KR19990054208A - 자재반송장치 및 이를 이용한 자재반송방법 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 캐리어를 반송하는 자재반송장치에 설치되는 화상인식수단의 렌즈 및 공정 설비에 부착되는 위치보정용 비젼마크의 크기를 변경함으로서 웨이퍼 캐리어의 바코드 및 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식하도록 함으로서, 웨이퍼 캐리어의 바코드 인식을 위한 별도의 바코드 리더가 필요없어 설치비용을 절감할 수 있으며, 바코드 리더의 설치에 따른 공정 설비를 중지시키지 않아도 되기 때문에 생산성 저하를 방지하는 효과가 있다.

Description

자재반송장치 및 이를 이용한 자재반송방법

본 발명은 자재반송장치 및 이를 이용한 자재반송방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 설비에 별도의 바코드 인식장치를 설치하지 않고 로봇 암의 위치보정용 비젼마크(vision mark) 인식기능과 반송자재의 바코드(bar code) 인식기능을 동시에 갖는 한 화상인식장치를 구비한 자재반송장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조라인은 공정의 효율을 고려하여 베이(bay)와 룸(room)과 같은 작업공간으로 구성되어 있고, 예를 들어 베이 내에 설치된 반도체 제조설비에서 소정의 공정들이 진행된다.

이때, 베이 내에 설치된 반도체 제조설비들 사이에서의 웨이퍼 캐리어(wafer carrier)의 반송은 주로 작업자에 의해 이루어져 왔다.

하지만, 작업자로부터 발생하는 파티클로 인해 반도체 칩이 오염되었고, 이에 따라 반도체 칩의 오염을 최소화하기 위해 최근에 웨이퍼 캐리어의 반송을 자동화하기 위한 연구 개발이 활발히 진행되고 있으며, 현재 상당한 수준까지 발전하였다.

이러한 웨이퍼 캐리어의 반송 자동화는 일반적으로 저장고로부터 웨이퍼 캐리어를 꺼낸 다음, 이를 자재반송장치를 이용하여 해당 설비로 반송하는 형식으로 이루어지고 있다.

이를 보다 자세히 살펴보면, 저장고로부터 꺼내진 웨이퍼 캐리어 상에는 웨이퍼 캐리어에 관련된 정보가 담긴 바코드(bar code)가 부착되며, 바코드 인식장치가 바코드를 읽어 이를 호스트 컴퓨터에 전송하면 호스트 컴퓨터는 웨이퍼 캐리어에 관련된 정보를 해당 설비로 전송한다.

이후, 웨이퍼 캐리어는 자재반송장치에 적재되고, 자재반송장치는 기 세팅된 주행라인을 따라 이동하여 해당 설비 전면에서 정지하게 되면, 자재반송장치에 설치된 화상인식장치는 해당 설비에 부착된 위치보정용 비젼마크를 인식한다.

이어서, 인식된 정보에 의해 로봇 암의 위치가 보정되고 로봇 암에 의해 웨이퍼 캐리어가 해당 설비로 로딩되면, 설비는 호스트 컴퓨터로부터 전송된 웨이퍼 캐리어에 관련된 정보를 확인한 다음 공정을 진행한다.

그러나 이와 같은 방법에 있어서는, 시스템 에러로 인해 웨이퍼 캐리어가 해당 설비로 로딩되지 못하고 다른 설비로 로딩되는 경우, 웨이퍼 캐리어에 관련된 정보를 확인할 수 없어 공정에러가 발생하였다.

이를 해결하기 위해 최근에는 공정설비에 웨이퍼 캐리어상의 바코드를 읽는 바코드 인식장치가 설치되었다. 즉, 공정설비에 설치된 바코드 인식장치가 당해 설비의 로더에 로딩된 웨이퍼 캐리어상의 바코드를 읽으면, 바코드 정보는 당해 설비의 제어부에 입력되고, 제어부에서는 호스트 컴퓨터로부터 전송된 웨이퍼 캐리어에 관련된 바코드 정보와 일치하는지 확인한 다음 공정을 진행하였다.

그러나, 이러한 방법에 따르면, 각각의 공정설비에 설치되는 바코드 인식장치가 매우 고가이기 때문에 이에 대한 설치비용이 상승하는 문제점이 있다.

또한, 바코드 인식장치를 설치하기 위해 해당 공정설비의 작동을 중지시켜야 하기 때문에 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 바코드 인식장치를 추가로 설치하지 않고 기존의 화상인식장치를 이용하여 로봇 암의 위치 보정을 위한 위치보정용 비젼마크 인식과 웨이퍼 캐리어의 바코드 인식을 동시에 수행하는데 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조라인내의 설비 배치를 개략적으로 나타낸 배치도.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자재반송장치를 개략적으로 나타낸 사시도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 화상인식수단을 개략적으로 나타낸 사시도.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화상인식수단을 개략적으로 나타낸 사시도.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 위치보정용 비젼마크를 개략적으로 나타낸 평면도.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 자재반송장치의 화상인식수단의 촬영 과정을 나타내는 상태도.

본 발명의 일측면에 따른 자재반송장치는 반송자재를 적재하는 지지대와, 반송자재를 지지대로부터 공정 설비로 로딩하거나 공정 설비로부터 지지대로 언로딩하는 로봇 암과, 지지대 및 로봇 암을 지지하며 이동하는 주행부와, 로봇 암에 설치되어 반송자재에 부착된 바코드와 로봇 암의 위치 보정을 위해 공정 설비에 설치된 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식할 수 있는 화상인식수단으로 구성된다.

바람직하게, 화상인식수단으로 CCD 카메라가 사용될 수 있으며, CCD 카메라는 바코드와 위치보정용 비젼마크를 선명하게 촬영할 수 있는 초점거리를 갖는 렌즈와, 렌즈로부터 입사된 광의 양에 대응하여 영상신호를 출력하는 CCD 센서와, 렌즈가 분리 가능하게 결합되고 CCD 센서를 내장하는 하우징으로 이루어진다.

본 발명의 일예로 작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜인 조건에서 초점거리가 25㎜인 렌즈가 사용되며, 이때, 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm이다.

선택적으로, CCD 카메라는 렌즈의 초점거리를 더욱 미세하게 조절하기 위해 렌즈에 결합되는 연장 링을 더 포함할 수 있다. 이 경우에 작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜이고 렌즈의 초점거리는 25㎜인 조건에서 초점거리가 3㎜인 연장 링이 사용되거나 좀더 정밀한 계측을 위해 작업거리가 200㎜이고 시야면적이 52㎜이고 렌즈의 초점거리는 25㎜인 조건에서 초점거리가 3㎜인 연장 링이 사용될 수 있다.

본 발명에 다른 측면에 따르면, 웨이퍼 캐리어의 바코드로부터 제 1 바코드 정보를 판독하여 호스트 컴퓨터에 전송하고, 웨이퍼 캐리어를 자재반송장치의 지지대에 적재하여 해당 공정 설비까지 이동시킨 후, 자재반송장치의 로봇 암에 부착된 CCD 카메라를 바코드 상부에 소정 거리 대응하도록 이동시켜 바코드로부터 제 2 바코드 정보를 판독하여 호스트 컴퓨터에 전송하여 제 1 및 제 2 바코드 정보가 일치하는지를 비교 판단하며, 판단결과 일치하는 경우, CCD 카메라를 공정 설비의 위치보정용 비젼마크 상부에 소정 거리 대응하도록 이동시켜 위치보정용 비젼마크로부터 실제 좌표값을 검출하고 검출된 실제 좌표값을 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출하고 이에 따라 웨이퍼 캐리어의 로딩위치를 보정하며, 웨이퍼 캐리어를 보정된 로딩위치에 로딩한다.

이때, 소정 거리는 250㎜이고, CCD 카메라의 렌즈의 초점거리는 25㎜이며, 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 가장 바람직한 측면에 따른 자재반송장치는 웨이퍼 캐리어를 적재하는 지지대와, 웨이퍼 캐리어를 지지대로부터 공정 설비로 로딩하거나 공정 설비로부터 지지대로 언로딩하는 로봇 암과, 지지대 및 로봇 암을 지지하며 이동하는 주행부와, 로봇 암에 설치되어 반송자재에 부착된 바코드와 로봇 암의 위치 보정을 위해 공정 설비에 설치된 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식할 수 있는 CCD 카메라를 포함하며, CCD 카메라는 바코드와 위치보정용 비젼마크를 선명하게 촬영할 수 있는 초점거리를 갖는 렌즈와 렌즈로부터 입사된 광의 양에 대응하여 영상신호를 출력하는 CCD 센서와 렌즈가 분리 가능하게 결합되고 CCD 센서를 내장하는 하우징으로 이루어지고, 이때, 작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜인 조건에서 렌즈의 초점거리는 25㎜이며 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

설명의 편의상 반도체 제조라인내의 하나의 베이를 기준으로 설명하기로 한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어(51)를 반송하는 자재반송장치(60)가 배치되는 통로(11)를 따라 양측에는 다수의 공정 설비들(20)이 소정 간격으로 배치된다. 통로(11)의 일측 공간에는 저장고로부터 자재반송장치(60)로 웨이퍼 캐리어(51)를 로딩하기 위한 일련의 장비들이 배치된다.

즉, 웨이퍼 캐리어(51)를 담는 캐리어 박스를 저장하는 저장고(40)와, 저장고(40)로 이송되기 전후에 웨이퍼 캐리어(51)를 일시적으로 대기시키고 아울러 이를 인식하는 메카니칼 인터페이스 컨베이어(Mechanical Interface Conveyor, 이하 MIC라 칭함 ; 50)와, 작업자가 캐리어 박스내의 웨이퍼 캐리어(51)를 꺼내는 작업을 하는 작업대(30)가 각각 소정 위치에 배치된다.

이때, MIC(50)는 저장고(40)로부터 인출된 웨이퍼 캐리어(51)를 자재반송장치(60)에 로딩하기 위해 대기하는 출력포트(53)와 자재반송장치(60)로부터 언로딩되어 저장고(40)에 인입되기 위해 대기하는 입력포트(52)로 이루어지며, 입출력포트(52, 53)는 통상 컨베이어 벨트로 구성된다.

또한 출력포트(53)에는 자재반송장치(60)에 로딩하기 위해 대기 중인 웨이퍼 캐리어(51)에 관련된 정보를 갖는 바코드, 예를 들어 반도체 제조에 통상적으로 사용되는 바코드 39의 규정에 따라 이루어진 바코드를 인식하기 위한 바코드 인식장치(54)가 설치된다.

한편, 공정 설비(20)에는 소정의 직경을 갖는 원형마크 세 개로 구성되는 위치보정용 비젼마크(21)가 수평으로 형성된다.

이하 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 자재반송 방법 및 자재반송장치를 보다 자세히 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 자재반송장치(60)는 웨이퍼 캐리어(51)를 적재하는 지지대(62)와, 지지대(62)에 적재된 웨이퍼 캐리어(51)를 홀딩하여 공정 설비(20) 또는 MIC(50)의 입력포트(52)에 로딩하거나 공정 설비(20) 또는 MIC(50)의 출력포트(53)로부터 언로딩하는 로봇 암(63)과, 지지대(62) 및 로봇 암(63)을 지지하고 통로(11)를 왕복 주행하는 주행부(61) 및 로봇 암(63)의 위치보정용 비젼마크와 웨이퍼 캐리어(51)의 바코드를 동시에 인식할 수 있는 CCD(charge coupled device)카메라(70)를 구비한다.

이때, CCD 카메라(70)는 웨이퍼 캐리어(51)를 홀딩하는 로봇 암(63)의 홀딩부(65)의 외측에 설치되며 렌즈가 지지대(62)측을 향하도록 설치된다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 CCD 카메라(70)는 웨이퍼 캐리어(51)의 바코드(51a)와 공정 설비(20)의 위치보정용 비젼마크(21)를 동일조건하에서 선명하게 촬영할 수 있는 초점거리를 갖는 렌즈(71)와, 렌즈(71)로부터 입사된 광의 양에 대응하여 영상신호를 출력하는 CCD 센서(74) 및 렌즈(71)가 분리 가능하게 결합되고 CCD 센서(74)를 내장하는 하우징(75)으로 이루어진다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 CCD 카메라(70)가 웨이퍼 캐리어(51)의 바코드(51a)와 공정 설비(20)의 위치보정용 비젼마크(21)를 동일조건하에서 선명하게 촬영할 수 있도록 하기 위해서는 이를 위한 적절한 렌즈(71)를 선정하는 것이 중요하다.

이 같은 상황에서 렌즈(71)를 설정하기 위해 두 가지 방법을 채택할 수 있다. 즉, 바코드(51a) 인식을 정확히 할 수 있는 렌즈(71)를 선택한 후에 위치보정용 비젼마크(21)의 크기를 변경하거나, 또는 위치보정용 비젼마크(21)에 적합한 렌즈(71)를 선정한 후에 바코드(51a)의 형태를 바꿀 수 있다. 그러나 실질적으로 바코드(51a)의 형태를 바꾸는 것은 어렵기 때문에 본 발명에서는 바코드(51a) 인식을 정확히 할 수 있는 렌즈(71)를 선택한 후에 위치보정용 비젼마크(21)의 크기를 변경하는 것을 기준으로 설명한다.

종래의 CCD 카메라(70)는 초점거리가 12mm인 렌즈(71)와 1/2인치의 CCD 센서(74)를 사용하여 250mm 떨어진 위치에서 위치보정용 비젼마크(21)를 촬영할 수 있으며, 이때, 시야면적(Field Of View; 이하 'FOV'라 함)은 대략 가로 110mm 정도이다. 이는 CCD 카메라(70)가 250mm 떨어진 위치에서 12mmf의 렌즈(71)를 통해 위치보정용 비젼마크(21)를 촬영하면 가로의 크기가 110mm인 영역내에서 선명하게 촬영할 수 있는 것을 의미한다.

따라서 이러한 CCD 카메라(70)를 이용하여 바코드(51a)를 인식하는 경우, FOV가 가로 32mm의 바코드(51a)에 대해서는 정확한 초점거리가 맞지 않아 바코드(51a)를 인식할 수 없다.

본 발명에서는 바코드(51a) 인식을 정확히 할 수 있는 렌즈(71)를 선정하기 위한 조건으로 작업거리는 250㎜로 하고, 바코드(51a)의 가로가 32㎜이고 400픽셀 정도가 되어야 인식이 가능하기 때문에 이를 위해 FOV는 52㎜로 하였다. 이에 따라 초점거리가 25㎜의 렌즈가 선정된다.

또한, 선정된 렌즈(71)의 FOV 52㎜를 만족하도록 위치보정용 비젼마크(21)의 크기를 변경한다.

도 5를 참조하면, 위치보정용 비젼마크(21)는 사각의 패드(21a)상에 3개의 원형마크(21b, 21c, 21c')가 서로 동일한 거리로 이격되어 형성된다. 렌즈(71)의 FOV 52㎜를 만족하도록 패드(21a)의 가로는 52㎜이고 중앙의 원형마크(21b)는 직경이 5㎜이고, 양측 원형마크(21c, 21c')의 직경은 모두 8㎜로 설정된다.

이와 같이 구성된 자재반송장치를 이용하여 웨이퍼 캐리어를 반송하는 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, 작업자는 저장고(40)에 저장된 캐리어 박스를 인출하여 작업대(30)에 올려놓고 캐리어 박스내의 웨이퍼 캐리어(51)를 꺼내어 바코드(51a)를 부착한 후에 MIC(50)의 출력포트(53)에 놓는다.

출력포트(53)에 놓인 웨이퍼 캐리어(51)는 출력포트(53) 하부에 설치된 컨베이어에 의해 통로(11)측으로 이동하며, 이동 중에 바코드 인식장치인 바코드 리더(bar code reader ; 54)는 웨이퍼 캐리어(51)에 부착된 바코드(51a)를 읽어 바코드 정보를 호스트 컴퓨터로 전송하여 저장한다.

이어, 자재반송장치(60)는 호스트 컴퓨터로부터 웨이퍼 캐리어(51)를 반송하라는 명령을 받고, 통로(11)를 통해 MIC(50)로 접근한 후 로봇 암(63)을 이용하여 홀더부(64)로 웨이퍼 캐리어(51)를 홀딩하여 자재반송장치(60)의 지지대(62)에 로딩한 다음 통로(11)내 기 세팅된 주행라인을 따라 해당 공정 설비(20)로 이동한다.

공정 설비(20)의 전면에 위치한 자재반송장치(60)의 로봇 암(63)은 웨이퍼 캐리어(51)의 상부에 부착된 바코드(51a)에 대응하여 촬영거리가 대략 250mm인 위치로 CCD 카메라(70)를 이동시킨다.

이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, CCD 카메라(70)는 웨이퍼 캐리어(51)의 바코드(51a)를 촬영하여 영상신호를 호스트 컴퓨터에 전송하면, 호스트 컴퓨터는 영상신호에 대응하는 바코드 정보를 출력포트(53)에서 이동 중에 바코드 리더(54)에 의해 읽혀진 바코드 정보와 비교하여 동일한 웨이퍼 캐리어(51)인지의 여부를 확인한 후, 공정 설비(20)에 대한 웨이퍼 캐리어(51)의 로딩을 명령한다.

호스트 컴퓨터의 로딩명령에 따라 로봇 암(63)은 공정 설비(20)의 소정 영역에 위치한 위치보정용 비젼마크(21)에 대응하여 촬영거리가 대략 250mm를 유지하도록 위치보정용 비젼마크(21)의 상부에 CCD 카메라(70)를 위치시킨다.

CCD 카메라(70)는 위치보정용 비젼마크(21)를 촬영하여 실제 좌표값을 자재반송장치(60)의 제어부에 전송하고, 제어부에서는 저장되어 있는 기준 좌표값을 전송된 실제 좌표값과 비교하여 오차값을 산출한 다음, 이 오차값에 따라 로봇 암(63)의 웨이퍼 캐리어 로딩 위치를 보정한다.

이어 로봇 암(63)은 홀더부(65)를 통해 웨이퍼 캐리어(51)를 홀딩하여 공정 설비(20)의 로더상의 보정된 로딩 위치에 로딩한다.

이후, 로딩된 웨이퍼 캐리어(51)에 대해 공정 설비(20)는 소정의 공정을 진행한다.

이와 같이 종래에 위치보정용 비젼마크와 웨이퍼 캐리어의 바코드를 각각 CCD 카메라와 바코드 리더를 사용하여 인식하던 것을 본 발명에서는 자재반송장치에 설치된 CCD 카메라를 이용하여 공정 설비의 위치보정용 비젼마크와 웨이퍼 캐리어의 바코드를 동시에 인식할 수 있도록 하므로서 바코드 인식장치의 설치에 따른 비용을 절감할 수 있으며, 또한 바코드 인식장치의 설치에 따라 설비를 중지함으로 인해 생산성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 CCD 카메라(70)의 다른 실시예로, 도 4에 도시된 바와 같이, 렌즈(171)와 하우징(175) 사이에 렌즈(171)의 초점거리를 보다 정확하게 조절하기 위한 연장 링(extension ring; 172)을 사용할 수 있다.

즉, 일실시예에서 초점거리가 25㎜인 렌즈를 선정하였지만, 작업거리는 250㎜이고 FOV는 52㎜인 조건에서 좀더 정확히 계산하면, 초점거리는 27.4㎜가 된다. 그러나 실제 생산되는 렌즈는 어느 정도 규격화되어 있기 때문에 27.4㎜f에 가장 근접하여 생산되는 25㎜f의 렌즈가 선정되었다.

따라서 25㎜f의 렌즈를 이용하여 27.4㎜f의 렌즈의 역할을 하도록 하기 위해서는 3mmf의 연장 링(172)을 개재하여 하우징(175)에 결합된다.

이러한 조건을 갖춘 CCD 카메라(170)를 이용하여 바코드(51a)와 위치보정용 비젼마크(21)를 촬영할 경우, 작업거리가 200mm일 때 FOV는 대략 가로 55mm가 되고, 작업거리가 250mm일 대 FOV는 대략 가로 66mm가 된다. 이는 200mm 떨어진 위치에서 25mmf의 렌즈(171)를 통해 바코드(51a)와 위치보정용 비젼마크(21)를 촬영하면 가로의 크기가 55mm 영역을 선명하게 볼 수 있는 것을 의미하며, 250mm 떨어진 위치에서는 가로의 크기가 66mm의 영역을 선명하게 볼 수 있는 것을 의미한다.

이와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 CCD 카메라를 이용하는 경우에는 렌즈의 초점거리를 보다 정확하게 조절할 수 있어 바코드 및 위치보정용 비젼마크의 인식을 더욱 확실하게 할 수 있는 이점이 있다.

한편, 본 발명에서는 웨이퍼 캐리어를 반송하는 자재반송장치에 대해서 설명하고 있지만, 반도체 제조 라인내에서 사용되는 화상인식수단을 구비하는 다른 종류의 자재반송장치도 가능하다. 또한 화상인식수단으로 CCD 카메라를 예로 들었지만 다른 장치가 사용될 수 있음은 물론이다.

또한, 본 발명에서는 바코드 인식을 정확히 할 수 있는 렌즈를 먼저 선택한 후에 위치보정용 비젼마크의 크기를 변경하는 것을 예로 들어 설명하였지만, 위치보정용 비젼마크에 적합한 렌즈를 선정한 후에 바코드의 형태를 바꾸는 것도 가능하다는 것은 당연하다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 웨이퍼 캐리어를 반송하는 자재반송장치에 설치되는 화상인식수단의 렌즈 및 공정 설비에 부착되는 위치보정용 비젼마크의 크기를 변경함으로서 웨이퍼 캐리어의 바코드 및 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식하도록 함으로서, 웨이퍼 캐리어의 바코드 인식을 위한 별도의 바코드 리더가 필요없어 설치비용을 절감할 수 있으며, 바코드 리더의 설치에 따른 공정 설비를 중지시키지 않아도 되기 때문에 생산성 저하를 방지하는 효과가 있다.

Claims (13)

1. 반송자재를 반송하는 자재반송장치에 있어서,

   상기 반송자재를 적재하는 지지대와;

   상기 반송자재를 상기 지지대로부터 공정 설비로 로딩하거나 상기 공정 설비로부터 상기 지지대로 언로딩하는 로봇 암과;

   상기 지지대 및 로봇 암을 지지하며 이동하는 주행부와;

   상기 로봇 암에 설치되어 상기 반송자재에 부착된 바코드와 상기 로봇 암의 위치 보정을 위해 상기 공정 설비에 설치된 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식할 수 있는 화상인식수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 화상인식수단은 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 CCD 카메라는

   상기 바코드와 상기 위치보정용 비젼마크를 선명하게 촬영할 수 있는 초점거리를 갖는 렌즈와;

   상기 렌즈로부터 입사된 광의 양에 대응하여 영상신호를 출력하는 CCD 센서와;

   상기 렌즈가 분리 가능하게 결합되고 상기 CCD 센서를 내장하는 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
4. 제 3 항에 있어서, 작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜인 조건에서 초점거리가 25㎜인 렌즈가 사용되는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm인 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
6. 제 3 항에 있어서, 상기 CCD 카메라는 상기 렌즈의 초점거리를 더욱 미세하게 조절하기 위해 상기 렌즈에 결합되는 연장 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
7. 제 6 항에 있어서, 작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜이고 상기 렌즈의 초점거리는 25㎜인 조건에서 초점거리가 3㎜인 연장 링이 사용되는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
8. 제 6 항에 있어서, 작업거리가 200㎜이고 시야면적이 52㎜이고 상기 렌즈의 초점거리는 25㎜인 조건에서 초점거리가 3㎜인 연장 링이 사용되는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 반송자재는 웨이퍼 캐리어인 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
10. 웨이퍼 캐리어의 바코드로부터 제 1 바코드 정보를 판독하여 호스트 컴퓨터에 전송하는 단계와;

    상기 웨이퍼 캐리어를 자재반송장치의 지지대에 적재하여 해당 공정 설비까지 이동시키는 단계와;

    상기 자재반송장치의 로봇 암에 부착된 CCD 카메라를 상기 바코드 상부에 소정 거리 대응하도록 이동시켜 상기 바코드로부터 제 2 바코드 정보를 판독하여 상기 호스트 컴퓨터에 전송하는 단계와;

    상기 제 1 및 제 2 바코드 정보가 일치하는지를 비교 판단하는 단계와;

    상기 판단결과 일치하는 경우, 상기 CCD 카메라를 상기 공정 설비의 위치보정용 비젼마크 상부에 소정 거리 대응하도록 이동시켜 상기 위치보정용 비젼마크로부터 실제 좌표값을 검출하고 상기 검출된 실제 좌표값을 기준 좌표값과 비교하여 오차값을 산출하고 상기 웨이퍼 캐리어의 로딩위치를 보정하는 단계와;

    상기 웨이퍼 캐리어를 상기 보정된 로딩위치에 로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자재반송방법.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 소정 거리는 250㎜이고, 상기 CCD 카메라의 렌즈의 초점거리는 25㎜이며, 상기 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm인 것을 특징으로 하는 자재반송방법.
12. 웨이퍼 캐리어를 반송하는 자재반송장치에 있어서,

    상기 웨이퍼 캐리어를 적재하는 지지대와;

    상기 웨이퍼 캐리어를 상기 지지대로부터 공정 설비로 로딩하거나 상기 공정 설비로부터 상기 지지대로 언로딩하는 로봇 암과;

    상기 지지대 및 로봇 암을 지지하며 이동하는 주행부와;

    상기 로봇 암에 설치되어 상기 반송자재에 부착된 바코드와 상기 로봇 암의 위치 보정을 위해 상기 공정 설비에 설치된 위치보정용 비젼마크를 동시에 인식할 수 있는 CCD 카메라를 포함하며,

    상기 CCD 카메라는

    상기 바코드와 상기 위치보정용 비젼마크를 선명하게 촬영할 수 있는 초점거리를 갖는 렌즈와;

    상기 렌즈로부터 입사된 광의 양에 대응하여 영상신호를 출력하는 CCD 센서와;

    상기 렌즈가 분리 가능하게 결합되고 상기 CCD 센서를 내장하는 하우징으로 이루어지고,

    작업거리가 250㎜이고 시야면적이 52㎜인 조건에서 상기 렌즈의 초점거리는 25㎜이며, 상기 위치보정용 비젼마크는 가로의 크기가 52mm인 것을 특징으로 하는 자재반송장치.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 CCD 카메라는 상기 렌즈의 초점거리를 더욱 미세하게 조절하기 위해 상기 렌즈에 결합되는 연장 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자재반송장치.