KR100697992B1 - 스토커용 로보트의 교시방법, 스토커용 로보트의 교시장치및 기록매체 - Google Patents

스토커용 로보트의 교시방법, 스토커용 로보트의 교시장치및 기록매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 자동으로 각 보관부의 좌표위치가 교시될 수 있고, 교시시에 보관부의 워크를 제거하지 않고 교시할 수가 있고, 또한, 각 보관부에 설치된 마크위치를 무선이더라도 검출정밀도의 악화나 검출 불능하지 않도록 검출수단을 구비한 스토커용 로보트의 교시방법, 교시장치및 기록매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명은 보관선반(2)에 복수설치된 보관부(2a)에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부(2a)의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크(3)를 취급하는 제2자세와, 를 가지는 핸드부(11)를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부(2a)마다의 상기 위치결정좌표를 교시하는 방법으로서, 각 보관부(2a)에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 마크수단(15)을 설치할 뿐만 아니라, 상기 제1자세에 있는 상기 핸드부(11)에 상기 마크수단(15)과의 위치관계를 검출할 수 있는 위치검출수단(30)을 설치하고, 상기 제1자세에 있는 핸드부(11)를 주행시키면서 상기 각 보관부(2a)의 위치좌표로 이동시켜, 상기 위치검출수단에 의해 상기 마크수단(15)의 마크좌표를 검출하고, 상기 마크좌표에 따라서, 각 보관부(2a)의 위치결정좌표를 연산하도록 구성하였다.

Description

스토커용 로보트의 교시방법, 스토커용 로보트의 교시장치 및 기록매체{Instructing method, instructing device and recording materials for stocker robot}
도 1은 본 발명의 스토커용 로보트에 위치결정좌표를 교시하는 상태를 도시하는 설명도,
도 2a는 핸드부가 카세트(cassette)를 파지 하는 상태(제2자세)를 도시하는 설명도,
도 2b는 핸드보지부가 보관부사이를 이동하는 상태(제1자세)를 도시하는 설명도,
도 3은 제1실시의 형태예에 관한 핸드부, 위치검출수단, 및 재치판의 위치관계를 설명하는 사시도,
도 4는 수신기와 교시제어수단과의 위치관계를 도시하는 설명도,
도 5는 교시제어수단의 블럭도,
도 6은 스테레오카메라에 의한 화상의 두값화 화상을 도시한 도면으로, (a)는 수신상태가 양호, (b)는 수신상태가 불량의 경우를 도시한 도,
도 7은 각 보관부의 위치결정좌표를 교시하는 방법의 플로우챠트 도,
도 8은 핸드부 좌표계의 설명도,
도 9는 마크좌표 위치자세의 설명도,
도 10은 제2실시의 형태예에 관한 핸드부, 위치검출수단 및 재치판의 위치관계를 설명하는 사시도,
도 11은 제3실시의 형태예에 관한 핸드부, 위치검출수단 및 재치판의 위치관계를 설명하는 사시도,
도 12는 제3실시의 형태예에 관한 마크수단의 검출방법의 설명도,
도 13은 제4실시의 형태예에 관한 핸드부, 위치검출수단, 및 재치판의 위치관계를 설명하는 사시도,
도 14는 제4실시의 형태예에 관한 위치검출수단에 쓰이는 시야분할 광학계의 구성도,
도 15는 제4실시의 형태예에 관한 위치검출수단에 의해 얻어지는 화상을 도시한 도,
도 16은 제4실시의 형태예의 변형예를 도시하는 도,
도 17은 종래의 핸드부에 설치된 위치검출수단을 설명하는 사시도,
도 18은 종래 예를 도시하는 것으로, 스토커용 로보트에 위치결정좌표를 교시하는 상태를 도시하는 설명도이다.
*부호의 설명*
1 : 스토커 2 : 보관선반 2a : 보관부
3 : 카세트(cassette) 4 : 주행레일 5 : 스토커용 로보트
6 : 주행부 7 : 포스트부 8 : 카세트보지부
9 : 제1암부 10 : 제2암부 11 : 핸드부
12 : 핸드그리퍼(Hand gripper) 15 : 마크수단
16 : 재치판 17 : 고정부 18 : ID마크
30 : 위치검출수단 31a, 31b : 비디오 카메라
32 : 송신수단 33a, 33b : 수신수단 34 : 교시제어수단
35 : 표시장치 36 : 멀티플렉서(multiplexer)
37 : A/D 변환기 38 : CPU 39 : 메모리
40 : 표시회로 50 : 시야분할 광학계
51L, 51R, 52L, 52R : 거울
본 발명은, 보관선반에 복수 구비된 각 보관부에서, 핸드부를 미리 구한 위치결정좌표에 따라서 이동시키는 것에 의해 워크(work)를 취급하는 스토커용 로보트의 교시방법 및 교시장치에 관한 것이다.
예컨대, 반도체 제조공정에 있어서 처리되는 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)는, 카세트(cassette)단위로 반송된 후, 스토커에 일시 보관되게 되어 있다. 이 스토커는, 도 18에 도시한 바와 같이, 카세트(71)를 수용하는 보관부(72a)를 다수 구비한 보관선반(72)과, 카세트(71)를 유지하여 이동시키는 스토커용 로보트(73)를 가지고 있고, 스토커용 로보트(73)에 의해 각 보관부(72a)에 대하여 카세트(71)를 반입 및 반출시키게 되어 있다.
그런데, 보관선반(72)은, 스토커의 규모에도 의하지만, 깊이가 1.5∼2.0m, 폭이 3∼10m, 높이가 3m 정도의 크기가 일반적이고, 몇 개로 분할하여 운반하고, 현지에서 조립하여 설치하게 되어 있기 때문에, 각 보관부(72a)를 높은 치수정밀도로 설치하는 것이 곤란한 것으로 되고 있다. 따라서, 보관선반(72)의 설치 후에, 스토커용 로보트(73)에 대하여 각 보관부(72a)에서의 취급시의 위치결정좌표를 교시시키는 것이 필요하게 되어 있다.
그래서, ①스토커용 로보트(73)를 인력에 의해 모든 보관부(72a)에 실제로 이동시켜, 카세트(71)의 취급을 작업원이 확인함으로써, 각 보관부(72a)의 위치결정좌표를 교시하게 되어 있거나, ②미리 모든 보관부(72a)의 좌표등을 대략 수치입력하고, 스토커용 로보트(73)를 실제로 이동시켜, 카세트(71)의 취급을 작업원이 확인하면서 좌표를 보정함으로써, 각 보관부(72a)의 위치결정좌표를 교시하게 되어 있었다.
그렇지만, 상기의 교시방법에서는, 보관부(72a)로의 이동후의 교시작업{예컨데, 열 개의 키(ten key)로 위치를 메모리에 입력하는 등}이 작업원에 의해 행하여지는 것에 의해, 하나의 보관부(72a)의 위치결정좌표를 교시하는데 3분∼5분정도의 시간을 요하고, 예컨대, 보관부(72a)의 총수가 100이였다고 하면, 위치결정좌표의 교시작업을 완료할 때까지 300분∼500분 정도의 시간을 요하는 것이 된다. 이 교시시간은, 지극히 짧게 일어나게 조정이 요구되는 업계에서는 큰 문제이고, 더구나, 통상, 안전을 확보하기 위해서, 2명의 작업원이 교시작업에 투여되어야 하므 로, 인건비의 앙등을 초래하게도 되어 있다.
그래서, 이 문제를 해결하기 위해서, 본 출원인은, 일본국 특개평 8-71973호 공보에 있어서, 스토커용 로보트의 자동교시방법을 제안했다. 이 방법은, 도 17에 도시한 바와 같이, 워크와의 위치관계가 일정하게 되도록 각 보관부(72a)에 설치한 마크수단(65)과, 마크수단(65)과 핸드부(61)와의 위치관계를 검출하기 위해서 핸드부(61)에 설치한 위치검출수단(63)에 의해서, 임의의 하나의 보관부에서, 핸드부를 위치결정좌표에 이동시켰을 때의 마크에 대하는 핸드부의 위치관계를 기준위치로서 미리 구하여 놓고, 다른 각 보관부에서는, 선반의 설계 데이터 등에 근거하는 보관부좌표에 핸드부를 이동시켰을 때의, 마크에 대하는 핸드부의 위치관계를 보정위치로서 검출한다. 그리고, 이 보정위치가 기준위치에 일치하도록 핸드부를 이동시켰을 때의 핸드부의 좌표를 각 보관부의 위치결정좌표로서 교시하는 것이다.
그렇지만, 위치검출수단(63)에 CCD 카메라 및 거리 센서(64)를 사용하고 있었기 때문에, 마크수단(65)을 인식하기에는 그 바로 위 근방에까지 핸드부(61)를 이동시키지 않아서는 안되었기 때문에, 또한, 보정위치가 기준위치에 일치하도록 핸드부를 이동시켰을 때의 좌표를 각 보관부의 위치결정좌표로 하기 위해서, 교시시에 핸드부가 반드시 각 보관부(72a)내로 이동하지 않으면 안되어, 핸드부의 이동이 많아지고, 작업시간이 길게 된다. 또한, 보관부에 워크가 놓여지면, 워크에 핸드가 접촉할 가능성이 있다. 따라서, 로보트의 축 어긋남 등의 이상 발생후의 재교시나, 정기점검시의 재교시 시에는 미리 워크를 제거하지 않으면 안되는 등의 문 제가 나왔다.
또한, 일본국 특개평 8-71973호 공보에 있어서의 위치검출수단은, CCD 카메라 등의 촬상장치와, 화상처리장치와로 구성되어, 마크를 촬상(撮像)한 영상신호를 화상처리장치로 디지탈화하여 화상중의 마크위치를 인식한다. 더구나, 화상처리에는 고속의 연산을 필요로 하여 핸드부에 탑재할 수 있는 정도로의 장치의 소형화가 곤란한 것과, 자동교시작업중의 상황을 작업원이 모니터할 수 있어야 할 필요가 있는 것등으로, 화상처리장치는 촬상장치로부터 떨어진 장소에 설치된다. 그 때문에, 촬상장치로부터 화상처리장치까지 영상신호를 전송하는 수단이 필요하여 진다. 그런데, 로보트내에 영상신호용 케이블을 통해서 유선으로 보내는 것은 곤란하므로, 전파나 빛등 무선에 의한 전송이 유효로 된다.
그렇지만, 스토커 내부는 수납의 효율을 높이기 위해서, 빈 공간이 작아지도록 설계되어 있고, 또한, 보관선반등 금속물이 많기 때문에, 무선에 의한 화상전송으로서는, 송수신기 사이가 차폐되거나, 다중산란한 전파의 간섭 등에 의해 수신되는 영상에 교란이 생기는 적이 있다. 이것 때문에, 마크위치의 검출정밀도의 악화나 검출불능으로 되는 경우도 있었다.
그래서, 본 발명은, 자동으로 각 보관부의 좌표위치가 교시될 수 있고, 교시시에 보관부의 워크를 제거하지 않고 교시할 수가 있고, 또한, 각 보관부에 설치된 마크위치를 무선이더라도 검출정밀도의 악화나 검출불능으로 되지 않는 검출수단을 구비한 스토커용 로보트의 교시방법, 교시장치 및 기록매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 청구항 1 기재의 스토커용 로보트의 교시방법은, 보관선반에 복수 설치된 보관부에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크를 취급하는 제2자세와, 를 가지는 핸드부를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부마다의 상기 위치결정좌표를 교시하는 방법으로서, 각 보관부에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 마크수단을 설치함과 아울러, 상기 제1자세에 있는 상기 핸드부에 상기 마크수단과의 위치관계를 검출할 수 있는 위치검출수단을 설치하고, 상기 제1자세에 있는 핸드부를 주행시키면서 상기 각 보관부의 위치좌표에 이동시켜, 상기 위치검출수단에 의해 상기 마크수단의 마크좌표를 검출하고, 상기 마크좌표에 기하여, 각 보관부의 위치결정좌표를 연산하도록 한 것이다.
핸드부를 각 보관부내의 워크를 취급하는 위치좌표에 이동시키지 않고, 제1자세대로 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수가 있어, 교시에 요하는 시간을 대폭 단축가능하다. 또한, 핸드부를 실제로 워크를 취급하는 위치에 이동시킬 필요가 없기 때문에, 보완부에 워크가 존재하고 있더라도 그 위치결정좌표를 교시할 수 있다.
또한, 청구항 2 기재의 스토커용 로보트의 교시방법은, 청구항 1에 있어서, 상기 보관부에, 각 보관부의 위치좌표를 지시하는 ID 마크가 설치되어, 상기 제1자세에 있는 핸드부를 주행시키면서, 상기 위치검출수단에 의해 상기 ID 마크를 검출하고, 상기 핸드부를 상기 각 보관부의 위치좌표에 이동시키는 것이다.
미리 각 보관부의 위치좌표를 입력할 필요가 없어진다. 또한, 각 보관부의 위치좌표의 입력 실수 등을 없앨 수 있고, 확실히 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수 있다.
또한, 청구항 3 기재의 스토커용 로보트의 교시방법은, 청구항 1에 있어서, 상기 각 보관부의 미리 입력된 위치좌표에 기하여, 상기 제1자세에 있는 핸드부를 상기 각 보관부의 위치좌표에 이동시키는 것이다.
미리 입력된 각 보관부의 위치좌표와, 그 위치좌표에 있어서의 위치검출수단에 의해 검출되는 마크수단의 좌표와의 위치관계로부터, 각 보관부의 위치결정좌표를 산출하여 교시할 수가 있다.
또한, 청구항 4 기재의 스토커용 로보트의 교시장치는, 보관선반에 복수 설치된 보관부에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크를 취급하는 제2자세를 가지는 핸드부를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부마다의 상기 위치결정좌표를 교시하는 장치로서, 각 보관부에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 설치된 마크수단과, 상기 제1자세에 있는 상기 핸드부에 설치되어, 상기 마크수단과의 위치관계를 검출할 수 있는 위치검출수단과, 상기 마크수단의 마크좌표와 상기 위치결정좌표와의 위치관계를 연산하여 각 보관부의 위치결정좌표를 교시하는 교시제어수단을 구비하고 있는 것이다.
핸드부를 각 보관부내의 워크를 취급하는 위치좌표로 이동시키지 않고, 제1자세대로 각 보관부의 마크수단의 마크좌표를 검출하는 것으로, 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수가 있다.
또한, 청구항 5 기재의 스토커용 로보트의 교시장치는, 청구항 4에 있어서, 상기 위치검출수단이, 양 화상의 시차로부터 스테레오시(stereo視)의 원리에 따라서 3차원 좌표를 산출할 수가 있는 스테레오 카메라이다.
시야가 넓은 스테레오 카메라를 쓰기 때문에, 핸드부를 제1자세의 상태대로, 각 마크수단의 검출을 할 수 있다.
또한, 청구항 6 기재의 스토커용 로보트의 교시장치는, 청구항 4에 있어서, 상기 위치검출수단이, 1대의 카메라를 사용하여, 소정거리만 이동하여 복수회 촬상을 하여, 그들 화상의 시차로부터 스테레오시의 원리에 따라서 3차원 좌표를 산출할 수가 있는 이동 카메라이다.
1대의 카메라로 위치검출을 할 수 있기 때문에, 장치의 소형화·단순화를 할 수 있다.
또한, 청구항 7 기재의 스토커용 로보트의 교시장치는, 청구항 4에 있어서, 상기 위치검출수단이, 시야분할 광학계와, 1대의 카메라로 구성되는 스테레오 카메라이다.
1대의 카메라의 1회의 촬상으로 시야를 분할한 시차화상을 얻을 수 있기 때문에, 장치의 소형화·단순화를 할 수 있다. 또한, 스테커(stacker)의 이동을 수반하지 않기 때문에, 처리시간이 길게 되는 일이 없다.
또한, 청구항 8 기재의 스토커용 로보트의 교시장치는, 청구항 4 내지 청구항 7중 어느 하나에 있어서, 상기 위치검출수단의 근방에 설치되어, 그 영상신호를 무선송신하는 송신수단과, 상기 송신수단에서의 신호를 수신하는 복수의 수신수단 과, 상기 복수의 수신수단 중에서 1개를 선택하고, 선택한 수신수단에서의 영상신호를 입력하는 영상입력수단과, 상기 영상입력수단으로부터 입력된 화상을 해석하는 화상해석수단과, 를 구비하여 되는 것이다.
각 보관부의 위치검출시의 화상의 교란을 검출할 수가 있게 되고, 또한, 양호하게 수신할 수 있는 위치에 있는 수신수단을 선택하여 영상입력을 할 수 있기 때문에, 교시작업의 재시도나, 확인작업이 경감되어, 작업효율이 오른다. 더구나, 각 보관부의 교시의 위치결정 정밀도가 향상한다.
또한, 청구항 9 기재의 기록매체는, 보관선반에 복수 설치된 보관부에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크를 취급하는 제2자세를 가지는 핸드부를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부마다의 상기 위치결정좌표를 교시하기 위한 프로그램(program)을 기록한 기록매체로서, 각 보관부에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 설치된 마크수단과, 상기 제1자세에 있는 상기 핸드부에 설치되어 상기 마크수단과의 위치관계를 검출할 수 있는 위치검출수단에 의해서, 상기 제1자세의 핸드부를 주행시키면서, 상기 마크수단을 읽어내고, 이 마크수단의 마크좌표와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표와의 위치관계를 연산하여 각 보관부의 위치결정좌표를 교시하는 교시제어수단을 동작시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 독해 가능한 것이다.
기존의 스토커용 로보트의 각 보관부의 위치결정좌표의 교시가 자동화 될 수 있다.
본 발명의 실시형태에 관한 일례를 도면을 참조하면서 이하에 설명한다.
(제 1실시의 형태예)
본 실시의 형태예에 관한 스토커용 로보트의 교시방법은, 도 1에 도시한 바와 같이, 보관선반(2)에 종횡의 행렬상(行列狀)으로 복수 구비된 각 보관부(2a)에서 핸드부(11)를 위치결정좌표에 기하여 이동시킴에 의해 워크로 된다. 예컨대, 카세트(3)를 취급하는 스토커용 로보트에 대하여 적용되는 것이다.
즉, 스토커용 로보트는, 예컨대 크린룸(clean room)내에서 반도체나 액정표시기판 및 디스크 등을 제조하는 라인의 각 공정에 설치된 스토커(1)에 구비되어 있다. 스토커(1)는, 보관선반(2)을 가지고 있고, 보관선반(2)에는, 웨이퍼를 보지하는 카세트(3)를 수용하는 보관부(2a…)가 다수 설치된다.
이들 각 보관부(2a)에는 위치결정좌표를 교시하기 위한 마크수단(15)이 설치된 재치판(16)이 설치되어 있다. 이 마크수단(15)은, 재치판(16)에 설치된 워크를 고정하는 고정부(17)와의 위치관계가 일정하게 되도록 설치된다. 또한, 이 마크수단(15)의 근방에는, 각 보관부(2a)의 위치좌표가 기록된 ID 마크(18)가 설치되어 있다. 더구나, 이 보관선반(2)의 전방에는, 주행레일(4)이 보관선반(2)에 대하여 평행하게 부설(敷設)되어 있고, 주행레일(4)에는, 스토커용 로보트(5)가 화살표(좌우)방향으로 왕복이동 가능하게 설치된다.
상기 스토커용 로보트(5)는, 주행레일(4)상을 주행하는 주행부(6)와, 주행부(6)에 종설(縱設)된 포스트부(7)와, 포스트부(7)에 승강가능하게 설치된 카세트보지부(8)를 가지고 있다.
카세트보지부(8)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 포스트부(7)에 대하여 선회가 능한 제1암부(9)와, 제1암부(9)에 대하여 선회가능한 제2암부(10)와, 제2암부(10)의 선단부에 설치된 핸드부(11)를 가지고 있다. 그리고, 핸드부(11)는, 서로 반대방향으로 이동가능한 한쌍의 핸드그리퍼(12·12; Hand gripper)를 가지고 있고, 핸드그리퍼(12·12)사이를 개폐시킴으로써 카세트(3)를 보지 및 개방하게 되어 있다. 한편, 본 명세서에 있어서는, 도 2a의 카세트(3)를 취급할 때의 핸드부(11)의 상태를 제2자세라고 하고, 도 2b의 보관선반(2)에 따라 주행할 때의 핸드부(11)의 상태를 제1자세라고 한다.
또한, 제2암부(10)의 선단부에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 위치검출수단으로 되는 스테레오 카메라(30)가 설치된다. 스테레오 카메라(30)는 소정의 간격으로 설치된 2대의 비디오 카메라(31a, 31b)로 구성되어 있다. 이 비디오 카메라(31a, 31b)는, 카세트보지부(8)가 도 2b에 도시하는 제1자세에 있는 상태로, 마크수단(15)을 시야내에 두게 하는 위치·각도로 제2암부(10)의 선단부에 취부되어 있다. 이 스테레오 카메라(30)는, 상시 핸드부(11)에 취부된 구조라도, 교시작업때에만 핸드부(11)에 취부하여 통상 운용시에는 떼내는 것같은 구조라도 좋다.
이 비디오 카메라(31a, 31b)는 마크수단(15)의 위치검출을 함과 동시에, 그 어느 한쪽에서, 이들 마크수단(15)의 근방에 미리 마크수단(15)과의 위치관계가 일정하게 되도록 설치된 ID 마크(18)의 검출도 하게 되어 있다. 또, 이 ID 마크(18)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 숫자나 문자를 기입한 라벨(label)이더라도, 바코드와 같이 코드화된 기호 등이라도 좋다.
스테레오 카메라(30)의 근방에는, 그 영상신호를 송신하는 송신수단(32)이 설치되어 있다. 이 송신수단(32)에 의해, 위치검출수단(30)에서의 마크수단(15)의 영상 및 ID 마크(18)의 영상이 송신된다. 송신된 영상의 ID 마크(18)의 영상은, 도 4에 도시한 바와 같이 스토커용 로보트(5)의 외부에 설치한 수신기(33a 및 33b)에서 수신하여, 교시제어수단(34)에 입력되고, 교시제어수단(34)에 내장되어 있는 문자독취 프로그램(이하, OCR 프로그램이라고 한다)으로 처리되어, ID 마크(18)의 식별이 행하여진다. 또한, 마크수단(15)의 영상은, 수신기(33a 및 33b)에서 수신하여 복조(復調)되어, 교시제어수단(34)에 입력되어 처리된다. 이 교시제어수단(34)에는, 위치검출수단에 의해서 검출된 마크수단(15)의 마크좌표 등으로부터, 각 보관부(2a)의 위치결정좌표를 교시할 수 있는 프로그램이 기록된 기록매체가 내장되어 있다. 또한, 교시제어수단(34)에 표시장치(35)가 접속되어 있고, 입력된 화상이나 교시의 진행상황이 표시된다.
교시제어수단(34)에 송신된 마크수단(15)의 영상은, 도 5의 주요부분의 블럭도에 도시한 바와 같이, 수신기(33a, 33b)부터의 영상신호는 멀티플렉서(36; multiplexer)에 의해서, 그 어느 쪽인지 한편이 선택되어 A/D 변환기(37)로 디지탈 데이터로 변환되어 메모리(39)에 격납된 후, CPU(38)로 처리된다.
구체적으로는, 핸드부(11)가 보관부(2a)의 소정의 위치로 이동하고, 마크수단(15)의 화상을 촬상할 수 있는 상태가 되면, 멀티플렉서(36)에 의해서 수신기(33a)를 선택하고, 화상데이타를 메모리(39)에 받아들인다. 화상데이타는 각 화소가 계조(階調)를 가지는 농담 화상데이타이기 때문에, 이것을 소정의 역치로 두값화(二値化)한다. 수신기(33a)에 의한 수신상태가 양호한 경우는, 도 6a에 도시하는 바와 같은, 마크수단(15)의 2개의 원이 검은 원으로 되는 두값 화상이 얻어지고, 각 검은 원의 중심위치로부터 마크좌표와 경사각을 인식할 수가 있다. 한편, 수신기(33a)에 의한 수신상태가 나쁘게 되면 영상신호에 잡음이 혼합되어, 예컨대 도 6b와 같은 두값 화상이 되는 경우가 있다. 이러한 화상의 중심위치를 계산하면 원래의 마크수단(15)의 원의 중심과 어긋남이 생기기 때문에, 교시에는 쓸 수 없다. 그 때문, 두값 화상의 검은 원부의 면적, 폭 W, 높이 H, 혹은, 검은 원부분 내의 흰 구멍의 수·면적 등도 아울러 산출하고, 이들의 값이 미리 설정된 범위로부터 벗어나 있는 경우는, 그 화상데이타를 파기하고, 멀티플렉서(36)를 수신기(33b)로 절환하여, 다시 화상입력하고 같은 처리를 하여 마크수단(15)의 좌표와 경사각을 인식한다. 또, 본 발명과 같이 수 m에서 10m 정도의 거리에서 영상신호를 송수신하는 경우, UHF대의 미약 전파를 쓰는 것이 송수신기가 소형이고, 또, 염가이기 때문에 바람직하다. 또한, 전파의 다중산란에 의한 간섭이 생기는 핸드부(11){(송신기(32)}의 위치에는 규칙성이 없고, 핸드부(11), 혹은, 수신기(33a, 33b)의 위치를 조금 비키어 놓는 것으로 수신상태는 변화한다. 따라서, 수신기(33a와 33b)의 서로의 배치를 엄밀히 설정할 필요는 없고, 1m 정도이상 떼어 놓아두면, 양 수신기의 수신상태가 나쁘게 될 가능성은 작고, 교시작업에 사용하기에는 충분하다. 물론, 경우에 따라서는 더욱 확실성을 올리기 위해서, 3대 이상의 수신기를 설치하여, 그 중에서 양호한 것을 골라 처리하도록 하더라도 좋다. 또한, 여기서는 수신상태의 양부의 판정을 두값 화상을 쓰는 예를 설명했지만, 두값화 전의 농담화상을 쓰서 판정하더라도 좋다. 즉, 수신상태가 양호한 경 우 마크수단(15)의 원부의 화소의 농도값은 거의 똑같지만, 잡음이 들어가면 격차가 커지기 때문에, 농도값의 표준비 차를 산출하여, 소정의 값 이상의 경우에 수신불량이라고 판정할 수도 있다.
또, 본 실시의 형태예로서는, 전파에 의한 무선방식을 설명했지만, 적외선 등 빛에 의한 무선방식을 쓰더라도 좋다. 빛의 경우, 간섭에 의한 장해는 없지만, 송수신기가 서로 전망할 수 있는 위치에 없으면 수신할 수 있는 가능성이 작아진다. 그 때문, 수신기(33a, 33b) 등의 복수의 수신기는, 핸드부(11)가 어떤 위치에 있더라도, 적어도 1개는 송신기(32)를 전망할 수 있는 위치에 있도록 선정해 설치하면 좋다.
본 실시형태에 관한 스토커용 로보트는 이상과 같이 구성되어 있다. 다음에, 그 교시방법에 대해서 도 1 내지 도 4 및 도 7를 참조하면서 설명한다.
우선 핸드부(11)를 보관선반(2)중에, 각부(start위치)에 있는 보관부(2a)의 부근으로 이동한다. 다음에, 비디오 카메라(31a)에서 보관부(2a)를 촬영하고{도 7(1)},그 촬상한 화상으로부터, ID 마크(18)의 라벨이 있는지 아닌지를 OCR 프로그램으로 조사한다{도 7(2)}. 만약, ID 마크(18)의 라벨이 발견되지 않으면, 도 7(3)부터 (4)로 진행하고, 비디오 카메라(31a)의 시야를 비키어 놓도록 핸드부(11)를 이동하여 다시 비디오 카메라(31a)에서 보관부(2a)를 촬영하고{도 7(1)}, 그 촬상한 화상으로부터, ID 마크(18)의 라벨이 있는지 아닌지를 OCR 프로그램으로 조사하는{도 7(2)}동작을 되풀이한다. ID 마크(18)의 라벨이 발견되면, 도 7(3)부터 (5)로 진행하여, ID 마크(18)의 라벨에 기재되어 있는 위치좌표등의 정보를 읽어내 고, 그 정보를 교시제어수단(34)의 메모리에 기억하고{도 7(5)}. 다음에 핸드부(11)를, 스토커의 각 보관부(2a)마다의 설계 데이터 등을 기초로, 제1자세(도 2b의 상태)에 있어서의 핸드부(11)의 각 보관부(2a)의 각 마크수단(15)의 위치좌표에 상응하는 미리 입력하고 있었던 마크수단(15)의 촬영장소인 촬상좌표로 이동시킨다{도 7(6)}. 그리고, 마크수단(15)을 비디오 카메라(31a, 31b)에서 촬영하고{도 7(7)}, 그 마크수단(15)의 화상을, 교시제어수단(34)으로, 스테레오 화상처리를 하여, 마크수단(15)의 마크좌표를 연산하여, 먼저 읽어낸 ID 마크(18)의 위치좌표에 있어서의 마크좌표로서 기억한다{도 7(8)}. 여기서, ID 마크(18)와 마크수단(15)의 개략위치관계는 미리 정해져 있다. 다음에, 핸드부(11)를 다음 보관부(2a)로 이동시켜, 상기와 같은 처리를 한다{도 7(9)}. 이것을, 보관선반(2)의 종단위치에 올 때까지 되풀이한다{도 7(10)}. 이상과 같이 하여, 보관선반(2) 전체를 주사(走査)하여 모든 보관부(2a)의 위치좌표와 마크좌표를 검출할 수가 있다.
이상과 같이 하여, 각 보관부(2a)에 마크수단(15)과 ID 마크(18)를 설치함으로써, 각각을 검출수단인 비디오 카메라(30)로 촬영하고, 그 화상을 교시제어수단(34)으로 연산처리하는 것만으로, 보관선반(2)의 각 보관부(2a)의 위치결정좌표를 교시할 수가 있다.
(제2실시의 형태예)
다음에, 다른 실시의 형태예로서, 도 10에 도시한 바와 같이, 재치판(16)에 ID 마크(18)를 설치하지 않는 경우에 관해서 설명한다. 본 실시의 형태예로서는, ID 마크(18)가 설치되지 않는 이외는, 전술한 실시의 형태예와, 핸드부(11)를 포함하는 스토커용 로보트의 구성은 동일하기 때문에, 중복되는 설명은, 동일한 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.
본 실시의 형태예에서는, 우선, 스토커의 각 보관부(2a) 마다의 설계 데이터 등을 기초로, 제1자세(도 2b의 상태)에서 핸드부(11) 각 보관부(2a)의 각 마크수단(15)의 위치좌표에 상응하는 촬상좌표를 입력해 놓는다. 여기서, 촬상좌표란, 스테레오 카메라(30)로 각 보관부(2a)의 마크수단(15)을 촬상하는 위치좌표인 것이다. 여기서, 본 발명에 있어서의 스토커용 로보트의 좌표계는, 도 8에 도시한 바와 같이, 주행부(6)의 주행방향을 X, 보관선반(2)의 대략 깊어지는 방향을 Y, 카세트보지부(8)의 승강방향을 Z로 하는 세계(world)좌표계 X Y Z를 설정하고 있다. 또한, 핸드부(11)에 고정된 핸드좌표계 XH, YH, ZH를 설정하고, 세계좌표계에 있어서의 핸드좌표계의 원점좌표값, 및, X축과 XH축이 이루는 각 θH에 의해서 핸드부(11)의 위치자세를 나타내고 있다.
이 촬상좌표의 입력과 전후 혹은 병행하여, 도 1에 도시한 바와 같이, 카세트(3)가 1개 준비되어, 작업원에 의해 임의의 하나의 보관부(2a') 재치판(16)상에 재치된다. 이다음, 종래와 같이, 도시하지 않는 티칭팬던트(teaching pandant)가 제어장치에 접속되어, 도 2a에 도시한 바와 같이, 카세트(3)를 바르게 파지(把持) 할 수 있는 위치의 대략 바로 위에 핸드부(11)가 위치하도록, 티칭팬던트를 조작한다. 그리고, 이때의 핸드부(11)를 제2자세로 한다. 이 위치에서의 핸드부(11)의 위치좌표를 기준교시좌표로서 교시제어수단(34)에 격납한다.
다음에, 핸드부(11)를 이 보관부(2a')의 촬상좌표로 이동한다. 즉, 핸드부(11)를 제1자세로 되돌린다. 그리고, 스테레오 카메라(30)로 마크수단(15)을 촬영한다. 스테레오 카메라(30)로 촬상된 영상신호는 교시제어수단(34)으로 상술한 것같이 디지탈화하여 처리된다. 그리고, 교시제어수단(34)으로, 도 9에 도시하는 바와 같은 스테레 오카메라(30)의 각 화상으로부터 마크수단(15)의 2개의 원을 검출하고, 양 화상의 시차로부터 스테레오시의 원리에 따라서, 각 원 중심의 핸드부(11)에 대하는 상대적인 3차원 좌표값을 산출한다. 이것을 바탕으로, 핸드좌표계에서의, 원의 중점좌표값(XM, YM, ZM) 및 원 중심의 각도 θM을 산출한다. 이렇게 하여, 보관부(2a')의 마크좌표(XM', YM', ZM', θM')를 계측하고, 기준 마크좌표로서 교시제어수단(34)에 격납한다.
다음에, 핸드부(11)를 제1자세의 상태로, 미리 설정한 순서에 따라서 각 보관부(2a)의 위치좌표에 상응한 촬상좌표로 이동하여 각 마크수단(15)을 촬영하고, 그 마크좌표(XM, YM, ZM, θM)를 계측하고, 각 보관부(2a)의 마크좌표로서 교시제어수단(34)에 격납한다.
그리고, 교시제어수단(34)에 있어서, 각 보관부(2a)의 마크좌표와 기준 마크좌표와의 차이, 및, 각 보관부(2a)의 촬상좌표와 보관부(2a')의 마크수단(15)의 촬상시의 위치좌표의 차이로부터 보정치를 산출하고, 기준교시좌표를 보정하고, 각 보관부(2a)에서 카세트(3)를 바르게 파지 할 수 있는 위치를 산출하고 교시좌표로 한다. 구체적으로는, 보관부(2a') 및, 교시대상으로 되는 보관부(2a)의 촬상좌표에서의 핸드부(11)의 위치를 (XP', YP', ZP', θP'=0), (XP, YP, ZP, θP=0)로 하면, 세계좌표계에 있어서의 기준 마크좌표는 (XP'+XM', YP'+YM', Z P'+ZM', θM'), 보관부(2a)의 마크좌표는 (XP+XM, YP+YM, ZP+ZM, θ M)으로 된다. 기준교시좌표에서의 핸드부(11)의 위치가 (Xa', Ya', Za', θa')였다고 하면, 보관부(2a)에서의 교시좌표 (Xa, Ya, Za, θa)는,
Xa = Xa'+(XP+XM)-(XP'+XM')
Ya = Ya'+(YP+YM)-(YP'+YM')
Za = Za'+(ZP+ZM)-(ZP'+ZM')
θa = θa'+θM-θM'
로 주어진다. 또, 상기에서는 설명을 간단히 하기 위해서 각 보관부(2a)의 각 촬상좌표에서의 선회각 θP, θP'를 0으로 설정했지만, 0 이외의 경우이더라도 적당한 좌표변환을 베푸는 것에 따라 연산가능하다.
이상과 같이, 본 발명에서는 핸드부(11)를 각 보관부사이를 이동가능한 제1자세로 유지한 채로의 상태로, 각 보관부(2a)의 촬상좌표로의 이동이 가능하고, 그리고 촬상·연산처리하는 것만으로 각 보관부(2a)의 교시좌표를 얻을 수 있기 때문에 단시간에 교시를 할 수 있다. 또한, 핸드부(11)를 보관부(2a)상에 삽입할 필요 가 없기 때문에, 보관부(2a)에 카세트(3)가 놓여져 있더라도 교시가 가능하다.
또, 이상의 실시의 형태예에서는, 위치검출수단으로서 소정간격으로 설치된 스테레오 카메라(30)를 사용한 경우에 대해서 설명하여 왔지만, 상술한 스테레오 카메라(30) 대신에, 이하에 나타내는 바와 같은 위치검출수단으로 할 수도 있다.
(제3실시의 형태예)
예컨대, 도 11에 도시한 바와 같이, 마크수단(15) 및 ID 마크(18)를 검출하는 위치검출수단에, 상술한 스테레오 카메라(30) 대신에, 1대의 비디오 카메라(31)를 핸드부(11)에 설치한다. 이 1대의 비디오 카메라(31)에 의해서, 마크수단(15) 및 ID 마크(18)의 각각을 검출한다.
그 검출방법은, 도 12에 도시한 바와 같이, 우선, 보관부(2a)의 위치좌표를 검출한다. ID 마크(18)가 설치되는 경우는, 이 ID 마크(18)를 검출하고, 거기에 기재되어 있는 정보로부터 보관부(2a)의 위치좌표를 인식한다. ID 마크(18)가 설치되지 않는 경우는, 각 보관부(2a)의 위치좌표를 입력해 놓는다. 다음에, 마크수단(15)의 마크좌표의 검출은, 도 12a에 도시한 바와 같이, 핸드부(11)를 미리 입력해 놓은 마크수단(15)을 촬영할 수 있는 촬상좌표로 이동하고, 그때의 화상데이타 a를 얻는다. 다음에, 도 12b에 도시한 바와 같이 핸드부(11)를 소정거리 LB만 이동하여 촬상하여 화상데이타 b를 얻는다. 이렇게 해서 얻어진 화상데이타 a, b를 각각 교시제어수단(34)에 송신한다. 교시제어수단(34)에서 이들 화상데이타 a, b를 시차화상으로서 처리하여, 마크수단(15)의 삼차원 좌표를 산출한다. 또, 시차화상을 얻을 때의 핸드부(11)의 이동은, 본 실시의 형태예와 같이 X방향(지면좌우 방향)에 한정되지 않고, 시차화상을 얻을 수 있는 것이면, Y방향(지면상하방향) 혹은 Z방향 등 다른 방향으로 이동하더라도 마크수단(15)의 마크좌표를 산출할 수가 있다.
이와 같이, 1대의 비디오 카메라로, ID 마크(18) 및 마크수단(15)의 검출이 할 수 있기 때문에 핸드부(11)를 소형화하는 것도 가능해진다.
(제4실시의 형태예)
또한, 도 13에 도시한 바와 같이, 위치검출수단으로서, 1대의 비디오 카메라(31)와 시야분할 광학계(50)로 구성되는 스테레오 카메라(30)를 핸드부(11)에 설치하여 사용할 수도 있다.
시야분할계(50)는, 도 14에 도시한 바와 같이, 4장의 거울(51L, 51R, 52L, 52R)로서 구성되어 있다. 이들 중, 거울(52L 과 52R)은, 약 90°의 각도로 피차의 1변을 접하고, 그 변이 비디오 카메라(31)의 중심축 c축상에 대략 일치하도록 배치되어 있다. 그리고, 이들 거울(52L과 52R)의 각각의 면에 대면하도록 그 왼쪽에는 거울(51L), 오른쪽에는 거울(51R)이 배치되어 있다. 거울(51L 및 51R)은, 각각 마크수단(15)이 비치는 각도로 배치되어 있다. 따라서, 비디오 카메라(31)의 시야의 왼쪽 반분에는, 비디오 카메라(31)에 대하여 왼쪽방향의 화상이 비치고, 오른쪽 반분에는 오른쪽방향의 화상이 비치게 된다.
도 15에는, 시야분할 광학계(50)를 통해 마크수단(15)을 촬영한 화상을 도시한다. 화상의 왼쪽 반분은 도 4의 L방향에서 촬영한 화상, 오른쪽 반분은 R방향에서 촬영한 화상을 나타낸 것이다. 이 화상을 시차화상으로서 교시제어수단(34)에 송신하고, 교시제어수단(34)으로 마크수단(15)의 마크좌표를 산출할 수 있다. 이와 같이, 한번의 촬영으로 얻어지는 화상으로 시차화상을 얻을 수 있기 때문에 촬상시간 등을 단축할 수가 있어, 교시에 걸리는 시간을 단축하는 것에 이어진다.
또한, 이러한 비디오 카메라(30)와 시야분할 광학계(50)와의 조합의 다른 예로서, 도 16에 도시한 바와 같이, 2개의 마크수단(15A, 15B) 각각을 검출하도록, 각각 대응한 비디오 카메라(30A, 30B)를 핸드부(11)에 설치할 수도 있다. 이와 같이, 각 비디오 카메라(30A, 30B)에 의해서, 각각의 마크수단(15A, 15B)을 검출할 수 있으므로, 이들 마크수단(15A, 15B)이 떨어져 있는 경우더라도, 검출할 수가 있다. 또, 이 경우, 시야분할 광학계(50A, 50B)는, 화상을 상하로 분할하도록 배치하더라도, 좌우방향으로 분할하도록 배치하더라도 상관없다. 또한, 이렇게 시야분할 광학계(50)와의 조합에 의한 스테레오 카메라가 아니더라도, 각각의 마크수단(15)을 별개 각각의 비디오 카메라로 검출하는 방식이라면 예컨대, 제1 및 제2실시의 형태예와 같은 2대의 비디오 카메라로 이루어지는 스테레오 카메라나, 제3실시의 형태예와 같은 1대의 비디오 카메라를 이동시키는 것으로, 시차화상을 얻을 수 있는 비디오 카메라를 쓰는 것으로도 가능하다.
본 발명은, 이상과 같이 구성되어 있고, 청구항 1의 스토커용 로보트의 교시방법에 의하면, 핸드부를 각 보관부내의 워크를 취급하는 위치좌표로 이동시키지 않고, 제1자세대로 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수가 있어, 교시에 요하는 시간을 대폭 단축할 수 있다. 또한, 핸드부를 실제로 워크를 취급하는 위치에 이 동시킬 필요가 없기 때문에, 보관부에 워크가 존재하고 있더라도 그 위치결정좌표를 교시할 수 있다. 이 때문에, 보관부내에 워크가 존재하고 있더라도, 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수가 있어, 교시시에 핸드부와 워크가 접촉하지도 않게 된다.
또, 청구항 2의 스토커용 로보트의 교시방법에 의하면, 미리 각 보관부의 위치좌표를 입력할 필요가 없어진다. 또한, 각 보관부의 위치좌표의 입력 실수 등을 없앨 수 있어, 확실히 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수 있으므로 교시시간을 대폭 단축할 수가 있다.
또한, 청구항 3의 스토커용 로보트의 교시방법에 의하면, 미리 입력된 각 보관부의 위치좌표와, 그 위치좌표에서의 위치검출수단에 의해 검출되는 마크수단의 좌표와의 위치관계로부터, 각 보관부의 위치결정좌표를 산출하여 교시할 수가 있다.
또한, 청구항 4의 스토커용 로보트의 교시장치에 의하면, 핸드부를 각 보관부내의 워크를 취급하는 위치좌표로 이동시키지 않고, 제1자세대로 각 보관부의 마크수단의 마크좌표를 검출하는 것으로, 각 보관부의 위치결정좌표를 교시할 수가 있다.
또한, 청구항 5의 스토커용 로보트의 교시장치에 의하면, 시야가 넓은 스테레오 카메라를 쓰기 위해서, 핸드부를 제1자세의 상태대로, 각 마크수단의 검출을 할 수 있다. 이 때문에, 각 보관부에 설치되어 있는 마크수단을 검출할 시에, 보관부내에까지, 핸드부를 진행시킬 필요가 없어진다.
또한, 청구항 6의 스토커용 로보트의 교시장치에 의하면, 1대의 카메라로 위치검출을 할 수 있으므로 장치의 소형화·단순화를 할 수 있다.
또한, 청구항 7의 스토커용 로보트의 교시장치에 의하면, 1대의 카메라의 1회의 촬상으로 시야를 분할한 시차화상를 얻을 수 있으므로, 장치의 소형화·단순화를 할 수 있다. 또한, 스테커의 이동을 수반하지 않기 때문에, 처리시간이 길게되지 않는다.
또한, 청구항 8의 스토커용 로보트의 교시장치에 의하면, 각 보관부의 위치검출 시의 화상의 교란을 검출할 수가 있게 되고, 또한, 양호하게 수신할 수 있는 위치에 있는 수신수단을 선택하여 영상입력을 할 수 있기 때문에, 교시작업의 재시도나, 확인작업이 경감되어, 작업효율이 오른다. 더욱, 각 보관부의 교시의 위치결정 정밀도가 향상한다.
또한, 청구항 9 기재의 기록매체에 의하면, 기존의 스토커용 로보트의, 각 보관부의 위치결정좌표의 교시가 자동화 될 수 있다.

Claims (9)

  1. 보관선반에 복수 설치된 보관부에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크를 취급하는 제2자세를 가지는 핸드부를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부마다의 상기 위치결정좌표를 교시하는 방법으로서,
    각 보관부에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 마크수단을 설치함과 아울러, 상기 제1자세에 있는 상기 핸드부에 상기 마크수단과의 위치관계를 검출할 수 있는 위치검출수단을 설치하고,
    상기 제1자세에 있는 핸드부를 주행시키면서 상기 각 보관부의 위치좌표에 이동시켜, 상기 위치검출수단에 의해 상기 마크수단의 마크좌표를 양 화상의 시차(視差)로부터 스테레오시의 원리에 기하여 3차원 좌표를 산출하는 방법으로 검출하고, 상기 마크좌표에 기하여 각 보관부의 위치결정좌표를 연산하도록 한 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 보관부에, 각 보관부의 위치좌표를 지시하는 ID 마크가 설치되어, 상기 제1자세로 있는 핸드부를 주행시키면서, 상기 위치검출수단에 의해 상기 ID 마크를 검출하고, 상기 핸드부를 상기 각 보관부의 위치좌표로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 각 보관부의 미리 입력된 위치좌표로 기하여, 상기 제1자세에 있는 핸드부를 상기 각 보관부의 위치좌표로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시방법.
  4. 보관선반에 복수 설치된 보관부에 따라 주행하는 제1자세와, 상기 각 보관부의 위치결정좌표로 향하여 이동하여 워크를 취급하는 제2자세를 가지는 핸드부를 구비한 스토커용 로보트에 각 보관부마다의 상기 위치결정좌표를 교시하는 장치로서,
    각 보관부에 상기 위치결정좌표와의 관계가 일정하게 되도록 설치된 마크수단과,
    상기 제1자세에 있는 상기 핸드부에 설치되어, 상기 마크수단과의 위치관계를 양 화상의 시차(視差)로부터 스테레오시의 원리에 기하여 3차원 좌표를 산출하는 방법으로 검출할 수 있는 위치검출수단과,
    상기 마크수단의 마크좌표와 상기 위치결정좌표와의 위치관계를 연산하여 각 보관부의 위치결정좌표를 교시하는 교시제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 위치검출수단이 2대의 카메라를 이용하여 실시하는 스테레오시의 원리에 따라서 3차원 좌표를 산출할 수가 있는 스테레오 카메라인 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시장치.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 위치검출수단이, 1대의 카메라를 사용하여, 소정거리 만 이동하여 복수회 촬상을 하여, 그것들의 화상의 시차로부터 스테레오시의 원리에 따라서 3차원 좌표를 산출할 수가 있는 이동 카메라인 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시장치.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 위치검출수단이, 시야분할 광학계와, 1대의 카메라로 구성되는 스테레오 카메라인 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시장치.
  8. 제 4항 내지 제 7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 위치검출수단의 근방에 설치되어, 그 영상신호를 무선송신하는 송신수단과,
    상기 송신수단에서의 신호를 수신하는 복수의 수신수단과,
    상기 복수의 수신수단 중에서 1개를 선택하여, 선택한 수신수단에서의 영상신호를 입력하는 영상입력수단과,
    상기 영상입력수단으로부터 입력된 화상을 해석하는 화상해석수단과,
    를 구비하여 되는 것을 특징으로 하는 스토커용 로보트의 교시장치.
  9. 삭제
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