우방향의 단부에서의 위치값(Rmax,Lmax)일 수 있다.
그리고, 제어유닛(400)은 목표위치값, 즉, 미러(131)의 상하방향의 단부에서의 위치값(Tmax,Bmax)의 평균값과, 미러(131)의 좌우방향의 단부에서의 위치값(Rmax,Lmax)의 평균값을 계산하여 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00004
)으로 저장하게 된다.
여기서, 레벨(120)에서의 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00005
)은 미러(131)의 중심 위치에서의 위치값으로 마련될 수 있다.
이에 대해 보다 상세히 설명하면, 레벨(120) 및 베이(130) 중 적어도 하나에는 미러(131)가 설치되어 있는데(도 3 참조), 미러(131)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 예를 들어, 사각형으로 형성될 수 있다.
그리고, 운반캐리지(200)에 결합되어 있는 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)를 감지할 수 있도록 마련되므로, 운반캐리지(200)가 상하방향로 이동하면서 미러(131)가 감지되는 상하방향 범위에서의 각각의 단부를 파악할 수 있게 된다.
즉, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 상측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 하측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는데, 이 경우, 랙포스트감지유닛(210)은, 상측에서 미러(131)를 벗어난 위치로부터, 미러(131)를 거쳐, 하측에서 미러(131)를 벗어난 위치로 이동하게 된다.
여기서, 도 5를 참조하면, 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)의 상측방향에서 미러(131)를 감지하게 되는 순간위치에서의 위치값을 상측단부위치값(Tmax)으로 저장하게 되고, 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)의 하측방향에서 미러(131)를 감지하지 못하게 되는 순간위치에서의 위치값을 하측단부위치값(Bmax)으로 저장하게 된다.
즉, 상측단부위치값(Tmax)은 미러(131)가 감지되지 않는 위치에서 미러(131)가 감지되는 위치로 순간적으로 이동할 때의 경계위치에서의 위치값에 해당될 수 있으며, 하측단부위치값(Bmax)은 미러(131)가 감지되는 위치에서 미러(131)가 감지되지 않는 위치로 순간적으로 이동할 때의 경계위치에서의 위치값에 해당될 수 있다.
여기서, 미러(131)의 상측단부위치값(Tmax)과 미러(131)의 하측단부위치값(Bmax) 사이의 거리는 미러(131)의 높이에 해당될 수 있다.
그리고, 미러(131)의 상측단부위치값(Tmax)과 미러(131)의 하측단부위치값(Bmax)의 평균값은 [{(Tmax)+(Bmax)}/2]에 의해 계산될 수 있으며(이를 상하방향 평균값이라 한다), 이러한 상하방향 평균값은 미러(131)의 상하방향의 중심의 위치값에 해당된다.
또한, 전술한 바와 같이, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 상측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 하측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는 경우뿐만 아니라, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 하측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 상측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는 경우도 적용될 수 있음은 물론이다.
한편, 운반캐리지(200)가 좌우방향로 이동하면서 미러(131)가 감지되는 좌우방향 범위에서의 각각의 단부를 파악할 수도 있다.
즉, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 우측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 좌측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는데, 이 경우, 랙포스트감지유닛(210)은, 우측에서 미러(131)를 벗어난 위치로부터, 미러(131)를 거쳐, 좌측에서 미러(131)를 벗어난 위치로 이동하게 된다.
여기서, 도 5를 참조하면, 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)의 우측방향에서 미러(131)를 감지하게 되는 순간위치에서의 위치값을 우측단부위치값(Rmax)으로 저장하게 되고, 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)의 좌측방향에서 미러(131)를 감지하지 못하게 되는 순간위치에서의 위치값을 좌측단부위치값(Lmax)으로 저장하게 된다.
즉, 우측단부위치값(Rmax)은 미러(131)가 감지되지 않는 위치에서 미러(131)가 감지되는 위치로 순간적으로 이동할 때의 경계위치에서의 위치값에 해당될 수 있으며, 좌측단부위치값(Lmax)은 미러(131)가 감지되는 위치에서 미러(131)가 감지되지 않는 위치로 순간적으로 이동할 때의 경계위치에서의 위치값에 해당될 수 있다.
여기서, 미러(131)의 우측단부위치값(Rmax)과 미러(131)의 좌측단부위치값(Lmax) 사이의 거리는 미러(131)의 좌우방향 폭에 해당될 수 있다.
그리고, 미러(131)의 우측단부위치값(Rmax)과 미러(131)의 좌측단부위치값(Lmax)의 평균값은 [{(Rmax)+(Lmax)}/2]에 의해 계산될 수 있으며(이를 좌우방향 평균값이라 한다), 이러한 좌우방향 평균값은 미러(131)의 좌우방향의 중심의 위치값에 해당된다.
또한, 전술한 바와 같이, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 우측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 좌측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는 경우뿐만 아니라, 미러(131)가 감지되지 않는 임의의 위치까지 좌측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시킨 후, 상기 임의의 위치로부터 우측방향으로 운반캐리지(200)를 이동시키는 경우도 적용될 수 있음은 물론이다.
그리고, 제어유닛(400)은, 미러(131)의 상측단부위치값(Tmax)과 미러(131)의 하측단부위치값(Bmax)의 평균값, 즉, 미러(131)의 상하방향의 중심의 위치값과, 미러(131)의 우측단부위치값(Rmax)과 미러(131)의 좌측단부위치값(Lmax)의 평균값, 즉, 미러(131)의 좌우방향의 중심의 위치값을 연산 후 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00006
)으로 저장하게 된다.
즉, 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00007
)은 미러(131)의 중심에서의 위치값에 해당될 수 있다. 다만, 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00008
)이 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라, 다양한 위치에서의 위치값이 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00009
)으로 저정될 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이, 레벨(120)은 플로어(110) 내부에 복수로 배치될 수 있는데, 복수의 레벨(120) 중에서 일측 레벨(120)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00010
) 저장이 완료되면 타측 레벨(120)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00011
) 저장을 위해, 운반캐리지(200)가 타측 레벨(120)에 대한 기준위치로 이동할 수 있다.
예를 들어, 운반캐리지(200)가 레벨(120) 1단으로 이동 후, 레벨(120) 1단에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00012
)을 저장하고, 또한, 레벨(120) 1단 내부에 배치되어 있는 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00013
) 저장이 완료되면, 운반캐리지(200)가 레벨(120) 2단에 대한 기준위치로 이동 후 레벨(120) 2단의 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00014
)을 연산하여 저장하게 된다.
여기서, 레벨(120) 1단에서 레벨(120) 2단, 레벨(120) 3단과 같이, 1단씩 증가시키면서 점진적으로 티칭을 실시할 수 있다.
즉, 도 2를 참조하면, 제1레벨(120a)과, 제1레벨(120a)로부터 인접하게 배치되는 제2레벨(120b) 사이의 거리차이에 해당되는 레벨이동단위거리(LD), 예를 들어, 제1레벨(120a)에 해당되는 레벨(120) 1단과, 제1레벨(120a)로부터 인접하게 배치되는 제2레벨(120b)에 해당되는 레벨(120) 2단 사이의 거리가 레벨이동단위거리(LD)로 마련될 수 있으며, 운반캐리지(200)는 레벨(120) 1단의 티칭 완료 후 레벨이동단위거리(LD)만큼 상측방향으로 이동하여 레벨(120) 2단에 대해 티칭을 하게 된다.
그리고, 레벨(120) 2단의 티칭 완료 후 레벨이동단위거리(LD)만큼 다시 상측방향으로 이동하여 레벨(120) 3단에 대해 티칭을 하게 된다.
여기서, 레벨(120) 1단의 티칭 완료 후 레벨(120) 3단으로 곧바로 이동하여 레벨(120) 3단의 티칭을 실시하는 경우라면, 운반캐리지(200)는 레벨(120) 1단으로부터 레벨이동단위거리(LD)의 2배에 해당되는 거리만큼 상측방향으로 이동하게 되고, 레벨(120) 1단의 티칭 완료 후 레벨(120) 4단으로 곧바로 이동하여 레벨(120) 4단의 티칭을 실시하는 경우라면, 운반캐리지(200)는 레벨(120) 1단으로부터 레벨이동단위거리(LD)의 3배에 해당되는 거리만큼 상측방향으로 이동하게 된다.
이에 대해, 플로어(110) M층의 레벨(120) N에 대한 기준위치와 관련하여, 이를 수식으로 나타내면 다음과 같다.
우선, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 레벨이동단위거리가 LD인 경우, 동일한 플로어(110) 내에서 레벨(120)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다. 여기서, F1L1은 실제 측정된 거리값에 따라 마련될 수 있다.
F1L2=F1L1+LD이고,
F1L3=F1L2+LD=F1L1+LD+LD=F1L1+2LD이며,
F1L4=F1L3+LD=F1L2+LD+LD=F1L1+LD+LD+LD=F1L1+3LD이고,
F1LN=F1L1+(N-1)LD이다.
또한, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 플로어이동단위거리가 FD인 경우, 동일한 레벨(120)에 대해 플로어(110)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다. 여기서, 플로어이동단위거리는 제1플로어와, 제1플로어로부터 인접하게 배치되는 제2플로어 사이의 거리차이를 의미한다.
F2L1=F1L1+FD이고,
F3L1=F2L1+FD=F1L1+FD+FD=F1L1+2FD이며,
F4L1=F3L1+FD=F2L1+FD+FD=F1L1+FD+FD+FD=F1L1+3FD이고,
FML1=F1L1+(M-1)FD이다.
그리고, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 플로어이동단위거리가 FD이며, 레벨이동단위거리가 LD인 경우, 플로어(110)와 레벨(120)에 대한 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
즉, FMLN=F1L1+(M-1)FD+(N-1)LD이다.
결국, 운반캐리지(200)는 일측 플로어(110)의 기준위치에서 타측 플로어(110)의 기준위치로 이동시 플로어이동단위거리(FD)에 대한 자연수의 배수만큼 이동하도록 마련될 수 있고, 일측 레벨(120)의 기준위치에서 타측 레벨(120)의 기준위치로 이동시 레벨이동단위거리(LD)에 대한 자연수의 배수만큼 이동하도록 마련될 수 있다.
다음으로, 베이(130)에 대한 티칭에 대해 설명하면, 운반캐리지(200)는 베이(130)에 대한 기준위치로 이동한다.
여기서, 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00015
)을 저장하기 위해, 운반캐리지(200)가 베이(130)에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하도록 마련될 수 있다.
즉, 운반캐리지(200)가 베이(130)에 대한 기준위치에서 좌우방향 또는 상하방향으로 위치변동하면서 랙포스트감지유닛(210)의 감지여부에 따라 목표위치값을 설정하게 된다. 여기서, 목표위치값은 미러(131)의 상하방향의 단부에서의 위치값(Tmax,Bmax)과, 미러(131)의 좌우방향의 단부에서의 위치값(Rmax,Lmax)일 수 있다.
그리고, 제어유닛(400)은 목표위치값, 즉, 미러(131)의 상하방향의 단부에서의 위치값(Tmax,Bmax)의 평균값과, 미러(131)의 좌우방향의 단부에서의 위치값(Rmax,Lmax)의 평균값을 계산하여 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00016
)으로 저장하게 된다.
여기서, 베이(130)에서의 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00017
)은 미러(131)의 중심 위치에서의 위치값으로 마련될 수 있다.
한편, 랙포스트감지유닛(210)을 통해 제어유닛(400)이 베이(130)에서 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00018
)을 연산하여 저장하는 방식은, 레벨(120)에서 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00019
)을 연산하여 저장하는 방식과 공통되므로, 이에 대한 상세한 설명은 레벨(120)에서의 티칭에 대한 설명으로 대체하기로 한다.
베이(130)는 복수로 마련될 수 있으며, 이 경우, 전술한 바와 같이, 하나의 레벨(120)에 배치되는 복수의 베이(130)는 소정 각도를 가지도록 방사형으로 배치될 수 있다.
그리고, 복수의 베이(130) 중에서 일측 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00020
) 저장이 완료되면 타측 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00021
) 저장을 위해, 운반캐리지(200)가 타측 베이(130)에 대한 기준위치로 이동할 수 있다.
예를 들어, 운반캐리지(200)가 베이(130) 1번으로 이동 후, 베이(130) 1번에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00022
) 저장이 완료되면, 운반캐리지(200)가 베이(130) 2번에 대한 기준위치로 이동 후 베이(130) 2번의 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00023
)을 연산하여 저장하게 된다.
여기서, 베이(130) 1번에서 베이(130) 2번, 베이(130) 3번과 같이, 하나씩 증가시키면서 점진적으로 티칭을 실시할 수 있다.
즉, 제1베이(130a)와, 제1베이(130a)로부터 인접하게 배치되는 제2베이(130b) 사이의 각도차이에 해당되는 베이이동단위각도(BD), 예를 들어, 제1베이(130a)에 해당되는 베이(130) 1번과, 제1베이(130a)로부터 인접하게 배치되는 제2베이(130b)에 해당되는 베이(130) 2번 사이의 각도가 베이이동단위각도(BD)로 마련될 수 있으며, 운반캐리지(200)는 베이(130) 1번의 티칭 완료 후 베이이동단위각도(BD)만큼 회전하여 베이(130) 2번에 대해 티칭을 하게 된다.
그리고, 베이(130) 2번의 티칭 완료 후 베이이동단위각도(BD)만큼 다시 회전하여 베이(130) 3번에 대해 티칭을 하게 된다
여기서, 베이(130) 1번의 티칭 완료 후 베이(130) 3번으로 곧바로 이동하여 베이(130) 3번의 티칭을 실시하는 경우라면, 운반캐리지(200)는 베이(130) 1번으로부터 베이이동단위각도(BD)의 2배에 해당되는 각도만큼 회전하게 되고, 베이(130) 1번의 티칭 완료 후 베이(130) 4번으로 곧바로 이동하여 베이(130) 4번의 티칭을 실시하는 경우라면, 운반캐리지(200)는 베이(130) 1번으로부터 베이이동단위각도(BD)의 3배에 해당되는 각도만큼 회전하게 된다.
이에 대해, 베이(130) P번에 대한 기준위치와 관련하여, 이를 수식으로 나타내면 다음과 같다.
우선, 베이(130) 1번이 B1이고, 베이이동단위각도가 BD인 경우, 베이(130)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
B2=B1+BD이고,
B3=B2+BD=B1+BD+BD=B1+2BD이며,
B4=B3+BD=B2+BD+BD=B1+BD+BD+BD=B1+3BD이고,
BP=B1+(P-1)BD이다.
결국, 운반캐리지(200)는 일측 베이(130)의 기준위치에서 타측 베이(130)의 기준위치로 이동시 베이이동단위각도(BD)에 대한 자연수의 배수만큼 회전하도록 마련될 수 있다.
한편, 도 4를 참조하면, 운반캐리지(200)는 복수로 마련되어 상하로 배치될 수 있으며, 복수의 운반캐리지(200) 중에서, 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)가 선반(100)의 기준위치로 이동하여 티칭을 진행하도록 마련될 수 있다.
여기서, 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)는 상측과 하측에 배치되어 있는 운반캐리지(200) 중 어떤 것이어도 무방하지만, 설명의 편의를 위해, 하측에 배치되어 있는 운반캐리지(200)를 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)로 지정하여 설명하기로 한다.
전술한 바와 같이, 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)가 선반(100)의 기준위치로 이동하여 티칭을 진행할 수도 있지만, 제1운반캐리지(200a)의 상측에 배치되어 제1운반캐리지(200a)로부터 이격되어 있는 제2운반캐리지(200b)가 선반(100)의 기준위치로 이동하여 티칭을 진행할 수도 있다.
이 경우, 제2운반캐리지(200b)는, 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)와 제2운반캐리지(200b) 사이의 차이에 해당되는 운반캐리지이격단위거리(CD)만큼 더 이동하여 선반(100)의 기준위치로 이동하도록 마련될 수 있다.
여기서, 기준이 되는 제1운반캐리지(200a)와 운반캐리지이격단위거리(CD)만큼 차이가 있는 제2운반캐리지(200b)에 대해, 플로어(110) M층의 레벨(120) N에 대한 기준위치와 관련하여, 이를 수식으로 나타내면 다음과 같다.
우선, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 제1운반캐리지(200a)가 F1L1에 도달했을 때 제2운반캐리지(200b)의 위치가 (F1L1)'이며, 제1운반캐리지(200a)와 제2운반캐리지(200b)의 거리 차이에 해당되는 운반캐리지이격단위거리가 CD인 경우, 제2운반캐리지(200b)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
즉, F1L1=(F1L1)'-CD인데, 이는, 제1운반캐리지(200a)가 F1L1에 도달했을 때 제2운반캐리지(200b)는 제1운반캐리지(200a)보다 운반캐리지이격단위거리(CD)만큼 상측인 (F1L1)'에 위치하고 있으므로, 제2운반캐리지(200b)의 현 위치인(F1L1)'으로부터 운반캐리지이격단위거리(CD)만큼 하측으로 이동하면, 제2운반캐리지(200b)가 F1L1에 위치할 수 있게 된다.
그리고, 제2운반캐리지(200b)의 동일한 플로어(110) 내에서 다른 레벨(120)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
F1L2=F1L1+LD=(F1L1)'-CD+LD이고,
F1L3=F1L2+LD=F1L1+LD+LD=(F1L1)'-CD+2LD이며,
F1L4=F1L3+LD=F1L2+LD+LD=F1L1+LD+LD+LD=(F1L1)'-CD+3LD이고,
F1LN=(F1L1)'-CD+(N-1)LD이다.
또한, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 플로어이동단위거리가 FD인 경우, 제2운반캐리지(200b)의 동일한 레벨(120)에 대해 플로어(110)의 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
F2L1=F1L1+FD=(F1L1)'-CD+FD이고,
F3L1=F2L1+FD=F1L1+FD+FD=(F1L1)'-CD+2FD이며,
F4L1=F3L1+FD=F2L1+FD+FD=F1L1+FD+FD+FD=(F1L1)'-CD+3FD이고,
FML1=(F1L1)'-CD+(M-1)FD이다.
그리고, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단이 F1L1이고, 플로어이동단위거리가 FD이며, 레벨이동단위거리가 LD인 경우, 제2운반캐리지(200b)의 플로어(110)와 레벨(120)에 대한 기준위치는 다음과 같이 연산될 수 있다.
즉, FMLN=F1L1+(M-1)FD+(N-1)LD=(F1L1)'-CD+(M-1)FD+(N-1)LD이다.
한편, 베이(130)의 경우 레벨(120) 내부에 배치되므로, 제1운반캐리지(200a)와 제2운반캐리지(200b)에 차이가 없으며, 제2운반캐리지(200b)의 경우에도 제1운반캐리지(200a)와 마찬가지로 다음과 같이 연산될 수 있다.
BP=B1+(P-1)BD이다.
그리고, 상기 예시에서는 운반캐리지(200)가 2개로 구성되는 경우에 대해 설명하였지만, 운반캐리지(200)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니며, 운반캐리지(200)의 개수가 3개 이상인 경우, 각각의 운반캐리지(200)는 전술한 방식에 의해 선반(100)의 기준위치로 이동될 수 있다.
도 2를 참조하면, 제어유닛(400)은, 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)의 사용 가능 여부의 상태를 확인하는 밸리드체크(Valid Check)를 실시할 수 있다.
제어유닛(400)이 밸리드체크를 하는 이유는, 사용환경에 따라, 하나의 플로어(110), 하나의 레벨(120) 또는 하나의 베이(130)가 사용불가능한 경우가 발생될 수 있기 때문이다.
즉, 선반(100)의 설치위치에서 다른 작업환경과의 간섭에 의해 사용불가능할 수 있고, 또는, 설치상의 오류로 인해 특정한 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)가 사용불가능할 수도 있다.
여기서, 작업자가 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)의 사용가능여부를 파악하여 제어유닛(400)에 입력해두면, 제어유닛(400)은 티칭 진행 중 밸리드체크를 통해 사용불가능한 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)를 제외(도 2의 V.C 참조)하고 사용가능한 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)에 대해 티칭 과정을 진행하게 된다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 티칭 방법에서 랙포스트감지유닛(210)의 감지결과에 따라 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00024
)을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행하는 것에 대한 작용 및 효과에 대해 설명한다.
우선, 운반캐리지(200)는 선반(100)에서 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)의 기준위치로 이동한다. 여기서, 운반캐리지(200)에는 랙포스트감지유닛(210)이 결합되어 있고, 레벨(120) 및 베이(130) 중 적어도 하나에는 미러(131)가 설치되어 있으므로, 운반캐리지(200)가 레벨(120) 또는 베이(130)의 기준위치로 이동 후 랙포스트감지유닛(210)이 미러(131)의 감지여부에 따라 목표위치값을 설정하게 된다.
그리고, 제어유닛(400)은 목표위치값의 평균값을 계산하여 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00025
)으로 저장하게 되는데, 여기서, 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00026
)은 미러(131)의 중심 위치에서의 위치값으로 마련될 수 있다.
그리고, 하나의 레벨(120)에서 하나의 베이(130)에 대해 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00027
)의 저장이 완료되면 다음 베이(130)로 이동하여 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00028
)을 저장하며, 복수의 베이(130)에 대해 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00029
) 저장이 모두 완료되면 운반캐리지(200)는 다음 레벨(120)의 기준위치로 이동하게 된다.
그리고, 하나의 플로어(110)에 있는 모든 레벨(120)에서 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00030
) 저장이 완료되면 다음 플로어(110)로 이동하여 티칭을 진행하게 된다.
즉, 플로어(110) 1층의 레벨(120) 1단의 베이(130) 1번부터 순차적으로 상측으로 이동하면서 모든 플로어(110)의 레벨(120) 내부에 있는 모든 베이(130)에 대해 티칭을 진행하게 된다. 다만, 제어유닛(400)은 이때 밸리드체크를 하게 되며, 플로어(110), 레벨(120) 또는 베이(130)가 사용불가능할 경우, 이를 제외하고 티칭을 진행하게 된다.
이를 통해, 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 티칭 방법의 경우, 랙포스트감지유닛(210)의 감지결과에 따라 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00031
)을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행하며, 이에 의해, 티칭의 정확도를 향상시키고, 작업자의 안전사고 위험을 예방하며, 티칭 작업 시간을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 스토커 티칭 시스템에서 랙포스트감지유닛(210)의 감지결과에 따라 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00032
)을 연산하여 자동으로 티칭작업을 수행하는 것에 대한 작용 및 효과에 대해 설명하되, 본 발명의 제1실시예에 따른 스토커 티칭 방법에서 설명한 내용과 공통되는 부분은 전술한 설명으로 대체한다.
본 발명의 제2실시예에 따른 스토커 티칭 시스템은, 선반(100)과, 운반캐리지(200)와, 제어유닛(400)을 포함하여 구성될 수 있다.
도 1을 참조하면, 선반(100)은 대상물(500)이 보관되도록 마련되며, 프레임으로 마련되며 층(層)이 형성되는 플로어(Floor,110)와, 플로어(110)의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성되는 레벨(Level,120)과, 레벨(120) 내부에 배치되며, 대상물(500)이 보관되는 베이(Bay,130)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 운반캐리지(200)는 선반(100)의 기준위치로 이동가능하도록 마련되며, 랙포스트감지유닛(210)이 결합되어 있다. 여기서, 랙포스트감지유닛(210)이 선반(100)의 기준위치로 이동하게 되면, 레벨(120) 및 베이(130) 중 적어도 하나에 설치되어 있는 미러(131)를 통해 감지할 수 있게 된다.
그리고, 제어유닛(400)은 랙포스트감지유닛(210)에 연결되며, 운반캐리지(200)가 선반(100)의 기준위치로 이동 후, 랙포스트감지유닛(210)의 감지여부 결과에 따라 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00033
)을 연산하여 저장하도록 마련된다.
여기서, 제어유닛(400)은, 운반캐리지(200)의 위치변동에 의한 랙포스트감지유닛(210)의 감지여부를 통해 목표위치값을 설정하며, 목표위치값의 평균값을 계산하여 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00034
)으로 저장하도록 마련될 수 있다.
한편, 선반(100)의 베이(130)는 복수로 마련되어 방사형으로 배치될 수 있는데, 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00035
)을 저장하기 위해, 운반캐리지(200)가 베이(130)에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동할 수 있다.
그리고, 베이(130)가 복수로 마련되는 경우, 복수의 베이(130) 중에서 일측 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00036
) 저장이 완료되면 타측 베이(130)에 대한 티칭값(
Figure 112014045117311-pat00037
) 저장을 위해, 운반캐리지(200)가 타측 베이(130)에 대한 기준위치로 이동할 수 있는데, 여기서, 제1베이(130)와, 제1베이(130)로부터 인접하게 배치되는 제2베이(130) 사이의 차이에 해당되는 베이이동단위각도(BD)에 대한 자연수의 배수만큼 운반캐리지(200)가 회전하는 것을 통해 타측 베이(130)에 대한 기준위치로 이동할 수 있다.
한편, 목표위치값 설정과, 레벨(120) 및 베이(130)의 티칭에 관한 구체적인 연산과정은 제1실시예에서의 설명과 공통되므로, 전술한 설명으로 대체하기로 한다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 선반 110 : 플로어
120 : 레벨 130 : 베이
131 : 미러 200 : 운반캐리지
210 : 랙포스트감지유닛 300 : 적재포크
400 : 제어유닛 500 : 대상물
600 : 스토커

Claims (21)

  1. (a) 선반의 기준위치로 운반캐리지가 이동하는 단계; 및
    (b) 상기 선반의 상기 기준위치에서 랙포스트감지유닛의 감지여부 결과에 따라, 제어유닛이 티칭값을 연산하여 저장하는 단계를 포함하고,
    상기 선반은,
    프레임으로 마련되며 층(層)이 형성되는 플로어(Floor);
    상기 플로어의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성되는 레벨(Level); 및
    상기 레벨 내부에 배치되며, 대상물이 보관되는 베이(Bay)를 포함하며,
    상기 랙포스트감지유닛은 상기 운반캐리지에 장착되고, 상기 레벨 및 베이 중 적어도 어느 하나에는 상기 랙포스트감지유닛이 감지하는 감지대상물이 장착되며,
    상기 (b) 단계는,
    (b1) 상기 운반캐리지의 위치변동에 의한 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부를 통해 목표위치값을 설정하는 단계; 및
    (b2) 상기 목표위치값의 평균값을 계산하여 상기 티칭값으로 저장하는 단계를 포함하고,
    상기 (b1) 단계는,
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 하측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 상측단부위치값을 설정하는 단계;
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 상측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 하측단부위치값을 설정하는 단계;
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 좌측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 우측단부위치값을 설정하는 단계; 및
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 우측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 좌측단부위치값을 설정하는 단계를 포함하며,
    상기 (b2) 단계의 상기 목표위치값의 평균값은,
    상기 상측단부위치값과 상기 하측단부위치값을 더한 값의 절반인 상하방향 평균값; 및
    상기 우측단부위치값과 상기 좌측단부위치값을 더한 값의 절반인 좌우방향 평균값을 포함하고,
    상기 레벨은 복수로 마련되고, 상기 베이는 복수로 마련되어 방사형으로 배치되며,
    (c) 상기 복수의 레벨 중에서 일측 레벨에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 레벨에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 레벨에 대한 기준위치로 이동하는 단계; 및
    (d) 상기 복수의 베이 중에서 일측 베이에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 베이에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 베이에 대한 기준위치로 이동하는 단계를 더 포함하며,
    상기 랙포스트감지유닛은 레이저 센서 또는 적외선 센서를 포함하며,
    상기 감지대상물은 사각 형상을 가지는 미러(Mirror)를 포함하는 스토커 티칭 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (b1) 단계는,
    (b11) 상기 레벨에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 레벨에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    제1레벨과, 상기 제1레벨로부터 인접하게 배치되는 제2레벨 사이의 거리차이에 해당되는 레벨이동단위거리에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 이동하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 (b1) 단계는,
    (b12) 상기 베이에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 베이에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    제1베이와, 상기 제1베이로부터 인접하게 배치되는 제2베이 사이의 각도차이에 해당되는 베이이동단위각도에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 회전하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 운반캐리지는 복수로 마련되어 배치되며,
    상기 복수의 운반캐리지 중에서, 기준이 되는 제1운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 운반캐리지는 복수로 마련되어 배치되며,
    상기 복수의 운반캐리지 중에서, 기준이 되는 제1운반캐리지로부터 이격되어 배치되는 제2운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동하는 경우,
    상기 제2운반캐리지는,
    상기 기준이 되는 제1운반캐리지와 상기 제2운반캐리지 사이의 차이에 해당되는 운반캐리지이격단위거리만큼 더 이동하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  13. 제1항, 제4항, 제6항, 제8항 또는 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어유닛은, 상기 플로어, 상기 레벨 및 상기 베이 중 적어도 하나에 대해 사용 가능 여부의 상태를 확인하는 밸리드체크(Valid Check)를 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 방법.
  14. 대상물이 보관되도록 마련되는 선반;
    상기 선반의 기준위치로 이동가능하도록 마련되며, 랙포스트감지유닛이 결합되는 운반캐리지; 및
    상기 랙포스트감지유닛에 연결되며, 상기 운반캐리지가 상기 선반의 상기 기준위치로 이동 후, 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부 결과에 따라 티칭값을 연산하여 저장하도록 마련되는 제어유닛을 포함하며,
    상기 선반은,
    프레임으로 마련되며 층(層)이 형성되는 플로어(Floor);
    상기 플로어의 내부에 배치되며, 상하방향으로 단(段)이 형성되는 레벨(Level); 및
    상기 레벨 내부에 배치되며, 대상물이 보관되는 베이(Bay)를 포함하고,
    상기 랙포스트감지유닛은 상기 운반캐리지에 장착되고, 상기 레벨 및 베이 중 적어도 어느 하나에는 상기 랙포스트감지유닛이 감지하는 감지대상물이 장착되며,
    상기 제어유닛은, 상기 운반캐리지의 위치변동에 의한 상기 랙포스트감지유닛의 감지여부를 통해 목표위치값을 설정하며, 상기 목표위치값의 평균값을 계산하여 상기 티칭값으로 저장하되,
    상기 목표위치값은,
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 하측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 상측단부위치값;
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 상측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 하측단부위치값;
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 좌측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 우측단부위치값; 및
    상기 운반캐리지가 상기 감지대상물을 감지할 수 없는 임의의 위치에서 우측방향으로 이동 중에 상기 감지대상물을 감지 시 감지한 위치의 위치값인 좌측단부위치값을 포함하며,
    상기 목표위치값의 평균값은,
    상기 상측단부위치값과 상기 하측단부위치값을 더한 값의 절반인 상하방향 평균값; 및
    상기 우측단부위치값과 상기 좌측단부위치값을 더한 값의 절반인 좌우방향 평균값을 포함하고,
    상기 레벨은 복수로 마련되고, 상기 베이는 복수로 마련되어 방사형으로 배치되며,
    상기 복수의 레벨 중에서 일측 레벨에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 레벨에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 레벨에 대한 기준위치로 이동하고,
    상기 복수의 베이 중에서 일측 베이에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 베이에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 베이에 대한 기준위치로 이동하며,
    상기 랙포스트감지유닛은 레이저 센서 또는 적외선 센서를 포함하며,
    상기 감지대상물은 사각 형상을 가지는 미러(Mirror)를 포함하는 스토커 티칭 시스템.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제14항에 있어서,
    상기 레벨에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 레벨에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 시스템.
  18. 삭제
  19. 제14항에 있어서,
    상기 베이에 대한 티칭값을 저장하기 위해, 상기 운반캐리지가 상기 베이에 대한 기준위치에서 좌우방향 및 상하방향으로 위치변동하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 시스템.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 베이는 복수로 마련되며,
    상기 복수의 베이 중에서 일측 베이에 대한 티칭값 저장이 완료되면 타측 베이에 대한 티칭값 저장을 위해, 상기 운반캐리지가 타측 베이에 대한 기준위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 시스템.
  21. 제20항에 있어서,
    제1베이와, 상기 제1베이로부터 인접하게 배치되는 제2베이 사이의 각도차이에 해당되는 베이이동단위각도에 대한 자연수의 배수만큼 상기 운반캐리지가 회전하는 것을 특징으로 하는 스토커 티칭 시스템.

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116994478B (zh) * 2023-09-21 2024-01-02 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车示教方法和示教系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3367389B2 (ja) * 1997-08-13 2003-01-14 神鋼電機株式会社 天井搬送システム及びその位置決め方法
KR100697992B1 (ko) * 1999-09-21 2007-03-23 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 스토커용 로보트의 교시방법, 스토커용 로보트의 교시장치및 기록매체
JP3832292B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
JP4993614B2 (ja) * 2008-02-29 2012-08-08 東京エレクトロン株式会社 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置
KR101191037B1 (ko) 2009-12-03 2012-10-12 세메스 주식회사 기판 처리 장치의 로봇 정렬을 위한 티칭 지그 및 티칭 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102000985B1 (ko) 2018-10-12 2019-07-17 오토온 주식회사 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치 및 그의 오토 티칭 방법

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