JP2002124556A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業空間が少ない場所において、正確なティ
ーチングを行うことを可能とさせると共に作業効率を向
上させ、作業者の安全性を確保することが可能なウエハ
搬送装置を提供する。 【解決手段】 予め記憶されたデータに基づきウエハ保
持具２６を移動経路に沿って移動させて、ウエハ保持具
２６により保持されたウエハをステージ１８上の目標位
置まで搬送するウエハ搬送装置２２が、ウエハ保持具２
６がステージ１８上の予め定められた位置まで移動した
ときにステージ１８上の目標位置とウエハ保持具２６の
位置との位置関係を検出するための検出手段４２を具備
し、この検出手段４２により検出された検出結果に基づ
いてウエハ保持具２６の位置がステージ１８上の目標位
置に整列するように移動経路のデータを修正できるよう
になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハをウエハ支
持台上の目標位置に搬送するためのウエハ搬送装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣなどの半導体製品を製造する過程に
おける半製品であるウエハには、その表面にエッチング
などの技術を用いて回路パターンが形成され、ウエハ上
での回路パターンの配置、位置決めのために、オリフラ
（ウエハの周縁上に設けられた平坦部）やノッチなどの
位置決め目印が周縁部に設けられている。表面に回路パ
ターンが形成されたウエハに対しては回路パターンなど
の欠陥に関するチェックのために検査が行われ、この際
に検査を自動で行う半導体検査装置が使用される。

【０００３】半導体検査装置は、一般に、ウエハを収容
するカセットと、検査に先立って主としてウエハの向き
（位置決め目印の回転位置、すなわち回路パターンの方
向）を位置合わせするためのプリアライナと、ウエハが
載置されるステージを備えた撮像検査装置と、カセット
とプリアライナとステージとの間でウエハを搬送するウ
エハ搬送装置とを含んでいる。ウエハへのゴミの付着を
防ぐために、ウエハ搬送装置としては、ウエハとの接触
面を少なくできるフォーク型ハンドを有するタイプが使
用されることが多い。このような半導体検査装置では、
ウエハ搬送装置によってカセットからウエハが取り出さ
れてプリアライナに搬送され、搬送されたウエハがオリ
フラやノッチなどの位置に基づきプリアライナによって
予め定められたＸＹ軸方向の位置及び向きに位置合わせ
される。その後、ウエハが、プリアライナと撮像検査装
置のステージとの間で一定の位置関係（向きを含む）を
維持するように、すなわち予め定められた距離及び角度
だけＸＹ方向移動及び回転するように、ウエハ搬送装置
によって搬送される。ウエハ搬送装置に対してこのよう
な予め定められた動作を行わせるためには、ティーチン
グすなわち教示を行う必要がある。従来は、このティー
チングの際に位置の確認を作業者の目視によって行って
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】半導体検査装置は、取
り扱う製品が塵埃などの異物の付着により不良品となる
ことを防止するべく半導体検査装置内に塵埃などの異物
が侵入することを極力防ぐために、周囲を密閉性の高い
ハウジングなどで取り囲んでいることが多い。ところ
が、撮像検査装置すなわちステージが密閉性の高いハウ
ジングで取り囲まれている場合には、ハウジング内、特
にステージの周囲には十分な空間がなく、ウエハ搬送装
置のティーチングを行う際に、ウエハ搬送装置のウエハ
保持具とステージとの位置関係を目視で確認することが
困難となる。したがって、ウエハがステージ上で所望さ
れる位置からズレた位置に配置される恐れが生じる。な
お、ここで使用される「位置」は、ウエハのＸＹ軸方向
の位置及び位置決め目印によって判断し得るウエハの回
転位置（角度）を含んでいる。上記の位置に関するズレ
はステージを移動又は回転させることによって補正する
ことが可能であるが、この補正のための動作を行うこと
で、撮像検査装置のスループット（処理速度）を低下さ
せる問題を生じさせてしまう。

【０００５】また、ウエハ保持具とステージとの位置関
係の目視による確認をより正確に行うためには、可動装
置が設置されているハウジング内の狭い空間でステージ
の近くまで作業者が頭を近づけねばならず、作業性や万
一可動装置が動き出した場合などの作業者の安全性に関
する問題も存在する。よって、本発明の目的は、上記従
来技術に存する問題を解消して、作業空間が少ない場所
において正確なティーチングを行うことを可能とさせる
ウエハ搬送装置を提供することにある。

【０００６】また、本発明は、作業空間が少ない場所に
おけるティーチング作業において、作業効率を向上させ
ると共に、作業者の安全性を確保することが可能なウエ
ハ搬送装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的に鑑
み、ウエハ保持具の移動経路を指示するデータを予め記
憶しておき、該データに基づき前記ウエハ保持具を前記
移動経路に沿って移動させて、前記ウエハ保持具により
保持されたウエハをウエハ支持台上の目標位置まで搬送
するウエハ搬送装置において、前記ウエハ保持具がウエ
ハ支持台上の予め定められた位置まで移動したときに前
記ウエハ支持台上の前記目標位置と前記ウエハ保持具の
位置との位置関係を検出するための検出手段を具備し、
該検出手段により検出された検出結果に基づいて前記ウ
エハ保持具の位置が前記ウエハ支持台上の目標位置に整
列するように前記データを修正する構成を有したウエハ
搬送装置を提供する。

【０００８】上記ウエハ搬送装置において、好ましく
は、前記ウエハ支持台に複数の目標点を定め、前記ウエ
ハ保持具に前記目標点の各々に対応する複数の目標対応
点を定め、前記検出手段が前記目標点と前記目標対応点
との位置関係を検出し、該検出手段により検出された検
出結果に基づいて、前記目標点と前記目標対応点とが整
列するように前記データを修正するようにする。さらに
好ましくは、前記目標点と前記目標対応点の一方に発光
器及び受光器を備えた光学センサを設け、他方に反射体
を設ける。

【０００９】上記のようにウエハ保持具の位置とウエハ
支持台上の目標位置との位置関係を検出する検出手段を
備えることによって、作業者は目視によらずに、ウエハ
保持具の位置がウエハ支持台上の目標位置とが整列した
こと又はウエハ保持具の位置と目標位置とのずれ量を検
出することができるようになる。また、精度のよいセン
サなどを検出手段として使用し得るので、作業者の差な
どに依存せず、目視と比較してより正確で均質なウエハ
保持具の位置決めを行うことが可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施態様を説明する。なお、半導体検査装置に本発明のウ
エハ搬送装置を適用した場合を例に本発明を説明してい
るが、クリーン度を保つために十分なスペースの確保が
困難である半導体製造装置など他の任意の装置で使用さ
れる搬送装置に対して本発明を適用することも可能であ
る。

【００１１】図１は、ウエハ搬送装置を備えた半導体検
査装置の概略構成図であり、図２は図１のウエハ搬送装
置の詳細図である。図１を参照すると、半導体検査装置
１０は、未検査又は検査済みのウエハ１２を収容するた
めのカセット１４と、ウエハ１２を検査するに先立って
ウエハ１２を所定の位置に位置合わせするためのプリア
ライナ１６と、プリアライナ１６によって予め位置合わ
せされたウエハ１２が載置されるステージ１８を含んだ
撮像検査装置２０と、カセット１４からプリアライナ１
６まで、プリアライナ１６からステージ１８まで、又は
ステージ１８からカセット１４までウエハ１２を搬送す
るウエハ搬送装置２２とを含んでいる。

【００１２】プリアライナ１６は、水平面内に定義され
る互いに垂直なＸＹ軸に沿ったウエハ１２の位置やウエ
ハ１２の回転方向の位置を予め定められた位置に合わせ
るためのものである。ウエハ１２の回転方向の位置すな
わち回転位置は例えばウエハ１２に設けられたオリフラ
やノッチなどの位置決め目印２４に基づいて判断され
る。

【００１３】なお、本願では、ウエハ１２の回転位置と
は位置決め目印２４に基づいて判断されるウエハ１２の
向き、すなわち基準方向からの回転角度を意味するもの
とする。また、本願では、特に限定しない限り、用語
「位置」は、ＸＹ軸方向の位置及び回転位置を含むもの
とする。撮像検査装置２０は、ウエハ１２の位置決め目
印２４の位置などを参考にしてステージ１８上に載置さ
れたウエハ１２の位置を予め定められた位置に整列させ
た後、撮像装置（不図示）を使用してウエハ１２の検査
を行う。

【００１４】したがって、半導体検査装置１０の高速化
のためには、撮像検査装置２０においてウエハ１２の整
列に要する時間を短くすることが重要になる。そのため
には、ウエハ搬送装置２２がプリアライナ１６で所定の
位置に予め位置合わせされたウエハ１２を予め定められ
た位置関係で正確に撮像検査装置２０のステージ１８上
の目標位置に載置し、ステージ１８上で再度所定の位置
（すなわち目標位置）にウエハ１２の位置合わせをする
必要をなくすことが求められる。ここで、「目標位置」
とは、その位置にウエハ１２が載置されたときに検査に
先立つウエハ１２の位置合わせが実質的に不要となる位
置を意味する。

【００１５】ウエハ搬送装置２０は、ウエハ１２を保持
するウエハ保持具２６と、制御装置２８から指示される
移動経路に沿ってウエハ保持具２６を移動させる移動体
３０とを含んで成る。移動経路を指示するデータは制御
装置２８に予め記憶されており、このデータはティーチ
ングすなわち教示を行うことによって随時書き換えるこ
とが可能である。ウエハ保持具２６は、ウエハ１２への
ゴミなどの異物の付着を防ぐべくウエハ１２との接触面
積を少なくするために、図１及び図２に示されているよ
うなフォーク型ハンドであることが好ましい。さらに、
図１及び図２に示されているウエハ搬送装置２２では、
ウエハ保持具２６と移動体３０との間に複数の節からな
るアーム３２が設けられている。

【００１６】制御装置２８は、ウエハ保持具２６の移動
経路を指示するデータを予め記憶しており、このデータ
に基づいて移動体３０がウエハ保持具２６を移動経路に
沿って移動させ、ウエハ保持具２６により保持されたウ
エハ１２をウエハ支持台であるステージ１８上の目標位
置まで搬送させる。ウエハ搬送装置２２のウエハ保持具
２６がウエーハ支持台であるステージ１８上の目標位置
に正確に位置決めされるようにティーチングによって移
動経路のデータを記憶させることで、ウエハ搬送装置２
２は、ウエハ１２をステージ１８上の目標位置に載置す
ることができるようになり、ステージ１８に回転及びＸ
Ｙ軸方向の移動を実質的にさせることなく、ウエハ１２
の検査を実施できる状態となるので、半導体検査装置１
０の高速化が達成される。

【００１７】ところが、撮像検査装置２０は、検査され
るウエハ１２へのゴミなどの異物の付着による不良品化
を防止するために、ウエハ搬送装置２２によってウエハ
１２を搬出入するための通過口３４を除いてほぼ密閉さ
れたハウジング３６で取り囲まれている。また、ステー
ジ１８のすぐ上方にはウエハ１２の画像を取得するため
の撮像装置（不図示）が配置されている。したがって、
ウエハ１２が載置されるべきステージ１８上の目標位置
の近傍には十分な空間が存在せず、ウエハ保持具２６の
位置とステージ１８上の目標位置との整列を目視によっ
て確認してティーチングを行うことは困難である。

【００１８】そこで本発明のウエハ搬送装置２２は、制
御装置２８に予め記憶されているデータに基づいてウエ
ハ保持具２６が移動経路に沿ってステージ１８上の予め
定められた位置（目標位置の近傍）まで移動したとき
に、ウエハ１２をステージ１８上に載置してもステージ
１８によるウエハ１２の位置の再調整が必要とならない
ステージ１８上の目標位置とウエハ保持具２６の位置と
の位置関係を検出するための検出手段を備えている。こ
れら検出手段は、ステージ１８に設けられた複数の目標
点と、ウエハ保持具２６に設けられた複数の目標対応点
とにそれぞれ設けられる。以上の構成により、本発明の
ウエハ搬送装置２２は、正確なティーチングを行うこと
が可能となっている。

【００１９】図３及び図４は、それぞれ、本発明のウエ
ハ搬送装置２２で使用されるウエハ保持具２６の第一及
び第二の実施態様を示している。図３及び図４に示され
ているウエハ保持具２６は、ティーチングを行うに際し
てウエハ１２の保持に使用するウエハ保持専用ウエハ保
持具と交換してウエハ搬送装置２２のアーム３２に取り
付けられるティーチング専用ウエハ保持具として形成さ
れてもよく、また実際にウエハ１２の保持にも使用し得
るティーチング兼用ウエハ保持具として形成されてもよ
い。しかしながら、上記で説明したように、半導体検査
装置１０では、ウエハ１２への異物の付着を防止するた
めに、ウエハ保持具２６とウエハ１２との接触面積を極
力減らす傾向にあり、ウエハ保持具２６のフィンガ（指
部）３８は細いことが多く、後述するセンサなどの検出
手段を設置することが困難であるため、本発明で使用す
るウエハ保持具２６はティーチング専用のものとして形
成されることが好ましい。したがって、以下では、図３
及び図４に示されているウエハ保持具がティーチング専
用ウエハ保持具２６であるとして説明する。

【００２０】図３及び図４に示されているティーチング
専用ウエハ保持具２６は、実際の検査時に使用される図
１及び図２に示されているタイプのウエハ保持具２６と
交換可能である。したがって、工場における半導体検査
装置１０の組立調整時のみならず、ウエハ１２が撮像検
査装置２０のステージ１８上の目標位置に正確に載置さ
れるように工場出荷時に調整されたウエハ保持具２６の
移動経路（ＸＹ方向の移動及び移動体を中心とした回転
を含む）に再度の調整、修正が必要となるとき、例えば
撮像検査装置２０とウエハ搬送装置２２を分割して出荷
したときや半導体検査装置１０の動作に異常が生じたと
きに、ウエハ保持専用ウエハ保持具２６と交換してウエ
ハ搬送装置２２のアーム３２に取り付けることができ
る。

【００２１】図３に示されている第一実施態様のウエハ
保持具２６は、先端部が二股に分岐しているフォーク形
状をしており、その先端部のフィンガ３８は図１及び図
２に示されているウエハ保持具２６よりも幅及び厚さが
大きくなっている。そして、ウエハ支持台であるステー
ジ１８上の目標位置との位置関係を検出するために、フ
ィンガ３８の先端部及びフィンガ３８の分岐部に定めら
れた目標対応点にそれぞれ第一検出手段４２が設けら
れ、ウエハ保持具２６のこれら第一検出手段４２と対応
してステージ１８上に定められた目標点に第二検出手段
４４が設けられている。

【００２２】ステージ１８上の第二検出手段４４は、ウ
エハ保持具２６の第一検出手段４２の位置がステージ１
８上の第二検出手段４４の位置と整列したときに、ウエ
ハ保持具２６がステージ１８上の目標位置に位置決めさ
れるように、配置されている。また、ウエハ保持具２６
にとってのステージ１８上の目標位置は、ウエハ保持具
２６が予め記憶されたデータに基づいた移動経路に沿っ
てステージ１８上のその位置に到達したときに、ウエハ
保持具２６によって保持されるウエハ１２が位置調整を
実質的に必要としない位置に載置されるように定められ
る。

【００２３】図３に示されているウエハ保持具２６の第
一実施態様では、第一検出手段４２として投光器及び受
光器を備えた３つの光学センサが使用され、第二検出手
段４４としてウエハ１２の昇降に使用するためのリフト
ピンを設定し、３つの光学センサによって３つのリフト
ピンをそれぞれ検出するようにしている。なお、ウエハ
保持具２６がステージ１８上の目標位置に位置決めされ
るとき、ウエハ保持具２６の３つの第一検出手段４２と
ステージ１８の３つの第二検出手段４４（リフトピン）
とがそれぞれ上下方向に対向するように、第一検出手段
４２及び第二検出手段４４の各々が配置されている。目
標位置を定める目標点が同一平面内に３つ配置されてい
るので、ステージ１８上の目標点（第一検出手段の位
置）とウエハ保持具２６の目標対応点（第二検出手段の
位置）とが整列すれば、ウエハ保持具２６はステージ１
８上でそのＸＹ軸方向の位置及び回転位置を定められる
ことになる。

【００２４】図４に示されている第二実施態様のウエハ
保持具２６は、細長い板状の本体４６から下方に延びる
１つの脚部４８を備えた下駄形状をしており、その脚部
４８及び板状本体４６の先端部に定められた目標対応点
にそれぞれ１つずつ第一検出手段４２ａ、４２ｂが設け
られ、これら第一検出手段４２ａ、４２ｂと対応するよ
うに、撮像検査装置２０のウエハ支持台であるステージ
１８にはその側面とステージ上面の中央部とに目標点と
して定められた位置にそれぞれ第二検出手段４４ａ、４
４ｂが設けられている。なお、ウエハ保持具２６の位置
がステージ１８上の目標位置と整列しているとき、ウエ
ハ保持具２６の脚部４８の第一検出手段４２ａとステー
ジ１８の側面の第二検出手段４４ａとが水平方向に対向
し、ウエハ保持具２６の板状本体４６の先端部の第一検
出手段４２ｂとステージ１８の上面の中央部の第二検出
手段４４ｂとが上下方向に対向するように、第一検出手
段４２ａ、４２ｂ及び第二検出手段４４ａ、４４ｂの各
々が配置されている。

【００２５】図４に示されている第二実施態様では、ウ
エハ保持具２６の脚部４８に設けられた第一検出手段４
２ａである光学センサが、移動中、常にステージ１８の
側面に設けられた第二検出手段４４ａである反射体と移
動軸方向に整列している状態を保ちながら、ウエハ保持
具２６の板状本体４６の先端部に設けられた第一検出手
段４２ｂである光学センサの位置をステージ１８の上面
の中央部に設けられた反射体の位置と整列させること
で、ウエハ保持具２６はＸＹ軸方向の位置及び回転位置
を目標位置に位置決めされる。

【００２６】第一検出手段４２、４２ａ、４２ｂと第二
検出手段４４、４４ａ、４４ｂは、投光器と受光器の組
合せ、投光器及び受光器を備えた光学センサと反射体と
の組合せなどとすることができ、その組合せの一方を第
一検出手段４２としてウエハ保持具２６の目標対応点に
配置し、他方を第二検出手段４４としてステージ１８上
の目標点に配置する。ステージ１８に反射体を配置する
場合には、図３に示されているように、ウエハ１２を昇
降させるためにステージ１８に設けられたリフトピンを
反射体としてもよい。また、反射体としては例えば反射
板や金属表面を鏡面に磨いたものが使用され得る。

【００２７】図３に示されているティーチング専用ウエ
ハ保持具２６が使用されるウエハ搬送装置２２を例にし
て、本発明のウエハ搬送装置２２のティーチング方法を
以下で説明する。最初に、ウエハ保持専用ウエハ保持具
をティーチング専用ウエハ保持具２６に交換する。次
に、制御装置２８に予め設定、記憶されている移動経路
を指示するデータに基づいて、ウエハ搬送装置２２のウ
エハ保持具２６を移動経路に沿って、移動経路データに
より指定されるステージ１８上の予め定められた位置ま
で移動させる。

【００２８】このとき、ウエハ保持具２６がステージ１
８上の目標位置に位置決めされていれば、ウエハ保持具
２６に設けられた第一検出手段４２とステージ１８に設
けられた第二検出手段４４が対向して位置し、第一検出
手段４２及び第二検出手段４４の両方又は一方によりウ
エハ保持具２６がステージ１８上の目標位置に位置決め
されたことを示す信号を発信し、ウエハ保持具２６がス
テージ１８上の目標位置に位置決めされたことを適宜の
表示装置（不図示）により作業者に表示する。ここで、
目標位置とは、ステージ１８の回転や移動を実質的に行
うことなくすぐにウエハ１２の検査を開始し得るステー
ジ１８上の位置にウエハ１２を載置できるウエハ保持具
２６の位置を意味する。

【００２９】一方、ウエハ保持具２６がステージ１８上
の目標位置に位置決めされていなければ、作業者は表示
装置などにより適正な位置にウエハ保持具２６が位置決
めされていないことが分かるので、第一検出手段４２及
び第二検出手段４４の両方又は一方によりウエハ保持具
２６がステージ１８上の目標位置に位置決めされたこと
を示す信号が発信されるまで、制御装置２８が有するウ
エハ搬送装置２２の位置調節機能を利用してウエハ保持
具２６の位置を調節する。そして、ウエハ保持具２６が
ステージ１８上の目標位置に位置決めされたときに、ウ
エハ保持具２６の位置に関するデータを制御装置２８に
記憶させ、既存の移動経路データを修正して、新たな移
動経路を指示するデータを作成する。

【００３０】上記の説明では、ウエハ支持台であるステ
ージ１８に定められた複数の目標位置に設けられた第二
検出手段４４とウエハ保持具２６に定められた複数の目
標対応点に設けられた第一検出手段４２が、目標点と目
標対応点が合致したことを検出するようになっていると
説明した。しかしながらが、例えば、第一検出手段４２
及び第二検出手段４４の一方に距離センサを使用して、
検出された距離、すなわち位置ズレ量に基づいてティー
チングが行われるようにしてもよく、第一検出手段４２
及び第二検出手段４４により検出したウエハ保持具２６
の位置とステージ１８上の目標位置の位置関係に関する
情報に基づいて適宜の方法によりウエハ保持具２６をス
テージ１８上の目標位置に位置決めさせるように、ウエ
ハ保持具２６の移動経路データの修正を行うことも可能
である。

【００３１】また、上記のティーチング専用ウエハ保持
具２６は、ウエハ搬送装置２２がプリアライナ１６に到
達したときにプリアライナ１６のステージ上の目標位置
とウエハ保持具２６の位置とが整列するように、ウエハ
保持具２６の移動経路を指示するデータを修正するため
に使用されてもよいことはもちろんである。また、本発
明のウエハ搬送装置２２は、プリアライナ１６と撮像検
査装置２０のステージ１８との間の搬送で使用されるの
みならず、半導体製造装置１０の任意の工程ステーショ
ン間の搬送で使用されることも可能である。さらに、高
精度の位置決めを行う必要を伴う機械に対して本発明の
原理を適用することも可能である。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
検出手段、すなわち、ウエハ保持具に設けられた第一検
出手段及びウエハ支持台であるステージに設けられた第
二検出手段を利用することで、作業者が、目視によらず
且つ正確に、ウエハ保持具の位置とステージ上の目標位
置との位置関係を認識し、整列した状態に修正すること
が可能となる。この結果、作業者が目視によってウエハ
保持具の位置を確認するための作業空間が十分にない場
合でも、ウエハ保持具のティーチングを行うことが可能
となると共に、狭い空間に作業者が頭を挿入する必要も
なくなるため作業者の安全性が確保される。さらに、目
視により位置関係の確認を行う場合と比較して、ティー
チング作業が効率化されると共に、より正確なティーチ
ングを行うことができるようになり半導体検査装置の高
速化に寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエハ搬送装置を備えた半導体検査装置の概略
構成図である。

【図２】図１のウエハ搬送装置の詳細図である。

【図３】本発明のウエハ搬送装置で使用されるウエハ保
持具の第一実施態様を示す斜視図である。

【図４】本発明のウエハ搬送装置で使用されるウエハ保
持具の第二実施態様を示しており、（ａ）は側面図、
（ｂ）は平面図である。

【符号の説明】

１０…半導体検査装置 １２…ウエハ １８…ステージ ２２…ウエハ搬送装置 ２６…ウエハ保持具 ４２…第一検出手段 ４４…第二検出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｃ Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ Ｊ (72)発明者 平沼 一則 東京都三鷹市下連雀九丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 石坂 純一 東京都三鷹市下連雀九丁目７番１号 株式 会社東京精密内 Ｆターム(参考） 3F059 AA14 BA04 BA09 CA05 DC08 DD12 DE03 FB01 FB22 FC04 3F060 AA01 AA07 CA21 CA24 EB02 EB12 EC02 EC12 FA02 GD14 HA35 4M106 AA01 CA38 DJ07 DJ21 DJ32 5F031 CA02 GA36 GA43 HA01 HA33 JA02 JA06 JA13 JA17 JA28 JA29 JA38 KA10 KA11 KA12 MA33 PA02

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ保持具の移動経路を指示するデー
   タを予め記憶しておき、該データに基づき前記ウエハ保
   持具を前記移動経路に沿って移動させて、前記ウエハ保
   持具により保持されたウエハをウエハ支持台上の目標位
   置まで搬送するウエハ搬送装置において、 前記ウエハ保持具がウエハ支持台上の予め定められた位
   置まで移動したときに前記ウエハ支持台上の前記目標位
   置と前記ウエハ保持具の位置との位置関係を検出するた
   めの検出手段を具備し、該検出手段により検出された検
   出結果に基づいて前記ウエハ保持具の位置が前記ウエハ
   支持台上の目標位置に整列するように前記データを修正
   するようにしたことを特徴とするウエハ搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ウエハ支持台に複数の目標点を定
   め、前記ウエハ保持具に前記目標点の各々に対応する複
   数の目標対応点を定め、前記検出手段が前記目標点と前
   記目標対応点との位置関係を検出し、該検出手段により
   検出された検出結果に基づいて、前記目標点の位置と前
   記目標対応点の位置とが整列するように前記データを修
   正するようにした、請求項１に記載のウエハ搬送装置。
3. 【請求項３】 前記目標点と前記目標対応点の一方に発
   光器及び受光器を備えた光学センサを設け、他方に反射
   体を設けた、請求項２に記載のウエハ搬送装置。