JP3143700B2

JP3143700B2 - 位置合せ装置

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Publication number: JP3143700B2
Application number: JP18353895A
Authority: JP
Inventors: 修中川
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-06-27
Filing date: 1995-06-27
Publication date: 2001-03-07
Anticipated expiration: 2016-03-07
Also published as: JPH0917845A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、位置合せ装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】例えばＬＳＩ等の半導体デバイスの製造
工程における洗浄処理においては、従来から半導体ウエ
ハ（以下にウエハという）表面のパーティクル、有機汚
染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するた
めに洗浄処理装置が使用されており、その中でもとりわ
け、ウェット洗浄装置は、パーティクルを効果的に除去
できしかもバッチ処理が可能なため、広く普及してい
る。

【０００３】かかるウェット洗浄装置においては、所定
枚数例えば２５枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば５０枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。

【０００４】そして上記ウエハ搬送装置は、上記各洗浄
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば５０枚
のウエハを一括して同時に把持する、把持手段としての
ウエハチャックと呼ばれる把持装置を有している。この
把持装置は通常、略水平方向に突出した対向する一対の
把持部材に、把持すべきウエハの枚数に応じた複数の把
持溝が所定の間隔をおいて形成されており、上記各ウエ
ハはこれら各把持溝にその周縁部が挿入され、各把持部
材相互の接近によって、上記各ウエハは垂直状態で把持
装置に把持されるように構成されている。

【０００５】一方、ウエハの洗浄がなされる洗浄処理槽
内には、上記把持装置によって把持されて搬送されてく
る上記ウエハを保持するためのウエハボートと呼ばれる
保持具が設けられている。この保持具は、上記把持装置
によって把持された状態のウエハを一括して受け取って
保持するため、把持装置における上記把持溝に対応した
複数の保持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハ
の周縁部を垂直に受容して、上記ウエハを所定の保持位
置にて保持するように構成されている。

【０００６】したがって、上記把持装置と保持具の間で
ウエハを授受する際には、上記把持装置における把持位
置となる把持溝と、上記保持具における保持位置となる
上記保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位
置が一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウ
エハを円滑に授受することができない。

【０００７】そのため上記把持装置と保持具との間で、
事前に上記把持位置と保持位置との位置合せを行ってお
く必要がある。通常上記保持具は、洗浄処理槽内に固定
されているため、把持装置の方をＸ−Ｙ方向に調整移動
させて上記位置合せが行われている。

【０００８】そしてそのような位置合せについては、従
来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把持
して授受位置まで移動させ、作業者が把持装置の設定位
置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く耳や目で確認
しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具にお
いて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるように
位置合せしていた。

【０００９】またその他、例えば把持装置による授受位
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、上
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ず
れを検出し、その差が０になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合せを行うことが提案されてい
る。

【００１０】しかしながら前者の作業者の目や耳で確認
しながら位置合せを行う方法は、個々の作業者の技量に
負うところが多く、また人為的な誤差が皆無とは言えず
信頼性に欠ける。その上洗浄処理槽内での実際の授受の
様子を直接のぞき込むようにして確認しなければならな
いので、作業環境が悪く、調整までに多大な時間と労力
を必要としている。

【００１１】一方後者の基準位置に基づいて位置合せす
る方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の段
階で誤差が生じやすく、上記マニュアル操作の場合と同
様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態ではな
いので、その位置を検出する際に必要な距離センサを多
数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また、洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必
要があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生
じ、この点でも好ましくない。

【００１２】そこで、出願人は鋭意研究した結果、把持
装置の把持位置と保持具の保持位置との相対的位置合せ
を行う位置合せ装置を開発した（特願平６−２０４６４
１号）。この位置合わせ装置は、把持装置又は保持具に
把持又は保持することができ、しかも、簡単な装置構成
によって把持装置の把持位置と保持具の保持位置との相
対位置、つまり相対位置基準の位置合せが簡易、迅速か
つ正確に行える。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記洗
浄処理量においては、使用される処理液例えばアンモニ
ア、フッ酸、フッ硝酸等の薬液や純水等の温度が異な
り、フッ硝酸を使用する場合は例えば１６０℃の高温度
下で洗浄処理が施される。このような高温処理の場合に
は、処理槽内の保持具は高温度下におかれるが、ウエハ
の搬送側の把持装置は常温下と高温下におかれるため、
その温度差によって熱膨脹が生じ、そのため位置合せ装
置を正確にセットすることができず、結局、把持装置と
保持具の保持溝の位置合せが正確に測定できないという
問題があった。

【００１４】また、従来の位置合せ装置は、光学系の撮
像装置と画像装置を利用するため、石英製の処理槽内に
配置される保持具を例えば石英製部材にて形成する場合
には、保持具を透過した光が槽の内面で反射してしま
い、そのため画像表示が不鮮明になり正確な位置合せが
できないという問題があった。また、保持具を例えばＰ
ＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）等の不透明
な合成樹脂製部材にて形成する場合においても、槽の内
面で光が反射して画像表示が不鮮明となり、正確な位置
合せができないという問題があった。

【００１５】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、環境温度の変化や構成部材の材質等に左右されるこ
となく、把持手段の把持装置と把持手段の保持位置との
相対位置（相対基準位置）の位置合せを簡易、迅速かつ
正確に行える位置合せ装置を提供することを目的とする
ものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の位置合せ装置は、把持手段におけ
る所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を、保持手段における所定の保持位置に授受するように
構成された搬送系における、上記授受の際の上記把持位
置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置を前提
とし、上記把持手段によって把持される治具と、上記治
具に設けられ、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像
する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記
把持位置と保持位置とを同一画像表示部における同一座
標系に重ねて画像表示する表示手段とを具備し、上記治
具に、上記把持手段の把持位置を構成する把持溝に係合
する爪部を設けると共に、この爪部を異なる温度環境下
で使用される把持手段の把持溝の共通部分に係合可能に
形成してなることを特徴とする。

【００１７】請求項２に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置
を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持
され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像
手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置
と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する表示手段と、上記把持位置又は保持位
置の背部側に配置され、上記撮像手段から照射される光
の反射を防止する反射防止部材と、を具備することを特
徴とする。

【００１８】請求項３に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置
を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持
され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像
手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置
と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する表示手段と、上記把持手段の把持位置
又は保持手段の保持位置に、着脱可能に装着される不透
明性の位置決め部材と、を具備することを特徴とする。

【００１９】請求項４に記載の位置合せ装置は、把持手
段における所定の把持位置に把持された状態の複数の被
処理体を、保持手段における所定の保持位置に授受する
ように構成された搬送系における、上記授受の際の上記
把持位置と保持位置との相対位置の位置合せを行う装置
を前提とし、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持
され、上記把持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像
手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置
と保持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する表示手段とを具備し、上記把持手段の
把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決め用の表示
を施してなることを特徴とする。

【００２０】

【作用】請求項１に記載の位置合せ装置によれば、把持
手段によって把持される治具に、把持手段の把持位置を
構成する把持溝に係合する爪部を設けると共に、この爪
部を異なる温度環境下で使用される把持手段の把持溝の
共通部分に係合可能に形成することにより、常温下で使
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、把持手段における被処理体の把持位置と、治
具における保持位置とを同一の撮像装置によって同時に
撮像し、撮像されたこれら把持位置と保持位置とを同一
画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示するこ
とで、把持位置と保持位置とが位置ずれしている場合、
画像像もずれて表示される。

【００２１】したがって、上記画像をに基づいて把持位
置と保持位置とが一致するように、把持手段と保持手段
を相対的に位置調整することにより、把持位置と保持位
置との位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。

【００２２】請求項２に記載の位置合せ装置によれば、
把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配置す
ることで、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射さ
れる光の反射を防止することができ、把持位置と保持位
置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することができ
る。

【００２３】請求項３に記載の位置合せ装置によれば、
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不透明
性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段によ
って位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を撮像
することができ、把持位置と保持位置を表示手段の画像
表示部に鮮明に表示することができる。

【００２４】請求項４に記載の位置合せ装置によれば、
把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位置決
め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表示を
介して把持位置及び保持位置を撮像することができ、把
持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示
することができる。

【００２５】

【実施例】以下にこの発明の実施例を添付図面に基づい
て詳細に説明する。本実施例はこの発明の位置合せ装置
を半導体ウエハ（以下にウエハという）の洗浄処理装置
において適用した場合である。

【００２６】上記洗浄処理装置について説明すると、こ
の洗浄処理装置１全体は、図１に示すように、洗浄処理
前のウエハをカセット単位で収容する搬入部２と、ウエ
ハの洗浄処理が行われる洗浄処理部３と、洗浄処理後の
ウエハをカセット単位で取り出すための搬出部４の、３
つのゾーンによって主要部が構成されている。

【００２７】上記搬入部２には、洗浄処理前のウエハが
所定枚数、例えば２５枚収納されたカセット５を待機さ
せる待機部６と、カセット５からのウエハの取り出し、
オリフラ合せ及び枚数検出等を行うローダ部７と、外部
から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット５の
上記待機部６への搬送、及びこの待機部６と上記ローダ
７との間で、カセット５の搬送を行うための搬送アーム
８が設けられている。

【００２８】上記洗浄処理部３には、その前面側（図１
における手前側）に３つのウエハ搬送装置１１、１２、
１３、が配列されており、また上記洗浄処理部３の上方
には、上記ウエハ搬送装置１１、１２、１３によってウ
エハが取り出された後の空のカセット５を、洗浄、乾燥
処理するカセット洗浄・乾燥ライン１４が上記洗浄部３
に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ライ
ン１４へのカセットの供給は、上記ローダ部７と昇降機
構１５によって行われる。

【００２９】一方、搬出部４においても、上記昇降機構
１５と同様な昇降機構（図示せず）が設けられており、
上記洗浄・乾燥ライン１４を経た空のカセット５は、こ
の昇降機構によって搬出部４内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。

【００３０】上記洗浄処理部３には、上記ローダ部７側
から順に、上記ウエハ搬送装置１１のウエハチャック１
６を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽２１、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽２
２、上記薬液洗浄処理槽２２で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する２つの水洗洗浄処理槽２３，２
４、上記薬液洗浄処理槽２２における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽２５、上記薬液洗浄
処理槽２５で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する２つの水洗洗浄処理槽２６，２７、上記ウエハ搬
送装置１３のウエハチャック１７を、乾燥するチャック
洗浄・乾燥処理槽２８、及び上記不純物質が除去された
ウエハを、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等
で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽２９がそれぞれ配設
されている。

【００３１】そして上記薬液洗浄処理槽２２，２５は、
それぞれの洗浄処理液がオーバーフローして循環し、こ
の循環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物
が除去されるように構成されている。

【００３２】上記ウエハ搬送装置１１，１２，１３は、
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置１２の構成に
ついて、図１、図２に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置１２は、例えば５０枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材１７ａ，１７ｂによって構成さ
れたウエハチャック１７（把持手段）と、このウエハチ
ャック１７を上下方向（Ｚ方向）に昇降させると共に、
前後方向（Ｙ方向）にも移動させるＹ軸駆動機構１２ｄ
と、このＹ軸駆動機構１２ｄを備えた駆動機構１２ａを
洗浄処理部３の長手方向（Ｘ方向）に沿って移動させる
ための搬送ベース１２ｂとを有している。また上記ウエ
ハチャック１７を昇降させる際に、駆動機構１２ａから
突出、収納する摺動体は、ベローズシール１２ｃによっ
て被覆されており、洗浄処理部３内で発生したパーティ
クルがこの摺動体に直接付着しないように構成されてい
る。

【００３３】また、上記駆動機構１２ａ全体は、適宜の
調整機構（図示せず）によってその平面における中心を
軸心として、適宜の範囲で図２に示すようにθ方向にも
微調整できるように構成され、更にウエハチャック１７
の所定位置での停止、即ち位置合せを行うための、駆動
機構１２ａのＸ方向、Ｙ軸駆動機構１２ｄのＹ方向への
マニュアル調整移動が、パルスモータの制御によって自
在に行え、かつその設定位置を記憶させることが可能な
ように構成されている。

【００３４】そして上記ウエハチャック１７における各
把持部材１７ａ、１７ｂは、それぞれ図３、図４に示す
ように、それぞれ図２における往復回動矢印Ｍ、Ｎで示
されるように回動自在に構成され、更にその両端部から
下方に設けられた支持体３１，３２間の上下に、各々把
持棒３３、３４が水平方向に架設されて固定されてい
る。これら把持棒３３，３４ｆは例えば石英製部材ある
いは例えばＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケト
ン）等の合成樹脂製部材にて形成されている。

【００３５】更に上側の把持棒３３には把持溝Ｐが、下
側の把持棒３４にも把持溝Ｑが、それぞれ同一間隔の下
でそれぞれＰ₁〜Ｐ₅₀、Ｑ₁〜Ｑ₅₀までの計５０個ずつ設
けられており、把持される５０枚のウエハＷはその周縁
部が、各把持部材１７ａ、１７ｂにおける各把持棒３
３、３４における各把持溝Ｐ₁〜Ｐ₅₀とＱ₁〜Ｑ₅₀内に挿
入（係合）された状態で、各把持部材１７ａ、１７ｂが
相互に接近する方向に回動することによって、ウエハチ
ャック１７に把持されるように構成されている。

【００３６】上記各洗浄処理槽内の底部近傍には、洗浄
処理中のウエハＷを処理するためのウエハ保持手段とし
てのウエハボート４１が設けられているが、今図２ない
し図４を参照して、薬液洗浄処理槽２５内に設けられて
いるウエハボート４１について説明すると、このウエハ
ボート４１は、３本の保持棒４２，４３，４４が薬液洗
浄処理槽２５の底部近傍に長手方向（Ｙ方向）に沿って
適宜のブラケット４５を介して設置固定されている。こ
の場合、薬液洗浄処理槽２５は例えば石英製部材にて形
成され、保持棒４２，４３，４４は上記把持棒３３，３
４と同様に例えば石英製部材あるいはＰＥＥＫ等の合成
樹脂製部材にて形成されている。

【００３７】また、保持棒４２には保持溝Ｒが、中央に
位置する保持棒４３には保持溝Ｓが、そして保持棒４４
には保持溝Ｔが、それぞれ上記把持溝Ｐ，Ｑと同一間隔
の下で、それぞれＲ₁〜Ｒ₅₀，Ｓ₁〜Ｓ₅₀，Ｔ₁〜Ｔ₅₀ま
で計５０個ずつ設けられている。

【００３８】そして、ウエハ搬送装置１２のウエハチャ
ック１７で一括して把持された５０枚のウエハＷを、薬
液洗浄処理槽２５内において薬液洗浄を施す際には、ウ
エハＷを把持した状態のウエハチャック１７を駆動機構
１２ａによってウエハボート４１の真上まで移動させ、
そのままこのウエハチャック１７を薬液洗浄処理槽２５
内に下降させて、ウエハチャック１７で把持された各ウ
エハＷの周縁部をそれぞれウエハボート４１の各保持棒
４２，４３，４４における各保持溝Ｒ，Ｓ，Ｔで受容さ
せる。その後、ウエハチャック１７の把持部材１７ａ，
１７ｂを開脚させて、ウエハチャック１７を再び上昇さ
せて、薬液洗浄処理槽２５外部に後退させる。

【００３９】所定の浸漬時間が経過し、洗浄処理が終了
した後は、把持部材１７ａ，１７ｂを開脚させた状態で
ウエハチャック１７を薬液洗浄処理槽２５内に降下させ
て、ウエハＷをウエハボート４１に渡した際の位置にて
停止させ、今度はウエハボート４１で保持されている５
０枚のウエハＷの周縁部を同時に一括して、各把持部材
１７ａ，１７ｂの各把持棒３３，３４における各把持溝
Ｐ，Ｑに納め、その後各把持部材１７ａ，１７ｂを閉脚
させてこれら各ウエハＷを一括して把持し、ウエハチャ
ック１７を上昇させて、把持したウエハＷを次の洗浄処
理である水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽２４へと搬送さ
せるのである。

【００４０】なお、上記薬液洗浄処理槽２５は、図４に
示すように、開口部に溢流用の三角状切欠（図示せず）
を設けた内槽２５ａと、この内槽２５ａの開口部の外側
に位置するオーバーフロー槽２５ｂとで構成されてお
り、内槽２５ａの底部に設けられた処理液供給口２５ｃ
とオーバーフロー槽２５ｂの底部に設けられた排液口２
５ｄに接続された循環路２５ｅに吸引ポンプ２５ｆ、流
量制御弁２５ｇ、フィルタ２５ｈがそれぞれ介設されて
いる。また、内槽２５ａの底部におけるウエハボート４
１の下方には、整流板２５ｉが配置されており、処理液
供給口２５ｃから内槽２５ａ内に循環供給される処理液
を均一にウエハＷに流すように構成されている。

【００４１】以上のプロセスにおいてウエハチャック１
７とウエハボート４１との間で５０枚のウエハＷを一括
して授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック
１７側の各把持溝Ｐ₁〜Ｐ₅₀、Ｑ₁〜Ｑ₅₀と、ウエハボー
ト４１側の保持溝Ｒ₁〜Ｒ₅₀，Ｓ₁〜Ｓ₅₀，Ｔ₁〜Ｔ₅₀と
がそれぞれ正しい相対位置関係になければならない。即
ち例えば把持溝Ｐ1についていえば、把持溝Ｐ₁，Ｑ
₁と、保持溝Ｒ₁，Ｓ₁，Ｔ₁とが同一垂直面上に位置して
いなければならないのである。

【００４２】この発明はかかる場合の把持溝と保持溝と
の位置合せを行う際の位置合せ装置を具現化したもので
ある。次に、位置合せ装置の一例について図５ないし図
１４を参照して説明すると、この位置合せ装置は、上記
ウエハチャック１７の把持棒３３，３４にて把持される
位置合せ用の治具５０と、この治具５０に装着され、上
記把持溝Ｐ，Ｑと、保持溝Ｒ，Ｓ，Ｔとを同時に撮像す
る撮像装置６０（撮像手段）と、この撮像装置６０によ
って撮像された把持溝Ｐ，Ｑと、保持溝Ｒ，Ｓ，Ｔとを
同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示す
る表示手段例えばモニタ７０とで主要部が構成されてい
る。

【００４３】上記治具５０は、図５ないし図７に示すよ
うに、矩形状の支持板５１の長手方向両端部に、それぞ
れ左右水平方向に突出する載置部５２，５３を有し、ま
た、支持板５１の下面側には、上記把持溝Ｐに受容（係
合）される形状の爪部５４が例えば４箇所に設けられて
いる。なお、支持板５１の下面には図示しない光源例え
ば蛍光灯あるいは発光ダイオード等が取付けられてい
る。なおこの場合、支持板５１の長手方向の寸法は、ウ
エハチャック１７の上述の把持溝Ｐの所定間例えばＰ₄
〜Ｐ₄₇間の距離と同一に設定されている。また、各爪部
５４はそれぞれ外方水平方向にＬ字状に突出しており、
その外径寸法はウエハＷの外径と同一に設定されてい
る。また、これら各爪部５４の長手方向の間隔は、ウエ
ハチャック１７における把持溝Ｐの間隔のｎ倍例えば４
４倍に設定され、更に異なる温度環境下例えば常温下と
高温下で使用されるウエハチャック１７に対応し得るよ
うに構成されている。

【００４４】つまり、図８（ａ）に示すように、高温下
で使用されるウエハチャック１７の把持棒３２の把持溝
Ｐの間隔（ｐ2）は、把持棒３２の熱膨脹を見込んで常
温下で使用されるウエハチャック１７の把持棒３２の把
持溝の間隔（ｐ1）より予め小ピッチに設定されてい
る。そのため、常温用と高温用のウエハチャック１７の
把持棒３２の把持溝Ｐ間にピッチ誤差（Δｐ）が生じる
ため、爪部５４を常温用と高温用の両方に対応させるこ
とができないという問題が生じる。そこで、図８（ｂ）
に示すように、上記爪部５４を常温用の把持棒３２の把
持溝Ｐｎと高温用の把持棒３２の把持溝Ｐｈの共通部分
（Δｐ／２）に係合するように形成する。即ち爪部５４
を支持板５１の中心（Ｏ）から所定の間隔（ｎ）位置に
設ける場合は、爪部５４の支持板５１の中心からの位置
を、ｐ2・ｎ＋Δｐ／２の位置に設定し、その爪部５４の
形状を常温用の把持溝Ｐｎと高温用の把持溝Ｐｈの共通
部分に係合し得る形状に設定する。このように、爪部５
４を常温用の把持棒３２の把持溝Ｐｎと高温用の把持棒
３２の把持溝Ｐｈの共通部分に係合可能に形成すること
により、同一の治具を用いて把持溝Ｐ，Ｑと、保持溝
Ｒ，Ｓ，Ｔの位置合せを行うことができる。

【００４５】一方、治具５０に装着される撮像装置６０
は、取付部材６１を介して支持板５１の長手方向両端面
の中央に固定されている。この撮像装置６０には、図９
に示すように、その略直方体のケース６２内に撮像カメ
ラ６３が設けられており、この撮像カメラ６３には、例
えば２０倍の撮像倍率を有する拡大レンズ６４が設けら
れ、この拡大レンズ６４のピントが爪部５４の先端部即
ちウエハＷの外周部に合されている。また、拡大レンズ
６４の垂直下方には、４５度に傾けられたハーフミラー
６５が設けられている。このハーフミラー６５は、上記
支持板５１の中心に位置するように設定されている。そ
して、ケース６２の底面及び左側面には、例えばアクリ
ル製のビューポート６６，６７が設けられている。した
がって、撮像カメラ６３は、ビューポート６６，６７を
通じて垂直下方及び水平方向に位置する物体をそれぞれ
２０倍に拡大して、これらを同時に撮像することが可能
となっている。

【００４６】上記支持板５１に装着された２つの撮像装
置６０の各撮像カメラ６３からの画像信号は、図１０に
示すように、例えばケーブルや光ファフイバ等の信号線
７１を通じて、洗浄処理装置１外部に設置されている適
宜のミキシング装置７２に入力される。このミキシング
装置７２は画像処理機能を具備しており、処理後の画像
信号は、モニタ７０（表示手段）へと入力される。この
モニタ７０では、上記入力された画像信号に基づいて、
画面の上方（Ａ部）に支持板５１の一端側に装着された
撮像装置６０によって撮像された画像を、画面の下方
（Ｂ部）に支持板５１の他端側に装着された撮像装置６
０によって撮像された画像を、それぞれ表示するように
構成されている。

【００４７】次に、上記のように構成された位置合せ装
置を用いて把持溝Ｐ，Ｑと、保持溝Ｒ，Ｓ，Ｔとの位置
合せを行う手順について説明する。まず、図２及び図４
に示すように、上記治具５０の支持板５１をウエハチャ
ック１７の把持棒３２上に載置すると共に、把持溝Ｐに
爪部５４を係合させて把持する。かかる場合、治具５０
の長手方向の両端側に位置する爪部５４は被処理体であ
るウエハＷと同一外径寸法によって構成されており、し
かも、これら爪部５４の長手方向に沿う間隔は、上述の
ように把持溝Ｐ₄〜Ｐ₄₇までの長さと同一に設定されて
いるので、一方側の爪部５４は把持溝Ｐ₄に、他方側の
爪部５４は把持溝Ｐ₄₇に係合させることにより、この治
具５０をウエハチャック１７による通常の閉脚動作によ
って容易に把持させることが可能である。

【００４８】しかも爪部５４の把持溝Ｐへの挿入（係
合）は、単なるウエハチャック１７へセットする際の位
置合せのための動作であって、治具５０全体は、載置部
５２，５３を介して各把持棒３３によって支持されてい
るため、治具５０をセットした際にこの治具５０の荷重
によって把持溝Ｐにかかる負担は殆どないものである。

【００４９】したがって、把持溝Ｐが損傷する虞れはな
く、しかも治具５０も極めて安定した状態でウエハチャ
ック１７にセットされるものである。

【００５０】また、上記のようにして治具５０をセット
するとき、図４に示すように、薬液洗浄処理槽２５内の
例えば把持棒３３，３４の背部側に反射防止板８０を配
置する。このように、把持棒３３，３４の背部側に反射
防止板８０を配置することにより、特に把持棒３３，３
４を石英製の透明製部材にて形成した場合に把持棒３
３，３４を透過する光が薬液洗浄処理槽２５の内面で反
射して撮像装置６０の撮像画像を不鮮明にするなどの悪
影響を及ぼすのを防止することができる。なお、図４で
は反射防止板８０を薬液洗浄処理槽２５内の一方の内側
面側に配置したが、同様に他方の側にも配置すると共
に、ウエハボート４１の保持棒４２〜４４の背部側の底
面側にも配置する。

【００５１】上記のようにして治具５０のセット及び反
射防止板８０の配置を行うと時同時にモニタ７０も作動
させておく。

【００５２】そうすると、モニタ７０の画面には図１１
に示すように、その画面の上方（Ａ部）に、把持部材１
７ａ側の把持溝Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃の拡大画面が鮮明に表示
され、一方画面の下方（Ｂ部）に、把持部材１７ｂ側の
把持溝Ｐ₄₈，Ｐ₄₉，Ｐ₅₀の拡大画面がそれぞれ鮮明に表
示される。

【００５３】そして治具５０をそのように把持したま
ま、ウエハチャック１７を通常の動作と同様、ウエハボ
ート４１の真上にて薬液洗浄処理槽２５内に下降させて
いき、図４に示すように、ウエハＷをウエハボート４１
に受容させる僅か手前で停止させると、モニタ７０の画
面上方（Ａ部）には、保持溝Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃の拡大画像
が、一方、画面の下方（Ｂ部）には、保持溝Ｓ₄₈，
Ｓ₄₉，Ｓ₅₀の拡大画像がそれぞれ把持溝Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃
の拡大画像、及び把持溝Ｐ₄₈，Ｐ₄₉，Ｐ₅₀の拡大画像と
同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。

【００５４】したがって、若し上記把持溝Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ
₃と保持溝Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃及び把持溝Ｐ₄₈，Ｐ₄₉，Ｐ₅₀と
保持溝Ｓ₄₈，Ｓ₄₉，Ｓ₅₀とが各々対応してそれぞれ同一
垂直面上に位置している場合には、図１１及び図１２に
示したように、両画像は画面上完全に一致している。即
ち、ウエハチャック１７とウエハボート４１との授受の
際の相対位置が正しい関係にあることが確認できるので
ある。

【００５５】しかしながら、ウエハチャック１７とウエ
ハボート４１との授受の際の相対位置関係が、Ｘ，Ｙ，
θ方向にそれぞれずれている場合には、モニタ７０の画
面においては、それに応じて図１３に示すように、例え
ば把持溝Ｐ₂の画像に対して保持溝Ｓ₂の画像がずれて表
示される。このことによって作業者は、ウエハチャック
１７とウエハボート４１との授受の際の相対関係のずれ
が直ちに認識できる。

【００５６】そして、図１３に示すようなずれが確認さ
れると、例えばウエハ搬送装置１２の駆動機構１２ａを
適宜θ方向に調整して、まず図１４に示すようにθ方向
のずれ分を是正させる。この場合、勿論ウエハボート４
１の方を適宜θ方向に回転させてもよい。かかる操作
は、作業者がモニタ７０を見ながら容易にこれを実施す
ることが可能である。

【００５７】上記のθ方向の調整後、図１４の状態にな
れば、後はＸ，Ｙ方向のずれを矯正させればよいので、
作業者は上記と同様モニタ７０を見ながら、例えば把持
溝Ｐ₂と保持溝Ｓ₂の関係だけについていえば、把持溝Ｐ
₂と保持溝Ｓ₂の画像とが図１２に示したように両者完全
に一致するように、適宜ウエハ搬送装置１２の駆動機構
１２ａの設定位置をＸ方向、Ｙ方向に移動調整させれば
よいのである。

【００５８】かかる場合、モニタ７０に表示された画像
は、把持溝Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃と保持溝Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃及び把
持溝Ｐ₄₈，Ｐ₄₉，Ｐ₅₀と保持溝Ｓ₄₈，Ｓ₄₉，Ｓ₅₀との拡
大画像であるから、視認し易く、また一致したことの確
認も容易である。したがって、極めて簡単、迅速に、ウ
エハチャック１７とウエハボート４１との授受の際の位
置合せが実施できるものである。

【００５９】また、上記実施例においては、上記のよう
に２つの撮像装置６０によって、ウエハチャック１７と
ウエハボート４１における画像部の把持溝Ｐと保持溝Ｓ
とが、それぞれモニタ７０上で表示されているから、上
記両端部における位置ずれを検出してこれを矯正するこ
とが可能であり、極めて正確な位置合せが行えるもので
ある。

【００６０】以上のように上記実施例によれば、ウエハ
チャック１７とウエハボート４１との授受の際の相対位
置関係の、Ｘ，Ｙ，θの各方向のずれ分が直ちに認識で
き、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位置
合せが実施できるものである。しかも、そのために使用
する治具５０のウエハチャック１７への装着も簡単かつ
確実であって装置構成自体も簡易な構成となっている。

【００６１】なお、ウエハチャック１７とウエハート４
１の相対位置関係は、作業者によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置６０からの信号を、ミキシング装置７
２、モニタ７０へ送るだけでなく、図１に示すように、
ウエハ搬送装置１１，１２，１３を含む洗浄処理装置１
全体を制御する中央演算処理装置９０（ＣＰＵ）にも入
力する。そしてこのＣＰＵ９０において、把持溝Ｐ、保
持溝Ｓの画像を比較し、画像像のずれを修正するよう
に、ウエハチャック１７、更に必要であれば、ウエハボ
ート４１を制御駆動することにより、自動的に両者の相
対位置調整を実施することができる。

【００６２】また、上記実施例においては、画像を拡大
するための拡大レンズ６４を、上記撮像カメラ６３に設
けた構成について説明したが、必ずしもこのような構成
である必要はなく、各ビューポート６６，６７側にかか
る拡大機能をもたせるようにしてもよい。

【００６３】ところで、上記ウエハチャック１７が、下
降してウエハボート４１に対してウエハＷを授受する位
置まで移動する場合、ウエハチャック１７のウエハボー
ト４１に対するＺ方向の位置、即ち授受の際のウエハチ
ャック１７の高さも正確な授受にとっては重要である。

【００６４】そこで図１５に示すように、治具５０Ａに
おける支持板５１の中央に、開口部５５を設け、この開
口部５５の上方における開口部５５の周縁部に取付部材
５６を介して距離センサ５７を支持する。この距離セン
サ５７は、例えば光学系センサによって構成されてお
り、発光部と受光部とを有し、発光部から発光された例
えばレーザ光などの検出光が他物に反射して返ってきた
場合、この反射光を受光部で受光することによって、こ
の他物までの距離を検出することが可能なように構成さ
れている。そしてこの距離センサ５７の検出信号は、例
えばモニタ７０へ入力され、モニタ７０によって距離セ
ンサ５７が検出する距離を確認できるようになってい
る。

【００６５】上記のように構成される治具５０Ａを用い
る場合には、適宜の反射板（図示せず）を予めセットし
ておく。後は上記治具５０と同様、ウエハチャック１７
にセットして用いればよい。そうすると、この治具５０
Ａによれば、支持板５１の中央の開口部５５を通して距
離センサ５７が、上記反射板との間の距離を常時検出
し、かつ、この距離がモニタ７０によって常時表示され
ているので、ウエハチャック１７の所定の高さ、即ちウ
エハボート４１に対するウエハチャック１７のＺ方向の
位置を確認することができる。

【００６６】また、上記実施例では、ウエハチャック１
７の把持棒３３に載置されされる支持板５１と把持溝Ｐ
に係合する爪部５４を有する治具５０の両端にそれぞれ
撮像装置６０を設けた構成について説明したが、このよ
うな治具５０に代えて、図１６に示すような、治具５０
Ｂを用いてもよい。

【００６７】上記治具５０Ｂは、ウエハＷと同一径、同
一厚みを有する支持円板５８ａ，５８ｂの周縁部に上述
したような常温用と高温用のウエハチャック１７の把持
溝Ｐの共通部分に係合する爪部５４ａを形成し、そして
両支持円板５８ａ，５８ｂを２本の連結棒５８ｃを介し
て一体化させ、各支持円板５８ａ，５８ｂが平行に対向
するように構成されている。なお各支持円板５８ａ，５
８ｂの間の長さは、上記把持溝Ｐ間の適宜距離例えばＰ
₄〜Ｐ₄₇間の距離と同一に設定されている。

【００６８】そして、各支持円板５８ａ，５８ｂの外側
には、上記撮像装置６０が固定されている。この撮像装
置６０に設けられる撮像カメラのピントは各支持円板５
８ａ，５８ｂの周縁部に合されている。また、撮像装置
６０に設けられたハーフミラー（図示せず）は、各支持
円板５８ａ，５８ｂの中心に位置するように設定されて
いる。

【００６９】このような構成にかかる治具５０Ｂを用い
て位置合せする場合も、上記実施例の治具５０と同様、
まず、治具５０Ｂをウエハチャック１７にセットさせる
のであるが、この場合、ウエハチャック１７の各把持部
材１７ａ，１７ｂを開脚させ、治具５０Ｂをセットした
後、把持部材１７ａ，１７ｂを閉脚して支持円板５８ａ
の周縁の爪部５４ａを把持溝Ｐ₄，Ｑ₄に、支持円板５８
ｂの周縁の爪部５４ａを把持溝Ｐ₄₇，Ｑ₄₇に挿入させ
て、治具５０Ｂをウエハチャック１７にて把持すること
ができる。

【００７０】また、上記のように一対の支持円板５８
ａ，５８ｂを有する治具５０Ｂを用いる場合には、ウエ
ハボート４１に対してウエハチャック１７のＺ方向の所
定位置を確認するため、図１７に示すように、治具５０
Ｂをウエハボート４１の側にセットしてもよい。この場
合には、撮像装置６０は、ビューポート６６を介して、
常時ウエハボート４１の保持棒４３の保持溝Ｓを撮像し
ているが、ウエハチャック１７の把持棒３３側の把持溝
Ｐについては、ビューポート６７の視野に入ってこない
限り、撮像されない。換言すれば、ウエハチャック１７
が所定の高さまで下降してはじめてビューポート６７を
通して撮像され、モニタ７０に表示されるのである。そ
して、所定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各
把持溝Ｐ、保持溝Ｓが重なる。したがって、この方法に
よっても、ウエハチャック１７のＺ方向の所定位置を確
認することができる。

【００７１】なお、上記実施例では、把持溝Ｐ，Ｑ及び
保持溝Ｒ，Ｓ，Ｔの撮像画像を鮮明にするために、薬液
洗浄処理槽２５内における把持棒３３，３４の背部側及
び保持棒４２〜４４の背部側に反射防止板８０を配置す
る場合について説明したが、この反射防止板８０に代え
てあるいは反射防止板８０と共に、例えば図１８に示す
ように、把持棒３３，３４の把持溝Ｐ，Ｑ又は保持棒４
２〜４４の保持溝Ｒ〜Ｔに、位置決め部材８１を着脱可
能に装着してもよい。この位置決め部材８１は、把持溝
Ｐ，Ｑあるいは保持溝Ｒ〜Ｔに係合する位置決め部８１
ａを適宜間隔即ち溝のピッチに合致する間隔をおいて設
けた梯子状の不透明性の例えば合成樹脂製部材にて形成
されている。このように上記把持溝Ｐ，Ｑ及び保持溝Ｒ
〜Ｔに位置決め部材８１を装着して上述のように撮像装
置６０の撮像カメラ６３で撮像を行うことにより、位置
決め部材８１の位置決め部８１ａを撮像して、その画像
をモニタ７０に鮮明に表示することができるので、更に
正確な位置合せを行うことができる。

【００７２】また、上記位置決め部材８１の使用に代え
て、図１９に示すように、把持溝Ｐ，Ｑ及び保持溝Ｒ〜
Ｔ（図面では把持溝Ｐを代表して示す）の底部に位置決
め用の表示８２を施してもよい。この表示８２は、例え
ば耐薬品性、耐熱性及び耐剥離性を有する塗料等にて施
される。このように把持溝Ｐ，Ｑ及び保持溝Ｒ〜Ｔの底
部に位置決め用の表示を施すことにより、上記位置決め
部材８１を用いたと同様に、表示８２を撮像装置６０の
撮像カメラ６３で撮像して、その画像をモニタ７０に鮮
明に表示することができるので、正確な位置合せを行う
ことができる。

【００７３】更に、上記位置決め部材８１や表示８２に
代えて、図２０に示すように、把持溝Ｐ，Ｑ及び保持溝
Ｒ〜Ｔ（図面では把持溝Ｐを代表して示す。）の溝間の
山の部分に位置決め用の表示８３を施してもよい。な
お、この表示８３は、例えば耐薬品性、耐熱性及び耐剥
離性を有する塗料等にて施すことができる他、直接母材
を切削することにより形成する表示でもよい。

【００７４】また、上記各実施例で使用した撮像装置６
０においては、１の撮像カメラ６３で２つの方向にある
物体を同時に撮像するために、ハーフミラー６５を使用
したが、これに代えて例えば図２１に示すように、プリ
ズム６８を使用しても、同一の作用効果が得られる。即
ち撮像カメラ６３からの光路を分割することが可能であ
る。この場合、プリズム６８の形状を変更したり、他の
光学素子を組み合せることにより、直角でない角度で位
置する２つの物体に対して、撮像カメラ６３からの光路
を適当に分割することができる。即ち、撮像カメラ６３
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク１７とウエハボート４１との位置合せに際して、例え
ば把持棒３４の把持溝Ｑと、保持棒４２又は４３の保持
溝Ｒ又はＴとを使用することが可能になる。

【００７５】更に、上記各実施例においては、撮像装置
６０における１の撮像カメラ６３で把持溝Ｐと保持溝Ｓ
とを同時に撮像するようにしたが、勿論図２２に示すよ
うに、２つの撮像カメラ６３ａ，６３ｂを例えば支持円
板５８ａ，５８ｂに取付け、把持溝Ｐは撮像カメラ６３
ａで、保持溝Ｓは撮像カメラ６３ｂでそれぞれ別個に撮
像し、その画像信号をミキシング処理して、モニタ７０
上で重ねて表示するようにしても上記各実施例と同様な
作用効果が得られる。

【００７６】なお、上記実施例は、ウエハの洗浄処理装
置におけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ
ボートとの間の搬送系に適用した場合について説明した
が、この発明の位置合せ装置はこれに限らず、把持手段
における所定の把持位置に把持された状態の複数の被処
理体を、保持手段における所定の保持位置に授受するよ
うに構成された搬送系において、上記把持位置と保持位
置との相対位置の位置合せを実施する装置において適用
可能である。

【００７７】

【発明の効果】

１）請求項１記載の位置合せ装置によれば、常温下で使
用される所定のピッチの把持溝を有する把持手段と、高
温度下で使用される予め熱膨張を考慮した小ピッチの把
持溝を有する把持手段のいずれにも治具をセットするこ
とができ、また把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受する際の、把持位置と保持位置との相
対位置の位置合せを簡単かつ正確に行うことができる。

【００７８】２）請求項２に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持位置又は保持位置の背部側に反射防止部材を配
置するので、撮像手段から把持位置及び保持位置に照射
される光の反射を防止することができ、把持位置と保持
位置を表示手段の画像表示部に鮮明に表示することがで
き、上記１）に加えて更に正確に位置合せを行うことが
できる。

【００７９】３）請求項３に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、不
透明性の位置決め部材を装着することにより、撮像手段
によって位置決め部材を介して把持位置及び保持位置を
撮像することができるので、把持位置と保持位置を表示
手段の画像表示部に鮮明に表示することができ、上記
１）に加えて更に正確に位置合せを行うことができる。

【００８０】４）請求項４に記載の位置合せ装置によれ
ば、把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位
置決め用の表示を施すことにより、撮像手段によって表
示を介して把持位置及び保持位置を撮像することができ
るので、把持位置と保持位置を表示手段の画像表示部に
鮮明に表示することができ、上記１）に加えて更に正確
に位置合せを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の位置合せ装置を適用する半導体ウエ
ハの洗浄処理装置を示す斜視図である。

【図２】この発明における治具の一例を使用したウエハ
チャックを示す斜視図である。

【図３】この発明における撮像装置がウエハチャック側
の把持溝とウエハボート側の保持溝とを同時に撮像して
いる状態を示す斜視図である。

【図４】この発明の実施例における撮像装置がウエハチ
ャック側の把持溝とウエハボート側の保持溝を同時に撮
像している状態を示す概略断面図である。

【図５】この発明における治具の一例を示す斜視図であ
る。

【図６】上記治具をウエハチャックにセットした状態の
概略正面図である。

【図７】上記治具をウエハチャックにセットした状態の
概略平面図（ａ）及びそのＡ−Ａ線に沿う拡大断面図
（ｂ）である。

【図８】異なる温度環境下で使用されるウエハチャック
の把持溝を示す概略断面図（ａ）及び両把持溝に適用さ
れる状態を示すこの発明における爪部の要部断面図
（ｂ）である。

【図９】この発明における撮像装置の一例を示す断面図
である。

【図１０】この発明における撮像装置とモニタとの関係
を示す概略構成図である。

【図１１】モニタ上に表示されたウエハチャック側の把
持溝の画像を示す説明図である。

【図１２】把持溝と保持溝とが正しい相対位置関係にあ
るときのモニタ上に表示された画像の部分拡大図であ
る。

【図１３】把持溝と保持溝とがＸ，Ｙ，θ方向にそれぞ
れ位置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の
部分拡大図である。

【図１４】把持溝と保持溝とがＸ，Ｙ方向にそれぞれ位
置ずれしているときのモニタ上に表示された画像の部分
拡大図である。

【図１５】距離センサを具備する他の治具の例を示す斜
視図である。

【図１６】更に他の治具を示す斜視図である。

【図１７】図１６に示す治具をウエハボートにセットし
た状態を示す概略断面図である。

【図１８】この発明における位置決め部材の取付け状態
を示す斜視図である。

【図１９】この発明における位置決め用表示を示す概略
平面図（ａ）及びその要部拡大断面図（ｂ）である。

【図２０】この発明における別の位置決め用表示を示す
斜視図である。

【図２１】プリズムを採用した撮像装置の概略断面図で
ある。

【図２２】個別撮像用の撮像カメラを具備した治具を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１７ウエハチャック（把持手段）４１ウエハボート（保持手段）５０，５０Ａ，５０Ｂ位置合せ用治具５４，５４ａ爪部６０撮像装置（撮像手段）７０モニタ（表示手段）８０反射防止板８１位置決め部材８２，８３位置決め用表示Ｗ半導体ウエハ（被処理体）Ｐ，Ｑ把持溝Ｒ，Ｓ，Ｔ保持溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＧ０６Ｔ 7/00 Ｇ０６Ｆ 15/62 ４０５Ｃ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/304 B23Q 3/18 G06T 7/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持位置と保持位置との相対位
置の位置合せを行う装置において、上記把持手段によって把持される治具と、上記治具に設けられ、上記把持位置と保持位置とを同時
に撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段とを具備し、上記治具に、上記把持手段の把持位置を構成する把持溝
に係合する爪部を設けると共に、この爪部を異なる温度
環境下で使用される把持手段の把持溝の共通部分に係合
可能に形成してなることを特徴とする位置合せ装置。
【請求項２】把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持位置と保持位置との相対位
置の位置合せを行う装置において、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段と、上記把持位置又は保持位置の背部側に配置され、上記撮
像手段から照射される光の反射を防止する反射防止部材
と、を具備することを特徴とする位置合せ装置。
【請求項３】把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持位置と保持位置との相対位
置の位置合せを行う装置において、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段と、上記把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、着
脱可能に装着される不透明性の位置決め部材と、を具備することを特徴とする位置合せ装置。
【請求項４】把持手段における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を、保持手段における所定
の保持位置に授受するように構成された搬送系におけ
る、上記授受の際の上記把持位置と保持位置との相対位
置の位置合せを行う装置において、上記把持手段又は保持手段に把持又は保持され、上記把
持位置と保持位置とを同時に撮像する撮像手段と、上記撮像手段によって撮像された上記把持位置と保持位
置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像
表示する表示手段とを具備し、上記把持手段の把持位置又は保持手段の保持位置に、位
置決め用の表示を施してなることを特徴とする位置合せ
装置。