JP3138391B2 - 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，位置合わせ装置及び方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えばＬＳＩ等の半導体デバイスの製造
工程における洗浄処理を例にとって説明すると、従来か
ら半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）表面のパー
ティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーシ
ョンを除去するために洗浄処理装置が使用されており、
その中でもとりわけ、ウェット洗浄装置は、パーティク
ルを効果的に除去できしかもバッチ処理が可能なため、
広く普及している。

【０００３】かかるウェット洗浄装置においては、所定
枚数例えば２５枚のウエハを収納したカセット単位でロ
ードするロード機構と、このロード機構によってロード
されたウエハを所定枚数、例えば５０枚ずつ搬送するウ
エハ搬送装置と、このウエハ搬送装置によって搬送され
たウエハを一括して洗浄するように配列された複数の洗
浄処理槽と、各洗浄処理槽によって洗浄されたウエハを
アンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。

【０００４】そして前記ウエハ搬送装置は、前記各洗浄
処理槽へウエハを搬送する際に所定枚数、例えば５０枚
のウエハを一括して同時に把持する、ウエハチャックと
呼ばれる把持装置を有している。この把持装置は通常、
略水平方向に突出した対向する一対の把持部材に、把持
すべきウエハの枚数に応じた複数の把持溝が所定の間隔
をおいて形成されており、前記各ウエハはこれら各把持
溝にその周縁部が挿入され、各把持部材相互の接近によ
って、前記各ウエハは垂直状態で把持装置に把持される
ように構成されている。

【０００５】一方ウエハの洗浄がなされる洗浄処理槽内
には、前記把持装置によって把持されて搬送されてくる
前記ウエハを保持するためのボートと呼ばれる保持具が
設けられている。この保持具は、前記把持装置によって
把持された状態のウエハを一括して受け取って保持する
ため、把持装置における前記把持溝に対応した複数の保
持溝が形成され、これら各保持溝内で各ウエハの周縁部
を垂直に受容して、前記ウエハを所定の保持位置にて保
持するように構成されている。

【０００６】従って、前記把持装置と保持具の間でウエ
ハを授受する際には、前記把持装置における把持位置と
なる把持溝と、前記保持具における保持位置となる前記
保持溝とが、ウエハを授受する位置にてその相対位置が
一致、即ち同一垂直面上に位置していなければ、ウエハ
を円滑に授受することができない。そのため前記把持装
置と保持具との間で、事前に前記把持位置と保持位置と
の位置合わせを行っておく必要がある。通常前記保持具
は、洗浄処理槽内に固定されているため、把持装置の方
を適宜Ｘ−Ｙ方向に調整移動させて前記位置合わせが行
われている。

【０００７】そしてそのような位置合わせについては、
従来、把持装置によって複数のダミーウエハを実際に把
持して授受位置まで移動させ、操作員が把持装置の設定
位置を適宜マニュアル調整しつつ、注意深く目や耳で確
認しながら、把持された各ウエハの周縁部が、保持具に
おいて対応する保持溝内に正しく垂直に授受できるよう
に位置合わせしていた。

【０００８】またその他、例えば把持装置による授受位
置を予め正確に測定して基準位置を決めておき、適宜の
距離センサを設置して把持装置の位置を常時検出し、前
記基準位置との差を例えば数値表示するなどして位置ズ
レを検出し、その差が０になるように適宜把持装置の設
定位置を調整して位置合わせを行うことが提案されてい
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前者の操
作員の目や耳で確認しながら位置合わせを行う方法は、
個々の操作員の技量に負うところが多く、また人為的な
誤差が皆無とは言えず信頼性に欠ける。そのうえ洗浄処
理槽内での実際の授受の様子を直接のぞき込むようにし
て確認しなければならないので、作業環境が悪く、調整
までに多大な時間と労力を必要としている。

【００１０】一方後者の基準位置に基づいて位置合わせ
する方法では、把持装置の基準位置を決める際の実測の
段階で誤差が生じやすく、前記マニュアル操作の場合と
同様信頼性に欠ける。しかも把持装置は単純な形態では
ないので、その位置を検出する際に必要な距離センサを
多数の場所に設置する必要があり、装置自体が複雑化す
る。また洗浄処理槽内にもかかるセンサを設置する必要
があるので、対洗浄液性や水密性の問題が新たに生じ、
この点でも好ましくない。

【００１１】本発明はそのような問題点に鑑みてなされ
たものであり，簡単な装置構成によって把持装置の把持
位置と保持具の保持位置との相対位置，つまり相対位置
基準の位置合わせが簡易，迅速かつ正確に行える位置合
わせ装置及び方法を提供して，上記問題の解決を図るこ
とを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１によれば、把持装置における所定の把持位
置に把持された状態の複数の被処理体を、保持具におけ
る所定の保持位置に授受する如く構成された搬送系にお
ける、前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との
相対位置の位置合わせを行う装置であって、前記把持装
置によって把持される適宜の治具に設けられ、前記把持
位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮像装置と、前
記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持
位置とを、同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する表示装置とを具備することを特徴とする、
位置合わせ装置が提供される。

【００１３】請求項２によれば、把持装置における所定
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記把持装置によって把持される適宜の治具の２カ所に撮
像装置が設けられ、前記撮像装置における一の撮像装置
は、第１の把持位置と保持位置とを同時に撮像し、前記
撮像装置における他の撮像装置は、他の第２の把持位置
と保持位置とを同時に撮像する如く構成され、前記各撮
像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位置
とを、前記各撮像装置ごとに、同一画像表示部における
同一座標系に、重ねて画像表示する表示装置とを具備す
ることを特徴とする、位置合わせ装置が提供される。

【００１４】この場合、請求項３に記載したように、第
１の把持位置と保持位置を一端部に、第２の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。

【００１５】これらの各位置合わせ装置において、請求
項４に記載したように、前記各撮像装置によって撮像さ
れた前記把持位置と前記保持位置とを、前記各撮像装置
ごとに同一画像表示部における同一座標系に、前記各撮
像装置ごとに分割して重ねて画像表示する表示装置とを
具備するようにしてもよい。即ち表示装置を共用して、
その画像表示部を分割して、各撮像装置ごとに表示する
ようにしてもよい。

【００１６】さらに請求項５のように、前記した各位置
合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置と保持
具との間の距離を検出する距離センサを設けてもよい。

【００１７】請求項６によれば、把持装置における所定
の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、保持
具における所定の保持位置に授受する如く構成された搬
送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記保持
位置との相対位置の位置合わせを行う装置であって、前
記保持具によって保持される適宜の支持治具には撮像装
置が設けられ、この撮像装置は、前記保持位置を常時撮
像すると共に、前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍
（もちろん授受の際の高さも含めて）に位置するときに
この把持装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成さ
れ、前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前
記保持位置とを、同一画像表示部における同一座標系に
重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴と
する、位置合わせ装置が提供される。

【００１８】また請求項７によれば、把持装置における
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を、
保持具における所定の保持位置に授受する如く構成され
た搬送系における、前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う装置であっ
て、前記保持具によって保持される適宜の支持治具には
２カ所に撮像装置が設けられ、一の撮像装置は、第１の
保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前記授
受の際の高さ近傍（もちろん授受の際の高さも含めて）
に位置するときにこの把持装置における第１の把持位置
をも同時に撮像する如く構成され、他の撮像装置は、第
２の保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装置が前
記授受の際の高さ近傍（もちろん授受の際の高さも含め
て）に位置するときにこの把持装置における第２の把持
位置をも同時に撮像する如く構成され、前記各撮像装置
によって撮像された前記把持位置と前記保持位置とを、
各撮像装置ごとに、同一画像表示部における同一座標系
に重ねて画像表示する表示装置とを具備することを特徴
とする、位置合わせ装置が提供される。

【００１９】この場合、請求項８に記載したように、第
１の把持位置と保持位置を一端部に、第２の把持位置と
保持位置を他端部に夫々位置する把持位置、保持位置と
してもよい。

【００２０】さらに請求項９に記載したように，前記各
撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保持位
置とを，前記各撮像装置ごとに同一画像表示部における
同一座標系に，前記各撮像装置ごとに分割して重ねて画
像表示する表示装置とを具備するようにしてもよい。即
ち１つの表示装置を共用して，その画像表示部を分割し
て，個々の分割画面上で各撮像装置ごとに表示するよう
にしてもよい。請求項１０によれば，把持装置における
所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体を，
保持具における所定の保持位置に授受する搬送系におけ
る，前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相
対位置の位置合わせを行う方法であって，前記把持位置
と前記保持位置とを撮像する工程と，前記撮像された前
記把持位置と前記保持位置とを，同一画像表示部におけ
る同一座標系に重ねて画像表示する工程とを具備するこ
とを特徴とする，位置合わせ方法が提供される。請求項
１１によれば，把持装置における所定の把持位置に把持
された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
保持位置に授受する搬送系における，前記授受の際の前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
行う方法であって，第１の把持位置と保持位置とを撮像
する工程と，他の第２の把持位置と保持位置とを撮像す
る工程と，前記撮像された第１の把持位置と保持位置と
を同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示
する工程と，前記撮像された第２の把持位置と保持位置
とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画像表
示する工程とを具備することを特徴とする，位置合わせ
方法が提供される。請求項１２によれば，把持装置にお
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を，保持具における所定の保持位置に授受する搬送系に
おける，前記授受の際の前記把持位置と前記保持位置と
の相対位置の位置合わせを行う方法であって，前記保持
位置を常時撮像する工程と，前記把持装置が前記授受の
際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置の把持位置
を撮像する工程と，前記撮像された前記把持位置と前記
保持位置とを，同一画像表示部における同一座標系に重
ねて画像表示する工程とを具備することを特徴とする，
位置合わせ方法が提供される。 請求項１３によれば，把
持装置における所定の把持位置に把持された状態の複 数
の被処理体を，保持具における所定の保持位置に授受す
る搬送系における，前記授受の際の前記把持位置と前記
保持位置との相対位置の位置合わせを行う方法であっ
て，第１の保持位置と他の第２の保持位置を常時撮像す
る工程と，前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位
置するときに，第１の把持位置と他の第２の把持位置を
撮像する工程と，前記撮像された第１の把持位置と保持
位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて画
像表示する工程と，前記撮像された第２の把持位置と保
持位置とを同一画像表示部における同一座標系に重ねて
画像表示する工程とを具備することを特徴とする，位置
合わせ方法が提供される。

【００２１】

【作用】請求項１によれば、把持装置における被処理体
の把持位置と、保持具における保持位置とが同一の撮像
装置によって同時に撮像され、撮像されたこれら把持位
置と前記保持位置とが、同一画像表示部における同一座
標系に、重ねて画像表示されるので、把持位置と保持位
置とが位置ズレしている場合、両画像もズレて表示され
る。従って操作員は、その画像を見ながら把持位置と保
持位置とが一致するように、把持装置の設定位置を適宜
調整するだけで把持位置と保持位置との位置合わせが簡
単にしかも正確に行える。

【００２２】また請求項２によれば、基本的に作用は上
記請求項１と同様であるが、撮像装置は２箇所に設けら
れて、これら２つの撮像装置によって把持装置と保持具
の各両端部の把持位置と保持位置とが撮像されている。
従って、例えば前記把持装置と保持具とがある程度の長
さを有している場合、そのように二カ所で夫々請求項１
による位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが
行えるものである。請求項３では、撮像する箇所が、一
端部と他端部、即ち両端部で行うので、請求項２よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。

【００２３】そして請求項４では、表示装置、例えばモ
ニタなどを共用しているので、一台の表示装置における
一つの画面上で、二つの撮像装置の撮像、即ち二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができる。

【００２４】ところで前記把持装置が、上下動して保持
具に対して授受する位置まで移動する場合、把持装置の
Ｚ方向の位置、即ち把持装置の高さも、正確な授受にと
っては、重要な基準となる。請求項５〜９では、かかる
点に対処可能であり、まず請求項５によれば、前記した
各位置合わせ装置における適宜の治具に、前記把持装置
と保持具との間の距離を検出する距離センサを設けてあ
るので、この距離センサの検出信号、即ち距離をモニタ
することにより、把持装置の保持具に対する高さを確認
することができる。

【００２５】請求項６の位置合わせ装置における撮像装
置は、前記保持位置を常時撮像すると共に、前記把持装
置が前記授受の際の高さ近傍に位置するときにこの把持
装置の把持位置をも同時に撮像する如く構成されている
ので、未だ把持装置が前記授受の際の所定の地位周辺に
ないときは、把持位置が撮像されず、所定の高さ近傍に
位置したときにはじめて、把持位置が撮像されて画像に
表示される。したがって画像上、保持位置と把持位置と
が表示され両者が重なった位置になれば、授受の際の所
定の高さに把持装置が位置していることが確認できる。

【００２６】請求項７では、二カ所で夫々請求項６によ
る位置合わせが行われるから、正確な位置合わせが行え
るものである。請求項８では、撮像する箇所が、一端部
と他端部、即ち両端部で行われるので、請求項７よりも
さらに正確な位置合わせが行えるものである。

【００２７】請求項９によれば，請求項４の場合と同
様，表示装置，例えばモニタなどを共用しているので，
一台の表示装置における一つの画面上で，二つの撮像装
置の撮像，即ち二カ所における把持位置と保持位置との
重ねられた画像表示を視認することができる。請求項１
０の位置合わせ方法によれば，把持装置における被処理
体の把持位置と保持具における保持位置とが同一画像表
示部における同一座標系に，重ねて画像表示されるの
で，把持位置と保持位置とが位置ズレしている場合，両
画像もズレて表示される。従って操作員は，その画像を
見ながら把持位置と保持位置とが一致するように，把持
装置の設定位置を適宜調整するだけで把持位置と保持位
置との位置合わせが簡単にしかも正確に行える。請求項
１１の位置合わせ方法によれば，二カ所で位置合わせが
行われるから，例えば前記把持装置と保持具とがある程
度の長さを有している場合，正確な位置合わせが行える
ものである。請求項１２の位置合わせ方法によれば，未
だ把持装置が前記授受の際の所定の高さ近傍にないとき
は，把持位置が撮像されず，所定の高さ近傍に位置した
ときにはじめて，把持位置が撮像されて画像に表示され
る。したがって画像上，保持位置と把持位置とが表示さ
れ両者が重なった位置になれば，授受の際の所定の高さ
に把持装置が位置していることが確認できる。請求項１
３の位置合わせ方法によれば，二カ所で位置合わせが行
われるから，正確な位置合わせが行えるものである。

【００２８】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明すると、本実施例は半導体ウエハ（以下、「ウエ
ハ」という）の洗浄処理装置において適用された例であ
り、まずその洗浄処理装置について説明すると、この洗
浄処理装置１全体は、図１に示したように、洗浄処理前
のウエハをカセット単位で収容する搬入部２と、ウエハ
の洗浄処理が行われる洗浄処理部３と、洗浄処理後のウ
エハをカセット単位で取り出すための搬出部４の、３つ
のゾーンによって構成されている。

【００２９】前記搬入部２には、洗浄処理前のウエハが
所定枚数、例えば２５枚収納されたカセット５を待機さ
せる待機部６と、カセット５からのウエハの取り出し、
オリフラ合わせ及び枚葉検出等を行うローダ部７と、外
部から搬送ロボットなどによって搬入されるカセット５
の前記待機部６への搬送、及びこの待機部６と前記ロー
ダ部７との間で、カセット５の搬送を行うための搬送ア
ーム８が設けられている。

【００３０】前記洗浄処理部３には、その前面側（図１
における手前側）に３つのウエハ搬送装置１１、１２、
１３が配列されており、また前記洗浄処理部３の上方に
は、前記ウエハ搬送装置１１、１２、１３によってウエ
ハが取り出された後の空のカセット５を、洗浄、乾燥処
理するカセット洗浄・乾燥ライン１４が前記洗浄処理部
３に沿って設けられている。このカセット洗浄・乾燥ラ
イン１４へのカセットの供給は、前出ローダ部７と昇降
機構１５によって行われる。

【００３１】一方、搬出部４においても、前記昇降機構
１５と同様な昇降機構（図示せず）が設けられており、
前記洗浄・乾燥ライン１４を経た空のカセット５は、こ
の昇降機構によって搬出部４内の所定の受け取り位置に
セットされるように構成されている。

【００３２】前記洗浄処理部３には、前記ローダ部７側
から順に、前記ウエハ搬送装置１１のウエハチャック１
６を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾燥処理槽２１、ウ
エハ表面の有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の
不純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽２
２、前記薬液洗浄処理槽２２で洗浄されたウエハを例え
ば純水によって洗浄する２つの水洗洗浄処理槽２３、２
４、前記薬液洗浄処理槽２２における薬液とは異なった
薬液で洗浄処理する薬液洗浄処理槽２５、前記薬液洗浄
処理槽２５で洗浄されたウエハを例えば純水によって洗
浄する２つの水洗洗浄処理槽２６、２７、前記ウエハ搬
送装置１３のウエハチャック１７を洗浄、乾燥するチャ
ック洗浄・乾燥処理槽２８、及び前記不純物質が除去さ
れたウエハを、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコー
ル）等で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽２９が夫々配
設されている。

【００３３】そして前記薬液洗浄処理槽２２、２５は、
夫々の洗浄処理液がオーバーフローして循環し、この循
環時にそれぞれの洗浄処理液内に蓄積された不純物が除
去されるように構成されている。

【００３４】前記ウエハ搬送装置１１、１２、１３は、
基本的に同一構成であり、ウエハ搬送装置１２の構成に
ついて、図１、図２に基づいて説明すると、このウエハ
搬送装置１２は、例えば５０枚のウエハを一括して把持
する左右一対の把持部材１７ａ、１７ｂによって構成さ
れたウエハチャック１７と、このウエハチャック１７を
上下方向（Ｚ方向）に昇降させると共に、前後方向（Ｙ
方向）にも移動させるＹ軸駆動機構１２ｄと、このＹ軸
駆動機構１２ｄを備えた駆動機構１２ａを洗浄処理部３
の長手方向（Ｘ方向）に沿って移動させるための搬送ベ
ース１２ｂとを有している。また前記ウエハチャック１
７を昇降させる際に、駆動機構１２ａから突出、収納す
る摺動体は、ベローズシール１２ｃによって被覆されて
おり、洗浄処理部３内で発生したパーティクルがこの摺
動体に直接付着しないように構成されている。

【００３５】さらにまた前記駆動機構１２ａ全体は、適
宜の調整機構（図示せず）によってその平面における中
心を軸心として、適宜の範囲で図２に示したようにθ方
向にも微調整できるように構成され、さらにウエハチャ
ック１７の所定位置での停止、即ち位置合わせを行うた
めの、駆動機構１２ａのＸ方向、Ｙ軸駆動機構１２ｄの
Ｙ方向へのマニュアル調整移動が、パルスモータの制御
によって自在に行え、かつその設定位置を記憶させるこ
とが可能なように構成されている。

【００３６】そして前記ウエハチャック１７における各
把持部材１７ａ、１７ｂは、夫々図３、図４に示したよ
うに、夫々図２における往復回動矢印Ｍ、Ｎで示される
ように回動自在に構成され、さらにその両端部から下方
に設けられた支持体３１、３２間の上下に、各々把持棒
３３、３４が水平方向に渡されて固定されている。

【００３７】さらに上側の把持棒３３には把持溝Ｐが、
下側の把持棒３４にも把持溝Ｑが、夫々同一の一定間隔
の下で夫々Ｐ₁〜Ｐ₅₀、Ｑ₁〜Ｑ₅₀までの計５０本ずつ設
けられており、把持される５０枚のウエハはその周縁部
が、各把持部材１７ａ、１７ｂにおける前記各把持棒３
３、３４における前記各把持溝Ｐ₁〜Ｐ₅₀とＱ₁〜Ｑ₅₀内
に挿入された状態で、各把持部材１７ａ、１７ｂが相互
に接近する方向に回動することによって、前記ウエハチ
ャック１７に把持されるように構成されている。

【００３８】前出各洗浄処理槽内の底部近傍には、洗浄
処理中のウエハを処理するためのウエハ保持具が設けら
れているが、いま図２、図３、図４をもとに、薬液洗浄
処理槽２５内に設けられているウエハ保持具４１につい
て説明すると、このウエハ保持具４１は、ボートとも呼
ばれる３本の保持棒４２、４３、４４が薬液洗浄処理槽
２５の底部近傍に長手方向（Ｙ方向）に沿って、適宜の
ブラケット４５を介して設置、固定されている。

【００３９】また前記保持棒４２には保持溝Ｒが、中央
に位置する前記保持棒４３には保持溝Ｓが、そして前記
保持棒４４には保持溝Ｔが、夫々前記把持溝Ｐ、Ｑと同
一間隔の下で、夫々Ｒ₁〜Ｒ₅₀、Ｓ₁〜Ｓ₅₀、Ｔ₁〜Ｔ₅₀
までの計５０本ずつ設けられている。

【００４０】そしてウエハ搬送装置１２のウエハチャッ
ク１７で一括して把持された５０枚のウエハを、薬液洗
浄処理槽２５内において薬液洗浄に付する際には、ウエ
ハを把持した状態のウエハチャック１７を駆動機構１２
ａによってウエハ保持具４１の真上まで移動させ、その
ままこのウエハチャック１７を薬液洗浄処理槽２５内に
下降させて、ウエハチャック１７で把持された各ウエハ
の周縁部を、夫々ウエハ保持具４１の各保持棒４２、４
３、４４における各保持溝Ｒ、Ｓ、Ｔで受容させる。そ
の後このウエハチャック１７の把持部材１７ａ、１７ｂ
を開脚させて、ウエハチャック１７を再び上昇させて、
薬液洗浄処理槽２５外部に後退させる。

【００４１】所定の浸漬時間が経過し、洗浄処理が終了
した後は、把持部材１７ａ、１７ｂを開脚させた状態で
ウエハチャック１７を薬液洗浄処理槽２５内に降下させ
て、ウエハをウエハ保持具４１に渡した際の位置にて停
止させ、今度はウエハ保持具４１で保持されている５０
枚のウエハの周縁部を同時に一括して、各把持部材１７
ａ、１７ｂの各把持棒３３、３４における各把持溝Ｐ、
Ｑに納め、その後各把持部材１７ａ、１７ｂを閉脚させ
てこれら各ウエハを一括して把持し、ウエハチャック１
７を上昇させて、把持したウエハを次の洗浄処理である
水洗洗浄を行う水洗洗浄処理槽２４へと搬送させるので
ある。

【００４２】以上のプロセスにおいてウエハチャック１
７とウエハ保持具４１との間で５０枚のウエハを一括し
て授受する場合には、授受の時点で、ウエハチャック１
７側の各把持溝Ｐ₁〜Ｐ₅₀、Ｑ₁〜Ｑ₅₀と、ウエハ保持具
４１側の保持溝Ｒ₁〜Ｒ₅₀、Ｓ₁〜Ｓ₅₀、Ｔ₁〜Ｔ₅₀とが
夫々正しい相対位置関係になければならない。即ち例え
ば把持溝Ｐ₁についていえば、把持溝Ｐ₁、Ｑ₁と、保持
溝Ｒ₁、Ｓ₁、Ｔ₁とが同一垂直面上に位置していなけれ
ばならないのである。

【００４３】本実施例はかかる場合の把持溝Ｐと保持溝
Ｓとの位置合わせを行う際の装置として具体化された例
であり、まずウエハチャック１７に把持される検出用治
具について説明すると、図５に示したように、この検出
用治具５１は、ウエハと同一径、同一の厚みを有する円
板状の支持板５２、５３を２本の連結棒５４、５４を介
して一体化させ、各支持板５２、５３が平行に対向する
ように構成されている。そして各支持板５２、５３間の
長さは、前出把持溝Ｐ₄〜Ｐ₄₇間の距離と同一に設定さ
れている。

【００４４】そして前記各支持板５２、５３の外側に
は、夫々図６に示したような撮像装置５５が固定されて
いる。この撮像装置５５には、その略直方体のケース５
６内に撮像カメラ５７が設けられており、この撮像カメ
ラ５７には、例えば２０倍の撮像倍率を有する拡大レン
ズ５８が設けられており、この拡大レンズ５８のピント
は、各支持板５２、５３の周縁部に合わされている。

【００４５】また前記拡大レンズ５８の垂直下方には、
４５゜に傾けられたハーフミラー５９が設けられてい
る。このハーフミラー５９は、前記各支持板５２、５３
の中心に位置するように設定されている。

【００４６】そしてケース５６の底面及び左側面には、
例えばアクリル製のビューポート６０、６１が設けられ
ている。従って前記撮像カメラ５７は、ビューポート６
０、６１を通じて、各支持板５２、５３の垂直下方及び
水平方向に位置する物体を、夫々２０倍に拡大して、こ
れらを同時に撮像することが可能である。

【００４７】前記各支持板５２、５３に設けられた２つ
の撮像装置５５、５５の各撮像カメラ５７からの画像信
号は、図７に示したように、例えばケーブルや光ファイ
バなどの信号線７１を通じて、洗浄処理装置１外部に設
置されている適宜のミキシング装置７２に入力される。
このミキシング装置７２は画像処理機能を具有してお
り、処理後の画像信号は、モニタ７３へと入力される。
このモニタ７３では、前記入力された画像信号に基づい
て、画面の上方（Ａ部）に支持板５２側の撮像装置５５
によって撮像された画像を、画面の下方（Ｂ部）に支持
板５３側の撮像装置５５によって撮像された画像を、夫
々表示するように構成されている。

【００４８】本実施例は以上のように構成されており、
次のその使用方法並びに作用等について説明すると、ま
ず図２に示したように前記検出用治具５１をウエハチャ
ック１７で把持させる。かかる場合、この検出用治具５
１の両端部に位置する支持板は被処理体であるウエハと
同一径、同一厚みを有する円板によって構成されてお
り、しかもこれら支持板５２、５３間の距離は、既述の
如く把持溝Ｐ₄〜Ｐ₄₇までの長さと同一に設定されてい
るので、支持板５２の周縁部は把持溝Ｐ₄、Ｑ₄に、支持
板５３の周縁部は把持溝Ｐ₄₇、Ｑ₄₇に挿入させることに
より、この検出用治具５１をウエハチャック１７による
通常の閉脚動作によって容易に把持させることが可能で
ある。またその時同時にモニタ７３も作動させておく。

【００４９】そうすると、モニタ７３の画面には図８に
示したように、その画面の上方（Ａ部）に、把持部材１
７ａ側の把持溝Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃の拡大画像が鮮明に表示
され、一方画面の下方（Ｂ部）に、把持部材１７ｂ側の
把持溝Ｐ₄₈、Ｐ₄₉、Ｐ₅₀拡大画像が夫々鮮明に表示され
る。

【００５０】そして検出用治具５１をそのように把持し
たまま、ウエハチャック１７を通常の動作と同様、ウエ
ハ保持具４１の真上にて薬液洗浄処理槽２５内に下降さ
せていき、図４に示したように、ウエハをウエハ保持具
４１に受容させる僅かに手前で停止させると、モニタ７
３の画面の上方（Ａ部）には、保持溝Ｓ₁、Ｓ₂、Ｓ₃の
拡大画像が、一方画面の下方（Ｂ部）には、保持溝
Ｓ₄₈、Ｓ₄₉、Ｓ₅₀拡大画像が夫々前記把持溝Ｐ₁、Ｐ₂、
Ｐ₃の拡大画像、及び把持溝Ｐ₄₈、Ｐ₄₉、Ｐ₅₀拡大画像
と同一倍率にて同一座標系上に重ねて表示される。

【００５１】従って、もし前記把持溝Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃と
保持溝Ｓ₁、Ｓ₂、Ｓ₃、及び把持溝Ｐ₄₈、Ｐ₄₉、Ｐ₅₀と
保持溝Ｓ₄₈、Ｓ₄₉、Ｓ₅₀とが各々対応して夫々同一垂直
面上に位置している場合には、図８、図９に示したよう
に、両画像は画面上完全に一致している。即ち、ウエハ
チャック１７とウエハ保持具４１との授受の際の相対位
置が正しい位置関係にあることが確認できるのである。

【００５２】しかしながら、ウエハチャック１７とウエ
ハ保持具４１との授受の際の相対位置関係が、Ｘ、Ｙ、
θ方向に夫々ずれている場合には、モニタ７３の画面に
おいては、それに応じて図１０に示したように、例えば
把持溝Ｐ₂の画像に対して保持溝Ｓ₂の画像がずれて表示
される。このことによって操作員は、ウエハチャック１
７とウエハ保持具４１との授受の際の相対位置関係のズ
レが直ちに確認できる。

【００５３】そして図１０に示したようなズレが確認さ
れると、例えばウエハ搬送装置１２の駆動機構１２ａを
適宜θ方向に調整して、まず図１１に示したようにθ方
向のズレ分を是正させる。この場合、もちろんウエハ保
持具４１の方を適宜θ方向に回転させて調整してもよ
い。かかる操作は、作業員がモニタ７３の画面を見なが
ら容易にこれを実施することが可能である。

【００５４】上記のθ方向の調整後、図１１の状態にな
れば、後はＸ、Ｙ方向のズレを矯正させればよいので、
操作員は前記と同様モニタ７３を見ながら、例えば把持
溝Ｐ₂と保持溝Ｓ₂の関係だけについていえば、把持溝Ｐ
₂と保持溝Ｓ₂の画像とが図９に示した如く両者完全に一
致するように、適宜ウエハ搬送装置１２の駆動機構１２
ａの設定位置をＸ方向、Ｙ方向に移動調整させればよい
のである。

【００５５】かかる場合、モニタ７３に表示された画像
は、把持溝Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃と保持溝Ｓ₁、Ｓ₂、Ｓ₃、及び
把持溝Ｐ₄₈、Ｐ₄₉、Ｐ₅₀と保持溝Ｓ₄₈、Ｓ₄₉、Ｓ₅₀との
拡大画像であるから、視認しやすく、また一致したこと
の確認も容易である。従って、極めて簡易、迅速に、ウ
エハチャック１７とウエハ保持具４１との授受の際の位
置合わせが実施できるものである。

【００５６】また上記実施例においては、上記のように
２つの撮像装置５５によって、ウエハチャック１７とウ
エハ保持具４１における両端部の把持溝Ｐと保持溝Ｓと
が、夫々をモニタ７３上で表示されているから、上記両
端部における位置ズレを検出してこれを矯正することが
可能であり、極めて正確な位置合わせが行えるものであ
る。

【００５７】以上のように上記実施例によれば、ウエハ
チャック１７とウエハ保持具４１との授受の際の相対位
置関係の、Ｘ、Ｙ、θの各方向のズレ成分が直ちに確認
でき、それらを簡易、迅速に是正して、極めて正しい位
置合わせが実施できるものである。しかもそのために使
用する検出用治具５１のウエハチャック１７への装着も
簡単であって、装置構成自体も簡易な構成となってい
る。

【００５８】なおウエハチャック１７とウエハ保持具４
１の相対位置調整は、操作員によるマニュアル調整では
なく、自動的に行うようにすることも可能である。この
場合、撮像装置５５からの信号を、ミキシング装置７
２、モニタ７３へ送るだけでなく、素七に示したよう
に、ウエハ搬送装置１１、１２、１３を含む洗浄処理装
置１全体を制御するＣＰＵ１０にも入力する。そしてこ
のＣＰＵ１０において、溝Ｐ、Ｓの画像を比較し、両画
像のズレを修正するように、ウエハチャック１７、さら
に必要であれば、ウエハ保持具４１を制御駆動すること
により、自動的に両者の相対位置調整を実施することが
できる。

【００５９】また上記実施例においては、画像を拡大す
るための拡大レンズ５８を、前記撮像カメラ５７に設け
た構成であったが、各ビューポート６０、６１側にかか
る拡大機能を持たせるように構成してもよい。

【００６０】さらにまた上記実施例で使用した検出用治
具５１は、ウエハチャック１７側の把持溝Ｐにその周縁
部が挿入される円板形状の支持板５２、５３を連結棒５
４、５４で連結し、これら各支持板５２、５３の外側端
面にそれぞれ撮像装置５５を設けた構成であったが、こ
のような検出用治具５１に代えて、図１２に示した検出
用治具８１を用いてもよい。

【００６１】この検出用治具８１は、略長方形の支持板
８２の長手方向両端部に、それぞれ左右水平方向に突出
する載置部８３、８４を有し、さらにこの支持板８２の
長手方向の長さは、ウエハチャック１７の既述の把持溝
Ｐ₄〜Ｐ₄₇間の距離と同一に設定されている。また前記
支持板８２の下面側には、前記把持溝Ｐに受容される形
状の爪部８５が例えば４カ所に設けられ、各爪部８５は
それぞれ外方水平方向に突出している。またこれら各爪
部８５の前記長手方向の間隔は、ウエハチャック１７に
おける把持溝Ｐの間隔のｎ倍に設定されている。

【００６２】そして前出検出用治具５１に使用した撮像
装置５５は、適宜の取付部材８６によって前記支持板８
２の長手方向両端面の中央に固定され、これら撮像装置
５５の側面にあるビューポート６１は、それぞれ前記爪
部８５の高さと同一位置になるように設定されている。

【００６３】このような構成にかかる検出用治具８１を
用いて位置合わせする場合も、前出検出用治具５１と同
様、まず検出用治具８１をウエハチャック１７にセット
させるのであるが、この検出用治具８１によれば、図１
３、図１４に示したように、ウエハチャック１７の各把
持部材１７ａ、ｂが閉脚状態にあるときに、前記爪部８
５を対応する各把持部材１７ａ、ｂの把持溝Ｐに挿入す
るようにして、支持板８２の各載置部８３、８４を各把
持部材１７ａ、ｂの上側の把持棒３３、３３の上に載置
するだけでよい。従ってウエハチャック１７へのセット
が極めて簡単である。

【００６４】しかも前記爪部８５の把持溝Ｐへの挿入
は、単なるウエハチャック１７へセットする際の位置合
わせのための動作であって、検出用治具８１全体は、載
置部８３、８４を介して各把持棒３３、３３によって支
持されているため、検出用治具８１をセットした際にこ
の検出用治具８１の荷重によって前記把持溝Ｐにかかる
負担は殆どないものである。従って把持溝Ｐが損傷する
おそれはない。しかも検出用治具８１も極めて安定した
状態でウエハチャック１７にセットされるものである。
それゆえ前記検出用治具５１よりもさらに安定した画像
を得ることが可能である。

【００６５】ところで前記ウエハチャック１７が、下降
してウエハ保持具４１に対してウエハを授受する位置ま
で移動する場合、ウエハチャック１７のウエハ保持具４
１に対するＺ方向の位置、即ち授受の際のウエハチャッ
ク１７の高さも、正確な授受にとっては重要である。

【００６６】図１５に示した検出用治具９１は、かかる
要請に対処できる構成を有している。即ちこの検出用治
具９１の基本的構成は、前出検出用治具８１と同一であ
り、図１５中、図１２と同一の番号で引用される部材構
成は、前記検出用治具８１と全く同一の構成を有してい
る。そしてこの検出用治具９１における支持板８２の中
央には、開口部９２が形成され、さらにこの開口部９２
の上方には、開口部９２周縁部に取り付けられた適宜の
取付具９３によって、距離センサ９４が支持されてい
る。

【００６７】この距離センサ９４は、例えば光学系セン
サによって構成され、発光部と受光部とを有し、発光部
から発光された例えばレーザ光などの検出光が他物に反
射して返ってきた場合、当該反射光を受光部で受光する
ことによって、当該他物までの距離を検出することが可
能なように構成されている。そしてこの距離センサ９４
の検出信号は、例えばモニタ９５へと入力され、当該モ
ニタ９５によって、距離センサ９４が検出する距離を確
認できるようになっている。

【００６８】かかる構成を有する検出用治具９１を用い
る場合には、例えばウエハ保持具４１における中央の保
持棒４３上に、適宜の反射板（図示せず）を予めセット
しておく。後は前記検出用治具８１と同様、ウエハチャ
ック１７にセットして用いればよい。そうするとこの検
出用治具９１によれば、支持板８２中央の開口部９２を
通して距離センサ９４が、前記反射板との間の距離を常
時検出し、かつ当該距離がモニタ９５によって常時表示
されているので、ウエハチャック１７の所定の高さ、即
ちウエハ保持具４１に対するウエハチャック１７のＺ方
向の位置を確認することができる。

【００６９】さらにそのようなウエハ保持具４１に対す
るウエハチャック１７のＺ方向の所定位置を確認するた
め、図１６に示したように、前出検出用治具５１をウエ
ハ保持具４１の側にセットしてもよい。この場合には、
撮像装置５５は、ビューポート６０を介して、常時ウエ
ハ保持具４１の保持棒４３の保持溝Ｓを撮像している
が、ウエハチャック１７の把持棒３３側の把持溝Ｐにつ
いては、ビューポート６１の視野に入ってこない限り、
撮像されない。換言すれば、ウエハチャック１７が所定
の高さまで下降してはじめてビューポート６１を通して
撮像され、モニタ７３に表示されるのである。そして所
定の授受位置の高さに位置すると、画像上、各溝Ｐ、Ｓ
が重なる。したがってこの方法によっても、ウエハチャ
ック１７のＺ方向の所定位置を確認することができる。

【００７０】前出各実施例で使用した撮像装置５５にお
いては、１の撮像カメラ５７で２つの方向にある物体を
同時に撮像するために、ハーフミラー５９を使用した
が、これに代えて例えば、図１７に示したように、プリ
ズム１０１を使用しても、同一の作用効果が得られる。
即ち撮像カメラ５７からの光路を分割することが可能で
ある。この場合、プリズム１０１の形状を変更したり、
他の光学素子を組み合わせることにより、直角でない角
度で位置する２つの物体に対して、撮像カメラ５７から
の光路を分割することができる。即ち、撮像カメラ５７
からの光路を適当に分割することにより、ウエハチャッ
ク１７とウエハ保持具４１との位置合わせに際して、例
えば把持棒３４の把持溝Ｑと、保持棒４２又は保持棒４
３の保持溝Ｒ又はＴとを使用することが可能になる。

【００７１】さらに前記各実施例においては、撮像装置
５５における１の撮像カメラ５７で把持溝Ｐと保持溝Ｓ
とを同時に撮像するようにしていたが、もちろん図１８
に示したように、２つの撮像カメラ５７ａ、５７ｂを支
持板５２に取付け、把持溝Ｐは撮像カメラ５７ａで、保
持溝Ｓは撮像カメラ５７ｂで夫々個別に撮像し、その画
像信号をミキシング処理して、モニタ７３上で重ねて表
示するようにしても前記各実施例と同様な作用効果が得
られるものである。

【００７２】なお上記実施例はウエハの洗浄処理装置に
おけるウエハチャックと薬液洗浄処理槽内のウエハ保持
具との間の搬送系に適用した例であったが、本発明はこ
れに限らず、把持装置における所定の把持位置に把持さ
れた状態の複数の被処理体を、保持具における所定の保
持位置に授受する如く構成された搬送系において、前記
把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを実
施する装置において適用可能である。

【００７３】

【発明の効果】請求項１，１０によれば，把持装置にお
ける所定の把持位置に把持された状態の複数の被処理体
を，保持具における所定の保持位置に授受する際の，前
記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせを
簡易，迅速に，しかも正確に行うことが可能である。請
求項２，１１によれば，さらに正確な位置合わせがで
き，請求項３によれば，より一層正確な位置合わせが可
能である。また請求項４では，表示装置を共有してお
り，一台の表示装置における一つの画面上で，二カ所に
おける把持位置と保持位置との重ねられた画像表示を視
認することができるから，位置合わせの確認がしやす
い。

【００７４】請求項５〜９，１２，１３によれば，前記
把持装置と保持具とのＺ方向の位置関係も確認できるの
で，実際の授受に即した位置合わせが可能になってい
る。特に請求項６，１２では距離センサを別途設けるこ
となく，Ｚ方向の位置関係も確認でき，実際の授受に即
した位置合わせが可能になっている。また請求項７，１
３では，さらに正確な位置合わせが可能であり，請求項
８ではより一層正確な位置合わせをすることが可能にな
っている。そして請求項９によれば，二カ所における把
持位置と保持位置との重ねられた画像を，１つの表示装
置における画面上で分割して視認することができるか
ら，位置合わせの確認がしやすい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例が好適に使用されるウエハの洗
浄処理装置の斜視図である。

【図２】実施例における検出用治具を把持した状態のウ
エハチャックの斜視図である。

【図３】実施例における撮像装置がウエハチャック側の
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す斜視図である。

【図４】実施例における撮像装置がウエハチャック側の
把持溝とウエハ保持具側の保持溝とを同時に撮像してい
る様子を示す説明図である。

【図５】実施例における検出用治具の斜視図である。

【図６】実施例における撮像装置の断面図である。

【図７】実施例における撮像装置とモニタとの関係を示
す説明図である。

【図８】実施例によってモニタ上に表示されたウエハチ
ャック側の把持溝の画像である。

【図９】実施例を使用した場合において、把持溝と保持
溝とが正しい相対位置関係にあるときのモニタ上に表示
された画像の部分拡大図である。

【図１０】実施例を使用した場合において、把持溝と保
持溝とがＸ、Ｙ、θ方向にそれぞれ位置ズレしていると
きのモニタ上に表示された画像の部分拡大図である。

【図１１】実施例を使用した場合において、把持溝と保
持溝とがＸ、Ｙ方向にそれぞれ位置ズレしているときの
モニタ上に表示された画像の部分拡大図である。

【図１２】他の検出用治具の例を示す斜視図である。

【図１３】他の検出用治具をウエハチャックにセットし
た際の正面説明図である。

【図１４】他の検出用治具をウエハチャックにセットし
た際の平面説明図である。

【図１５】距離センサを有する他の検出用治具の例を示
す斜視図である。

【図１６】図５の検出用治具をウエハ治具側にセットし
た様子を示す説明図である。

【図１７】プリズムを採用した撮像装置の断面説明図で
ある。

【図１８】個別撮像用の撮像カメラを具備した検出用治
具の斜視図である。

【符号の説明】

１ 洗浄処理装置 １２ ウエハ搬送装置 １７ ウエハチャック １７ａ、１７ｂ 把持部材 ２５ 薬液洗浄処理槽 ３３、３４ 把持棒 ４１ ウエハ保持具 ４２、４３、４４ 保持棒 ５１ 検出用治具 ５２、５３ 支持板 ５５ 撮像装置 ５７ 撮像カメラ ５９ ハーフミラー ６０、６１ ビューポート ７３ モニタ Ｐ 把持溝 Ｓ 保持溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 G01B 11/00 H01L 21/304

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記把持装置によって把持される適宜の治具に設けら
   れ，前記把持位置と前記保持位置とを同時に撮像する撮
   像装置と， 前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保
   持位置とを，同一画像表示部における同一座標系に重ね
   て画像表示する表示装置とを具備することを特徴とす
   る，位置合わせ装置。
2. 【請求項２】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記把持装置によって把持される適宜の治具の２カ所に
   撮像装置が設けられ， 前記撮像装置における一の撮像装置は，第１の把持位置
   と保持位置とを同時に撮像し，前記撮像装置における他
   の撮像装置は，他の第２の把持位置と保持位置とを同時
   に撮像する如く構成され， 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
   保持位置とを，前記各撮像装置ごとに，同一画像表示部
   における同一座標系に，重ねて画像表示する表示装置と
   を具備することを特徴とする，位置合わせ装置。
3. 【請求項３】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記把持装置によって把持される適宜の治具の両端部近
   傍に夫々撮像装置が設けられ， 前記撮像装置における一の撮像装置は，一端部の把持位
   置と保持位置とを同時に撮像し，前記撮像装置における
   他の撮像装置は，他端部の把持位置と保持位置とを同時
   に撮像する如く構成され， 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
   保持位置とを，前記各撮像装置ごとに，同一画像表示部
   における同一座標系に，重ねて画像表示する表示装置と
   を具備することを特徴とする，位置合わせ装置。
4. 【請求項４】 前記各撮像装置によって撮像された前記
   把持位置と前記保持位置とを，前記各撮像装置ごとに同
   一画像表示部における同一座標系に，前記各撮像装置ご
   とに分割して重ねて画像表示する表示装置とを具備する
   ことを特徴とする，請求項２又は３に記載の位置合わせ
   装置。
5. 【請求項５】 前記適宜の治具に，前記把持装置と保持
   具との間の距離を検出する距離センサが設けられたこと
   を特徴とする，請求項１，２，３又は４に記載の位置合
   わせ装置。
6. 【請求項６】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記保持具によって保持される適宜の支持治具には撮像
   装置が設けられ，この撮像装置は，前記保持位置を常時
   撮像すると共に，前記把持装置が前記授受の際の高さ近
   傍に位置するときにこの把持装置の把持位置をも同時に
   撮像する如く構成され， 前記撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記保
   持位置とを，同一画像表示部における同一座標系に重ね
   て画像表示する表示装置とを具備することを特徴とす
   る，位置合わせ装置。
7. 【請求項７】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記保持具によって保持される適宜の支持治具には２カ
   所に撮像装置が設けられ，一の撮像装置は，第１の保持
   位置を常時撮像すると共に，前記把持装置が前記授受の
   際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置における第
   １の把持位置をも同時に撮像する如く構成され， 他の撮像装置は，第２の保持位置を常時撮像すると共
   に，前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置する
   ときにこの把持装置における第２の把持位置をも同時に
   撮像する如く構成され， 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
   保持位置とを，各撮像装置ごとに，同一画像表示部にお
   ける同一座標系に重ねて画像表示する表示装置とを具備
   することを特徴とする，位置合わせ装置。
8. 【請求項８】 把持装置における所定の把持位置に把持
   された状態の複数の被処理体を，保持具における所定の
   保持位置に授受する如く構成された搬送系における，前
   記授受の際の前記把持位置と前記保持位置との相対位置
   の位置合わせを行う装置であって， 前記保持具によって保持される適宜の支持治具の両端部
   近傍に夫々撮像装置が設けられ，一の撮像装置は，一端
   部の保持位置を常時撮像すると共に，前記把持装置が前
   記授受の際の高さ近傍に位置するときにこの把持装置に
   おける一端部の把持位置をも同時に撮像する如く構成さ
   れ， 他の撮像装置は，他端部の保持位置を常時撮像すると共
   に，前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置する
   ときにこの把持装置における他端部の把持位置をも同時
   に撮像する如く構成され， 前記各撮像装置によって撮像された前記把持位置と前記
   保持位置とを，各撮像装置ごとに，同一画像表示部にお
   ける同一座標系に重ねて画像表示する表示装置とを具備
   することを特徴とする，位置合わせ装置。
9. 【請求項９】 前記各撮像装置によって撮像された前記
   把持位置と前記保持位置とを，前記各撮像装置ごとに同
   一画像表示部における同一座標系に，前記各撮像装置ご
   とに分割して重ねて画像表示する表示装置とを具備する
   ことを特徴とする，請求項７又は８に記載の位置合わせ
   装置。
10. 【請求項１０】 把持装置における所定の把持位置に把
    持された状態の複数の被処理体を，保持具における所定
    の保持位置に授受する搬送系における，前記授受の際の
    前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
    を行う方法であって， 前記把持位置と前記保持位置とを撮像する工程と， 前記撮像された前記把持位置と前記保持位置とを，同一
    画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
    程とを具備することを特徴とする，位置合わせ方法。
11. 【請求項１１】 把持装置における所定の把持位置に把
    持された状態の複数の被処理体を，保持具における所定
    の保持位置に授受する搬送系における，前記授受の際の
    前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
    を行う方法であって， 第１の把持位置と保持位置とを撮像する工程と，他の第
    ２の把持位置と保持位置とを撮像する工程と， 前記撮像された第１の把持位置と保持位置とを同一画像
    表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工程
    と，前記撮像された第２の把持位置と保持位置とを同一
    画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
    程とを具備することを特徴とする，位置合わせ方法。
12. 【請求項１２】 把持装置における所定の把持位置に把
    持された状態の複数の被処理体を，保持具における所定
    の保持位置に授受する搬送系における，前記授受の際の
    前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
    を行う方法であって， 前記保持位置を常時撮像する工程と， 前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置するとき
    にこの把持装置の把持位置を撮像する工程と， 前記撮像された前記把持位置と前記保持位置とを，同一
    画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
    程とを具備することを特徴とする，位置合わせ方法。
13. 【請求項１３】 把持装置における所定の把持位置に把
    持された状態の複数の被処理体を，保持具における所定
    の保持位置に授受する搬送系における，前記授受の際の
    前記把持位置と前記保持位置との相対位置の位置合わせ
    を行う方法であって， 第１の保持位置と他の第２の保持位置を常時撮像する工
    程と， 前記把持装置が前記授受の際の高さ近傍に位置するとき
    に，第１の把持位置と他の第２の把持位置を撮像する工
    程と， 前記撮像された第１の把持位置と保持位置とを同一画像
    表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工程
    と，前記撮像された第２の把持位置と保持位置とを同一
    画像表示部における同一座標系に重ねて画像表示する工
    程とを具備することを特徴とする，位置合わせ方法。