JP5962587B2 - 検出装置および検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、カメラを備える検出装置、およびカメラを用いる検出方法に関する。

従来、特許文献１には、産業用ロボットのアームの位置ズレを検出する検出装置が記載されている。この従来技術では、ロボットアームに設けられたマーカをＣＣＤカメラで撮像し、撮像した画像データに基づいてマーカの中心位置を求める。

そして、算出したマーカの中心位置と、正しいマーカの中心位置とを比較して、アームの位置ズレを検出する。

ＣＣＤカメラは、マーカを撮像可能、かつ作業の邪魔にならない位置に設けられている。

特開２００３−１２１１１２号公報

上記従来技術によると、ＣＣＤカメラを産業用ロボット（自動機）の作業の邪魔にならない位置に設ける必要が有るので、ＣＣＤカメラの位置が制約される。そのため、設備によっては、マーカの撮像に適した場所にＣＣＤカメラを設置できないことが起こり得る。

本発明は上記点に鑑みて、自動機が作業を行う場所から検査対象部位を撮影可能な検出装置および検出方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、
搬送ライン（１１）上を搬送される物品に所定の作業を行う自動機（１０）の検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を検査する検査装置であって、
搬送ライン（１１）上を搬送され、検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影可能なカメラ（２０ａ）、およびカメラ（２０ａ）への撮影指令信号を無線受信するとともにカメラ（２０ａ）が撮影した画像のデータを無線送信する無線送受信手段（２０ｂ）を有する撮影用パレット（２０）と、
撮影用パレット（２０）が搬送ライン（１１）上の所定位置にあることを検知する検知手段（２０ｄ、１４）と、
撮影用パレット（２０）が所定位置にあることを検知手段（２０ｄ、１４）が検知した場合、撮影指令信号を無線送信する撮影指令手段（１３ａ）と、
無線送受信手段（２０ｂ）が無線送信した画像のデータを無線受信する画像データ受信手段（１３ｂ）と、
画像データ受信手段（１３ｂ）が無線受信した画像のデータを処理する画像処理手段（１３ｃ）とを備えることを特徴とする。

これによると、搬送ライン（１１）上を搬送される撮影用パレット（２０）によって自動機（１０）の検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影するので、自動機（１０）が作業を行う場所から検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影できる。

上記目的を達成するため、請求項４に記載の発明では、
搬送ライン（１１）上を搬送される物品に所定の作業を行う自動機（１０）の検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を検査する検査方法であって、
検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影可能なカメラ（２０ａ）、およびカメラ（２０ａ）への撮影指令信号を無線受信するとともにカメラ（２０ａ）が撮影した画像のデータを無線送信する無線送受信手段（２０ｂ）を有する撮影用パレット（２０）を搬送ライン（１１）上に搬送し、
撮影用パレット（２０）が搬送ライン（１１）上の所定位置にある場合、撮影指令信号を撮影指令手段（１３ａ）で無線送信することによって、カメラ（２０ａ）で検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影し、
無線送受信手段（２０ｂ）が無線送信した画像のデータを画像データ受信手段（１３ｂ）で無線受信し、
画像データ受信手段（１３ｂ）が無線受信した画像のデータを画像処理手段（１３ｃ）で処理することを特徴とする。

これにより、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を奏することができる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

第１実施形態における検査装置の全体構成図である。 第１実施形態における検査装置の電気制御部を示すブロック図である。 第１実施形態における制御装置が実行する制御処理を示すフローチャートである。 第１実施形態における制御装置が実行する制御処理の詳細を示すフローチャートである。 第１実施形態におけるカメラが撮影した画像の例を示す図である。 第１実施形態における制御装置が白黒反転処理した画像の例を示す図である。 第１実施形態における制御装置が２値化処理した画像の例を示す図である。 第１実施形態における制御装置がマーカ抽出処理した画像の例を示す図である。 第１実施形態における制御装置におけるフェレ径および重心位置の算出処理を説明する図である。 第１実施形態における制御装置が欠損補正処理した画像の例を示す図である。 第１実施形態における制御装置における位置算出処理を説明する図である。 第２実施形態における検査装置の要部構成図である。 第２実施形態におけるカメラが撮影した画像の例を示す図である。 第２実施形態における制御装置がパターンマッチングを行った画像の例であり、チャックが正常な場合を示している。 第２実施形態における制御装置がパターンマッチングを行った画像の例であり、チャックに欠損が生じている場合を示している。

以下、実施形態について図に基づいて説明する。以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
本実施形態における検出装置は、図１に示すピックアンドプレースユニット１０（Ｐ＆Ｐユニット）に設けられたマーカ１０ａ（検査対象部位）の位置を検出する。ピックアンドプレースユニット１０は、所定の場所にある物品をつまみ上げて、別の場所に運んで下ろすという一連の作業を行う自動機である。図１中、上下の矢印は、ピックアンドプレースユニット１０の設置状態における上下方向（重力方向）を示している。

例えば、ピックアンドプレースユニット１０は、所定の場所にある部品をつまみ上げて、搬送ライン１１で搬送される部品用パレット１２上に運んで下ろす。例えば、ピックアンドプレースユニット１０は、搬送ライン１１で搬送される部品用パレット１２上にある部品をつまみ上げて、所定の場所に運んで下ろすようになっていてもよい。

ピックアンドプレースユニット１０は、部品を掴むチャック１０ｂを有している。ピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａは、チャック１０ｂの近傍部位に、下方側から視認できるように設けられている。マーカ１０ａは、黒系色の丸形状（黒く塗りつぶされた円形状）に形成されている。ピックアンドプレースユニット１０のうちマーカ１０ａの周辺部位は、マーカ１０ａと明確に区別できる色（例えば白系色）になっている。

本例では、マーカ１０ａは、黒色ＳｉＣ系またはＡＩＮ系セラミックのような黒色の材料で形成されており、あらゆる角度の反射光による輝度を抑えるようにしている。マーカ１０ａの周辺部位は、白色の反射材で形成されており、投入光を全反射させ、輝度を上げている。

搬送ライン１１は、部品用パレット１２を図１の矢印Ｘ方向に搬送する。本例では、搬送ライン１１は、部品用パレット１２を所定距離ずつ間欠的に搬送する。搬送ライン１１は、部品用パレット１２を連続的に搬送するようになっていてもよい。

図２に示すように、ピックアンドプレースユニット１０および搬送ライン１１の作動は、制御装置１３によって制御される。制御装置１３は、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）およびその周辺機器で構成される制御手段である。

ＰＬＣは、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を含む周知のマイクロコンピュータとその周辺回路から構成されている。ＰＬＣは、ＲＯＭ内に記憶された制御プログラムに基づいて各種演算、処理を行い、ピックアンドプレースユニット１０および搬送ライン１１等の作動を制御する。

部品用パレット１２にはＲＦＩＤタグ１２ａが取り付けられている。ＲＦＩＤタグ１２ａは、部品のＩＤ情報（個体識別情報）が記録された無線ＩＣチップである。ＩＤリーダ１４は、部品用パレット１２が搬送ライン１１上の部品搭載位置にある場合、部品用パレット１２のＲＦＩＤタグ１２ａからＩＤ情報を無線通信によって取得する。搬送ライン１１上の部品搭載位置とは、ピックアンドプレースユニット１０が部品を部品用パレット１２上に下ろす位置のことである。

撮影用パレット２０は、部品用パレット１２と同様に、搬送ライン１１上を搬送されるパレットであり、ピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａを撮影するために用いられる。

撮影用パレット２０は、カメラ２０ａ、無線送受信ユニット２０ｂ、ＲＦＩＤタグ２０ｄおよびバッテリー２０ｄを有している。

カメラ２０ａは、マーカ１０ａを撮影する撮影手段である。カメラ２０ａは、所定の画素数を持つ撮像素子を有し、所定の解像度および所定のフレームレートで画像を撮影することができる。カメラ２０ａのレンズは、真上を向いて配置されている。カメラ２０ａは、外部から入力される撮影指令信号に従って撮影を行う。本例では、カメラ２０ａは、焦点調整機能を有していない。

無線送受信ユニット２０ｂは、制御装置１３から無線送信される撮影指令信号を無線受信するとともに、カメラ２０ａが撮影した画像のデータを無線送信する無線送受信手段である。

無線送受信ユニット２０ｂが無線受信した撮影指令信号は、カメラ２０ａに出力される。無線送受信ユニット２０ｂが無線送信した画像のデータは、制御装置１３によって無線受信されて各種処理が施される。

バッテリー２０ｃは、カメラ２０ａおよび無線送受信ユニット２０ｂに電力を供給する蓄電池である。

ＲＦＩＤタグ２０ｄは、撮影用パレット２０のＩＤ情報（個体識別情報）が記録された無線ＩＣチップである。ＲＦＩＤタグ２０ｄのＩＤ情報は、部品用パレット１２のＲＦＩＤタグ１２ａのＩＤ情報と同様に、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上の部品搭載位置にある場合、ＩＤリーダ１４によって無線通信によって取得されて制御装置１３に送信される。

制御装置１３は、無線送受信ユニット２０ｂに撮影指令信号を無線送信する撮影指令手段１３ａを有している。撮影指令手段１３ａを制御装置１３とは別のハードウェアおよびソフトウェアで構成してもよい。

制御装置１３は、無線送受信ユニット２０ｂからの画像のデータを無線受信する画像データ受信手段１３ｂを有している。画像データ受信手段１３ｂを制御装置１３とは別のハードウェアおよびソフトウェアで構成してもよい。

制御装置１３は、無線受信した画像のデータを処理する画像処理手段１３ｃとを有している。画像処理手段１３ｃを制御装置１３とは別のハードウェアおよびソフトウェアで構成してもよい。

制御装置１３は、撮影用パレット２０のＲＦＩＤタグ２０ｄおよび部品用パレット１２のＲＦＩＤタグ１２ａに記録されたＩＤ情報を取得するＩＤ情報取得手段１３ｄを有している。ＩＤ情報取得手段１３ｄを制御装置１３とは別のハードウェアおよびソフトウェアで構成してもよい。

上記構成における作動を説明する。制御装置１３は、図３のフローチャートに示す制御処理を実行する。まず、ステップＳ１００では、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上の部品搭載位置（所定位置）にあるか否かを判定する。具体的には、ＩＤリーダ１４から受信したＩＤ情報が、撮影用パレット２０のＩＤ情報であるか否かを判定する。

ＩＤリーダ１４から受信したＩＤ情報が撮影用パレット２０のＩＤ情報でないと判定した場合、搬送ライン１１上の部品搭載位置に撮影用パレット２０がなく部品用パレット１２があると判断して、ステップＳ１１０へ進み、ピックアンドプレースユニット１０の通常作動を行う。

ピックアンドプレースユニット１０の通常作動とは、例えば、ピックアンドプレースユニット１０は、所定の場所にある部品をつまみ上げて、搬送ライン１１上の部品搭載位置にある部品用パレット１２上に運んで下ろす作動である。

ステップＳ１００にて、ＩＤリーダ１４から受信したＩＤ情報が撮影用パレット２０のＩＤ情報であると判定した場合、搬送ライン１１上の部品搭載位置に撮影用パレット２０があると判断して、ステップＳ１２０へ進み、マーカ１０ａの位置検出を行うために、ピックアンドプレースユニット１０のチャックを部品搭載位置の真上で停止させる。換言すれば、ピックアンドプレースユニット１０のチャックを撮影用パレット２０の真上で停止させる。

より具体的には、ピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａを、撮影用パレット２０のカメラ２０ａの撮影可能範囲内に位置するようにピックアンドプレースユニット１０を移動させた後に停止させる。

ステップＳ１３０では、撮影用パレット２０のカメラ２０ａに、撮影指令信号を無線送信する。これにより、カメラ２０ａが、ピックアンドプレースユニット１０のチャックおよびその周辺を撮影し、撮影した画像のデータを制御装置１３に無線送信する。このとき、カメラ２０ａが撮影した画像には、マーカ１０ａが含まれることとなる。本例では、マーカ１０ａは黒系色、マーカ１０ａの周辺は白系色で撮影されるようになっている。

ステップＳ１４０では、カメラ２０ａが撮影した画像のデータに基づいてマーカ１０ａの位置を検出する。ステップＳ１４０の詳細を図４に示す。

ステップＳ１４１では白黒反転処理を行う。具体的には、カメラ２０ａが撮影した画像（図５）の白黒を反転させて白黒反転画像（図６）を作成する。ステップＳ１４２では２値化処理を行う。具体的には、ステップＳ１４１で作成した白黒反転画像（図６）を２値化して２値化画像（図７）を作成する。

ステップＳ１４３ではブロブ解析処理を行う。具体的には、ステップＳ１４２で作成した２値化画像（図７）をブロブ解析する。

ステップＳ１４４ではマーカ抽出処理を行う。具体的には、ステップＳ１４３でのブロブ解析の結果に基づいてマーカ１０ａを抽出する（図８）。具体的には、ブロブの面積および円形度に基づいてマーカ１０ａを特定する。

ステップＳ１４５およびステップＳ１４６では、欠損補正処理を行う。具体的には、ステップＳ１４５では、ステップＳ１４４で抽出したマーカ１０ａ（図８）の水平フェレ径ＦＨ、垂直フェレ径ＦＶおよび重心位置Ｇ１（図９）を算出する。水平フェレ径ＦＨおよび垂直フェレ径ＦＶは、マーカ１０ａに外接する長方形の２辺の長さのことである。

ステップＳ１４６では、ステップＳ１４５で算出した水平フェレ径ＦＨ、垂直フェレ径ＦＶおよび重心位置Ｇ１（図９）を用いて、ステップＳ１４４で抽出されたマーカ１０ａの欠損部分を補正する。具体的には、マーカ１０ａの内部の欠落部分Ｌ１（黒色部分）を白色で塗りつぶす（図１０）。

本例では、重心位置Ｇ１を中心とし、水平フェレ径ＦＨおよび垂直フェレ径ＦＶのうち小さい方のフェレ径よりも若干小さい寸法を直径とする円Ｃ１の内部を白色で塗りつぶすという描画を行う。これにより、マーカ１０ａの内部の欠落部分Ｌ１が白丸形状によって塗りつぶされる。

ステップＳ１４７では位置算出処理を行う。具体的には、ステップＳ１４６で補正したマーカ１０ａ（図１０）の重心位置Ｇ２（図１１）を算出する。

次いで、ステップＳ１５０では、ステップＳ１４７で算出したマーカ１０ａの重心位置Ｇ２に基づいてマーカ１０ａの位置ズレ量を算出する。マーカ１０ａの位置ズレ量は、ステップＳ１４７で算出したマーカ１０ａの重心位置Ｇ２と、マーカ１０ａの正規の重心位置とのズレ量のことである。

そして、制御装置１３は、ステップＳ１５０で算出したマーカ１０ａの位置ズレ量に基づいてピックアンドプレースユニット１０の作動を補正したり、設備の担当者に、ピックアンドプレースユニット１０の精度調整が必要であることを報知したりする。

本実施形態における検査装置は、カメラ２０ａおよび無線送受信ユニット２０ｂを有する撮影用パレット２０と、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上の部品搭載位置にあることを検知する検知手段２０ｄ、１４と、撮影用パレット２０が部品搭載位置にあることを検知手段２０ｄ、１４が検知した場合、撮影指令信号を無線送信する撮影指令手段１３ａと、無線送受信手段２０ｂが無線送信した画像のデータを無線受信する画像データ受信手段１３ｂと、画像データ受信手段１３ｂが無線受信した画像のデータを処理する画像処理手段１３ｃとを備える。

これによると、搬送ライン１１上を搬送される撮影用パレット２０によってピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａを撮影するので、部品搭載位置（ピックアンドプレースユニット１０が作業を行う位置）からマーカ１０ａを撮影できる。このため、マーカ１０ａを容易かつ確実に撮影できる。

また、搬送ライン１１を停止することなくピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａを検査できるので、設備稼働率を高めることができる。

本実施形態における検査方法は、カメラ２０ａおよび無線送受信ユニット２０ｂを有する撮影用パレット２０を搬送ライン１１上に搬送し、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上の部品搭載位置にある場合、撮影指令信号を撮影指令手段１３ａで無線送信することによって、カメラ２０ａでマーカ１０ａを撮影し、無線送受信ユニット２０ｂが無線送信した画像のデータを画像データ受信手段１３ｂで無線受信し、画像データ受信手段１３ｂが無線受信した画像のデータを画像処理手段１３ｃで処理する。

これにより、上記した検査装置と同様の作用効果を奏することができる。

本実施形態では、ピックアンドプレースユニット１０の検査対象部位は、丸形状のマーカ１０ａが形成された部位であり、画像処理手段１３ｃは、画像を白黒反転して白黒反転画像を作成する白黒反転処理Ｓ１４１と、白黒反転画像を２値化して２値化画像を作成する２値化処理Ｓ１４２と、２値化画像をブロブ解析してマーカ１０ａを抽出マーカ抽出処理Ｓ１４３、Ｓ１４４と、マーカ抽出処理で抽出されたマーカ１０ａの欠損部分を補正する欠損補正処理Ｓ１４５、Ｓ１４６と、欠損補正処理が施されたマーカ１０ａの位置Ｇ２を算出する位置算出処理Ｓ１４７とを行う。

これによると、マーカ１０ａの欠損部分を補正した後にマーカ１０ａの位置Ｇ２を検出するので、欠損部分の影響を排除して、マーカ１０ａの位置を確実に検出することができる。例えば、カメラ２０ａが焦点調節機能を有していない場合でもマーカ１０ａの位置を確実に検出できる。

本実施形態では、欠損補正処理Ｓ１４５、Ｓ１４６では、マーカ抽出処理で抽出されたマーカ１０ａのフェレ径ＦＨ、ＦＶおよび重心位置Ｇ１を算出し、フェレ径ＦＨ、ＦＶおよび重心位置Ｇ１を用いて丸形状を描画することによって、欠損部分を補正する。これにより、マーカ１０ａの欠損部分を効果的に補正できる。

（第２実施形態）
上記第１実施形態では、ピックアンドプレースユニット１０に設けられたマーカ１０ａの位置を検出するが、本実施形態では、ピックアンドプレースユニット１０のチャック１０ｂの異常を検出する。

図１２の矢印に示すように、撮影用パレット２０のカメラ２０ａは、ピックアンドプレースユニット１０のチャック１０ｂを下方側から撮影する。図１２では、チャック１０ｂが部品Ｗ１を掴んでいる状態を示している。

制御装置１３は、カメラ２０ａが撮影した画像（図１３）におけるチャック１０ｂの形状をパターンマッチングで比較する。図１４は、チャック１０ｂが正常な場合におけるカメラ２０ａが撮影した画像を示している。図１５は、チャック１０ｂに欠損ｄ１が生じている場合におけるカメラ２０ａが撮影した画像を示している。

本実施形態によると、欠損ｄ１のようなチャック１０ｂの異常を検出できる。欠損ｄ１のみならず、チャック１０ｂの変形等の異常も検出できる。

（他の実施形態）
上記実施形態を適宜組み合わせ可能である。上記実施形態を例えば以下のように種々変形可能である。

（１）上記実施形態では、ピックアンドプレースユニット１０を停止させた状態でカメラ２０ａで１回撮影するので、ピックアンドプレースユニット１０の静特性を検査することとなるが、ピックアンドプレースユニット１０を振動させた状態でカメラ２０ａで複数回撮影することによって、ピックアンドプレースユニット１０の動特性を検査することもできる。

具体的には、ピックアンドプレースユニット１０を、部品搭載位置を中心として所定の振幅および所定の周波数で振動させると同時に、撮影用パレット２０のカメラ２０ａに、撮影指令信号を所定の時間間隔で複数回無線送信する。

これにより、カメラ２０ａが、振動するピックアンドプレースユニット１０およびその周辺を所定のフレームレートで複数回撮影できるので、撮影した複数の画像のデータに基づいて、振動するマーカ１０ａの位置を検出できる。

ピックアンドプレースユニット１０の動特性を検査することによって、ピックアンドプレースユニット１０の各部位における緩みや摩耗の有無を検査できる。

（２）上記実施形態では、搬送ライン１１が部品用パレット１２を所定距離ずつ間欠的に搬送し、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上で停止している状態でカメラ２０ａで撮影するが、搬送ライン１１が部品用パレット１２を連続的に搬送し、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上を動いている状態で撮影してもよい。この場合、部品用パレット１２の位置を近接センサ等で判定し、その判定結果に基づいてカメラ２０ａに撮影指令信号を出力すればよい。

（３）上記実施形態では、撮影用パレット２０が搬送ライン１１上の部品搭載位置にあるときにカメラ２０ａで撮影するが、撮影用パレット２０が部品搭載位置以外の搬送ライン１１上の所定位置にあるときにカメラ２０ａで撮影するようにしてもよい。この場合、カメラ２０ａで撮影する前に、ピックアンドプレースユニット１０のマーカ１０ａまたはチャック１０ｂを撮影用パレット２０のカメラ２０ａの撮影可能範囲内に移動させるようにすればよい。

（４）上記実施形態では、チャックを有するピックアンドプレースユニット１０に適用される検出装置および検出方法を説明したが、搬送ライン１１上を搬送される物品に所定の作業を行う種々の自動機に、本発明の検出装置および検出方法を適用可能である。

例えば、圧入ユニットに適用して、圧入ヘッドの打痕や傷を検出するために用いてもよい。例えば、プレスユニットに適用して、押込み部（パンチ）の打痕や傷を検出するために用いてもよい。例えば、切断ユニットに適用して、カッターの欠けや傷を検出するために用いてもよい。例えば、計測ユニットに適用して、計測ヘッド（測定子）の芯ずれや傾きを検出するために用いてもよい。

１０ ピックアンドプレースユニット（自動機）
１０ａ マーカ（検査対象部位）
１１ 搬送ライン
１３ａ 撮影指令手段
１３ｂ 画像データ受信手段
１３ｃ 画像処理手段
１４ ＩＤリーダ
２０ 撮影用パレット
２０ａ カメラ
２０ｂ 無線送受信手段
２０ｄ ＲＦＩＤタグ（検知手段）

Claims (4)

1. 搬送ライン（１１）上を搬送される物品に所定の作業を行う自動機（１０）の検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を検査する検査装置であって、
   前記搬送ライン（１１）上を搬送され、前記検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影可能なカメラ（２０ａ）、および前記カメラ（２０ａ）への撮影指令信号を無線受信するとともに前記カメラ（２０ａ）が撮影した画像のデータを無線送信する無線送受信手段（２０ｂ）を有する撮影用パレット（２０）と、
   前記撮影用パレット（２０）が前記搬送ライン（１１）上の所定位置にあることを検知する検知手段（２０ｄ、１４）と、
   前記撮影用パレット（２０）が前記所定位置にあることを前記検知手段（２０ｄ、１４）が検知した場合、前記撮影指令信号を無線送信する撮影指令手段（１３ａ）と、
   前記無線送受信手段（２０ｂ）が無線送信した前記画像のデータを無線受信する画像データ受信手段（１３ｂ）と、
   前記画像データ受信手段（１３ｂ）が無線受信した前記画像のデータを処理する画像処理手段（１３ｃ）とを備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）は、丸形状のマーカ（１０ａ）が形成された部位であり、
   前記画像処理手段（１３ｃ）は、
   前記画像を白黒反転して白黒反転画像を作成する白黒反転処理（Ｓ１４１）と、
   前記白黒反転画像を２値化して２値化画像を作成する２値化処理（Ｓ１４２）と、
   前記２値化画像をブロブ解析して前記マーカ（１０ａ）を抽出するマーカ抽出処理（Ｓ１４３、Ｓ１４４）と、
   前記マーカ抽出処理で抽出された前記マーカ（１０ａ）の欠損部分を補正する欠損補正処理（Ｓ１４５、Ｓ１４６）と、
   前記欠損補正処理が施された前記マーカ（１０ａ）の位置（Ｇ２）を算出する位置算出処理（Ｓ１４７）とを行うことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記欠損補正処理では、前記マーカ抽出処理で抽出された前記マーカ（１０ａ）のフェレ径（ＦＨ、ＦＶ）および重心位置（Ｇ１）を算出し、前記フェレ径（ＦＨ、ＦＶ）および前記重心位置（Ｇ１）を用いて丸形状を描画することによって、前記欠損部分を補正することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 搬送ライン（１１）上を搬送される物品に所定の作業を行う自動機（１０）の検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を検査する検査方法であって、
   前記検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影可能なカメラ（２０ａ）、および前記カメラ（２０ａ）への撮影指令信号を無線受信するとともに前記カメラ（２０ａ）が撮影した画像のデータを無線送信する無線送受信手段（２０ｂ）を有する撮影用パレット（２０）を前記搬送ライン（１１）上に搬送し、
   前記撮影用パレット（２０）が前記搬送ライン（１１）上の所定位置にある場合、前記撮影指令信号を撮影指令手段（１３ａ）で無線送信することによって、前記カメラ（２０ａ）で前記検査対象部位（１０ａ、１０ｂ）を撮影し、
   前記無線送受信手段（２０ｂ）が無線送信した前記画像のデータを画像データ受信手段（１３ｂ）で無線受信し、
   前記画像データ受信手段（１３ｂ）が無線受信した前記画像のデータを画像処理手段（１３ｃ）で処理することを特徴とする検査方法。